JPH09252030A - Wire bonding device - Google Patents
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- JPH09252030A JPH09252030A JP8058852A JP5885296A JPH09252030A JP H09252030 A JPH09252030 A JP H09252030A JP 8058852 A JP8058852 A JP 8058852A JP 5885296 A JP5885296 A JP 5885296A JP H09252030 A JPH09252030 A JP H09252030A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体装置
の製造工程でリードフレーム上にマウントされたチップ
のパッド部とリードフレームのリード部に、ボンディン
グワイヤを超音波接合するために使用されるワイヤボン
ディング装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wire used for ultrasonically bonding a bonding wire to a pad portion of a chip mounted on a lead frame and a lead portion of the lead frame in a semiconductor device manufacturing process. Bonding apparatus
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、ワイヤボンディング装置のうち超
音波によってボンディングワイヤを接合する装置におい
ては、超音波ホーンの先端部に取着されたキャピラリに
先端からボンディングワイヤを引き出すよう挿通保持
し、接合を行う部位にボンディングワイヤをキャピラリ
に超音波を加えながら押圧して接合がなされる。2. Description of the Related Art Conventionally, in a wire bonding apparatus for bonding bonding wires by ultrasonic waves, a capillary attached to the tip of an ultrasonic horn is inserted and held so as to pull out the bonding wire from the tip, and bonding is performed. Bonding is performed by pressing the bonding wire to the part to be performed while applying ultrasonic waves to the capillary.
【0003】以下、従来のワイヤボンディング装置の要
部について図9及び図10を参照して説明する。図9は
要部の斜視図であり、図10は超音波ホーンの先端部の
平面図である。The main part of the conventional wire bonding apparatus will be described below with reference to FIGS. 9 and 10. FIG. 9 is a perspective view of a main part, and FIG. 10 is a plan view of the tip of the ultrasonic horn.
【0004】図9及び図10において、1は先細となる
ように形成された超音波ホーンであり、2は超音波ホー
ン1の先端部の取着部3に取り付けられたキャピラリで
ある。キャピラリ2は、直円筒部4とテーパー部5とで
構成され、両部の中心部分には貫通するようにワイヤ挿
通孔6が形成されている。In FIGS. 9 and 10, reference numeral 1 is an ultrasonic horn formed so as to be tapered, and 2 is a capillary attached to the attachment portion 3 at the tip of the ultrasonic horn 1. The capillary 2 is composed of a right cylindrical portion 4 and a tapered portion 5, and a wire insertion hole 6 is formed in the central portion of both portions so as to penetrate therethrough.
【0005】また超音波ホーン1の取着部3には、キャ
ピラリ2の直円筒部4の外径に略等しい内径を有する取
着孔7と、すり割り8及びねじ孔9と固定孔10が形成
されていて、キャピラリ2はその直円筒部4を超音波ホ
ーン1の取着孔7に差し込まれた状態で、ねじ孔9に固
定孔10を介してねじ11を螺着することにより固定さ
れている。Further, the attachment portion 3 of the ultrasonic horn 1 is provided with an attachment hole 7 having an inner diameter substantially equal to the outer diameter of the right cylindrical portion 4 of the capillary 2, a slot 8, a screw hole 9 and a fixing hole 10. The capillary 2 is formed and fixed by screwing a screw 11 into a screw hole 9 through a fixing hole 10 in a state where the right cylindrical portion 4 is inserted into the attachment hole 7 of the ultrasonic horn 1. ing.
【0006】さらに、キャピラリ2のワイヤ挿通孔6に
はボンディングワイヤ12が、直円筒部4側の端部分か
らテーパー部5の先細となった先端部分にかけて挿通さ
れており、テーパー部5の先端部分からボンディングワ
イヤ12の先端部分が出た状態になっている。Further, a bonding wire 12 is inserted through the wire insertion hole 6 of the capillary 2 from the end portion on the right cylindrical portion 4 side to the tapered tip portion of the taper portion 5, and the tip portion of the taper portion 5 is formed. The tip portion of the bonding wire 12 is exposed from.
【0007】そして、ボンディングワイヤ12を接合部
分に超音波接合する際には、ボンディングワイヤ12が
出ているキャピラリ2の先細の先端部分を、超音波ホー
ン1を介して超音波を加えながら接合する部位に押し当
てることによって超音波接合が行われる。When the bonding wire 12 is ultrasonically bonded to the bonding portion, the tapered tip portion of the capillary 2 from which the bonding wire 12 is exposed is bonded while applying ultrasonic waves through the ultrasonic horn 1. Ultrasonic bonding is performed by pressing on the site.
