KR20170052318A

KR20170052318A - Susceptor and Vaccum chamber including the same

Info

Publication number: KR20170052318A
Application number: KR1020150154624A
Authority: KR
Inventors: 안범모; 박승호
Original assignee: (주)포인트엔지니어링
Priority date: 2015-11-04
Filing date: 2015-11-04
Publication date: 2017-05-12
Also published as: KR102408403B1

Abstract

The present invention relates to a susceptor in which a lower body and an upper body are detachably coupled to each other to improve thermal uniformity of the upper body on which a glass is mounted, and a vacuum chamber including the susceptor. The susceptor includes: the upper body; the lower body disposed under the upper body; a thermal line buried on the inside of the lower body; and a bar connected to the lower part of the lower body.

Description

서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버{ Susceptor and Vaccum chamber including the same }[0001] Susceptor and Vacuum Chamber Including the Susceptor and Vaccum Chamber [0003]

본 발명은 몸체 내부에 열선이 매설되고 상면에 글라스가 올려지는 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a susceptor in which a heating wire is embedded in a body and a glass is mounted on a top surface, and a vacuum chamber including the susceptor.

액정표시장치(LCD)는 어레이 기판과 컬러 필터 기판 사이에 액정을 주입하여, 그 특성을 이용해 영상효과를 얻는 비발광 소자를 뜻한다. 이러한 어레이 기판과 컬러 필터 기판은 각각 유리 등의 재질로 이루어지는 투명 기판상에 수차례에 걸친 박막의 증착, 패터닝 및 식각 공정을 통해 제조되는데, 진공챔버 내부로 반응 및 소스물질이 가스상으로 유입되어 증착 공정을 진행하고자 하는 경우 진공챔버 내부에는, 기판이 안착되며 증착에 적절한 온도로 가열시킬 수 있도록 히터가 내부에 매설되는 서셉터가 설치된다.A liquid crystal display (LCD) refers to a non-luminous element that injects liquid crystal between an array substrate and a color filter substrate and obtains a visual effect by using the characteristics of the liquid crystal. The array substrate and the color filter substrate are manufactured through deposition, patterning, and etching processes of a thin film several times on a transparent substrate made of a material such as glass. The reaction and the source material are introduced into the vacuum chamber, When a process is to be carried out, a susceptor in which a heater is embedded is installed inside the vacuum chamber so that the substrate can be heated and heated to a temperature suitable for deposition.

종래의 서셉터로는 한국등록특허 제0945441호에 기재된 것이 있다(도 1 참고) .A conventional susceptor is disclosed in Korean Patent No. 0945441 (see FIG. 1).

박막 증착 반응이 진행되는 진공챔버는, 상부 리드와 챔버 바디로 구분된다. 상기 상부 리드의 내부에는 백킹 플레이트와 샤워헤드로 구성되는 가스분산부가 진공챔버의 상단을 가로질러 형성되는데, 외부의 가스저장부로부터 공급된 소스가스는 가스라인을 경유하여 상기 가스분산부로 유입된 뒤, 상기 가스분산부에 다수 설치되는 관통홀을 통하여 기판의 상면으로 분사된다. 특히, PECVD 장치에서 상기 가스분산부는 외부의 RF 전원과 연결되어 상기 기판상에 분사된 소스가스를 플라즈마 상태로 활성화시키는 상부전극으로 기능한다.The vacuum chamber in which the thin film deposition reaction proceeds is divided into an upper lead and a chamber body. A gas dispersion unit consisting of a backing plate and a showerhead is formed across the upper end of the vacuum chamber. The source gas supplied from an external gas storage unit flows into the gas dispersion unit via a gas line Through the plurality of through holes formed in the gas dispersion portion. Particularly, in the PECVD apparatus, the gas dispersion unit functions as an upper electrode connected to an external RF power source to activate the source gas injected onto the substrate into a plasma state.

한편, 상기 챔버 바디의 내부에는 상기 가스분산부와 소정간격 이격되는 서셉터 바디가 설치되어 그 상면으로 상기 기판이 안착된다. 상기 서셉터 바디의 중앙 하단으로는 서셉터 샤프트가 챔버 하단부를 관통하면서 결합되어 상기 서셉터 바디를 지지한다. 상기 서셉터 바디의 내면에는 히터가 매설되어 서셉터 상면으로 안치되는 상기 기판을 소정의 온도로 가열시켜 소스가스가 상기 기판의 상면으로 증착될 수 있도록 한다. 이때, 공급되는 소스가스를 플라즈마 처리하여 여기시키는 경우 상기 서셉터 바디는 전기적으로 접지되어 있다. 즉, 상기 서셉터 바디는 그 상면에 안치되는 상기 기판으로 적절한 온도의 열을 공급함과 동시에 상기 상부전극으로 기능하는 상기 가스분산부에 대응되는 하부전극으로 기능한다.Meanwhile, a susceptor body spaced apart from the gas dispersion unit is provided in the chamber body, and the substrate is seated on the upper surface thereof. A susceptor shaft is coupled to the lower end of the susceptor body through the lower end of the chamber to support the susceptor body. A heater is buried in the inner surface of the susceptor body to heat the substrate, which is placed on the upper surface of the susceptor, to a predetermined temperature so that the source gas can be deposited on the upper surface of the substrate. At this time, when the supplied source gas is plasma-processed and excited, the susceptor body is electrically grounded. That is, the susceptor body functions as a lower electrode corresponding to the gas dispersing unit functioning as the upper electrode while supplying heat of a proper temperature to the substrate placed on the upper surface of the susceptor body.

상기 서셉터 샤프트는 상기 서셉터 바디의 상면으로 상기 기판의 로딩/언로딩에 따라 상하로 승하강하여 그 상단에 결합된 서셉터 바디를 수직 방향으로 연동시킨다. 이와 같은 승하강 운동을 위해서 상기 서셉터 바디의 외주변으로는 구동부가 설치되어 모터 등의 구동수단과 연결되어 있다. 다시 말하면 상기 서셉터 샤프트는 서셉터 바디가 수평을 유지하면서 승강할 수 있도록 지지하는 역할 외에 상기 구동부를 통하여 외부로부터 전달된 동력을 전달하는 축의 역할을 수행한다.The susceptor shaft vertically moves up and down in accordance with loading / unloading of the substrate onto the upper surface of the susceptor body, and vertically interlocks the susceptor body coupled to the upper end of the susceptor body. In order to move up and down, a driving unit is provided around the outer periphery of the susceptor body and is connected to driving means such as a motor. In other words, the susceptor shaft serves to support the susceptor body so that the susceptor body can move up and down while keeping the susceptor body horizontal, and also serves as a shaft for transmitting the power transmitted from the outside through the driving unit.

서셉터 샤프트의 상단은 서셉터 바디의 저면 중앙과 결합한 뒤에 용접처리를 통하여 밀폐되어 있다. 상기 서셉터 바디 저면의 중앙에 인접한 영역과 주변에 인접한 영역 각각에는 서로 대칭적으로 매설홈이 형성되어 그 내부로 히터가 수용된다. 상기 매설홈으로 상기 히터가 내삽되면 그 저면으로 알루미늄 재질의 커버가 매설홈의 하단으로부터 부설된다.The upper end of the susceptor shaft is coupled with the bottom center of the susceptor body and is sealed through a welding process. In the region adjacent to the center of the bottom surface of the susceptor and the region adjacent to the periphery, buried grooves are symmetrically formed to accommodate the heater therein. When the heater is inserted into the buried grooves, a cover made of aluminum is laid on the bottom surface from the bottom of the buried grooves.

한편, 상기 기판이 올려지는 상기 서셉터 바디의 상부는 매설된 히터와의 거리에 따라 온도 편차가 발생한다. 상기 서셉터 바디의 상부의 온도 편차로 인해, 상기 기판의 부위별로 막질의 특성이 서로 상이하게 된다. 소형 기판의 경우에는 위와 같은 온도 편차에 따른 막질의 특성차이가 완제품 품질에 크게 영향을 미치지 않았으나, 최근의 대형 기판에서는 온도편차에 따른 막질의 특성 변화를 줄인 고품질의 막질 형성의 필요성이 대두되었다. 그러나 종래기술로는 서셉터 바디의 상부의 열균일성을 향상시키는데 한계가 있다.On the other hand, the temperature of the upper portion of the susceptor body on which the substrate is mounted varies depending on the distance from the embedded heater. Due to the temperature deviation of the upper portion of the susceptor body, the characteristics of the film quality are different from each other in each part of the substrate. In the case of small substrates, the difference in film quality due to the above temperature variation did not significantly affect the quality of the final product. However, in recent large-sized substrates, there has been a need to form a high-quality film with less variation in film quality due to temperature variations. However, the prior art has limitations in improving the thermal uniformity of the upper portion of the susceptor body.

