KR20060081053A - Glass transfering apparatus for display panel and inspection system using the same - Google Patents

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KR20060081053A
KR20060081053A KR1020050001368A KR20050001368A KR20060081053A KR 20060081053 A KR20060081053 A KR 20060081053A KR 1020050001368 A KR1020050001368 A KR 1020050001368A KR 20050001368 A KR20050001368 A KR 20050001368A KR 20060081053 A KR20060081053 A KR 20060081053A
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KR1020050001368A
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서경태
김종원
배병석
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 디스플레이 패널용 글래스 이송장치 및 이를 사용한 검사시스템에 관한 것이다. 본 발명은 이전 및 이후의 공정과 연결되어 글래스(g)를 이송시키는 롤러컨베이어유니트(30)와, 적어도 일부 구간이 롤러컨베이어유니트(30)와 검사라인의 사이에서 승강되면서 글래스(g)를 선택적으로 상승시키고 에어를 분출하여 글래스(g)를 지지하는 에어부상유니트(40,40')와, 에어부상유니트(40,40')에 의해 부상된 글래스(g)의 표면 일부를 흡착하고 리니어모터부(52)를 사용하여 이송시키는 이송흡착부(50)를 포함한다. 에어부상유니트(40,40')는 글래스(g)의 이송방향으로 길게 다수개가 나란히 배치되며 각각에 별도로 에어를 분사하는 에어노즐패드(43)가 구비되는 에어레일(42)과, 에어레일(42)과 같은 길이로 형성되고 내부에 에어를 저장하고 있다가 에어노즐패드(43)로 각각 에어를 공급하는 에어탱크부(45)와, 각각의 에어레일(42)의 에어탱크부(45)로 에어공급원의 에어를 나누어 전달하는 분기파이프(47)를 포함하여 구성된다. 본 발명에서는 디스플레이 패널의 제조공정중에 글래스의 이송기구에 의한 손상이 최소화되고, 일방향으로 글래스를 진행시키면서 글래스의 검사를 보다 정확하게 수행할 수 있어 생산성 및 품질균일도가 높아진다.The present invention relates to a glass transfer device for a display panel and an inspection system using the same. The present invention is connected to the process before and after the roller conveyor unit 30 for transferring the glass (g), and at least a portion of the roller conveyor unit 30 and the lifting line between the inspection line and the selective selection of the glass (g) Air float unit (40, 40 ') for supporting the glass (g) by blowing air and adsorbing a portion of the surface of the glass (g) floated by the air float unit (40, 40'), and the linear motor It includes a transfer adsorption unit 50 for transferring using the portion 52. Air float unit (40, 40 ') is a plurality of air rail 42 and the air rail 42 is provided with an air nozzle pad 43 for separately injecting air to each other is arranged long side by side in the conveying direction of the glass (g) 42 is formed in the same length and stores the air therein, the air tank unit 45 for supplying air to the air nozzle pad 43, respectively, and the air tank unit 45 of each air rail 42 It comprises a branch pipe 47 for dividing and delivering the air of the furnace air supply source. In the present invention, the damage caused by the glass transfer mechanism is minimized during the manufacturing process of the display panel, and the glass can be inspected more precisely while advancing the glass in one direction, thereby increasing productivity and quality uniformity.

디스플레이 패널, 글래스, 이송, 공기부상Display Panel, Glass, Transfer, Air Levitation

Description

디스플레이 패널용 글래스 이송장치 및 이를 사용한 검사시스템{Glass transfering apparatus for display panel and inspection system using the same}Glass transfering apparatus for display panel and inspection system using the same

도 1a는 종래 기술에 의한 글래스 검사시스템을 보인 평면도.Figure 1a is a plan view showing a glass inspection system according to the prior art.

도 1b는 종래 기술에 의한 글래스 검사시스템을 보인 정면도.Figure 1b is a front view showing a glass inspection system according to the prior art.

도 1c는 종래 기술에 의한 글래스 검사시스템을 보인 측면도.Figure 1c is a side view showing a glass inspection system according to the prior art.

도 2는 종래 기술에 의한 글래스 검사시스템에서 사용되는 이송테이블의 구성을 보인 평면도.Figure 2 is a plan view showing the configuration of the transfer table used in the glass inspection system according to the prior art.

도 3은 본 발명에 의한 글래스 이송장치가 적용된 검사시스템의 바람직한 실시예를 보인 평면도.Figure 3 is a plan view showing a preferred embodiment of the inspection system to which the glass transfer apparatus according to the present invention is applied.

도 4는 도 3의 검사시스템의 구성을 보인 정면도.4 is a front view showing the configuration of the inspection system of FIG.

도 5는 도 3의 검사시스템의 구성을 보인 측면도.5 is a side view showing the configuration of the inspection system of FIG.

도 6은 본 발명 실시예의 에어부상유니트와 검사부상부의 구성을 보인 평면도.6 is a plan view showing the configuration of the air floating unit and the inspection portion upper portion of the embodiment of the present invention.

도 7a는 본 발명 실시예를 구성하는 에어부상유니트의 상세구성을 보인 평면도.Figure 7a is a plan view showing a detailed configuration of the air floating unit constituting the embodiment of the present invention.

도 7b는 본 발명 실시예를 구성하는 에어부상유니트의 상세구성을 보인 측면도. Figure 7b is a side view showing a detailed configuration of the air floating unit constituting the embodiment of the present invention.                 

도 7c는 본 발명 실시예를 구성하는 에어부상유니트의 상세구성을 보인 배면도.Figure 7c is a rear view showing a detailed configuration of the air floating unit constituting an embodiment of the present invention.

도 7d는 본 발명 실시예를 구성하는 에어부상유니트의 요부 구성을 보인 단면도.Fig. 7D is a sectional view showing the main parts of an air floating unit in the embodiment of the present invention.

도 8a는 본 발명 실시예를 구성하는 이송흡착부를 보인 정면도.Figure 8a is a front view showing a transport adsorption portion constituting an embodiment of the present invention.

도 8b는 본 발명 실시예를 구성하는 이송흡착부를 보인 측면도.Figure 8b is a side view showing a transport adsorption portion constituting an embodiment of the present invention.

도 9a에서 도 9c는 본 발명 실시예에서 글래스가 이송되는 것을 순차적으로 보인 동작상태도.Figure 9a to 9c is a state diagram showing the operation of the glass is sequentially transported in the embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

20: 베이스 30,30': 롤러컨베이어유니트20: Base 30,30 ': Roller Conveyor Unit

40,40': 에어부상유니트 41: 검사부상부40, 40 ': Air injury unit 41: Inspection part

42: 에어레일 43: 에어노즐패드42: air rail 43: air nozzle pad

44: 연결구 45: 에어탱크부44: connector 45: air tank

47: 분기파이프 50: 이송흡착부47: branch pipe 50: transfer suction

51: 흡착부베이스 52: 리니어모터부51: adsorption part base 52: linear motor part

53: 흡착로드 54: 흡착플레이트53: adsorption rod 54: adsorption plate

55: 흡착포트 60: 정렬유니트55: adsorption port 60: alignment unit

62: 구동실린더 63: 구동로드62: drive cylinder 63: drive rod

64: 지지패드 70: 검사유니트64: support pad 70: inspection unit

g: 글래스g: glass

본 발명은 디스플레이 패널용 글래스에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공정중에 글래스를 이송시키는 글래스 이송장치와 이를 사용하여 글래스를 검사하는 검사시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a glass for display panel, and more particularly to a glass transfer device for transferring the glass during the process and an inspection system for inspecting the glass using the same.

액정표시장치(LCD)나 플라즈마표시장치(PDP)와 같은 영상표시장치를 구성하는 기판을 제조하기 위해서 글래스가 사용된다. 따라서 기판의 제조를 위해서는 글래스를 장비(또는 시스템이라 함)와 장비 사이 또는 장비 내에서 이송시켜야 한다. 최근에 대형화되는 영상표시장치의 추세에 따라 글래스도 대면적의 것이 사용되어 그 이송이 용이하지 않다.Glass is used to manufacture a substrate constituting an image display device such as a liquid crystal display (LCD) or a plasma display device (PDP). Thus, for the manufacture of substrates, the glass must be transferred between or within the equipment (or system). In recent years, according to the trend of the image display apparatus which is enlarged in size, glass is also used in a large area, and its transfer is not easy.