【0008】このような従来の従来技術においてはキャ
ピラリ2の超音波ホーン1への取り付けが、キャピラリ
2を取着孔7に差し込んだ状態ですり割り8のギャプを
利用し、ねじ11を螺着し固定することによって行われ
ており、キャピラリ2の直円筒部4の外面が取着孔7の
孔内面に全面接触するようにして取り付けられる。In the conventional prior art as described above, the capillary 2 is attached to the ultrasonic horn 1 in a state where the capillary 2 is inserted into the attachment hole 7 by using the gap 8 and the screw 11 is screwed. The outer surface of the straight cylindrical portion 4 of the capillary 2 is attached so that the outer surface of the right cylindrical portion 4 of the capillary 2 is in full contact with the inner surface of the mounting hole 7.
【0009】しかしながら、キャピラリ2の外面加工及
び取着孔7の内面加工にそれぞればらつきがあるため、
超音波ホーン1とキャピラリ2が全面で接触せず一部の
みで接触する形態となる。このため、取着部3にキャピ
ラリ2を取り付ける度に接触面積が変化し、接触面積が
変化することでキャピラリ2の超音波ホーン1への取り
付け部分においてインピーダンスが変化する虞がある。However, there are variations in the machining of the outer surface of the capillary 2 and the machining of the inner surface of the attachment hole 7,
The ultrasonic horn 1 and the capillary 2 are not in contact with each other over the entire surface, but are in contact with each other only partially. Therefore, the contact area changes each time the capillary 2 is attached to the attachment portion 3, and the impedance may change at the attachment portion of the capillary 2 to the ultrasonic horn 1 due to the change of the contact area.
【0010】これによって超音波ホーン1でのキャピラ
リ2への超音波エネルギの変換効率が一定でなくなり、
超音波ホーン1からキャピラリ2に伝達される超音波振
動が変化するものとなっていた。その結果、ボンディン
グワイヤ12の接合に際し、常に接合条件をチェックし
たり調整したりする必要が生じ、手間が掛かり接合作業
をやり難いものとしていた。As a result, the conversion efficiency of the ultrasonic energy to the capillary 2 in the ultrasonic horn 1 is not constant,
The ultrasonic vibration transmitted from the ultrasonic horn 1 to the capillary 2 was changed. As a result, when bonding the bonding wire 12, it is necessary to constantly check and adjust the bonding conditions, which is troublesome and difficult to perform the bonding work.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】上記のように超音波ホ
ーンの取着部にキャピラリを取り付ける度にキャピラリ
に伝達される超音波振動が変化し、接合を行う際にはそ
の都度接合条件のチェックや調整が必要となり、接合作
業を手間が掛かるやり難いものとしていた。このような
状況に鑑みて本発明はなされたもので、キャピラリに伝
達される超音波振動が取り替えを行った場合でも変化す
る虞がなく、接合作業がやり易く手間が掛からないもの
とするワイヤボンディング装置を提供することを目的と
する。As described above, the ultrasonic vibration transmitted to the capillary changes every time the capillary is attached to the attachment portion of the ultrasonic horn, and the bonding condition is checked each time the bonding is performed. It was necessary to make adjustments and adjustments, making the joining work difficult and difficult. The present invention has been made in view of such a situation, and there is no fear that the ultrasonic vibration transmitted to the capillaries will change even when replacement is performed, and the bonding work is easy and labor-free. The purpose is to provide a device.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明のワイヤボンディ
ング装置は、ボンディングワイヤを保持してボンディン
グを行うキャピラリと、このキャピラリを取着部に支持
する超音波ホーンとを備えてなるワイヤボンディング装
置において、取着部は、取着孔とすり割りとによりなる
と共に、該取着孔の孔内面にキャピラリの外面に当接し
該キャピラリを保持する凸部が形成されていることを特
徴とするものであり、さらに、凸部が、取着孔の貫通方
向に複数延在する直線状の凸条により形成されたもので
あることを特徴とするものであり、さらに、凸条は、断
面形状が台形をなすと共に120°間隔で3本設けられ
ていることを特徴とするものであり、さらに、凸部が、
螺旋状の凸条により形成されたものであることを特徴と
するものであり、さらに、凸部が、複数の突起により形
成されたものであることを特徴とするものである。A wire bonding apparatus of the present invention is a wire bonding apparatus comprising a capillary for holding a bonding wire for bonding and an ultrasonic horn for supporting the capillary in a mounting portion. The attachment part is composed of an attachment hole and a slot, and a convex part that is in contact with the outer surface of the capillary and holds the capillary is formed on the inner surface of the hole of the attachment hole. Further, the convex portion is formed by a plurality of linear ridges extending in the penetrating direction of the attachment hole, and the ridge has a trapezoidal sectional shape. And three projections are provided at 120 ° intervals.
