KR20170070237A - High volume conveyor transport for clean environments - Google Patents

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KR20170070237A
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조지 더블유. 호른
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미들섹스 제네랄 인더스트리즈, 이이앤씨
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Abstract

깨끗한 환경들에서의 사용을 위한 세그먼트형, 벨트-구동되는 컨베이어 시스템이 설명된다. 가공물 운반체들의 고속, 고밀도, 충돌 없는 스루풋(throughput)은 동시-회전 드라이브 휠들을 각각 가지는 벨트-구동되는 컨베이어 세그먼트들을 통해 가능하게 된다. 드라이브 휠들은 원통형 프로파일을 가진다. 미리규정된 가속/감속 프로파일들은 각각의 드라이브 세그먼트에 걸쳐 가공물 운반체에서의 최적의 변화들에 영향을 주기 위해 모터 제어기에 의해 이용될 수 있다.A segmented, belt-driven conveyor system for use in clean environments is described. High-speed, high-density, collision-free throughput of workpiece carriers is made possible through belt-driven conveyor segments each having co-rotating drive wheels. The drive wheels have a cylindrical profile. The predefined acceleration / deceleration profiles can be used by the motor controller to affect optimal changes in the workpiece carrier over each drive segment.

Figure P1020177013870
Figure P1020177013870

Description

깨끗한 환경들을 위한 대량의 컨베이어 이송 장치 {HIGH VOLUME CONVEYOR TRANSPORT FOR CLEAN ENVIRONMENTS}[0001] HIGH VOLUME CONVEYOR TRANSPORT FOR CLEAN ENVIRONMENT [0002]

본 발명은 깨끗한 환경들을 위한 대량의 컨베이어 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a large number of conveyor transfer devices for clean environments.

많은 제조 공장 환경들은, 선형으로 배열된 조립 라인을 따라 로케이팅된 순차적 공구들과는 대조되는 바와 같이, 공간적으로 분포된 프로세싱 공구들로 구성된다. 이는 작업 진행중인 프로세스 나 "작업 엔티티"가 다른 도구로 처리 된 후에 다시 입력하는 제조 환경에서 특히 그렇다. 동일한 도구로 재진입하면 도구의 중복을 피할 수 있습니다. 이는 도구의 자본 비용이 높은 환경에서 특히 중요합니다.Many manufacturing plant environments consist of spatially distributed processing tools, as opposed to sequential tools located along a linearly arranged assembly line. This is especially true in the production environment where work in process or "work entities" are re-entered after being processed by other tools. Re-entry with the same tool avoids duplication of tools. This is especially important in environments where the capital cost of the tool is high.

반도체 제조 환경은 높은 공구 비용으로 인해 작업 회사가 주어진 공구 또는 공구 유형을 여러 번 입력하는 환경의 한 예입니다. 반도체 제조 환경의 공정 툴은 일반적으로 기능에 따라 공장에서 공간적으로 분배됩니다. 따라서 작업 흐름은 작업 항목의 혼란스러운 움직임과 유사합니다. 동시에 여러 작업 항목을 조작하고 여러 도구간에 이동하면 각 작업 흐름이 교차합니다.The semiconductor manufacturing environment is an example of an environment in which a worker enters a given tool or tool type multiple times due to high tool costs. Process tools in the semiconductor manufacturing environment are typically spatially distributed at the factory, depending on the function. Therefore, the workflow is similar to the confusing movement of work items. Manipulating multiple work items at the same time and moving them across multiple tools crosses each workflow.

현대 공장에서는 많은 수의 제조 단계와 관련 도구를 통해 여러 작업 항목의 진행이 전송 네트워크를 통해 이루어집니다. 공장 도구의 사용을 극대화하고 제품 생산량을 극대화하기 위해 필요한 여러 작업 항목을 동시에 처리하면 매우 복잡한 물류가 발생합니다. 따라서 작업물 이동에서 높은 효율과 조정이 필요합니다. 신속하고 실시간으로 응답 할 수있는 효율적인 운송 네트워크가 없으면 일부 프로세스 도구에서 유입 또는 유출되는 작업 흐름의 병목 현상 (흐름 밀도)이 발생할 수 있으며 다른 프로세스 도구는 작동하지 않습니다. 따라서 이러한 효율적인 운송 네트워크는 높은 운송 용량, 고속 및 비동기 기능을 갖추어야하며 이로써 작업 운반체가 서로 독립적으로 이동할 수 있습니다. 운송 인프라는 이러한 효율적인 물류를 가능하게 하는 기술입니다.In modern factories, a number of manufacturing steps and related tools enable the progression of several work items via the transport network. Simultaneous processing of multiple work items required to maximize the use of plant tools and maximize product yields results in very complex logistics. This requires high efficiency and coordination in the workpiece movement. Without an efficient transportation network that can respond quickly and in real time, some process tools can introduce bottlenecks (flow density) of workflows flowing in or out, and other process tools will not work. Therefore, these efficient transportation networks must have high transport capacity, high speed and asynchronous functions, which allows the carriers to move independently of each other. Transportation infrastructure is a technology that enables such efficient logistics.

운송 인프라는 이러한 효율적인 물류를 가능하게하는 기술입니다. 반도체 제조 환경 내에서와 같이 반복적 인 프로세스 흐름 환경에서 최대 수백 개의 개별 프로세스 도구를 동시에 사용하려면 올바른 작업을 수행 할 수있는 물류 네트워크가 필요합니다 엔티티를 적절한시기에 도구 각각에 추가합니다. 각 공정 툴의 활용도가 높을수록 공장 생산량이 높아지고 동시에 비즈니스 자본 효율성이 향상됩니다.Transportation infrastructure is a technology that enables such efficient logistics. To use up to hundreds of individual process tools concurrently in a recursive process flow environment, such as within a semiconductor manufacturing environment, you need a logistics network that can do the right things. Add entities to each of the tools at the right time. The higher the utilization of each process tool, the higher the plant output and the better the business capital efficiency.

컨베이어 시스템은 현대식 공장 환경에서 사용되는 운송 시스템의 한 유형입니다. 컨베이어 네트워크는 수백 개의 움직이는 작업 운반체가 여러 도구에 동시에 파견하여 공유 할 수 있습니다. 공급 능력은 유량 밀도 및 컨베이어 속도에 따라 달라집니다. 그러나 흐름 밀도 및 속도는 컨베이어 시스템 내의 작업 엔티티와 미립자가없는 환경 간의 충돌에 대한 제로 허용 오차의 추가 요구 사항에 의해 제한됩니다. 따라서 위의 요구 사항간에 충돌이 발생합니다.Conveyor systems are a type of transportation system used in modern factory environments. Conveyor networks allow hundreds of moving work vehicles to be dispatched to multiple tools simultaneously for sharing. Supply capacity depends on flow density and conveyor speed. However, flow density and velocity are limited by the additional requirement of zero tolerance for collisions between working entities in the conveyor system and non-particulate environments. Therefore, there is a conflict between the above requirements.

컨베이어 네트워크에는 일반적으로 공장의 여러 위치에 교차점, 노드 및 분기가 있습니다. 작업 처리 위치에서 열린 컨베이어 끝은 컨베이어 전송 도메인의 입력 및 출력 포트입니다. 이 포트에서 작업 엔티티는 컨베이어 도메인으로 들어가고 나간다. 종래 기술에서 작업 실체가 이들 포트 중 하나로부터 다른 포트로 이동할 필요가있을 때, 충돌 회피 요구를 만족시키기 위해 통과를 위해 경로를 클리어 할 필요가 있었다. 일반적으로 외부 또는 중앙 집중화 된 파견 소프트웨어는 문제의 작업 실체를 방해하는 다른 모든 작업 실체의 이동을 동시에 제어하여 이러한 통과를 조정합니다. 이 디스패치 소프트웨어는 전술 한 처리량 요구 사항으로 인해 복잡합니다. 작업 엔티티는 충돌없이 서로 동시에 최대 속도로 이동해야 한다.Conveyor networks typically have intersections, nodes, and branches at various locations in the factory. The conveyor end open at the job processing location is the input and output ports of the conveyor transport domain. On this port, the working entity enters and exits the conveyor domain. In the prior art, when a work entity needed to move from one of these ports to another, it was necessary to clear the path for the pass to satisfy the collision avoidance requirement. In general, external or centralized dispatching software coordinates these traversals by simultaneously controlling the movement of all other work entities that interfere with the worker in question. This dispatch software is complicated by the throughput requirements described above. Work entities must move at full speed at the same time without collision.

고밀도 제조 환경에서의 고도로 복잡한 제어에 대한 도전 외에도, 컨베이어 시스템에 의한 미립자 생성은 클린 룸 환경에서 큰 관심사입니다 따라서, 그러한 환경에서의 운송 시스템의 효율성은 오염의 기회에 비중을 두어야한다.In addition to the challenge of highly sophisticated control in high-density manufacturing environments, the generation of particulates by the conveyor system is of great concern in clean room environments. Therefore, the efficiency of the transportation system in such an environment must place a greater emphasis on pollution opportunities.

전통적인 롤러 컨베이어는 미립자 발생량이 극히 적습니다. 그러나, 이러한 장치는 정지 된 상태로부터 운반되는 물품 또는 운반기 (일반적으로 본 명세서에서는 단순히 "운반 장치"라고 함)의 높은 가속을 달성 할 수 없었다. 이것은 구동 롤러에 사용할 수있는 토크가 부족하기 때문이 아니라 높은 시동 토크가 적용될 때 롤러 휠이 미끄러지고 삐걱거리는 경우가 있기 때문입니다. 이것은 멈출 때 너무 빨리 가속 할 때 자동 타이어가 삐걱거리는 것과 비슷합니다.Conventional roller conveyors generate very little particulate matter. However, such a device has not been able to achieve high acceleration of an article or transporter (generally referred to herein simply as "carrier") carried from a stationary state. This is not because of the lack of torque available on the drive roller, but because the roller wheel slips and squeaks when high starting torque is applied. This is similar to the automatic tire creaking when accelerating too fast when stopped.

특정 실시 예에서, 히스테리시스 클러치는 실시 예에 따라 운반체 또는 드라이브 사이의 슬립을 제거하기 위해 동기 또는 스테퍼 모터 구동 롤러 또는 휠과 관련하여 이용되었다. 히스테리시스 클러치는 비동기 소프트 버퍼링을 지원합니다. 이는 서로 독립적으로 운반체를 이동하고 원활하게 시작하고 중지하는 프로세스입니다. 그러나 미끄럼을 방지하는 데 성공하는 동안 히스테리시스 클러치는 여러 g 범위를 포함하여 높은 가속도를 달성하기 어려울 수 있습니다. 스루풋(throughput)을 증가시키고 운반체가 충돌하지 않아야하는 소프트 버퍼 처리 된 컨베이어에서 이동하는 운반체의 밀도를 높이려면 매우 빠른 가속과 감속이 필요합니다. 운반체가 비동기 적으로 움직이기 때문에, 업스트림 운반체와의 간섭을 최소화하기 위해 고속으로 시작할뿐만 아니라 컨베이어 환경에서 밀도를 높이기 위해 다운 스트림 운반체와의 충돌을 빨리 멈추고 중지해야합니다. 바람직하게는, 시작 및 정지는 운반체보다 약간 큰 라인 세그먼트 내에서 발생해야한다.In certain embodiments, the hysteresis clutch has been used in connection with a synchronous or stepper motor drive roller or wheel to eliminate slippage between the carrier or drive, according to embodiments. The hysteretic clutch supports asynchronous soft buffering. This is the process of moving the carriers independently and starting and stopping smoothly. However, while successful in preventing slippage, the hysteresis clutch can be difficult to achieve high acceleration, including multiple g ranges. Very fast acceleration and deceleration are required to increase the density of the moving carrier on a soft buffered conveyor that increases throughput and the carrier must not collide. As the carrier moves asynchronously, it must not only start at high speed to minimize interference with the upstream carrier, but also quickly stop and stop collisions with downstream carriers to increase density in the conveyor environment. Preferably, the start and stop should occur within a line segment that is slightly larger than the carrier.

물리학의 원리는 물체를 표면에서 움직이는 데 필요한 마찰력은 수직력과 재료의 마찰 계수에 달려 있다고 규정합니다. 다시 말해, 이는 접촉 영역과 관계 없다. 그러나 압축 재료의 경우 표면 접촉을 선택적으로 증가시켜 마찰력을 높일 수 있습니다. 이 실현의 결과는 운반체와 접촉하는 고무 구동 표면을 갖는 휠 대신에 운반체 운송을위한 벨트의 증가 된 사용이었습니다. 이 표면적 접촉의 증가는 사실상 구동면과 구동면 사이의 마찰력을 증가 시켰습니다.The principle of physics stipulates that the friction required to move an object on a surface depends on its normal force and the coefficient of friction of the material. In other words, it is irrelevant to the contact area. In the case of compressed materials, however, surface contact can be selectively increased to increase friction. The result of this realization was the increased use of belts for transporting carriers instead of wheels with rubber-driven surfaces in contact with the carrier. This increase in surface contact has in fact increased the frictional force between the drive and drive surfaces.

불행히도, 단순히 각각의 휠 세트에 구동 벨트를 배치하는 것은, 특히 구동 및 아이들러 휠을 단독으로 사용함으로써 발생하는 것과 관련하여 미립자 발생의 관점에서 청결하지 못하다. 벨트의 미립자 화는 주로 벨트와 벨트 아래의 휠, 즉 운반체의 중량을지지하는 휠과의 상호 작용에 기인한다. 미립자 발생원에 대한 이전의 연구에 따르면 많은 경우 벨트가 바퀴, 각 축 및/또는 바퀴를 지지하는 레일의 기계 공차 때문에 벨트가 그 아래의 바퀴와 연속적으로 완전하게 접촉하지 못했습니다. 예를 들어, 일부 보조 바퀴 바퀴는 상부 벨트와 일정하게 접촉하여 벨트와 함께 회전하는 동안 벨트가 벨트를 만진 시점에 따라 시작 및 정지하는 것으로 나타났습니다. 후자의 접촉은 우연히 마찰적으로 유도 된 스핀 업과지지 아이들러 휠의 정지를 가져왔다. 이 효과는 운반체가 벨트 컨베이어의 각 부분 위에 있는지 여부에 따라 때로는 달라집니다.Unfortunately, simply placing the drive belt on each wheel set is not clean in terms of particulate generation, especially with regard to what occurs by driving and using the idler wheel alone. The atomization of the belt is mainly due to the interaction of the belt with the wheel beneath the belt, i.e. the wheel supporting the weight of the carrier. Previous studies of the sources of particulates have shown that in many cases the belt was unable to make complete contact with the wheels beneath it continuously due to the mechanical tolerances of the wheels, the axles and / or the rails supporting the wheels. For example, some auxiliary wheel wheels have constant contact with the upper belt and have been shown to start and stop as the belt touched the belt while rotating with the belt. The latter contact inadvertently resulted in frictionally induced spin up and suspension of the supporting idler wheel. This effect will sometimes vary depending on whether the carrier is on each part of the belt conveyor.