도 1 및 도 2에는 종래 기술에 의한 글래스 검사시스템의 구성이 도시되어 있다. 이에 따르면, 베이스(1)상에는 롤러컨베이어유니트(3)가 설치된다. 상기 롤러컨베이어유니트(3)는 다수개의 롤러가 적어도 2줄로 배열되어 롤러가 글래스의 하면 양단을 직접 지지하면서 글래스를 이송시키도록 구성되어 있다. 상기 롤러컨베이어유니트(3)는 검사시스템 이전의 공정과도 연결되어 있다. 하지만, 검사시스템 내에 있는 롤러컨베이어유니트(3)는 승강가능하게 구성된다.1 and 2 show the configuration of a glass inspection system according to the prior art. According to this, the roller conveyor unit 3 is provided on the base 1. The roller conveyor unit 3 is configured such that a plurality of rollers are arranged in at least two rows so that the rollers convey the glass while directly supporting both ends of the lower surface of the glass. The roller conveyor unit 3 is also connected to the process before the inspection system. However, the roller conveyor unit 3 in the inspection system is configured to be liftable.

상기 롤러컨베이어유니트(3)의 상부에 해당되는 검사시스템의 내부에는 이송테이블(5)이 설치된다. 상기 이송테이블(5)은 리니어모터부(7)에 의해 검사시스템의 내부에서 이동된다. 즉, 이송테이블(5)의 하면 양단부가 각각 리니어모터부(7) 에 지지되어 리니어모터부(7)의 구동에 의해 이송테이블(5)이 이송된다.The transfer table 5 is installed inside the inspection system corresponding to the upper portion of the roller conveyor unit 3. The transfer table 5 is moved inside the inspection system by the linear motor unit 7. That is, both ends of the lower surface of the transfer table 5 are supported by the linear motor portion 7 so that the transfer table 5 is driven by the driving of the linear motor portion 7.

상기 이송테이블(5)을 상하로 관통하여서는 롤러피난홈(9)이 형성된다. 상기 롤러피난홈(9)은 상기 롤러컨베이어유니트(3)의 롤러가 이송테이블(5)의 상면 상으로 간섭없이 상승할 수 있도록 하는 것이다. 상기 이송테이블(5)의 전면에 걸쳐서는 진공슬릿(8)이 형성되어 있다. 상기 진공슬릿(8)을 통해서는 진공압이 글래스에 전달되어 글래스가 이송테이블(5)에 흡착되어 고정되도록 한다.The roller evacuation groove 9 is formed by penetrating the transfer table 5 up and down. The roller evacuation groove 9 allows the roller of the roller conveyor unit 3 to rise without interference on the upper surface of the transfer table 5. A vacuum slit 8 is formed over the entire surface of the transfer table 5. The vacuum pressure is transmitted to the glass through the vacuum slit 8 so that the glass is sucked and fixed to the transfer table 5.

상기 이송테이블(5)상에는 정렬유니트(10)가 다수개 구비된다. 상기 정렬유니트(10)는 이송테이블(5)상에 글래스를 정확하게 정렬시키는 역할을 한다. 상기 정렬유니트(10)는 공기압 등에 의해 구동되는 구동실린더(11)와 상기 구동실린더(11)의 구동에 의해 구동실린더(11)의 내외부로 입출되는 구동로드(12)와 상기 구동로드(12)의 선단에 구비되어 글래스의 측면에 직접 닿는 지지패드(13)로 구성된다. 이와 같은 정렬유니트(10)는 총 8개가 사각형 글래스의 각 변 양단에 대응되는 위치에 구비된다.A plurality of alignment units 10 are provided on the transfer table 5. The alignment unit 10 serves to accurately align the glass on the transfer table 5. The alignment unit 10 includes a drive cylinder 11 driven by air pressure, a drive rod 12 and a drive rod 12 that enter and exit the drive cylinder 11 by driving the drive cylinder 11. It is provided at the front end of the support pad 13 is in direct contact with the side of the glass. A total of eight such alignment units 10 are provided at positions corresponding to both ends of the rectangular glass.

상기 이송테이블(5)은 도 1a의 A위치와 B위치사이에서 이동된다. 여기서 A로 표시된 영역은 검사후 이송테이블(5)의 위치이고, B로 표시된 영역은 검사전 이송테이블(5)의 위치이다.The transfer table 5 is moved between position A and position B in Fig. 1A. Here, the area indicated by A is the position of the transfer table 5 after inspection, and the area indicated by B is the position of the transfer table 5 before inspection.

상기 A위치와 B위치의 사이에 해당되는 영역에서 글래스의 검사가 수행되는데, 이를 위해 상기 이송테이블(5)이 이송되는 경로의 상방에는 검사유니트(15)가 구비된다. 상기 검사유니트(15)에는 조명등과 카메라가 있어 글래스에 형성된 전극 등의 상태를 검사하게 된다. The inspection of the glass is performed in the area between the A position and the B position. For this purpose, the inspection unit 15 is provided above the path through which the transfer table 5 is transferred. The inspection unit 15 has a lamp and a camera to inspect the state of the electrode and the like formed on the glass.                         

이와 같은 구성을 가지는 검사시스템이 동작되는 것을 간단하게 설명한다. 이전 공정을 통과하여 나온 글래스는 도 1a의 좌측 위치로 검사시스템 외부의 롤러컨베이어유니트를 통해 이송된다. 이때, 검사시스템 내부의 롤러컨베이어유니트(3)가 상승하여 시스템 내부에서 글래스를 이송시킨다. 상기 롤러컨베이어유니트(3)에 의해 상기 글래스는 이송테이블(5)의 상면으로 전달된다. 이송테이블(5)의 상면으로 글래스를 이송하고 나면 롤러컨베이어유니트(3)는 하강한다.The operation of the inspection system having such a configuration will be briefly described. The glass, which has passed through the previous process, is transported through the roller conveyor unit outside the inspection system to the left position of FIG. At this time, the roller conveyor unit 3 inside the inspection system is raised to convey the glass in the system. The glass is transferred to the upper surface of the transfer table 5 by the roller conveyor unit 3. After conveying the glass to the upper surface of the transfer table 5, the roller conveyor unit 3 descends.

상기 이송테이블(5)상에서는 상기 정렬유니트(10)에 의해 글래스의 위치가 정렬된다. 글래스가 정렬되면 진공슬릿(8)을 통해 진공압력을 가해 글래스가 이송테이블(5)상에 고정되게 한다. 이와 같은 상태에서 상기 이송테이블(5)이 도 1a의 화살표 방향으로 이동하고 상기 검사유니트(15)에 의해 검사가 이루어지게 된다.On the transfer table 5, the position of the glass is aligned by the alignment unit 10. Once the glass is aligned, a vacuum pressure is applied through the vacuum slit 8 so that the glass is fixed on the transfer table 5. In this state, the transfer table 5 moves in the direction of the arrow of FIG. 1A and the inspection is performed by the inspection unit 15.

그러나 상기한 바와 같은 종래 기술에서는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the prior art as described above has the following problems.

먼저, 종래 기술에서는 이송테이블(5)상에 글래스가 안착된 상태에서 검사유니트(15)에 의해 검사가 이루어진다. 따라서, 이송테이블(5)상의 얼룩이나 이물 등이 검사유니트(15)에 의해 검출되면서 검사가 정확하게 이루어지지 않게 되는 문제점이 있다.First, in the prior art, the inspection is performed by the inspection unit 15 in a state where the glass is seated on the transfer table 5. Therefore, there is a problem that the inspection is not made accurately while the stain or foreign matter on the transfer table 5 is detected by the inspection unit 15.