한국등록특허 제0945441호Korean Patent No. 0945441

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 글라스가 올려지는 상부몸체의 열균일성이 향상된 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a susceptor with improved thermal uniformity of an upper body on which a glass is mounted, and a vacuum chamber including the susceptor.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 서셉터는, 상부몸체; 상기 상부몸체 하부에 위치하는 하부몸체; 상기 하부몸체의 내부에 매설되는 열선; 상기 하부몸체의 하면에 연결된 봉; 을 포함하되, 상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a susceptor comprising: an upper body; A lower body positioned below the upper body; A heating wire embedded in the lower body; A rod connected to the lower surface of the lower body; Wherein the upper body and the lower body are detachably coupled to each other.

또한, 상기 상부몸체는 일정한 높이를 갖는 직육면체 형상인 것을 특징으로 한다.The upper body may have a rectangular parallelepiped shape having a predetermined height.

또한, 상기 상부몸체의 측면 둘레에는 상면에 대해 하측으로 단차진 단차부가 형성된 것을 특징으로 한다.Further, a stepped portion may be formed on the side surface of the upper body so as to be stepped downward with respect to the upper surface.

또한, 상기 상부몸체의 측면에는 둘레를 따라 외측으로 돌출된 제1돌출부가 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, a first protrusion protruding outward along the periphery is formed on a side surface of the upper body.

또한, 상기 상부몸체의 글라스면의 면적은 상기 하부몸체의 면적보다 작은 것을 특징으로 한다.Further, the area of the glass surface of the upper body is smaller than the area of the lower body.

또한, 상기 하부몸체의 상면에는 오목한 홈이 형성되고, 상기 상부몸체는 상기 홈에 삽입되어 상기 하부몸체에 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, a concave groove is formed on the upper surface of the lower body, and the upper body is inserted into the groove and coupled to the lower body.

또한, 상기 상부몸체의 하면 및 상기 하부몸체의 상면 중 어느 하나에는 오목한 홈이 형성되고, 다른 하나에는 제2돌출부가 돌출 형성되며, 상기 제2돌출부가 상기 홈에 삽입되어 상기 상부몸체가 상기 하부몸체에 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, a concave groove may be formed in one of the lower surface of the upper body and the upper surface of the lower body, and a second projection may be formed in the other of the lower body and the upper body. The second projection may be inserted into the groove, And is coupled to the body.

또한, 상기 홈과 상기 제2돌출부 중 적어도 어느 하나에는 가이드 경사부가 형성된 것을 특징으로 한다.Also, at least one of the groove and the second projecting portion is formed with a guide inclined portion.

또한, 상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 다수개의 홈과 돌기가 서로 끼워져서 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, the upper body and the lower body are characterized in that a plurality of grooves and protrusions are fitted to each other.

또한, 상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 볼트 결합되는 것을 특징으로 한다.Further, the upper body and the lower body are bolted to each other.

또한, 상기 상부몸체의 하면 또는 상기 하부몸체의 상면은 샌드블라스팅된 것을 특징으로 한다.The lower surface of the upper body or the upper surface of the lower body may be sandblasted.

또한, 상기 상부몸체 및 상기 하부몸체의 표면 중 그 둘의 접촉 부분은 금속 대 금속간의 접촉이 이루어지는 것을 특징으로 한다.Further, the contact portions of the upper body and the lower body are contacted by metal-to-metal.

또한, 상기 금속 대 금속간의 접촉은 비-아노다이징 처리영역인 것을 특징으로 한다.Further, the contact between the metal and the metal is characterized by being a non-anodizing region.

또한, 상기 상부몸체는 알루미늄 재질이고 그 표면이 아노다이징처리된 것을 특징으로 한다.The upper body is made of aluminum and the surface of the upper body is anodized.

또한, 상기 상부몸체는 세라믹 재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.Further, the upper body is made of a ceramic material.

또한, 상기 상부몸체는 상기 세라믹 재질이 면분할된 것을 특징으로 한다.Further, the upper body is characterized in that the ceramic material is surface-divided.

또한, 상기 상부몸체는 글라스 분할면적에 대응되는 크기로 면분할 된 것을 특징으로 한다.In addition, the upper body is divided into a size corresponding to the glass divided area.

또한, 상기 상부몸체는 알루미늄 재질이고 그 표면에 세라믹 코팅된 것을 특징으로 한다.In addition, the upper body is made of aluminum and the surface of the upper body is coated with a ceramic.

또한, 상기 상부몸체는 세라믹 재질로 된 제1상부몸체와, 상기 제1상부몸체의 상부에 결합되되, 알루미늄 재질이고 표면이 아노다이징 처리된 제2상부몸체를 포함하는 것을 특징으로 한다.The upper body may include a first upper body made of a ceramic material and a second upper body coupled to an upper portion of the first upper body and made of aluminum and having an anodized surface.

또한, 상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 면접촉을 통해 상기 상부몸체가 상기 하부몸체에 지지되는 것을 특징으로 한다.In addition, the upper body and the lower body are supported by the lower body through surface contact.

또한, 상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 다수의 선접촉을 통해 상기 상부몸체가 상기 하부몸체에 지지되는 것을 특징으로 한다.In addition, the upper body and the lower body are supported by the lower body through a plurality of line contacts.

또한, 상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 다수의 점접촉을 통해 상기 상부몸체가 상기 하부몸체에 지지되는 것을 특징으로 한다.In addition, the upper body and the lower body are supported by the lower body through a plurality of point contacts.

본 발명의 진공챔버는, 상부몸체; 상기 상부몸체 하부에 위치하는 하부몸체; 상기 하부몸체의 내부에 매설되는 열선; 상기 하부몸체의 하면에 연결된 봉; 을 포함하되, 상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 서셉터를 포함한다.A vacuum chamber of the present invention includes: an upper body; A lower body positioned below the upper body; A heating wire embedded in the lower body; A rod connected to the lower surface of the lower body; Wherein the upper body and the lower body are detachably coupled to each other.

본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.The present invention has the following effects.

상부몸체의 열균일성이 향상됨으로, 글라스의 온도편차를 줄일 수 있어, 고품질의 막질을 형성할 수 있다.The thermal uniformity of the upper body is improved, so that the temperature deviation of the glass can be reduced, and a high-quality film quality can be formed.

도 1은 종래의 서셉터를 도시한 단면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 서셉터의 사시도(상부몸체와 하부몸체 분리).
도 3은 도 2의 저면 사시도.
도 4는 제1실시예에 따른 서셉터의 단면도(상부몸체와 하부몸체 결합, 리프트 핀,승강부재,글라스 포함).
도 5는 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 서셉터를 나타낸 단면도.
도 6은 본 발명의 바람직한 제3실시예에 따른 서셉터를 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명의 바람직한 제4실시예에 따른 서셉터를 나타낸 단면도.
도 8은 본 발명의 바람직한 제5실시예에 따른 서셉터를 나타낸 단면도.
도 9는 본 발명의 바람직한 제6실시예에 따른 서셉터를 나타낸 단면도.
도 10은 상부몸체의 재질에 대한 변형예를 나타낸 단면도.
도 11은 세라믹 재질의 상부몸체에 대한 변형예를 나타낸 단면도.
도 12 내지 도 15는 상부몸체와 하부몸체의 결합구조에 대한 변형예를 나타낸 단면도.
도 16은 도 15의 결합구조에서 선접촉되는 변형예를 나타낸 상부몸체와 하부몸체의 분리 상태도.
도 17은 도 15의 결합구조에서 점접촉되는 변형예를 나타낸 상부몸체와 하부몸체의 분리 상태도.
도 18은 상부몸체의 하면 및 하부몸체의 상면이 샌드블라스팅된 상태를 나타낸 단면도.
도 19는 상부몸체 및 하부몸체의 접촉부분을 제외한 표면이 아노다이징처리된 상태를 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view showing a conventional susceptor;
2 is a perspective view of a susceptor according to a first preferred embodiment of the present invention (upper body and lower body separation).
Fig. 3 is a bottom perspective view of Fig. 2; Fig.
4 is a cross-sectional view of the susceptor according to the first embodiment (including upper body and lower body coupling, lift pin, lifting member, glass).
5 is a cross-sectional view of a susceptor according to a second preferred embodiment of the present invention.
6 is a sectional view showing a susceptor according to a third preferred embodiment of the present invention.
7 is a sectional view showing a susceptor according to a fourth embodiment of the present invention;
8 is a sectional view showing a susceptor according to a fifth preferred embodiment of the present invention.
9 is a sectional view showing a susceptor according to a sixth preferred embodiment of the present invention.
10 is a sectional view showing a modified example of the material of the upper body.
11 is a sectional view showing a modified example of an upper body of a ceramic material.
12 to 15 are sectional views showing a modified example of a coupling structure of an upper body and a lower body.
FIG. 16 is a view showing a state in which an upper body and a lower body are linearly contacted with each other in the coupling structure of FIG. 15; FIG.
FIG. 17 is a perspective view illustrating a state in which an upper body and a lower body are in point contact with each other in the coupling structure of FIG. 15. FIG.
18 is a cross-sectional view showing a state where the lower surface of the upper body and the upper surface of the lower body are sandblasted.
19 is a cross-sectional view showing an anodized state of the surface except for the contact portions of the upper body and the lower body.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부한 도면들과 함께 상세히 후술된 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명하는 실시 예에 한정된 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Brief Description of the Drawings The advantages and features of the present invention, and how to achieve them, will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in different forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한, 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다. The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, the terms 'comprises' and / or 'comprising' mean that the stated element, step, operation and / or element does not imply the presence of one or more other elements, steps, operations and / Or additions. In addition, since they are in accordance with the preferred embodiment, the reference numerals presented in the order of description are not necessarily limited to the order.