아이들러 휠을 포함하는 각각의 컨베이어 섹션에서 벨트와 모든 휠 사이에 연속적인 접촉을 부여하기 위해, 벨트는 두 개의 아이들러 휠과 같은 휠 사이의 구불 구불 한 경로로 그리고 나서 다음 하에서 아래로 직조되도록 제안되었다. 벨트와 각 휠 사이의 접촉을 유지하는 데 성공한 결과, 모터 토크가 증가되었으며, 이로 인해 증가 된 전류 및 작동 비용이 필요했습니다.To provide continuous contact between the belt and all the wheels in each conveyor section, including the idler wheel, the belt was proposed to weave in a serpentine path between the wheels, such as two idler wheels, and then down . Success in maintaining contact between the belt and each wheel has resulted in increased motor torque, which in turn has required increased current and operating costs.

클린 룸 환경에서 사용하기 위해 고밀도, 신속, 유연, 비동기 작업 엔티티 전송, 높은 전달 용량, 작업 엔티티 충돌 방지 및 미립자 화를 초래하는 최적화 된 전송 솔루션이 필요합니다.For use in cleanroom environments, there is a need for optimized transport solutions that result in high density, fast, flexible, asynchronous work entity transmission, high delivery capacity, work entity collision avoidance and atomization.

고속 가공물 이송의 필요성과 가공물 충돌의 회피와 처리량 증가 사이의 본질적인 모순을 해결하기 위해, 일 실시 예에 따른 인프라 구조 컨베이어 라인은 각각이 작업 물의 길이와 유사한 길이를 갖는 세그먼트로 분할된다 엔티티 또는 가공물 운반체. 가공물 운반체가 이미 다른 가공물 운반체에 의해 점유 된 경우 컨베이어 세그먼트에 진입 할 수 없습니다. 이러한 충돌 회피는 컨베이어 요소에 내장되어 자율적이며, 종래 기술에서 실시 된 집중 제어 모델과는 다른 접근법 인 파견 된 가공물 운반체의 자연스럽고 독립적 인 흐름을 허용한다. 선행 기술의 더 긴 컨베이어 런을 개별 세그먼트로 분할하고 세그먼트 사이에서 이동하는 가공물 운반체의 지능적이고 로컬 제어를 가능하게함으로써, 파견 된 작업 운반체에 대한 전체 컨베이어 라인 런을 예약하는 용량 제한 절차가 회피된다.In order to address the inherent contradiction between the need for high speed workpiece transfer and avoiding workpiece collision and increasing throughput, the infrastructure conveyor line according to an embodiment is divided into segments each having a length similar to the length of the workpiece. . If the workpiece carrier is already occupied by another workpiece carrier, it can not enter the conveyor segment. This collision avoidance is inherent in the conveyor element and allows a natural and independent flow of dispatched workpiece carriers, which is an approach that is autonomous and different from the centralized control model embodied in the prior art. The capacity limitation procedure of reserving the entire conveyor line run for the dispatched work carrier is avoided by dividing the longer conveyor run of the prior art into individual segments and enabling intelligent and local control of the workpiece carrier moving between the segments.

가공물 운반체는 높은 유량 밀도로 자율적으로 포트에서 포트로 보낼 수 있습니다. 지역화 된 세그먼트 기반 감지 및 컨베이어 제어를 사용하면 통신 사업자는 필요한 경우 인접 세그먼트를 점유 할 수 있으며 선착순, 최초 게재 또는 "자연스러운"기준으로 노드를 통과 할 수 있습니다.The workpiece carrier can autonomously route from port to port with high flow density. With localized segment-based sensing and conveyor control, operators can occupy adjacent segments as needed and can pass through nodes on a first-come, first-served, or "natural" basis.

연속적인 컨베이어 세그먼트에서 얼마나 가까운 가공물 운반체가 될 수 있는지, "스태킹"이라고하는 개념은 가공물 운반체 이동 속도, 즉 컨베이어 속도에 부분적으로 의존합니다. 선행 기술에서, 다른 작업 편 운반체에 의해 이미 점유 된 구역으로의 작업 물 운반체의 진입에 대한 금지는 충돌을 회피하기위한 충분한 정지 거리를 확보하기 위해 이동하는 운반체의 넓은 간격을 요구했다. 속도가 높을수록 정지 거리가 길어 져서 유동 밀도가 낮아집니다. 종래 기술에서 멈춤 (또는 시작) 거리에 대한 제한은 미립자가없는 컨베이어상에서 작업 물 운반체를 구동하기 위해 롤러를 사용함에 따른 결과이다. 그러나 이러한 롤러는 이전에는 깨끗하고 미립자가 자유로운 운동을 달성하는 유일한 수단으로 생각되었습니다. 깨끗한 이송을 위해 롤러 컨베이어는 하류의 고정 된 작업 물 운반체와의 충돌을 피하기 위해 갑작스러운 정지가 필요할 때 롤러에서 작업 물 운반체가 미끄러지는 것을 피하기 위해 적당한 이송 속도를 사용했습니다. 따라서 작업 물 운반체와 구동 컨베이어 롤러 사이의 제한된 접촉면의 물리적 특성은 적당한 속도를 필요로했습니다.How close a workpiece carrier can be in a continuous conveyor segment, the concept of "stacking" depends in part on the speed of conveying the workpiece carrier, ie the conveyor speed. In the prior art, the prohibition on the entry of work carriers into areas already occupied by other work carriers required a large spacing of moving carriers to ensure sufficient stopping distance to avoid collisions. The higher the speed, the longer the stopping distance and the lower the flow density. The limitation to the stop (or start) distance in the prior art is the result of using the rollers to drive the workpiece carrier on a particulate free conveyor. However, these rollers were once thought to be the only means of achieving clean, particulate-free motion. For clean transport, the roller conveyor used an appropriate feed rate to avoid the workpiece carrier slipping on the rollers when sudden stoppage is needed to avoid collision with the downstream fixed workpiece carrier. Thus, the physical properties of the limited contact surface between the workpiece carrier and the drive conveyor roller required moderate speed.

탄성 표면 접촉들에 의해, 마찰력은 표면 접촉을 증가시킴에 따라 증가한다. 따라서, 컨베이어 구동부와 가공물 운반체 사이의 구동면 접촉을 증가시키기 위해, 다양한 실시 예에서 컨베이어의 휠 또는 롤러 중 일부는 높은 마찰 계수의 벨트로 보충된다. 그러나, 작업 편 운반체와 분할 된 컨베이어 사이의 마찰 결합을 향상시키면서, 벨트의 도입은 전술 한 바와 같이 특히 아이들러 휠에 대해 새로운 미립자 소스를 도입 할 수있다. 여기에 설명 된 개발을 통해 이러한 어려움을 극복하고 깨끗한 제조 환경에서 높은 속도의 가공물 운반체 가속 및 감속을 제공하는 고속, 벨트 식, 로컬 제어 세그먼트 컨베이어의 도입을 허용합니다. 고속에서의 높은 유동 밀도가 따라서 초래된다.By the elastic surface contacts, the frictional force increases with increasing surface contact. Thus, in order to increase the drive surface contact between the conveyor drive and the workpiece carrier, in some embodiments, some of the wheels or rollers of the conveyor are supplemented with high friction coefficient belts. However, while improving the frictional engagement between the workpiece carrier and the divided conveyor, the introduction of the belt can introduce a new particulate source, especially to the idler wheel as described above. The developments described here allow for the introduction of high-speed, belt-type, locally controlled segment conveyors that overcome these difficulties and provide high-speed workpiece carrier acceleration and deceleration in a clean manufacturing environment. High flow densities at high speeds thus result.

속도가 높고 정지 및 시작 거리가 짧아야하는 경우 오염 물질을 생성 할 수있는 조건 인 벨트의 미끄러짐을 피하기 위해 작업 물 운반체의 가속 및 감속 비율을 제한해야합니다. 제한된 속도의 가속 및 감속을 통한 이전의 미립자 제어는 컨베이어 세그먼트 드라이브 휠 또는 롤러와 함께 자기 히스테리시스 클러치를 사용하여 달성되었습니다. 클러치는 구동 롤러 토크의 제한 장치로 작용하며 급격한 시동 가속 또는 고속 모터의 급속 정지로 인해 컨베이어와 가공물 운반체 사이의 마찰력이 초과 될 때 해제되도록 설정할 수 있습니다. 이러한 클러치의 적용은 최대 관성 값을 초과하지 않으면 서 피 가공물 운반체의 질량 및 속도가 가변적 일 수 있도록한다 (예를 들어, 가공물 운반체 대 가공물 운반체 사이의 중량 차이).If the speed is high and the stop and start distances must be short, the rate of acceleration and deceleration of the work carrier must be limited to avoid slippage of the belt, which is a condition that can create contaminants. Previous particle control through limited speeds of acceleration and deceleration has been achieved using magnetic hysteresis clutches with conveyor segment drive wheels or rollers. The clutch acts as a limiting device for the drive roller torque and can be set to release when the friction between the conveyor and the workpiece carrier is exceeded due to rapid start acceleration or rapid stop of the high speed motor. The application of this clutch allows the mass and speed of the workpiece carrier to be variable (e.g., the weight difference between the workpiece carrier and the workpiece carrier) without exceeding the maximum inertia value.

그러나, 컨베이어 구동 벨트와 가공물 운반체 사이의 탄성 표면 접촉의 사용은 개선 된 마찰 결합을 제공하여, 마찰력을 제한하기위한 클러치 기반 기술의 필요성을 제거한다는 것이 밝혀졌다. 로컬 세그먼트 제어기에 프로그래밍 된 더 높은 가속 및 감속 비율을 사용하여 충돌을 피하면서 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 이러한 모터 제어는 서보 동작을 통해 또는 가속 또는 감속의 개방 루프 스테퍼 모터 속도를 사전 정의하고 제한함으로써 달성 할 수 있습니다. 따라서 미립자가없는 깨끗한 제조 환경에서, 개방 루프 스테퍼 모터 또는 가속 및 감속이 제어 된 서보 모터에 의해 구동되는 벨트가 달린 세그먼트 컨베이어는 고밀도 및 고속에서 작업 운반체의 충돌없는 흐름을 초래합니다 결과적으로 컨베이어 처리량이 증가합니다.However, it has been found that the use of elastic surface contact between the conveyor drive belt and the workpiece carrier provides improved friction engagement, eliminating the need for clutch-based technology to limit frictional forces. You can use higher acceleration and deceleration ratios programmed in the local segment controller to improve throughput while avoiding collisions. This motor control can be achieved through servo operation or by predefining and limiting the open loop stepper motor speed of acceleration or deceleration. Therefore, in a clean manufacturing environment without particulates, belt driven segment conveyors driven by open loop stepper motors or servo motors with controlled acceleration and deceleration result in collision-free flow of the working carrier at high density and high speed. As a result, conveyor throughput Increase.

하나의 특정 비 제한적인 실시 예에서, 구동 벨트와 각각의 컨베이어 섹션 내의 바퀴 및 특히 아이들러 휠 사이의 개선 된 접촉을 달성하기 위해, 주변 홈이 벨트 아래에 배치 된 각 휠에 형성된다. 부드럽고 유연한 재료 링이 그루브에 배치된다. 링은 아이들러 휠의 크라운을 약간 넘어서 돌출합니다. In one specific non-limiting embodiment, peripheral grooves are formed in each wheel disposed beneath the belt to achieve improved contact between the drive belt and the wheels in the respective conveyor sections, and in particular the idler wheel. A soft and flexible material ring is placed in the groove. The ring projects slightly beyond the crown of the idler wheel.

플리 언스 링의 약간의 돌출은 평탄하지 않은 아이들러 휠 위를 지나갈 때 구동 벨트와의 접촉 신뢰성을 향상시킨다. 아이들러 휠은 항상 구동 벨트와 함께 작동합니다. 따라서, 전술 한 사문석 벨트의 실시 예와 비교하여, 미세화가 현저히 감소되고 구동 모터 토크 요건도 감소된다.A slight protrusion of the fliers ring improves the reliability of contact with the drive belt as it passes over the uneven idler wheel. Idler wheels always work with drive belts. Thus, compared with the serpentine belt embodiment described above, the miniaturization is significantly reduced and the drive motor torque requirements are also reduced.

각각의 잘 휘는 링은 운반체에 의해 언로드 될 때 상부의 벨트와 일정한 접촉을 달성하도록 구성된다. 반송되는 운반체 또는 다른 물품이 각각의 휠에 인접하거나 또는 위에있을 때, 플리 어스 링은 압축되고 벨트는 상대적으로 경질 인 휠 크라운 또는 그 자체와 접촉하여 벨트와 휠 사이의 접촉 영역을 증가시킨다. 따라서, 플라이 언트 링 재료 및 휠 크라운 위의 돌출 정도는로드 될 때 휠 크라운과 벨트 사이의 언 로딩 및 직접 접촉시 플라이 언트 링과 벨트 사이의 고도의 벨트 접촉을 달성하도록 선택된다. 운반체의 급 가속 및 감속은 요구되는 토크의 정도가 상대적으로 낮고 미립자가 최소화 된 상태에서 이루어집니다.Each well-bending ring is configured to achieve constant contact with the upper belt as it is unloaded by the carrier. When the carrier or other article being conveyed is adjacent or on each wheel, the plore ring is compressed and the belt contacts the relatively rigid wheel crown or itself to increase the contact area between the belt and the wheel. Thus, the degree of projection on the fly-ring material and the wheel crown is selected to achieve a high degree of belt contact between the fly-ring and the belt when unloading and direct contact between the wheel crown and the belt when loaded. Rapid acceleration and deceleration of the carrier is carried out with the required torque level being relatively low and particulates being minimized.

또 다른 실시 예는 벨트와 아이들러 휠 사이의 관절의 감소를 제공한다. 인터페이스에서 높은 마찰 계수 및 연성 재료 (상대 속도의 동기화를 보장하는 링과 같은)를 사용하는 대신에,이 비 제한적인 실시 예는 나일론과 같은 낮은 마찰 계수 및 하드 아이들러 휠 재료를 이용하고, 동기화 된 속도의 부족을 무시한다. 이 실시 예에서, 아이들러 휠은 센터링 크라운을 갖는 벨트 루프의 두 단부에있는 것을 제외하고 원통형이다. 벨트는 모든 아이들러 및 드라이브에 걸쳐 탄력적으로 늘어날 수 있습니다 (추가적인 인장 휠 필요 없음).Another embodiment provides a reduction of joints between the belt and the idler wheel. Instead of using a high friction coefficient at the interface and a soft material (such as a ring to ensure synchronization of relative speed), this non-limiting embodiment utilizes a low coefficient of friction and hard idler wheel material, such as nylon, Ignore the lack of speed. In this embodiment, the idler wheel is cylindrical, except at the two ends of the belt loop having the centering crowns. The belt can be flexibly stretched across all idlers and drives (no additional tension wheel required).

