KR20150129935A - Apparatus and method for testing a substrate - Google Patents

Abstract

The present invention provides a substrate inspection apparatus and a substrate inspection method, wherein the apparatus comprises: a lifting/lowering assembly having a plurality of lifting/lowering members vertically movable; an inspection member supported by at least one lifting/lowering member among the lifting/lowering members to be attachable and detachable, and having a probe on one surface facing a stage; and a connection member installed in other lifting/lowering member among the lifting/lowering members and having a connection terminal formed to face the inspection member. The method comprises the steps of: disassembling the connection member and the inspection member; unloading the inspection member and loading other inspection member; assembling the connection member with the other inspection member; and inspecting a substrate under inspection by the other inspection member assembled with the connection member, thereby easily exchanging the inspection members which apply an inspection signal to an electrode of the substrate in a process of inspecting the substrate.

Description

기판 검사 장치 및 기판 검사 방법{Apparatus and method for testing a substrate}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate inspection apparatus,

본 발명은 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 전극에 검사 신호를 인가하는 부재를 용이하게 교체할 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate inspection apparatus and a substrate inspection method, and more particularly, to a substrate inspection apparatus and a substrate inspection method capable of easily replacing a member for applying an inspection signal to an electrode of a substrate.

OLED(Organic Light-Emitting Diode)를 제조하는 공정에서 사용되는 기판 검사 장치는 예컨대 등록특허 제10-1298933호에 개시된 바와 같이, 기판에 전원을 인가하여 단위 셀들을 점등시킨 후에 단위 셀들의 점등 상태를 광학적으로 측정함으로써 기판의 결함 발생 여부를 검사한다.A substrate inspection apparatus used in a process of manufacturing an OLED (Organic Light-Emitting Diode) is a device for inspecting a lighting state of unit cells after lighting unit cells by applying power to the substrate, for example, as disclosed in Japanese Patent No. 10-1298933 By optically measuring, it is checked whether or not the substrate is defective.

이를 위해 기판 검사 장치에는 기판의 전극에 전원을 인가하는 프로브가 구비되며, 프로브는 기판의 전극 개수 및 전극 형성 위치에 대응되도록 커버 등의 부재에 장착된다.To this end, a substrate inspecting apparatus is provided with a probe for applying power to an electrode of a substrate, and the probe is mounted on a member such as a cover so as to correspond to the electrode number of the substrate and the electrode forming position.

한편, 검사 대상 기판의 전극 개수가 변경되거나 전극 형성 위치가 변경되는 경우, 변경된 기판의 전극에 접속 가능하도록 기판 검사 장치의 프로브를 교체 장착하여야 한다. 종래에는 프로브의 교체가 요구되는 경우에 작업자가 직접 교체 작업을 수행하였다. 즉, 작업자는 기판 검사 장치의 가동을 중지시키고, 기판 검사 장치의 챔버를 개방한 후에 교체 작업을 수행하였다.On the other hand, when the number of electrodes of the substrate to be inspected is changed or the electrode forming position is changed, the probe of the substrate inspecting apparatus should be replaced so as to be connectable to the electrode of the changed substrate. Conventionally, when replacement of the probe is required, the operator directly performs the replacement operation. That is, the operator stopped the operation of the substrate inspection apparatus and performed the replacement operation after opening the chamber of the substrate inspection apparatus.

이로 인해, 종래에는 서로 다른 기판들의 검사를 하나의 기판 검사 장치로 연속적으로 수행하여야 하는 경우, 기판의 교체 시점에서 장치의 가동을 중지시킨 후 작업자가 직접 프로브를 교체 장착하여야 하는 어려움이 있었다. 또한, 교체 이후 장치의 재가동 시, 챔버의 내부 분위기를 다시 조성함에 의하여 전체 공정 시간이 증가되는 문제점이 있었다. 또한, 상술한 장치의 가동 중지 및 재가동에 의하여 전체 공정 비용이 증가되는 문제점이 있었다.
Therefore, in the past, when inspection of different substrates is to be continuously performed with a single substrate inspection apparatus, it is difficult for the operator to directly replace the probe after stopping the operation of the apparatus at the time of substrate replacement. Further, when the apparatus is restarted after the replacement, the entire process time is increased by recreating the internal atmosphere of the chamber. In addition, there is a problem that the entire process cost increases due to the operation stoppage and restart of the apparatus.

