KR20160087056A - 디스플레이 장치 제조장치 - Google Patents

디스플레이 장치 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 구성이 단순화된 디스플레이 장치 제조장치를 위하여, 복수개의 홀들을 가지며 디스플레이 패널이 안착될 수 있는 안착면을 상부에 갖는 안착스테이지와, 상기 안착스테이지의 상기 복수개의 홀들을 통해 상기 안착면 상부로 돌출하거나 돌출하지 않도록 업다운 모션이 가능한 복수개의 업다운 핀, 상기 안착스테이지의 가장자리에 위치하며 업다운 모션을 할 수 있으며 업 모션 시 디스플레이 패널과 컨택하고 있는 캐리어를 디스플레이 패널로부터 이격시킬 수 있는 캐리어 리무버 척과, 제1면에 필름흡착면을 갖는 흡착스테이지를 구비하는, 디스플레이 장치 제조장치를 제공한다.

Description

디스플레이 장치 제조장치{Manufacturing apparatus for display apparatus}
본 발명의 실시예들은 디스플레이 장치 제조장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 구성이 단순화된 디스플레이 장치 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 장치의 제조 과정에서 디스플레이의 패널의 표면이나 이면 등을 보호하기 위해 보호필름 등을 부착하게 된다. 이 과정에서 부착되는 보호필름은 제조 중 일시적으로 부착되는 것일 수도 있고, 제품을 최종적으로 보호하기 위해 부착되는 것일 수도 있다.
한편, 디스플레이 장치 제조 과정에서 얇은 기판을 갖는 디스플레이 장치를 제조하기 위해 캐리어를 사용하게 된다. 따라서 보호필름을 부착하기에 앞서 이러한 캐리어를 기판으로부터 제거하게 되며, 그 후 디스플레이 패널 등의 기판 표면에 보호필름을 부착하게 된다.
하지만 이러한 제조 과정을 고려하면 기판을 캐리어로부터 분리하는 캐리어 분리 장치와 보호필름을 디스플레이 패널 등에 부착하는 보호필름을 부착하는 장치 등이 필요하며, 이에 따라 제조장치의 구성이 복잡해진다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 구성이 단순화된 디스플레이 장치 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 관점에 따르면, 복수개의 홀들을 가지며 디스플레이 패널이 안착될 수 있는 안착면을 상부에 갖는 안착스테이지와, 상기 안착스테이지의 상기 복수개의 홀들을 통해 상기 안착면 상부로 돌출하거나 돌출하지 않도록 업다운 모션이 가능한 복수개의 업다운 핀들과, 상기 안착스테이지의 가장자리에 위치하며 업다운 모션을 할 수 있으며 업 모션 시 디스플레이 패널과 컨택하고 있는 캐리어를 디스플레이 패널로부터 이격시킬 수 있는 캐리어 리무버 척과, 제1면에 필름흡착면을 갖는 흡착스테이지를 구비하는, 디스플레이 장치 제조장치가 제공된다.
상기 흡착스테이지는 제2면에 캐리어흡착면을 가질 수 있다. 나아가, 상기 필름흡착면 내의 흡착공들의 개수는 상기 캐리어흡착면 내의 흡착공들의 개수보다 많을 수 있다. 그리고 상기 흡착스테이지는 반전이 가능한 것일 수 있다.
상기 흡착스테이지는, 제1흡착스테이지와, 상기 제1흡착스테이지와 결합되거나 상기 제1흡착스테이지로부터 분리될 수 있으며 상기 제1흡착스테이지의 면적보다 좁은 면적을 갖는 제2흡착스테이지와, 롤러를 포함하며, 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지가 결합되어 있을 시 상기 롤러는 상기 제1흡착스테이지의 제1면과 상기 제2흡착스테이지의 제1면을 포함하는 상기 필름흡착면의 반대면 상에 위치하고, 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지가 분리될 시 상기 롤러는 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지 사이의 공간으로 이동하여 상기 필름흡착면에서 노출되도록 할 수 있다.
