KR20170080976A - 페이스트 디스펜서 - Google Patents

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KR20170080976A
KR20170080976A KR1020150191203A KR20150191203A KR20170080976A KR 20170080976 A KR20170080976 A KR 20170080976A KR 1020150191203 A KR1020150191203 A KR 1020150191203A KR 20150191203 A KR20150191203 A KR 20150191203A KR 20170080976 A KR20170080976 A KR 20170080976A
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KR1020150191203A
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강병환
박일성
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 노즐로부터 페이스트가 토출되지 않는 대기 상태에서 노즐의 토출구에 페이스트가 맺히는 것을 방지하기 위한 것으로, 기판의 상부에서 수평방향으로 이동 가능하게 설치되는 디스펜싱 헤드유닛과, 디스펜싱 헤드유닛에 설치되며, 페이스트가 토출되는 토출구를 갖는 실린더와, 실린더 내에서 회전 가능하게 설치되어 회전되면서 페이스트를 토출구를 통하여 토출시키는 이송 스크류를 포함하는 노즐과, 이송 스크류를 실린더에 대하여 직선 이동시키는 직선 이동 유닛을 포함할 수 있다.

Description

페이스트 디스펜서{PASTE DISPENSER}
본 발명은 기판에 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 패널을 제조하는 과정에서는, 기판 사이의 간격을 유지하고 기판 사이에 채워진 액정이 외부로 새는 것을 방지하기 위하여, 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정의 패턴으로 도포한다.
기판에 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 페이스트 디스펜서라는 장비가 사용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 프레임 상에 배치되며 기판을 지지하는 스테이지와, 페이스트가 수용되는 시린지 및 시린지와 연통되는 노즐을 구비하는 디스펜싱 헤드유닛과, 디스펜싱 헤드유닛을 지지하는 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임으로 구성된다.
이러한 페이스트 디스펜서는 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시키면서 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 디스펜싱 헤드유닛에 장착된 노즐을 수직 방향으로 이동시켜 노즐과 기판 사이의 갭을 일정하게 조절하면서, 노즐 및/또는 기판을 수평 방향으로 이동시키고, 노즐로부터 페이스트를 토출시켜 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다.
한편, 기판 상에 페이스트를 도포하는 동작이 완료되고, 페이스트 패턴이 형성된 기판이 페이스트 디스펜서로부터 배출되고, 페이스트 패턴이 형성될 새로운 기판이 페이스트 디스펜서로 반입되는 과정에서는, 노즐로부터 페이스트가 토출되지 않는 대기 상태가 유지되어야 한다. 이러한 대기 상태에서는 노즐의 토출구에 페이스트가 맺히지 않으면서 노즐의 내부 공간이 페이스트로 채워져 있는 상태가 유지되는 것이 바람직하다.
이를 위하여, 종래의 경우에는, 시린지 내에 적절한 부압을 작용시키는 것에 의해 노즐 내의 페이스트를 시린지 쪽으로 끌어당겨 노즐의 토출구에 페이스트가 맺히지 않도록 하고 있다.
그러나, 이러한 경우에는 시린지 내에 존재하는 페이스트의 양에 따라, 부압을 조절하여야 한다. 시린지 내에 존재하는 페이스트 양에 따라 부압을 조절하지 않는 경우에는, 지나치게 많은 양의 페이스트가 노즐로부터 시린지 쪽으로 끌어당겨져 새로운 기판에 페이스트를 도포할 때 페이스트가 노즐로부터 적절한 시간에 토출되지 않는 문제가 발생하거나, 지나치게 적은 양의 페이스트가 노즐로부터 시린지 쪽으로 끌어당겨져 노즐의 토출구에 페이스트가 맺혀있다가 새로운 기판에 페이스트를 도포할 때 설정된 양을 초과하는 양의 페이스트가 기판에 도포되는 문제가 있다.
대한민국 공개특허번호 제10-2012-0069141호
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 노즐로부터 페이스트가 토출되지 않는 대기 상태에서 노즐의 토출구에 페이스트가 맺히는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 기판의 상부에서 수평방향으로 이동 가능하게 설치되는 디스펜싱 헤드유닛과, 디스펜싱 헤드유닛에 설치되며, 페이스트가 토출되는 토출구를 갖는 실린더와, 실린더 내에서 회전 가능하게 설치되어 회전되면서 페이스트를 토출구를 통하여 토출시키는 이송 스크류를 포함하는 노즐과, 이송 스크류를 실린더에 대하여 직선 이동시키는 직선 이동 유닛을 포함할 수 있다.
