KR20080023647A - Substrate inspection apparatus - Google Patents

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Abstract

An apparatus for inspecting a substrate is provided to guide the substrate between plural side conveyance parts, thereby suppressing the deformation of the substrate despite a long conveyance length. A plurality of conveyance stages(1A,2A,3A) conveys thin substrates(4). A plurality of side conveyance parts(5,6,7) is disposed in a direction orthogonal to a conveyance direction of the conveyance stages. The side conveyance parts apply conveying force to the substrates while maintaining ends of the substrates. The substrates are sequentially guided between the side conveyance parts when the substrates are conveyed.

Description

기판 검사 장치{SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS}Substrate Inspection Device {SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 기판 검사 장치에 관한 것이다. 예를 들면, 액정 유리 기판 등과 같은 박판(薄板) 형의 기판을 수평 반송하여 표면 결함을 검사하는 기판 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate inspection apparatus. For example, it is related with the board | substrate test | inspection apparatus which horizontally conveys thin-plate-shaped board | substrates, such as a liquid crystal glass substrate, and inspects a surface defect.

본 명세서는, 2006년 9월 11일에 출원된 일본국 특허 출원 제2006-245739호에 대해 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.This specification claims priority with respect to Japanese Patent Application No. 2006-245739 for which it applied on September 11, 2006, and uses the content here.

최근, 액정 디스플레이의 대형화에 따라, 액정 유리 기판도 대형화하고 있다. 그러므로, 이와 같은 박판 형의 기판의 표면 결함을 검사하는 기판 검사 장치는, 제조 공정에 있는 기판을 가스 부상 스테이지 등의 반송 스테이지에 이재(移載)하고, 기판의 단부를, 예를 들면 흡착 유지하는 등으로 하여 검사부에 반송하고, 검사부에서 기판을 수평 이동함으로써 기판 표면의 검사를 행하는 것이 많다. 이로써, 기판 이동을 위한 시간, 에너지 손실, 및 반송에 의한 기판에의 데미지 등을 저감하고 있다.In recent years, with the enlargement of a liquid crystal display, the liquid crystal glass substrate has also enlarged. Therefore, the board | substrate inspection apparatus which inspects the surface defect of such a thin-plate board | substrate transfers the board | substrate in a manufacturing process to conveyance stages, such as a gas floatation stage, and adsorb | sucks and hold | maintains the edge part of a board | substrate, for example. It conveys to a test | inspection part, etc., and performs a test | inspection of the board | substrate surface by horizontally moving a board | substrate in an inspection part. This reduces the time for substrate movement, energy loss, damage to the substrate due to conveyance, and the like.

예를 들면, 일본국 특개 2004-279335호 공보에는, 에어를 불어 올려 기판을 부상시키는 부상 블록과, 부상 블록 상에 부상된 기판의 양단을 흡착 유지하여 한 쪽 방향으로 기판을 반송하는 기판 반송부를 구비하는 기판 반송 장치가 기재되어 있다(일본국 특개 2004-279335호 공보, 도 1 참조).For example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-279335 discloses a floating portion that blows air to float a substrate, and a substrate conveying portion that conveys the substrate in one direction by holding and holding both ends of the floating substrate on the floating block. The board | substrate conveying apparatus with which is equipped is described (Japanese Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-279335, see FIG. 1).

또, 일본국 특개 2000-9661호 공보에는, 반송부의 편측(片側)에 반송 방향을 따라 Y 테이블이 설치되어 기판의 편측을 파지 기구에 의해 두께 방향으로 파지하여 반송하는 플랫 패널 검사 장치가 기재되어 있다(일본국 특개 2000-9661호 공보, 도 1 내지 도 3 참조).In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-9661 describes a flat panel inspection apparatus in which a Y table is provided along one side of a conveying unit along a conveying direction, and the one side of the substrate is held in a thickness direction by a holding mechanism and conveyed. (Japanese Patent Laid-Open No. 2000-9661, see FIGS. 1 to 3).

그러나, 상기와 같은 종래의 기판 검사 장치에는, 이하와 같은 문제가 있었다.However, the above conventional board | substrate inspection apparatus had the following problems.

상기 일본국 특개 2004-279335호 공보에 기재된 기술에서는, 기판 반송로의 양측을 따라 평행으로 배치된 기판 반송부에 의해, 기판의 양단을 흡착 유지하여 반송하고 있다. 따라서, 한 쌍의 기판 반송부에 의해 기판의 양측이 구속되므로, 기판 반송부의 평행도의 이상(異常) 등에 의해 기판상의 유리 기판이 양측으로부터 가압되어 변형이 쉽게 되고, 기판이 비뚤어지므로 검사 고정밀도에 영향을 준다.In the technique described in Japanese Patent Laid-Open No. 2004-279335, both ends of the substrate are adsorbed and held by a substrate transfer unit arranged in parallel along both sides of the substrate transfer path. Therefore, since both sides of a board | substrate are restrained by a pair of board | substrate conveyance part, the glass substrate on a board | substrate is pressurized from both sides by abnormality of the parallelism of a board | substrate conveyance part, etc., and a deformation | transformation becomes easy, and a board | substrate is skewed, and it has high inspection precision affect.

또, 일본국 특개 2004-279335호 공보에 기재된 기판 검사 장치에서는, 부상 블록에 대해서, 공통의 기판 반송부를 설치하고 있다. 그러나, 플랫 패널의 제조 라인에서는, 반송로의 레이아웃이나 검사부의 수 등에 따라서는 복수개의 부상 블록을 배열해 장대한 반송로가 형성된다. 상기 반송로 중에는 복수개의 제조 장치나 검사 장치를 배치한다, 이와 같은 경우, 복수개의 부상 블록과 각 장치에 공통되 는 양단 유지의 기판 반송부를 설치하는데에는, 서로의 배치 정밀도를 고정밀도로 할 필요가 있으므로, 기판 검사 장치의 설치의 수고나 조립 비용이 증대해 버린다. 특히 기판 검사 장치는, 외부로부터의 진동을 차단하기 위해 제진대(除振臺)에 탑재되어 있다. 이와 같이 제진대에 탑재된 장치의 경우, 기판의 이동에 따라 제진대에 탑재된 부상 블록의 상면이 기울거나, 외부로부터의 진동에 의해 복잡한 움직임을 행하기 때문에, 공통의 기판 반송부를 설치할 수 없다.Moreover, in the board | substrate inspection apparatus of Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-279335, the common board | substrate conveyance part is provided with respect to the floating block. However, in the flat panel manufacturing line, a large conveying path is formed by arranging a plurality of floating blocks depending on the layout of the conveying path, the number of inspection portions, and the like. In the conveying path, a plurality of manufacturing apparatuses and inspection apparatuses are arranged. In such a case, in order to provide a plurality of floating blocks and a substrate conveying unit having both ends held in common with each apparatus, it is necessary to make the positioning accuracy of each other high precision. Therefore, the labor and the assembly cost of installation of a board | substrate inspection apparatus will increase. In particular, the board | substrate inspection apparatus is mounted in the vibration damping stand in order to block the vibration from the outside. In the case of the apparatus mounted on the vibration isolator as described above, since the upper surface of the floating block mounted on the vibration isolator is inclined or performs complicated movement due to vibration from the outside, a common substrate carrier cannot be provided. .

후자의 문제를 회피하기 위해, 기판 반송부를 부상 블록마다 분할하여 설치하는 것도 고려되지만, 상류측 기판 반송부로부터 하류측 기판 반송부로 바꾸어 탑재하기 위한 반송 로봇 등이 필요해지므로, 장치 구성이 복잡해져 버린다.In order to avoid the latter problem, it is also conceivable to divide and install the substrate conveying unit for each floating block. However, since a transfer robot or the like for mounting the substrate conveying unit from the upstream substrate conveying unit to the downstream substrate conveying unit is required, the apparatus configuration becomes complicated.

또, 일본국 특개 2000-9661호 공보에 기재된 기술에서는, 기판을 하류 측의 반송부에 인도하는 경우에 기판을 일단 떼어 놓을 필요가 있다. 이때, 기판은 수평 방향의 구속이 없어지므로, 기준 위치에 얼라인먼트 된 기판의 위치 결정 상태가 나빠지고 만다. 그러므로, 기판을 인도한 후에 재차 얼라인먼트 조정을 행하지 않으면 안 되는 문제가 있다.Moreover, in the technique of Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-9661, when guiding a board | substrate to a downstream conveyance part, it is necessary to separate a board | substrate once. At this time, since the board | substrate has no restraint of a horizontal direction, the positioning state of the board | substrate aligned to the reference position will worsen. Therefore, there is a problem that alignment adjustment must be performed again after delivering the substrate.

본 발명은, 상기와 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 반송로가 길어져도 기판이 변형되지 않고, 또한 양호한 정밀도로 기판을 반송할 수 있는 기판 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of the above problems, and an object of this invention is to provide the board | substrate inspection apparatus which can carry a board | substrate with favorable precision, even if a conveyance path becomes long.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 기판 검사 장치는, 피검사대상 물체인 박판 형의 기판을 반송하기 위한 반송 스테이지와, 상기 반송 스테이지의 반 송 방향에 직교하는 방향 중 어느 측방에 배치되고, 기판의 단부를 유지하여 기판에 반송력을 가압하는 복수개의 편측(片側) 반송부를 구비하고, 상기 복수개의 편측 반송부 사이에서 기판을 차례로 인도함으로써 기판의 반송을 행하도록 하고 있다.In order to solve the said subject, the board | substrate test | inspection apparatus of this invention is arrange | positioned at either side of the conveyance stage for conveying the thin board-shaped board | substrate which is a to-be-tested object, and the direction orthogonal to the conveyance direction of the said conveyance stage, The board | substrate is conveyed by providing the some single side conveyance part which hold | maintains the edge part of a board | substrate, and pressurizes a conveyance force to a board | substrate, and guides a board | substrate between these some single side conveyance parts one by one.

본 발명의 기판 검사 장치에 의하면, 복수개의 편측 반송부 사이에서 기판을 안도하여 반송하므로, 반송 길이가 길어져도 기판이 변형되지 않고, 또한 양호한 정밀도로 기판을 반송할 수 있다.According to the board | substrate test | inspection apparatus of this invention, since a board | substrate is conveyed comfortably among a some single side conveyance part, even if a conveyance length becomes long, a board | substrate does not deform | transform and can convey a board | substrate with favorable precision.