The present invention is characterized in that it is formed by a spiral ridge, and further that the projection is formed by a plurality of protrusions.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0014】まず、第1の実施形態を図1乃至図4によ
り説明する。図1は要部の斜視図であり、図2は要部の
平面図であり、図3は超音波ホーンの先端部の一部断面
にして示す斜視図であり、図4はキャピラリの正面図で
ある。First, a first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 is a perspective view of a main portion, FIG. 2 is a plan view of the main portion, FIG. 3 is a perspective view showing a partial cross section of a tip portion of an ultrasonic horn, and FIG. 4 is a front view of a capillary. Is.
【0015】図1乃至図4において、21は所定のテー
パー状が付けられ先細となるように形成された超音波ホ
ーンで、図示しない超音波源に接続されている。超音波
ホーン21は水平方向に延在するように設けられ、その
先端部には棒状のキャピラリ22を垂直となるように取
り付けるための取着部23が形成されている。In FIGS. 1 to 4, reference numeral 21 denotes an ultrasonic horn formed into a taper with a predetermined taper shape, which is connected to an ultrasonic source (not shown). The ultrasonic horn 21 is provided so as to extend in the horizontal direction, and an attachment portion 23 for vertically attaching a rod-shaped capillary 22 is formed at the tip portion thereof.
【0016】キャピラリ22は上方側に直円筒部24、
下方側にテーパー部25を設けて構成され、両部は中心
部分に連通するようにワイヤ挿通孔26が貫通してお
り、このワイヤ挿通孔26にはボンディングワイヤ27
が、直円筒部24側の上端部分からテーパー部25の先
細となった先端部分にかけて挿通されており、接合に際
してテーパー部25の先端部分からボンディングワイヤ
27の先端が延出するようになっている。The capillary 22 has an upright cylindrical portion 24,
A taper portion 25 is provided on the lower side, and a wire insertion hole 26 penetrates through both portions so as to communicate with the central portion. The wire insertion hole 26 has a bonding wire 27.
Is inserted from the upper end portion on the right cylindrical portion 24 side to the tapered tip portion of the taper portion 25, and the tip of the bonding wire 27 extends from the tip portion of the taper portion 25 during joining. .
【0017】また、超音波ホーン21の取着部23には
取着孔28と、すり割り29及びねじ孔30と固定孔3
1が形成されている。取着孔28は超音波ホーン21を
垂直方向に貫通するように形成されており、孔内面には
120°間隔で3本の断面形状が台形の直線状の凸条3
2により形成された凸部が、取着孔28の貫通方向に設
けられている。そして3本の凸条32の頂部32aによ
り形成される円筒状の包絡面は、キャピラリ22の直円
筒部24の外径に略等しい直径を有するようになってい
る。The attachment portion 23 of the ultrasonic horn 21 has an attachment hole 28, a slot 29, a screw hole 30, and a fixing hole 3.
1 is formed. The attachment holes 28 are formed so as to penetrate the ultrasonic horn 21 in the vertical direction, and three linear projections 3 each having a trapezoidal cross section are formed on the inner surface of the hole at 120 ° intervals.
The convex portion formed by 2 is provided in the penetrating direction of the attachment hole 28. The cylindrical envelope surface formed by the top portions 32a of the three convex stripes 32 has a diameter substantially equal to the outer diameter of the right cylindrical portion 24 of the capillary 22.
【0018】また、すり割り29は超音波ホーン21の
先端から根元方向に向け所定の隙間29aが設けられる
ように形成されたもので、超音波ホーン21の先端に割
り方向が垂直方向となるように割り口29bが形成され
ると共に、取着孔28の中心線を通るようにして深く割
り込んだ形態となっている。The slot 29 is formed so that a predetermined gap 29a is provided from the tip of the ultrasonic horn 21 toward the root, and the split direction is perpendicular to the tip of the ultrasonic horn 21. A split opening 29b is formed in the groove and a deep cut is formed so as to pass through the center line of the attachment hole 28.