이때 상기 흡착스테이지는 상기 제1흡착스테이지가 상기 안착면에 대해 기울어진 각도를 유지한 채 수평 방향으로 이동할 수 있다. 나아가 상기 흡착스테이지가 수평 방향으로 이동할 시, 상기 제2흡착스테이지는 상기 안착면에 대해 평행한 상태가 되도록 할 수 있다. 그리고 상기 흡착스테이지가 수평 방향으로 이동할 시, 상기 롤러는 상기 흡착스테이지가 흡착한 필름을 상기 안착스테이지에 안착된 디스플레이 패널 상으로 가압하도록 할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 특허청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 구성이 단순화된 디스플레이 장치 제조장치를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제조장치를 이용하여 디스플레이 장치를 제조하는 공정들을 개략적으로 도시하는 측면 개념도들이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서 층, 막, 영역, 판 등의 각종 구성요소가 다른 구성요소 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 구성요소 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 다른 구성요소가 개재된 경우도 포함한다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
도 1 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제조장치를 이용하여 디스플레이 장치를 제조하는 공정들을 개략적으로 도시하는 측면 개념도들이다. 본 실시예에 따른 디스플레이 장치 제조장치는 도 1에 도시된 것과 같이 안착스테이지(10), 복수개의 업다운 핀(20)들, 캐리어 리무버 척(30) 및 흡착스테이지(40)를 구비한다.
안착스테이지(10)는 복수개의 홀들을 가지며, 디스플레이 패널(DP)이 안착될 수 있는 안착면(10a)을 (+z 방향) 상부에 갖는다. 이러한 안착스테이지(10)는 프레임(1) 등에 의해 지지될 수 있거나 프레임(1) 등과 일체(一體)일 수 있다.
복수개의 업다운 핀(20)들은 안착스테이지(10)의 복수개의 홀들을 통해 안착면(10a)의 (+z 방향) 상부로 돌출하거나 돌출하지 않도록, 업다운 모션이 가능하다. 복수개의 업다운 핀(20)들은 모두 함께 업다운 모션을 할 수 있기에, 도 1 등에 도시된 것과 같이 경우에 따라 서로 기계적으로 연결되어 있을 수 있다.
이러한 안착스테이지(10)에 디스플레이 패널(DP)을 안착시키는 과정을 설명하면, 먼저 도 1에 도시된 것과 같이 복수개의 업다운 핀(20)들이 업 모션을 통해 안착스테이지(10)의 안착면(10a)의 (+z 방향으로) 상부로 돌출된다. 그와 같은 상태에서 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 디스플레이 패널(DP)이 형성된 캐리어(C)가 안착된다. 이때 캐리어(C)가 아닌 디스플레이 패널(DP)이 복수개의 업다운 핀(20)들에 컨택하도록, 디스플레이 패널(DP)이 캐리어(C)보다 (-z 방향인) 하방에 위치한 상태에서 복수개의 업다운 핀(20) 들 상에 안착된다.
디스플레이 패널(DP)과 캐리어(C)는 다양한 방법을 통해 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 안착될 수 있는데, 예컨대 도 4에 도시된 것과 같은 이송로봇의 엔드이펙터(2)에 놓은 상태에서 복수개의 업다운 핀(20)들이 업 모션을 함에 따라 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 위치하게 될 수 있다. 이 경우 도 1은 디스플레이 패널(DP)과 캐리어(C)가 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 위치하게 된 후 이송로봇의 엔드이펙터(2)가 빠져나간 상태인 것으로 이해될 수 있다. 또는, 캐리어(C)를 흡착할 수 있는 캐리어흡착면을 가진 흡착스테이지를 이용하는 것을 고려할 수도 있다. 즉, 그러한 흡착스테이지에 캐리어(C)가 흡착된 상태에서 복수개의 업다운 핀(20)들이 업 모션을 통해 디스플레이 패널(DP)에 컨택하고, 그 후 캐리어(C)가 흡착스테이지로부터 분리되도록 할 수도 있다.