이하에서는, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 모든 도면에 있어서, 실시예가 상이한 경우라도, 동일 또는 이에 상당한 부재(部材)에는 동일한 부호를 부여하고, 공통되는 설명은 생략한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to an accompanying drawing. In all the drawings, even when the embodiments are different, the same or equivalent members are denoted by the same reference numerals, and common descriptions are omitted.

[제1 실시예] [First Embodiment]

본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치에 대하여 설명한다.A substrate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described.

도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다. 도 2a는, 도 1의 A부의 부분 확대도이다. 도 2b는, 도 2a의 B를 본 정면도이다.1 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention. 2A is an enlarged view of a portion A of FIG. 1. FIG. 2B is a front view of B of FIG. 2A. FIG.

본 실시예는, 예를 들면 액정 유리 기판 등으로 이루어지는 박판 형의 기판(4)을 피검사대상 물체로 하고, 기판(4)을 수평 방향으로 부상시키면서 반송하여, 기판(4)의 표면을 검사하는 기판 검사 장치(100)에 적용한 것이다.In this embodiment, a thin plate-shaped substrate 4 made of, for example, a liquid crystal glass substrate, is used as an object to be inspected, and the substrate 4 is conveyed while being floated in the horizontal direction, thereby inspecting the surface of the substrate 4. It applies to the board | substrate test | inspection apparatus 100 which is mentioned.

기판 검사 장치(100)의 개략 구성은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 반입부(1), 검사부(2), 및 기판 반출부(3)가, 기판(4)의 반송 방향을 따라 이 순서로 배치되어 이루어진다.In the schematic structure of the board | substrate test | inspection apparatus 100, as shown in FIG. 1, the board | substrate carrying-in part 1, the test | inspection part 2, and the board | substrate carrying out part 3 follow this order along the conveyance direction of the board | substrate 4. As shown in FIG. It is arranged to be made.

기판(4)을 평면에서 볼 때 형상은, 반송 방향의 길이가 L, 반송 방향에 직교하는 방향(이하, 반송 폭 방향으로 칭한다)의 폭이 W의 직사각형인 것으로 하여 설명한다.When the board | substrate 4 is seen in plan view, the shape demonstrates that the width | variety of the length of a conveyance direction is L and the direction orthogonal to a conveyance direction (henceforth a conveyance width direction) is a rectangle of W.

기판 반입부(1)는, 장치 외부로부터, 예를 들면 반송 로봇 등에 의해 반송된 기판(4)을 복수개의 리프트 핀을 구비한 리프터에 의해 수취하여, 부상 스테이지(1A)에 탑재하고, 부상 스테이지(1A) 상에 부상한 기판(4)을, 수평면 내에서 반송 방향 및 반송 폭 방향으로 위치 결정하는 기준 핀(8a, 8a, 8b)과 가압 핀(8c, 8c)으로 이루어지는 기판 위치 결정 기구를 구비하고, 또한, 부상 스테이지(1A) 및 흡착 반송부(5)(편측 반송부)를 구비한다.The board | substrate carrying-in part 1 receives the board | substrate 4 conveyed by the conveyance robot etc. by the lifter provided with the some lift pin from the exterior of the apparatus, for example, mounts it on the floating stage 1A, and floats the floating stage. The board | substrate positioning mechanism which consists of the reference pin 8a, 8a, 8b and the press pin 8c, 8c which positions the board | substrate 4 which floated on 1A in the conveyance direction and the conveyance width direction in a horizontal plane is It is equipped with the floating stage 1A and the suction conveyance part 5 (one side conveyance part).

부상 스테이지(1A)는, 기판(4)을 수평 방향으로 탑재하여 수평 방향으로 이동가능하게 하고, 기판(4)을 저하중(低荷重)으로 일정 방향으로 반송하기 위한 반송 스테이지이다. 본 실시예에서는, 에어 분사구멍 N이 스테이지 표면에 다수 설치되고, 상기 에어 분사구멍 N으로부터 에어를 분사함으로써, 기판(4)을 부상 지지하는 가스 부상 스테이지에 의해 구성되어 있다.The floating stage 1A is a conveying stage for mounting the substrate 4 in the horizontal direction, allowing the substrate 4 to move in the horizontal direction, and conveying the substrate 4 in a constant direction at a low weight. In this embodiment, many air injection holes N are provided in the stage surface, and it is comprised by the gas floating stage which floats and supports the board | substrate 4 by injecting air from the said air injection hole N. As shown in FIG.

부상 스테이지(1A)의 크기는, 반송 방향의 길이가 기판(4)의 반송 방향 길이 L보다 길게, 반송 폭 방향의 폭이 기판(4)의 폭 W보다 조금 좁게 설정된다.The size of the floating stage 1A is set so that the length of the conveyance direction is longer than the conveyance direction length L of the board | substrate 4, and the width of the conveyance width direction is slightly narrower than the width W of the board | substrate 4.

기준 핀(8a, 8a)은, 기판(4)의 반송 폭 방향 측의 단부에 맞닿는 것으로, 반 송 폭 방향의 위치 결정을 행하기 위한 걸림 부재이며, 부상 스테이지(1A)의 반송 방향을 향해 우측(도 1의 아래쪽, 이하, 반송 방향 우측으로 대략 칭한다)에 고정 배치하여, 기판(4)의 탑재 면에 대해서 상하 방향으로 출몰(出沒) 가능하게 형성되어 있다.The reference pins 8a and 8a abut against the end portion on the conveying width direction side of the substrate 4 and are locking members for positioning in the conveying width direction, and are on the right side toward the conveying direction of the floating stage 1A. It is fixedly arranged in the lower part of FIG. 1, hereafter, called a conveyance direction right side, and it is formed so that it can project in the up-down direction with respect to the mounting surface of the board | substrate 4. As shown in FIG.

기준 핀(8b)은, 기판(4)의 반송 방향 측의 단부에 맞닿는 것으로, 반송 방향의 위치 결정을 행하기 위한 걸림 부재이며, 부상 스테이지(1A)의 반송 방향 하류측에서, 기판(4)의 탑재 면에 대해서 상하 방향으로 출몰 가능하게 형성되어 있다.The reference pin 8b abuts against an end portion on the conveying direction side of the substrate 4, and is a locking member for positioning in the conveying direction, and the substrate 4 on the conveying direction downstream of the floating stage 1A. It is formed so that it can be sunk in an up-down direction with respect to the mounting surface of.

그리고, 도 l은 모식도이기 때문에 크기 등이 과장되어 있는 결과, 기준 핀(8b)이 슬라이드 가이드(9)와 간섭하는 것과 같은 위치 관계로 되어 있다. 그러나, 기준 핀(8b)은, 슬라이드 가이드(9)로부터 조금 떨어진 위치에 설치되고, 또한 슬라이더(10)와 간섭하지 않도록 기판(4)의 위치 결정 후에 하강하여 후술하는 흡착 반송부(5)와 간섭하지 않는 위치에 퇴피할 수 있도록 구성된다.In addition, since FIG. 1 is a schematic diagram and the magnitude | size etc. are exaggerated, it is in the positional relationship like the reference pin 8b interferes with the slide guide 9. As shown in FIG. However, the reference pin 8b is provided at a position slightly away from the slide guide 9, and is lowered after positioning of the substrate 4 so as not to interfere with the slider 10, and the suction conveyance section 5 described later. It is configured to evacuate to a location that does not interfere.

가압 핀(8c)은, 기판(4)을 가압하여 기준 위치에 설치된 기준 핀(8a, 8a, 8b) 측으로 가압하기 위한 가압 부재이며, 부상 스테이지(1A)의 반송 방향을 향해 좌측(도 1의 위쪽, 이하, 반송 방향 좌측으로 대략 칭한다)과 부상 스테이지(1A)의 반송 방향 상류측에서, 기판(4)을 향해 이동 가능하게 형성되어 있다.The press pin 8c is a press member for pressing the board | substrate 4 and pressurizing it to the reference pin 8a, 8a, 8b side provided in the reference position, and it is left toward the conveyance direction of the floating stage 1A (FIG. 1). It is formed so as to be movable toward the board | substrate 4 from the conveyance direction upstream of the upward direction, below, and conveyance direction left side) and the floating stage 1A.

그리고, 기준 핀(8a, 8b) 및 가압 핀(8c)은, 기판(4)의 단부를 손상시키지 않고 맞닿을 수 있는 걸림 부재이면, 핀형 부재에 한정되지 않고, 예를 들면 블록 형의 부재여도 된다. 또, 가압 부재는 표면이 완충재 등에 덮여 있어도 된다.The reference pins 8a and 8b and the pressing pins 8c are not limited to the pin-shaped members as long as they are engaging members that can be contacted without damaging the end portions of the substrate 4. do. Moreover, the surface of the pressurizing member may be covered with a shock absorber or the like.

흡착 반송부(5)는, 부상 스테이지(1A)의 반송 방향 우측을 따라 배치되고, 부상 스테이지(1A) 상에 부상 지지된 기판(4)의 반송 방향 우측의 이면 측을 흡착 유지하고, 반송 방향으로 반송력을 가압하는 것이다.The adsorption conveyance part 5 is arrange | positioned along the conveyance direction right side of the floating stage 1A, and adsorb | holds and hold | maintains the back surface side of the conveyance direction right side of the board | substrate 4 floated and supported on the floating stage 1A, and conveyance direction To pressurize the conveyance force.

흡착 반송부(5)의 개략 구성은, 도 2a, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 슬라이드 가이드(9), 슬라이더(10), 승강 기구(11), 승강 베이스(12), 흡착 베이스(13), 및 흡착 블록(14)으로 이루어진다.The schematic structure of the suction conveyance part 5 is the slide guide 9, the slider 10, the lifting mechanism 11, the lifting base 12, the suction base 13, as shown to FIG. 2A, FIG. And an adsorption block 14.

슬라이드 가이드(9) 및 슬라이더(10)는, 슬라이드 가이드(9)를 가이드 부재로서, 슬라이더(10)를 일정한 직선상에서 왕복 이동하게 하는 리니어 모터로 이루어지는 이동 기구이다. 본 실시예에서는, 이동 기구로서 리니어 모터를 채용하고 있지만, 볼 나사 등을 사용한 1축 구동 기구를 채용할 수도 있다.The slide guide 9 and the slider 10 are the moving mechanisms which consist of a linear motor which makes the slide 10 reciprocate on a fixed straight line using the slide guide 9 as a guide member. In this embodiment, a linear motor is employed as the moving mechanism, but a single-axis drive mechanism using a ball screw or the like can also be employed.

