KR20160049526A - Improved fault detection capability in-line Stage - Google Patents

Improved fault detection capability in-line Stage Download PDF

Info

Publication number
KR20160049526A
KR20160049526A KR1020160049561A KR20160049561A KR20160049526A KR 20160049526 A KR20160049526 A KR 20160049526A KR 1020160049561 A KR1020160049561 A KR 1020160049561A KR 20160049561 A KR20160049561 A KR 20160049561A KR 20160049526 A KR20160049526 A KR 20160049526A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
conveyor
plates
plate
transfer plate
transfer
Prior art date
Application number
KR1020160049561A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
황희주
이중근
김준석
김덕규
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
주식회사 에이치비테크놀러지
주식회사 에이치비테크놀러지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사, 주식회사 에이치비테크놀러지, 주식회사 에이치비테크놀러지 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020160049561A priority Critical patent/KR20160049526A/en
Publication of KR20160049526A publication Critical patent/KR20160049526A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G13/00—Roller-ways
    • B65G13/11—Roller frames
    • B65G13/12—Roller frames adjustable
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/42—Measurement or testing during manufacture
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
    • H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
    • H01L51/56—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

The present invention relates to an in-line stage including an optical detector for optically detecting a defect of a component and performing inspection by transferring and stopping a transfer plate on which a detection target is placed by a driving unit for moving the inspection target at a predetermined interval, comprising a conveyer unit lifted/lowered to transfer the transfer plate with the inspection target placed thereon to an inspection position or carrying the same out; and a lifting/lowering driving unit lifting or lowering the conveyer unit supporting the transfer plate in order to adsorb and fix the inspection target placed on the transfer plate or release an adsorbed inspection target. The transfer plate includes a plurality of plates arranged in parallel to be perpendicular to a longitudinal direction and a connection unit provided below the plurality of plates to connect the same. The plurality of plates are arranged at a predetermined interval, forming a predetermined space between the plates, and the predetermined space formed between the plates serves as a support space in which the conveyer roller of the conveyer unit and a support supporting the conveyer unit are supported.

Description

결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지{Improved fault detection capability in-line Stage}[0001] The present invention relates to an inline stage having improved defect detection capability,

본 발명은 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지에 관한 것으로, 산업용 부품의 결함 검출 검사를 위해 적용되는 인라인(In-Line) 타입으로 부품을 이송시킬 때 검출 동작에 보다 효과적인 인라인 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to an in-line stage in which defect detection capability is improved, and more particularly to an in-line stage which is more effective in detection operation when a component is transferred to an in-line type applied for defect detection inspection of an industrial part.

FPD, OLED Panel의 결함을 검출하는 검출기에 사용하는 스테이지(Stage)는 검사 대상 패널을 이송시키기 위하여 컨베이어 롤러를 및 컨베이어 롤러(Conveyor Roller) 장치에 관한 것으로, 기존 검출기의 스테이지 및 에어 플레이트(Air Plate)를 이용하여 결함들을 검출하는데, 패널(Panel)의 평탄에 대한 제한이 있어 미세크기(1 ~ 2㎛)를 갖는 결함들의 검출에 제한이 있다. 이러한 검출기에 In-Line 형 Stage를 사용하여 미세 크기의 결함을 검출할 수 있다.A stage used in a detector for detecting defects of an FPD and an OLED panel is related to a conveyor roller and a conveyor roller device for conveying a panel to be inspected and a stage of an existing detector and an air plate ) Is used to detect defects. However, there is a limit to the flatness of the panel, and there is a limitation in the detection of defects having a fine size (1 to 2 mu m). This detector can detect defects of fine size using in-line stage.

도 1은 종래기술에 따른 인라인 스테이지 장치의 개략적인 구성도이다. In-Line 검출기의 경우 스테이지(Stage ; 20)가 흡착 지지하지 않는 Panel 측면의 Air Plate(10)를 사용한 비 접촉 부상방식이 유체를 이용한 부상방식의 불안정성으로 인하여, 기존 결함 크기 대비한 미세크기(1 ~ 2 마이크로미터)의 결함 검출에 균일성, 안정성 확보가 불가능하였다.1 is a schematic configuration diagram of an inline stage device according to the prior art. In the case of the in-line detector, the non-contact floating type using the air plate (10) on the side of the panel where the stage (20) is not adsorbed and supported, 1 to 2 micrometers), it was impossible to ensure uniformity and stability.