그리고, 글래스를 이송테이블(5)상에 안착시켜 이송하고 검사가 이루어지므로 글래스와 이송테이블(5)사이의 접촉에 의해 글래스에 스크래치가 생기는 등의 문제점도 있다.In addition, since the glass is placed on the transfer table 5 for transportation and inspection is performed, there is a problem such that scratches occur on the glass due to contact between the glass and the transfer table 5.

한편, 종래 기술에서는 검사시스템 내부의 롤러컨베이어유니트(3)가 승강되고 검사시스템 내에서는 글래스를 이송테이블(5)상에 안착시킨 상태로 이송하도록 구성되어 있다. 따라서, 이송테이블(5)이 검사전 위치 B에서 검사후 위치 A로 이동하면서 검사가 이루어져야 한다. 이는 검사를 위한 이송테이블(5)의 이동방향이 전체 공정에 따른 글래스의 이동방향과 반대로 된다는 것을 의미한다. 따라서, 검사를 마친 글래스를 다시 검사전 위치로 이송시켜 검사시스템의 외부로 이송시켜야 한다. 이와 같은 구성의 특성상 검사시스템에서 글래스의 검사가 수행되는 과정에 많은 시간이 소요되어 전체 공정의 생산성을 떨어뜨리는 문제점이 있다.On the other hand, in the prior art, the roller conveyor unit 3 inside the inspection system is lifted, and the inspection system is configured to transfer the glass with the glass seated on the transfer table 5. Therefore, the inspection should be made while the transfer table 5 moves from the pre-inspection position B to the post-inspection position A. This means that the moving direction of the transfer table 5 for inspection is reversed to the moving direction of the glass according to the entire process. Therefore, the inspected glass should be transferred to the pre-inspection position again to the outside of the inspection system. Due to the nature of such a configuration, there is a problem in that the inspection process of the glass takes a long time to perform the inspection, thereby reducing the productivity of the entire process.

다음으로, 이송테이블(5)을 사용하는 종래의 검사시스템에서는 글래스를 사이에 두고 검사유니트(15)의 반대쪽에 조명을 설치할 수 없는 구성이다. 따라서, 상대적으로 검사시스템의 구조 설계상에 많은 어려움이 있다.Next, in the conventional inspection system using the transfer table 5, the illumination cannot be provided on the opposite side of the inspection unit 15 with the glass interposed therebetween. Therefore, there are relatively many difficulties in the structural design of the inspection system.

본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기구적인 접촉을 최소화한 상태로 글래스를 이송시키는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, and to convey the glass with minimal mechanical contact.

본 발명의 다른 목적은 글래스를 일방향으로 이송시키면서 검사를 수행할 수 있도록 하는 것이다.Another object of the present invention is to be able to perform the inspection while transferring the glass in one direction.

본 발명의 또 다른 목적은 디스플레이 패널의 제작을 위한 시스템에의 적용성이 좋은 글래스 이송장치를 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a glass transfer apparatus having good applicability to a system for manufacturing a display panel.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은 이전 및 이후의 공정과 연결되어 글래스를 이송시키는 롤러컨베이어유니트와, 적어도 일부 구간이 상기 롤러컨베이어유니트와 검사라인의 사이에서 승강되면서 글래스를 선택적으로 상승시키고 에어를 분출하여 글래스를 지지하는 에어부상유니트와, 상기 에어부상유니트에 의해 부상된 글래스의 표면 일부를 흡착하고 리니어모터를 사용하여 이송시키는 이송흡착부를 포함하여 구성된다.According to a feature of the present invention for achieving the object as described above, the present invention is connected to the previous and subsequent processes, the roller conveyor unit for transferring the glass, and at least a portion of the roller conveyor unit and the inspection line between the It is configured to include an air flotation unit that selectively lifts the glass and lifts the air while supporting the glass by lifting up and down, and a transfer adsorption unit which adsorbs a portion of the surface of the glass lifted by the air injury unit and transfers it using a linear motor. .

상기 에어부상유니트는 글래스의 이송방향으로 길게 형성되고 다수개가 나란히 배치되며 각각에 별도로 에어를 분사하는 에어노즐패드가 구비되는 에어레일과, 상기 에어레일과 거의 같은 길이로 형성되고 내부에 에어를 저장하고 있다가 상기 에어노즐패드로 각각 에어를 공급하는 에어탱크부와, 상기 각각의 에어레일의 에어탱크부로 에어공급원의 에어를 나누어 전달하는 분기파이프를 포함하여 구성된다.The air flotation unit is formed in the conveying direction of the glass long and a plurality of air rails are arranged side by side, each having an air nozzle pad for injecting air separately, and is formed almost the same length as the air rail and stores the air therein And an air tank part for supplying air to the air nozzle pads, and a branch pipe for dividing and delivering air from an air supply source to the air tank parts of the respective air rails.

상기 에어노즐패드는 상기 에어레일에 형성되어 상기 에어탱크부로부터 에어를 공급받는 에어쳄버의 출구에 설치되는 것으로, 스테인레스를 소결하여 형성한다.The air nozzle pad is formed in the air rail and is installed at an outlet of an air chamber that receives air from the air tank part, and is formed by sintering stainless steel.

상기 이송흡착부는 적어도 상기 글래스에 흡착되는 흡착플레이트가 상기 에어부상유니트의 승강방향으로 승강되고 상기 글래스 방향으로 전후진가능하다.The conveying adsorption portion is at least the adsorption plate adsorbed on the glass is lifted in the lifting direction of the air floating unit and can be moved forward and backward in the glass direction.

상기 에어부상유니트에 의해 부상된 상태의 글래스를 정위치에 안착시키는 정렬유니트가 상기 글래스의 4변 양단부에 대응되는 위치에 각각 설치된다.Alignment units for seating the glass in a floating state by the air floating unit in the correct position are respectively provided at positions corresponding to both sides of the four sides of the glass.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 본 발명은 베이스와, 상기 베이스상에 설치되고 이전 및 이후의 공정과 연결되어 글래스를 이송시키는 롤러컨베이어유니트와, 상기 베이스상에 설치되고 적어도 일부 구간이 상기 롤러컨베이어유니트와 검사라인의 사이에서 승강되면서 글래스를 선택적으로 상승시키고 에어를 분출하여 글래스를 지지하는 에어부상유니트와, 상기 에어부상유니트에 의해 부상된 글래스의 표 면 일부를 흡착하고 상기 베이스상에 설치된 리니어모터부를 사용하여 이송시키는 이송흡착부와, 상기 이송흡착부에 의해 이송되는 글래스를 검사하는 검사유니트를 포함하여 구성된다.According to another feature of the present invention, the present invention provides a base, a roller conveyor unit installed on the base and connected to the process before and after, and a glass conveyor unit, and at least a portion of the roller conveyor installed on the base Lifting the glass between the unit and the inspection line to selectively raise the glass and blow out the air to support the glass, and a linear portion installed on the base by adsorbing a portion of the surface of the glass floating by the air floating unit It comprises a transfer suction unit for transferring by using a motor unit, and an inspection unit for inspecting the glass transferred by the transfer suction unit.

상기 에어부상유니트중 배출구간과 대응되는 위치에는 상기 롤러컨베이어유니트와는 별개의 2단롤러컨베이어유니트가 구비되어 검사를 마친 글래스를 외부로 배출한다.A two-stage roller conveyor unit separate from the roller conveyor unit is provided at a position corresponding to the discharge section of the air floating unit to discharge the finished glass to the outside.

상기 에어부상유니트중 투입구간에 있는 것은 승강되고 배출구간에 있는 에어부상유니트는 고정되어 있으며, 상기 투입구간과 배출구간 사이의 검사구간에는 고정된 상태의 검사부상부가 더 구비된다.Among the air flotation units, the inlet section is lifted up and the air flotation unit in the outlet section is fixed, and the inspection section between the inlet section and the outlet section is further provided with an inspection section in a fixed state.