흡착 반송부(5)의 슬라이드 가이드(9)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 부상 스테이지(1A)의 반송 방향 우측을 따라 배치되고, 부상 스테이지(1A)에서의 기준 위치 결정 영역 P1의 중간부로부터, 부상 스테이지(2A)의 상류측의 기판 인도 영역 P2의 중간부까지 연장되어 있다.The slide guide (9) of the suction conveying portion 5, as shown in Figure 1, is disposed along the right side transfer direction of the levitation stage (1A), the middle of the reference positioning area P 1 in levitation stage (1A) The portion extends from the portion to the middle portion of the substrate delivery region P 2 on the upstream side of the floating stage 2A.

승강 기구(11)는, 슬라이더(l0) 상에 고정되고, 기판(4)을 반송할 때에 흡착 베이스(13)를 상승시켜, 기판(4)을 인도하고 원래의 위치에 돌아올 때에 흡착 베이스(13)를 기판(4)에 간섭하지 않도록 하강시키는 것이다.The elevating mechanism 11 is fixed on the slider 10 and lifts the adsorption base 13 when conveying the substrate 4, and guides the substrate 4 and returns the adsorption base 13 when returning to its original position. ) Is lowered so as not to interfere with the substrate 4.

승강 베이스(12)는, 승강 기구(11)의 상단면에 설치된 흡착 베이스(13)를 유지하는 유지 부재이다.The lifting base 12 is a holding member for holding the suction base 13 provided on the upper end surface of the lifting mechanism 11.

흡착 베이스(13)는, 복수개의 흡착 블록(14)을 상면 측에 고정하기 위해 설 치된, 기판(4)의 반송 방향 길이 L보다 조금 짧은 길이의 직사각형의 지지 부재이다. 상기 흡착 베이스(13)는, 길이 방향이 부상 스테이지(1A)의 단면에 평행하게 되는 상태에서 승강 베이스(12) 상에 고정되어 있다.The adsorption base 13 is a rectangular support member of the length slightly shorter than the conveyance direction length L of the board | substrate 4 provided in order to fix the some adsorption block 14 to the upper surface side. The said adsorption base 13 is being fixed on the lifting base 12 in the state in which the longitudinal direction becomes parallel to the cross section of the floating stage 1A.

흡착 블록(14)은, 그 상단면에서, 기판(4)의 반송 방향 우측의 단부를 이면 측으로부터 흡착하기 위한 흡착 패드이며, 각 상단면이 평면상으로 정렬한 상태에서, 흡착 베이스(13) 상에 적당히 간격을 두고 복수개 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 흡착 블록(14)은 기판(4)의 반송 방향 폭 방향의 단부의 전체 길이 L를 등(等) 분할하는 위치에 6개 설치되고, 기판(4)의 편측 단부가 흡착 블록(l4)에 의해 전체적으로 흡착되어 있다.The adsorption block 14 is an adsorption pad for adsorb | sucking the edge part of the conveyance direction right side of the board | substrate 4 from the back surface side in the upper end surface, and the adsorption base 13 in the state in which each upper end surface was aligned planarly. A plurality of phases are formed at appropriate intervals. In this embodiment, six adsorption blocks 14 are provided at positions which equally divide the entire length L of the end portion of the substrate 4 in the conveying direction width direction, and one end of the substrate 4 is the adsorption block. Adsorbed by (l4) as a whole.

흡착 블록(14)의 구성으로서는, 예를 들면, 평면에서 볼때 직사각형의 흡착면에 오목부(14a)와, 상기 오목부(14a)의 중앙에, 흡인원에 의해 진공 흡인을 행하는 흡인 구멍(14b)이 설치된 구성을 채용할 수 있다.As the structure of the adsorption block 14, the suction hole 14b which performs vacuum suction with a suction source in the center of the recessed part 14a and the said recessed part 14a, for example in a planar view rectangular shape. Can be adopted.

검사부(2)는, 기판 반입부(1)로부터 반송된 기판(4)을 검사하고, 기판 반출부(3)에 인도하는 것이다.The inspection part 2 inspects the board | substrate 4 conveyed from the board | substrate carrying-in part 1, and guides it to the board | substrate carrying-out part 3. As shown in FIG.

검사부(2)는, 도시하지 않은 베이스 상에 고정된 문형(門型)의 갠트리(gantry)(2a)와, 상기 갠트리(2a)의 수평 암에 이동할 수 있게 설치된 현미경 등의 검사 헤드(2b)와, 부상 스테이지(2A) 및 흡착 반송부(6)로 이루어진다. 검사부(2)는, 검사시에 외부 진동의 영향을 받지 않도록, 제진대 상에 설치되는 것이 바람직하다.The inspection unit 2 includes a door-shaped gantry 2a fixed on a base (not shown) and an inspection head 2b such as a microscope provided to be movable on the horizontal arm of the gantry 2a. And the floating stage 2A and the suction conveyance section 6. It is preferable that the test | inspection part 2 is provided in the vibration damping stand so that it may not be influenced by external vibration at the time of an inspection.

부상 스테이지(2A)는, 기판(4)을 수평 방향으로 탑재하여 일정 방향으로 반 송하기 위한 반송 스테이지이며, 본 실시예에서는, 부상 스테이지(1A)와 마찬가지의 가스 부상 스테이지를 채용하고 있다. 단, 검사부(2)의 부상 스테이지(2A)의 크기는, 반송 폭 방향의 폭은 부상 스테이지(1A)와 같은 폭으로 하고 있지만, 반송 방향의 길이는 2·L 이상으로 설정하고 있다. 그러므로, 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P2의 하류측에, 검사 영역 P3를 설치하는 경우, 부상 스테이지(2A) 상의 기판 인도 영역 P2에서 기판(4)을 흡착 반송부(5)로부터 흡착 반송부(6)에 인도한 상태에서, 검사 헤드(2a)에 의해 기판(4)의 전체면을 검사할 수 있도록 기판(4)을 검사 헤드(2a)의 검사 라인에 대해서 반송 방향의 선단으로부터 후단까지 이동시킬 수 있는 길이가 확보되어 있으면 된다.The floating stage 2A is a conveying stage for mounting the substrate 4 in the horizontal direction and transporting it in a constant direction. In this embodiment, the same gas floating stage as the floating stage 1A is employed. However, although the width | variety of the floating stage 2A of the test | inspection part 2 is made the width of the conveyance width direction the same as the floating stage 1A, the length of a conveyance direction is set to 2 * L or more. Therefore, when the inspection region P 3 is provided downstream of the substrate delivery region P 2 of the floating stage 2A, the adsorption conveying unit 5 carries the substrate 4 in the substrate delivery region P 2 on the floating stage 2A. In the state led to the adsorption conveyance part 6 from the side, the board | substrate 4 is moved in the conveyance direction with respect to the test line of the test head 2a so that the whole surface of the board | substrate 4 can be inspected by the test head 2a. What is necessary is just to ensure the length which can be moved from a front end to a rear end.

검사부(2)는, 기판(4)을 기판 반입부(1)로부터 반입할 때, 제진대를 록(lock)하여 부상 스테이지(2A)를 부상 스테이지(1A)와 같은 높이로 하는 것이 바람직하다.When the inspection part 2 carries in the board | substrate 4 from the board | substrate carrying-in part 1, it is preferable to lock the vibration damping table, and to make the floating stage 2A the same height as the floating stage 1A.

흡착 반송부(6)는, 도 2b에 나타낸 흡착 반송부(5)의 구성과 동일한 구성을 구비한다. 흡착 반송부(6)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 흡착 반송부(5)와 반대측의 부상 스테이지(2A)의 반송 방향 좌측을 따라 배치되고, 기판 반입부(1)에서 위치 결정된 기판(4)을, 흡착 반송부(5)로부터 받아 부상 반송시키는 것이다.The adsorption conveyance part 6 is equipped with the structure similar to the structure of the adsorption conveyance part 5 shown in FIG. 2B. As shown in FIG. 1, the suction conveyance part 6 is arrange | positioned along the conveyance direction left side of the floating stage 2A on the opposite side to the suction conveyance part 5, and the board | substrate 4 positioned by the board | substrate carrying-in part 1 is located. ) Is received from the suction conveying unit 5 and floated.

흡착 반송부(6)는, 복수개의 흡착 블록(14)에 의해, 기판(4)의 반송 방향 좌측의 이면을 흡착하고, 기판(4)에 반송력을 가압할 수 있도록 되어 있다.The adsorption conveyance part 6 is able to adsorb | suck the back surface of the conveyance direction left side of the board | substrate 4 by the some adsorption block 14, and to press a conveyance force to the board | substrate 4.

검사부(2)의 슬라이드 가이드(9)는, 도 1에 나타낸 바와 같이 부상 스테이 지(2A)의 반송 방향 좌측을 따라 배치되고, 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P2의 중간부로부터 기판 인도 영역(검사 영역) P3의 중간부까지 연장되어 있다.A slide guide of the inspection section (2) 9 is also disposed along the conveying direction in which the left of the floating stay support (2A) as shown in Fig. 1, the substrate out of the substrate intermediate portion of the delivery area P 2 in levitation stage (2A) India region (inspection region) extends to the middle portion of P 3.

상기 슬라이드 가이드(9)의 길이는, 인접하는 2개의 기판 인도 영역 P2, P3에서 슬라이더(10)가 부상 스테이지(2A)의 반송 방향 길이의 범위를 왕복 이동할 수 있는 길이이면 되고, 부상 스테이지(2A)의 반송 방향 길이와 대략 같은 길이여도 된다.The length of the slide guide 9, in the two substrates Indian region P 2, P 3 adjacent to the slider 10 and the back length to move reciprocally in the carrying direction, the length of the levitation stage (2A), levitation stage The length substantially the same as the conveyance direction length of 2A may be sufficient.