KR 10-2006-0013981호KR 10-2006-0013981 KR 10-2006-0013980호KR 10-2006-0013980

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은, Conveyor Roller 설치 공간을 제외한 기존 비 접촉 부상 영역까지 흡착 지지 가능하게 Stage 및 Roller를 구조 변경하여 Panel 평탄 및 위치 정밀도 확보하여 미세크기의 결함 검출 실현이 가능한 결함 검출용 부품 이송 스테이지를 제공하고자 하는데 목적이 있다.In order to solve the above-mentioned problems, it is possible to realize a fine size defect detection by securing the flatness of the panel and the position by changing the structure of the stage and the rollers so as to support the existing non-contact floating area except for the installation space of the conveyor roller It is an object of the present invention to provide a component transfer stage for defect detection.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 부품의 결함을 광학적으로 검출하기 위한 광학 검출기가 구성되고, 검사 대상체를 소정 간격으로 이동시키기 위한 구동부에 의해 상기 검출 대상체가 놓여지는 이송 플레이트를 이송 및 정지시켜 검사를 실시하기 위한 인라인 스테이지에 있어서, 승/하강하여 상부에 검사 대상체가 놓여진 상기 이송 플레이트를 검사 위치로 이송시키거나 반출시키는 컨베이어부; 및 상기 이송 플레이트에 놓여진 검사 대상체를 흡착 고정하거나 흡착 해제하기 위해 상기 이송 플레이트를 지지하는 상기 컨베이어부를 승/하강 시키는 승/하강 구동부;를 포함하고, 상기 이송 플레이트는, 길이방향과 수직하게 나란히 배열되는 다수개의 플레이트와, 상기 플레이트의 하부에 구비되어 상기 다수개의 플레이트를 연결하는 연결부를 포함하고, 상기 다수개의 플레이트가 배열될 때 각각 일정 간격을 두고 배열되어 플레이트 사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 플레이트 사이마다 형성된 일정 공간은 상기 컨베이어부의 컨베이어 롤러와 컨베이어부를 지지하는 지지부가 지지되는 지지공간으로 적용된다.According to an aspect of the present invention, there is provided an optical detector for optically detecting a defect in a component, comprising: a transfer unit for transferring the transfer plate on which the detection object is placed by a drive unit for moving the inspection object at a predetermined interval; A conveyor unit for conveying or unloading the transfer plate on which an inspection object is placed on an ascending / descending position to an inspection position; And an up / down driving part for raising / lowering the conveyor part supporting the conveyance plate for attracting / unattracting the object to be inspected placed on the conveyance plate, wherein the conveyance plate is arranged in parallel to the longitudinal direction A plurality of plates provided at a lower portion of the plate and connecting the plurality of plates, wherein a predetermined space is formed between the plates when the plurality of plates are arranged at predetermined intervals, A predetermined space formed between the plates is applied as a support space in which a conveyor roller of the conveyor portion and a support portion for supporting the conveyor portion are supported.

그리고 상기 컨베이어부는, 베이스 플레이트의 상부에 설치되는 지지부와, 상기 지지부에 지지되어 베이스 플레이트로부터 이격 설치되는 프레임 및 상기 프레임에 적어도 2개(2라인) 이상으로 설치되는 컨베이어 롤러를 포함하고, 상기 승/하강 구동부에 의해 승/하강 되도록 제어된다.The conveyor portion includes a support portion provided on an upper portion of the base plate, a frame supported by the support portion and spaced apart from the base plate, and a conveyor roller installed on the frame at least two (2 lines) / Downward driving unit.

또한, 상기 컨베이어부는, 상기 베이스 플레이트의 상부에 설치된 리니어모터(linear motor) 및 상기 리니어모터에 결합되어, 상기 리니어모터의 작동에 의해 상기 프레임의 길이방향으로 동작하는 리니어가이드를 더 포함하고, 상기 이송 플레이트는, 상기 리니어가이드의 상부에 배치되어 결합되고, 상기 리니어가이드의 동작에 의해 프레임의 길이방향으로 이송된다.The conveyor portion may further include a linear motor installed on the upper portion of the base plate and a linear guide coupled to the linear motor and operated in the longitudinal direction of the frame by operation of the linear motor, The transfer plate is arranged on the upper portion of the linear guide and is transferred in the longitudinal direction of the frame by the operation of the linear guide.

그리고 상기 지지부는, 상기 프레임의 길이방향에 대해 양쪽을 지지할 수 있도록 상기 베이스 플레이트 상부에 설치되되, 이송공간부가 형성되도록 상기 베이스 플레이트의 일측에 길이방향으로 이격설치되고, 상기 이송 플레이트는, 상기 프레임의 길이방향향으로 왕복 이송되되, 상기 이송 플레이트의 일측이 상기 이송공간부의 양단 사이만큼만 왕복 이송된다.The support portion is installed on the base plate so as to support both sides of the frame in the longitudinal direction, and is spaced apart from the base plate in the longitudinal direction so as to form a transfer space portion. The one side of the transfer plate is reciprocated only between the opposite ends of the transfer space part.