캐리어(C)는 예컨대 충분한 두께의 글래스일 수 있다. 이 캐리어(C)는 최종적인 디스플레이 장치의 일 구성요소가 되는 것이 아니라, 디스플레이 장치를 제조함에 있어서 임시로 사용되는 것일 수 있다. 즉, 예컨대 박형의 디스플레이 장치를 제조하거나 플렉서블 디스플레이 장치를 제조할 시 제조 과정에서의 핸들링 안정성을 위해, 충분한 두께를 갖는 글래스 등을 포함하는 캐리어(C) 상에 폴리이미드나 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 수지 등으로 디스플레이 장치용 기판을 형성하고, 이후 박막트랜지스터, 유기발광소자와 같은 디스플레이소자, 그리고 디스플레이소자 등을 보호하는 박막봉지층을 형성할 수 있다. 도 1에서의 디스플레이 패널(DP)은 이와 같이 기판, 디스플레이소자 및 박막봉지층을 포함할 수 있다.
이후 복수개의 업다운 핀(20)들이 다운 모션을 통해 하강하여, 도 2에 도시된 것과 같이 디스플레이 패널(DP)이 안착스테이지(10)의 안착면(10a) 상에 안착된다. 그리고 이어서 캐리어(C)를 디스플레이 패널(DP)로부터 분리한다. 캐리어(C)를 디스플레이 패널(DP)로부터 분리하는 것은 다양한 방법을 통해 이루어질 수 있는데, 예컨대 엑시머레이저빔을 조사하면 캐리어(C)와 디스플레이 패널(DP)이 분리되되 정전기 등으로 상호 컨택하고 있는 상태가 될 수 있다.
이와 같이 캐리어(C)와 디스플레이 패널(DP)이 서로 분리되되 상호 컨택하고 있는 상태에서, 도 3에 도시된 것과 같이 캐리어 리무버 척(30)을 상승시킨다. 캐리어 리무버 척(30)은 도 3 등에 도시된 것과 같이 안착스테이지(10)의 가장자리에 위치하며 업다운 모션을 할 수 있다. 이러한 캐리어 리무버 척(30)은 업 모션 시 디스플레이 패널(DP)과는 접촉하지 않고 디스플레이 패널(DP)보다 넓어 디스플레이 패널(DP) 외측으로 돌출된 캐리어(C)의 가장자리에 접촉하게 된다. 이에 따라 캐리어 리무버 척(30)은 업 모션을 통해 캐리어(C)를 디스플레이 패널(DP)로부터 (+z 방향으로) 이격시킨다. 이어 도 4에 도시된 것과 같이 이송로봇의 엔드이펙터(2) 등이 캐리어(C)를 지지하여 반출할 수 있다. 물론 캐리어 리무버 척(30)은 도 5에 도시된 것과 같이 본래 위치로 돌아오게 된다.
도 4 등에서는 업다운 모션을 할 수 있는 캐리어 리무버 척(30)이 안착스테이지(10)의 외측에 위치하는 것으로 도시하고 있으나 이는 편의상 그와 같이 도시한 것일 뿐, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 캐리어 리무버 척(30) 역시 안착스테이지(10)의 복수개의 홀들을 통과해서 업다운 모션을 하도록 할 수 있다. 물론 이 경우 캐리어 리무버 척(30) 용의 복수개의 홀들은 복수개의 업다운 핀(20)들 용의 복수개의 홀들보다 안착스테이지(10)의 가장자리 및/또는 외곽에 위치할 수 있다.
이후, 도 6에 도시된 것과 같이 제1면(40a)이 필름흡착면(40a)인 흡착스테이지(40)에 보호필름(PF)과 같은 필름이 흡착된 상태에서, 안착스테이지(10)에 안착된 디스플레이 패널(DP) 상부에 위치하도록 할 수 있다. 이때 보호필름(PF)은 이형지(RP)에 부착된 상태이며, 따라서 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 상에 부착하기에 앞서 이 이형지(RP)를 제거할 필요가 있다.
이형지(RP)의 제거는 다양한 방법으로 이루어질 수 있는데, 예컨대 도 6 및 도 7에 도시된 것과 같이 제1롤러(51)와 제2롤러(52)를 이용하여 이형지(RP)를 제거할 수 있다. 제1롤러(51)와 제2롤러(52)는 먼저 도 6에 도시된 것과 같이 이형지(RP)의 가장자리에 위치할 수 있는데, 구체적으로 제2롤러(52)가 이형지(RP)의 가장자리에 위치하고 제1롤러(51)는 제2롤러(52)에 인접하되 이형지(RP) 외측에 위치하도록 할 수 있다. 이때 제2롤러(52)는 접착필름(AF)을 (+z 방향의) 이형지(RP)에 밀착시키는 역할을 한다.