따라서, 평면에서 볼 때에, 흡착 반송부(5)의 슬라이드 가이드(9)와, 흡착 반송부(6)의 슬라이드 가이드(9)가 부상 스테이지(2A)를 협지하여 서로 평행으로 대향하고 있다. 대향 배치된 흡착 반송부(5, 6)는, 기판 인도 영역 P2에서 기판(4)을 인도할 수 있으면 슬라이더(10)가 반드시 기판 인도 영역 P2의 중간(L/2)이 아니어도 되지만, 위치 결정된 기판을 정확하고 안정적으로 반송하기 위해서는 각각의 슬라이더(10)를 기판 인도 영역 P2의 중간(L/2)으로 이동시키는 것이 바람직하다.Therefore, in the plan view, the slide guide 9 of the suction conveyance part 5 and the slide guide 9 of the suction conveyance part 6 sandwich 2F of floating stages, and oppose in parallel. Oppositely disposed absorptive transfer unit (5, 6), if it can be delivered to the substrate 4 from the substrate delivery area P 2, but even if the slider 10 is not necessarily in the middle (L / 2) of the substrate delivery area P 2 , it is preferable to correct the substrate position is determined and reliably moved to the intermediate (L / 2) of the substrate delivery area P 2 each of the slider 10 in order to transport.

본 실시예에서는, 흡착 반송부(5)에서 흡착 반송된 기판(4)을 부상 스테이지(2A) 상의 기판 인도 영역 P2에서 흡착 반송부(6)에 인도할 수 있도록 설정한다. 도 2a 및 도 2b에 나타낸 바와 같이 기판(4)의 반송 폭 방향의 단부 전체를, 흡착 반송부(5)의 각 흡착 블록(14), 흡착 반송부(6)의 각 흡착 블록(14)에 의해 흡착 유지할 수 있도록 하고 있다. 흡착 반송부(5)의 슬라이더(10)의 이동 범위는 흡착 반송부(5, 6)의 이동 중심이 기판(4)의 길이 L의 거의 중앙이 되므로, 기판(4)의 길이와 동일한 기준 위치 결정 영역 P1과 기판 인도 영역 P2의 각각의 중간 위치에 설정되어 있다.In this embodiment, set to the substrate 4 is transported from the adsorption absorptive transfer unit 5 from the substrate delivery area P 2 on the stage portion (2A) can be delivered to the suction conveying portion (6). As shown to FIG. 2A and FIG. 2B, the whole edge part of the conveyance width direction of the board | substrate 4 is attached to each adsorption block 14 of the adsorption conveyance part 5, and each adsorption block 14 of the adsorption conveyance part 6. As shown to FIG. Adsorption can be maintained. The movement range of the slider 10 of the suction conveyance part 5 is the reference position which is the same as the length of the board | substrate 4, since the center of movement of the suction conveyance part 5 and 6 becomes substantially center of the length L of the board | substrate 4. It is set at each intermediate position of the crystal region P 1 and the substrate delivery region P 2 .

마찬가지로, 흡착 반송부(6)의 슬라이더(10)의 이동 범위는, 기판 인도 영역 P2, P3의 각각의 중간 위치에 설정되어 있다.Similarly, the moving range of the slider 10 of the suction conveying portion 6, and is set to each of the intermediate position of the substrate delivery area P 2, P 3.

기판 반출부(3)는, 검사부(2)에서의 검사가 종료한 기판(4)을, 예를 들면 반송 로봇에 의해 장치 외부로 반출하기 위한 것이며, 부상 스테이지(3A)와 흡착 반송부(7)를 구비한다.The board | substrate carrying-out part 3 is for carrying out the board | substrate 4 which the test | inspection by the test | inspection part 2 complete | finished, for example by the conveyance robot to the exterior of an apparatus, The floating stage 3A and the adsorption | suction conveyance part 7 ).

부상 스테이지(3A), 흡착 반송부(7)는, 각각, 부상 스테이지(1A), 흡착 반송부(5)와 같은 구성을 구비한다. 흡착 반송부(7)는, 흡착 반송부(6)와 반대측의 부상 스테이지(3A)의 반송 방향 우측을 따라 배치되어 있다. 상기 흡착 반송부(7)의 슬라이드 가이드(9)는, 부상 스테이지(2A)의 하류측의 기판 인도 영역 P3의 중간부로부터 부상 스테이지(3A)의 기판 반출 영역 P4의 중간부까지 연장되어 있다.The floating stage 3A and the suction conveyance part 7 are equipped with the structure similar to the floating stage 1A and the suction conveyance part 5, respectively. The adsorption conveyance part 7 is arrange | positioned along the conveyance direction right side of the floating stage 3A on the opposite side to the adsorption conveyance part 6. The slide guide (9) of the suction conveyance unit 7 has, extending from the intermediate portion of the downstream-side substrate delivery area P 3 of the levitation stage (2A) to the middle portion of the substrate carry-out area P 4 of the levitation stage (3A) have.

흡착 반송부(6)의 슬라이드 가이드(9)와, 흡착 반송부(7)의 슬라이드 가이드(9)는, 각각의 일부가 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P3를 협지하여 서로 평행으로 대향하고 있다. 따라서, 흡착 반송부(6)에서 흡착 반송된 기판(4)은, 부상 스테이지(2A)의 상류측의 부상 스테이지(3A)에 인접하는 기판 인도 영역 P3에서 대치하는 흡착 반송부(7)에 인도할 수 있도록 되어 있다.The slide guide (9) of the sliding guide (9) of the suction conveying portion 6, the suction conveyance unit 7, to each portion of the nipping the substrate delivery area P 3 of the levitation stage (2A) facing each other in parallel Doing. Thus, the substrate 4 is conveyed adsorbed in the adsorption conveying unit 6, the suction conveyance unit 7 to be replaced in the substrate delivery area P 3 adjacent to the levitation stage (3A) on the upstream side of the levitation stage (2A) It is intended to lead.

이와 같이, 본 실시예의 기판 검사 장치(100)에서는, 부상 스테이지(1A, 2A, 3A)가, 반송 방향으로 차례로 인접하여 연장되고, 그 반송 방향의 양측에, 흡착 반송부(5, 6, 7)가 지그재그 모양으로 교대로 배치된다. 따라서, 기판 인도 영역 P2, P3에서 위치 결정된 기판(4)을 흡착 반송부(5)로부터 흡착 반송부(6)에, 또는, 흡착 반송부(6)로부터 흡착 반송부(7)에 각각 차례로 인도하여 반송할 수 있는 구성으로 되어 있다.Thus, in the board | substrate test | inspection apparatus 100 of a present Example, the floating stage 1A, 2A, 3A extends adjoining one by one in a conveyance direction, and adsorption conveyance parts 5, 6, 7 on both sides of the conveyance direction. ) Are alternately arranged in a zigzag pattern. Thus, the substrate delivery area P 2, the position determined the substrate 4 from P 3 to the suction conveying portion 6 from the suctioning transport portion 5, or, respectively, the suction conveyance unit 7 from the suction conveying portion 6 It is a structure that can be delivered and returned one by one.

다음에, 본 실시예의 기판 검사 장치(100)의 동작에 대하여, 기판(4)의 반송 동작을 중심으로 설명한다.Next, operation | movement of the board | substrate inspection apparatus 100 of a present Example is demonstrated centering on the conveyance operation | movement of the board | substrate 4. As shown in FIG.

도 3, 도 4는, 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치의 동작에 대하여 설명하는 평면도이다.3 and 4 are plan views illustrating the operation of the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.

먼저, 도 1의 좌측단 측에 도시된 바와 같이, 흡착 반송부(5)의 슬라이더(10)를 반송 개시 측이 되는 기준 위치 결정 영역 P1의 중심 위치까지 이동시킨다. 이때, 승강 기구(11)의 높이를 조정하고, 흡착 블록(14)의 상단면이, 기판(4)의 이면의 부상 높이보다 낮은 상태로 하여 둔다.First, too, it is moved to the reference position determining the center position of the area P 1 which is a slider 10 carrying start side of the suction conveying portion 5, as illustrated on the left end side of FIG. At this time, the height of the elevating mechanism 11 is adjusted, and the upper end surface of the suction block 14 is set to be lower than the floating height of the back surface of the board | substrate 4.

그리고, 도시하지 않은 반송 로봇 등에 의해 반입된 기판(4)을 부상 스테이지(1A) 상으로부터 돌출된 리프터의 각 리프트 핀 상에 이재(移載)한다. 리프터는, 반송 로봇으로부터 기판(4)을 받은 후, 하강하여 기판(4)을 부상 스테이지(1A) 상에 탑재한다. 부상 스테이지(1A) 상에 이재된 기판(4)은 부상 스테이지(1A)로부터 위쪽으로 분사되는 에어에 의해 소정 높이로 부상된다.And the board | substrate 4 carried in by the conveyance robot etc. which are not shown in figure is transferred to each lift pin of the lifter which protruded from the floating stage 1A. After the lifter receives the substrate 4 from the transfer robot, the lifter descends and mounts the substrate 4 on the floating stage 1A. The substrate 4 deposited on the floating stage 1A is floated to a predetermined height by air injected upward from the floating stage 1A.

기판(4)은, 부상 스테이지(1A) 상에 부상되어 있으므로, 평면 방향의 이동이 자유롭게 되어 있고, 기판(4)의 사이즈가 커도 아주 작은 부하로 이동할 수 있다. 다음에, 가압 핀(8c, 8c)을 이동하여, 부상 상태의 기판(4)을 기준 핀(8a, 8a, 8b)에 가압하여 기준 위치에 위치 결정을 행한다.Since the board | substrate 4 is floated on the floating stage 1A, the movement in a planar direction is free, and even if the size of the board | substrate 4 is large, it can move with a very small load. Next, the pressing pins 8c and 8c are moved to press the substrate 4 in the floating state to the reference pins 8a, 8a and 8b to perform positioning at the reference position.

이들 동작에 의해, 부상 스테이지(lA) 상에 부상된 기판(4)의 2변이 기준 핀(8a, 8a, 8b)에 가압되어, 평면에서 볼 때의 위치가 반송 폭 방향, 반송 방향의 기준 위치에 대하여 각각 위치 결정된다. By these operations, two sides of the substrate 4 floating on the floating stage 1A are pressed by the reference pins 8a, 8a, and 8b, so that the position when viewed in a plan view is the reference position in the conveying width direction and the conveying direction. Are positioned relative to each other.

이 상태에서, 승강 기구(11)를 구동하여, 흡착 블록(14)을 기판(4)의 이면의 높이까지 상승시켜, 기준 위치에 위치 결정된 기판(4)을 진공 흡착한다. In this state, the elevating mechanism 11 is driven to raise the adsorption block 14 to the height of the back surface of the substrate 4, and vacuum-adsorbs the substrate 4 positioned at the reference position.

