JP5353107B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
(第1の実施の形態)
(第2の実施の形態)
(第3の実施の形態)
(第4の実施の形態)
2…電力供給機構
4、…搬送台(可動体)
5…リニアモータ
7、70…リニアガイド(補助支持部)
8…電源ユニット
10…搬送ロボット(処理ユニット)
11…隔壁
12…本体
51、53、55…固定子(第1のコア)
52、54、56…可動子(第2のコア)
100…真空搬送装置(搬送装置)
200、300、400…搬送装置
121、122…壁部
511、541、551…ヨーク(コア本体)
512、542、552…コイル(コイル部)
Claims (5)
- 可動体と、
前記可動体を収容し、前記可動体の上方に位置する壁部を有する真空排気可能な真空室と、
前記可動体と鉛直方向に対向するように前記壁部に固定された第1のコアと、
前記第1のコアと鉛直方向に対向するように前記可動体に固定され、前記第1のコアとの間での磁気的相互作用により前記可動体を水平方向に移動させる力と前記可動体を重力に抗して吸引する力とを発生させる第2のコアと、
前記第2のコアを挟んで前記壁部と鉛直方向に対向するように前記真空室の底部に配置され、前記可動体を下方から支持する補助支持部と
を具備する
搬送装置。 - 請求項1に記載の搬送装置であって、
前記第1のコアは、
前記真空室の外部に設置され前記可動体の搬送方向に沿って延在するコア本体と、
前記コア本体に巻回され、前記コア本体の延在方向に沿って並置された複数のコイル部とを有し、
前記第2のコアは、前記壁部を介して前記第1のコアと対向し、前記コイル部への通電によって発生する磁場によって磁化される磁性体からなる
搬送装置。 - 請求項1に記載の搬送装置であって、
前記第1のコアは、前記可動体の搬送方向に沿って並行するように複数設置され、
前記第2のコアは、前記各第1のコアに対応して複数設置されている
搬送装置。 - 請求項3に記載の搬送装置であって、
前記可動体は、前記真空室内において被搬送体を処理する処理ユニットを含む
搬送装置。 - 請求項4に記載の搬送装置であって、
前記搬送装置は、前記真空室の外部に配置され前記処理ユニットに電力を供給するための第1の電磁コイルを含む給電機構部と、前記真空室の内部に配置され前記給電機構部から前記電力を非接触で受ける第2の電磁コイルを含む受電機構部とを有する電力供給機構をさらに具備する
搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008204862A JP5353107B2 (ja) | 2008-08-07 | 2008-08-07 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008204862A JP5353107B2 (ja) | 2008-08-07 | 2008-08-07 | 搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010037092A JP2010037092A (ja) | 2010-02-18 |
JP5353107B2 true JP5353107B2 (ja) | 2013-11-27 |
Family
ID=42010024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008204862A Active JP5353107B2 (ja) | 2008-08-07 | 2008-08-07 | 搬送装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5353107B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101829397B1 (ko) | 2011-09-16 | 2018-02-19 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 낮은 가변성을 가진 로봇 |
WO2015112538A1 (en) | 2014-01-21 | 2015-07-30 | Persimmon Technologies, Corp. | Substrate transport vacuum platform |
JP7104782B2 (ja) * | 2018-05-18 | 2022-07-21 | 株式会社Fuji | 搬送装置およびそれを備える作業機 |
IT201900017441A1 (it) * | 2019-09-27 | 2021-03-27 | Ocm S P A | Sistema di trasporto |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0648845Y2 (ja) * | 1988-04-04 | 1994-12-12 | 日新電機株式会社 | ウエハ搬送装置 |
JPH01315205A (ja) * | 1988-06-13 | 1989-12-20 | Asahi Glass Co Ltd | 真空処理炉の搬送装置 |
JPH06179524A (ja) * | 1992-07-18 | 1994-06-28 | Ebara Corp | 磁気浮上真空搬送装置 |
JPH11122715A (ja) * | 1997-10-09 | 1999-04-30 | Nkk Corp | リニア式モノレールリフト型輸送設備 |
JP4330703B2 (ja) * | 1999-06-18 | 2009-09-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送モジュール及びクラスターシステム |
JP4660434B2 (ja) * | 2006-07-21 | 2011-03-30 | 株式会社安川電機 | 搬送機構およびそれを備えた処理装置 |
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2008
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010037092A (ja) | 2010-02-18 |
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