KR20160066397A

KR20160066397A - 자기부상 반송장치

Info

Publication number: KR20160066397A
Application number: KR1020140170734A
Authority: KR
Inventors: 최형기
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2014-12-02
Filing date: 2014-12-02
Publication date: 2016-06-10
Also published as: KR102251764B1

Abstract

본 발명은 자기부상 반송장치를 개시한다. 보다 상세하게는, 본 발명은 액정표시장치와 같은 평판표시장치의 제조공정에서 이용되는 챔버내에 설치되어 기판을 이송하는 자기부상 반송장치에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 캐리어를 부상 및 지지하는 전자석을 챔버외부에 설치하고, 챔버벽을 관통하여 전자석과 접촉하는 제2 코어부를 캐리어에 인접시켜 전자석과 동일한 전자기력을 확보함에 따라, 전자석 및 이와 관련된 부품을 챔버외부로 배치시킴으로써, Out-gassing에 의한 문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.

Description

자기부상 반송장치{MAGNETIC LEVITATION TRANSFER APPARATUS}

본 발명은 자기부상 반송장치에 관한 것으로, 특히 액정표시장치와 같은 평판표시장치의 제조공정에서 이용되는 챔버내에 설치되어 기판을 이송하는 자기부상 반송장치에 관한 것이다.

종래 반도체 웨이퍼, 및 평판표시패널의 이송에 사용되던 자동화용 반송시스템으로는 벨트 컨베이어나 롤러 컨베이어 진동 컨베이어 등 주로 컨베이어 시스템이 이용되고 있다. 이러한 시스템에서는 전기 모터에 의해 회전력을 얻고 중간에 감속 시스템을 적용하여 회전 운동을 직선운동으로 변환함으로써, 반송대상인 기판 또는 제품을 이송하게 된다.

그러나, 기존의 반송시스템에서는 구성 기기들의 메커니즘상 이송속도 증가 및 조절에 한계가 있고 컨베이어 구성부품들간 기계적인 구조로 인하여 특정 부분에서 마찰 발생을 제거할 수 없으므로 소음과 진동, 분진 등이 발생하는 단점이 있다.

상기의 단점을 극복하기 위해, 기존의 기계적 반송시스템을 대체하여 자기부상 반송시스템이 제안되었다. 자기부상 반송시스템은 전자석의 전자기력을 이용하여 피반송체가 실장된 캐리어를 궤도로부터 일정한 높이로 부상시켜 반송하는 반송시스템이다. 이러한 자기부상 반송시스템은 캐리어가 궤도로부터 비접촉 상태로 추진되므로 소음 및 진동 발생이 적고, 속도 제어가 용이하다는 장점이 있다.

도 1은 종래 평판표시장치의 제조공정의 챔버내 설치되는 자기부상 반송장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 1을 참조하면, 종래의 자기부상 반송장치(1)는 공정챔버(2)내에 설치되며, 지지대(10), 캐리어(20) 및 복수의 전자석(30, 40)을 포함한다.

지지대(10)는 피반송체(2)의 이송 경로에 대응되도록 지면에 고정되어 있으며, 피반송체(2)가 안착되는 캐리어(20)가 구비되어 있다.

캐리어(20)는 전면에 피반송체(2), 일예로서 액정패널 등과 같은 기판이 안착된다. 캐리어(20)는 공정중 지지대(10)에 의해 설정된 경로를 따라 피반송체(2)를 반송시키며, 반송 중의 진동으로 인하여 피반송체(2)가 유동하지 않도록 안정적으로 고정하게 된다. 통상적으로 캐리어(20)는 금속물질로 이루어질 수 있다.

캐리어(20)의 양측단에는 복수의 전자석 모듈(30, 40)이 배치되어 있다. 이러한 전자석 모듈(30, 40)은 전자석 고정부(50)에 설치되고, 캐리어(20)의 측단과 서로 대응되도록 배열되어 있다.

도 2는 종래의 전자석 모듈의 구조를 예시한 도면으로서, 도 2를 참조하면, 전자석 모듈은 소정의 전자석 코일(coil, 33)이 감긴 코어부(34)가 케이스(31)내에 실장된 구조를 갖는다. 따라서, 하나의 전자석 모듈은 전자기력이 적용되는 노출면으로 캐리어(20)가 위치하게 되며, 그 반대면으로는 공정챔버의 벽(2)이 위치하게 된다.