【0019】これに対しねじ孔30と固定孔31は、超
音波ホーン21の隙間29aをおいて分離された部分の
取着孔28よりも根元側に、互いの中心線が一致するよ
うにしてすり割り29に直交するように形成されてい
る。さらに、ねじ孔30と固定孔31が開口する超音波
ホーン21の外面には、凹部33,34が各孔にそれぞ
れの底面が直交するように設けられている。なお、35
はねじ孔30に固定孔31を介し螺着されるねじであ
る。On the other hand, the screw hole 30 and the fixing hole 31 have their center lines aligned with each other on the root side of the attachment hole 28 of the portion separated by the gap 29a of the ultrasonic horn 21. It is formed so as to be orthogonal to the slot 29. Further, recesses 33 and 34 are provided on the outer surface of the ultrasonic horn 21 where the screw holes 30 and the fixing holes 31 are opened such that the bottom surfaces of the holes are orthogonal to each other. Note that 35
Is a screw screwed into the screw hole 30 through the fixing hole 31.
【0020】また、取着部23にはキャピラリ22が、
取着孔28に差し込んだ状態で固定孔31を介しねじ孔
30にねじ35を螺着することによって取り付けられて
いる。すなわち、ねじ35を締め込むことによってすり
割り29の隙間29aが少なくなり、キャピラリ22の
直円筒部24の外面に取着孔28の3本の凸条32の頂
部32aが当接し、さらにねじ35を締め込むことによ
って凸条32の頂部32aが直円筒部24の外面を押圧
し、キャピラリ22が取着部23に取り付けられる。Further, the capillary 22 is attached to the attaching portion 23.
It is attached by screwing a screw 35 into a screw hole 30 through a fixing hole 31 in a state of being inserted into the attachment hole 28. That is, by tightening the screw 35, the gap 29a of the slot 29 is reduced, and the tops 32a of the three ridges 32 of the attachment hole 28 come into contact with the outer surface of the right cylindrical portion 24 of the capillary 22, and the screw 35 By tightening, the top portion 32a of the ridge 32 presses the outer surface of the straight cylindrical portion 24, and the capillary 22 is attached to the attachment portion 23.
【0021】さらに、キャピラリ22のワイヤ挿通孔2
6にはボンディングワイヤ27が、直円筒部24側の端
部分からテーパー部25の先細となった先端部分にかけ
て挿通されており、テーパー部25の先端部分からボン
ディングワイヤ27の先端部分が出た状態になってい
る。Further, the wire insertion hole 2 of the capillary 22
6, the bonding wire 27 is inserted from the end portion on the right cylindrical portion 24 side to the tapered tip portion of the taper portion 25, and the tip portion of the bonding wire 27 is protruded from the tip portion of the taper portion 25. It has become.
【0022】そして、ボンディングワイヤ27を接合部
分に超音波接合する際には、ボンディングワイヤ27が
出ているキャピラリ22の先細の先端部分を、超音波ホ
ーン21を介して超音波を加えながら接合する部位に押
し当てることによって超音波接合が行われる。When ultrasonically bonding the bonding wire 27 to the bonding portion, the tapered tip portion of the capillary 22 from which the bonding wire 27 is exposed is bonded while applying ultrasonic waves through the ultrasonic horn 21. Ultrasonic bonding is performed by pressing on the site.
【0023】このように構成されたものでは、取着部2
3へのキャピラリ22の取り付け取り外しは、ねじ35
を締め込んだり緩めたりすることによって行われ、これ
にともない取着孔28の直線状の凸条32の頂部32a
が、キャピラリ22の直円筒部24の外面に押圧するよ
うにして確実に接触したり、また離れたりする。In the structure thus constructed, the attaching portion 2
Attaching and detaching the capillary 22 to and from the
Is performed by tightening or loosening, and the top 32a of the linear ridge 32 of the attachment hole 28 is accompanied by this.
However, the outer surface of the right cylindrical portion 24 of the capillary 22 is pressed to surely contact with or separate from the outer surface.
【0024】このため、キャピラリ22の取り外しを行
い、再び取り付けを行った場合でも、その前後での超音
波ホーン21とキャピラリ22との接触面積の変化が少
ないものとなり、取り付けを行う度にキャピラリ22の
超音波ホーン21への取り付け部分におけるインピーダ
ンスの変化は少ないものとなる。Therefore, even if the capillary 22 is removed and then attached again, the contact area between the ultrasonic horn 21 and the capillary 22 before and after the change is small, and the capillary 22 is attached each time it is attached. The change in impedance at the portion where the above is attached to the ultrasonic horn 21 is small.