KRKR 10-129893310-1298933 B1B1

본 발명은 기판의 전극에 검사 신호를 인가하는 부재를 안정적으로 교체할 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법을 제공한다.The present invention provides a substrate inspection apparatus and a substrate inspection method capable of stably replacing a member for applying an inspection signal to an electrode of a substrate.

본 발명은 기판의 전극에 검사 신호를 인가하는 부재에 검사 신호를 공급하는 구조를 단순화시킬 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법을 제공한다.
The present invention provides a substrate inspection apparatus and a substrate inspection method capable of simplifying a structure for supplying an inspection signal to a member for applying an inspection signal to an electrode of the substrate.

본 발명의 실시 형태에 따른 기판 검사 장치는, 상하방향으로 이동 가능한 복수개의 승강부재를 구비하는 승강 어셈블리; 상기 승강부재들 중 적어도 일 승강부재에 탈착 가능하게 지지되며, 스테이지를 향하는 일면에 프로브가 구비되는 검사부재; 및 상기 승강부재들 중 타 승강부재에 장착되며, 상기 검사부재를 향하여 형성된 접속단자를 구비하는 접속부재;를 포함한다.A substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a lifting and lowering assembly including a plurality of lifting members movable in a vertical direction; An inspection member detachably supported on at least one lifting member among the elevating members and having a probe on one surface thereof facing the stage; And a connection member mounted on another elevation member of the elevation members and having a connection terminal formed toward the inspection member.

상기 승강부재들의 이동에 의하여 상기 검사부재가 상기 접속부재에 결합되거나, 상기 접속부재로부터 분리될 수 있다.The inspection member may be coupled to the connection member or separated from the connection member by movement of the elevation members.

상기 접속부재의 하부면을 마주보는 상기 검사부재의 상부면에는 상기 접속단자에 접촉 가능하도록 형성된 입력단자가 구비될 수 있고, 상기 접속부재와 상기 검사부재의 결합 및 분리에 의하여 상기 입력단자와 상기 접속단자가 전기적으로 연결 및 분리될 수 있다.And an upper surface of the inspection member facing the lower surface of the connection member may be provided with an input terminal formed to be able to contact the connection terminal, The connection terminals can be electrically connected and disconnected.

상기 승강 어셈블리는 상기 스테이지의 상측에 배치되어 상기 스테이지를 마주보는 제1 승강부재 및 상기 스테이지와 상기 제1 승강부재의 사이에 배치되어 상기 스테이지를 마주보는 제2 승강부재를 구비하고, 상기 제1 승강부재의 하부면에 상기 접속부재가 장착되며, 상기 제2 승강부재의 상부면에 상기 검사부재가 지지될 수 있다.The elevating assembly includes a first elevating member disposed on the upper side of the stage and facing the stage and a second elevating member disposed between the stage and the first elevating member and facing the stage, The connecting member is mounted on the lower surface of the elevating member, and the inspection member can be supported on the upper surface of the second elevating member.

상기 승강 어셈블리는 상기 제1 승강부재 및 제2 승강부재를 상하방향으로 이동시키도록 상기 제1 승강부재 및 제2 승강부재에 각각 장착되는 제1 구동부 및 제2 구동부를 구비하며, 상기 제1 구동부는 상기 제1 승강부재에 장착되고, 상기 제2 구동부는 상기 제1 승강부재 및 상기 제2 승강부재의 서로 마주보는 면을 연결하여 장착될 수 있다.The elevating assembly includes a first driving unit and a second driving unit mounted to the first elevating member and the second elevating member to move the first elevating member and the second elevating member in the vertical direction, Is mounted to the first elevating member, and the second driving unit can be mounted by connecting the facing surfaces of the first elevating member and the second elevating member.