또한, 상기 이송공간부의 길이방향 폭(D1)은, 상기 이송 플레이트의 길이방향 폭(D2)보다 더 길게 형성되고, 상기 이송 플레이트는, 상기 컨베이어부에 의해 이송공간부의 끝단으로 이송될 때, 상기 이송공간부의 상에 위치된다.It is preferable that a lengthwise width D1 of the conveyance space is longer than a lengthwise width D2 of the conveyance plate, and when the conveyance plate is conveyed to the end of the conveyance space by the conveyor, And is positioned on the transfer space portion.

그리고 상기 플레이트의 이격 간격은, 상기 이송 플레이트가 상기 컨베이어의 상부에 배치될 때, 상기 컨베이어의 롤러와 지지부에 간섭이 없도록 이격되고, 상기 연결부는, 다수개의 플레이트의 일측을 연결하되, 상기 플레이트마다 이격된 이격 공간이 대응되게 형성될 수 있도록 상기 연결부의 상측부에 내입부가 내입형성된다.And the spacing distance of the plate is spaced apart from the roller and the support of the conveyor so that there is no interference when the conveying plate is disposed on the conveyor and the connecting portion connects one side of the plurality of plates, The inner portion is formed in the upper portion of the connecting portion so that the spaced apart spacing spaces can be formed correspondingly.

상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명은, In-Line 검출기의 경우 Stage가 흡착 지지하지 않는 Panel 측면의 Air Plate를 사용한 비 접촉 부상방식이 유체를 이용한 부상방식의 불안정성으로 인하여, 기존 결함 크기 대비한 미세크기(1 ~ 2 마이크로미터)의 결함 검출에 균일성, 안정성 확보가 불가능하였으나, Stage 이동 플레이트를 적용하여, Panel의 평탄도를 향상시켜 결함 검출 가능한 이점이 있다.According to the present invention configured and operated as described above, in the case of the in-line detector, the non-contact floating type using the air plate on the side of the panel where the stage is not adsorbed and supported is unstable due to the floating type using fluid, Uniformity and stability can not be secured for detecting defects of fine size (1 to 2 micrometers). However, there is an advantage that defects can be detected by improving the flatness of the panel by applying a stage moving plate.

도 1은 종래기술에 따른 인라인 스테이지 장치의 개략적인 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지의 개략적인 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지의 개략적인 평면도,
도 4는 본 발명에 따른 인라인 스테이지에 적용되는 이송 플레이트의 평면도,
도 5는 본 발명에 따른 이송 플레이트의 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지의 구동 상태도,
도 7은 본 발명에 따른 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지의 개략도가다.1 is a schematic configuration diagram of an inline stage device according to the prior art,
2 is a schematic perspective view of an in-line stage with improved defect detection capability according to the present invention,
3 is a schematic plan view of an inline stage with improved defect detection capability according to the present invention,
4 is a plan view of a transfer plate applied to an inline stage according to the present invention,
5 is a perspective view of a transfer plate according to the present invention,
6 is a driving state diagram of an in-line stage in which defect detection capability according to the present invention is improved,
7 is a schematic diagram of an in-line stage that improves the defect detection capability according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of an inline stage having improved defect detection capabilities according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지는, 부품의 결함을 광학적으로 검출하기 위한 광학 검출기가 구성되고, 검사 대상체를 소정 간격으로 이동시키기 위한 구동부에 의해 상기 검출 대상체가 놓여지는 이송 플레이트를 이송 및 정지시켜 검사를 실시하기 위한 인라인 스테이지에 있어서, 상기 이송 플레이트를 승/하강하여 상부에 놓여진 검사 대상체를 검사 위치로 이송시키거나 반출시키는 컨베이어부, 상기 이송 플레이트에 놓여진 검사 대상체를 흡착 고정하거나 흡착 해제하기 위해 상기 이송 플레이트를 지지하는 상기 컨베이어부를 승/하강 시키는 승/하강 구동부;를 포함하고, 상기 이송 플레이트는, 길이방향과 수직하게 나란히 배열되는 다수개의 플레이트와, 상기 플레이트의 하부에 구비되어 상기 다수개의 플레이트를 연결하는 연결부를 포함하고, 상기 다수개의 플레이트가 배열될 때 각각 일정 간격을 두고 배열되어 플레이트 사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 플레이트 사이마다 형성된 일정 공간은 상기 컨베이어부의 컨베이어 롤러와 컨베이어부를 지지하는 지지부가 지지되는 지지공간으로 적용되는 것을 특징으로 한다.An inline stage having improved defect detection capability according to the present invention comprises an optical detector for optically detecting a defect in a component, and a drive plate for moving the inspection target at a predetermined interval is provided with a transfer plate on which the detection target object is placed A conveying unit for conveying or discharging an inspection object placed on an upper part of the conveying plate by moving up and down the conveying plate so that the inspection target is placed on the conveying plate, And a conveying part for conveying the conveying part to the conveying part, wherein the conveying part comprises: a plurality of plates arranged in parallel to each other in a direction perpendicular to the longitudinal direction; And the plurality of plates And a predetermined space formed between the plates is disposed between the plates so that the conveyor rollers of the conveyor part and the conveyor part supporting the conveyor parts are supported, And is applied as a support space to which the support is additionally supported.