상기 에어부상유니트는 글래스의 이송방향으로 길게 형성되고 다수개가 나란히 배치되며 각각에 별도로 에어를 분사하는 에어노즐패드가 구비되는 에어레일과, 상기 에어레일과 거의 같은 길이로 형성되고 내부에 에어를 저장하고 있다가 상기 에어노즐패드로 각각 에어를 공급하는 에어탱크부와, 상기 각각의 에어레일의 에어탱크부로 에어공급원의 에어를 나누어 전달하는 분기파이프를 포함하여 구성된다.The air flotation unit is formed in the conveying direction of the glass long and a plurality of air rails are arranged side by side, each having an air nozzle pad for injecting air separately, and is formed almost the same length as the air rail and stores the air therein And an air tank part for supplying air to the air nozzle pads, and a branch pipe for dividing and delivering air from an air supply source to the air tank parts of the respective air rails.

상기 에어노즐패드는 상기 에어레일에 형성되어 상기 에어탱크부로부터 에어를 공급받는 에어쳄버의 출구에 설치되는 것으로, 스테인레스를 소결하여 형성한다.The air nozzle pad is formed in the air rail and is installed at an outlet of an air chamber that receives air from the air tank part, and is formed by sintering stainless steel.

상기 에어부상유니트에 의해 부상된 글래스를 정위치에 있도록 하는 정렬유니트를 더 구비하는데, 상기 정렬유니트는 구동실린더와, 상기 구동실린더의 구동에 의해 내외부로 입출되는 구동로드와, 상기 구동로드에 설치되어 상기 글래스의 측면에 선택적으로 밀착되는 지지패드를 포함하여 구성된다.The alignment unit further comprises an alignment unit for positioning the glass floated by the air floating unit in the home position, the alignment unit is installed in the drive rod, the drive rod entering into and out by the drive of the drive cylinder, and the drive rod It is configured to include a support pad that is in close contact with the side of the glass.

상기 이송흡착부는 상기 리니어모터부의 가동자상에 설치되는 흡착부베이스와, 상기 흡착부베이스상에 설치된 흡착로드와, 상기 흡착로드의 선단에 설치되고 글래스에의 흡착을 위한 흡착포트를 구비하는 흡착플레이트를 포함하여 구성된다.The transfer adsorption unit includes an adsorption unit base installed on the movable motor of the linear motor unit, an adsorption rod installed on the adsorption unit base, and an adsorption port provided at the tip of the adsorption rod and configured to adsorb the glass. It is configured to include.

이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의하면 디스플레이 패널의 제조공정중에 글래스의 이송기구에 의한 손상이 최소화되고, 일방향으로 글래스를 진행시키면서 글래스의 검사를 보다 정확하게 수행할 수 있어 생산성 및 품질균일도가 높아지며, 본 발명의 이송장치가 적용되는 시스템의 설계가 보다 용이하게 되는 이점이 있다.According to the present invention having such a configuration, the damage caused by the glass transfer mechanism is minimized during the manufacturing process of the display panel, and the glass can be inspected more precisely while advancing the glass in one direction, thereby increasing productivity and quality uniformity. There is an advantage that the design of the system to which the conveying device of the invention is applied becomes easier.

이하 본 발명에 의한 디스플레이 패널의 글래스 이송장치 및 이를 사용한 검사시스템의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment of the glass transfer apparatus and the inspection system using the same of the display panel according to the present invention will be described in detail.

도 3에는 본 발명에 의한 글래스 이송장치가 적용된 검사시스템의 바람직한 실시예가 평면도로 도시되어 있고, 도 4에는 도 2의 검사시스템의 구성을 보인 정면도가 도시되어 있으며, 도 5에는 도 2의 검사시스템의 구성이 측면도로 도시되어 있다.3 is a plan view showing a preferred embodiment of the inspection system to which the glass transfer apparatus according to the present invention is applied, FIG. 4 is a front view showing the configuration of the inspection system of FIG. 2, and FIG. 5 shows the inspection system of FIG. 2. The configuration of is shown in side view.

이들 도면에 도시된 바에 따르면, 베이스(20)는 검사시스템을 지면에 지지하는 역할을 하는 것이다. 베이스(20)상에는 롤러컨베이어유니트(30)가 설치된다. 상기 롤러컨베이어유니트(30)는 다수개의 롤러가 적어도 2줄로 배열되어 구성된다. 상기 롤러의 줄수는 글래스(g)의 크기에 따라 달리 된다. 상기 롤러컨베이어유니트(30)는 검사시스템의 내부에 있는 것이 검사시스템 외부에 있는 것과 연결되어 글래스(g)를 이송시킨다. 상기 롤러컨베이어유니트(30)는 승강되지 않고 고정되어 설 치된다. 상기 롤러컨베이어유니트(30)는 검사시스템의 이전 공정에서 연장된 롤러컨베이어유니트 및 이후 공정으로 연결되는 롤러컨베이어유니트와 각각 직접 연결되어 있다.As shown in these figures, the base 20 serves to support the inspection system on the ground. The roller conveyor unit 30 is installed on the base 20. The roller conveyor unit 30 is composed of a plurality of rollers arranged in at least two rows. The number of rows of the roller varies depending on the size of the glass g. The roller conveyor unit 30 is connected to what is inside the inspection system outside the inspection system to transfer the glass (g). The roller conveyor unit 30 is fixedly installed without being raised. The roller conveyor unit 30 is directly connected to the roller conveyor unit extending from the previous process of the inspection system and the roller conveyor unit connected to the subsequent process, respectively.

한편, 상기 롤러컨베이어유니트(30)와 별개로 2단롤러컨베이어유니트(30)가 설치된다. 2단롤러컨베이어유니트(30)는 아래에서 설명될 배출구간에 설치되는 것으로, 상기 롤러컨베이어유니트(30)의 상부에 위치된다. 상기 2단롤러컨베이어유니트(30)는 검사가 완료된 글래스(g)를 검사시스템 외부로 배출하는 역할을 한다. 상기 2단롤러컨베이어유니트(30)는 상하방향으로 약간 승강가능하여 검사를 마친 글래스(g)가 배출구간으로 진입하는 것을 방해하지 않게 된다.On the other hand, a two-stage roller conveyor unit 30 is provided separately from the roller conveyor unit 30. The two-stage roller conveyor unit 30 is installed in the discharge section to be described below, it is located on the upper portion of the roller conveyor unit (30). The two-stage roller conveyor unit 30 serves to discharge the glass g, which has been inspected, to the outside of the inspection system. The two-stage roller conveyor unit 30 can be lifted up and down slightly so as not to prevent the finished glass g from entering the discharge section.

롤러컨베이어유니트(30)의 상부에는 에어부상유니트(40,40')가 설치된다. 상기 에어부상유니트(40,40')는 공기를 분출시켜 글래스(g)를 소정 높이에 지지하는 것이다. 상기 에어부상유니트(40,40')는 투입구간과 배출구간의 것으로 각각 나누어 구성되고, 상기 에어부상유니트(40,40')의 사이에는 검사부상부(41)가 구비된다. 상기 검사부상부(41)에서는 검사의 정밀도를 높이기 위해 공기가 배출되는 에어노즐패드(43)를 보다 조밀하게 배치한다.On the upper portion of the roller conveyor unit 30, air floating units 40 and 40 'are installed. The air flotation units 40 and 40 'eject the air to support the glass g at a predetermined height. The air floating unit (40, 40 ') is divided into the input section and the discharge section, respectively, and the inspection portion (41) is provided between the air floating unit (40, 40'). In the inspection part upper part 41, the air nozzle pad 43 in which air is discharged is densely arranged in order to raise the precision of an inspection.

상기 에어부상유니트(40,40')는 승강가능하게 설치된다. 상기 에어부상유니트(40,40')의 승강을 위해 승강구동부(41d)가 구비된다. 상기 승강구동부(41d)는 상기 에어부상유니트(40,40')를 상하로 승강시키는 역할을 한다. 상기 승강구동부(41d)는 모터와 볼스크류로 구성될 수 있다.The air floating unit (40, 40 ') is installed to be elevated. An elevating driving part 41d is provided for elevating the air floating units 40 and 40 '. The lifting driving portion 41d serves to raise and lower the air floating units 40 and 40 '. The lifting driving portion 41d may be configured of a motor and a ball screw.