상기 제1 구동부는 복수개 구비되며, 상기 스테이지의 좌우방향의 가장자리에서 외측으로 각각 이격된 위치에서 상기 제1 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착되고, 상기 제2 구동부는 복수개 구비되며, 각각의 일단이 상기 제1 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착되고, 각각의 타단이 상기 제2 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착될 수 있다.A plurality of the first driving units are mounted in the left and right edge regions of the first elevating member at positions spaced outwardly from the left and right edges of the stage respectively and a plurality of the second driving units are provided, One end of each of the first elevating members may be mounted on the edge region of the first elevating member in the left and right direction and the other end thereof may be mounted respectively on the edge region of the second elevating member in the left and right direction.

상기 제2 승강부재는, 상기 제1 구동부들의 내측에 배치되며, 전후방향으로 연장 형성되고, 좌우방향으로 각각 이격되는 지지바; 좌우방향으로 연장 형성되고, 전후방향으로 각각 이격되며, 상기 지지바들의 상측에서 상기 지지바들 각각을 연결하여 장착되는 연결바; 및 상기 제1 구동부를 마주보는 상기 지지바들의 각각의 면에 각각 장착되는 지지블록;을 포함하고, 상기 제2 구동부 각각은 상기 지지바들의 외측에서 상기 지지블록에 각각 장착될 수 있다.The second elevating member is disposed inside the first driving units, extends in the front-rear direction, and is separated from the supporting bars in the left-right direction. A connecting bar extending in the left-right direction and spaced apart in the front-rear direction, the connecting bars being connected to the supporting bars at the upper side of the supporting bars; And a support block mounted on each surface of the support bars facing the first drive unit, wherein each of the second drive units can be mounted to the support block outside the support bars, respectively.

상기 연결바들 중 일 연결바는 상기 지지바들 중 일 지지바의 일단과 이에 나란한 타 지지바의 일단을 연결하여 장착되며, 타 연결바는 상기 지지바들 중 일 지지바의 타단과 이에 나란한 타 지지바의 타단을 연결하여 장착되고, 상기 지지바들의 각각의 상부면에 상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역이 지지되며, 상기 검사부재의 탈착 시 상기 연결바와 상기 지지바 사이에 형성되는 공간으로 상기 검사부재가 통과 가능하도록 상기 연결바와 상기 지지바의 이격 거리 및 상기 연결바의 단부들 사이의 이격 거리가 형성될 수 있다.One connection bar among the connection bars is mounted by connecting one end of one support bar of the support bars and one end of the other support bar adjoining thereto and the other connection bar is connected to the other end of the one support bar among the support bars, And an edge region in the left and right direction of the inspection member is supported on the upper surface of each of the support bars, and a space formed between the connection bar and the support bar when the inspection member is detached, A distance between the connection bar and the support bar and a distance between the ends of the connection bar can be formed so that the member can pass through.

상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역의 하부면은 상기 지지바에 접촉 지지되는 제1 영역과, 이를 제외한 제2 영역으로 구분되고, 상기 프로브들은 상기 제2 영역에서 상기 제2 영역의 연장방향을 따라 구비될 수 있다.The lower surface of the edge region in the left and right direction of the inspection member is divided into a first region in contact with the support bar and a second region excluding the first region and the probes are arranged along the extension direction of the second region in the second region, .

상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역의 상부면에는 상기 프로브들과 각각 전기적으로 연결되는 복수개의 입력단자가 구비되며, 상기 입력단자들은 상기 검사부재의 상기 가장자리 영역의 길이방향을 따라 배치될 수 있다.A plurality of input terminals electrically connected to the probes are provided on the upper surface of the edge region in the left and right direction of the inspection member and the input terminals may be disposed along the longitudinal direction of the edge region of the inspection member .

상기 접속부재는 전후방향으로 연장 형성되고, 상기 제2 구동부들의 내측에서 좌우방향으로 각각 이격되어 상기 제1 승강부재에 각각 장착되며, 상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역을 각각 마주볼 수 있다.The connecting members extend in the front-rear direction and are respectively mounted on the first elevating members spaced apart from each other in the left-right direction from the inside of the second driving units, and can face the left and right edge regions of the testing member, respectively.