본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.The embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional views and / or plan views which are ideal illustrations of the present invention. In the drawings, the thicknesses of the films and regions are exaggerated for an effective description of the technical content. Thus, the shape of the illustrations may be modified by manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, the embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown, but also include changes in the shapes that are generated according to the manufacturing process. Thus, the regions illustrated in the figures have schematic attributes, and the shapes of the regions illustrated in the figures are intended to illustrate specific types of regions of the elements and are not intended to limit the scope of the invention.

참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성은 전술한 종래기술을 비롯하여 종래에 많이 공지되어 있으므로, 별도의 상세한 설명은 생략한다.For reference, the same configurations as those of the prior art among the configurations of the present invention to be described below are well known in the art including the above-described conventional techniques, and therefore, a detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 서셉터는, 도 2 내지 4에 도시한 바와 같이, 상부몸체(300);와, 상부몸체(300)의 하부에 위치하는 하부몸체(100);와, 하부몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114);과, 하부몸체(100)의 하면에 연결된 봉(400);을 포함하되, 상부몸체(300)와 하부몸체(100)는 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 한다.As shown in FIGS. 2 to 4, the susceptor according to the first preferred embodiment of the present invention includes an upper body 300, a lower body 100 positioned below the upper body 300, And a rod 400 connected to a lower surface of the lower body 100. The upper body 300 and the lower body 100 are detachably attached to the lower body 100, .

하부몸체(100)는 하부몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114)을 포함하는 히터부(110)를 포함한다. 히터부(110)는 도 3에 도시한 바와 같이, 하부몸체(100)의 하면에 형성된다. 특별히, 도 3과 같이, 하부몸체(100)의 하면 중에서 중앙부에 인접한 부분과, 테두리에 인접한 부분에 형성될 수 있다.The lower body 100 includes a heater unit 110 including a heat ray 114 buried in the lower body 100. The heater 110 is formed on the lower surface of the lower body 100, as shown in FIG. In particular, as shown in FIG. 3, the lower body 100 may be formed at a portion of the lower surface adjacent to the center portion and a portion adjacent to the rim portion.

히터부(110)는 도 4에 도시한 바와 같이, 하부몸체(100)의 하면에 형성된 매설홈의 내부에 삽입된 열선(114)과, 열선(114)의 하측에 배치된 지지부재(116)와, 지지부재(116)의 하측에 배치되어 상기 매설홈의 개구를 덮는 커버(118)를 포함하여 이루어진다.4, the heater unit 110 includes a heat line 114 inserted into a buried groove formed in a lower surface of the lower body 100, a support member 116 disposed below the heat line 114, And a cover 118 disposed below the support member 116 to cover the opening of the buried groove.

하부몸체(100)에 매설된 열선(114)은 도 4와 같이, 하부몸체(100)의 하면 중앙에 결합된 봉(400)의 내부를 관통하여 연장 형성된다. 열선(114)을 통해 하부몸체(100)가 가열되고, 열전달되어 상부몸체(300)가 가열된다.As shown in FIG. 4, the hot wire 114 embedded in the lower body 100 extends through the inside of the rod 400 coupled to the lower center of the lower body 100. The lower body 100 is heated and heat transferred through the heating wire 114 to heat the upper body 300.

열선(114)의 하부에는 지지부재(116)가 배치된다. 지지부재(116)는 열선(114)과 커버(118) 사이에 위치한다. 지지부재(116)의 상면은 하측으로 볼록한 포물선 형상을 이룬다. 지지부재(116)의 상면에 열선(114)이 올려져, 열선(114)을 지지한다.A support member 116 is disposed below the heat ray 114. [ The support member 116 is positioned between the heating wire 114 and the cover 118. The upper surface of the support member 116 has a parabolic shape convex downward. A heat ray 114 is mounted on the upper surface of the support member 116 to support the heat ray 114.

지지부재(116)의 하측에는 커버(118)가 배치된다. 커버(118)는 상기 매설홈의 개구를 덮고 하부몸체(100)의 하면에 용접(특별히, 마찰교반용접)으로 결합될 수 있다. 커버(118)의 폭은 지지부재(116)보다 크다.A cover 118 is disposed below the support member 116. The cover 118 covers the opening of the buried groove and can be welded (specifically, friction stir welding) to the lower surface of the lower body 100. The width of the cover 118 is larger than the support member 116.

제1실시예에 따른 하부몸체(100)는 직육면체 형상으로 형성되고, 그 상면 중앙에 오목한 홈(130)이 형성된다. 홈(130)은 수평 단면이 사각 형상으로 형성될 수 있고, 상부몸체(300)가 홈(130)의 내부에 삽입되어 하부몸체(100)에 결합된다.The lower body 100 according to the first embodiment is formed in a rectangular parallelepiped shape, and a concave groove 130 is formed at the center of the upper surface thereof. The groove 130 may have a rectangular cross section and the upper body 300 is inserted into the groove 130 and coupled to the lower body 100.

상부몸체(300)는 도 2와 같이, 측면이 일정한 높이를 갖는 직육면체 형상으로 형성될 수 있다. 상부몸체(300)의 측면 둘레는 하부몸체(100)의 측면 둘레보다 작게 형성된다. 상부몸체(300)의 상면은 글라스(600)가 올려지는 글라스면(301)이다. 글라스면(301)의 면적은 하부몸체(100)의 면적보다 작다. 글라스면(301)의 둘레는 하부몸체(100)의 측면 둘레의 길이보다 작다.2, the upper body 300 may have a rectangular parallelepiped shape having a predetermined height. The side surface of the upper body 300 is formed to be smaller than the side surface of the lower body 100. The upper surface of the upper body 300 is a glass surface 301 on which the glass 600 is lifted. The area of the glass surface 301 is smaller than the area of the lower body 100. The periphery of the glass surface 301 is smaller than the length of the side periphery of the lower body 100.

상부몸체(300)의 측면 둘레가 하부몸체(100)에 형성된 홈(130)의 내부 측면의 둘레보다 작게 형성되어, 상부몸체(300)가 홈(130)의 내부에 삽입됨으로써 하부몸체(100)에 용이하게 결합된다.The side surface of the upper body 300 is formed to be smaller than the circumference of the inner side surface of the groove 130 formed in the lower body 100 so that the upper body 300 is inserted into the groove 130, Lt; / RTI >

전술한 바와 같이, 분리 형성된 상부몸체(300)와 하부몸체(100)가 결합되어 형성되는 상기 서셉터의 몸체 외형 크기는, 종래의 일체로 형성된 서셉터의 몸체 외형 크기와 동일할 수 있다. 다시 말해, 본 발명에 따른 상기 서셉터의 몸체가 이루는 면적, 높이, 형상 등의 크기는 종래기술에 따른 상기 서셉터의 몸체가 이루는 면적, 높이, 형상 등과 동일하다.As described above, the external size of the body of the susceptor formed by coupling the separated upper body 300 and the lower body 100 may be the same as the external size of the body of the conventional integrally formed susceptor. In other words, the area, height, shape, etc. of the body of the susceptor according to the present invention are the same as those of the body of the susceptor according to the prior art.