직선 이동 유닛은, 실린더에 설치되는 제1 부재와, 이송 스크류에서 제1 부재에 대응되게 설치되어 제1 부재와 전자기적 상호작용을 하는 제2 부재를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 실린더와 연결되며 실린더로 공급될 페이스트를 수용하는 시린지와, 시린지와 연결되어 시린지 내의 압력을 조절하는 압력 조절 유닛을 더 포함하고, 이송 스크류가 토출구로부터 멀어지는 방향으로 이동될 때, 압력 조절 유닛은 시린지 내에 부압을 작용시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 이송 스크류와 연결되어 이송 스크류를 회전시키는 노즐 구동 유닛을 더 포함하고, 이송 스크류가 토출구로부터 멀어지는 방향으로 이동될 때, 노즐 구동 유닛은, 페이스트를 토출시키기 위해 이송 스크류가 회전되는 방향과 반대방향으로 이송 스크류를 회전시킬 수 있다.
노즐 구동 유닛은, 구동력을 발생시키는 구동 모터와, 구동 모터를 이송 스크류에 연결시키는 연결 링크를 포함하며, 연결 링크는 이송 스크류와 연결되는 제1 링크부와, 구동 모터의 구동축에 연결되는 제2 링크부와, 제1 링크부 및 제2 링크부 사이에서 제1 링크부 및 제2 링크부에 각각 회전 가능하게 연결되는 조인트부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서에 따르면, 노즐로부터 페이스트가 토출되지 않는 대기 상태에서 이송 스크류를 실린더에 대하여 미세하게 직선 이동시킴으로써, 노즐의 토출구에 페이스트가 맺히는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서가 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 디스펜싱 헤드유닛이 개략적으로 도시된 정면도이다.
도 3은 도 1의 디스펜싱 헤드유닛에 장착되는 노즐이 분해되어 도시된 개략도이다.
도 4 및 도 5는 도 3의 노즐의 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서에 대하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 프레임(10)과, 프레임(10)의 상부에서 X축방향 또는 Y축방향으로 이동이 가능하게 배치되는 테이블(20)과, 테이블(20)상에 설치되며 기판이 탑재되는 스테이지(30)와, 스테이지(30)의 양측에 설치되고 Y축으로 연장되는 한 쌍의 가이드 레일(40)과, 한 쌍의 가이드 레일(40)에 각각 양단이 지지되어 스테이지(30)의 상부에 설치되고 X축방향으로 연장되는 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(50)과, 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(50)에 X축방향으로 이동 가능하게 설치되는 디스펜싱 헤드유닛(60)과, 페이스트 도포동작을 제어하는 제어유닛(미도시)을 포함할 수 있다.
디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(50)은 하나의 프레임(10) 상에 복수로 구비될 수 있으며, 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(50)은 가이드 레일(40)에 Y축방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있다. 디스펜싱 헤드유닛(60)은 하나의 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(50)에 복수로 설치될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 디스펜싱 헤드유닛(60)은, 레이저 변위센서(61)와, 페이스트를 수용하는 시린지(62)와, 시린지(62)와 연결되어 시린지(62) 내의 압력을 조절하는 압력 조절 유닛(63)과, 시린지(62)와 연통되어 페이스트를 토출시키는 노즐(70)과, 노즐(70)을 디스펜싱 헤드유닛(60)에 고정시키는 고정 유닛(64)과, 노즐(70)의 토출구(71)로부터 페이스트가 토출되도록 노즐(70)을 구동시키는 노즐 구동 유닛(80)을 포함할 수 있다.
레이저 변위센서(61)는 레이저를 발광하는 발광부와, 기판에 반사된 레이저를 수광하는 수광부로 구성된다. 레이저 변위센서(61)는 발광부에서 발광되어 기판에 반사된 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어유닛으로 출력하여 기판과 노즐 사이의 간격을 측정하는 역할을 수행한다.