본 발명에 따른 인라인 스테이지는, 종래의 인라인(In-line) 구조의 결함 검출기 이송 시스템에서 적용된 에어 플레이트(Air Plate)를 사용하지 않고, 검사 대상체가 놓여지는 영역까지 흡착 지지 가능하도록 구성하여 패널의 평탄 및 위치 정밀도를 확보할 수 있어 안정적인 스테이지 이동을 통해 미세크기의 결함까지 정밀하게 검출할 수 있는 것을 특징으로 한다.The inline stage according to the present invention can be configured to be capable of being attracted to and supported by a region where an inspection object is placed without using an air plate applied in a conventional in-line defect detector transport system, Flatness and positional accuracy can be ensured, and defects of fine size can be precisely detected through stable stage movement.

도 2는 본 발명에 따른 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지의 개략적인 사시도이다.2 is a schematic perspective view of an inline stage that improves defect detection capability according to the present invention.

본 발명에 따른 인라인 스테이지는 베이스 플레이트(미부호) 상부측에 컨베이어부(200)가 마련되고, 상기 컨베이어부는 승/하강부(300)에 의해 승강 구동 가능한 구조를 가진다. 그리고 이 컨베이어 위에 검사 패널을 위치시켜 이송을 담당하는 이송 플레이트가 위치하게 된다.The inline stage according to the present invention has a structure in which a conveyor part 200 is provided on an upper side of a base plate (not shown), and the conveyor part is capable of moving up and down by a lifting / lowering part 300. Then, the inspection panel is placed on the conveyor, and a transfer plate for transferring is placed.

도 3은 본 발명에 따른 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지의 개략적인 평면도, 도 4와 도 5는 본 발명에 따른 인라인 스테이지에 적용되는 이송 플레이트의 평면도와 사시도이다.FIG. 3 is a schematic plan view of an inline stage with improved defect detection capability according to the present invention, and FIGS. 4 and 5 are a plan view and a perspective view of a transfer plate applied to an inline stage according to the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이 이송 플레이트는 길이형태의 플레이트가 나란히 배열된 형태를 취하며, 일측으로 길이방향의 플레이트에 수직하게 한쪽으로 연결부(110)가 고정되어 있어 이들을 고정한다. 이때, 플레이트의 이격 간격은, 이송 플레이트가 컨베이어의 상부에 배치될 때, 컨베이어의 롤러와 지지부에 간섭이 없도록 이격된 형태의 구조를 가진다.As shown in FIG. 4, the transfer plate has a shape in which plates of lengths are arranged side by side, and the connection unit 110 is fixed to one side of the plate in the vertical direction on one side thereof to fix them. At this time, the spacing of the plates has a structure such that, when the conveying plate is disposed on the conveyor, the conveyor rollers and the supporting portions are spaced apart from each other without interference.

연결부(110)는 플레이트가 이격된 이격공간의 상측부가 내입된 내입부가 형성되고, 컨베이어부와 지지부(210)는 플레이트가 길이방향으로 이송될 때 내입부로 통과된다.The connecting portion 110 is formed with an inner portion into which an upper portion of the spaced apart spaced plate is inserted, and the conveyor portion and the supporting portion 210 are passed to the inner portion when the plate is transported in the longitudinal direction.

또한, 본 발명은 종래의 기술에서 적용된 에어 플레이트 구성을 제외하여 이송 플레이트의 면적을 최대한 확보함에 따라 이송 플레이트 하강 후 흡착 동작 시 검사 대상체를 완전 밀착 고정시킬 수 있는 장점이 있는 것이다. In addition, the present invention has an advantage in that the inspection object can be fully and firmly fixed in the suction operation after descending the transfer plate, as the area of the transfer plate is maximized, except for the air plate structure applied in the prior art.