【0025】そして超音波ホーン21からキャピラリ2
2への超音波エネルギの変換効率が一定したものとな
り、超音波ホーン21からキャピラリ22に伝達される
超音波振動の変化は少なくなる。その結果、ボンディン
グワイヤ27の接合に際し、常に接合条件をチェックし
たり調整したりする必要がなくなり、接合作業はやり易
くなり、手間が掛からないものとなる。Then, from the ultrasonic horn 21 to the capillary 2
The conversion efficiency of the ultrasonic energy into 2 becomes constant, and the change of the ultrasonic vibration transmitted from the ultrasonic horn 21 to the capillary 22 becomes small. As a result, when bonding the bonding wire 27, it is not necessary to always check or adjust the bonding conditions, and the bonding work is easy and labor-free.
【0026】次に、第2の実施形態を図5及び図6によ
り説明する。図5は要部の平面図であり、図6は超音波
ホーンの先端部の一部断面にして示す斜視図である。Next, a second embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a plan view of a main part, and FIG. 6 is a perspective view showing a partial cross section of the tip of the ultrasonic horn.
【0027】図5及び図6において、41は所定のテー
パー状が付けられ先細となるように形成された超音波ホ
ーンで、図示しない超音波源に接続されている。超音波
ホーン41は水平方向に延在するように設けられ、その
先端部には棒状のキャピラリ22を垂直となるように取
り付けるための取着部42が形成されている。In FIGS. 5 and 6, reference numeral 41 denotes an ultrasonic horn formed into a taper with a predetermined taper shape, which is connected to an ultrasonic source (not shown). The ultrasonic horn 41 is provided so as to extend in the horizontal direction, and an attachment portion 42 for vertically attaching the rod-shaped capillaries 22 is formed at the tip portion thereof.
【0028】この取着部42には取着孔43が、超音波
ホーン41を垂直方向に貫通するように形成されてお
り、取着孔43の中心線を通り深く割り込まれた形態の
すり割り29によって分割された孔内面には、2本の断
面形状が台形の螺旋状の凸条44により形成された凸部
が取着孔43の貫通方向に設けられている。そして2本
の凸条44の頂部44aにより形成される円筒状の包絡
面は、キャピラリ22の直円筒部24の外径に略等しい
直径を有するようになっている。An attachment hole 43 is formed in the attachment portion 42 so as to penetrate the ultrasonic horn 41 in the vertical direction, and a slot having a form that is deeply cut through the center line of the attachment hole 43. On the inner surface of the hole divided by 29, a convex portion formed by two spiral convex ridges 44 having a trapezoidal cross section is provided in the penetrating direction of the attachment hole 43. The cylindrical envelope surface formed by the tops 44a of the two convex ridges 44 has a diameter substantially equal to the outer diameter of the right cylindrical portion 24 of the capillary 22.
【0029】また取着部42にはキャピラリ22が、取
着孔43に差し込んだ状態で固定孔31を介しねじ孔3
0にねじ35を螺着することによって取り付けられてい
る。すなわち、ねじ35を締め込むことによってすり割
り29の隙間29aが少なくなり、キャピラリ22の直
円筒部24の外面に取着孔43の2本の凸条44の頂部
44aが当接し、さらにねじ35を締め込むことによっ
て凸条44の頂部44aが直円筒部24の外面を押圧
し、キャピラリ22が取着部42に取り付けられる。Further, in the mounting portion 42, the capillary 22 is inserted into the mounting hole 43, and the screw hole 3 is inserted through the fixing hole 31.
It is attached by screwing a screw 35 to 0. That is, by tightening the screw 35, the gap 29a of the slot 29 is reduced, the tops 44a of the two ridges 44 of the attachment hole 43 come into contact with the outer surface of the right cylindrical portion 24 of the capillary 22, and the screw 35 By tightening, the top portion 44a of the ridge 44 presses the outer surface of the straight cylindrical portion 24, and the capillary 22 is attached to the attachment portion 42.
【0030】そして、ボンディングワイヤ27を接合部
分に超音波接合する際には、キャピラリ22のワイヤ挿
通孔26に、ボンディングワイヤ27を先端部分がキャ
ピラリ22のテーパー部の先端部分から出るように挿通
させ、このボンディングワイヤ27が出ているキャピラ
リ22の先細の先端部分を、超音波ホーン41を介して
超音波を加えながら接合する部位に押し当てることによ
って超音波接合が行われる。When the bonding wire 27 is ultrasonically bonded to the bonding portion, the bonding wire 27 is inserted through the wire insertion hole 26 of the capillary 22 so that the tip portion of the bonding wire 27 comes out from the tip portion of the tapered portion of the capillary 22. Ultrasonic bonding is performed by pressing the tapered tip end portion of the capillary 22 from which the bonding wire 27 is exposed against the site to be bonded while applying ultrasonic waves via the ultrasonic horn 41.