상기 에어부상유니트(40,40')의 구성을 도 6 및 도 7을 참고하여 상세하게 설명한다. 에어부상유니트(40,40')에는 에어레일(42)이 글래스(g)의 이송방향으로 다수개가 길게 배치된다. 상기 에어레일(42)에는 다수개의 에어쳄버(42')가 일렬로 길게 형성되어 있다. 상기 에어쳄버(42')는 관통공(42h)을 통해 아래에서 설명될 연결구(44)와 연통되어 공기를 공급받는다. 상기 에어쳄버(42')의 출구에는 에어노즐패드(43)가 설치된다.The configuration of the air floatation units 40 and 40 'will be described in detail with reference to FIGS. 6 and 7. A plurality of air rails 42 are arranged long in the air grating units 40 and 40 'in the conveying direction of the glass g. The air rails 42 are formed with a plurality of air chambers 42 'long in a row. The air chamber 42 ′ communicates with the connector 44 to be described below through the through hole 42h to receive air. An air nozzle pad 43 is installed at the outlet of the air chamber 42 '.

상기 에어노즐패드(43)는 스테인레스 재질을 소결하여 형성하는 것으로, 그 입자들 사이의 틈새를 통해 에어쳄버(42')내의 에어가 외부로 배출된다. 이와 같이 스테인레스 재질을 소결하여 만드는 에어노즐패드(43)는 에어가 배출되는 구성이 섬세하여 에어의 손실이 없이 균일하게 배출시킬 수 있다. 상기 에어노즐패드(43)를 형성하는 재질은 바람직하게는 STS316이다. 상기 에어노즐패드(43)는 체결나사(43')에 의해 상기 에어쳄버(42')의 출구에 해당되는 에어레일(42)의 표면에 노출되게 설치된다.The air nozzle pad 43 is formed by sintering a stainless material, and the air in the air chamber 42 'is discharged to the outside through a gap between the particles. As such, the air nozzle pad 43 made by sintering a stainless material has a delicate configuration in which air is discharged, and thus can be uniformly discharged without loss of air. The material for forming the air nozzle pad 43 is preferably STS316. The air nozzle pad 43 is installed to be exposed to the surface of the air rail 42 corresponding to the outlet of the air chamber 42 'by the fastening screw 43'.

상기 에어레일(42)의 관통공(42h)에는 연결구(44)가 설치된다. 상기 연결구(44)는 상기 에어레일(42)의 에어쳄버(42')와 에어탱크부(45)를 연통시키는 역할을 한다. 도면부호 44p는 패킹이다.The connector 44 is installed in the through hole 42h of the air rail 42. The connector 44 serves to communicate the air chamber 42 ′ of the air rail 42 and the air tank part 45. Reference numeral 44p is a packing.

상기 에어탱크부(45)는 파이프 형상으로 길게 형성되는 것으로, 대략 상기 에어레일(42)보다는 상대적으로 짧게 형성된다. 상기 에어탱크부(45)의 내부에는 공급된 에어가 일시적으로 채워져 있게 된다. 상기 에어탱크부(45)에는 각각 상기 에어레일(42)의 관통공(42h)과 대응되는 위치에 관통공(45h)이 천공되어 있다. 상기 관통공(42h,45h)은 상기 연결구(44)를 통해 연통된다. 즉, 상기 에어탱크부(45) 의 에어는 상기 연결구(44)를 통해 상기 에어쳄버(42')로 전달된다.The air tank portion 45 is formed to be long in the shape of a pipe, and is formed relatively shorter than the air rail 42. The air supplied to the inside of the air tank 45 is temporarily filled. Through-holes 45h are drilled in the air tanks 45 at positions corresponding to the through-holes 42h of the air rails 42, respectively. The through holes 42h and 45h communicate with each other through the connector 44. That is, the air of the air tank portion 45 is transmitted to the air chamber 42 'through the connector 44.

본 실시예에서 상기 에어레일(42)은 하나의 에어부상유니트(40,40')에 각각 8개가 나란히 구비된다. 따라서, 에어탱크부(45) 역시 에어레일(42)과 대응되는 갯수만큼이 구비된다. 따라서, 상기 에어탱크부(45)로 각각 에어를 분리하여 공급하기 위해서 분기파이프(47)가 구비된다. 상기 분기파이프(47)는 상기 하나의 에어공급구(47s)와 8개의 분기구(47d)가 구비된다. 상기 에어공급구(47s)는 에어공급원과 연결되어 에어를 분기파이프(47)로 전달하는 역할을 하고 상기 분기구(47d)는 각각 상기 에어탱크부(45)로 에어를 분할하여 전달하는 역할을 한다. 상기 분기구(47d)와 각각의 에어탱크부(45)는 연결파이프 또는 연결호스(48)에 의해 연결된다.In this embodiment, eight air rails 42 are provided in one air float unit 40 and 40 ', respectively, side by side. Therefore, the air tank 45 is also provided with the number corresponding to the air rail 42. Therefore, branch pipes 47 are provided to separate and supply air to the air tank units 45, respectively. The branch pipe 47 is provided with one air supply port 47s and eight branch ports 47d. The air supply port 47s is connected to an air supply source to deliver air to the branch pipe 47, and the branch port 47d divides and delivers air to the air tank unit 45, respectively. do. The branch port 47d and each air tank part 45 are connected by a connection pipe or a connection hose 48.

이송흡착부(50)는 상기 에어부상유니트(40,40') 의해 소정의 높이에 떠 있는 글래스(g)를 흡착한 상태로 이송시키는 역할을 하는 것이다. 상기 이송흡착부(50)의 흡착부베이스(51)는 리니어모터부(52)의 가동자(도면부호 부여않음)상에 설치된다. 리니어모터부(52)는 상기 베이스(20)상에 설치된 리니어가이드를 따라 가동자가 직선운동하도록 구성된다. 상기 이송흡착부(50)는 글래스(g)의 전후 양단에 대응되는 위치에 총 4개가 구비된다.The transfer adsorption unit 50 serves to transfer the glass g floating at a predetermined height by the air floating units 40 and 40 '. The adsorption part base 51 of the said transfer adsorption | suction part 50 is installed on the movable part (not shown) of the linear motor part 52. As shown in FIG. The linear motor unit 52 is configured such that the mover linearly moves along the linear guide provided on the base 20. Four transfer suction units 50 are provided at positions corresponding to both front and rear ends of the glass g.

상기 흡착부베이스(51)상에는 흡착로드(53)가 설치되고, 상기 흡착로드(53)의 선단에는 흡착플레이트(54)가 설치된다. 상기 흡착플레이트(54)에는 다수개의 흡착포트(55)가 구비된다. 상기 흡착포트(55)는 상기 흡착플레이트(54)의 상면에 형성되어 글래스(g)의 하면에 흡착될 수 있다. 여기서 상기 흡착플레이트(54) 또는 흡착로드(53)는 상하방향 뿐만 아니라 글래스(g)의 이송방향에 수직한 방향으로 이 동될 수 있다. 상기 흡착플레이트(54) 또는 흡착로드(53)가 움직이기 위한 구성의 설명은 생략한다.An adsorption rod 53 is installed on the adsorption part base 51, and an adsorption plate 54 is installed at the tip of the adsorption rod 53. The adsorption plate 54 is provided with a plurality of adsorption ports 55. The adsorption port 55 may be formed on the upper surface of the adsorption plate 54 and adsorbed on the lower surface of the glass g. Here, the adsorption plate 54 or the adsorption rod 53 may be moved in a direction perpendicular to the transport direction of the glass g as well as the vertical direction. Description of the configuration for the suction plate 54 or the suction rod 53 to move is omitted.