도 6은 본 발명에 따른 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지의 구동 상태를 도시한 도면이다. 컨베이어부상에 위치한 복수의 이송 플레이트는 상류설비로부터 이송된 Panel을 제공받고, 컨베이어부가 수직 하강하면서 Stage에 검사 대상체 Panel을 안착 시킨 후 Stage는 Panel을 흡착 지지한다.(Stage 위치1) 검출기 상부에 구성된 검출기 구성되어 있어 흡착 후 스테이지는 정밀 등속 이송한다. 검출기 사양에 따라 왕복횟수는 변경 가능하다. 컨베이어부 롤러의 Up/Down후 Panel의 이송과 Stage 수평이동 단위 동작은 간섭이 없는 구조다.6 is a diagram showing a driving state of an in-line stage which improves the defect detection capability according to the present invention. A plurality of conveying plates located on the conveyor float are provided with a panel transferred from the upstream equipment, and the conveyor unit vertically descends to seat the inspection object panel on the stage, and then the stage adsorbs and supports the panel (Stage position 1) The detector is configured so that the stage is transported at a constant speed after adsorption. The number of reciprocations can be changed according to the detector specifications. Transfer of the panel after up / down of the conveyor part rollers and unit movement of the stage horizontal movement is a structure without interference.

Stage는 흡착플레이트와 Pin으로 Panel을 흡착 지지하여, 검사를 완료 후, Roller 모듈이 상승하여,(Stage위치2) 하류 설비 또는 다음 검사기로 Panel을 이송한다.Stage adsorbs and supports the panel with adsorption plates and pins. After the inspection is completed, the Roller module is elevated (stage 2) and the panel is transferred to the downstream equipment or the next inspection unit.

본 발명에서는 도면상 컨베이어 롤러의 배치가 4열로 되어있지만, Panel의 크기에 비례하여 2열 ~ 10열 이상 배치 변경 가능하며 그에 따라서 스테이지의 자리파기 부분은 얼마든지 변경 가능한 것이다.In the present invention, the conveyor rollers are arranged in four rows in the drawing. However, the layout of the conveyor rollers can be changed in two to ten rows or more in proportion to the size of the panel.

이하, 본 발명에 따른 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지에 대해서 좀 더 상세하게 설명한다.Hereinafter, an inline stage having improved defect detection capability according to the present invention will be described in more detail.

도 7은 본 발명에 따른 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지의 개략도가다.7 is a schematic diagram of an in-line stage that improves the defect detection capability according to the present invention.

도 7을 참조하면, 이송 플레이트(100)는 플레이트와 연결부(110)를 포함한다.Referring to FIG. 7, the transfer plate 100 includes a plate and a connecting portion 110.

플레이트는 길이방향과 수직하게 나란히 배열되어 다수개로 이루어진다.The plates are arranged in parallel to one another in a direction perpendicular to the longitudinal direction.

연결부(110)는 플레이트의 하부에 구비되어 다수개의 플레이트를 연결한다.The connection unit 110 is provided at a lower portion of the plate to connect the plurality of plates.

즉, 다수개의 플레이트가 배열될 때 각각 일정 간격을 두고 배열되어 플레이트 사이마다 일정 공간이 형성되며, 플레이트 사이마다 형성된 일정 공간은 컨베이어부(200)의 컨베이어 롤러(250)와 컨베이어부(200)를 지지하는 지지부(210)가 지지되는 지지공간으로 적용된다.That is, when a plurality of plates are arranged, a predetermined space is formed between the plates by arranging the plates at a predetermined interval, and a predetermined space formed between the plates is formed between the conveyor roller 250 of the conveyor part 200 and the conveyor part 200 And is supported as a supporting space for supporting the supporting part 210.

이때, 플레이트의 이격 간격은, 이송 플레이트(100)가 상기 컨베이어의 상부에 배치될 때, 상기 컨베이어의 롤러(250)와 지지부(210)에 간섭이 없도록 이격된다.At this time, the spacing of the plates is spaced such that there is no interference with the roller 250 and the support 210 of the conveyor when the transfer plate 100 is disposed on the conveyor.

그리고 연결부(110)는, 다수개의 플레이트의 일측을 연결하되, 플레이트마다 이격된 이격 공간이 대응되게 형성될 수 있도록 연결부(110)의 상측부에 내입부가 내입형성된다.The connection part 110 connects the one side of the plurality of plates, and the inside part is formed in the upper part of the connection part 110 so that the spaced apart spaces can be formed corresponding to each plate.

따라서, 이송 플레이트(100)는, 플레이트의 이격 간격과 내입부에 의해서 컨베이어부(200)의 컨베이어 롤러(250) 및 지지부(210)에 간섭받지 않고, 리니어 가이드를 따라 길이방향으로 왕복 이송될 수 있다.Accordingly, the transfer plate 100 can be reciprocated in the longitudinal direction along the linear guide without being interfered with the conveyor roller 250 and the support portion 210 of the conveyor portion 200 by the spacing and the inner portion of the plate have.