다시 도 1을 참조하면, 제1 전자석 모듈(30)은 캐리어(20)를 소정높이로 부상시키는 역할을 하며, 제2 전자석 모듈(40)은 부상된 캐리어(20)의 유동에 의해 좌우 정렬상태가 틀어지지 않도록 제어하는 역할을 한다.

상세하게는, 제1 전자석 모듈(30)은 지지대(10)의 측단 상부에 캐리어(20)가 이동되는 방향과 나란하게 배열되고, 제2 전자석 모듈(40)은 지지대(10)의 측단 외곽에 나란하게 배열되어 있으며, 각각 캐리어(20)를 중심으로 양측 대향하도록 배치되어 있다. 이에 따라, 캐리어(20)는 제1 및 제2 전자석 모듈(30, 40)을 양측으로 하여 전후방향으로 이동하게 된다.

전술한 제1 및 제2 전자석 모듈(30, 40)은 전원부를 포함하는 콘트롤 박스와 배선 케이블(39)을 통해 연결되어 이로부터 공급되는 전류에 의해 전자기력을 발생시켜 캐리어(20)의 이동을 제어하게 된다.

즉, 복수의 전자석(30, 40)들에 발생된 전자기력에 의해 전자석(30, 40)들과 캐리어(20)간에 서로 끌어당기는 힘인 인력이 작용하게 된다. 이때, 콘트롤 박스(70)는 캐리어(20)의 양측단이 전자석(30, 40)에 접촉되지 정도의 인력이 발생되도록 다수의 전자석(30, 40)에 인가되는 신호의 세기를 조절함으로써 캐리어(20)가 전자석(30, 40)과 지지대(20) 사이에서 부상된 상태를 유지하게 된다.

이와 같은 구조의 자기부상 반송장치(10)는 공정챔버(2)의 내부에 설치되게 되며, 공정중에는 공정챔버(2)의 내부가 진공상태가 유지되어야 한다. 그러나, 자기부상 반송장치(1)의 전자석(30, 40)들의 코어부 및 코일은 진공상태에서 Out-gassing을 유발하게 되며, 이로 인한 가스가 챔버내부를 오염시키게 된다. 또한, 전자석 모듈(30, 40)에 전류를 공급하는 배선 케이블(39) 또한 Out-gassing의 원인이 되며, 이는 챔버 내부(7)의 진공도를 떨어뜨리는 주요한 원인이 된다.

또한, 공정챔버(2)의 한정된 공간에 상기 배선 케이블(39)이 배치되어 전자석(30, 40)의 위치선정에 제약이 있을 뿐만 아니라, 콘트롤 박스(70)등도 공정챔버(2)내에 배치되어야 함에 따라 챔버 내부(7)가 복잡해지는 문제점이 있다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 평판표시장치의 공정설비 중, 자기부상 반송장치에 의해 발생하는 Out-gassing 현상을 개선하여 공정의 신뢰성을 향상시키고, 공정챔버의 구조를 단순화하는 데 있다.

전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자기부상 반송장치는 공정챔버내 설치되는 자기부상 반송장치로서, 지지대와, 상기 지지대상에 배치되며, 이송경로 따라 적재된 피반송체를 반송하는 캐리어 및 상기 캐리어의 측단에 배치되고, 상기 캐리어를 상기 지지대의 상부로 부상시키는 복수의 전자석 모듈을 포함한다.

특히, 본 발명에서 자기부상 반송장치에 구비되는 전자석 모듈은 상기 공정챔버의 외부에 배치되고, 인가되는 전류에 따른 전자기를 생성하는 코일이 감긴 제1 코어부 및, 상기 전자석의 일면에 접촉되어 상기 전자기를 일면으로 유도하고, 공정챔버의 벽에 매립되어 배치되는 제2 코어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 실시예에 따른 자기부상 반송장치는 캐리어를 부상 및 지지하는 전자석을 챔버외부에 설치하고, 챔버벽을 관통하여 전자석과 접촉하는 제2 코어를 캐리어에 인접시켜 전자석과 동일한 전자기력을 확보함에 따라, 전자석 및 이와 관련된 부품을 챔버외부로 배치시킴으로써, Out-gassing에 의한 문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래 평판표시장치의 제조공정의 챔버내 설치되는 자기부상 반송장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 종래의 전자석 모듈의 구조를 예시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 제조공정의 챔버내 설치되는 자기부상 반송장치를 단면도로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 자기부상 반송장치를 사시도로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 자기부상 반송장치에 구비되는 전자석 모듈에 대한 절단면도 및 평면도로 나타낸 도면이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

본 명세서 상에서 언급한 '구비한다', '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.

제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.