한편, 상기 흡착부베이스(51)상에는 정렬유니트(60)가 구비된다. 상기 정렬유니트(60)는 글래스(g)를 정확한 위치에 정렬시켜 주는 역할을 하는 것이다. 상기 정렬유니트(60)는 구동실린더(62)와 상기 구동실린더(62)의 내외부로 입출되는 흡착로드(63) 및 지지패드(64)로 구성된다. 상기 지지패드(64)는 글래스(g)의 측면에 직접 접촉하는 부분이다. 상기 정렬유니트(60)는 글래스(g)의 각변의 양단에 해당되는 부분에 각각 구비된다. 따라서, 본 실시예에서는 총 8개의 정렬유니트(60)가 구비된다. 참고로 상기 흡착로드(63)의 형상이나 지지패드(64)의 크기 등은 설치되는 위치에 따라 달리 형성된다.On the other hand, the alignment unit 60 is provided on the adsorption unit base 51. The alignment unit 60 serves to align the glass (g) in the correct position. The alignment unit 60 includes a driving cylinder 62, a suction rod 63, and a support pad 64 that enter and exit the inside and outside of the drive cylinder 62. The support pad 64 is a portion in direct contact with the side surface of the glass g. The alignment unit 60 is provided at portions corresponding to both ends of each side of the glass g, respectively. Therefore, in this embodiment, a total of eight alignment units 60 are provided. For reference, the shape of the suction rod 63 or the size of the support pad 64 is formed differently depending on the installation position.

상기 검사부상부(41)의 상부에 해당되는 위치에는 검사유니트(70)가 설치된다. 상기 검사유니트(70)는 카메라와 조명 등으로 구성되어 글래스의 표면에 형성된 전극 등의 불량여부를 판단한다.An inspection unit 70 is installed at a position corresponding to the upper portion of the inspection upper portion 41. The inspection unit 70 is composed of a camera and lighting to determine whether the electrode or the like formed on the surface of the glass is defective.

이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 글래스 이송장치를 구비하는 검사시스템의 작용을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation of the inspection system having the glass transfer apparatus having the configuration as described above will be described in detail.

이전의 공정에서 작업이 마쳐진 글래스(g)는 롤러컨베이어유니트(30)에 의해 검사시스템의 내부로 들어온다. 이때, 투입구간의 상기 에어부상유니트(40)는 하부로 하강하여 상기 롤러컨베이어유니트(30)의 롤러가 에어부상유니트(40)의 상부로 약간 돌출된 상태로 있다.The glass g finished in the previous process is introduced into the inspection system by the roller conveyor unit 30. At this time, the air float unit 40 of the injection section is lowered downward so that the roller of the roller conveyor unit 30 is slightly projected to the upper portion of the air float unit 40.

이와 같이 하여 상기 글래스(g)가 투입구간의 롤러컨베이어유니트(30)와 에 어부상유니트(40)상에 안착되면, 상기 에어부상유니트(40)의 에어노즐패드(43)를 통해서는 에어가 분출된다. 상기 에어노즐패드(43)에서 에어가 분출되면 상기 글래스(g)는 에어에 의해 약간 부상하게 된다. 이와 동시에 상기 에어부상유니트(40)가 상기 승강구동부(41d)에 의해 상승한다. 상기 에어부상유니트(40)는 글래스(g)의 검사위치까지 상승한다. 이와 같은 상태가 도 9a에 도시되어 있다.In this way, when the glass g is seated on the roller conveyor unit 30 and the air injured unit 40 in the injection section, air is supplied through the air nozzle pad 43 of the air injured unit 40. Squirt. When air is ejected from the air nozzle pad 43, the glass g is slightly floated by the air. At the same time, the air floating unit 40 is lifted by the lift drive section 41d. The air floating unit 40 is raised to the inspection position of the glass g. This state is shown in FIG. 9A.

상기 글래스(g)가 검사라인상에 오게 되면 상기 정렬유니트(60)가 글래스(g)를 정렬시키게 된다. 즉, 상기 구동실린더(62)의 구동로드(63)가 동작되어 지지패드(64)를 정해진 위치에 있게 한다. 이와 같이 되면, 상기 글래스(g)의 4변 양단부에 각각 구비되는 지지패드(64)에 의해 글래스(g)가 정해진 위치에 있게 된다.When the glass g comes on the inspection line, the alignment unit 60 aligns the glass g. That is, the drive rod 63 of the drive cylinder 62 is operated to bring the support pad 64 to a predetermined position. In this case, the glass g is in a predetermined position by the support pads 64 respectively provided at both ends of the four sides of the glass g.

다음으로, 상기 흡착플레이트(54)가 상기 글래스(g)의 하면에 위치하며 흡착포트(55)로 글래스(g)를 흡착시키게 된다. 이와 같이 되면 상기 글래스(g)는 정위치에서 상기 흡착플레이트(54)에 의해 파지된 상태가 된다.Next, the adsorption plate 54 is located on the lower surface of the glass g to adsorb the glass g to the adsorption port 55. In this case, the glass g is held by the adsorption plate 54 at the correct position.

이와 같은 상태에서 상기 글래스(g)는 투입구간에서 검사구간을 통과하여 배출구간으로 전달된다. 도 9b에는 글래스(g)가 검사구간을 통과하고 있는 상태가 도시되어 있다. 이때, 상기 에어부상유니트(40,40')와 검사부상부(41)의 에어노즐패드(43)를 통해서는 계속해서 에어가 분출되면서 글래스(g)를 일정 높이에서 이송되게 한다.In this state, the glass g passes through the inspection section in the input section and is transferred to the discharge section. 9B shows a state in which the glass g passes the inspection section. At this time, the air is continuously ejected through the air nozzle pads 43 of the air injury units 40 and 40 'and the inspection part upper part 41 so that the glass g is transported at a predetermined height.

상기 글래스(g)의 이송은 상기 리니어모터부(52)에 의해 이루어진다. 즉, 리니어가이드를 따라 가동자가 이동하면, 상기 가동자에 설치된 이송흡착부(50)가 이동되면서 글래스(g)가 이송되는 것이다. 여기서 상기 이송흡착부(50)는 상기 글래 스(g)의 하중을 지지하면서 글래스(g)를 파지한다.The glass g is transferred by the linear motor unit 52. That is, when the mover moves along the linear guide, the glass g is transferred while the transfer adsorption part 50 installed on the mover is moved. Here, the transfer adsorption part 50 grips the glass g while supporting the load of the glass g.

상기와 같이 글래스(g)가 이송되는 과정에서 상기 검사유니트(70)에 의해 글래스(g)의 검사가 수행된다. 상기 검사유니트(70)에 의해 검사되는 부분은 상기 검사부상부(41)를 통과하는 부분이다. 상기 검사부상부(41)에는 상기 에어노즐패드(43)가 상대적으로 조밀하게 있어, 그 부분을 통과하는 글래스(g)의 평탄도는 0.05mm정도로 유지될 수 있다.In the process of transferring the glass g as described above, the inspection of the glass g is performed by the inspection unit 70. The portion inspected by the inspection unit 70 is a portion passing through the inspection portion upper portion 41. The air nozzle pad 43 is relatively dense in the inspection part upper part 41, and the flatness of the glass g passing through the part may be maintained at about 0.05 mm.

상기 글래스(g)의 검사가 끝나면 글래스(g)는, 도 9c에 도시된 바와 같이, 상기 배출구간에 있게 된다. 여기서, 상기 글래스(g)를 배출구간에서 검사시스템의 외부로 배출하기 위해서는 상기 2단롤러컨베이어유니트(30')가 상승한다. 상기 2단롤러컨베이어유니트(30')는 상기 에어부상유니트(40')상에 있는 글래스(g)를 전달받는다. 즉, 상기 에어부상유니트(40')를 통해 더 이상 에어가 분출되지 않게 되면, 글래스(g)는 상기 2단롤러컨베이어유니트(30')의 롤러상에 안착된다. 따라서 검사가 완료된 글래스(g)는 2단롤러컨베이어유니트(30')에 의해 시스템의 외부로 배출된다.After the inspection of the glass g is finished, the glass g is in the discharge section, as shown in FIG. 9C. Here, the two-stage roller conveyor unit 30 'is raised to discharge the glass g to the outside of the inspection system in the discharge section. The two-stage roller conveyor unit 30 'receives the glass g on the air floating unit 40'. That is, when air is no longer blown out through the air floating unit 40 ', the glass g is seated on the roller of the two-stage roller conveyor unit 30'. Therefore, the inspected glass g is discharged to the outside of the system by the two-stage roller conveyor unit 30 '.