또한, 컨베이어부(200)는 지지부(210), 프레임(240) 및 컨베이어 롤러(250)를 포함한다.The conveyor portion 200 also includes a support portion 210, a frame 240, and a conveyor roller 250.

지지부(210)는 베이스 플레이트의 상부에 설치된다.The support portion 210 is installed on the upper portion of the base plate.

이때, 지지부(210)는 프레임(240)의 길이방향에 대해 양쪽을 지지할 수 있도록 베이스 플레이트 상부에 설치된다.At this time, the supporting part 210 is installed on the upper part of the base plate so as to support both sides with respect to the longitudinal direction of the frame 240.

바람직하게, 지지부(210)는 이송공간부가 형성되도록 베이스 플레이트의 일측에 길이방향으로 이격설치된다.Preferably, the support portion 210 is longitudinally spaced at one side of the base plate to form a transfer space.

이때, 이송공간부의 길이방향 폭(D1)은, 이송 플레이트(100)의 길이방향(D2)보다 더 길게 형성된다.At this time, the longitudinal direction width D1 of the conveyance space is longer than the longitudinal direction D2 of the conveyance plate 100.

여기서, 이송 플레이트(100)는 프레임(240)의 길이방향으로 왕복 이송되되, 이송 플레이트(100)의 일측이 이송공간부의 양단 사이만큼만 왕복 이송된다. 다시 말해, 이송 플레이트(100)의 일측에 구비된 연결부(110)가 이송공간부 내에 위치하게 되어 이송 플레이트(100)는 이송공간부 사이만 왕복 이송된다.Here, the conveying plate 100 is reciprocally conveyed in the longitudinal direction of the frame 240, and one side of the conveying plate 100 is reciprocally conveyed only between both ends of the conveying space. In other words, the connection portion 110 provided at one side of the transfer plate 100 is positioned in the transfer space portion, and the transfer plate 100 is reciprocally transferred only between the transfer space portions.

즉, 이송 플레이트(100)는 컨베이어부(200)에 의해 이송공간부의 끝단으로 이송될 때, 이송공간부의 상에 위치됨에 따라, 검사공간인 2개의 스테이지(400)가 형성되는 것이다.That is, when the transfer plate 100 is transferred to the end of the transfer space part by the conveyor part 200, the two stages 400 are formed as the inspection space is positioned on the transfer space part.

프레임(240)은 지지부(210)에 지지되어 베이스 플레이트로부터 이격 설치된다.The frame 240 is supported on the support 210 and spaced apart from the base plate.

컨베이어 롤러(250)는 프레임(240)에 적어도 2개(2라인) 이상으로 설치된다.The conveyor roller 250 is installed on the frame 240 at least two (two lines) or more.

이러한, 컨베이어부(200)는 승/하강 구동부에 의해 승/하강 되도록 제어된다.The conveyor unit 200 is controlled to be raised / lowered by the up / down driving unit.

또한, 컨베이어부(200)는 리니어모터(220) 및 리니어가이드(230)를 더 포함한다.The conveyor unit 200 further includes a linear motor 220 and a linear guide 230.

리니어모터(220)는 베이스 플레이트의 상부에 설치된다.The linear motor 220 is installed on the upper portion of the base plate.

리니어가이드(230)는 리니어모터(220)에 결합되어 리니어모터(220)의 작동에 의해 프레임(240)의 길이방향으로 회전한다.The linear guide 230 is coupled to the linear motor 220 and rotated in the longitudinal direction of the frame 240 by the operation of the linear motor 220.

여기서, 리니어가이드(230)는, 레일 위에 블럭이 길이방향으로 움직이는 구조이며, 리니어모터(220)는 블럭이 레일 위에서 움직이도록 할 수 있도록 하는 것으로, 이에 대해 공지된 사항이므로, 구조 및 작동원리에 대해서 상세한 설명은 생략한다.Here, the linear guide 230 has a structure in which the block moves in the longitudinal direction on the rail, and the linear motor 220 allows the block to move on the rail, which is a known matter. Therefore, A detailed description thereof will be omitted.

이때, 이송 플레이트(100)는 리니어가이드(230)의 상부에 배치되어 결합되고, 리니어가이드(230)의 동작에 의해 프레임(240)의 길이방향으로 이송 즉, 이송 플레이트(100)의 연결부(110)가 이송공간부 내에서 왕복 이송된다.The conveying plate 100 is disposed on the upper portion of the linear guide 230 and is moved in the longitudinal direction of the frame 240 by the operation of the linear guide 230, Is reciprocated within the transfer space.

*이상, 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려, 첨부된 청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. Rather, it is understood that many modifications and variations of the present invention are possible without departing from the spirit and scope of the appended claims. And all such modifications and changes as fall within the scope of the present invention are therefore to be regarded as being within the scope of the present invention.