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 노즐(70)은, 페이스트가 토출되는 토출구(71)를 갖는 관 형상의 실린더(72)와, 실린더(72) 내에서 회전 가능하게 설치되어 회전되면서 실린더(72) 내의 페이스트를 토출구(71)를 통하여 토출시키는 이송 스크류(73)를 포함할 수 있다.
실린더(72)의 일측에는 시린지(62)와 연결되어 시린지(62)로부터 페이스트를 공급받는 입구(76)가 형성된다. 실린더(72)는 입구(76) 및 튜브를 통하여 시린지(62)와 연결될 수 있다. 실린더(72)의 하측 끝단에는 페이스트가 토출되는 토출구(71)가 형성된다.
이송 스크류(73)는 실린더(72)의 내부에 회전 가능하게 삽입된다. 이송 스크류(73)는 복수의 나사산 형상을 가지는 스크류부와, 노즐 구동 유닛(80)과 연결되는 연결 부재(74)와, 스크류부와 연결 부재(74)를 연결하는 연결축(75)을 포함할 수 있다. 이와 같은 이송 스크류(73)는 노즐 구동 유닛(80)의 작동에 의해 회전되면서 실린더(72)의 입구(76)를 통하여 공급되는 페이스트를 토출구(71)를 통하여 토출시킨다.
실린더(72)에는 이송 스크류(73)가 삽입되어 수용되는 수용부(721)가 형성되고, 이송 스크류(73)의 연결 부재(74)에는 수용부(721)에 삽입되는 삽입부(731)가 형성된다.
이송 스크류(73)가 실린더(72) 내에서 원활하게 회전될 수 있도록, 연결축(75)에는 적어도 하나의 베어링(77)이 설치될 수 있다.
연결 부재(74)는 이송 스크류(73)가 실린더(72)에 삽입된 상태에서 노즐 구동 유닛(80)의 동력을 이송 스크류(13)로 전달하는 역할을 한다. 연결 부재(74)는 이송 스크류(73)와 연결된 상태로 이송 스크류(73)와 함께 운반될 수 있다. 예를 들면, 연결 부재(74)는 이송 스크류(73)와 일체로 구성될 수 있다. 연결 부재(74)는 엔지니어링 플라스틱(예를 들면, PEEK)으로 이루어지는 것이 바람직하며, 이에 따라, 연결 부재(74)를 통하여 동력을 전달하는 과정에서 마찰에 의해 이물질이 발생하는 것을 최소화할 수 있다.
고정 유닛(64)은 노즐(70)의 선단을 가압하여 노즐(70)을 디스펜싱 헤드유닛(60)에 고정시키는 래치로서 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 고정 유닛(64)의 구성에 한정되지 않으며, 고정 유닛(64)으로서 유압 또는 공압에 의해 작동하는 클램프를 구비한 장치 또는 전력에 의해 작동하는 솔레노이드를 구비한 장치와 같은 다양한 구성이 사용될 수 있다.
노즐 구동 유닛(80)은, 구동력을 발생시키는 구동 모터(81)와, 구동 모터(81)를 노즐(70)과 연결시키는 연결 링크(82)를 포함할 수 있다.
구동 모터(81)는 구동 모터(81)에 연결된 구동축(미도시)을 정방향 및 역방향으로 회전시킬 수 있는 모터일 수 있다.
연결 링크(82)는, 노즐(70)과 연결되는 제1 링크부(821)와, 구동 모터(81)의 구동축에 연결되는 제2 링크부(822)와, 제1 링크부(821) 및 제2 링크부(822) 사이에서 제1 링크부(821) 및 제2 링크부(822)에 각각 회전 가능하게 연결되는 조인트부(823)를 포함할 수 있다. 제1 링크부(821)는 연결 부재(74)를 통하여 이송 스크류(73)와 연결될 수 있다. 이러한 연결 링크(82)는 조인트부(823)가 제1 링크부(821) 및 제2 링크부(822)에 각각 회전 가능하게 연결되는 유니버설 조인트로서 구성될 수 있다. 또한, 연결 링크(82)는 제1 링크부(821), 제2 링크부(822) 및 조인트부(823) 중 적어도 하나가 고무와 같은 탄성 재료로 이루어지는 플렉시블 커플링일 수 있다. 이에 따라, 노즐(70)의 이송 스크류(73)와 구동 모터(81)의 구동축이 서로 정렬되지 않고 노즐(70)의 이송 스크류(73)와 구동 모터(81)의 구동축 사이에 편심 및 편각이 존재하는 경우에도, 구동 모터(81)의 구동력이 연결 링크(82)를 통하여 이송 스크류(73)로 원활하게 전달될 수 있다. 또한, 노즐(70)의 이송 스크류(73)와 구동 모터(81)의 구동축이 강성의 샤프트에 의해 연결되는 경우에 발생할 수 있는 문제점인 샤프트의 휘어짐과, 샤프트의 마찰에 의한 이물질 발생을 방지할 수 있다.