진공 흡착이 완료된 후, 기준 핀(8b)을 하강하고, 가압 핀(8c)을 기판(4)으로부터 멀어지는 방향으로 퇴피시킨다.After the vacuum adsorption is completed, the reference pin 8b is lowered and the pressing pin 8c is retracted in a direction away from the substrate 4.

그리고, 흡착 반송부(5)의 슬라이더(10)는 기판 인도 영역 P2의 중간 위치까지 이동하고, 기판(4)을 검사부(2)의 기판 인도 영역 P2에 반송한다.Then, the transfer slider 10 is moved to the intermediate position of the substrate delivery area P 2, and a substrate (4) of absorptive transfer unit 5 to the substrate delivery area P 2 in the inspection section (2).

이때, 흡착 반송부(6)의 슬라이더(10)는, 승강 기구(11)를 하강시켜, 흡착 블록(14)의 상단면이, 기판(4)의 이면의 높이보다 낮게 되도록 하여, 부상 스테이지(1A)의 기판 인도 영역 P2까지 이동하고 대기한다.At this time, the slider 10 of the adsorption conveyance part 6 lowers the lifting mechanism 11, and makes the upper end surface of the adsorption block 14 lower than the height of the back surface of the board | substrate 4, 1A) is moved to the substrate delivery area P 2 in the atmosphere.

이 결과, 도 3에 나타낸 바와 같이, 부상 스테이지(2A) 상의 기판 인도 영역 P2로 이동한 기판(4)의 하면에는, 흡착 반송부(5, 6)의 각 슬라이더(10)가, 서로 대향하는 위치에 배치된다. 이 상태에서, 흡착 반송부(6)의 흡착 블록(14)의 상단면이 기판(4)의 이면에 맞닿을 때까지 승강 기구(11)를 상승시킨다. 그리고 기판(4) 을 흡착 반송부(5)의 흡착 블록(14)에서 흡착 유지한 상태에서, 흡착 반송부(6)에 의해 진공 흡착한다. 이때, 반송 폭 방향으로 대향하는 기판(4)의 양 단부가 각각 흡착 반송부(5, 6)의 각 흡착 블록(14)에 의해 대략 전체 길이에 걸쳐서 흡착 유지되어 있다.As a result, as shown in FIG. 3, on the lower surface of the substrate 4 moved to the substrate delivery region P 2 on the floating stage 2A, the sliders 10 of the adsorption transport portions 5 and 6 face each other. It is arranged in a position to. In this state, the lifting mechanism 11 is raised until the upper end surface of the adsorption block 14 of the adsorption transport part 6 contacts the rear surface of the substrate 4. And the adsorption | suction conveyance part 6 carries out vacuum suction by the adsorption | suction conveyance part 6 in the state which adsorbed and held the board | substrate 4 in the adsorption block 14 of the adsorption | suction conveyance part 5. At this time, both ends of the board | substrate 4 which oppose to a conveyance width direction are hold | maintained and adsorbed over substantially the full length by each adsorption block 14 of the adsorption conveyance part 5 and 6, respectively.

흡착 종료 후, 흡착 반송부(5)의 흡착을 해제하고, 흡착 반송부(5)의 승강 기구(11)를 하강시킨다. 흡착 반송부(5)는, 기판 반입부(1)의 기판 위치 결정 영역 P1으로 이동되어 상기의 반송 개시 시의 상태로 복귀하고, 다음의 기판(4)의 반송을 준비한다.After the adsorption is completed, the adsorption of the adsorption transporter 5 is released, and the lifting mechanism 11 of the adsorption transporter 5 is lowered. Suctioning transport portion 5, it is moved to the board positioning area P 1 of the substrate carry-in section 1 returns to the state at the start of the conveying, and prepare for transfer of the next board 4 in.

이로써, 기판 위치 결정 기구로 위치 결정된 기판(4)은, 위치 결정된 상태에서 반송 방향 우측의 흡착 반송부(5)로부터, 반송 방향 좌측의 흡착 반송부(6)에 인도된다.Thereby, the board | substrate 4 positioned by the board | substrate positioning mechanism is guide | induced to the adsorption conveyance part 6 of the conveyance direction left side from the adsorption conveyance part 5 of the conveyance direction right side in the positioned state.

이와 같이, 흡착 반송부(5)에 의해 반송된 기판(4)의 반대측을 흡착 반송부(6)에서 흡착 유지한 상태로 흡착 반송부(5)의 흡착을 해제함으로써, 기판(4)의 평면 방향의 기준 위치는 변하지 않고, 기판(4)은 기판 위치 결정 기구에 의해 기준 위치가 유지된 상태에서 대향하는 흡착 반송부(6)에 인도할 수 있다.In this way, the suction of the adsorption conveying part 5 is canceled in the state in which the adsorption conveying part 6 has adsorbed and held the opposite side of the substrate 4 conveyed by the adsorption conveying part 5, thereby allowing the plane of the substrate 4 to be flat. The reference position of the direction does not change, and the board | substrate 4 can be guided to the opposite adsorption conveyance part 6 in the state in which the reference position was hold | maintained by the board | substrate positioning mechanism.

다음에, 흡착 반송부(6)의 슬라이더(10)를 검사 영역 P3에 이동하고, 부상 스테이지(2A) 상에서, 부상 스테이지(3A) 측을 향해 기판(4)을 반송한다(도 4 참조). 이때, 검사부(2)에서의 검사의 필요에 따라 미리 설정된 일정 속도로 반송하거나, 소정의 속도 변화를 주어 반송하거나, 또는 소정의 위치 이동을 행하여 반송한다.Returns the following, levitation stage (3A), the substrate 4 toward the side, to move the slider 10 of the suction conveying portion (6) to the inspection area, P 3, and on the levitation stage (2A) to (see Fig. 4) . At this time, it conveys at predetermined fixed speed, conveys by giving a predetermined | prescribed speed change, or carries out predetermined position movement as the need of the test | inspection by the inspection part 2, and conveys.

본 실시예에서는, 기판(4)상의 각 결함의 좌표 데이터에 따라, 지정된 결함이 검사 헤드(2b)의 검사 라인에 일치하도록 기판(4)을 반송하여 정지시키는 동시에, 검사 헤드(2b)의 광축이 결함에 일치하도록 검사 헤드(2b)는 갠트리(2a)를 따라 이동시킨다. 이와 같이 하여 기판(4)과 검사 헤드(2b)를 상대적으로 XY 이동시킴으로써 기판(4)의 임의의 위치를 검사할 수 있다.In this embodiment, according to the coordinate data of each defect on the board | substrate 4, the board | substrate 4 is conveyed and stopped so that a designated defect may correspond with the test line of the test head 2b, and the optical axis of the test head 2b is stopped. The inspection head 2b moves along the gantry 2a to coincide with this defect. Thus, arbitrary positions of the board | substrate 4 can be inspected by XY moving the board | substrate 4 and the test head 2b relatively.

이때, 흡착 반송부(7)의 슬라이더(10)는, 승강 기구(ll)를 하강시켜, 흡착 블록(14)의 상단면이, 기판(4)의 이면의 높이보다 낮게 되도록 하여, 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P3까지 이동하여 대기한다.At this time, the slider 10 of the adsorption conveyance part 7 lowers the lifting mechanism ll, and makes the upper end surface of the adsorption block 14 lower than the height of the back surface of the board | substrate 4, moving the substrate to the delivery area P 3 2A) and waits.

그리고, 기판(4)이 부상 스테이지(2A)의 반송 방향의 단부로 이동되면, 기판(4)의 하면에는, 흡착 반송부(6, 7)의 슬라이더(10)가 대향하여 배치된다. 이 상태에서, 흡착 반송부(7)의 승강 기구(11)를 구동하고, 흡착 반송부(7)의 흡착 블록(14)의 상단면이 기판(4)의 이면에 맞닿을 때까지 상승시킨다. 그리고 기판(4)을 흡착 반송부(6)의 흡착 블록(14)에서 흡착 유지한 상태로 흡착 반송부(7)에 의해 진공 흡착한다. 이때, 반송 폭 방향으로 대향하는 기판(4)의 양 단부가 각각 흡착 반송부(6, 7)의 각 흡착 블록(14)에 의해 대략 전체 길이에 걸쳐서 흡착 유지되어 있다.And when the board | substrate 4 is moved to the edge part of the conveyance direction of the floating stage 2A, the slider 10 of the adsorption | suction conveyance parts 6 and 7 will be arrange | positioned on the lower surface of the board | substrate 4. In this state, the lifting mechanism 11 of the adsorption conveyance part 7 is driven, and it raises until the upper end surface of the adsorption block 14 of the adsorption conveyance part 7 contacts the back surface of the board | substrate 4. Then, the substrate 4 is vacuum-adsorbed by the adsorption transport unit 7 in a state in which the substrate 4 is adsorbed and held by the adsorption block 14 of the adsorption transport unit 6. At this time, both ends of the board | substrate 4 which oppose to a conveyance width direction are hold | maintained and adsorbed over substantially the full length by each adsorption block 14 of the adsorption conveyance part 6,7, respectively.

흡착 반송부(7)의 흡착 종료 후, 흡착 반송부(6)의 흡착을 해제하고, 흡착 반송부(6)의 승강 기구(ll)를 하강시킨다. 흡착 반송부(6)는, 기판 인도 영역 P2로 이동되어, 상기 기판을 받을 때 상태(수취 상태)로 복귀하고, 다음의 기판(4)의 수 취를 준비한다.After the adsorption conveyance of the adsorption conveyance part 7 is complete | finished, adsorption of the adsorption conveyance part 6 is canceled | released, and the lifting mechanism ll of the adsorption conveyance part 6 is lowered. Absorptive transfer unit 6, the substrate is moved to the delivery area P 2, and returns to the state (reception state) when subjected to the substrate, and prepare the next can take the substrate (4).

다음에, 흡착 반송부(7)의 슬라이더(10)를 이동하여, 기판(4)을 부상 스테이지(3A) 상에 반송한다. 그리고, 도시하지 않은 반송 로봇 등으로 기판(4)을 인도하는 동시에, 흡착 반송부(7)의 흡착을 해제하고, 다음의 기판(4)을 수취하기 위하여, 흡착 반송부(7)의 슬라이더(10)를 기판 인도 영역 P3에 복귀시킨다.Next, the slider 10 of the suction conveyance part 7 is moved, and the board | substrate 4 is conveyed on the floating stage 3A. And in order to guide | induce the board | substrate 4 to the conveyance robot etc. which are not shown in figure, to release | suck the adsorption of the adsorption conveyance part 7, and to receive the next board | substrate 4, the slider of the adsorption conveyance part 7 ( 10) the substrate is returned to the delivery area P 3.