한편, 하부몸체(100) 및 상부몸체(300)에는 도 2 내지 도 4와 같이, 다수 개의 관통구(120)가 형성된다. 관통구(120)는 도 4와 같이, 하부몸체(100) 및 상부몸체(300)의 상하면을 관통하여 형성된다. 관통구(120)의 내부에는 리프트 핀(500)이 배치되어 상하로 이동하며 글라스(600)를 들어올리게 된다.2 to 4, a plurality of through holes 120 are formed in the lower body 100 and the upper body 300. As shown in FIG. 4, the through-hole 120 is formed through the upper and lower surfaces of the lower body 100 and the upper body 300. A lift pin (500) is disposed in the through hole (120) and moves up and down to lift the glass (600).

글라스(600)는 상부몸체(300)의 상면인 글라스면(301)에 올려진 후, 막질의 형성, 패터닝 및 식각 공정 등을 거치게 되며, 리프트 핀(400)에 의해 들어 올려지게 된다. 글라스(600)가 들어 올려지면, 상부몸체(300)의 상면인 글라스면(301)과 글라스(600) 사이의 공간으로 이동부재(미도시)가 삽입되어 글라스(600)를 이동시키게 된다.The glass 600 is placed on the glass surface 301 which is the upper surface of the upper body 300 and then is subjected to film formation, patterning and etching processes and lifted by the lift pins 400. When the glass 600 is lifted, a moving member (not shown) is inserted into the space between the glass surface 301, which is the upper surface of the upper body 300, and the glass 600 to move the glass 600.

리프트 핀(500)은 막대 형상으로 형성되며, 상부의 단면이 역삼각형 형상으로 형성된다. 리프트 핀(500)의 하단은 승강부재(505)에 연결된다. 리프트 핀(500)은 하부몸체(100) 및 상부몸체(300)에 형성된 관통구(120)의 내부를 왕복하며 글라스(600)를 들어올리거나, 내리게 된다.The lift pin 500 is formed in a bar shape, and the upper end surface is formed in an inverted triangular shape. The lower end of the lift pin 500 is connected to the lifting member 505. The lift pin 500 reciprocates within the through hole 120 formed in the lower body 100 and the upper body 300 to lift or lower the glass 600. [

승강부재(505)는 도 4에 도시한 바와 같이, 봉(400)의 외주에 인접하여 배치된 원통부와, 상기 원통부의 상단에 연결된 평판부를 포함하여 이루어진다. 리프트 핀(500)은 상기 평판부의 상면에 연결된다.As shown in FIG. 4, the elevating member 505 includes a cylindrical portion disposed adjacent to the outer periphery of the rod 400, and a flat plate portion connected to the upper end of the cylindrical portion. The lift pins 500 are connected to the upper surface of the flat plate portion.

승강부재(505)는 도 4에 도시한 바와 같이, 상하로 이동하며 리프트 핀(500)을 통해 글라스(600)를 들어올리거나 내리는 역할을 한다.As shown in FIG. 4, the elevating member 505 moves upward and downward to lift or lower the glass 600 through the lift pins 500.

한편, 하부몸체(100)의 하면 중앙에는 원통 형상의 봉(400)이 결합 된다. 봉(400)의 상단은 하부몸체(100)의 하면 중앙에 용접(특별히, 마찰교반용접)될 수 있다. 봉(400)의 내부에는 하부몸체(100)에 매설된 열선(114)이 연장되어 배치된다. 봉(400)은 하부몸체(100)를 지지한다.Meanwhile, a cylindrical rod 400 is coupled to the lower center of the lower body 100. The upper end of the rod 400 may be welded (specifically, friction stir welding) to the lower center of the lower body 100. Inside the rod 400, a heat ray 114 buried in the lower body 100 is extended and disposed. The rod (400) supports the lower body (100).

이하에는 도 5 내지 도 9를 참고하여, 하부몸체(100) 및 상부몸체(300)의 다양한 실시예를 설명한다. 이하에는 제1실시예와 동일한 부분에 대한 설명은 생략하고, 차이점만 설명하도록 한다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 하부몸체(100) 및 상부몸체(300)의 다양한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 고려한 기술적 범위내에서 적절하게 선택될 수 있다.Hereinafter, various embodiments of the lower body 100 and the upper body 300 will be described with reference to FIGS. Hereinafter, description of the same parts as those of the first embodiment will be omitted, and only differences will be described. Various embodiments of the lower body 100 and the upper body 300 according to the preferred embodiment of the present invention can be appropriately selected within the technical scope in consideration of the technical idea of the present invention.

제2실시예에 따른 서셉터는, 도 5에 도시한 바와 같이, 하부몸체(100a)는 측면이 일정한 높이를 갖는 직육면체 형상으로 형성되되, 상면에 제1실시예와 같은 홈(130)이 없이 평평하게 형성된다. 그리고 하부몸체(100a)의 상면에 상부몸체(300a)가 올려져 결합될 수 있다. 상부몸체(300a)는 측면의 높이가 일정한 직육면체 형상이다. 상부몸체(300a)는 하부몸체(100a)의 둘레 내측에 배치되고, 상부몸체(300a)의 측면 둘레는 하부몸체(100a)의 측면 둘레보다 작다. 상부몸체(300a)의 상면에는 글라스(600)가 올려져 지지된다.5, the lower body 100a of the susceptor according to the second embodiment is formed in a rectangular parallelepiped shape having a constant height on the side surface, and the susceptor according to the second embodiment has no groove 130 like the first embodiment on the upper surface thereof. And is formed flat. The upper body 300a may be mounted on the upper surface of the lower body 100a. The upper body 300a has a rectangular parallelepiped shape with a constant side height. The upper body 300a is disposed on the inner circumference of the lower body 100a and the side surface of the upper body 300a is smaller than the lateral circumference of the lower body 100a. A glass 600 is supported on the upper surface of the upper body 300a.

제3실시예에 따른 서셉터는, 도 6에 도시한 바와 같이, 하부몸체(100b)는 직육면체 형상으로 형성되고, 상면 중심에 홈b(130b)가 형성된다. 홈b(130b)에는 상부몸체(300b)의 중심부(302)가 삽입되어 결합된다. 또한, 상부몸체(300b)의 측면에는 둘레를 따라 외측으로 돌출된 제1돌출부(303)가 형성된다.In the susceptor according to the third embodiment, as shown in Fig. 6, the lower body 100b is formed in a rectangular parallelepiped shape, and the groove b 130b is formed in the center of the upper surface. The central portion 302 of the upper body 300b is inserted into the groove b 130b. A first protrusion 303 protruding outward along the circumference is formed on a side surface of the upper body 300b.

상부몸체(300b)는 직육면체 형상으로 형성되어 하부가 홈b(130b)에 삽입되는 중심부(302)와, 중심부(302)의 측면 둘레를 따라 외측으로 돌출된 제1돌출부(303)를 포함하여 이루어진다. 제1돌출부(303)는 중심부(302)의 측면 중앙의 둘레를 따라 형성된다. 제1돌출부(303)의 측면 둘레는 하부몸체(100b)의 측면 둘레와 동일할 수 있다. 제1돌출부(303)는 홈b(130b)의 외측에 배치된다.The upper body 300b includes a central portion 302 formed in a rectangular parallelepiped shape and having a lower portion inserted into the groove b 130b and a first protrusion 303 protruding outward along the side surface of the central portion 302 . The first protrusion 303 is formed along the circumference of the center of the side surface of the center portion 302. The side surface of the first protrusion 303 may be the same as the side surface of the lower body 100b. The first projection 303 is disposed outside the groove b 130b.

상부몸체(300b)는 중심부(302)의 하부가 홈b(130b)에 삽입되어 결합된다. 중심부(302)의 하면은 홈b(130b)의 내부 하면에 접하고, 제1돌출부(303)의 하면은 하부몸체(100b)의 상면에 접한다. 중심부(302)의 상면은 글라스(600)가 올려지는 글라스면(301)이다.In the upper body 300b, a lower portion of the center portion 302 is inserted and coupled to the groove b 130b. The lower surface of the central portion 302 is in contact with the inner bottom surface of the groove b 130b and the lower surface of the first projecting portion 303 is in contact with the upper surface of the lower body 100b. The upper surface of the central portion 302 is a glass surface 301 on which the glass 600 is lifted.