그와 같은 상태에서 제1롤러(51)와 제2롤러(52)가 도 7에 도시된 것과 같이 보호필름(PF)이나 안착스테이지(10)의 안착면(10a) 또는 흡착스테이지(40)의 필름흡착면(40a)에 평행한 방향(+x 방향)으로 이동하게 되면, 접착필름(AF)은 제2롤러(52)에 의해 이형지(RP)에 부착되고, 접착필름(AF)과 이형지(RP)의 부착물은 제2롤러(52)를 뒤따라 +x 방향으로 움직이는 제1롤러(51)에 감기게 된다. 이와 같이 제1롤러(51)와 제2롤러(52)를 +x 방향으로 움직임에 따라, 도 8에 도시된 것과 같이 이형지(RP)가 보호필름(PF)으로부터 제거되도록 할 수 있다. 물론 필요에 따라 제2롤러(52)와 접착필름(AF) 사이의 점착을 방지하기 위해 제2롤러(52)의 표면을 표면처리할 수도 있다. 예컨대 제2롤러(52) 표면에 윤활유를 도포하여 접착필름(AF)이 제2롤러(52)에 점착되는 것을 방지할 수 있다. 물론 제1롤러(51)와 제2롤러(52)는 도시되지 않은 프레임에 의해 서로 연결되어 지지될 수도 있다.
그 후, 흡착스테이지(40)의 필름흡착면(40a)에 흡착된 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 상에 부착함으로써, 디스플레이 패널(DP)의 기판의 면으로서 캐리어(C)로부터 분리된 면 상에 보호필름(PF)이 부착되도록 할 수 있다.
이와 같이 본 실시예에 따른 디스플레이 장치 제조장치에 따르면, 디스플레이 패널(DP)의 기판을 캐리어(C)로부터 분리하는 캐리어 분리 장치와 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 등에 부착하는 보호필름 부착 장치가 일체화되도록 할 수 있다. 따라서 제조장치의 구성을 획기적으로 단순화시키고 제조장치가 차지하는 공간을 줄임으로써 공간효율성을 높이며 제조효율성을 높일 수 있다.
한편, 흡착스테이지(40)의 필름흡착면(40a)에 흡착된 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 상에 부착하는 것은 다양한 방법을 통해 이루어질 수 있는데, 이하에서는 그 바람직한 방법에 대해 설명한다.
흡착스테이지(40)는 도 6 내지 도 8 등에 도시된 것과 같이, 제1흡착스테이지(41), 제2흡착스테이지(42) 및 롤러(43)를 포함할 수 있다. 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42)는 서로 결합될 수도 있고 서로 분리될 수도 있다. 이때 제1흡착스테이지(41)의 면적은 제2흡착스테이지(42)보다 넓어, 디스플레이 패널(DP)의 대부분에 대응하도록 할 수 있다. 하지만 디스플레이 패널(DP)에 대응하는 크기의 보호필름(PF)은 제1흡착스테이지(41)에 의해서만 흡착되는 것이 아니라 제2흡착스테이지(42)에 의해서도 일부가 흡착되도록 할 수 있다. 즉, 제1흡착스테이지(41)의 안착스테이지(10) 방향의 제1면(41a)과 제2흡착스테이지(42)의 안착스테이지(10) 방향의 제1면(42a) 모두가 필름흡착면(40a)에 속할 수 있다.
도 6 내지 도 8에 도시된 것과 같이 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42)가 결합되어 있을 시, 롤러(43)는 필름흡착면(40a)의 반대면 상에 위치하도록 할 수 있다. 그와 같은 상태에서 도 8에 도시된 것과 같이 이형지(RP)가 제거되면, 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42)는 서로 분리될 수 있다. 이때, 도 9에 도시된 것과 같이 롤러(43)는 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42) 사이의 공간으로 이동하여 필름흡착면(40a)에서 노출되도록 할 수 있다.