100 : 이송 플레이트
110 : 연결부
200 : 컨베이어부
210 : 지지부
220: 리니어모터
230: 리니어가이드
240: 프레임
250: 컨베이어 롤러
300 : 승강부
400 : 스테이지100: Transfer plate
110:
200: Conveyor part
210: Support
220: Linear motor
230: Linear guide
240: frame
250: Conveyor roller
300:
400: stage

Claims (6)

부품의 결함을 광학적으로 검출하기 위한 광학 검출기가 구성되고, 검사 대상체를 소정 간격으로 이동시키기 위한 구동부에 의해 상기 검출 대상체가 놓여지는 이송 플레이트를 이송 및 정지시켜 검사를 실시하기 위한 인라인 스테이지에 있어서,
승/하강하여 상부에 검사 대상체가 놓여진 상기 이송 플레이트를 검사 위치로 이송시키거나 반출시키는 컨베이어부; 및
상기 이송 플레이트에 놓여진 검사 대상체를 흡착 고정하거나 흡착 해제하기 위해 상기 이송 플레이트를 지지하는 상기 컨베이어부를 승/하강 시키는 승/하강 구동부;를 포함하고,
상기 이송 플레이트는, 길이방향과 수직하게 나란히 배열되는 다수개의 플레이트와, 상기 플레이트의 하부에 구비되어 상기 다수개의 플레이트를 연결하는 연결부를 포함하고,
상기 다수개의 플레이트가 배열될 때 각각 일정 간격을 두고 배열되어 플레이트 사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 플레이트 사이마다 형성된 일정 공간은 상기 컨베이어부의 컨베이어 롤러와 컨베이어부를 지지하는 지지부가 지지되는 지지공간으로 적용되는 것을 특징으로 하는 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지.
An in-line stage in which an optical detector for optically detecting a defect of a component is constituted and in which an inspection is carried out by conveying and stopping a transfer plate on which the detection object is placed by a driving unit for moving the inspection object at a predetermined interval,
A conveyor for conveying or unloading the transfer plate on which the inspection object is placed on the upper part to the inspection position; And
And a lifting / lowering driving part for lifting / lowering the conveying part supporting the conveying plate for attracting / releasing / inserting an inspection object placed on the conveying plate,
The transfer plate may include a plurality of plates arranged in parallel to each other in a direction perpendicular to the longitudinal direction, and a connection unit provided at a lower portion of the plate to connect the plurality of plates,
The plurality of plates are arranged at predetermined intervals to form a predetermined space between the plates. A predetermined space formed between the plates is a support space for supporting the conveyor roller of the conveyor part and the supporting part for supporting the conveyor part And the defect detection capability is improved.
제1항에 있어서, 상기 컨베이어부는,
베이스 플레이트의 상부에 설치되는 지지부와,
상기 지지부에 지지되어 베이스 플레이트로부터 이격 설치되는 프레임 및
상기 프레임에 적어도 2개(2라인) 이상으로 설치되는 컨베이어 롤러를 포함하고,
상기 승/하강 구동부에 의해 승/하강 되도록 제어되는 것을 특징으로 하는 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지.
The conveyor according to claim 1,
A support portion provided on an upper portion of the base plate,
A frame supported by the support and spaced apart from the base plate;
And a conveyor roller installed in the frame at least two (2 lines) or more,
And the control unit is controlled to be raised / lowered by the up / down driving unit.
제2항에 있어서,
상기 컨베이어부는,
상기 베이스 플레이트의 상부에 설치된 리니어모터(linear motor) 및
상기 리니어모터에 결합되어, 상기 리니어모터의 작동에 의해 상기 프레임의 길이방향으로 동작하는 리니어가이드를 더 포함하고,
상기 이송 플레이트는, 상기 리니어가이드의 상부에 배치되어 결합되고, 상기 리니어가이드의 동작에 의해 프레임의 길이방향으로 이송되는 것을 특징으로 하는 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지.
3. The method of claim 2,
The conveyor portion
A linear motor provided on an upper portion of the base plate,
And a linear guide coupled to the linear motor and operated in the longitudinal direction of the frame by operation of the linear motor,
Wherein the transfer plate is disposed on the upper portion of the linear guide and is transferred in the longitudinal direction of the frame by the operation of the linear guide.
제2항에 있어서, 상기 지지부는,
상기 프레임의 길이방향에 대해 양쪽을 지지할 수 있도록 상기 베이스 플레이트 상부에 설치되되, 이송공간부가 형성되도록 상기 베이스 플레이트의 일측에 길이방향으로 이격설치되고,
상기 이송 플레이트는, 상기 프레임의 길이방향향으로 왕복 이송되되, 상기 이송 플레이트의 일측이 상기 이송공간부의 양단 사이만큼만 왕복 이송되는 것을 특징으로 하는 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지.
3. The apparatus according to claim 2,
The base plate being provided on an upper portion of the base plate so as to support both sides of the frame in the longitudinal direction,
Wherein the transfer plate is reciprocally transported in a longitudinal direction of the frame, and one side of the transfer plate is reciprocally transferred only between both ends of the transfer space.
제4항에 있어서,
상기 이송공간부의 길이방향 폭(D1)은, 상기 이송 플레이트의 길이방향 폭(D2)보다 더 길게 형성되고,
상기 이송 플레이트는, 상기 컨베이어부에 의해 이송공간부의 끝단으로 이송될 때, 상기 이송공간부의 상에 위치되는 것을 특징으로 하는 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지.
5. The method of claim 4,
The longitudinal width D1 of the transfer space is longer than the longitudinal width D2 of the transfer plate,
Wherein the transfer plate is positioned on the transfer space when the transfer plate is transferred to the end of the transfer space by the conveyor.
제1항에 있어서,
상기 플레이트의 이격 간격은, 상기 이송 플레이트가 상기 컨베이어의 상부에 배치될 때, 상기 컨베이어의 롤러와 지지부에 간섭이 없도록 이격되고,
상기 연결부는, 다수개의 플레이트의 일측을 연결하되, 상기 플레이트마다 이격된 이격 공간이 대응되게 형성될 수 있도록 상기 연결부의 상측부에 내입부가 내입형성되는 것을 특징으로 하는 결함 검출 능력을 향상시킨 인라인 스테이지.The method according to claim 1,
The spacing of the plates is spaced apart from the roller and support of the conveyor so that they do not interfere when the transfer plate is placed on top of the conveyor,
Wherein the connection portion connects the one side of the plurality of plates and the inner portion is formed in the upper portion of the connection portion so that the spaced apart spaced spaces of the plates can be correspondingly formed. .
KR1020160049561A 2016-04-22 2016-04-22 Improved fault detection capability in-line Stage KR20160049526A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160049561A KR20160049526A (en) 2016-04-22 2016-04-22 Improved fault detection capability in-line Stage