도 1은 지지 레일 프레임으로부터 배치되는 본 발명에 따른 휠(wheel)에 대한 단면도이다;
도 2는 도 1의 휠에 대한 상세도이다;
도 3은 왕관 형상을 추가적으로 예시하는 엔드 아이들러 휠에 대한 단면도이다;
도 4는 도 3의 휠에 대한 상세도이다;
도 5는 본 발명에 따른 드라이브 벨트, 적어도 하나의 드라이브 휠, 및 복수의 아이들러 휠들이 예시되는 컨베이어 드라이브 세그먼트에 대한 사시도이다;
도 6은 하중을 받는 컨디션들 하에서 도 3의 휠에 대한 상세도이다;
도 7은 반대편 단부들 상에 평면형 돌출부들을 가지는 도 5에서 도시되는 드라이브 샤프트의 일 단부에 대한 평면도이다;
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 드라이브 휠에 대한 측면 사시도이다;
도 9는 다른 실시예에 따른 원통형 휠에 대한 상세도이다;
도 10은 탄성 벨트를 갖는 도 9의 원통형 아이들러 휠에 대한 상세도이다;
도 11은 추가적인 실시예에 따른 휠에 대한 상세도이다;
도 12는 실시예에 따른 컨베이어 라인에 대한 블록 선도이며; 그리고
도 13은 일 실시예에 따른 국부 제어기를 위한 로직에 대한 흐름도이다.
1 is a sectional view of a wheel according to the present invention disposed from a support rail frame;
Figure 2 is a detail view of the wheel of Figure 1;
3 is a cross-sectional view of an end idler wheel further illustrating a crown shape;
Figure 4 is a detail view of the wheel of Figure 3;
Figure 5 is a perspective view of a conveyor drive segment in which a drive belt, at least one drive wheel, and a plurality of idler wheels are illustrated in accordance with the present invention;
Figure 6 is a detail view of the wheel of Figure 3 under conditions subject to a load;
7 is a plan view of one end of the drive shaft shown in Fig. 5 with planar protrusions on opposite ends; Fig.
8 is a side perspective view of a drive wheel according to an embodiment of the present invention;
9 is a detailed view of a cylindrical wheel according to another embodiment;
Figure 10 is a detail view of the cylindrical idler wheel of Figure 9 with an elastic belt;
Figure 11 is a detail view of a wheel according to a further embodiment;
12 is a block diagram of a conveyor line according to an embodiment; And
13 is a flow diagram for logic for a local controller in accordance with one embodiment.

이러한 특허 출원은 2013년 10월 22일자로 출원된 미국 가특허 출원 제 61/894,079호의 우선권의 이익을 주장하는 2014년 10월 22일자로 출원된 미국 특허 출원 제 14/520,977호의 일부 계속 출원이며, 그 개시들의 내용은 그 전체가 본원에 참고로 포함된다.This patent application is a continuation-in-part of U.S. Patent Application No. 14 / 520,977, filed October 22, 2014, which claims the benefit of United States Patent Application Serial No. 61 / 894,079, filed October 22, The disclosures of which are incorporated herein by reference in their entirety.

도 1은 지지 레일 프레임(20)에 대해 배치되는 아이들러 휠 허브(10)를 예시한다. 휠 허브(또한 간단히 "휠"로서 본원에서 지칭됨)는 미립화(particulation)에 저항이 있는 경질, 탄성 재료, 예컨대 폴리우레탄으로 형성될 수 있다. 휠(10)의 바람직한 일 실시예는, 주조 후에 요망되는 형상 및 크기로 기계가공된 75 쇼어 D 캐스트(75 Shore D cast) 정전 방전(electrostatic discharge)(ESD) 폴리우레탄 로드들을 이용한다. 대안적으로, 67D 폴리에스테르-타입 열가소성 폴리우레탄(TPU), 예컨대 ESTANE(Lubrizol Advanced Materials, Inc., Cleveland, OH의 TM) 58137 TPU. 예시된 실시예에서, 휠은 실질적으로 원통형이지만, 도 2에서 더 명백하게 알 수 있는 바와 같이, 각각의 차축(18) 내에서 중심에 있는 대칭축(24)에 대해 경사진 외측 주변부를 가진다. 특별히, 전방 에지(11) 또는 후방 에지(13)에서의 휠의 반경은 휠의 중간부에 대해 가까이에서 측정되는 반경보다 더 작다. 반경의 이러한 차이는 직선 또는 곡선일 수 있으며, 이러한 차이는 도면들에서 예시된다.1 illustrates an idler wheel hub 10 disposed relative to a support rail frame 20. The wheel hub (also referred to herein as simply "wheel") may be formed of a rigid, resilient material, such as polyurethane, that is resistant to particulation. One preferred embodiment of the wheel 10 utilizes 75 Shore D cast electrostatic discharge (ESD) polyurethane rods machined to the shape and size desired after casting. Alternatively, a 67D polyester-type thermoplastic polyurethane (TPU) such as ESTANE (TM of Lubrizol Advanced Materials, Inc., Cleveland, Ohio) 58137 TPU. In the illustrated embodiment, the wheel is substantially cylindrical, but has an outer perimeter that is inclined with respect to the axis of symmetry 24 that is centered within each axle 18, as can be more clearly seen in Fig. In particular, the radius of the wheel at the front edge 11 or the rear edge 13 is smaller than the radius measured close to the middle of the wheel. This difference in radius can be straight or curved, and this difference is illustrated in the figures.

휠(10)은 종래의 디자인 및 구성의 베어링 조립체(16) 상에 배치된다. 베어링 조립체(16)는 드라이브 레일(20)로부터 보호하는 차축(18)을 중심으로 배치된다. 차축은 도면들에서 스레딩되는 것으로 도시되고, 드라이브 레일 내에서 상호보완적으로 스레딩된 보어와 정합될 수 있다. 그러나, 차축은 임의의 종래 방식으로 드라이브 레일에 대해 기계식으로 정합될 수 있다. 드라이브 레일이 다양한 형상들로 제공될 수 있지만, 드라이브 레일은 도 1에서 L-형상인 것으로 도시된다. The wheel 10 is disposed on a bearing assembly 16 of conventional design and construction. The bearing assembly 16 is disposed about an axle 18 that protects the drive rails 20. The axle is shown threaded in the figures and can be mated with complementary threaded bores in the drive rails. However, the axle may be mechanically matched to the drive rails in any conventional manner. Although the drive rails can be provided in a variety of shapes, the drive rails are shown as being L-shaped in Fig.

슬롯(slot)(12)이 휠 외부 주변 표면을 중심으로 배치된다. 도 2에서 도시되는 바와 같이, 슬롯은 잘 휘는(pliant) 재료(14)의 링이 제공되는 링-형상 또는 원형 슬롯을 형성하기 위해 휠의 주변부를 중심으로 연속된다. 예시된 제 1 실시예에서, 잘 휘는 재료의 링 및 슬롯은 단면에서 직사각형이며, 그렇지만 다른 실시예들에서, 상이한 기하학적 형상들이 활용될 수 있다. 예를 들어, 다른 실시예에서, 잘 휘는 링은 원형 또는 타원형 단면을 가질 수 있는 반면, 슬롯은 상호보완적인 반원 또는 반-타원 단면을 가진다. 잘 휘는 링은 바람직하게는 휠의 반경 방향으로 측정된 최대 두께를 가지도록 구성되며, 즉 슬롯의 최대 깊이보다 더 크다. 따라서, 잘 휘는 링은 일반적으로 휠 그 자체의 근위 표면을 넘어 거리(x)만큼 연장한다. 잘 휘는 링에는 제 1 실시예에서 폴리우레탄이 제공되지만, 다른 연질, 압축가능한(compressible), 부서지지 않는(non-friable) 재료들이 사용될 수 있다. 이러한 다른 재료들은 실리콘 및 고무를 포함할 수 있다. 바람직한 실시예에서, 잘 휘는 링은 신장되고(stretched) 휠 외부 주변부에 걸쳐 그리고 슬롯 내로 강제된다(forced). 휴지(at rest)의 잘 휘는 링의 직경은 슬롯의 직경보다 더 작을 수 있어, 잘 휘는 링은 일 실시예에서 마찰끼워 맞춤을 통해 제자리에 유지된다. 다른 실시예들에서, 잘 휘는 링은 잘 휘는 링의 측벽들과 슬롯(미도시)의 측벽들 사이의 마찰끼워 맞춤을 포함하는 접착제 접합(adhesive bond)을 통해 또는 기계식 수단을 통해 제자리에 유지된다.A slot 12 is disposed about the outer surface of the wheel. As shown in FIG. 2, the slots are continuous about the periphery of the wheel to form ring-shaped or circular slots provided with rings of pliant material 14. In the illustrated first embodiment, the rings and slots of the well-bending material are rectangular in cross-section, but in other embodiments, different geometric shapes may be utilized. For example, in other embodiments, the well-bending ring may have a circular or elliptical cross-section, while the slot has a complementary semicircular or semi-elliptical cross-section. The well-bending ring is preferably configured to have a maximum thickness measured in the radial direction of the wheel, i. E. Greater than the maximum depth of the slot. Thus, a well-bending ring generally extends a distance x beyond the proximal surface of the wheel itself. The well-bending ring is provided with polyurethane in the first embodiment, but other soft, compressible, non-friable materials may be used. These other materials may include silicon and rubber. In a preferred embodiment, the well-bending ring is stretched and forced over the outer periphery of the wheel and into the slot. The diameter of the well-bending ring of the at rest may be less than the diameter of the slot, so that the bending ring is held in place through the friction fit in one embodiment. In other embodiments, the well-bending ring is held in place via an adhesive bond or through mechanical means that includes a frictional fit between the sidewalls of the well-bending ring and the sidewalls of the slot (not shown) .

도 3에서, 잘 휘는 링(14)의 최상부를 가로질러 배치되는 드라이브 벨트(22)는 단면도로 도시된다. 이는 도 4에서 더 상세하게 또한 묘사된다. 이송되거나 각각의 휠에 가까이에 있는 운반체 또는 다른 아이템이 존재하지 않을 때, 벨트 하부 표면은 잘 휘는 링(14)의 적어도 상부 또는 외부 표면과 접촉한 상태로 유지되며, 이에 의해 각각의 휠은 즉시 그리고 미끄러짐(slipping) 없이 벨트의 이동에 응답할(respond) 수 있다. 휠이 외부 범위에서 결함을 가지거나, 차축(18)이 굽어지거나 이와 달리 드라이브 레일에 대해 수직하지 않으면, 벨트는 또한 때때로 휠 자체의 외부 표면과 접촉하게 될 수 있다. 그러나, 잘 휘는 링은, 벨트가 항상 각각의 휠과 직접적으로 또는 간접적으로 접촉하는 것을 보장하는 것으로 의도하여, 벨트와 휠 사이의 단속적인(intermittent) 접촉으로부터 초래되는 미립화를 방지한다.In Figure 3, a drive belt 22 disposed across the top of a well-bending ring 14 is shown in cross-section. This is also described in more detail in FIG. The lower surface of the belt is kept in contact with at least the upper or outer surface of the well-bending ring 14, so that each wheel immediately And may respond to movement of the belt without slipping. The belt may also occasionally come into contact with the outer surface of the wheel itself if the wheel has a defect in the outer extent, or the axle 18 is bent or otherwise not perpendicular to the drive rails. However, a well-bending ring is intended to ensure that the belt always comes into direct or indirect contact with each wheel, thereby preventing atomization resulting from intermittent contact between the belt and wheel.

드라이브 벨트(22)를 위한 재료들의 선택은 듀로미터(durometer) 및 전기 전도도를 위한 요망되는 값들에 부분적으로 의존된다. 피라탄(Pyrathane) 83ASD 및 스탯-라이트(Stat-Rite) S-1107은 통상적인 벨트 재료들이다. 피라탄의 벨트는 다소 더 연질이고 더 탄성적이지만, 동시에 더 적게 도전성이 있다(electrically conductive). 스탯-라이트의 벨트는 더 경질이고 더 뻣뻣하지만, 동시에 더 많게 도전성이 있다(electrically conductive). 바람직하게는, 탄성중합체 벨트는 휠들 상에 신장되고 아이들러 및 드라이브 휠들 모두와의 상호 작용을 통해 중첩 가공물 운반체들을 직접적으로 이송하는 역할을 한다. The choice of materials for the drive belt 22 depends in part on the desired values for the durometer and electrical conductivity. The Pyrathane 83ASD and Stat-Rite S-1107 are common belt materials. Piratan belts are somewhat softer and more elastic, but at the same time less electrically conductive. The stator-light belt is harder and stiffer, but at the same time more electrically conductive. Preferably, the elastomeric belt is stretched on the wheels and serves to transport the overhead workpiece carriers directly through interaction with both the idler and drive wheels.

일단 운반체(미도시)가 특정 휠(10) 위에 또는 특정 휠(10)에 가까운 벨트(22) 상에 있다면, 운반체의 중량은 잘 휘는 링(14)을 압축시키는데 충분하여, 벨트(22)의 아래 표면은, 도 6에서 도시되는 바와 같이, 휠 외부 표면의 비교적으로 경질인 표면과 직접적으로 접촉하게 된다. 휠의 경도는, 운반체의 중량이 각 휠을 가로지를 때 벨트가 떨어지지 않고 대신에 운반체에 대한 평탄하고 부드러운 전환을 제공합니다. 또한, 벨트 하부 범위와 잘 휘는 링 주변부 사이의 접촉 영역과 비교하여, 벨트 하부 범위와 휠 주변부 사이의 증가된 접촉 영역은 벨트와 휠 사이에서 정확한 회전 트랙킹을 달성하기 위해 충분한 마찰력을 보장한다.The weight of the carrier is sufficient to compress the well-bending ring 14, so that the weight of the belt 22 (i.e., The lower surface is in direct contact with the relatively hard surface of the wheel outer surface, as shown in Fig. The hardness of the wheel does not drop the belt when the weight of the carrier crosses each wheel, but instead provides a smooth and smooth transition to the carrier. Also, compared to the contact area between the belt lower area and the well-bending ring periphery, the increased contact area between the belt lower area and the wheel periphery ensures sufficient frictional force to achieve accurate rotation tracking between the belt and the wheel.