나아가, 도 9에 도시된 것과 같이 흡착스테이지(40)는 제1흡착스테이지(41)가 안착스테이지(10)의 안착면(10a)에 대해 기울어진 각도를 유지한 채 (+x 방향인) 수평 방향으로 이동할 수 있다. 이와 같이 흡착스테이지(40)가 (+x 방향인) 수평 방향으로 이동할 시, 롤러(43)는 흡착스테이지(40)가 흡착한 보호필름(PF)을 안착스테이지(10)에 안착된 디스플레이 패널(DP) 상으로 가압할 수 있다. 이에 따라 디스플레이 패널(DP)의 (-x 방향) 가장자리부터 중앙부를 거쳐 (+x 방향) 가장자리까지 순차적으로 보호필름(PF)이 디스플레이 패널(DP) 상에 부착되어, 도 10에 도시된 것과 같이 디스플레이 패널(DP)의 캐리어(C)로부터 분리된 면 상에 보호필름(PF)이 부착되도록 할 수 있다.
한편, 전술한 것과 같이 제1흡착스테이지(41)의 면적이 제2흡착스테이지(42)보다 넓어 디스플레이 패널(DP)의 대부분에 대응하지만, 디스플레이 패널(DP)에 대응하는 크기의 보호필름(PF)은 제1흡착스테이지(41)에 의해서만 흡착되는 것이 아니라 제2흡착스테이지(42)에 의해서도 일부가 흡착되도록 할 수 있다. 이에 따라 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42)가 분리될 시, 보호필름(PF)과의 접촉면적이 넓은 제1흡착스테이지(41)의 제1면(41a)이 보호필름(PF)을 흡착한 상태가 유지되고, 보호필름(PF)은 도 9에 도시된 것과 같이 제2흡착스테이지(42)의 제1면(42a)으로부터 분리된다.
따라서 보호필름(PF)의 제2흡착스테이지(42)에 의해 흡착되었던 부분은 롤러(43)에 의해 디스플레이 패널(DP)에 가압되게 된다. 그리고 이에 따라 흡착스테이지(40)가 (+x 방향인) 수평 방향으로 이동할 시, 디스플레이 패널(DP)의 (-x 방향) 가장자리부터 중앙부를 거쳐 (+x 방향) 가장자리까지 순차적으로 보호필름(PF)이 디스플레이 패널(DP) 상에 부착되도록 할 수 있다.
한편, 흡착스테이지(40)가 (+x 방향) 수평 방향으로 이동할 시 제2흡착스테이지(42)가 디스플레이 패널(DP)과 컨택하거나 보호필름(PF)의 디스플레이 패널(DP)에 부착된 부분에 컨택하게 되면, 디스플레이 패널(DP)이나 보호필름(PF)의 손상이 발생할 수도 있다. 따라서 흡착스테이지(40)가 (+x 방향인) 수평 방향으로 이동할 시, 도 9에 도시된 것과 같이 제2흡착스테이지(42)는 제1흡착스테이지(41)와 달리 안착스테이지(10)의 안착면(10a)에 대해 평행한 상태로 유지되도록 할 수 있다.
물론 도 6 및 도 7에 도시된 것과 같은 과정을 거쳐 도 8에 도시된 것과 같이 보호필름(PF) 상의 이형지(RP)를 제거한 후, 롤러(43)를 이용하여 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 상에 부착하는 것이 아니라 진공 라미네이션 방법을 이용하여 보호필름(PF)을 디스플레이 패널(DP) 상에 부착할 수도 있다. 이 경우 제조장치는 챔버를 더 구비하며, 이 챔버 내에 상술한 것과 같은 안착스테이지(10), 복수개의 업다운 핀(20)들, 캐리어 리무버 척(30) 및/또는 흡착스테이지(40)가 위치하도록 할 수 있다. 즉, 본 실시예에 따른 제조장치는 통상적인 진공 라미네이터 기능까지 갖는 것일 수도 있다. 이 경우 흡착스테이지(40)는 제1흡착스테이지(41)와 제2흡착스테이지(42)로 분리되는 것이 아니라 일체화된 것일 수 있으며, 롤러(43)를 구비하지 않을 수도 있다.