제4실시예에 따른 서셉터는, 도 7에 도시한 바와 같이, 하부몸체(100c)는 직육면체 형상으로 형성된다. 하부몸체(100c)의 상면에는 직육면체 형상의 상부몸체(300c)가 올려져 결합된다. 상부몸체(300c)의 측면 둘레에는 상면에 대해 하측으로 단차진 단차부(310)가 형성된다.In the susceptor according to the fourth embodiment, as shown in Fig. 7, the lower body 100c is formed in a rectangular parallelepiped shape. An upper body 300c having a rectangular parallelepiped shape is mounted on the upper surface of the lower body 100c. A stepped portion 310, which is stepped downward with respect to the upper surface, is formed around the side surface of the upper body 300c.

단차부(310)는 상부몸체(300c)의 측면 상부 둘레를 따라 형성된다. 글라스(600)는 단차부(310)의 내측에 배치되고 상부몸체(300c)의 중앙부 상면에 올려져 지지된다.The stepped portion 310 is formed along the upper side of the upper side of the upper body 300c. The glass 600 is disposed inside the stepped portion 310 and supported on the upper surface of the central portion of the upper body 300c.

한편, 도 8 또는 도 9에 도시한 바와 같이, 서셉터는 상부몸체(300d,300e)의 하면 및 하부몸체(100d,100e)의 상면 중 어느 하나에는 오목한 홈(130d,130e)이 형성되고, 다른 하나에는 제2돌출부(305,307)가 형성된다. 8 and 9, concave grooves 130d and 130e are formed on the lower surface of the upper bodies 300d and 300e and the upper surfaces of the lower bodies 100d and 100e, respectively, And the second projections 305 and 307 are formed.

제5실시예에 따른 서셉터는, 도 8에 도시한 바와 같이, 하부몸체(100d)는 직육면체 형상으로 형성되고, 그 상면 중앙에 홈d(130d)가 형성된다. 홈d(130d)의 내부 측면은 상측으로 갈수록 외측으로 경사진 가이드 경사부a(132d)이다. In the susceptor according to the fifth embodiment, as shown in Fig. 8, the lower body 100d is formed in a rectangular parallelepiped shape, and a groove d (130d) is formed at the center of its upper surface. The inner side surface of the groove d (130d) is a guide inclined portion a (132d) inclined outward toward the upper side.

제5실시예에 따른 상부몸체(300d)는 직육면체 형상으로 형성되되, 그 하면 중앙에는 하측으로 돌출된 제2돌출부a(305)가 형성된다. 제2돌출부a(305)은 홈d(130d)의 내면에 대응되는 형상으로 돌출 형성된다. 그래서 제2돌출부a(305)의 하면은 홈d(130d)의 내부 하면에 접하고, 제2돌출부a(305)의 측면은 가이드 경사부a(132d)인, 홈d(130d)의 내부 측면에 접한다. 제2돌출부a(305)의 측면은 홈d(130d)의 내부 측면에 대응되도록, 하측으로 갈수록 상부몸체(300d)의 중심을 향하여 경사지게 형성된다. The upper body 300d according to the fifth embodiment is formed in a rectangular parallelepiped shape, and a second protrusion a 305 protruding downward is formed at the center of the lower body. The second projection a (305) protrudes in a shape corresponding to the inner surface of the groove d (130d). The lower surface of the second projection a 305 is in contact with the inner bottom surface of the groove d 130d and the side surface of the second projection a 305 is in contact with the inner side surface of the groove d 130d which is the guide inclined portion a 132d Touch. The side surface of the second projection a (305) is formed to be inclined toward the center of the upper body (300d) toward the lower side so as to correspond to the inner side surface of the groove d (130d).

제2돌출부a(305)가 홈d(130d)에 삽입됨으로써, 상부몸체(300d)가 하부몸체(100d)에 결합된다. 가이드 경사부a(132d)로 인해, 하부몸체(100d)에 대한 상부몸체(300d)의 결합이 용이하다. 또한, 상부몸체(300d)의 측면 상부 둘레에는 상면에 대해 하측으로 단차진 단차부(310)가 형성된다.The second protrusion a 305 is inserted into the groove d 130d so that the upper body 300d is engaged with the lower body 100d. Due to the guide inclined portion a (132d), it is easy to engage the upper body 300d with respect to the lower body 100d. A stepped portion 310, which is stepped downward with respect to the upper surface, is formed around the upper side of the side surface of the upper body 300d.

제6실시예에 따른 서셉터는, 도 9에 도시한 바와 같이, 하부몸체(100e)는 직육면체 형상으로 형성되고, 그 상면 중앙에 상측으로 돌출된 제2돌출부b(307)가 형성된다. 제2돌출부b(307)의 측면은 상측으로 갈수록 상부몸체(300e)의 중심을 향하여 경사진 가이드 경사부b(132e)이다. In the susceptor according to the sixth embodiment, as shown in Fig. 9, the lower body 100e is formed in a rectangular parallelepiped shape, and a second projection b (307) protruding upward is formed at the center of the upper surface. The side surface of the second projection b (307) is a guide inclined portion b (132e) inclined toward the center of the upper body (300e) toward the upper side.

또한, 제6실시예에 따른 상부몸체(300e)는 직육면체 형상으로 형성되되, 그 하면 중앙에 오목한 홈e(130e)가 형성된다. 홈e(130e)의 내부 측면은 하측으로 갈수록 외측으로 경사진 가이드 경사부b(132e)이다. 홈e(130e)의 내면은 제2돌출부b(307)의 외면과 서로 대응되는 형상이다. 제2돌출부b(307)의 상면은 홈e(130e)의 내부 상면에 접하고, 제2돌출부b(307)의 측면은 홈e(130e)의 내부 측면인 가이드 경사부b(132e)에 접한다. 제2돌출부b(307)가 홈e(130e)에 삽입됨으로써, 상부몸체(300e)가 하부몸체(100e)에 결합된다. 가이드 경사부b(132e)로 인해, 하부몸체(100e)에 대한 상부몸체(300e)의 결합이 용이하다. 또한, 상부몸체(300e)의 측면 상부 둘레에는 상면에 대해 하측으로 단차진 단차부(310)가 형성된다.Also, the upper body 300e according to the sixth embodiment is formed in a rectangular parallelepiped shape, and a concave groove e (130e) is formed at the center of the lower body. The inner side surface of the groove e (130e) is a guide inclined portion b (132e) inclined outward toward the lower side. The inner surface of the groove e (130e) corresponds to the outer surface of the second projection b (307). The upper surface of the second projecting portion b 307 abuts the inner upper surface of the groove e 130e and the side surface of the second projecting portion b 307 abuts the guide inclined portion b 132e which is the inner side surface of the groove e 130e. The second protrusion b 307 is inserted into the groove e 130e so that the upper body 300e is coupled to the lower body 100e. Due to the guide inclined portion b (132e), it is easy to engage the upper body (300e) with respect to the lower body (100e). A stepped portion 310, which is stepped downward with respect to the upper surface, is formed around the upper side of the side surface of the upper body 300e.

이하에는 도 10을 참고하여 상부몸체(300g,300h,300i,300j,300k)의 재질을 설명한다. 이하에서의 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 상부몸체(300g,300h,300i,300j,300k)의 재질은 본 발명의 기술적 사상을 고려한 기술적 범위내에서 적절하게 선택될 수 있다.Hereinafter, the materials of the upper bodies 300g, 300h, 300i, 300j, and 300k will be described with reference to FIG. The materials of the upper bodies 300g, 300h, 300i, 300j, and 300k according to the preferred embodiments of the present invention may be appropriately selected within the technical scope in consideration of the technical idea of the present invention.

도 10(a)에 도시한 바와 같이, 상부몸체(300g)는 알루미늄 재질이고, 그 표면이 아노다이징처리될 수 있다. 상부몸체(300g)는 표면 전체가 아노다이징처리되어 양극산화 알루미늄이 덮힐 수 있다. As shown in Fig. 10 (a), the upper body 300g is made of aluminum and its surface can be anodized. The entire upper surface of the upper body 300g may be anodized so that the anodized aluminum may be covered.