도 5에서, 드라이브 세그먼트의 일 실시예의 사시도가 보일 수 있다. 컨베이어 세그먼트의 길이는 컨베이어 세그먼트가 포함하는 다수의 드라이브 세그먼트들에 의해 결정된다. 드라이브 세그먼트는 자유 공간의 일부 마진을 합한 가공물 운반체의 길이로서 규정된다. 따라서, 실시예에 따라, 컨베이어 세그먼트는 1 개, 2 개, 또는 그 초과의 드라이브 세그먼트들을 유지하도록 구성될 수 있다. 이러한 모듈형 접근법에 의해, 컨베이어 어플리케이션의 설계자는, 그 후 필수적인 수(integral number)의 드라이브 세그먼트를 각각 유지하는 표준 미리제작된 모듈들의 길이를 사용하여 컨베이어 레이아웃을 구성한다. 이러한 방법론은 용이한 컨베이어 네트워크 디자인 및 조립체를 허용한다.In Figure 5, a perspective view of one embodiment of the drive segment may be seen. The length of the conveyor segment is determined by the number of drive segments that the conveyor segment contains. The drive segment is defined as the length of the workpiece carrier that combines some of the margins of the free space. Thus, according to an embodiment, the conveyor segment may be configured to hold one, two, or more drive segments. With this modular approach, the designer of the conveyor application then constructs the conveyor layout using the length of standard pre-fabricated modules, each of which maintains an integral number of drive segments. This methodology allows easy conveyor network design and assembly.

도면에서, 휠들(10)의 선형 어레이는 드라이브 레일(20)에 대해 제공된다. 예시된 실시예에서, 어레이의 각각의 이러한 휠(10)에는 휠들과 중첩하는 연속적인 벨트(22) 사이의 회전 접촉의 정도를 개선하기 위해 주변에 배치되는 잘 휘는 링(14)이 제공된다. 이러한 예시되는 실시예에서, 컨베이어 세그먼트에 걸친 선형 어레이의 휠들(10)의 각각은 아이들러 휠들이다. 다시 말해, 선형 어레이의 휠들의 각각은 전원공급되지 않고 중첩하는 벨트와의 연속적인 접촉을 통해 회전된다. 보다 간소화된 다른 실시예들에서, 도 1 및 도 2에서 도시되는 바와 같이, 아이들러 휠들이 왕관형이지만, 아이들러 휠들에는 슬롯(12) 또는 잘 휘는 링(14)이 제공되는 것이 유의된다. 추가적으로 여전히, 또 다른 실시예들에서, 일부 또는 모든 아이들러 휠들은 각각의 벨트(22)가 롤링하는 차축(18)에 평행한 평탄 외부 표면을 가진다. In the figure, a linear array of wheels 10 is provided for the drive rails 20. In the illustrated embodiment, each such wheel 10 of the array is provided with a well-bending ring 14 disposed around it to improve the degree of rotational contact between successive belts 22 overlying the wheels. In this illustrated embodiment, each of the linear array of wheels 10 over the conveyor segment are idler wheels. In other words, each of the wheels of the linear array is rotated through continuous contact with the overlapping belt without being powered. It is noted that in other more simplified embodiments, as shown in Figures 1 and 2, the idler wheels are crown-shaped, but the idler wheels are provided with slots 12 or well-bending ring 14. [ Still further, in still other embodiments, some or all of the idler wheels have a flat outer surface parallel to the axle 18 to which each belt 22 rolls.

선형 어레이의 반대편 단부들에서, 벨트(22)는 2 개의 하부 복귀 아이들러 휠들(26)을 향하여 실질적으로 반대편 방향으로 각각의 단부 휠들(10)을 중심으로 180도 보다 약간 작게 연장한다. 벨트는 이러한 복귀 휠들을 중심으로 그리고 거기에서(thence) 드라이브 로드(28)의 상부 표면을 중심으로 대략적으로 90도로 연장한다. 복귀 휠들(26)의 각각 및 드라이브 로드(28)에는 대안적인 실시예에서 각각의 잘 휘는 링(14)이 또한 제공될 수 있는 반면, 다른 실시예들에서, 하나 또는 양자 모두가 각각의 잘 휘는 링을 가지지 않는다.At opposite ends of the linear array, the belt 22 extends slightly less than 180 degrees about the respective end wheels 10 in a direction substantially opposite to the two lower return idler wheels 26. The belt extends approximately 90 degrees about these return wheels and about the upper surface of the drive rod 28 thereafter. Each of the return wheels 26 and the drive rod 28 may also be provided with an alternating embodiment of each well-bending ring 14, while in other embodiments one or both may be provided with a respective well- It does not have a ring.

이러한 예시된 실시예에서, 드라이브 로드(28)는 당 분야에서 공지된 기술들을 따라 모터(56)(도 8)에 의해 선택적으로 회전된다. 모터의 작동에 의해 드라이브 로드의 일 단부를 회전시킴으로써, 컨베이어 세그먼트의 마주보는 측면들 상에서 협동하는 벨트들은 일제히(in unison) 회전되며, 따라서 2 개의 벨트들의 상부 표면 상에 배치되는 운반체의 선형의 균일한 이송을 초래한다. 일 실시예의 드라이브 샤프트는 컨베이어 레일의 2 개의 측면들 사이의 어느 정도의 오정렬을 허용하기 위해 샤프트 및 유니버셜 커플링의 조합이다. 예를 들어, 도 7에 대해, 드라이브 샤프트(28)에는 각각의 단부 상의 평탄한 돌출부가 제공되며, 이 때 도면의 기단부 상의 돌출부(40)는 반대편의 말단부 상의 돌출부(42)에 수직하다. 드라이브 샤프트의 일 단부 상의 평탄한 돌출부는 도 8에서 도시되는 바와 같이 스핀들(54)에 의해 각각의 드라이브 휠(50)의 중심부에서의 슬롯(52) 내로 그리고 모터(56)로 피팅하는 반면, 반대편의 평탄한 돌출부는 다른 평행한 레일 프레임 상의 각각의 슬레이브 휠의 중심부에서의 각각의 슬롯 내로 피팅한다. 슬레이브 휠은 당 분야에서 공지되어 있는 베어링 수단을 통해 각각의 스핀들을 중심으로 회전가능하다.In this illustrated embodiment, the drive rod 28 is selectively rotated by the motor 56 (Fig. 8) in accordance with techniques known in the art. By rotating one end of the drive rod by actuation of the motor, the cooperating belts on opposite sides of the conveyor segment are rotated in unison so that the linear uniformity of the carrier disposed on the upper surface of the two belts Resulting in one transfer. The drive shaft of one embodiment is a combination of a shaft and a universal coupling to allow some degree of misalignment between the two sides of the conveyor rail. 7, the drive shaft 28 is provided with a flat protrusion on each end, wherein the protrusion 40 on the base end of the drawing is perpendicular to the protrusion 42 on the opposite end. The flat projections on one end of the drive shaft fit into the slot 52 at the center of each drive wheel 50 and into the motor 56 by the spindle 54 as shown in Figure 8, The flat projections fit into respective slots in the center of each slave wheel on the other parallel rail frame. The slave wheel is rotatable about each spindle via bearing means known in the art.

일반적인 드라이브 샤프트의 사용을 통해, 컨베이어 세그먼트의 양자 모두들 상의 컨베이어 벨트들은 동일한 속도들로 구동하기 위해 동기화되며, 따라서 벨트들이 컨베이어 세그먼트에 걸쳐 이동할 때, 벨트들의 최상부 상에 가공물 운반체들의 비틀림을 방지한다. 도 8에서 도시되는 바와 같이, 드라이브 샤프트의 반대편 단부 상의 슬레이빙된(slaved) 드라이브 휠 및 드라이브 휠(50)은 동일한 원통형 형상들을 가진다. 중요하게는, 각각의 드라이브 휠의 반경(R)은 동일하다. 이는, 각 벨트가 아이들러 휠의 왕관부들(crowns) 중 가장 높은 지점에 위치하여 자신의 가장 높은 장력을 추구하는 벨트들의 일반적인 경향들에도 불구하고, 좌측 및 우측 벨트들이 동일한 속도들로 구동되는 것을 보장한다.Through the use of a common drive shaft, the conveyor belts on both of the conveyor segments are synchronized to drive at the same speeds, thus preventing twisting of the workpiece carriers on top of the belts as the belts move across the conveyor segment . As shown in FIG. 8, the slaved drive wheel and drive wheel 50 on the opposite end of the drive shaft have the same cylindrical shapes. Importantly, the radius R of each drive wheel is the same. This ensures that the left and right belts are driven at the same speeds, despite the general tendencies of the belts to locate their respective highest tensions at the highest point of the crowns of the idler wheel do.

모든 휠의 회전 축선이 완벽하게 서로 평행하지 않도록, 재료 변경들, 컨베이어 하중 가속도들, 마찰 계수 차이들, 벨트 크기들, 및 주요하게 휠 샤프트 정렬들에서의 결함들로 인해, 좌측 및 우측 벨트들은 약간 다른 속도들로 일반적으로 달리 구동할 것이다. 이는 깨끗한 환경들에서 문제가 있을 것이며, 여기서 이러한 속도 차들은 마찰 및 미립화로 이어질 수 있다. 원통형으로 성형된 드라이브 휠들은 이러한 경향에 반작용하고 2 개의 측면들 상에서 벨트 속도들을 동일하게 한다.Due to material changes, conveyor load accelerations, friction coefficient differences, belt sizes, and defects in predominantly wheel shaft alignments, the left and right belts It will generally run differently at slightly different speeds. This will be problematic in clean environments where these speed differences can lead to friction and atomization. The cylindrically shaped drive wheels react to this tendency and make belt velocities the same on the two sides.

대안적인 접근법에서, 컨베이어 벨트는 그 위로 이동하는 가공물 운반체들을 향하여 상향으로 존재하는 평탄한 표면을 가지는 타이밍 벨트(timing belt)이다. 드라이브 벨트의 내부 표면에는 아이들러 휠들의 외부 주변부 상의 상호보완적인 기계식 피처들과 협동하는 기계식 피처들(features)이 제공된다. 특별히, 이러한 타이밍 벨트의 제 1 실시예에서, 벨트의 내부 표면에는 선형이고 연속적인 어레이의 돌출부들, 예컨대 피라미드형 또는 절두-피라미드형 돌출부들이 제공되며, 그리고 아이들러 휠들에는 선형 어레이의 상호보완적으로 성형된 애퍼처들이 제공되며, 애퍼처들의 각각은 벨트 돌출부가 아이들러 휠 넘어 지나갈 때 각각의 벨트 돌출부를 수용하도록 구성된다. 제 2 실시예에서, 돌출부들, 예컨대 피라미드형 또는 절두-피라미드형 돌출부들은 아이들러 휠들의 외부 주변부를 중심으로 선형 밴드에 형성되는 반면, 벨트에는 벨트가 아이들러 휠들에 걸쳐 이동할 때 아이들러 휠 돌출부들을 수용하도록 적응된 상호보완적으로 성형되고 이격된 애퍼처들이 제공된다. 이러한 제 2 실시예에서, 벨트 애퍼처들은 벨트를 통해 가공물 운반체 접촉 표면으로 연장할 수 있거나, 벨트가 충분히 두껍다면, 벨트 애퍼처들은 도중까지만 관통하여 연장할 수 있다. 임의의 이러한 실시예에서, 그러나, 타이밍 벨트는 아이들러 휠들이 중첩하는 벨트와 동기화되어(in sync with) 연속적으로 회전하는 것을 보장하며, 그리고 미립자들은 단속적인 벨트/휠 접촉의 방지를 통해 방지될 수 있다.In an alternative approach, the conveyor belt is a timing belt having a flat surface that is upwardly directed toward the workpiece carriers moving over it. The inner surface of the drive belt is provided with mechanical features that cooperate with complementary mechanical features on the outer periphery of the idler wheels. Specifically, in this first embodiment of this timing belt, the inner surface of the belt is provided with linear and successive arrays of protrusions, such as pyramidal or truncated-pyramidal protrusions, and the idler wheels are provided with complementary Molded apertures are provided and each of the apertures is configured to receive a respective belt protrusion as the belt protrusion passes over the idler wheel. In the second embodiment, the protrusions, e.g., pyramidal or truncated-pyramidal protrusions, are formed in the linear band about the outer periphery of the idler wheels, while the belt is provided with a plurality of idler wheel protrusions to receive the idler wheel protrusions as the belt moves across the idler wheels Adapted complementary, shaped and spaced apart apertures are provided. In this second embodiment, the belt apertures may extend through the belt to the workpiece carrier contact surface, or, if the belt is sufficiently thick, the belt apertures may extend through only to the middle. In any such embodiment, however, the timing belt ensures that the idler wheels rotate continuously in sync with the overlapping belts, and the particulates can be prevented through the prevention of intermittent belt / wheel contact have.

센터링 휠들(30)은 예시적인 실시예에서, 벨트들 상의 운반체를 센터링하도록 제공된다. 드라이브 로드(28)의 배치가 선형 어레이에서의 인접한 아이들러 휠들(10) 사이에 갭(gap)을 초래하는 경우, 하나 또는 그 초과의 중간 아이들러 휠들(32)은 또한 이용될 수 있다. 이러한 중간 아이들러 휠들에는 개시되는 바와 같이 잘 휘는 링들이 제공될 수 있거나 제공되지 않을 수 있다.The centering wheels 30 are provided to center the carrier on the belts, in an exemplary embodiment. One or more intermediate idler wheels 32 may also be utilized if the placement of the drive rod 28 results in a gap between adjacent idler wheels 10 in the linear array. These intermediate idler wheels may or may not be provided with well-bending rings as disclosed.

다른 실시예들에서, 선형 어레이의 양 단부의 휠들(10) 중 하나의 휠은, 도시되는 바와 같은 드라이브 로드 대신에, 전원공급될 수 있다. 그러나, 이는 컨베이어 세그먼트의 마주보는 측면들 상의 드라이브 엘리먼트들, 예컨대 모터들을 요구할 것이다. 시작 또는 정지 시간들 및 회전 속도에 대해 완벽히 동기화된 2 개의 이러한 모터들은 기술적인 도전일 수 있다.In other embodiments, one of the wheels 10 at both ends of the linear array may be powered instead of the drive rod as shown. However, this will require drive elements, e.g. motors, on opposite sides of the conveyor segment. Two such motors, perfectly synchronized to start or stop times and rotational speed, can be a technical challenge.