한편, 도 1을 참조하여 전술한 것과 같이 캐리어(C) 상에 형성된 디스플레이 패널(DP)을 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 위치시킬 시, 이송로봇의 엔드이펙터(2)를 이용하지 않고 흡착스테이지를 이용할 수도 있다. 이 흡착스테이지는 도 6에 도시된 것과 같은 보호필름(PF) 흡착용의 흡착스테이지(40)일 수도 있고 별개의 것일 수도 있다. 만일 도 6에 도시된 것과 같은 보호필름(PF) 흡착용의 흡착스테이지(40)를 이용해 캐리어(C) 상에 형성된 디스플레이 패널(DP)을 복수개의 업다운 핀(20)들 상에 위치시킨다면, 이는 흡착스테이지(40)의 제1면(40a)인 필름흡착면(40a)이 아니라 그 반대면을 이용하는 것일 수 있다. 즉, 흡착스테이지(40)의 제1면(40a)은 필름흡착면(40a)이고, 그 반대면은 캐리어흡착면일 수 있다.
흡착스테이지(40)는 보호필름(PF)을 흡착할 시나 캐리어(C)를 흡착할 시나 진공흡착법을 이용해 흡착할 수 있다. 이 경우 흡착스테이지(40)의 캐리어흡착면에는 복수개의 흡착공들이 있어, 캐리어(C)가 흡착스테이지(40)의 캐리어흡착면 상에 위치한 후 흡착공들을 통해 흡착공 내의 공기를 외부로 펌핑함으로써, 캐리어(C)가 흡착스테이지(40) 상에 흡착되도록 할 수 있다. 물론 흡착스테이지(40)는 보호필름(PF)도 흡착하기에, 필름흡착면(40a)에도 복수개의 흡착공들이 존재할 수 있다.
이때, 흡착스테이지(40)가 캐리어(C)를 흡착할 경우 캐리어(C)는 견고한 특성을 갖기에 캐리어흡착면 내의 흡착공의 개수가 많지 않더라도 펌핑을 강하게 함으로써, 디스플레이 패널(DP)이 형성된 캐리어(C)가 흡착스테이지(40)의 캐리어흡착면에 안정적으로 흡착되도록 할 수 있다. 반면, 흡착스테이지(40)가 보호필름(PF)을 흡착할 경우, 보호필름(PF)은 박형이거나 매우 플렉서블한 특성을 갖기에, 보호필름(PF)이 변형되지 않으면서도 안정적으로 흡착스테이지(40)에 의해 지지되도록 할 필요가 있다.
이를 위해 흡착스테이지(40)의 필름흡착면(40a) 내에는 복수개의 흡착공들이 존재하되, 그 수가 캐리어흡착면 내의 복수개의 흡착공들의 개수보다 더 많도록 할 수 있다. 이를 통해 흡착스테이지(40)가 보호필름(PF)을 흡착할 시, 펌핑 강도를 약하게 함으로써 보호필름(PF)의 변형을 방지하면서도 보호필름(PF)이 흡착스테이지(40)의 필름흡착면(40a)에 안정적으로 흡착되도록 할 수 있다.
물론 이와 같이 흡착스테이지(40)가 보호필름(PF)을 흡착할 수 있는 필름흡착면(40a)과 캐리어(C)를 흡착할 수 있는 캐리어흡착면을 모두 가질 경우, 흡착스테이지(40)가 반전이 가능하도록 할 수 있다. 이를 통해 흡착스테이지(40)가 디스플레이 패널(DP)이 형성된 캐리어(C)를 흡착할 시에는 캐리어흡착면이 (-z 방향인) 하방을 향하고, 보호필름(PF)을 흡착할 시에는 필름흡착면(40a)이 (-z 방향인) 하방을 향하도록 할 수 있다.