이와 같이 하여, 기판(4)의 반입, 검사, 반출이 종료한다.In this way, loading, inspection, and carrying out of the board | substrate 4 are complete | finished.

이와 같이, 본 실시예의 기판 검사 장치(100)에 의하면, 기판(4)의 반송 폭 방향의 단부를 흡착 반송부(5, 6, 7)에 의해 교대로 유지하여, 기판(4)을 부상 스테이지(1A, 2A, 3A) 상으로 차례로 반송할 수 있다. 이와 같이 기판(4)의 편측을 유지하여 일축(一軸) 반송을 행함으로써, 흡착 반송부(5, 6, 7)에 의해 흡착 유지된 기판(4)의 다른 쪽 단부가 프리(free) 상태가 되므로, 종래와 같이 양측을 유지하여 반송하는 경우의 같은 스트레스를 기판(4)에 주지 않는다. 이와 같이 기판(4)의 편측 만을 흡착 유지함으로써 기판(4)을 수평으로 반송하는 것이 가능하게 되고, 기판(4)에 대한 검사 정밀도의 저하를 방지할 수 있다. Thus, according to the board | substrate test | inspection apparatus 100 of a present Example, the edge part of the conveyance width direction of the board | substrate 4 is hold | maintained by the adsorption conveyance part 5, 6, 7 alternately, and the board | substrate 4 is floated stage. It can convey one by one on (1A, 2A, 3A). Thus, by carrying out uniaxial conveyance holding | maintaining the one side of the board | substrate 4, the other end of the board | substrate 4 adsorbed-held by the adsorption conveying part 5, 6, 7 is free. Therefore, the same stress in the case of carrying and holding both sides is not given to the board | substrate 4 like conventionally. Thus, by adsorbing and holding only one side of the board | substrate 4, it becomes possible to convey the board | substrate 4 horizontally, and the fall of the inspection precision with respect to the board | substrate 4 can be prevented.

또, 각 편측 반송부의 배치 정밀도를 느슨하게 하거나, 필요에 따라, 반송 방향을 반송 스테이지마다 전환하는 것이 가능해진다.Moreover, it becomes possible to loosen the positioning precision of each single side conveyance part, or to switch a conveyance direction for every conveyance stage as needed.

또, 기판 인도 영역 P2, P3에서 흡착 반송부(5, 6), 및 흡착 반송부(6, 7)에 의해 반송 폭 방향의 양 단부를 흡착 유지함으로써, 위치 결정된 상태를 유지하면서 기판(4)을 인도하여 반송할 수 있다. 이로써, 기판을 인도할 때마다 위치 조정 등을 행하는 수고를 덜 수 있고, 기판 검사 장치(100)의 조정 기구를 간소화할 수 있는 동시에, 검사 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, by the substrate delivery area P 2, absorptive transfer unit (5, 6) from P 3, and suction for both ends of the transport widthwise direction by the suctioning transport portion (6, 7), while keeping the positioned state substrate ( 4) can be delivered and returned. Thereby, the trouble of performing a position adjustment etc. every time a guide | guide board is delivered can be saved, the adjustment mechanism of the board | substrate inspection apparatus 100 can be simplified, and inspection efficiency can be improved.

또, 기판(4)의 위치 결정 상태를 유지하면서 기판 반출 영역 P4까지 반송할 수 있기 때문에, 기판(4)을 반송 로봇에 정확하게 인도하는 것이 가능하다. 따라서, 반송 로봇은, 기판(4)을 카세트 내에 삽입할 때 기판(4)이 카세트의 측벽에 부딪치지 않도록 얼라이먼트를 고치는 일 없이 기판(4)을 카세트 내에 반송할 수 있다.Further, since, while maintaining the positioning state of the substrate 4 can be transported to the substrate carry-out area P 4, it is possible to guide correctly the carrying robot of the substrate (4). Therefore, the transfer robot can convey the substrate 4 into the cassette without fixing the alignment so that the substrate 4 does not hit the sidewall of the cassette when the substrate 4 is inserted into the cassette.

다음에, 본 실시예의 변형예에 대하여 설명한다.Next, a modification of the present embodiment will be described.

도 5는, 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.5 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a modification of the first embodiment of the present invention.

본 변형예의 기판 검사 장치(110)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 실시예의 기판 검사 장치(100)의 흡착 반송부(5, 7)에 대신하여, 흡착 반송부(15)(편측 반송부)를 구비한 것이다. 이하, 상기 제l 실시예와 다른 점을 중심으로 설명한다.As shown in FIG. 5, the board | substrate test | inspection apparatus 110 of this modification is the adsorption conveyance part 15 (one side) instead of the adsorption conveyance part 5 and 7 of the board | substrate test | inspection apparatus 100 of the said 1st Example. Carrying section). The following description will focus on differences from the first embodiment.

흡착 반송부(15)는, 흡착 반송부(5)의 슬라이드 가이드(9)를, 흡착 반송부(7)의 슬라이드 가이드(9)의 위치까지 연장한 슬라이드 가이드(16)에 대신하는 것과 동시에, 흡착 반송부(5)의 슬라이더(10)에 대신하여, 동일한 구성으로 이루어지는 2개의 슬라이더(10A, 10B)를 슬라이드 가이드(l6) 상에서 이동할 수 있도록 설치한 것이다.The adsorption conveyance part 15 replaces the slide guide 9 of the adsorption conveyance part 5 to the slide guide 16 extended to the position of the slide guide 9 of the adsorption conveyance part 7, Instead of the slider 10 of the suction conveyance part 5, the two sliders 10A and 10B which have the same structure are provided so that they may be moved on the slide guide l6.

그리고, 슬라이더(10A, 10B)의 상부에는, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 승강 기구(11), 승강 베이스(12), 흡착 베이스(13), 및 흡착 블록(14)을 구비한다.And the upper part of slider 10A, 10B is equipped with the lifting mechanism 11, the lifting base 12, the suction base 13, and the suction block 14, as shown in FIG. 2B.

즉, 상기 제1 실시예에 나타낸 흡착 반송부(5, 7)의 각 슬라이드 가이드(9)를 접속하여 일체로 한 구성에 상당하고 있다.That is, it corresponds to the structure which connected and integrated each slide guide 9 of the adsorption conveyance part 5 and 7 shown in the said 1st Example.

본 변형예의 기판 검사 장치(110)에 의하면, 상기 제1 실시예의 흡착 반송부(5, 7)의 슬라이더(10)를, 각각 흡착 반송부(15)의 슬라이더(10A, 10B)에 대신하는 것으로, 완전히 마찬가지의 동작을 행할 수 있다. 그러므로, 상기 제1 실시예와 마찬가지의 작용 효과를 가진다.According to the board | substrate test | inspection apparatus 110 of this modification, the slider 10 of the adsorption conveyance part 5 and 7 of the said 1st Example replaces the slider 10A, 10B of the adsorption conveyance part 15, respectively. The same operation can be performed completely. Therefore, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

또한, 본 변형예에 의하면, 흡착 반송부(5, 7)가 흡착 반송부(15)로서 일체화되므로 부품수를 저감 할 수 있다. 또, 슬라이더(10A, 10B)가, 부상 스테이지(2A) 측의 임의의 위치로 이동할 수 있으므로, 기판(4)의 길이 L이 변한 경우라도 용이하게 대응할 수 있고, 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P2, P3의 위치를 용이하게 변경할 수 있는 이점이 있다.Moreover, according to this modification, since the adsorption conveyance parts 5 and 7 are integrated as the adsorption conveyance part 15, the number of parts can be reduced. In addition, since the sliders 10A and 10B can be moved to any position on the floating stage 2A side, even when the length L of the substrate 4 is changed, the sliders can be easily coped with, and the substrate delivery of the floating stage 2A is performed. There is an advantage that the positions of the regions P 2 and P 3 can be easily changed.

[제2 실시예] Second Embodiment

본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 검사 장치에 대하여 설명한다.A substrate inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described.

도 6은, 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.6 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.

본 제2 실시예의 기판 검사 장치(120)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 실시예의 기판 검사 장치(100)의 흡착 반송부(5, 6)에 대신하여, 흡착 반송 부(17, 19)(편측 반송부)를 구비하고, 흡착 반송부(7)를 삭제한 것이다. 이하, 상기 제1 실시예와 다른 점을 중심으로 설명한다.As shown in FIG. 6, the board | substrate test | inspection apparatus 120 of this 2nd Example replaces the adsorption conveyance part 17 of the board | substrate inspection apparatus 100 of the said 1st Example. 19) (one side conveyance part) is provided and the adsorption conveyance part 7 is removed. The following description focuses on differences from the first embodiment.

흡착 반송부(17)는, 기판 검사 장치(100)의 흡착 반송부(5)의 슬라이드 가이드(9)를 부상 스테이지(2A)의 기판 인도 영역 P3까지 연장하고, 부상 스테이지(2A)의 반송 방향의 대략 전체 길이의 범위에서, 슬라이더(10)를 이동할 수 있도록 한 슬라이드 가이드(18)로 대신한 것이다.Conveying the absorptive transfer unit 17, a substrate inspection device 100 is suctioning transport portion 5, the slide guide 9, the levitation stage (2A) substrate delivery area P levitation stage (2A) extends, and up to three of the In the range of approximately the entire length of the direction, the slide guide 18 is replaced so that the slider 10 can be moved.

흡착 반송부(19)는, 흡착 반송부(6)의 슬라이드 가이드(9)를 부상 스테이지(3A)의 기판 반출 영역 P4까지 연장하고, 기판(4)을 부상 스테이지(2A)와 부상 스테이지(3A)의 사이에 이동할 수 있도록 한 것이다.Absorptive transfer unit 19, the suction conveying portion (6) the slide guide (9) for levitation stage (3A) extends to the substrate carry-out area P 4, and the substrate 4, the levitation stage (2A) of the levitation stage ( It is possible to move between 3A).