【0031】このように構成されたものでは、取着部4
2へのキャピラリ22の取り付け取り外しは、ねじ35
を締め込んだり緩めたりすることによって行われ、これ
にともない取着孔43の螺旋状の凸条44の頂部44a
が、キャピラリ22の直円筒部24の外面に押圧するよ
うにして確実に接触したり、また離れたりする。In the structure thus constructed, the attaching portion 4
To attach and detach the capillary 22 to and from the screw 2, use the screw 35
Is performed by tightening or loosening, and the top portion 44a of the spiral ridge 44 of the attachment hole 43 is accompanied by this.
However, the outer surface of the right cylindrical portion 24 of the capillary 22 is pressed to surely contact with or separate from the outer surface.
【0032】このため、第1の実施形態におけると同様
にキャピラリ22の取り外しを行い、再び取り付けを行
った場合でも、その前後での超音波ホーン41とキャピ
ラリ22との接触面積の変化が少ないものとなり、取り
付けを行う度にキャピラリ22の超音波ホーン41への
取り付け部分におけるインピーダンスの変化は少ないも
のとなる。For this reason, even when the capillary 22 is removed and reattached as in the first embodiment, the contact area between the ultrasonic horn 41 and the capillary 22 before and after the change is small. Therefore, the impedance change in the portion where the capillary 22 is attached to the ultrasonic horn 41 is small each time the attachment is performed.
【0033】そして超音波ホーン41からキャピラリ2
2への超音波エネルギの変換効率が一定したものとなっ
て、第1の実施形態におけると同様の作用、効果が得ら
れる。Then, from the ultrasonic horn 41 to the capillary 2
The conversion efficiency of the ultrasonic energy to 2 becomes constant, and the same operation and effect as in the first embodiment can be obtained.
【0034】次に、第3の実施形態を図7及び図8によ
り説明する。図7は要部の平面図であり、図8は超音波
ホーンの先端部の一部断面にして示す斜視図である。Next, a third embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a plan view of the main part, and FIG. 8 is a perspective view showing a partial cross section of the tip of the ultrasonic horn.
【0035】図7及び図8において、51は所定のテー
パー状が付けられ先細となるように形成された超音波ホ
ーンで、図示しない超音波源に接続されている。超音波
ホーン51は水平方向に延在するように設けられ、その
先端部には棒状のキャピラリ22を垂直となるように取
り付けるための取着部52が形成されている。In FIGS. 7 and 8, reference numeral 51 denotes an ultrasonic horn formed into a taper with a predetermined taper shape, which is connected to an ultrasonic source (not shown). The ultrasonic horn 51 is provided so as to extend in the horizontal direction, and an attachment portion 52 for vertically attaching the rod-shaped capillary 22 is formed at the tip portion thereof.
【0036】この取着部52には取着孔53が、超音波
ホーン51を垂直方向に貫通するように形成されてお
り、取着孔53の中心線を通り深く割り込まれた形態の
すり割り29によって分割された孔内面には、複数の断
面形状が台形の突起54により形成された凸部が設けら
れている。そして複数の突起54の頂部54aにより形
成される円筒状の包絡面は、キャピラリ22の直円筒部
24の外径に略等しい直径を有するようになっている。An attachment hole 53 is formed in the attachment portion 52 so as to penetrate the ultrasonic horn 51 in the vertical direction, and a slot having a deeply cut shape passing through the center line of the attachment hole 53. The inner surface of the hole divided by 29 is provided with a convex portion formed by a plurality of trapezoidal protrusions 54 in cross section. The cylindrical envelope surface formed by the tops 54a of the plurality of protrusions 54 has a diameter substantially equal to the outer diameter of the right cylindrical portion 24 of the capillary 22.
【0037】また取着部52にはキャピラリ22が、取
着孔53に差し込んだ状態で固定孔31を介しねじ孔3
0にねじ35を螺着することによって取り付けられてい
る。すなわち、ねじ35を締め込むことによってすり割
り29の隙間29aが少なくなり、キャピラリ22の直
円筒部24の外面に取着孔53の突起54の頂部54a
が当接し、さらにねじ35を締め込むことによって突起
54の頂部54aが直円筒部24の外面を押圧し、キャ
ピラリ22が取着部52に取り付けられる。Further, in the attachment portion 52, the capillary 22 is inserted into the attachment hole 53 and the screw hole 3 is inserted through the fixing hole 31.