시린지(62)는 시린지(62) 내의 압력을 조절하는 압력 조절 유닛(63)과 연결된다. 압력 조절 유닛(63)은 공기와 같은 작동 유체를 시린지(62)로 유입시키거나 시린지(62)로부터 배출시키는 역할을 한다. 시린지(62) 내에 수용된 페이스트를 노즐(70)을 통하여 외부로 토출시키기 위해서는 시린지(62) 내의 압력을 증가시켜야 한다. 페이스트를 노즐(70)을 통하여 외부로 토출시키기 위한 시린지(62) 내의 압력을 토출 압력이라고 할 때, 이러한 토출 압력은 시린지(62) 내에 수용된 페이스트의 양에 따라 달라지는 것이 바람직하다. 즉, 시린지(62) 내에 수용된 페이스트의 양이 많은 경우에는, 페이스트와 시린지(62)의 내부면 사이의 마찰력 내지는 페이스트의 표면 장력이 크기 때문에 토출 압력이 커지는 것이 바람직하다. 이와는 반대로, 시린지(62) 내에 수용된 페이스트의 양이 적은 경우에는 페이스트를 노즐(70)을 통하여 외부로 토출시키기 위한 토출 압력이 작아지는 것이 바람직하다.
또한, 기판에 페이스트를 도포하는 동작이 완료되고, 페이스트 패턴이 형성된 기판이 페이스트 디스펜서로부터 배출되고, 페이스트 패턴이 형성될 새로운 기판이 페이스트 디스펜서로 반입되는 과정에서는 노즐(70)로부터 페이스트가 토출되지 않는 대기 상태가 유지되어야 한다. 이러한 대기 상태에서는 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트가 맺히지 않으면서 노즐(70)의 내부 공간이 페이스트로 채워져 있는 상태가 유지되는 것이 바람직하다. 이를 위하여, 압력 조절 유닛(63)에 의해 시린지(62) 내에는 적절한 부압이 작용된다. 대기 상태에서 시린지(62) 내에 작용하는 부압을 토출 정지 압력이라고 할 때, 이러한 토출 정지 압력은 시린지(62) 내에 수용된 페이스트의 양에 따라 달라지는 것이 바람직하다. 즉, 시린지(62) 내에 수용된 페이스트의 양이 많은 경우에는, 페이스트와 시린지(62)의 내부면 사이의 마찰력 내지는 페이스트의 표면장력이 크기 때문에 토출 정지 압력이 작은 것(부압의 규모가 커지는 것)이 바람직하다. 이와는 반대로, 시린지(62) 내에 수용된 페이스트의 양이 적은 경우에는 토출 정지 압력이 커지는 것(부압의 규모가 작아지는 것)이 바람직하다.
이와 같이, 대기 상태에서, 시린지(62) 내에 적절한 부압을 작용시키는 것에 의해 노즐(70) 내의 페이스트를 시린지(62) 쪽으로 끌어당겨 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트가 맺히지 않도록 하고 있다. 그러나, 이러한 방법은 시린지(62) 내에 존재하는 페이스트의 양에 따라 시린지(62) 내의 부압을 조절하여야 한다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서에서는, 대기 상태에서 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트가 맺히지 않도록 하기 위해, 페이스트의 양에 따라 시린지(62) 내의 부압을 조절하는 방법을 대체하거나, 이 방법과 함께 수행될 수 있는 구성을 제시한다.
본 발명의 실시예에 다른 페이스트 디스펜서는, 실린더(72)와 이송 스크류(73) 사이에 구비되어 이송 스크류(73)를 실린더(72)에 대하여 직선 이동시키는 직선 이동 유닛(90)을 더 포함할 수 있다.