이와 같이 글래스(g)의 검사가 끝나면 다음의 글래스(g)가 검사시스템에 진입하여 위에서 설명한 바와 같은 과정을 거치면서 검사가 이루어진다. 물론, 샘플로 몇개중 하나만을 검사하는 경우, 검사없이 통과하는 글래스(g)는 상기 롤러컨베이어유니트(30)를 타고 검사시스템을 바로 통과하게 된다.After the inspection of the glass g as described above, the next glass g enters the inspection system and undergoes the process as described above. Of course, in the case of inspecting only one of the samples, the glass g passed without inspection passes directly through the inspection system in the roller conveyor unit 30.

그리고, 위에서 설명된 검사과정은 반복하여 이루어지면서 검사가 필요한 글래스(g)의 검사를 수행하게 된다. And, the inspection process described above is performed repeatedly to perform the inspection of the glass (g) that requires inspection.                     

한편, 여기서 상기 에어부상유니트(40,40')에서 에어가 에어노즐패드(43)를 통해 분출되는 것을 설명한다. 에어공급원에서 공급된 에어는 에어공급구(47s)를 통해 상기 분기파이프(47)로 전달된다. 상기 분기파이프(47)에서는 각각의 분기구(47d)로 공기가 전달된다. 상기 분기구(47d)로 전달된 공기는 상기 에어탱크부(45)로 전달된다. 상기 에어탱크부(45)에 임시로 저장된 공기는 상기 관통공(45h)을 통해 연결구(44)로 전달되고, 상기 연결구(44)에서 관통공(42h)을 통해 에어레일(42) 내부의 에어쳄버(42')로 각각 전달된다.On the other hand, it will be described here that the air is ejected through the air nozzle pad 43 in the air floating unit (40, 40 '). The air supplied from the air supply source is delivered to the branch pipe 47 through the air supply port 47s. In the branch pipe 47, air is delivered to each branch port 47d. Air delivered to the branch 47d is delivered to the air tank 45. Air temporarily stored in the air tank unit 45 is transmitted to the connector 44 through the through hole 45h, the air inside the air rail 42 through the through hole 42h in the connector 44 Respectively delivered to the chambers 42 '.

상기 에어쳄버(42')로 전달된 에어는 상기 에어노즐패드(43)를 통해 균일하게 빠져나와 분출된다. 상기 에어쳄버(42')에서 에어노즐패드(43)를 통해 분출된 에어는 글래스(g)를 부상시키는 역할을 한다. 여기서 상기 에어노즐패드(43)는 스테인레스 재질을 소결하여 구성하므로 에어의 누설없이 보다 강력하고 확실하게 글래스를 부상시켜 지지할 수 있다.The air delivered to the air chamber 42 ′ is uniformly escaped through the air nozzle pad 43 and ejected. Air ejected through the air nozzle pad 43 in the air chamber 42 'serves to float the glass (g). Here, the air nozzle pad 43 is formed by sintering a stainless material, so that the glass can be floated and supported more powerfully and reliably without leakage of air.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.The rights of the present invention are not limited to the embodiments described above, but are defined by the claims, and those skilled in the art can make various modifications and adaptations within the scope of the claims. It is self-evident.

위에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 글래스 이송장치를 구비한 검사시스템에서는 다음과 같은 효과를 기재할 수 있다.In the inspection system having a glass transfer apparatus according to the present invention as described in detail above, the following effects can be described.

먼저, 본 발명에서는 검사시스템 내에서 글래스의 이동을 위해 에어가 분출되는 에어레일을 설치하고 에어레일 상에 에어노즐패드를 통해 분출되는 에어에 의 해 글래스가 지지되도록 한다. 따라서, 글래스가 검사시스템의 구성부품들과 직접 접촉되지 않게 되어 글래스의 표면에 손상이 발생하는 것을 최소화할 수 있고, 검사시에 글래스 자체만을 검사할 수 있어 검사의 정확도가 높아지는 효과가 있다.First, in the present invention, the air rail is ejected for the movement of the glass in the inspection system and the glass is supported by the air ejected through the air nozzle pad on the air rail. Therefore, the glass is not in direct contact with the components of the inspection system, so that damage to the surface of the glass can be minimized, and only the glass itself can be inspected at the time of inspection, thereby increasing the accuracy of the inspection.

본 발명에서는 에어부상유니트중 투입구간의 것을 승강시키면서 검사라인으로 글래스를 이송시키고, 에어에 의해 글래스를 부상시킨 상태로 리니어모터부의 구동에 의해 글래스를 이송시키면서 검사를 수행하므로, 글래스가 검사시스템으로 투입된 투입구간의 반대쪽으로 검사시스템으로부터 배출될 수 있다. 따라서, 전체 공정에서 글래스가 이송되는 방향으로 글래스를 이송시키면서 검사를 수행할 수 있어 상대적으로 신속하게 검사를 수행할 수 있게 되는 효과도 얻을 수 있다.In the present invention, the glass is transferred to the inspection line while lifting the input section of the air floating unit, and the glass is moved to the inspection system because the inspection is performed while the glass is driven by driving the linear motor unit while the glass is floating by air. It can be discharged from the inspection system on the opposite side of the input section. Therefore, the inspection can be performed while transferring the glass in the direction in which the glass is conveyed in the entire process, it is also possible to obtain the effect that the inspection can be performed relatively quickly.

또한, 본 발명에서는 단지 에어부상유니트중 투입구간의 것과 2단롤러컨베이어유니트만이 승강하도록 구성되어 있고, 글래스가 기구적인 구조물에 의해 지지되는 것이 아니므로 조명을 글래스를 사이에 두고 검사유니트의 카메라와 반대위치에 설치할 수 있다. 따라서, 본 발명의 이송장치를 사용하면 검사시스템 또는 본 발명의 이송장치가 적용되는 다른 시스템의 설계가 용이하게 되는 효과가 있다.In addition, in the present invention, only the input section of the air floating unit and the two-stage roller conveyor unit are configured to move up and down, and because the glass is not supported by the mechanical structure, the illumination unit is placed between the cameras of the inspection unit. Can be installed opposite Therefore, the use of the transfer apparatus of the present invention has the effect of facilitating the design of the inspection system or another system to which the transfer apparatus of the present invention is applied.

한편, 본 발명에서는 글래스를 지지하기 위한 에어가 스텐인레스 재질을 소결하여 형성한 에어노즐패드를 통해 분출된다. 따라서, 에어가 보다 균일하게 분출됨과 동시에 허비되는 에어를 최소화할 수 있게 되는 효과도 있다.On the other hand, in the present invention, the air for supporting the glass is ejected through the air nozzle pad formed by sintering the stainless material. Therefore, the air is more uniformly ejected and at the same time there is an effect that it is possible to minimize the waste air.

또한, 본 발명에서는 에어레일로 에어를 공급하기 전에 에어레일과 거의 같은 길이를 가지는 에어탱크부에 미리 에어를 공급하여 두었다. 따라서, 보다 신속하고 균일하게 에어탱크부에서 에어레일로 에어를 공급할 수 있게 된다. 따라서, 보다 균일하게 에어를 분출시켜 글래스를 정확하게 수평으로 지지할 수 있게 되는 효과를 기대할 수 있다.In addition, in the present invention, the air is supplied in advance to the air tank portion having the same length as the air rail before the air is supplied to the air rail. Therefore, it is possible to supply air to the air rail from the air tank part more quickly and uniformly. Therefore, the effect which can blow out air more uniformly, and can support a glass correctly horizontally can be anticipated.