또한, 도 10(b)에 도시한 바와 같이, 상부몸체(300h)는 알루미늄 재질이고, 상부몸체(300h)의 하면을 제외한 나머지 표면이 아노다이징처리될 수 있다. 그래서 상부몸체(300h)의 하면을 제외한 나머지 표면에 양극산화 알루미늄이 덮힐 수 있다. 이 경우, 상기 서셉터의 하부몸체(100)의 하면에 그라운트 스트립이 설치됨에 따라 상기 서셉터의 상부몸체(300h)와 하부몸체(100)는 전기적으로 통전되도록 하여 상부몸체(300h)의 하면과 접촉된 하부몸체(100)를 전기적으로 그라운드시키면 상부몸체(300h)도 전기적으로 그라운드처리될 수 있다. 10 (b), the upper body 300h is made of aluminum, and the remaining surface except for the lower surface of the upper body 300h can be anodized. Therefore, anodized aluminum can be covered on the remaining surface except the lower surface of the upper body 300h. In this case, since the ground strip is provided on the lower surface of the lower body 100 of the susceptor, the upper body 300h and the lower body 100 of the susceptor are electrically energized, The upper body 300h can be electrically grounded by electrically grounding the lower body 100 in contact with the upper body 300h.

또한, 도 10(c)에 도시한 바와 같이, 상부몸체(300i)는 세라믹 재질일 수 있다. 또한, 세라믹 재질로 이루어진 상부몸체(300i)는, 도 11(a)와 같이, 하나의 일체로 형성될 수 있다. 또한, 도 11(b) 및 도 11(c)와 같이, 다수 개의 단위몸체(300i-1,300i-2)로 면분할된 것일 수 있다. 특별히, 도 11(c)의 상부몸체(300i)는 4개의 단위몸체(300i-2)로 분할되어, 상부몸체(300i)의 상면에 올려지는 글라스(600)의 분할면적에 대응되는 크기로 면분할된 것이다.In addition, as shown in FIG. 10C, the upper body 300i may be made of a ceramic material. In addition, the upper body 300i made of a ceramic material may be integrally formed as shown in FIG. 11 (a). Also, as shown in Figs. 11 (b) and 11 (c), the unit bodies 300i-1,300i-2 may be divided into a plurality of unit bodies 300i-1 and 300i-2. Particularly, the upper body 300i of FIG. 11 (c) is divided into four unit bodies 300i-2. The upper body 300i has a size corresponding to the divided area of the glass 600, which is placed on the upper surface of the upper body 300i, It is divided.

또한, 도 10(d)에 도시한 바와 같이, 상부몸체(300j)는 알루미늄 재질이고, 그 표면에 세라믹 코팅될 수 있다. 상부몸체(300j)는 표면 전체가 세라믹으로 덮힐 수 있다.Further, as shown in Fig. 10 (d), the upper body 300j is made of aluminum and can be ceramic coated on its surface. The entire upper surface of the upper body 300j can be covered with a ceramic.

또한, 도 10(e)에 도시한 바와 같이, 상부몸체(300k)는 세라믹 재질로 된 제1상부몸체(300k-1)와, 제1상부몸체(300k-1)의 상부에 결합되되, 알루미늄 재질이고 그 표면이 아노다이징처리된 제2상부몸체(300k-2)를 포함하여 이루어질 수 있다. 제1상부몸체(300k-1)와 제2상부몸체(300k-2)는 상하로 적층되어 배치된다. 제2상부몸체(300k-2)는 표면 전체가 양극산화 알루미늄으로 덮혀 있다. 10E, the upper body 300k includes a first upper body 300k-1 made of a ceramic material and a second upper body 300k-1 coupled to an upper portion of the first upper body 300k-1, And the second upper body 300k-2 whose surface is anodized. The first upper body 300k-1 and the second upper body 300k-2 are stacked vertically. The entire upper surface of the second upper body 300k-2 is covered with anodized aluminum.

이하에는 도 12 내지 도 17을 참고하여 하부몸체(100,100a,100b,100L)와 상부몸체(300,300a,300b,300L)의 결합구조에 대해 설명한다. 이하에서의 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 하부몸체(100,100a,100b,100L)와 상부몸체(300,300a,300b,300L)의 결합구조는 본 발명의 기술적 사상을 고려한 기술적 범위내에서 적절하게 선택될 수 있다.Hereinafter, the coupling structure of the lower bodies 100, 100a, 100b and 100L and the upper bodies 300, 300a, 300b and 300L will be described with reference to FIGS. 12 to 17. FIG. The coupling structure of the lower bodies 100, 100a, 100b, and 100L and the upper bodies 300, 300a, 300b, and 300L according to the preferred embodiment of the present invention may be appropriately selected within the technical scope in consideration of the technical idea of the present invention. .

도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 하부몸체(100)의 상면에 오목한 홈이 형성되고, 상부몸체(300)는 홈에 삽입되어 결합될 수 있다. 도 12는 하부몸체(100)의 홈에 삽입된 상부몸체(300)의 일부분을 확대하여 나타낸 것이다. 이 경우, 별도의 결합수단 없이 하부몸체(100)에 상부몸체(300)가 결합될 수 있다.As shown in FIGS. 2 and 4, concave grooves are formed on the upper surface of the lower body 100, and the upper body 300 is inserted into the grooves. 12 is an enlarged view of a part of the upper body 300 inserted into the groove of the lower body 100. As shown in FIG. In this case, the upper body 300 can be coupled to the lower body 100 without a separate coupling means.

또한, 도 13과 같이, 상부몸체(300a)는 하부몸체(100a)에 볼트(330) 결합될 수 있다. 볼트(330)는 하부몸체(100a)의 하면에서 삽입되어 하부몸체(100a)를 상하 방향으로 관통한 후, 상부몸체(300a)에 결합될 수 있다. Also, as shown in FIG. 13, the upper body 300a may be coupled to the lower body 100a with the bolts 330. FIG. The bolts 330 may be inserted from the lower surface of the lower body 100a and penetrate the lower body 100a in the vertical direction and then be coupled to the upper body 300a.

또한, 도 14와 같이, 상부몸체(300a)와 하부몸체(100a)는 다수개의 홈(340)과 돌기(342)가 서로 끼워져서 결합될 수 있다. 도 14와 같이, 하부몸체(100a)의 상면에는 다수개의 돌기(342)가 서로 이격되어 상측으로 돌출되고, 상부몸체(300a)의 하면에는 돌기(342)가 삽입되는 다수개의 오목한 홈(340)이 형성된다. 홈(340)에 돌기(342)가 삽입됨으로써, 상부몸체(300a)는 하부몸체(100a)에 결합되어 지지된다. 돌기(342)의 상부 둘레는 홈(340)의 내주면 둘레보다 작게 형성되어 홈(340)과 돌기(342) 사이에는 공간(341)이 형성될 수 있다. 공간(341)으로 인해 상부몸체(300a)로 열이 균일하게 전달될 수 있어 상부몸체(300a)의 열균일성이 향상될 수 있다. 도 5에 도시한 제2실시예는 도 13 또는 도 14의 결합구조가 바람직할 수 있다.As shown in FIG. 14, the upper body 300a and the lower body 100a may have a plurality of grooves 340 and protrusions 342 interdigitated with each other. 14, a plurality of protrusions 342 protrude upward from the upper surface of the lower body 100a and a plurality of concave grooves 340 through which the protrusions 342 are inserted on the lower surface of the upper body 300a. . The protrusion 342 is inserted into the groove 340 so that the upper body 300a is coupled to and supported by the lower body 100a. The upper periphery of the projection 342 is formed to be smaller than the inner periphery of the groove 340 so that a space 341 may be formed between the groove 340 and the projection 342. Heat can be uniformly transferred to the upper body 300a due to the space 341, so that the thermal uniformity of the upper body 300a can be improved. The second embodiment shown in Fig. 5 may be preferably a coupling structure of Fig. 13 or Fig.

도 12 내지 도 14에 도시한 결합구조는 상부몸체(300,300a)의 하면과 하부몸체(100,100a)의 상면이 서로 접하는 면접촉을 통해 상부몸체(300,300a)가 하부몸체(100,100a)에 지지된다. 면접촉되면 열전도가 잘 이루어지기 때문에 히팅 전력이 절약되는 장점이 있다.12 to 14, the upper bodies 300 and 300a are supported by the lower bodies 100 and 100a through surface contact where the lower surfaces of the upper bodies 300 and 300a are in contact with the upper surfaces of the lower bodies 100 and 100a, do. Since the heat conduction is performed well when the surface is contacted, there is an advantage that the heating power is saved.