대안적으로, 드라이브 로드(28)는 컨베이어 세그먼트의 마주보는 측면들 상에서 휠들(10)의 쌍들을 대체할 수 있다. 도 5에서 묘사되는 바와 같은 드라이브 로드는, 그 후, 컨베이어 세그먼트의 마주보는 측면들 상에 아이들러 휠들로 대체될 것이다. 또 추가적으로, 복수의 드라이브 로드들이 이용될 수 있지만, 다시, 이는 각각의 이러한 드라이브 로드와 연관된 드라이브 엘리먼트들의 정확한 동기화가 요구될 것이다.Alternatively, the drive rod 28 may replace pairs of wheels 10 on opposing sides of the conveyor segment. The drive rod as depicted in Figure 5 will then be replaced by idler wheels on opposite sides of the conveyor segment. Additionally, although multiple drive loads may be used, again, this will require accurate synchronization of the drive elements associated with each such drive load.

예시적인 실시예에서, 히스테리시스 클러치(hysteresis clutch)는 가공물 운반체와 벨트들 사이의 미끄러짐(slippage)의 방지를 위해 모터(56)와 연관되어 이용되지 않는다. 또한, 각각의 드라이브 세그먼트에는, 컨베이어 세그먼트 내에 하나 또는 그 초과의 가공물 운반체들의 존재를 검출하기 위해, 적어도 하나의 센서(60), 및 바람직하게는 적어도 2 개의 센서들이 제공된다. 적어도 2 개의 센서들에 의해, 하나의 센서는 각각의 드라이브 세그먼트의 각각의 단부 가까이에 제공될 수 있어, 각각의 제어기는 가공물 운반체가 드라이브 세그먼트를 점유하는지의 여부를 알 수 있다. 이러한 센서들은 종래의 디자인을 가지고 광학, 자기, 수동 공진 회로, 중량, 기계적 간섭 및 유도 센서들의 사용을 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, a hysteresis clutch is not used in connection with the motor 56 to prevent slippage between the workpiece carrier and the belts. In addition, each drive segment is provided with at least one sensor 60, and preferably at least two sensors, for detecting the presence of one or more workpiece carriers in the conveyor segment. With at least two sensors, one sensor can be provided near each end of each drive segment, so that each controller can know whether or not the workpiece carrier occupies a drive segment. Such sensors may include the use of optical, magnetic, passive resonant circuits, weight, mechanical interference and inductive sensors with conventional designs.

하나의 컨베이어 드라이브 세그먼트와 관련된 하나 이상의 센서들은 바람직하게는 각각의 컨베이어 세그먼트 드라이브 모터(56)와 관련된 국부 제어기(58)와 통신한다. 제어기에는 바람직하게는 통신 인터페이스(communications interface)가 제공되고, 예컨대 종래의 디자인 및 구성의 통신 버스(communications bus)를 통해 그 양 측면의 적어도 하나의 컨베이어 세그먼트들의 각각의 제어기들과 통신한다. 일 실시예에서, 버스(bus)는 산업용 CAN(Controller Area Network) 버스이다. 분명히, 컨베이어 세그먼트가 프로세싱 도구에 대한 인터페이스와 같은 포트(port)라면, 각각의 제어기는 하나의 인접한 컨베이어 세그먼트 제어기와 오직 통신할 것이다.One or more sensors associated with one conveyor drive segment preferably communicate with a local controller 58 associated with each conveyor segment drive motor 56. The controller is preferably provided with a communications interface and communicates with respective controllers of at least one of the conveyor segments on both sides thereof, for example via a communications bus of conventional design and configuration. In one embodiment, the bus is an industrial CAN (Controller Area Network) bus. Obviously, if the conveyor segment is the same port as the interface to the processing tool, then each controller will only communicate with one adjacent conveyor segment controller.

다중의 세그먼트-특정 제어기들은 각각의 상위-레벨 제어기와 통신한다. 이러한 상위-레벨 제어기는 담당하는 컨베이어 세그먼트 맵을 가지고, 이러한 컨베이어 도메인(domain) 내의 각 운반체를 어떻게 라우팅될 수 있는지를 지시할 수 있는 능력이 프로그래밍되어 있다(programmed). 이러한 정보는 개별 세그먼트-특정 제어기들의 응답을 제어하는데 사용됩니다. 전체 컨베이어 시스템의 복잡성 및 크기에 따라, 고차원 제어기들의 다중 레벨들이 이용될 수있다.Multiple segment-specific controllers communicate with each higher-level controller. This upper-level controller has a programmed conveyor segment map, and the ability to indicate how each carrier in such a conveyor domain can be routed is programmed. This information is used to control the response of individual segments-specific controllers. Depending on the complexity and size of the entire conveyor system, multiple levels of higher dimensional controllers can be used.

따라서, 각각의 드라이브 세그먼트를 위한 제어기는 인접한 드라이브 세그먼트에서 가공물 운반체의 존재를 검출할 수 있고, 이에 따라 예컨대, 하류에 있는 운반체와의 충돌을 방지하기 위해 가공물 운반체를 감속시키고 가공물 운반체를 정지하게 함으로써 새로운 가공물 운반체의 수용에 반응할 수 있다. 제어기는 또한 인접한 드라이브 세그먼트에서 이전에 정적인 가공물 운반체의 이동을 검출할 수 있고 정지된 컨디션으로부터 각각의 세그먼트 내에 포함된 가공물 운반체를 가속시킴으로써 응답할 수 있거나 그 드라이브 세그먼트를 통해 다음으로 가공물 운반체를 계속 이송할 수 있다.Thus, the controller for each drive segment can detect the presence of a workpiece carrier in an adjacent drive segment, thereby, for example, decelerating the workpiece carrier to stop collision with a carrier downstream and stopping the workpiece carrier And can respond to the acceptance of a new workpiece carrier. The controller may also be able to detect movement of the static workpiece carrier previously in the adjacent drive segment and to respond by accelerating the workpiece carrier contained within each segment from the stopped condition or to continue to move the workpiece carrier through the drive segment Can be transported.

가속 및 감속 프로파일들은 바람직하게는 국부 컨베이어 세그먼트 제어기와 연관된 메모리(62)에 저장된다. 이러한 프로파일들은 가공물 운반체 속도를 변경하는데 사용될 표준 프로파일들(standard profiles)일 수 있거나, 최대 값들일 수 있으며, 이에 의해 제어기는 각각의 컨베이어 드라이브 세그먼트 내에서 그리고/또는 인접한 컨베이어 드라이브 세그먼트들 내에서 운반체들의 존재 또는 부재에 따라 가공물 운반체 속도를 조정하는데 유연성을 가지도록 프로그래밍된다.The acceleration and deceleration profiles are preferably stored in the memory 62 associated with the local conveyor segment controller. These profiles may be standard profiles to be used to change the workpiece carrier speed or may be maximum values so that the controller may be able to move the conveyors within each conveyor drive segment and / Is programmed to have flexibility in adjusting the speed of the workpiece carrier depending on its presence or absence.

상기 규정된 바와 같이, 드라이브 세그먼트는 가공물 운반체와 대략적으로 동일한 길이와 자유 공간의 작은 치수를 합한 것이다. 따라서, 반도체 제조 환경들에서 발견되는 300mm 웨이퍼 운반체에 대해, 드라이브 세그먼트는 길이가 0.5미터이다. 반도체 제조 환경에서의 전형적인 운반체는 대략 8.5kg의 질량을 가지고 초당 대략 1 미터의 속도로 이동할 수 있다. 감속 프로파일은, 이러한 질량체가 하류의 점유된 드라이브 세그먼트에 진입하기 전에, 정지되는 이러한 질량체의 감속을 가능하게 하도록 선택되어야 한다. 이러한 감속 프로파일은 제 1 실시예에서 일반적으로 선형이다.As defined above, the drive segment is approximately the same length as the workpiece carrier plus a small dimension of the free space. Thus, for a 300 mm wafer carrier found in semiconductor manufacturing environments, the drive segment is 0.5 meters long. A typical carrier in a semiconductor manufacturing environment can move at a rate of about 1 meter per second with a mass of about 8.5 kg. The deceleration profile should be selected to enable deceleration of such masses to be stopped before such masses enter the occupied drive segment downstream. This deceleration profile is generally linear in the first embodiment.

그러나, 추가적인 실시예에서, 지수 감속 프로파일(exponential deceleration profile)을 사용하는 것이 또한 예상되며, 여기서 속도의 변화율은 시작에서 느리지만 정지 지점에 가까운 종료에서는 보다 크다. 이는 스텝퍼 모터들(stepper motors)의 속도-토크 특성을 이용한다: 일반적으로, 스텝퍼 모터들의 모터 토크는 저속들에서 보다 높다.However, in a further embodiment, it is also contemplated to use an exponential deceleration profile, where the rate of change of speed is slower at the start but greater at the near-stop close. This makes use of the speed-torque characteristics of stepper motors: In general, the motor torque of stepper motors is higher at low speeds.

감속 프로파일들이 전술한 바와 같이 설명되었지만, 유사한 프로파일들은, 미끄러짐 없이 최대 가속을 달성하도록 가속을 위해 이용될 수 있다. 이러한 제어기 가속 및 감속 프로파일들은, 가공물 운반체들이 충돌들의 가능성 없이 매우 밀집한 유동 환경들에서 고속으로 이동하는 것을 가능하게 한다.Although the deceleration profiles have been described above, similar profiles can be used for acceleration to achieve maximum acceleration without slippage. These controller acceleration and deceleration profiles enable the workpiece carriers to move at high speed in very dense flow environments without the possibility of collisions.

이전의 인접한 드라이브 세그먼트들 및/또는 컨베이어 세그먼트들이 상호 통신하는 것으로 설명되지만, 인접한 드라이브 또는 컨베이어 세그먼트들의 보다 큰 범위의 제어기들은 세그먼트 점유 변화들에 대한 보다 빠른 응답을 가능하게 하기 위해 그리고 예측 응답을 가능하게 하기 위해 상호 통신할 수 있다 .Although previously contiguous drive segments and / or conveyor segments are described as communicating with each other, a larger range of controllers of adjacent drives or conveyor segments may be used to enable faster response to segment occupancy changes, To communicate with each other.

추가의 실시예에서, 벨트 및 아이들러 휠들 사이의 미립화의 감소를 여전히 제공하면서, 낮은 마찰 계수 및 나일론과 같은 경질 아이들러 휠 재료가 사용될 수 있다. 그 인터페이스에서 높은 마찰 계수 및 연질 재료들(예컨대, 그 상대 속도들의 동기화를 보장하는 링)을 사용하는 이전에 설명된 실시예들 중 일부 실시예들과는 대조적으로, 이러한 비한정 실시예는 동기화된 속도들의 부재를 무시하고 벨트와 경질 아이들러 휠들 사이의 약간의 미끄러짐을 허용한다. 이러한 실시예에서, 많은 아이들러 휠들은 원통형으로 성형된다. 벨트 루프의 2 개의 엔드 아이들러 휠들(end idler wheels)은 센터링 왕관부들을 가질 수 있다. 벨트는 모든 아이들러들 및 드라이브 휠들 위에서 탄성적으로 인장될 수 있어, 추가의 인장 휠들이 생략될 수 있다.In a further embodiment, a low friction coefficient and a rigid idler wheel material such as nylon may be used, while still providing a reduction of atomization between the belt and idler wheels. In contrast to some of the previously described embodiments that use a high coefficient of friction and soft materials in the interface (e.g., a ring that ensures synchronization of their relative velocities), this non- Which allows slight slippage between the belt and the rigid idler wheels. In this embodiment, many idler wheels are molded into a cylindrical shape. The two end idler wheels of the belt loop may have centering crown portions. The belt can be elastically tensioned on all idlers and drive wheels, so that additional tension wheels can be omitted.

도 9는 다른 실시예에 따른 아이들러 휠(910)의 상세도이다. 아이들러 휠(910)은 도 4에 도시된 아이들러 휠(10)과 유사하고 전방 에지(911) 및 후방 에지(913)를 포함한다. 도 9에서, 원통형 아이들러 휠(910)의 최상부를 가로질러 배치되는 드라이브 벨트(22)는 단면도로 도시된다. 이러한 실시예에서, 아이들러 휠(910) 상에 또는 아이들러 휠(910)에 인접하여 이송되는 운반체 또는 다른 아이템(item)은 없다. 이에 따라, 벨트(22)의 하부 표면은 미소 거리(miniscule distance)(x)만큼 아이들러 휠의 상부 표면에 떨어지게 상승될 수 있어, 아이들러 휠과의 접촉을 방지한다. 일단 운반체(미도시)가 아이들러 휠(910) 위로 또는 아이들러 휠(910) 근처에 있는 벨트(22) 상에 있다면, 운반체의 중량은 벨트(22)의 하부 표면이 아이들러 휠(910)의 상대적으로 경질인 표면과 직접 접촉하도록 강제하기에 충분하다. 벨트(22)와 휠(910) 사이의 낮은 마찰 계수는 벨트(22)가 원하지 않는 미립자들을 발생함 없이 휠(910) 위로 깨끗하게 미끄러지는 것을 허용한다. 따라서, 벨트 (22) 및 아이들러 휠 (910)은 동기화를 필요로하지 않는다.9 is a detailed view of an idler wheel 910 according to another embodiment. The idler wheel 910 is similar to the idler wheel 10 shown in FIG. 4 and includes a front edge 911 and a rear edge 913. In Figure 9, a drive belt 22 disposed across the top of the cylindrical idler wheel 910 is shown in cross-section. In this embodiment, there is no carrier or other item being carried on the idler wheel 910 or adjacent to the idler wheel 910. Thus, the lower surface of the belt 22 can be lifted down to the upper surface of the idler wheel by a miniscule distance (x), preventing contact with the idler wheel. Once the carrier (not shown) is on the idler wheel 910 or on the belt 22 near the idler wheel 910, the weight of the carrier is such that the lower surface of the belt 22 is relatively free of the idler wheel 910 It is sufficient to force it to come into direct contact with the hard surface. The low coefficient of friction between the belt 22 and the wheel 910 allows the belt 22 to glide cleanly over the wheel 910 without generating undesirable particulates. Thus, belt 22 and idler wheel 910 do not require synchronization.

도 10은 도 9의 아이들러 휠 (910)의 상세도이다. 여기서 벨트 (922)는 바퀴 상으로 신장 된 엘라스토머 벨트이다. 벨트 (922)는 아이들러 및 드라이브 휠 모두와의 상호 작용을 통해 피 가공물 운반체를 직접 이송하는 역할을 한다. 아이들러 휠 (910)과의 접촉을 보장하는 것 이외에, 엘라스토머 벨트 (922)는 컨베이어 벨트 세그먼트가 인장 휠을 생략하게한다. 이는 드라이브 세그먼트의 비용을 줄이고 잠재적 고장 지점을 피할 수 있습니다. 또한, 엘라스토머 벨트 (922)를 설치하는 공정은 상당히 덜 복잡하다.Fig. 10 is a detailed view of the idler wheel 910 of Fig. The belt 922 is an elastomeric belt stretched on a wheel. The belt 922 serves to transfer the workpiece carrier directly through interaction with both the idler and the drive wheel. In addition to ensuring contact with the idler wheel 910, the elastomeric belt 922 causes the conveyor belt segment to skip the tensioning wheel. This reduces the cost of drive segments and avoids potential failure points. Also, the process of installing the elastomeric belt 922 is considerably less complex.