이와 같은 구성에 의해, 흡착 반송부(17)에 의해 기판 반입부(1)와 검사부(2)의 범위에서, 또한, 흡착 반송부(19)에 의해 검사부(2)와 기판 반출부(3)의 범위에서, 각각 기판(4)을 반송할 수 있다. 그리고, 흡착 반송부(17, 19)의 반송 범위가 공유되는 부상 스테이지(2A) 상의 임의의 위치에서, 기판(4)을 흡착 반송부(17)로부터 흡착 반송부(19)에 인도할 수 있다. 즉, 부상 스테이지(2A) 상의 인도 위치는, 부상 스테이지(2A)의 부상 스테이지(1A) 측, 부상 스테이지(3A) 측, 또는, 그들의 중간 위치 등 임의의 위치에, 필요에 따라 선택할 수 있다.With such a configuration, in the range of the board | substrate loading part 1 and the test | inspection part 2 by the adsorption conveying part 17, and the test | inspection part 2 and the board | substrate carrying out part 3 by the adsorption conveying part 19. In the range, the substrate 4 can be transported, respectively. And the board | substrate 4 can be guided from the adsorption conveyance part 17 to the adsorption conveyance part 19 in arbitrary positions on the floating stage 2A with which the conveyance ranges of the adsorption conveyance parts 17 and 19 are shared. . That is, the delivery position on the floating stage 2A can be selected as needed at any position such as the floating stage 1A side, the floating stage 3A side, or their intermediate position of the floating stage 2A.

이와 같이, 본 제2 실시예는, 3개의 반송 스테이지에 대해서, 2개의 편측 반송부를 배치함으로써, 각 편측 반송부 사이에서 기판을 인도하여 반송하는 구성을 실현한 예로 되어 있다. 이것은, 본 발명에 있어서, 3개의 반송 스테이지에 대해서 최소한의 편측 반송부를 구비하는 구성예이다.Thus, this 2nd Example is an example which realized the structure which guides and conveys a board | substrate between each single side conveyance part by arrange | positioning two single side conveyance parts with respect to three conveyance stages. This is a structural example provided with the minimum one side conveyance part with respect to three conveyance stages in this invention.

본 제2 실시예에 의하면, 편측 반송부의 수를 제1 실시예에 비하여 저감 할 수 있다.According to the second embodiment, the number of one side conveyance portions can be reduced as compared with the first embodiment.

또, 본 제2 실시예에서는, 흡착 반송부(17, 19)가, 부상 스테이지(2A)의 반송 방향의 대략 전체 길이의 반송 범위를 공유하고 있으므로, 검사부(2) 내에서, 흡착 유지하는 단부를 좌우 교대시킬 수가 있다. 그러므로, 예를 들면, 흡착 블록(14)이 검사의 장애로 되는 검사, 예를 들면, 도 1에 나타낸 바와 같이 검사 헤드(2b)를 기판(4)의 반송 폭 방향으로 주사하는 경우이어도, 검사 헤드(2b)가 기판(4)을 흡착 유지하고 있는 측의 흡착 블록(14)과 간섭하는 경우에는, 반대측의 흡착 블록(14)에 의해 기판(4)을 바꿔 듦으로써, 각각의 단부에서의 검사가 가능해진다.Moreover, in this 2nd Example, since the adsorption conveyance parts 17 and 19 share the conveyance range of the substantially full length of the conveyance direction of the floating stage 2A, the edge part which adsorbs-holds in the inspection part 2 You can rotate left and right. Therefore, for example, even when the suction block 14 scans an inspection which becomes an obstacle of inspection, for example, when the inspection head 2b is scanned in the conveyance width direction of the substrate 4 as shown in FIG. When the head 2b interferes with the adsorption block 14 on the side holding the substrate 4 on the adsorption side, the substrate 4 is replaced by the adsorption block 14 on the opposite side, whereby Inspection is possible.

[제3 실시예]Third Embodiment

본 발명의 제3 실시예에 관한 기판 검사 장치에 대하여 설명한다.A substrate inspection apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described.

도 7은, 본 발명의 제3 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.7 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a third embodiment of the present invention.

본 제3 실시예의 기판 검사 장치(l30)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 실시예의 기판 검사 장치(100)의 검사부(2)에 대신하여, 검사부(2a, 2b)를 복수개 구비하고, 거기에 따라 흡착 반송부(6)에 대신하여 흡착 반송부(6a, 6b)(편측 반송부)를 복수개 구비하고 있다. 또한 각 검사부(2a, 2b) 사이에 흡착 반송부(70)(편측 반송부)를 추가한 것이다. 이하, 상기 제1 실시예와 다른 점을 중심 으로 설명한다.As shown in FIG. 7, the board | substrate test | inspection apparatus l30 of 3rd Example is provided with a plurality of test | inspection parts 2a and 2b instead of the test | inspection part 2 of the board | substrate test apparatus 100 of the said 1st Example. Therefore, instead of the adsorption conveyance part 6, the adsorption conveyance part 6a, 6b (one side conveyance part) is provided in multiple numbers. Moreover, the adsorption conveyance part 70 (one side conveyance part) is added between each test | inspection part 2a, 2b. Hereinafter, the differences from the first embodiment will be described.

검사부(2a, 2b)는, 패턴 검사, 리뷰 검사, 매크로 검사 등의 검사를 행하기 위한 것이며, 특히 도시하지 않지만, 각각의 검사에 따라 상이한 검사 부분을 구비한다. 검사부(2a)는, 부상 스테이지(2A)와 흡착 반송부(6a)를 구비하고, 검사부(2b)는, 부상 스테이지(2A)와 흡착 반송부(6b)를 구비한다.The inspection units 2a and 2b are for performing inspections such as pattern inspection, review inspection, macro inspection, and the like, and are not particularly illustrated, but include inspection portions that are different depending on the inspection. The inspection part 2a is equipped with the floating stage 2A and the suction conveyance part 6a, and the inspection part 2b is equipped with the floating stage 2A and the suction conveyance part 6b.

그리고, 기판 반입부(1)와 검사부(2a) 사이에서는, 제1 실시예와 마찬가지의 위치 관계에 흡착 반송부(5)가 배치되어 있다.And between the board | substrate carrying part 1 and the test | inspection part 2a, the suction conveyance part 5 is arrange | positioned in the positional relationship similar to 1st Example.

또, 흡착 반송부(70)의 슬라이드 가이드(90)는, 검사부(2a, 2b)의 인접하는 검사 영역 P3와 기판 인도 영역 P2의 각각의 중간부까지 연장되어 있다. 흡착 반송부(70)의 구성은, 슬라이드 가이드(90)의 길이가 상이할 뿐, 다른 구성은 흡착 반송부(7)와 같다.Further, the slide guide 90 of the suction conveying portion 70, and extends to the inspection unit (2a, 2b) each of the middle of the adjacent test areas P 3 and the substrate delivery portion of the region P 2. The structure of the suction conveyance part 70 differs only in the length of the slide guide 90, and the other structure is the same as that of the suction conveyance part 7. As shown in FIG.

또, 검사부(2b)와 기판 반출부(3) 사이에서는, 제1 실시예와 마찬가지의 위치 관계에 흡착 반송부(7)가 배치되어 있다.Moreover, the suction conveyance part 7 is arrange | positioned between the inspection part 2b and the board | substrate carrying out part 3 in the positional relationship similar to 1st Example.

이와 같은 구성에 의해, 제1 실시예와 마찬가지로 하여, 기판 반입부(1)에서 위치 결정된 기판(4)을 흡착 반송부(6a)에 인도할 수 있다. 그리고, 검사부(2a) 에서의 검사 후, 흡착 반송부(6a)와 흡착 반송부(70) 사이에서 반송 범위가 공유된 부상 스테이지(2A)의 검사 영역 P3에서, 기판(4)을 흡착 반송부(70)에 인도할 수 있다.With such a configuration, it is possible to guide the substrate 4 positioned in the substrate loading portion 1 to the adsorption transport portion 6a in the same manner as in the first embodiment. Then, the inspection section (2a) check then suctioning transport portion (6a) and the suction transport unit 70 from the scan area P 3 of the levitation stage (2A) is conveyed range shared between, the suction to transport the substrate 4 in the It can lead to the part 70.

흡착 반송부(70)에 흡착 유지된 기판(4)은, 마찬가지로 하여, 인접한 검사 부(2b)의 기판 인도 영역 P2까지 반송되고, 흡착 반송부(6b)에 기판을 인도할 수 있다. Suctioning transport portion of the substrate 4 to the suction (70), similarly, is conveyed to the substrate delivery area P 2 in the adjacent test portion (2b), it is possible to guide the substrate to the suction conveying portion (6b).

그리고, 검사부(2b)에서 검사 종료한 기판(4)은, 흡착 반송부(6a)에 의해, 하류측의 기판 인도 영역 P3에 반송되고, 상기 기판 인도 영역 P3에서, 기판(4)을 흡착 반송부(7)에 인도하고, 기판 반출부(3)의 흡착 반송부(7)에 의해 기판 반출 영역 P4까지 반송하여 도시하지 않은 반송 로봇에 의해 장치 외부로 반송할 수 있다.Then, the inspection section (2b) the inspection end a substrate 4, the substrate 4, and is conveyed to the substrate delivery area P 3 on the downstream side, in the substrate delivery area P 3 by the suctioning transport portion (6a) from by a transport robot (not shown) and transported to the substrate carry-out area P 4 by the suction conveyance unit 7 in the delivery to the suction conveyance unit 7, and the substrate carry-out section 3 may be returned to the external apparatus.

본 제3 실시예는, 검사부를 복수개 설치한 경우의 예로 되어 있다. 이와 같이, 본 발명에서는, 기판 반입부(1)와 기판 반출부(3) 사이에, 복수개의 검사부(2)를 증설할 수 있다.The third embodiment is an example in the case where a plurality of inspection units are provided. As described above, in the present invention, a plurality of inspection portions 2 can be added between the substrate carry-in portion 1 and the substrate carry-out portion 3.

따라서, 각각의 반송 스테이지, 편측 반송부의 반송 거리가 짧아도, 이들을 인접하여 배열함으로써, 전체의 반송 거리를 늘릴 수가 있다.Therefore, even if the conveyance distance of each conveyance stage and the one side conveyance part is short, the whole conveyance distance can be extended by arranging them adjacently.

[제4 실시예][Example 4]

본 발명의 제4 실시예에 관한 기판 검사 장치에 대하여 설명한다.A substrate inspection apparatus according to a fourth embodiment of the present invention will be described.