한편, 도 15와 같이, 하부몸체(100L)는 상면에서 상측으로 돌출되어 이격된 다수개의 지지부(344)와, 지지부(344)의 상면에서 상측으로 돌출된 돌기(342)를 포함한다. 돌기(342)의 상부는 단면이 반원 형상으로 형성되고, 지지부(344)의 상면은 하부몸체(100L)의 상면에 대해 상측으로 단차지게 형성된다. 지지부(344)의 측면 둘레는 돌기(342)의 측면 둘레보다 크고, 돌기(342)는 지지부(344)의 측면 둘레 내측에 위치된다.15, the lower body 100L includes a plurality of supporting portions 344 protruding upward from the upper surface and spaced upward from the upper surface of the supporting portion 344. The upper portion of the projection 342 is formed in a semicircular shape in section, and the upper surface of the support portion 344 is formed to be stepped upward with respect to the upper surface of the lower body 100L. The side surface of the support portion 344 is larger than the side surface of the protrusion 342 and the protrusion 342 is positioned inside the side surface of the support portion 344.

그리고 상부몸체(300L)의 하면에는 돌기(342)의 외면에 대응되는 형상의 홈(340)이 형성되어 돌기(342)가 삽입된다. 상부몸체(300L)가 하부몸체(100L)에 결합시, 돌기(342)는 홈(340)에 삽입되고, 상부몸체(300L)의 하면은 지지부(344)의 상면에 접하여 지지된다. 그래서 상부몸체(300L)의 하면과 하부몸체(100L)의 상면 사이에는 이격공간(345)이 형성된다.A groove 340 having a shape corresponding to the outer surface of the protrusion 342 is formed on the lower surface of the upper body 300L and the protrusion 342 is inserted. When the upper body 300L is coupled to the lower body 100L, the protrusion 342 is inserted into the groove 340 and the lower surface of the upper body 300L is held in contact with the upper surface of the support 344. Thus, a spacing space 345 is formed between the lower surface of the upper body 300L and the upper surface of the lower body 100L.

도 15의 결합구조는, 도 16과 같이 돌기(342a)의 최상단부가 상부몸체(300L)와 다수개의 선상을 따라 접촉되는 선접촉 형태일 수 있고, 도 17과 같이 돌기(342b)의 최상단부가 상부몸체(300L)와 점접촉되는 형태일 수 있다.15, the upper end of the projection 342a may be in line contact with the upper body 300L along a plurality of lines, as shown in FIG. 16, and the upper end of the projection 342b may be in a line- And may be in point contact with the body 300L.

본 발명에서는 돌기(342)의 최상단부가 상부몸체(300L)와 선접촉하면 선접촉으로 지칭하고, 점접촉하면 점접촉으로 지칭하도록 한다.In the present invention, when the uppermost portion of the projection 342 is in line contact with the upper body 300L, it is referred to as line contact, and when it is point contact, it is referred to as point contact.

도 16과 같이, 지지부(344a)와 돌기(342a)는 하부몸체(100L)의 전후 방향으로 연장되어 막대 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 선상을 이루는 돌기(342a)에 대응되도록 상부몸체(300L)의 하면에 상부몸체(300L)의 전후 방향으로 연장된 선상의 홈(340)이 형성된다.As shown in FIG. 16, the supporting portions 344a and the protrusions 342a may be formed in a rod shape extending in the front-rear direction of the lower body 100L. In addition, a line-shaped groove 340 extending in the front-rear direction of the upper body 300L is formed on the lower surface of the upper body 300L so as to correspond to the line-shaped projection 342a.

도 16과 같이 전후 방향으로 연장된 지지부(344a) 및 돌기(342a)와, 홈(340)을 통해, 상부몸체(300L)와 하부몸체(100L)는 다수의 선접촉을 통해 상부몸체(300L)가 하부몸체(100L)에 결합되어 지지될 수 있다.The upper body 300L and the lower body 100L are connected to the upper body 300L through a plurality of line contacts through the support portions 344a and 342a extending in the forward and backward direction and the groove 340, Can be coupled to and supported by the lower body 100L.

또한, 도 17과 같이, 지지부(344b)는 원판 형상으로 형성되고, 돌기(342b)는 원통 형상으로 형성되고 그 상부가 반구 형상일 수 있다. 이상과 같은 형상의 지지부(344b) 및 돌기(342b)가 하부몸체(100L)의 상면에서 이격되어 다수개가 형성될 수 있다. 그리고 하부몸체(100L)의 상면에 형성된 지지부(344b) 및 돌기(342b)에 대응하여 상부몸체(300L)의 하면에 오목한 홈(340)이 다수개 형성되고, 돌기(342b)가 홈(340)에 삽입된다. 도 17과 같은 지지부(344b) 및 돌기(342b)와, 홈(340)을 통해, 상부몸체(300L)와 하부몸체(100L)는 다수의 점접촉을 통해 상부몸체(300L)가 하부몸체(100L)에 결합되어 지지될 수 있다.17, the support portion 344b is formed in a disk shape, the protrusion 342b is formed in a cylindrical shape, and the upper portion thereof may be hemispherical. A plurality of support portions 344b and protrusions 342b having the shapes as described above may be spaced apart from the upper surface of the lower body 100L. A plurality of concave grooves 340 are formed in the lower surface of the upper body 300L corresponding to the support portions 344b and 342b formed on the upper surface of the lower body 100L and the projections 342b are formed in the grooves 340. [ . The upper body 300L and the lower body 100L are connected to the lower body 100L through a plurality of point contacts through the supporter 344b and the protrusion 342b and the groove 340 as shown in Figure 17, As shown in FIG.

열선(114)을 통해 가열되는 하부몸체(100L)는, 도 16 및 도 17과 같이 하부몸체(100L)에서 상부몸체(300L)로, 다수의 선접촉 또는 점접촉으로 열이 전도되면, 상부몸체(300L)의 열균일성을 향상시킬 수 있다. 다시 말해, 상부몸체(300L)의 상면인 글라스면의 열균일성이 향상되어 글라스(600)의 온도편차를 줄일 수 있고, 고품질의 막질을 형성할 수 있다.The lower body 100L heated through the heating wire 114 is heated by the upper body 300L from the lower body 100L to the upper body 300L as shown in FIGS. 16 and 17, The thermal uniformity of the heat sink 300L can be improved. In other words, the thermal uniformity of the glass surface, which is the upper surface of the upper body 300L, is improved, and the temperature deviation of the glass 600 can be reduced, and a high-quality film quality can be formed.

또한, 도 18에 도시한 바와 같이, 서로 접하는 상부몸체(300b)의 하면 또는 하부몸체(100b)의 상면은 샌드블라스팅될 수 있다. 도 18에는 상부몸체(300b)의 하면과 하부몸체(100b)의 상면이 모두 샌드블라스팅면(350)으로 형성되어 있다. 샌드블라스팅면(350)은 요철면으로 형성된다.18, the lower surface of the upper body 300b or the upper surface of the lower body 100b which are in contact with each other can be sandblasted. In FIG. 18, the lower surface of the upper body 300b and the upper surface of the lower body 100b are both formed of sand blasted surfaces 350. The sand blasted surface 350 is formed as an uneven surface.

또한, 도 19에 도시한 바와 같이, 상부몸체(300L) 및 하부몸체(100L)의 표면 중 그 둘의 접촉 부분은 금속 대 금속간의 접촉이 이루어질 수 있다. 도 19의 상부몸체(300L) 및 하부몸체(100L)는 도 15와 동일하게, 상부몸체(300L)의 상면에 지지부(344) 및 돌기(342)가 형성되고, 하부몸체(100L)의 하면에는 돌기(342)가 삽입되는 홈(340)이 형성되어 있다. Further, as shown in Fig. 19, the contact portions of the upper body 300L and the lower body 100L on the surfaces thereof can be made to contact each other by metal-to-metal. The upper body 300L and the lower body 100L of FIG. 19 have a support portion 344 and a protrusion 342 formed on the upper surface of the upper body 300L and the lower body 100L A groove 340 into which the projection 342 is inserted is formed.