도 1과 관련하여 전술 한 바와 같이, 도 6에 도시 된 바와 같이, 휠 (910)의 경도는 운반체의 중량이 휠 (910)을 가로 지르는 대신에 벨트 (922)가 잠기지 않도록 보장하며 대신에 운반체에 대해 평탄하고 부드러운 전이를 제공한다. 또한, 벨트 (922)는 마찰 계수가 낮기 때문에 미립자가없는 방식으로 휠 (910)의 표면 위로 활주 할 수있다. 또한, 휠 (910) 및 벨트 (922)의 재료는 미립자를 발생시킬 가능성을 더욱 감소 시키도록 선택 될 수있다.6, the hardness of the wheel 910 ensures that the weight of the carrier does not lock the belt 922, instead of traversing the wheel 910, Lt; RTI ID = 0.0 > and / or < / RTI > In addition, the belt 922 can slide over the surface of the wheel 910 in a particulate-free manner because of its low coefficient of friction. In addition, the material of the wheel 910 and the belt 922 may be selected to further reduce the likelihood of generating particulates.

도 11은 또 다른 실시 예에 따른 아이들러 휠 (1010)의 상세도이다. 이러한 비제한적인 실시 예에서, 아이들러 휠 (1010)은 전방 에지 (1011)에 근접한 전방 플랜지 (1012) 및 후방 에지 (1013)에 근접한 후방 플랜지 (1014)를 갖는 2 개의 센터링 플랜지 (1012, 1014)를 포함한다. 이러한 센터링 플랜지 (1012, 1014)는 벨트 (22)가 허용되는 제한된 영역을 한정한다. 이는 벨트 (22)가 측면으로 표류하는 것을 방지하고 벨트 (22)를 중앙에 유지시킨다. 플랜지 (1012, 1014)는 벨트 (22)상의 운반체의 하부 표면과 접촉하지 않도록 크기가 정해진 다. 이는 또한 운반체의 중량으로 인한 벨트 (22)의 임의의 압축을 설명 할 수있다.11 is a detailed view of an idler wheel 1010 according to yet another embodiment. In this non-limiting embodiment, the idler wheel 1010 includes two centering flanges 1012 and 1014 having a front flange 1012 proximate the front edge 1011 and a rear flange 1014 proximate the rear edge 1013, . These centering flanges 1012 and 1014 define a limited area in which the belt 22 is allowed. This prevents the belt 22 from drifting sideways and keeps the belt 22 in the center. The flanges 1012,1014 are dimensioned so as not to contact the lower surface of the carrier on the belt 22. This may also account for any compression of the belt 22 due to the weight of the carrier.

다른 비제한적인 실시 예에서, 아이들러 휠 (1010)은 벨트 (22)가 전방 에지 (1011)를 향해 이동하는 것을 방지하기 위해, 예를 들어 전방 플랜지 (1012)에만 단일 센터링 플랜지 (1012, 1014)를 포함 할 수있다.The idler wheel 1010 may include a single centering flange 1012,1014 only on the front flange 1012, for example, to prevent the belt 22 from moving towards the front edge 1011. In other embodiments, . ≪ / RTI >

중심 맞춤 플랜지 (1012, 1014)의 형상이도 1에 도시되어 있지만, 도 11에 정사각형으로 도시 된 바와 같이, 센터링 플랜지 (1012, 1014)는 그 목적에 적합한 임의의 형상 (예를 들어, 경사면, 반원형 등) 일 수있다. 또한, 각각의 센터링 플랜지 (1012, 1014)는 동일하게 (도시 된 바와 같이) 형성되거나 상이하게 형성 될 수있다.Although the shape of the centering flanges 1012 and 1014 is shown in FIG. 1, the centering flanges 1012 and 1014 may have any shape (e.g., bevel, Semi-circular, etc.). In addition, each centering flange 1012,1014 can be formed identically (as shown) or differently.

도 12는 일 실시 예에 따른 컨베이어 세그먼트 (1200)의 블록도이다. 컨베이어 세그먼트 (1200)는 일련의 드라이브 세그먼트 (1210, 1220, 1230, 1240)로 구성된다. 설명의 목적 상, 드라이브 세그먼트 (1210, 1220, 1230, 1240)만이 도시된다. 그러나, 컨베이어 세그먼트 (1200)는 (예를 들어, 컨베이어 세그먼트 (1200)를 따라 루프 및 / 또는 스플릿을 형성하기 위해) 운반체 (1202, 1204)의 흐름을 재지향시키기위한 운반체 (1202, 1204) 및 / 또는 컴포넌트를 처리하기위한 추가 컴포넌트를 포함 할 수있다. 마찬가지로, 드라이브 세그먼트 (1210, 1220, 1230, 1240)는 가변 길이 및 형상 일 수있다.12 is a block diagram of a conveyor segment 1200 according to one embodiment. Conveyor segment 1200 comprises a series of drive segments 1210, 1220, 1230, and 1240. For purposes of explanation, only drive segments 1210, 1220, 1230, 1240 are shown. However, the conveyor segment 1200 may include a carrier 1202, 1204 for redirecting the flow of the carriers 1202, 1204 (e.g., to form a loop and / or a split along the conveyor segment 1200) Or additional components for processing the component. Likewise, the drive segments 1210, 1220, 1230, 1240 can be of variable length and shape.

각각의 드라이브 세그먼트 (1210, 1220, 1230, 1240)는 각각의 세그먼트 제어기 (1215, 1225, 1235, 1245)에 의해 관리된다. 이들 세그먼트 제어기 (1215, 1225, 1235, 1245)는 차례로 중앙 제어기 (1250)에 의해 동작 될 수있다. 하나의 비한정적인 실시 예에서, 세그먼트 제어기 (1215, 1225, 1235, 1245)는 제한된 제어 및 제한된 피드백을 수신하는 중앙 제어기 (1250)와 사실상 독립적으로 동작한다. 대안적으로, 중앙 제어기 (1250)는 다양한 드라이브 세그먼트 (1210, 1220, 1230, 1240)의 동작을보다 엄격하게 조정하도록 동작 할 수있다.Each drive segment 1210, 1220, 1230, 1240 is managed by a respective segment controller 1215, 1225, 1235, 1245. These segment controllers 1215, 1225, 1235, 1245 can in turn be operated by the central controller 1250. In one non-limiting embodiment, segment controllers 1215, 1225, 1235, and 1245 operate substantially independently of central controller 1250 that receives limited control and limited feedback. Alternatively, the central controller 1250 may be operable to tune the operation of the various drive segments 1210, 1220, 1230, 1240 more tightly.

도 13은 독립적으로 기능하는 실시 예에 따른 로컬 제어기 (1215, 1225, 1235, 1245)를위한 논리의 흐름도이다. 로직은 충돌없는 운반체 흐름을 제공하는 개별 드라이브 세그먼트 (1210, 1220, 1230, 1240)의 세그먼트 제어를 허용한다. 국부 로직를 사용하면, 세그먼트 제어기 (1215, 1225, 1235, 1245)는 높은 흐름 밀도를 유지하면서 충돌을 회피하는 방식으로 전역 논리와 독립적으로 동작 할 수있다.13 is a flow diagram of logic for the local controller 1215, 1225, 1235, 1245 in accordance with an independently functioning embodiment. The logic allows segment control of the individual drive segments 1210, 1220, 1230, 1240 to provide collision free carrier flow. Using local logic, the segment controllers 1215, 1225, 1235, and 1245 can operate independently of global logic in a manner that avoids collisions while maintaining high flow density.

단계 (1310)에서 시작하여, 논리는 단계 (1320)로 진행하여 다음 드라이브 세그먼트 (세그먼트 N + 1)가 클리어인지를 검사한다. 이것은 세그먼트가 깨끗한지를 직접 감지하거나, 다음 드라이브 세그먼트의 세그먼트 제어기를 점검하거나 및 / 또는 중앙 제어기를 점검함으로써 수행 될 수있다. 다음 드라이브 세그먼트가 클리어 인 경우 (예), 세그먼트 제어기는 드라이브 세그먼트 (MN)의 모터를 턴온 (또는 동작 유지)하고, 단계 1330에 따라 운반체를 다음 드라이브 세그먼트로 이동시킨다. 다른 한편으로는, 다음 드라이브 세그먼트가 클리어되지 않으면 (아니오), 세그먼트 제어기는 단계 (1340)로 이동하여 모터를 오프 (또는 오프 상태로 유지)한다. 다음으로, 세그먼트 제어기는 단계 1320으로 복귀하여 다음 드라이브 세그먼트가 클리어인지를 계속 체크한다.Beginning at step 1310, the logic proceeds to step 1320 and checks whether the next drive segment (segment N + 1) is clear. This can be done by sensing directly whether the segment is clean, checking the segment controller of the next drive segment, and / or checking the central controller. If the next drive segment is clear (Yes), the segment controller turns on (or maintains) the motor of the drive segment MN and moves the carrier to the next drive segment according to step 1330. On the other hand, if the next drive segment is not cleared (NO), the segment controller goes to step 1340 to turn off (or keep the motor off) the motor. Next, the segment controller returns to step 1320 and continues to check whether the next drive segment is clear.

드라이브 세그먼트가 운반체를 다음 드라이브 세그먼트로 옮길 준비가되었거나 가능한 한 빨리 운반체를 발전시키기 위해 연속적으로 작동 할 수있게되면 프로세스가 시작될 수 있습니다. 부가적으로, 논리는, 예를 들어, 운반체가 클리어 된 후에 (운반체가 다음 드라이브 세그먼트 상에 있는지를 확인하지 않고) 모터가 자동으로 꺼지는 추가 단계, 단계 1320 이후의 지연, 단계 1320에서 다시 검사하기 전에 등을 포함 할 수있다.The process can start when the drive segment is ready to move the carrier to the next drive segment or it can be continuously operated to evolve the carrier as soon as possible. Additionally, the logic may include, for example, an additional step in which the motor is automatically turned off (after confirming that the carrier is on the next drive segment) after the carrier has been cleared, the delay after step 1320, You can include before, etc.

다른 실시 예에서, 중앙 제어기 (1250)는도 13의 1320에서 설명 된 로직을 수행 할 수있다. (1215, 1225, 1235, 1245)를 지시한다.In another embodiment, the central controller 1250 may perform the logic described in 1320 of FIG. (1215, 1225, 1235, 1245).

도 12의 로직을 사용하여, 도 13에 도시 된 바와 같이, 세그먼트 제어기 (1215)는 운반체 (1204)가 드라이브 세그먼트 (1220)를 벗어날 때까지 드라이브 세그먼트 (1210)에 대한 모터를 턴 오프한다. 한편, 세그먼트 제어기 (1225)는 드라이브 세그먼트 (1230)가 클리어임을 감지하고 운반체 (1204)가 전진하도록 세그먼트 (1220)를 구동하도록 모터를 턴온한다. 일단 운반체 (1204)가 드라이브 세그먼트 (1220)에서 벗어나면, 세그먼트 제어기 (1215)는 드라이브 세그먼트 (1220)가 클리어 인 것을 검출하고 운반체 (1202)를 드라이브 세그먼트 (1220) 위로 이동시키기 시작할 것이다. Using the logic of FIG. 12, segment controller 1215 turns off the motor for drive segment 1210 until the carrier 1204 leaves drive segment 1220, as shown in FIG. Segment controller 1225, on the other hand, senses that drive segment 1230 is clear and turns on the motor to drive segment 1220 so that carrier 1204 advances. Once the carrier 1204 leaves the drive segment 1220, the segment controller 1215 will detect that the drive segment 1220 is clear and begin to move the carrier 1202 over the drive segment 1220.

따라서, 개별 드라이브 세그먼트 (1210, 1220, 1230, 1240)는 충돌을 방지하면서 움직이는 운반체의 흐름을 유지할 수있다. 드라이브 세그먼트 (1210, 1220, 1230, 1240)를 선택적으로 구동함으로써, 컨베이어 세그먼트 (1200)는 운반체의 밀도를 높게 유지하기 위해 운반체가 신속하고 효율적으로 움직이는 것을 보장 할 수있다. 운반체들 사이의 임의의 갭은 운반체가 이웃하는 드라이브 세그먼트 상에있을 때까지 컨베이어 세그먼트 (1200)를 따라 지연 운반체가 상승함에 따라 신속하게 제거 될 수있다. Thus, the individual drive segments 1210, 1220, 1230, 1240 can maintain the flow of the moving carrier while preventing collision. By selectively driving the drive segments 1210, 1220, 1230, 1240, the conveyor segment 1200 can ensure that the carrier moves quickly and efficiently to keep the density of the carrier high. Any gap between the carriers can be quickly removed as the retard carrier rises along the conveyor segment 1200 until the carrier is on a neighboring drive segment.

따라서, 컨베이어 세그먼트 (1200)는 가능한 최대 운반체를 유지할 것이다.1204 이는 다시 컨베이어 세그먼트 (1200)가 다시 움직일 준비가 될 때까지 운반체를 유지할 필요가 없으므로 운반체 프로세싱 요소가보다 효율적으로 작동하게한다.Thus, the conveyor segment 1200 will hold the largest possible carrier 1204 which again allows the carrier processing element to operate more efficiently since there is no need to maintain the carrier until the conveyor segment 1200 is ready to move again.

절전의 실시 예에서, 국부 제어기 (1215, 1225, 1235, 1245)는 운반체가 각 세그먼트로부터 클리어 된 후에 모터를 턴 오프 할 수있다. 로컬 제어기들 (1215, 1225, 1235, 1245)은 운반체가 각각의 세그먼트 상으로, 바로 앞의 드라이브 세그먼트 상으로, 또는 더 상류의 세그먼트 상으로 이동함에 따라 모터를 턴온 할 수있다. In an embodiment of power saving, the local controller 1215, 1225, 1235, 1245 may turn off the motor after the carrier has been cleared from each segment. Local controllers 1215, 1225, 1235, 1245 can turn on the motor as the carrier moves on each segment, onto the immediately preceding drive segment, or onto a further upstream segment.