본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할수도 있고 연관관계로 함께 실시할 수도 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자기부상 반송장치를 설명한다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 제조공정의 챔버내 설치되는 자기부상 반송장치를 단면도로 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 자기부상 반송장치를 사시도로 나타낸 도면이다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 자기부상 반송장치는, 공정챔버내 설치되는 자기부상 반송장치(100)로서, 지지대(110)와, 상기 지지대(110)상에 배치되며, 이송경로 따라 적재된 피반송체를 반송하는 캐리어(120)와, 상기 캐리어(120)의 측단에 배치되고, 상기 캐리어(120)를 상기 지지대(110)의 상부로 부상시키는 복수의 전자석 모듈(130, 140)을 포함한다.

특히, 본 발명의 전자석 모듈(130, 140)은 상기 공정챔버의 외부에 배치되고, 인가되는 전류에 따른 전자기를 생성하는 코일이 감긴 제1 코어부 및 상기 전자석의 일면에 접촉되어 상기 전자기를 일면으로 유도하고, 공정챔버의 벽(2)을 관통하여 배치되는 제2 코어부를 포함하는 것이라는 구조적 특징이 있다.

상세하게는, 지지대(110)는 평판표시장치의 공정챔버의 내부공간(7)에 배치되며, 상부에 배치된 캐리어(120)를 지지하는 역할을 하는 것으로, 그 캐리어(120)의 이동경로 즉, 피반송체(4)의 이동경로를 따라 설치되며, 캐리어(120)의 궤도가 정의되어 있다.

또한, 지지대(110)의 상부면의 양측으로는 캐리어(120)의 이송경로를 가이드 하는 가이드 바(115)가 구비되어 있다.

그리고, 도시되어 있지는 않지만 지지대(110)상에 캐리어(120)의 이동경로에 따라 적어도 하나의 리니어모터(미도시)가 배치될 수 있다. 이러한 리니어모터는 캐리어(120)가 지지대(110)의 상면에서 소정 높이로 부상되어 이동경로를 따라 이동될 수 있도록 직선방향으로의 추진력을 제공하게 된다.

캐리어(120)는 지지대(110) 상에 배치되며 상부로 안착된 피반송체(4)가 공정 중, 이동경로를 따라 이탈 없이 안정적으로 이송되도록 고정하는 역할을 한다. 이러한 캐리어(120)는 소정의 금속재질로 이루어지고, 사각틀 형태를 가지되, 양 측단이 요철(凹凸)형태로 절곡된 절곡부(122)가 형성되어 있으며, 절곡부(122)는 지지대(110)에 설치된 가이드 바(115)와 맞물리는 형태로 설치되어 있다. 이러한 절곡부(122)는 전자석 모듈(130, 140)로부터 발생되는 전자기력에 의해 인가되어 상부로 부상하게 된다.

한편, 캐리어(120)의 상부면에 적재되는 피반송체(4)로는 평판표시장치의 표시패널 등이 적용될 수 있다. 이러한 캐리어(120)는 지지판(110)의 상부로 부상된 상태로 이동됨에 따라, 이동시 마찰 등에 따른 오염물질의 발생이 최소화 되게 된다.

또한, 캐리어(120)의 이동경로상의 시작 및 끝 지점에는 캐리어(120)가 지지대(110)를 이탈하지 않도록 하는 스토퍼(118)가 지지대(110)상에 고정 및 배치될 수 있다.

다수의 부상용 전자석 모듈(130, 140)은 캐리어(120)의 절곡부(122)에 인접하여 양측에 각각 배치될 수 있다. 이러한 다수의 전자석 모듈(130, 140)은 공정챔버의 외부에 설치되는 콘트롤 박스(170)로부터 제공되는 전류에 따라 각각 전자기력을 발생시킴으로써 캐리어(120)를 지지대(110)로부터 부상시킬 수 있다.

예컨데, 다수의 전자석 모듈(130, 140)은 전자기력을 발생시키고, 캐리어(120)사이에서 서로 끌어당기는 힘, 즉 인력을 발생시키게 된다. 이때, 콘트롤 박스(170)는 캐리어(120)가 전자석(130, 140)에 붙지 않을 정도의 인력이 발생되도록 다수의 전자석 모듈(130, 140)에 인가되는 전류의 양을 실시간으로 조절함으로써, 공정 중 캐리어(120)가 전자석(130, 140)과 지지대(110) 사이에서 부상된 상태를 유지하도록 한다.