도 19의 상부몸체(300L)와 하부몸체(100L)는 그 표면이 아노다이징처리(굵은라인)되되, 상부몸체(300L)와 하부몸체(100L)가 접촉되는 지지부(344)의 상면과, 상부몸체(300L)의 하면 중에서 지지부(344)의 상면에 대응되어 접하는 부분과, 돌기(342)의 외면과, 홈(340)의 내면은 비-아노다이징처리영역(가는 라인)이다. 전술한 비-아노다이징처리영역은 금속 대 금속간의 접촉이 이루어지므로, 하부몸체(100L)를 전기적으로 그라운드시키면 상부몸체(300L)도 전기적으로 그라운드처리될 수 있다. 상부몸체(300L)와 하부몸체(100L)의 접촉 부분을 제외한 표면은 모두 아노다이징처리되어 있다.The upper body 300L and the lower body 100L have an upper surface of an upper portion of the support portion 344 where the upper body 300L and lower body 100L are in contact with each other, An outer surface of the protrusion 342 and an inner surface of the groove 340 are non-anodized regions (fine lines). Since the non-anodized region is contacted with metal to metal, if the lower body 100L is electrically grounded, the upper body 300L can be electrically grounded. All the surfaces except for the contact portion between the upper body 300L and the lower body 100L are anodized.

본 발명의 진공챔버(미도시)는 전술한 바와 같은 상부몸체(300)와, 상부몸체(300)의 하부에 위치하는 하부몸체(100)와, 하부몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114)과, 하부몸체(100)의 하면에 연결된 봉(400)을 포함하고, 상부몸체(300)와 하부몸체(100)는 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 서셉터를 포함한다. 진공챔버에 대해서는 전술한 종래기술을 비롯하여 종래에 많이 공지되어 있으므로, 별도의 상세한 설명은 생략한다.The vacuum chamber (not shown) of the present invention includes an upper body 300, a lower body 100 positioned at a lower portion of the upper body 300, And a rod 400 connected to the lower surface of the lower body 100. The upper body 300 and the lower body 100 are detachably coupled to each other. The vacuum chamber is well known in the prior art including the above-described conventional techniques, and a detailed description thereof will be omitted.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the following claims .

100,100a,100b,100c,100d,100e: 하부몸체
110: 히터부 114: 열선
116: 지지부재 118: 커버
120: 관통구 130: 홈
130b: 홈b 130d: 홈d
130e: 홈e 132d: 가이드 경사부a
132e: 가이드 경사부b
300,300a,300b,300c,300d,300e,300g,300h,300i,300j,300k: 상부몸체
300i-1,300i-2: 단위몸체
300k-1: 제1상부몸체 300k-2: 제2상부몸체
301: 글라스면 302: 중심부
303: 제1돌출부 305: 제2돌출부a
307: 제2돌출부b 310: 단차부
330: 볼트 340: 홈
341: 공간
342: 돌기 342a: 돌기a
342b: 돌기b 344: 지지부
344a: 지지부a 344b: 지지부b
345: 이격공간 350: 샌드블라스팅면
400: 봉 500: 리프트핀
505: 승강부재 600: 글라스100, 100a, 100b, 100c, 100d, 100e:
110: heater part 114:
116: support member 118: cover
120: through hole 130: groove
130b: groove b 130d: groove d
130e: groove e 132d: guide inclined portion a
132e: guide inclined portion b
300a, 300b, 300c, 300d, 300e, 300g, 300h, 300i, 300j, 300k:
300i-1,300i-2: unit body
300k-1: first upper body 300k-2: second upper body
301: glass surface 302: center
303: first protrusion 305: second protrusion a
307: second protrusion b 310: stepped portion
330: bolt 340: groove
341: Space
342: projection 342a: projection a
342b: projection b 344:
344a: Support part a 344b: Support part b
345: Spacing space 350: Sand blasted surface
400: Rod 500: Lift pin
505: lifting member 600: glass

Claims

상부몸체;
상기 상부몸체 하부에 위치하는 하부몸체;
상기 하부몸체의 내부에 매설되는 열선;
상기 하부몸체의 하면에 연결된 봉; 을 포함하되,
상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
An upper body;
A lower body positioned below the upper body;
A heating wire embedded in the lower body;
A rod connected to the lower surface of the lower body; &Lt; / RTI >
Wherein the upper body and the lower body are detachably coupled to each other.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체는 일정한 높이를 갖는 직육면체 형상인 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the upper body has a rectangular parallelepiped shape having a constant height.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체의 측면 둘레에는 상면에 대해 하측으로 단차진 단차부가 형성된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
And a lower stepped portion is formed on the side surface of the upper body to the upper surface.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체의 측면에는 둘레를 따라 외측으로 돌출된 제1돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
And a first protrusion protruding outward along the periphery is formed on a side surface of the upper body.

청구항 2 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 상부몸체의 글라스면의 면적은 상기 하부몸체의 면적보다 작은 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to any one of claims 2 to 4,
Wherein an area of the glass surface of the upper body is smaller than an area of the lower body.

청구항 1에 있어서,
상기 하부몸체의 상면에는 오목한 홈이 형성되고,
상기 상부몸체는 상기 홈에 삽입되어 상기 하부몸체에 결합되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
A concave groove is formed on an upper surface of the lower body,
Wherein the upper body is inserted into the groove and coupled to the lower body.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체의 하면 및 상기 하부몸체의 상면 중 어느 하나에는 오목한 홈이 형성되고, 다른 하나에는 제2돌출부가 돌출 형성되며,
상기 제2돌출부가 상기 홈에 삽입되어 상기 상부몸체가 상기 하부몸체에 결합되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein a concave groove is formed in one of the lower surface of the upper body and the upper surface of the lower body and a second projection is formed to protrude from the other,
And the second protrusion is inserted into the groove so that the upper body is coupled to the lower body.

청구항 7에 있어서,
상기 홈과 상기 제2돌출부 중 적어도 어느 하나에는 가이드 경사부가 형성된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 7,
Wherein at least one of the groove and the second projection has a guide inclined portion.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 다수개의 홈과 돌기가 서로 끼워져서 결합되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the upper body and the lower body are coupled to each other with a plurality of grooves and protrusions interdigitated with each other.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 볼트 결합되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the upper body and the lower body are bolted to each other.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체의 하면 또는 상기 하부몸체의 상면은 샌드블라스팅된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the lower surface of the upper body or the upper surface of the lower body is sandblasted.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체 및 상기 하부몸체의 표면 중 그 둘의 접촉 부분은 금속 대 금속간의 접촉이 이루어지는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the contact portions of the upper body and the lower body are in contact with each other between the metal and the metal.

청구항 12에 있어서,
상기 금속 대 금속간의 접촉은 비-아노다이징 처리영역인 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 12,
Wherein the contact between the metal and the metal is a non-anodizing region.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체는 알루미늄 재질이고 그 표면이 아노다이징처리된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the upper body is made of aluminum and the surface of the upper body is anodized.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체는 세라믹 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the upper body is made of a ceramic material.

청구항 15에 있어서,
상기 상부몸체는 상기 세라믹 재질이 면분할된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
Wherein the upper body is divided into the ceramic material.

청구항 16에 있어서,
상기 상부몸체는 글라스 분할면적에 대응되는 크기로 면분할 된 것을 특징으로 하는 서셉터.
18. The method of claim 16,
Wherein the upper body is divided into a size corresponding to a glass divided area.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체는 알루미늄 재질이고 그 표면에 세라믹 코팅된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the upper body is made of aluminum and the surface of the upper body is ceramic coated.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체는 세라믹 재질로 된 제1상부몸체와,
상기 제1상부몸체의 상부에 결합되되, 알루미늄 재질이고 표면이 아노다이징 처리된 제2상부몸체를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
The upper body includes a first upper body made of a ceramic material,
And a second upper body coupled to an upper portion of the first upper body and made of aluminum and having an anodized surface.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 면접촉을 통해 상기 상부몸체가 상기 하부몸체에 지지되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the upper body and the lower body are supported by the lower body through surface contact.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 다수의 선접촉을 통해 상기 상부몸체가 상기 하부몸체에 지지되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the upper body and the lower body are supported by the lower body through a plurality of line contacts.

청구항 1에 있어서,
상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 다수의 점접촉을 통해 상기 상부몸체가 상기 하부몸체에 지지되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the upper body and the lower body are supported by the lower body through a plurality of point contacts.

상부몸체; 상기 상부몸체 하부에 위치하는 하부몸체; 상기 하부몸체의 내부에 매설되는 열선; 상기 하부몸체의 하면에 연결된 봉; 을 포함하되, 상기 상부몸체와 상기 하부몸체는 착탈가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 서셉터를 포함하는 진공챔버.
An upper body; A lower body positioned below the upper body; A heating wire embedded in the lower body; A rod connected to the lower surface of the lower body; Wherein the upper body and the lower body are detachably coupled to each other.