설명된 다양한 작동들은 순전히 모범적이며 특정 순서를 의미하지 않는다. 또한, 조작은 적절할 때 임의의 순서로 사용될 수 있으며 부분적으로 사용될 수 있습니다. 상기 실시예를 염두에 두고, 추가 실시 예는 컴퓨터 시스템에 전송되거나 저장되는 데이터를 포함하는 다양한 컴퓨터 구현 동작을 사용할 수 있음을 이해해야 한다. 이러한 작동들은 물리량을 물리적으로 조작해야하는 연산입니다. 일반적으로, 반드시 필요한 것은 아니지만 이러한 양은 저장, 전송, 결합, 비교 및 기타 조작이 가능한 전기, 자기 또는 광학 신호의 형태를 취합니다.The various operations described are purely exemplary and do not imply any particular order. Operations can also be used in any order when appropriate and can be used partially. With the above embodiment in mind, it should be appreciated that additional embodiments may utilize various computer-implemented operations, including data transmitted or stored in a computer system. These operations are operations that physically manipulate physical quantities. Typically, though not necessarily, these quantities take the form of electrical, magnetic, or optical signals that can be stored, transmitted, combined, compared, and otherwise manipulated.

현재 개시된 실시예들의 일부를 형성하는 기술 된 임의의 동작은 유용한 기계 동작일 수 있다. 다양한 실시 예들은 또한 이러한 동작들을 수행하기위한 장치 또는 장치 장치는 구체적으로 요구된 목적들을 위하여 구성되거나, 장치는 컴퓨터 내에 저장된 컴퓨터 프로그램에 의해 선택적으로 활성화되거나 구성된 범용 컴퓨터일 수 있다. 특히, 이하에 설명되는 하나 이상의 컴퓨터 판독 가능 매체에 연결된 하나 이상의 프로세서를 사용하는 다양한 범용 기계가 본 명세서의 교시에 따라 작성된 컴퓨터 프로그램과 함께 사용될 수 있거나,보다 전문화 된 시스템을 구축하는 것이 더 편리 할 수있다 장치가 요구되는 동작을 수행한다.Any of the operations described to form part of the presently disclosed embodiments may be useful machine operations. Various embodiments are also conceivable for an apparatus or an apparatus for performing these operations specifically for the required purposes, or the apparatus may be a general purpose computer selectively activated or configured by a computer program stored in the computer. In particular, various general purpose machines using one or more processors coupled to one or more computer-readable media described below may be used in conjunction with a computer program written in accordance with the teachings herein, or it may be more convenient to construct a more specialized system The device may perform the required operation.

여기에 설명 된 절차, 프로세스 및 / 또는 모듈은 프로그램 명령, 펌웨어 또는 이들의 조합을 갖는 컴퓨터 판독 가능 매체로서 구현 된 하드웨어, 소프트웨어로 구현 될 수있다. 예를 들어, 여기에 설명 된 기능들은 메모리 또는 다른 저장 장치로부터 프로그램 명령들을 실행하는 프로세서에 의해 수행 될 수있다.The processes, processes and / or modules described herein may be implemented in hardware, software implemented as a computer-readable medium having program instructions, firmware, or a combination thereof. For example, the functions described herein may be performed by a processor executing program instructions from a memory or other storage device.

일 실시예는 청결한 제조 환경에서 컨베이어 경로를 따라 고밀도 작업 공정 (WIP) 유닛 흐름을위한 컨베이어 이송을 제공한다. 컨베이어 이송 장치는 WIP 장치를 이송하기 위한 (예를 들어, 드라이브 세그먼트와 같은)컨베이어 경로를 정의하는 수단을 포함합니다. 상기 한정 수단은 컨베이어 경로를 따라 2 개 이상의 세그먼트를 포함한다. 두 개 이상의 세그먼트가 개별적으로 구동됩니다. 컨베이어 이송 부는 드라이브 세그먼트를 따라 WIP 유닛을 선택적으로 이송하기 위해 2 개 이상의 세그먼트의 피구 동 세그먼트를 선택적으로 구동하기위한 수단 (예를 들어, 모터)을 포함한다. WIP 유닛들이 둘 이상의 세그먼트 중 특정 세그먼트에있을 때 센싱 수단 (예 : 센서)이 포함됩니다. 컨베이어 이송은 또한 선택적으로 (예를 들어, 데이터 프로세서와 같은) 구동 수단을 제어하는 수단 을 포함한다. 제어 수단은 충돌없이 WIP 유닛의 위치가 서로에 대해 제어되도록 감지 수단의 출력에 응답하여 작동하도록 배열된다. 드라이브 세그먼트는 부드럽게 제어 된 방식으로 선택적으로 시작 및 정지됩니다. 드라이브 세그먼트의 시동 및 정지 중에, 드라이브 세그먼트의 가속 및 감속은 WIP 유닛을 가속 또는 감속시키는 힘이 선택적으로 구동 수단과 WIP 유닛 사이의 마찰력보다 작도록 제어되고 WIP 유닛들이 선택적으로 구동 수단상에서 미끄러지는 것이 방지된다.One embodiment provides conveyor transfer for high density work process (WIP) unit flow along a conveyor path in a clean manufacturing environment. The conveyor transfer device includes means for defining a conveyor path for transporting the WIP device (for example, a drive segment). The confining means comprises two or more segments along the conveyor path. More than one segment is driven individually. The conveyor transfer portion includes means (e.g., a motor) for selectively driving two or more segments of the driven segment to selectively transfer WIP units along the drive segment. Sensing means (eg, sensors) are included when WIP units are in a specific segment of more than one segment. Conveyor transfer also optionally includes means for controlling drive means (e.g., a data processor). The control means are arranged to operate in response to the output of the sensing means such that the position of the WIP unit is controlled relative to one another without collision. Drive segments are selectively started and stopped in a smoothly controlled manner. During start-up and stop of the drive segment, acceleration and deceleration of the drive segment is controlled such that the force for accelerating or decelerating the WIP unit is selectively controlled to be less than the frictional force between the drive means and the WIP unit and the WIP units selectively sliding on the drive means .

상기 컨베이어 이송의 또 다른 실시 예에서, WIP 유닛은 전체 컨베이어 속도로 가속되거나 또는 드라이브 세그먼트 내에서 전체 컨베이어 속도로부터 감속된다.In another embodiment of the conveyor transfer, the WIP unit is accelerated at the entire conveyor speed or decelerated from the entire conveyor speed in the drive segment.

상기 컨베이어 수송 중 어느 하나의 다른 실시 예에서, 2 개 이상의 세그먼트 각각은 측 방향으로 이격 된 평행 구동 컨베이어 벨트 및 원통형 드라이브 휠을 포함한다. 각각의 컨베이어 벨트는 컨베이어 벨트에 의해 형성된 루프의 두 개의 극단에서 크라운 (browned) 아이들러 휠 주위를 감쌀 수있다. In another embodiment of the conveyor transport, each of the two or more segments includes a laterally spaced parallel driven conveyor belt and a cylindrical drive wheel. Each conveyor belt may wrap around a crawler idler wheel at two extremes of the loop formed by the conveyor belt.

컨베이어 이송 장치는 또한 컨베이어 벨트 각각의 아래에 센터 아이들러 휠을 포함 할 수있다. 중앙 아이들러 휠은 크라운 아이들러 휠 사이에 위치될 수 있으며, 중앙 아이들러 휠은 원통형으로 형성될 수있다. 중앙 아이들러 휠은 WIP 유닛들의 측면 안내를 제공하도록 구성된 각진 측면 플랜지를 포함 할 수있다. The conveyor transfer device may also include a center idler wheel under each of the conveyor belts. The center idler wheel may be positioned between the crown idler wheels, and the center idler wheel may be formed in a cylindrical shape. The center idler wheel may include an angled side flange configured to provide lateral guidance of the WIP units.

중앙 아이들러 휠은 컨베이어 벨트의 리턴 레그가 그 로우 아래에 위치하도록 한 줄로 배열 될 수있다. 리턴 레그는 2 개의 컨베이어 벨트 각각에 대해 동일한 속도를 보장하도록 구성된 원통형 공통 구동축에 의해 구동 될 수있다. 구동 샤프트는 컨베이어 레일의 측면 대 측면 정렬 불량을 수용하도록 구성된 내부 유니버설 커플 링을 포함 할 수있다.The center idler wheel may be arranged in a line so that the return leg of the conveyor belt is located beneath the lower row. The return leg may be driven by a cylindrical common drive shaft configured to ensure the same speed for each of the two conveyor belts. The drive shaft may include an internal universal coupling configured to accommodate side to side misalignment of the conveyor rails.

컨베이어 벨트는 탄성 재료를 포함 할 수 있고, 각각의 컨베이어 벨트는 각각의 원통형 드라이브 휠상에서 신장 될 수있다.The conveyor belt may comprise an elastic material, and each conveyor belt may be stretched on each cylindrical drive wheel.

상기 컨베이어 수송 중 어느 하나의 다른 실시 예에서, 모든 구성 재료는 정전기 방출 성이다.In another embodiment of any of the above conveyor transports, all of the constituent materials are electrostatically dischargeable.

상기 컨베이어 수송 중 어느 하나의 다른 실시 예에서, 상기 한정 수단은 WIP 유닛의 시퀀스 및 / 또는 동시에 이송 가능한 WIP 유닛을위한 컨베이어 경로를 규정하기위한 것이다.In another embodiment of the conveyor transport, the defining means is for defining a sequence of WIP units and / or a conveyor path for a transportable WIP unit at the same time.

또 다른 실시 예는 청결한 제조 환경에서 컨베이어 경로를 따라 고밀도 작업 공정 (WIP) 유닛 흐름을위한 컨베이어 이송을 제공한다. 컨베이어 이송 부는 WIP 유닛들을 이송하도록 구성된 하나 이상의 컨베이어 경로를 포함한다. 하나 이상의 컨베이어 경로는 둘 이상의 세그먼트를 포함한다. 두 개 이상의 세그먼트가 개별적으로 구동됩니다. 컨베이어 이송 부는 드라이브 세그먼트를 따라 WIP 유닛을 선택적으로 이송하기 위해 둘 이상의 세그먼트 중 드라이브 세그먼트의 하나 이상의 벨트를 선택적으로 구동하도록 구성된 하나 이상의 모터를 더 포함한다. 2 개 이상의 세그먼트 각각은 그들 자신의 모터로 구동 된 세그먼트일 수 있다. WIP 유닛이 2 개 이상의 세그먼트의 특정 세그먼트 상에 위치 할 때를 감지하도록 구성된 하나 이상의 센서가 포함된다. 또한 컨베이어 이송 장치는 모터를 제어하도록 구성된 제어기를 포함한다. 제어기는 충돌없이 WIP 유닛의 위치가 서로에 대해 제어되도록 센서의 출력에 응답하여 작동하도록 구성된다. 드라이브 세그먼트는 부드럽게 제어 된 방식으로 선택적으로 시작 및 정지됩니다. 드라이브 세그먼트의 시동 및 정지 동안, 드라이브 세그먼트의 가속 및 감속은 WIP 유닛을 가속 또는 감속시키는 힘이 하나 이상의 벨트와 WIP 유닛 사이의 마찰력보다 작도록 제어되고, WIP 장치가 하나 이상의 벨트에서 미끄러지는 것을 방지합니다.Another embodiment provides conveyor transfer for high density work process (WIP) unit flow along a conveyor path in a clean manufacturing environment. The conveyor conveying portion includes at least one conveyor path configured to convey the WIP units. The at least one conveyor path includes two or more segments. More than one segment is driven individually. The conveyor transfer section further comprises one or more motors configured to selectively drive one or more belts of the drive segments of the at least two segments to selectively transfer WIP units along the drive segment. Each of the two or more segments may be a segment driven by their own motor. One or more sensors configured to detect when the WIP unit is located on a particular segment of two or more segments are included. The conveyor transfer device also includes a controller configured to control the motor. The controller is configured to operate in response to an output of the sensor such that the position of the WIP unit is controlled relative to each other without collision. Drive segments are selectively started and stopped in a smoothly controlled manner. During startup and shutdown of the drive segment, acceleration and deceleration of the drive segment is controlled such that the force that accelerates or decelerates the WIP unit is less than the friction force between the at least one belt and the WIP unit and prevents the WIP device from sliding on one or more of the belts I will.

상기 컨베이어 이송의 다른 실시 예에서, WIP 유닛은 전체 컨베이어 속도로 가속되거나 또는 드라이브 세그먼트 내에서 전체 컨베이어 속도로부터 감속된다.In another embodiment of the conveyor transfer, the WIP unit is accelerated at the entire conveyor speed or decelerated from the entire conveyor speed in the drive segment.

상기 컨베이어 수송 중 어느 하나의 다른 실시 예에서, 적어도 하나의 벨트는 측 방향으로 이격 된 평행 구동 컨베이어 벨트를 포함하고, 드라이브 세그먼트는 컨베이어 벨트 및 원통형 드라이브 휠을 포함한다. 각각의 컨베이어 벨트는 컨베이어 벨트에 의해 형성된 루프의 두 개의 극단에서 크라운 (browned) 아이들러 휠 주위를 감쌀 수있다. 컨베이어 이송 장치는 또한 컨베이어 벨트 각각의 아래에 센터 아이들러 휠을 포함 할 수 있으며, 크라운 형 아이들러 휠 사이에 위치한 센터 아이들러 휠을 포함 할 수있다. 중앙 아이들러 휠은 원통형입니다. 중앙 아이들러 휠은 WIP 유닛의 측면 안내를 제공하도록 구성된 각진 측면 플랜지를 포함 할 수있다.In another embodiment of the conveyor transport, the at least one belt comprises a laterally spaced parallel driven conveyor belt, the drive segment comprising a conveyor belt and a cylindrical drive wheel. Each conveyor belt may wrap around a crawler idler wheel at two extremes of the loop formed by the conveyor belt. The conveyor transfer device may also include a center idler wheel under each of the conveyor belts and may include a center idler wheel located between the crown idler wheels. The center idler wheel is cylindrical. The center idler wheel may include an angled side flange configured to provide lateral guidance of the WIP unit.

중앙 아이들러 휠은 일렬로 배열 될 수있다. 컨베이어 벨트의 리턴 레그는 그 열 아래에 위치 될 수 있고, 리턴 레그는 두 개의 컨베이어 벨트 각각에 대해 동일한 속도를 보장하도록 구성된 원통형 공통 구동축에 의해 구동된다. 구동 샤프트는 컨베이어 레일의 측면 대 측면 정렬 불량을 수용하도록 구성된 내부 유니버설 커플 링을 포함할 수있다.The center idler wheel can be arranged in a line. The return leg of the conveyor belt can be positioned below its row and the return leg is driven by a cylindrical common drive shaft configured to ensure the same speed for each of the two conveyor belts. The drive shaft may include an internal universal coupling configured to accommodate side to side misalignment of the conveyor rails.

상기 컨베이어 수송 중 어느 하나의 다른 실시 예에서, 컨베이어 벨트는 탄성 재료를 포함하고, 컨베이어 벨트 각각은 각각의 원통형 드라이브 휠상에서 신장된다.In another embodiment of the conveyor transport, the conveyor belt comprises an elastic material, and each of the conveyor belts is stretched on a respective cylindrical drive wheel.