이러한 전자석 모듈(130, 140)로부터 발생되는 전자기력의 세기는 콘트롤 박스(170)로부터 인가되는 전류량에 따라 결정되게 된다.

그리고, 다수의 전자석 모듈(130, 140)은 제1 및 제2 전자석 모듈(130, 140)로 구분되어 캐리어(120)의 절곡부(122)에 대향하여 상부 및 측부를 제어하게 된다. 제1 전자석 모듈(130)은 절곡부(122)의 상부로 캐리어(120)의 이동경로를 따라 나란히 배치될 수 있으며, 제2 전자석 모듈(140)은 절곡부(122)의 측부로 캐리어(120)의 이동경로를 따라 나란히 배치될 수 있다. 여기서, 제1 전자석 모듈(130)과 제2 전자석 모듈(140)은 그 개수가 동일하거나, 또는 동일하지 않은 비대칭 구조일 수 있다. 도 4에서는 전자석 모듈(130, 140)의 배치되는 위치를 모식도로 나타내고 있다.

일 예로서, 하나의 캐리어(120)는 4 방향에서 다수의 전자석 모듈(130, 140)이 대응될 수 있다. 예컨데, 캐리어(120)의 양측의 절곡부(122)에 대하여 상부 및 측부로 각각 두 개의 제1 전자석 모듈(130) 및 제2 전자석 모듈(140)이 대응되도록 배치될 수 있다. 또한, 하나의 캐리어(120)에 대응되는 전자석 모듈(130, 140)의 총 개수는 캐리어(120)의 크기에 따라 달라질 수 있다.

또한, 도면에 도시되어 있지는 않지만, 다수의 전자석 모듈(130, 140)과 캐리어(120) 사이에는 둘 사이의 간격을 감지할 수 있는 갭(gap) 센서(미도시)가 더 구비될 수 있다. 이는 캐리어(120)의 이동시, 캐리어(120)의 정렬상태를 일정하게 유지하기 위한 것으로, 자기부상된 캐리어(120)가 안정적으로 목적경로에 도달 수 있도록 한다.

특히, 본 발명의 실시예에 따른 제1 및 제2 전자석 모듈(130, 140)는 각각 지지대(110)상에 구비된 소정의 전자석 고정부(도 1의 50)에 설치되어 캐리어(120)의 절곡부(122)와 인접하여 배치되는 것이 아닌, 공정챔버의 외벽(2)에 설치 및 고정되는 것을 특징으로 한다.

상세하게는, 제1 및 제2 전자석 모듈(130, 140)는 콘트롤 박스(170)로부터 인가되는 전류에 따라 전자기력을 발생시키는 제1 코어부(131, 141)와, 제1 코어부(131, 141)의 일면과 접촉하여 발생된 전자기력을 손실없이 전달하는 제2 코어부(132, 142)를 포함한다.

제1 코어부(131, 142)는 소정의 사각 케이스내에 실장될 수 있으며, 공정챔버의 벽(2)의 외측 상부 및 측부에 배치되어 공정챔버의 외부에 구비된 콘트롤 박스(170)와 케이블(139, 149)을 통해 연결된다.

그리고, 제2 코어부(132, 142)는 공정챔버의 벽(2) 내부를 관통하여 벽 내부에 매립되어 있으며, 외부에서 제1 코어부(131, 141)와 접촉되어 있다. 따라서, 제1 코어부(131, 141)는 공정챔버의 외벽으로 노출되어 있는 형태이고, 제2 코어부(131, 141)는 공정챔버의 내벽으로 노출되어 있는 형태이다.

공정챔버내의 상부 제2 코어부(132)는 캐리어(120)의 절곡부(122)의 상부와 대향하고 있고, 측부 제2 코어부(142)는 그 절곡부(122)의 측부와 대향하고 있다. 즉, 제2 코어부(132)는 제1 코어부(131, 141)에서 발생된 전자기력을 공정챔버의 벽(2) 내부 방향으로 전달하는 역할을 한다. 이때, 제2 코어부(132)에 의해 전달되는 전자기력의 세기에는 거의 손실이 발생하지 않으며, 제1 코어부(131, 141)를 직접 절곡부(122)에 대향하는 것과 동일한 인력을 구현할 수 있다.