Claims (12)

이전 및 이후의 공정과 연결되어 글래스를 이송시키는 롤러컨베이어유니트와,Roller conveyor unit to transfer the glass in connection with the previous and subsequent processes, 적어도 일부 구간이 상기 롤러컨베이어유니트와 검사라인의 사이에서 승강되면서 글래스를 선택적으로 상승시키고 에어를 분출하여 글래스를 지지하는 에어부상유니트와,An air flotation unit configured to raise the glass selectively and eject the air while supporting at least a portion of the glass conveyor unit and the inspection line by lifting the air; 상기 에어부상유니트에 의해 부상된 글래스의 표면 일부를 흡착하고 리니어모터를 사용하여 이송시키는 이송흡착부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 글래스 이송장치.And a transfer adsorption unit for adsorbing a portion of the surface of the glass floating by the air floating unit and transferring the same by using a linear motor. 제 1 항에 있어서, 상기 에어부상유니트는,The method of claim 1, wherein the air floating unit, 글래스의 이송방향으로 길게 형성되고 다수개가 나란히 배치되며 각각에 별도로 에어를 분사하는 에어노즐패드가 구비되는 에어레일과,An air rail which is formed in the conveying direction of the glass in a long direction and is arranged in parallel with each other and is provided with an air nozzle pad for separately injecting air to each other; 상기 에어레일과 거의 같은 길이로 형성되고 내부에 에어를 저장하고 있다가 상기 에어노즐패드로 각각 에어를 공급하는 에어탱크부와,An air tank part having a length substantially the same as that of the air rail and storing air therein and supplying air to the air nozzle pads; 상기 각각의 에어레일의 에어탱크부로 에어공급원의 에어를 나누어 전달하는 분기파이프를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 글래스 이송장치.And a branch pipe for dividing and delivering the air of the air supply source to the air tank portion of each air rail. 제 2 항에 있어서, 상기 에어노즐패드는 상기 에어레일에 형성되어 상기 에어탱크부로부터 에어를 공급받는 에어쳄버의 출구에 설치되는 것으로, 스테인레스를 소결하여 형성함을 특징으로하는 디스플레이 패널용 글래스 이송장치.According to claim 2, wherein the air nozzle pad is formed in the air rail is installed in the outlet of the air chamber to receive air from the air tank, the glass panel transfer glass display characterized in that formed by sintering stainless Device. 제 1 항에 있어서, 상기 이송흡착부는 적어도 상기 글래스에 흡착되는 흡착플레이트가 상기 에어부상유니트의 승강방향으로 승강되고 상기 글래스 방향으로 전후진가능함을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 글래스 이송장치.The glass transfer apparatus of claim 1, wherein the transfer adsorption unit is configured to at least lift an adsorption plate adsorbed on the glass in a lifting direction of the air floating unit and move back and forth in the glass direction. 제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 에어부상유니트에 의해 부상된 상태의 글래스를 정위치에 안착시키는 정렬유니트가 상기 글래스의 4변 양단부에 대응되는 위치에 각각 설치됨을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 글래스 이송장치.The alignment unit according to any one of claims 1 to 4, wherein the alignment units for seating the glass in a floating state by the air floating unit are provided at positions corresponding to both ends of the four sides of the glass. Glass feeder for display panel. 베이스와,Bass, 상기 베이스상에 설치되고 이전 및 이후의 공정과 연결되어 글래스를 이송시키는 롤러컨베이어유니트와,A roller conveyor unit installed on the base and connected to a previous and subsequent process to transfer glass; 상기 베이스상에 설치되고 적어도 일부 구간이 상기 롤러컨베이어유니트와 검사라인의 사이에서 승강되면서 글래스를 선택적으로 상승시키고 에어를 분출하여 글래스를 지지하는 에어부상유니트와,An air float unit installed on the base and at least a portion of which is lifted between the roller conveyor unit and the inspection line to selectively raise the glass and eject the air to support the glass; 상기 에어부상유니트에 의해 부상된 글래스의 표면 일부를 흡착하고 상기 베 이스상에 설치된 리니어모터부를 사용하여 이송시키는 이송흡착부와,A transfer adsorption part for adsorbing a part of the surface of the glass floating by the air floating unit and transferring it using a linear motor part provided on the base; 상기 이송흡착부에 의해 이송되는 글래스를 검사하는 검사유니트를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 글래스 검사시스템.And an inspection unit for inspecting the glass conveyed by the transport adsorption unit. 제 6 항에 있어서, 상기 에어부상유니트중 배출구간과 대응되는 위치에는 상기 롤러컨베이어유니트와는 별개의 2단롤러컨베이어유니트가 구비되어 검사를 마친 글래스를 외부로 배출함을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 글래스 검사시스템.The display panel for a display panel of claim 6, wherein a two-stage roller conveyor unit separate from the roller conveyor unit is provided at a position corresponding to the discharge section of the air floating unit to discharge the finished glass to the outside. Glass inspection system. 제 6 항에 있어서, 상기 에어부상유니트중 투입구간에 있는 것은 승강되고 배출구간에 있는 에어부상유니트는 고정되어 있으며, 상기 투입구간과 배출구간 사이의 검사구간에는 고정된 상태의 검사부상부가 더 구비됨을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 글래스 검사시스템.According to claim 6, Among the air floating unit in the input section is lifted and the air float unit in the discharge section is fixed, the inspection section between the input section and the discharge section is further provided with an inspection section of the fixed state Glass inspection system for a display panel characterized in that. 제 8 항에 있어서, 상기 에어부상유니트는,The method of claim 8, wherein the air floating unit, 글래스의 이송방향으로 길게 형성되고 다수개가 나란히 배치되며 각각에 별도로 에어를 분사하는 에어노즐패드가 구비되는 에어레일과,An air rail which is formed in the conveying direction of the glass in a long direction and is arranged in parallel with each other and is provided with an air nozzle pad for separately injecting air to each other; 상기 에어레일과 거의 같은 길이로 형성되고 내부에 에어를 저장하고 있다가 상기 에어노즐패드로 각각 에어를 공급하는 에어탱크부와,An air tank part having a length substantially the same as that of the air rail and storing air therein and supplying air to the air nozzle pads; 상기 각각의 에어레일의 에어탱크부로 에어공급원의 에어를 나누어 전달하는 분기파이프를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 글래스 검사시 스템.And a branch pipe for dividing and delivering the air of the air supply source to the air tank portion of each air rail. 제 9 항에 있어서, 상기 에어노즐패드는 상기 에어레일에 형성되어 상기 에어탱크부로부터 에어를 공급받는 에어쳄버의 출구에 설치되는 것으로, 스테인레스를 소결하여 형성함을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 글래스 검사시스템.10. The glass inspection for display panel according to claim 9, wherein the air nozzle pad is formed at the air rail and is installed at an outlet of an air chamber supplied with air from the air tank unit, and is formed by sintering stainless steel. system. 제 6 항에 있어서, 상기 에어부상유니트에 의해 부상된 글래스를 정위치에 있도록 하는 정렬유니트를 더 구비하는데, 상기 정렬유니트는,The method of claim 6, further comprising an alignment unit for holding the glass floating by the air floating unit in place, the alignment unit, 구동실린더와,Drive cylinder, 상기 구동실린더의 구동에 의해 내외부로 입출되는 구동로드와,A drive rod entering and exiting the inside and the outside by the drive cylinder, 상기 구동로드에 설치되어 상기 글래스의 측면에 선택적으로 밀착되는 지지패드를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 글래스 검사시스템.And a support pad installed on the driving rod to be in close contact with the side surface of the glass. 제 6 항에 있어서, 상기 이송흡착부는,The method of claim 6, wherein the transfer adsorption unit, 상기 리니어모터부의 가동자상에 설치되는 흡착부베이스와,An adsorption part base installed on the movable motor of the linear motor part; 상기 흡착부베이스상에 설치된 흡착로드와,An adsorption rod installed on the adsorption unit base, 상기 흡착로드의 선단에 설치되고 글래스에의 흡착을 위한 흡착포트를 구비하는 흡착플레이트를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 글래스 검사시스템.And an adsorption plate installed at the front end of the adsorption rod and having an adsorption port for adsorption to the glass.
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