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160049561A KR20160049526A (en) 2016-04-22 2016-04-22 Improved fault detection capability in-line Stage

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140118986A Division KR101631537B1 (en) 2014-09-05 2014-09-05 Improved fault detection capability in-line Stage

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160086180A Division KR20160085740A (en) 2016-07-07 2016-07-07 Improved fault detection capability in-line Stage

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160049526A true KR20160049526A (en) 2016-05-09

Family

ID=56020478

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160049561A KR20160049526A (en) 2016-04-22 2016-04-22 Improved fault detection capability in-line Stage

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20160049526A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114486923A (en) * 2022-03-14 2022-05-13 南通理工学院 Online continuous detection device and method for surface defects of shaft parts based on compressed sensing

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114486923A (en) * 2022-03-14 2022-05-13 南通理工学院 Online continuous detection device and method for surface defects of shaft parts based on compressed sensing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101595920B1 (en) Transport system
KR101827313B1 (en) AOI In-line stage with transport device capable of θ-axis alignment
KR101631537B1 (en) Improved fault detection capability in-line Stage
JP2008166348A (en) Substrate transfer apparatus
JP5212395B2 (en) Component mounting apparatus and method for determining operation state of substrate support mechanism in component mounting apparatus
CN104321858A (en) Processing station for planar substrates and method for processing planar substrates
CN101504926A (en) Substrate conveying apparatus and method
KR20080023647A (en) Substrate inspection apparatus
KR101277252B1 (en) Pickup device
JP2007015789A (en) In-line buffer device
KR20160085740A (en) Improved fault detection capability in-line Stage
KR100978853B1 (en) Substrate transfer apparatus and method for driving side roller thereof
KR100892088B1 (en) Non-Contact Film Inspection Equipment by using Porous type Air Floating
KR101544285B1 (en) Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same
KR20160049526A (en) Improved fault detection capability in-line Stage
KR20060081053A (en) Glass transfering apparatus for display panel and inspection system using the same
CN103538359A (en) Substrate conveying device and foreign substrate detection method for substrate conveying device
KR20130078733A (en) Substrate transferring apparatus and substrate inspecting system having the same
KR101144769B1 (en) Screen printing system
KR20160052192A (en) Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same
KR101093983B1 (en) Glass transfering apparatus for display panel
JP6595389B2 (en) Pallet conveying device and system
CN219608750U (en) Detection device
CN221216032U (en) Substrate carrying device
CN103674973A (en) Apparatus for detecting a foreign substance on an interleaving paper to be inserted between glass substrates

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
A107 Divisional application of patent