It is attached by screwing a screw 35 to 0. That is, by tightening the screw 35, the gap 29a of the slot 29 is reduced, and the top 54a of the protrusion 54 of the attachment hole 53 is formed on the outer surface of the right cylindrical portion 24 of the capillary 22.
Are abutted against each other, and by further tightening the screw 35, the top portion 54a of the protrusion 54 presses the outer surface of the right cylindrical portion 24, and the capillary 22 is attached to the attachment portion 52.
【0038】そして、ボンディングワイヤ27を接合部
分に超音波接合する際には、キャピラリ22のワイヤ挿
通孔26に、ボンディングワイヤ27を先端部分がキャ
ピラリ22のテーパー部の先端部分から出るように挿通
させ、このボンディングワイヤ27が出ているキャピラ
リ22の先細の先端部分を、超音波ホーン51を介して
超音波を加えながら接合する部位に押し当てることによ
って超音波接合が行われる。Then, when ultrasonically bonding the bonding wire 27 to the bonding portion, the bonding wire 27 is inserted into the wire insertion hole 26 of the capillary 22 so that the distal end portion comes out from the distal end portion of the tapered portion of the capillary 22. Ultrasonic bonding is performed by pressing the tapered tip end portion of the capillary 22 from which the bonding wire 27 is exposed against the bonding site while applying ultrasonic waves via the ultrasonic horn 51.
【0039】このように構成されたものでは、取着部5
2へのキャピラリ22の取り付け取り外しは、ねじ35
を締め込んだり緩めたりすることによって行われ、これ
にともない取着孔53の突起54の頂部54aが、キャ
ピラリ22の直円筒部24の外面に押圧するようにして
確実に接触したり、また離れたりする。In the structure thus constructed, the attachment portion 5
To attach and detach the capillary 22 to and from the screw 2, use the screw 35
Is performed by tightening or loosening, and the tops 54a of the projections 54 of the attachment holes 53 are pressed against the outer surface of the right cylindrical portion 24 of the capillary 22 to be surely brought into contact with each other or separated from each other. Or
【0040】このため、第1の実施形態におけると同様
にキャピラリ22の取り外しを行い、再び取り付けを行
った場合でも、その前後での超音波ホーン51とキャピ
ラリ22との接触面積の変化が少ないものとなり、取り
付けを行う度にキャピラリ22の超音波ホーン51への
取り付け部分におけるインピーダンスの変化は少ないも
のとなる。Therefore, even when the capillary 22 is detached and reattached as in the first embodiment, the contact area between the ultrasonic horn 51 and the capillary 22 before and after the change is small. Therefore, the impedance change in the portion where the capillary 22 is attached to the ultrasonic horn 51 is small each time the attachment is performed.
【0041】そして超音波ホーン51からキャピラリ2
2への超音波エネルギの変換効率が一定したものとなっ
て、第1の実施形態におけると同様の作用、効果が得ら
れる。Then, from the ultrasonic horn 51 to the capillary 2
The conversion efficiency of the ultrasonic energy to 2 becomes constant, and the same operation and effect as in the first embodiment can be obtained.
【0042】[0042]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は超音波ホーンに形成されたボンディングワイヤを保持
しボンディングを行うキャピラリを支持する取着部が、
取着孔とすり割りとによりなると共に、該取着孔の孔内
面にキャピラリの外面に当接し該キャピラリを保持する
凸部が形成されているよう構成したことにより、キャピ
ラリの取り替えを行った場合でも伝達される超音波振動
が変化する虞がなく、また接合作業がやり易く手間が掛
からなくなる等の効果を奏する。As is apparent from the above description, according to the present invention, the attachment portion for holding the bonding wire formed on the ultrasonic horn and supporting the capillary for bonding is
When the capillaries are replaced by being configured with a mounting hole and a slot, and by forming a convex portion for holding the capillary in contact with the outer surface of the capillary on the inner surface of the mounting hole. However, the ultrasonic vibrations transmitted are not likely to change, and the joining work is easy and labor-free.
【図1】本発明の第1の実施形態における要部を示す斜
視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a main part according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第1の実施形態における要部の平面図
である。FIG. 2 is a plan view of a main part according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の第1の実施形態に係る超音波ホーンの
先端部の一部断面にして示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a partial cross section of a tip portion of the ultrasonic horn according to the first embodiment of the present invention.
【図4】本発明の第1の実施形態に係るキャピラリの正
面図である。FIG. 4 is a front view of the capillary according to the first embodiment of the present invention.