지금까지 디스플레이 장치 제조장치에 대해 설명하였으나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 예컨대 도 1 내지 도 10을 참조하여 설명한 과정을 거쳐 디스플레이 장치를 제조하는 디스플레이 장치 제조방법 역시 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 프레임 2: 엔드이펙터
10: 안착스테이지 10a: 안착면
20: 업다운 핀 30: 캐리어 리무버 척
40: 흡착스테이지 40a: 필름흡착면
41: 제1흡착스테이지 42: 제2흡착스테이지
43: 롤러 51: 제1롤러
52: 제2롤러

Claims (8)

  1. 복수개의 홀들을 가지며 디스플레이 패널이 안착될 수 있는 안착면을 상부에 갖는 안착스테이지;
    상기 안착스테이지의 상기 복수개의 홀들을 통해 상기 안착면 상부로 돌출하거나 돌출하지 않도록 업다운 모션이 가능한 복수개의 업다운 핀들;
    상기 안착스테이지의 가장자리에 위치하며 업다운 모션을 할 수 있으며, 업 모션 시 디스플레이 패널과 컨택하고 있는 캐리어를 디스플레이 패널로부터 이격시킬 수 있는 캐리어 리무버 척; 및
    제1면에 필름흡착면을 갖는 흡착스테이지;
    를 구비하는, 디스플레이 장치 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 흡착스테이지는 제2면에 캐리어흡착면을 갖는, 디스플레이 장치 제조장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 필름흡착면 내의 흡착공들의 개수는 상기 캐리어흡착면 내의 흡착공들의 개수보다 많은, 디스플레이 장치 제조장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 흡착스테이지는 반전이 가능한, 디스플레이 장치 제조장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 흡착스테이지는
    제1흡착스테이지;
    상기 제1흡착스테이지와 결합되거나 상기 제1흡착스테이지로부터 분리될 수 있으며, 상기 제1흡착스테이지의 면적보다 좁은 면적을 갖는, 제2흡착스테이지; 및
    롤러;
    를 포함하며, 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지가 결합되어 있을 시 상기 롤러는 상기 제1흡착스테이지의 제1면과 상기 제2흡착스테이지의 제1면을 포함하는 상기 필름흡착면의 반대면 상에 위치하고, 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지가 분리될 시 상기 롤러는 상기 제1흡착스테이지와 상기 제2흡착스테이지 사이의 공간으로 이동하여 상기 필름흡착면에서 노출되는, 디스플레이 장치 제조장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 흡착스테이지는 상기 제1흡착스테이지가 상기 안착면에 대해 기울어진 각도를 유지한 채 수평 방향으로 이동할 수 있는, 디스플레이 장치 제조장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 흡착스테이지가 수평 방향으로 이동할 시, 상기 제2흡착스테이지는 상기 안착면에 대해 평행한 상태인, 디스플레이 장치 제조장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 흡착스테이지가 수평 방향으로 이동할 시, 상기 롤러는 상기 흡착스테이지가 흡착한 필름을 상기 안착스테이지에 안착된 디스플레이 패널 상으로 가압하는, 디스플레이 장치 제조장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10355241B2 (en) 2016-12-16 2019-07-16 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing a display apparatus including a bending area
US10631408B2 (en) 2017-07-26 2020-04-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus including polymer layer and method of manufacturing same
US11125891B2 (en) 2016-05-03 2021-09-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Method for calculating location information and electronic device therefor

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004170975A (ja) * 2002-11-15 2004-06-17 Lg Phillips Lcd Co Ltd 液晶表示素子製造装置及びこれを利用した製造方法
JP2005310989A (ja) * 2004-04-20 2005-11-04 Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd 基板及びフォトマスクの受け渡し方法、並びに基板及びフォトマスクの受け渡し装置
KR20140075169A (ko) * 2012-12-11 2014-06-19 주식회사 에스에프에이 기능성 필름 부착장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004170975A (ja) * 2002-11-15 2004-06-17 Lg Phillips Lcd Co Ltd 液晶表示素子製造装置及びこれを利用した製造方法
JP2005310989A (ja) * 2004-04-20 2005-11-04 Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd 基板及びフォトマスクの受け渡し方法、並びに基板及びフォトマスクの受け渡し装置
KR20140075169A (ko) * 2012-12-11 2014-06-19 주식회사 에스에프에이 기능성 필름 부착장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11125891B2 (en) 2016-05-03 2021-09-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Method for calculating location information and electronic device therefor
US10355241B2 (en) 2016-12-16 2019-07-16 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing a display apparatus including a bending area
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