예를 들면, 직선 이동 유닛(90)은, 이송 스크류(73)가 삽입되어 수용되는 실린더(72)의 수용부(721)에 설치되는 제1 부재(91)와, 이송 스크류(73)의 연결 부재(74)의 삽입부(731)에서 제1 부재(91)에 대응되게 설치되어 제1 부재(91)와 전자기적 상호작용을 하는 제2 부재(92)를 포함할 수 있다. 제1 부재(91) 및 제2 부재(92) 중 어느 하나는 영구 자석으로 구성될 수 있고, 제1 부재(91) 및 제2 부재(92) 중 다른 하나는 전자석으로 구성될 수 있다. 이에 따라, 제1 부재(91) 및 제2 부재(92)는 전자기적 상호작용에 의하여 서로에 대하여 상대적으로 직선 이동할 수 있다. 이와 같은 제1 부재(91) 및 제2 부재(92)의 상대적인 직선 이동에 의하여 이송 스크류(73)가 실린더(72)에 대하여 상승하거나 하강할 수 있다.
한편, 직선 이동 유닛(90)은 상기한 구성에 한정되지 않으며, 직선 이동 유닛(90)으로는, 공압 및 유압을 이용하여 이송 스크류(73)를 실린더(72)에 대하여 승강시키는 구성, 이송 스크류(73)를 실린더(72)에 대하여 승강시키기 위하여 실린더(72) 및 이송 스크류(73) 사이에 설치되는 볼 스크류와 같은 기계적인 구성 등 다양한 구성이 적용될 수 있다.
이하, 도 4 및 도 5를 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 작동에 대하여 설명한다.
전술한 바와 같이, 하나의 기판에 페이스트를 도포하는 동작이 완료된 후 다음의 기판에 페이스트를 도포하는 동작을 시작하기 전의 대기 상태에서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 노즐(70)의 토출구(71)에 소정의 양의 페이스트(P)가 맺힐 수 있다.
노즐(70)의 토출구(71)에 소정의 양의 페이스트(P)가 맺힌 경우에는, 새로운 도포를 시작하는 도포 개시점에서, 맺혀있던 페이스트(P)가 기판에 떨어지면서 설정된 양을 초과하는 양의 페이스트가 기판에 도포되는 문제가 발생할 수 있다. 또한, 노즐(70)이 수평방향 및/또는 수직방향으로 이동하는 과정에서 맺혀있던 페이스트(P)가 페이스트가 도포되어야 할 부분이 아닌 부분에 떨어지는 문제가 발생할 수 있다.
따라서, 대기 상태에서 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 방지하기 위해, 도 5에 도시된 바와 같이, 직선 이동 유닛(90)의 작동에 의해 이송 스크류(73)가 실린더(72)에 대하여 미세하게 상승한다. 즉, 직선 이동 유닛(90)의 작동에 의해 이송 스크류(73)가 노즐(70)의 토출구(71)로부터 멀어지는 방향으로 직선 이동된다.
이송 스크류(73)가 상승함에 따라, 노즐(70)의 내부에 수용된 페이스트(P)의 점성 및/또는 노즐(70)의 내부에 작용되는 부압에 의해 노즐(70)의 토출구(71)에 맺혀있던 페이스트(P)가 노즐(70)의 내부로 끌어당겨진다. 따라서, 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 방지하여, 상기한 바와 같은 문제를 방지할 수 있다.