【図5】本発明の第2の実施形態における要部の平面図
である。FIG. 5 is a plan view of a main part according to a second embodiment of the present invention.
【図6】本発明の第2の実施形態に係る超音波ホーンの
先端部の一部断面にして示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a partial cross section of a tip portion of an ultrasonic horn according to a second embodiment of the present invention.
【図7】本発明の第3の実施形態における要部の平面図
である。FIG. 7 is a plan view of a main part according to a third embodiment of the present invention.
【図8】本発明の第3の実施形態に係る超音波ホーンの
先端部の一部断面にして示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a partial cross section of a tip portion of an ultrasonic horn according to a third embodiment of the present invention.
【図9】従来例の要部の斜視図である。FIG. 9 is a perspective view of a main part of a conventional example.
【図10】従来例に係る超音波ホーンの先端部の平面図
である。FIG. 10 is a plan view of a tip portion of an ultrasonic horn according to a conventional example.
21,41,51…超音波ホーン 22…キャピラリ 23,42,52…取着部 24…直円筒部 27…ボンディングワイヤ 28,43,53…取着孔 29…すり割り 29a…隙間 30…ねじ孔 32,44…凸条 32a,44a,54a…頂部 35…ねじ 54…突起 21, 41, 51 ... Ultrasonic horn 22 ... Capillary 23, 42, 52 ... Attachment part 24 ... Straight cylindrical part 27 ... Bonding wire 28, 43, 53 ... Attachment hole 29 ... Slot 29a ... Gap 30 ... Screw hole 32, 44 ... Convex strips 32a, 44a, 54a ... Top 35 ... Screw 54 ... Protrusion
Claims (5)
ングを行うキャピラリと、このキャピラリを取着部に支
持する超音波ホーンとを備えてなるワイヤボンディング
装置において、前記取着部は、取着孔とすり割りとによ
りなると共に、該取着孔の孔内面に前記キャピラリの外
面に当接し該キャピラリを保持する凸部が形成されてい
ることを特徴とするワイヤボンディング装置。1. A wire bonding apparatus comprising a capillary for holding a bonding wire and performing bonding, and an ultrasonic horn for supporting the capillary in the attachment section, wherein the attachment section is a mounting hole and a ground. The wire bonding apparatus is characterized in that a convex portion is formed on the inner surface of the attachment hole, the projection being in contact with the outer surface of the capillary and holding the capillary.
る直線状の凸条により形成されたものであることを特徴
とする請求項1記載のワイヤボンディング装置。2. The wire bonding apparatus according to claim 1, wherein the convex portion is formed by a linear convex strip extending in the penetrating direction of the attachment hole.
20°間隔で3本設けられていることを特徴とする請求
項2記載のワイヤボンディング装置。3. The ridge has a trapezoidal cross section, and
3. The wire bonding apparatus according to claim 2, wherein three wires are provided at intervals of 20 degrees.
ものであることを特徴とする請求項1記載のワイヤボン
ディング装置。4. The wire bonding apparatus according to claim 1, wherein the protrusion is formed by a spiral protrusion.
のであることを特徴とする請求項1記載のワイヤボンデ
ィング装置。5. The wire bonding apparatus according to claim 1, wherein the protrusion is formed by a plurality of protrusions.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8058852A JPH09252030A (en) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | Wire bonding device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8058852A JPH09252030A (en) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | Wire bonding device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09252030A true JPH09252030A (en) | 1997-09-22 |
Family
ID=13096225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8058852A Pending JPH09252030A (en) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | Wire bonding device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09252030A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030066348A (en) * | 2002-02-01 | 2003-08-09 | 에섹 트레이딩 에스에이 | Method for the calibration of a wire bonder |
CN107533989A (en) * | 2015-12-17 | 2018-01-02 | 株式会社海上 | Capillary conveying device, capillary erecting device, capillary more changing device, capillary delivery method, capillary installation method and capillary replacing options |
-
1996
- 1996-03-15 JP JP8058852A patent/JPH09252030A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030066348A (en) * | 2002-02-01 | 2003-08-09 | 에섹 트레이딩 에스에이 | Method for the calibration of a wire bonder |
CN107533989A (en) * | 2015-12-17 | 2018-01-02 | 株式会社海上 | Capillary conveying device, capillary erecting device, capillary more changing device, capillary delivery method, capillary installation method and capillary replacing options |
TWI632652B (en) * | 2015-12-17 | 2018-08-11 | 海上股份有限公司 | Welding pin transfer device, welding pin mounting device, welding pin replacement device, welding pin transfer method, welding pin mounting method, and welding pin replacement method |
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