이러한 구조에 따라, 본 발명의 실시예에 따른 자기부상 반송장치는 전자석 모듈을 공정챔버 외벽에 배치되는 제1 코어부와, 공정챔버 벽 내부에 매립되는 제2 코어부를 포함하는 형태로 구현하고, 제어를 위한 콘트롤 박스 및 이를 전자석 모듈과 연결하는 케이블을 공정챔버 외부에 배치함으로써, 공정챔버의 크기를 줄일 수 있으며, 특히 케이블을 통해 발생하는 Out-gassing 현상을 제거함으로써, 공정챔버내 기체오염을 최소화하고, 제조공정에서의 불량 발생을 현저하게 개선할 수 있는 효과가 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 자기부상 반송장치의 전자석 모듈의 구조를 상세히 설명한다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 자기부상 반송장치에 구비되는 전자석 모듈에 대한 절단면도 및 평면도로 나타낸 도면이다.

도 5를 참조하면, 본 발명의 자기부상 반송장치의 전자석 모듈(130)은 전자기력을 발생시키는 제1 코어부(131)와 공정챔버 벽 내에 매립되어 전자기력을 전달하는 제2 코어부(132)를 포함한다.

제1 코어부(131)는 사각형 케이스에 실장되어 있으며, 그 내부에는 'ㄷ'자형의 철심(133)에 전자석 코일(134)이 감겨있는 구조이다. 상기 전자석 코일(134)은 케이블(미도시)를 통해 전류를 인가받아 전자기력을 발생시키게 된다. 철심(133)의 끝단은 제2 코어부(132)의 철심(135)과 접촉되어 있다.

제2 코어부(132)는 철심(135)을 공정챔버 벽(2)에 매립하여 형성하는 것으로, 제1 코어부(131)의 철심(133)형상에 따라, 노출면이 직사각형의 '11'자형으로 형성될 수 있다. 여기서, 노출면의 형태는 직사각형으로 한정되는 것이 아닌, 다각형 및 기타 다른 형태로도 형성될 수 있다.

이러한 철심(135)의 노출면은 캐리어의 절곡부(도 3의 122)의 상부 및 측부와 대향하게 된다.

또한, 제1 코어부(131) 및 제2 코어부(132)의 접촉면에는 이를 둘러싸는 형태로 오-링(140)이 삽입됨에 따라, 두 코어부(131, 135)간의 이격공간을 최소화하고, 제1 코어부(131)가 공정챔버의 외벽으로부터 이탈되지 않도록 고정되게 된다. 이러한 오-링(140)은 탄력성이 좋은 수지재질로 이루어질 수 있다.

전술한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.

2 : 공정챔버 벽 4 : 피반송체
7 : 공정챔버 내부 100 : 자기부상 반송장치
110 : 지지대 115 : 가이드 바
120 : 캐리어 122 : 절곡부
130, 140 : 제1 및 제2 전자석 모듈 131, 141 : 제1 코어부
132, 142 : 제2 코어부 139, 149 : 케이블
170 : 콘트롤 박스

Claims

공정챔버내 설치되는 자기부상 반송장치로서,
지지대;
상기 지지대상에 배치되며, 이송경로 따라 적재된 피반송체를 반송하는 캐리어; 및
상기 캐리어의 측단에 배치되고, 상기 캐리어를 상기 지지대의 상부로 부상시키는 복수의 전자석 모듈을 포함하고,
상기 전자석 모듈은,
상기 공정챔버의 외부에 배치되고, 인가되는 전류에 따른 전자기를 생성하는 코일이 감긴 제1 코어부; 및
상기 전자석의 일면에 접촉되어 상기 전자기를 일면으로 유도하고, 공정챔버의 벽에 매립되어 배치되는 제2 코어부
를 포함하는 자기부상 반송장치.
제1 항에 있어서,
상기 전자석 모듈은,
상기 캐리어의 양측 상부에 대응하여 상기 공정챔버의 상부 벽에 배치되는 제1 전자석 모듈; 및
상기 캐리어의 양 측부에 대응하여 상기 공정챔버의 측벽에 배치되는 제2 전자석 모듈
을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기부상 반송장치.
제1 항에 있어서,
상기 코일은,
상기 공정챔버의 외부에 설치된 콘트롤 박스에 케이블을 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 자기부상 반송장치.
제1 항에 있어서,
상기 제1 코어부는,
상기 제2 코어부와의 접촉면에 구비되는 오-링에 의해 상기 공정챔버의 상부벽 및 측벽상에 고정되는 것을 특징으로 하는 자기부상 반송장치.
제 4 항에 있어서,
상기 제2 코어부는,
상기 제1 코어부와 동일재질의 금속재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기부상 반송장치.
제 5 항에 있어서,
상기 제2 코어부는,
노출면이 사각형 또는 다각형 형태인 것을 특징으로 하는 자기부상 반송장치.