상기 컨베이어 수송 중 어느 하나의 다른 실시 예에서, 모든 구성 재료는 정전기 방출 성이다.In another embodiment of any of the above conveyor transports, all of the constituent materials are electrostatically dischargeable.

상기 컨베이어 이송 중 임의의 하나의 다른 실시 예에서, 하나 이상의 컨베이어 경로는 WIP 유닛들의 시퀀스 및 / 또는 동시에 이송 가능한 WIP 유닛들을 이송하도록 구성된다.In any one alternate embodiment of the conveyor transfer, the one or more conveyor paths are configured to transport a sequence of WIP units and / or simultaneously transportable WIP units.

여기에서 설명되고 도시 된 세부 사항, 재료 및 부품 및 단계의 배열에서의 많은 변화가 상기 한 내용에 비추어 당업자에 의해 만들어 질 수있다. 따라서, 다음의 청구 범위는 본 명세서에 개시된 실시 예들에 한정되지 않고, 구체적으로 기술 된 것 이외의 실시들을 포함 할 수 있고, 법률에 허용 된 바와 같이 광범위하게 해석되어야한다는 것이 이해 될 것이다.Many changes in the details, materials and arrangements of parts and steps described and illustrated herein can be made by those skilled in the art in light of the above teachings. Accordingly, it is to be understood that the following claims are not limited to the embodiments disclosed herein, but may encompass implementations other than those specifically described, and should be construed broadly as permitted by law.

Claims (22)

깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품(WIP, Work In Process)을 위한 컨베이어 이송 장치로서,
상기 컨베이어 이송 장치는:
WIP 유닛들을 이송하기 위해 컨베이어 경로들을 규정하기 위한 수단─상기 규정 수단은 상기 컨베이어 경로들을 따라 적어도 2 개의 세그먼트들을 포함하며, 여기서 적어도 2 개의 세그먼트들은 개별적으로 구동됨─;
상기 구동된 세그먼트를 따라 그리고 적어도 2 개의 세그먼트들 사이에서 상기 WIP 유닛들을 선택적으로 이송하기 위해 적어도 2 개의 세그먼트들의 구동된 세그먼트를 선택적으로 구동하기 위한 수단;
상기 WIP 유닛들이 상기 적어도 2 개의 세그먼트들의 특정 세그먼트들 상에 로케이팅될 때를 감지하기 위한 수단; 및
상기 선택적으로 구동하는 수단을 제어하기 위한 수단을 포함하며, 상기 제어 수단은 감지 수단의 출력에 응답하여 작동하도록 배열되어, 상기 WIP 유닛들의 위치들은 충돌들 없이 서로에 대해 제어되며,
상기 구동된 세그먼트는 매끄럽도록 제어되는 방식으로 선택적으로 시작되고 정지되며, 상기 구동된 세그먼트의 시작 및 정지 중에, 상기 WIP 유닛들을 가속하거나 감속하기 위한 힘이 상기 선택적으로 구동하는 수단과 상기 WIP 유닛들 사이의 마찰력보다 더 작도록, 그리고 상기 WIP 유닛들은 상기 선택적으로 구동하는 수단 상의 미끄러짐으로부터 방지되도록, 구동된 세그먼트의 가속들 및 감속들이 제어되는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
As a conveyor transfer device for high density work in process (WIP) along conveyor paths in a clean manufacturing environment,
The conveyor transfer apparatus comprises:
Means for defining conveyor paths for transporting WIP units, said defining means comprising at least two segments along said conveyor paths, wherein at least two segments are individually driven;
Means for selectively driving a driven segment of at least two segments to selectively transport the WIP units along the driven segment and between at least two segments;
Means for detecting when the WIP units are located on particular segments of the at least two segments; And
Wherein the control means is arranged to operate in response to an output of the sensing means such that the positions of the WIP units are controlled relative to each other without collisions,
Wherein the driven segment is selectively started and stopped in a smoothly controlled manner, and during start and stop of the driven segment, a force for accelerating or decelerating the WIP units is applied to the selectively driving means and the WIP unit And the WIP units are controlled so that accelerations and decelerations of the driven segment are controlled such that they are prevented from slipping on the selectively driving means,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 1 항에 있어서,
상기 WIP 유닛들은 최대 컨베이어 속도로 가속되거나 구동된 세그먼트 내에서 최대 컨베이어 속도로부터 감속되는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the WIP units are decelerated from a maximum conveyor speed in a segment accelerated or driven at a maximum conveyor speed,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 1 항에 있어서,
상기 적어도 2 개의 세그먼트들 각각은 횡 방향으로 평행 이격된 구동된 컨베이어 벨트들 및 원통형 드라이브 휠들을 포함하는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
The method according to claim 1,
Each of said at least two segments comprising driven conveyor belts and cylindrical drive wheels spaced parallel to each other in a transverse direction,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 3 항에 있어서,
각각의 컨베이어 벨트는 상기 컨베이어 벨트에 의해 형성되는 루프(loop)의 2 개의 맨끝 단부들에서 왕관형 아이들러 휠들(crowned idler wheels) 둘레를 에워싸는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
The method of claim 3,
Each conveyor belt is wrapped around two crowned idler wheels at two terminal ends of a loop formed by the conveyor belt.
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 4 항에 있어서,
상기 컨베이어 벨트들의 각각 아래에서 중심 아이들러 휠들을 더 포함하며, 상기 중심 아이들러 휠들은 상기 왕관형 아이들러 휠들 사이에 로케이팅되며, 상기 중심 아이들러 휠들은 원통형으로 성형되는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
5. The method of claim 4,
Further comprising center idler wheels below each of said conveyor belts, said center idler wheels being located between said crown idler wheels, said center idler wheels being cylindrically shaped,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 5 항에 있어서,
상기 중심 아이들러 휠들은 상기 WIP 유닛들의 횡 방향 안내를 제공하도록 구성되는 각진 측면 플랜지를 포함하는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the center idler wheels comprise angled side flanges configured to provide lateral guidance of the WIP units.
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 5 항에 있어서,
상기 중심 아이들러 휠들은 하나의 열로 배열되며, 컨베이어 벨트(conveyor belt)의 복귀 레그(return leg)는 상기 열 아래에서 로케이팅되며, 그리고 상기 복귀 레그는 상기 2 개의 컨베이어 벨트들의 각각에 대한 동일한 속도를 보장하도록 구성되는 원통형 일반적인 드라이브 샤프트(cylindrical common drive shaft)에 의해 구동되는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
6. The method of claim 5,
The center idler wheels are arranged in one row and the return leg of the conveyor belt is located under the column and the return leg is at the same speed for each of the two conveyor belts Which is driven by a cylindrical, common drive shaft,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 7 항에 있어서,
상기 드라이브 샤프트는 컨베이어 레일들의 사이드 투 사이드(side to side) 오정렬(misalignment)을 수용하도록 구성되는 내부 유니버셜 커플링을 포함하는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the drive shaft includes an inner universal coupling configured to accommodate side to side misalignment of the conveyor rails.
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 3 항에 있어서,
상기 컨베이어 벨트들은 탄성 재료를 포함하며, 그리고 컨베이어 벨트들의 각각은 각각의 원통형 드라이브 휠들 상에서 인장되는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
The method of claim 3,
The conveyor belts comprising an elastic material and each of the conveyor belts being tensioned on respective cylindrical drive wheels,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 1 항에 있어서,
구성물의 모든 재료들은 정전기 분산성인(static dissipative),
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
The method according to claim 1,
All materials in the composition are static dissipative,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 1 항에 있어서,
상기 규정 수단은 추가적으로 WIP 유닛들의 시퀀스(sequence) 및 동시에 이송가능한 WIP 유닛들 중 하나를 위한 컨베이어 경로들을 규정하기 위한 것인,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the defining means is further for defining a sequence of WIP units and conveyor paths for one of the simultaneously transportable WIP units.
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품(WIP, Work In Process)을 위한 컨베이어 이송 장치로서,
상기 컨베이어 이송 장치는:
WIP 유닛들을 이송하도록 구성되는 적어도 하나의 컨베이어 경로─상기 적어도 하나의 컨베이어 경로는 적어도 2 개의 세그먼트들을 포함하며, 상기 적어도 2 개의 세그먼트들은 개별적으로 구동됨─;
상기 구동된 세그먼트를 따라 그리고 적어도 2 개의 세그먼트들 사이에서 상기 WIP 유닛들을 선택적으로 이송하기 위해 적어도 2 개의 세그먼트들의 구동된 세그먼트를 선택적으로 구동하도록 구성되는 적어도 하나의 모터;
상기 WIP 유닛들이 상기 적어도 2 개의 세그먼트들의 특정 세그먼트들 상에 로케이팅될 때를 감지하도록 구성되는 적어도 하나의 센서; 및
상기 모터를 제어하도록 구성되는 제어기를 포함하며, 상기 제어기는 감지 수단의 출력에 응답하여 작동하도록 구성되어, 상기 WIP 유닛들의 위치들은 충돌들 없이 서로에 대해 제어되며,
상기 구동된 세그먼트는 매끄럽도록 제어되는 방식으로 선택적으로 시작되고 정지되며, 상기 구동된 세그먼트의 시작 및 정지 중에, 상기 WIP 유닛들을 가속하거나 감속하기 위한 힘이 상기 적어도 하나의 벨트와 상기 WIP 유닛들 사이의 마찰력보다 더 작도록 그리고 상기 WIP 유닛들은 상기 적어도 하나의 벨트 상의 미끄러짐으로부터 방지되도록, 구동된 세그먼트의 가속들 및 감속들이 제어되는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
As a conveyor transfer device for high density work in process (WIP) along conveyor paths in a clean manufacturing environment,
The conveyor transfer apparatus comprises:
At least one conveyor path configured to transport WIP units, said at least one conveyor path comprising at least two segments, said at least two segments being individually driven;
At least one motor configured to selectively drive a driven segment of at least two segments to selectively transport the WIP units along the driven segment and between at least two segments;
At least one sensor configured to sense when the WIP units are located on particular segments of the at least two segments; And
Wherein the controller is configured to operate in response to the output of the sensing means such that the positions of the WIP units are controlled relative to each other without collisions,
Wherein the driven segment is selectively started and stopped in a smoothly controlled manner and wherein during start and stop of the driven segment a force for accelerating or decelerating the WIP units is applied to the at least one belt and the WIP units And the WIP units are controlled so that the accelerations and decelerations of the driven segment are controlled such that they are prevented from slipping on the at least one belt,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 12 항에 있어서,
상기 WIP 유닛들은 최대 컨베이어 속도로 가속되거나 구동된 세그먼트 내에서 최대 컨베이어 속도로부터 감속되는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
13. The method of claim 12,
Wherein the WIP units are decelerated from a maximum conveyor speed in a segment accelerated or driven at a maximum conveyor speed,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 12 항에 있어서,
상기 적어도 1 개의 벨트는 횡 방향으로 평행 이격된 구동된 컨베이어 벨트들을 포함하며, 그리고 상기 구동된 세그먼트는 상기 컨베이어 벨트들 및 원통형 드라이브 휠들을 포함하는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
13. The method of claim 12,
Wherein said at least one belt comprises driven conveyor belts spaced parallel and laterally parallel to one another and said driven segments comprise said conveyor belts and cylindrical drive wheels,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 14 항에 있어서,
각각의 컨베이어 벨트는 상기 컨베이어 벨트에 의해 형성되는 루프(loop)의 2 개의 맨끝 단부들에서 왕관형 아이들러 휠들(crowned idler wheels) 둘레를 에워싸는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
15. The method of claim 14,
Each conveyor belt is wrapped around two crowned idler wheels at two terminal ends of a loop formed by the conveyor belt.
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 15 항에 있어서,
상기 컨베이어 벨트들의 각각 아래에서 중심 아이들러 휠들을 더 포함하며, 상기 중심 아이들러 휠들은 상기 왕관형 아이들러 휠들 사이에 로케이팅되며, 상기 중심 아이들러 휠들은 원통형으로 성형되는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
16. The method of claim 15,
Further comprising center idler wheels below each of said conveyor belts, said center idler wheels being located between said crown idler wheels, said center idler wheels being cylindrically shaped,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 16 항에 있어서,
상기 중심 아이들러 휠들은 상기 WIP 유닛들의 횡 방향 안내를 제공하도록 구성되는 각진 측면 플랜지를 포함하는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
17. The method of claim 16,
Wherein the center idler wheels comprise angled side flanges configured to provide lateral guidance of the WIP units.
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 16 항에 있어서,
상기 중심 아이들러 휠들은 하나의 열로 배열되며, 컨베이어 벨트(conveyor belt)의 복귀 레그(return leg)는 상기 열 아래에서 로케이팅되며, 그리고 상기 복귀 레그는 상기 2 개의 컨베이어 벨트들의 각각에 대한 동일한 속도를 보장하도록 구성되는 원통형 일반적인 드라이브 샤프트(cylindrical common drive shaft)에 의해 구동되는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
17. The method of claim 16,
The center idler wheels are arranged in one row and the return leg of the conveyor belt is located under the column and the return leg is at the same speed for each of the two conveyor belts Which is driven by a cylindrical, common drive shaft,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 18 항에 있어서,
상기 드라이브 샤프트는 컨베이어 레일들의 사이드 투 사이드(side to side) 오정렬(misalignment)을 수용하도록 구성되는 내부 유니버셜 커플링을 포함하는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
19. The method of claim 18,
Wherein the drive shaft includes an inner universal coupling configured to accommodate side to side misalignment of the conveyor rails.
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 14 항에 있어서,
상기 컨베이어 벨트들은 탄성 재료를 포함하며, 그리고 컨베이어 벨트들의 각각은 각각의 원통형 드라이브 휠들 상에서 인장되는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
15. The method of claim 14,
The conveyor belts comprising an elastic material and each of the conveyor belts being tensioned on respective cylindrical drive wheels,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
제 12 항에 있어서,
구성물의 모든 재료들은 정전기 분산성인(static dissipative),
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
13. The method of claim 12,
All materials in the composition are static dissipative,
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제 12 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 컨베이어 경로는 WIP 유닛들의 시퀀스 및 동시에 이송가능한 WIP 유닛들 중 하나를 이송하도록 구성되는,
깨끗한 제조 환경에서 컨베이어 경로들을 따른 고밀도 재공품을 위한 컨베이어 이송 장치.
13. The method of claim 12,
Wherein the at least one conveyor path is configured to transport a sequence of WIP units and one of the transportable WIP units simultaneously,
Conveyor transfer device for high density workpieces along conveyor paths in clean manufacturing environment.
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