도 8은, 본 발명의 제4 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.8 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

본 제4 실시예의 기판 검사 장치(140)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 제1 실시예의 기판 검사 장치(100)의 부상 스테이지(1A, 2A, 3A)에 대신하여, 롤러 스테이지(1B, 2B, 3B)(반송 스테이지)를 구비한 것이다. 이하, 상기 제1 실시예와 다른 점을 중심으로 설명한다.As shown in FIG. 8, the board | substrate inspection apparatus 140 of this 4th Example replaces the floating stage 1A, 2A, 3A of the board | substrate inspection apparatus 100 of the said 1st Example, and the roller stage 1B, 2B, 3B) (conveying stage). The following description focuses on differences from the first embodiment.

롤러 스테이지(1B, 2B, 3B)는, 평면에서 볼 때 각각 부상 스테이지(1A, 2A, 3A)와 마찬가지 크기의 직사각형의 스테이지 면 상에, 일정 높이로 기판(4)을 수평 방향으로 반송하는 반송 롤러(30)가 적당한 간격으로 다수 배열된 것이다.The roller stage 1B, 2B, 3B conveys the board | substrate 4 in a horizontal direction at the fixed height on the rectangular stage surface of the same size as the floating stage 1A, 2A, 3A, respectively, in plan view. Many rollers 30 are arranged at appropriate intervals.

반송 롤러(30)로서는, 예를 들면, 롤러 스테이지(1B, 2B, 3B)의 수평면 내에서 360˚방향으로 회전 가능하게 지지된 원통 롤러나, 구형의 롤러 등을 채용할 수 있다.As the conveyance roller 30, the cylindrical roller, the spherical roller, etc. which were rotatably supported in the 360 degree direction within the horizontal surface of the roller stage 1B, 2B, 3B can be employ | adopted, for example.

이와 같은 구성에 의하면, 기판(4)이, 반송 롤러(30) 상에서 롤러 반송되는 점을 제외하고, 상기 제1 실시예와 마찬가지의 동작을 행할 수 있으므로, 상기 제1 실시예와 마찬가지의 작용 효과를 가진다.According to such a structure, since the board | substrate 4 can perform the operation similar to the said 1st Example except the point of roller conveyance on the conveyance roller 30, the effect similar to the said 1st Example is Has

그리고, 상기의 설명에서는, 반송 스테이지가 복수개 인접하여 배치된 경우의 예를 설명하였으나, 1개의 반송 스테이지가 반송 방향으로 연장 형성되어, 복수개의 편측 반송부가, 반송 방향에 직교하는 방향 중 어느 측방에 배치되고, 이들 복수개의 편측 반송부 사이에서, 기판을 인도하여 반송하는 구성으로 해도 된다. 예를 들면, 각각의 상기 실시예, 변형예에 있어서, 부상 스테이지(1A, 2A, 3A)나, 롤러 스테이지(1B, 2B, 3B) 등을 각각 일체의 반송 스테이지로 하도록 변형한 구성으로 해도 된다.In the above description, an example in which a plurality of conveying stages are disposed adjacent to each other has been described, but one conveying stage is formed to extend in the conveying direction, and a plurality of one-side conveying portions are in any side of the direction orthogonal to the conveying direction. It is good also as a structure which is arrange | positioned and guides and conveys a board | substrate between these some single side conveyance parts. For example, in each said embodiment and modified example, you may make it the structure which deform | transformed so that floating stage 1A, 2A, 3A, roller stage 1B, 2B, 3B, etc. may become an integrated conveyance stage, respectively. .

이 경우, 기판 반송 정밀도를 결정하는 편측 반송부를 반송 방향에 걸쳐 복수개로 나누는 것이 가능하므로, 예를 들면, 반송 정밀도가 필요한 1개의 검사 부분마다 편측 반송부를 분할함으로써, 반송로 전체 길이에 걸쳐서 고정밀의 반송을 행하는 편측 반송부를 1개 설치하는 경우에 비해, 간소하고 염가의 구성으로 할 수 있다.In this case, since it is possible to divide the one side conveyance part which determines the board | substrate conveyance precision into a plurality over the conveyance direction, for example, by dividing the one side conveyance part for every 1 inspection part which requires conveyance precision, Compared with the case where one one side conveyance part which conveys is provided, it can be made simple and inexpensive structure.

또, 상기의 설명에서는, 반송 스테이지가 복수개로 분할되어 있는 경우에 있어서, 기판의 인도 위치가, 인접하는 반송 스테이지의 한쪽의 단부 측에 위치하는 경우의 예를 설명하였다. 그러나, 반송 스테이지의 단차가 충분히 작은 경우에는, 도 5, 도 6에 나타낸 바와 같이, 기판이 인접하는 반송 스테이지의 양쪽에 걸치는 위치에서, 기판의 인도를 행하는 구성으로 해도 된다.Moreover, in the above description, when the conveyance stage is divided into plural, the example in the case where the delivery position of the board | substrate is located in the one edge side of the adjacent conveyance stage was demonstrated. However, when the level | step difference of a conveyance stage is small enough, as shown to FIG. 5, FIG. 6, you may make it the structure which guides a board | substrate at the position which straddles both sides of an adjacent conveyance stage.

또, 상기의 설명에서는, 복수개의 편측 반송부가, 기판의 인도 위치에서 반송 스테이지를 협지하여 대향할 수 있는 위치에 설치된 예를 설명하였다. 그러나, 기판을 인도하는 것이 가능하면, 복수개의 편측 반송부를, 반송 스테이지의 같은 방향 측의 측방에서, 반송 방향에 직교하는 방향으로 대향 할 수 있는 위치에 설치해도 된다.In addition, in the above description, a plurality of one-side conveying units have been described with examples provided at positions where the conveying stages can be opposed to each other at the delivery position of the substrate. However, if it is possible to guide a board | substrate, you may provide a some single side conveyance part in the position which can oppose to the direction orthogonal to a conveyance direction on the side of the same direction side of a conveyance stage.

또, 상기의 설명에서는, 검사부(2)가 제진대에 유지되는 것이 바람직하다고 하였지만, 필요에 따라, 어느 하나 이상의 반송 스테이지, 편측 반송부를 제진대 상에 배치하여도 된다. 본 발명에 의하면, 이와 같은 제진대는, 반송 스테이지마다, 편측 반송부마다 개별적으로 설치할 수 있으므로, 장치의 설치가 용이하게 되는 이점이 있다.In addition, in the above description, it is preferable that the inspection unit 2 is held on the vibration damping table, but any one or more conveying stages and the one-side conveying section may be disposed on the vibration damping table as necessary. According to this invention, since such a vibration damping stand can be installed individually for every conveyance stage and every single side conveyance part, there exists an advantage that installation of an apparatus becomes easy.

또, 상기에 설명한 각 실시예, 변형예의 각 구성 요소는, 기술적으로 가능하면, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 적당히 조합시켜 실시하여도 된다.In addition, as long as it is technically possible, each component of each Example demonstrated above and a modified example may be combined suitably within the range of the technical idea of this invention.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 이들 실시예에 한정되지 않는다. 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서, 구성의 부가, 생략, 치환, 및 그 외의 변경이 가능하다. 본 발명은 전술한 설명에 따라서 한정되지 않고, 첨부의 특허청구범위에 의해서만 한정된다.As mentioned above, although the preferred embodiment of this invention was described, this invention is not limited to these Examples. Additions, omissions, substitutions, and other modifications can be made without departing from the spirit of the invention. The present invention is not limited according to the above description, but only by the appended claims.

도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.1 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 2a는, 도 1의 A부의 부분 확대도이다.2A is an enlarged view of a portion A of FIG. 1.

도 2b는, 도 2a의 B를 본 정면도이다.FIG. 2B is a front view of B of FIG. 2A. FIG.

도 3은, 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치의 동작에 대하여 설명하는 평면도이다.3 is a plan view illustrating the operation of the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도 4는, 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 검사 장치의 동작에 대하여 설명하는 평면도이다.4 is a plan view for explaining the operation of the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도 5는, 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.5 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a modification of the first embodiment of the present invention.

도 6은, 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.6 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 7은, 본 발명의 제3 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.7 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a third embodiment of the present invention.

도 8은, 본 발명의 제4 실시예에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.8 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

Claims (4)

피검사대상 물체인 박판 형의 기판을 반송하기 위한 반송 스테이지와,A conveying stage for conveying a thin plate-shaped substrate as an object to be inspected, 상기 반송 스테이지의 반송 방향에 직교하는 방향 중 어느 측방에 배치되고, 상기 기판의 단부를 유지하여 상기 기판에 반송력을 가압하는 복수개의 편측 반송부A plurality of one side conveyance parts which are arrange | positioned in any side of the direction orthogonal to the conveyance direction of the said conveyance stage, hold | maintain the edge part of the said board | substrate, and pressurize a conveyance force to the said board | substrate. 를 구비하고, And 상기 복수개의 편측 반송부 사이에서 상기 기판을 차례로 인도함으로써, 상기 기판의 반송을 행하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The board | substrate test | inspection apparatus is conveyed by guiding the said board | substrate among the said one side conveyance part in order. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 반송 스테이지는, 반송 방향으로 인접하여 복수개 배치되는 동시에, 각 반송 스테이지의 인접 위치에 있어서,The conveyance stage is arranged in plural adjacent to the conveyance direction, and at the adjacent position of each conveyance stage, 인접하는 반송 스테이지 중 어느 한쪽의 단부에 상기 기판이 위치하는 상태에서,In the state where the said board | substrate is located in either end of the adjacent conveyance stage, 상기 복수개의 편측 반송부 중 1개가 상기 복수개의 편측 반송부 중 다른 1개에 상기 기판을 인도할 수 있도록, 상기 복수개의 편측 반송부가 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The said one side conveyance part is arrange | positioned so that one of the said one side conveyance part may lead the said board | substrate to the other one of the said one side conveyance part, The board | substrate inspection apparatus characterized by the above-mentioned. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 복수개의 편측 반송부 중 1개와, 상기 복수개의 편측 반송부 중 다른 1개는, 기판의 인도 위치에서 반송 스테이지를 협지하여 대향하는 위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.One of the said one side conveyance part, and the other one of the said one side conveyance part is provided in the position which opposes and opposes a conveyance stage at the delivery position of a board | substrate, The board | substrate inspection apparatus characterized by the above-mentioned. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 반송 스테이지는, 상기 기판을 가스 분사로 부상시키는 가스 부상 스테이지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The said conveyance stage is a board | substrate inspection apparatus which consists of a gas floatation stage which raises the said board | substrate by gas injection.
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