한편, 이송 스크류(73)를 실린더(72)에 대하여 미세하게 상승시켜 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 방지하는 방법은, 시린지(62) 내의 부압을 조절하여 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 방지하는 방법을 대체하거나 이와 함께 수행될 수 있다. 이 두 가지 방법을 함께 수행하는 경우에는, 노즐(70)의 토출구(71)에 맺혀있는 페이스트(P)를 더욱 확실하게 노즐(70) 내부로 끌어당길 수 있으므로, 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 노즐(70)의 토출구(71)에 맺혀있는 페이스트(P)를 노즐(70) 내부로 끌어당기는 방법으로, 페이스트를 외부로 토출하기 위해 이송 스크류(73)가 회전되는 방향과 반대방향으로 이송 스크류(73)를 역회전시키는 방법이 고려될 수 있다. 그리고, 실린더(72)에 대하여 미세하게 상승시켜 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 방지하는 방법은, 이송 스크류(73)를 역회전시켜 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 방지하는 방법을 대체하거나 이와 함께 수행될 수 있다. 이 두 가지 방법을 함께 수행하는 경우에는, 노즐(70)의 토출구(71)에 맺혀있는 페이스트(P)를 더욱 확실하게 노즐(70) 내부로 끌어당길 수 있으므로, 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 실린더(72)에 대하여 미세하게 상승시켜 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 방지하는 방법은, 시린지(62) 내의 부압을 조절하여 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 방지하는 방법 및 이송 스크류(73)를 역회전시켜 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 방지하는 방법과 함께 수행될 수 있다. 이 세 가지 방법을 함께 수행하는 경우에는, 노즐(70)의 토출구(71)에 맺혀있는 페이스트(P)를 더욱 확실하게 노즐(70) 내부로 끌어당길 수 있으므로, 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
한편, 페이스트 디스펜서에 새로운 기판이 반입되고, 기판에 페이스트를 도포하는 동작이 개시될 때, 직선 이동 유닛(90)의 작동에 의해 이송 스크류(73)가 실린더(72)에 대하여 미세하게 하강한다. 즉, 직선 이동 유닛(90)의 작동에 의해 이송 스크류(73)가 노즐(70)의 토출구(71)를 향하여 직선 이동된다. 이에 따라, 이송 스크류(73)는 페이스트를 토출하기 위한 위치로 복귀되며, 이후 또는 이와 동시에, 기판에 페이스트를 도포하는 동작이 개시된다.
본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서에 따르면, 노즐(70)로부터 페이스트가 토출되지 않는 대기 상태에서 이송 스크류(73)를 실린더(72)에 대하여 미세하게 직선 이동시킴으로써, 노즐(70)의 토출구(71)에 페이스트(P)가 맺히는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
60: 디스펜싱 헤드유닛
70: 노즐
80: 노즐 구동 유닛
90: 직선 이동 유닛

Claims (5)

  1. 기판의 상부에서 수평방향으로 이동 가능하게 설치되는 디스펜싱 헤드유닛;
    상기 디스펜싱 헤드유닛에 설치되며, 페이스트가 토출되는 토출구를 갖는 실린더와, 상기 실린더 내에서 회전 가능하게 설치되어 회전되면서 페이스트를 상기 토출구를 통하여 토출시키는 이송 스크류를 포함하는 노즐; 및
    상기 이송 스크류를 상기 실린더에 대하여 직선 이동시키는 직선 이동 유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 직선 이동 유닛은, 상기 실린더에 설치되는 제1 부재와, 상기 이송 스크류에서 상기 제1 부재에 대응되게 설치되어 상기 제1 부재와 전자기적 상호작용을 하는 제2 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 실린더와 연결되며 상기 실린더로 공급될 페이스트를 수용하는 시린지; 및
    상기 시린지와 연결되어 상기 시린지 내의 압력을 조절하는 압력 조절 유닛을 더 포함하고,
    상기 이송 스크류가 상기 토출구로부터 멀어지는 방향으로 이동될 때, 상기 압력 조절 유닛은 상기 시린지 내에 부압을 작용시키는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송 스크류와 연결되어 상기 이송 스크류를 회전시키는 노즐 구동 유닛을 더 포함하고,
    상기 이송 스크류가 상기 토출구로부터 멀어지는 방향으로 이동될 때, 상기 노즐 구동 유닛은, 페이스트를 토출시키기 위해 상기 이송 스크류가 회전되는 방향과 반대방향으로 상기 이송 스크류를 회전시키는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 노즐 구동 유닛은, 구동력을 발생시키는 구동 모터와, 상기 구동 모터를 상기 이송 스크류에 연결시키는 연결 링크를 포함하며,
    상기 연결 링크는 상기 이송 스크류와 연결되는 제1 링크부와, 상기 구동 모터의 구동축에 연결되는 제2 링크부와, 상기 제1 링크부 및 상기 제2 링크부 사이에서 상기 제1 링크부 및 상기 제2 링크부에 각각 회전 가능하게 연결되는 조인트부를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.
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