상기 접속단자는 복수개 구비되며, 상기 접속부재의 하부면에서 상기 입력단자의 배치 방향에 대응되도록 배치되고, 상기 승강부재들의 이동에 의하여 상기 접속부재의 상기 접속단자가 상기 검사부재의 상기 입력단자에 각각 결합되거나, 상기 검사부재의 상기 입력단자들로부터 각각 분리될 수 있다.Wherein a plurality of connection terminals are provided and arranged so as to correspond to a placement direction of the input terminal on the lower surface of the connection member and the connection terminal of the connection member is connected to the input terminal Respectively, or may be separated from the input terminals of the inspection member, respectively.

상기 검사부재를 마주보는 상기 접속부재의 하부면에는 가이드홀이 구비되고, 상기 접속부재를 마주보는 상기 검사부재의 상부면에는 상기 가이드홀에 삽입 결합 가능하도록 가이드블록이 구비되며, 상기 가이드홀과 상기 가이드블록의 결합에 의하여 상기 검사부재의 위치가 정렬될 수 있다.A guide block is provided on the upper surface of the inspection member facing the connection member so that the guide block can be inserted into the guide hole, And the position of the inspection member can be aligned by the engagement of the guide block.

상기 검사부재를 상기 승강부재에 로딩 또는 언로딩시키도록 상기 스테이지에 대하여 상하방향, 좌우방향 및 전후방향 중 적어도 한 방향으로 상기 검사부재를 이동시키는 교체부재;를 포함할 수 있다.And a replacement member for moving the test member in at least one of an up-and-down direction, a left-right direction, and a back-and-forth direction with respect to the stage so as to load or unload the inspection member on the elevation member.

본 발명의 실시 형태에 따른 기판 검사 방법은 기판을 검사하는 방법으로서, 접속부재와 이에 결합된 검사부재를 상승시키는 과정; 상기 검사부재를 하강시켜 상기 접속부재와 상기 검사부재와의 결합을 해제하는 과정; 상기 검사부재를 언로딩하고 타 검사부재를 로딩하는 과정; 상기 접속부재와 상기 타 검사부재를 결합시키는 과정; 및 상기 접속부재에 결합된 상기 타 검사부재로 검사 대상 기판을 검사하는 과정;을 포함한다.A method of inspecting a substrate according to an embodiment of the present invention is a method of inspecting a substrate, comprising: a step of raising a connecting member and an inspection member coupled thereto; And lowering the inspection member to release the connection between the connection member and the inspection member; Unloading the inspection member and loading another inspection member; Coupling the connecting member to the other inspection member; And inspecting the inspection target board with the other inspection member coupled to the connection member.

상기 접속부재와 상기 검사부재와의 결합이 해제되어 상기 검사부재와 상기 접속부재가 전기적으로 분리되고, 상기 접속부재와 상기 타 검사부재가 결합되어 상기 타 검사부재와 상기 접속부재가 전기적으로 연결될 수 있다.The connection between the connecting member and the inspection member is released so that the inspection member and the connection member are electrically disconnected and the connection member and the other inspection member are engaged so that the other inspection member and the connection member are electrically connected have.

상기 타 검사부재로 검사 대상 기판을 검사하는 과정에 있어서, 검사 대상 기판을 로딩하는 과정; 상기 접속부재와 이에 결합된 상기 타 검사부재를 하강시켜 상기 타 검사부재를 상기 기판에 접촉시키는 과정; 상기 접속부재에서 상기 타 검사부재로 검사 신호를 공급하는 과정; 및 상기 타 검사부재에서 상기 검사 대상 기판의 전극라인으로 상기 검사 신호를 인가하여 상기 검사 대상 기판의 단위 셀의 작동 여부를 검사하는 과정;을 포함할 수 있다.
A step of loading a substrate to be inspected in the step of inspecting a substrate to be inspected with the other inspecting member; A step of lowering the connection member and the other inspection member coupled to the connection member to bring the other inspection member into contact with the substrate; Supplying an inspection signal from the connecting member to the other inspection member; And inspecting whether the unit cell of the inspection target substrate is operated by applying the inspection signal from the other inspection member to the electrode line of the inspection target substrate.

본 발명의 실시 형태에 따르면, 검사부재와 접속부재를 선택적으로 이동시키거나, 동시에 이동시킬 수 있는 승강 어셈블리를 형성하고, 이로부터 검사부재와 접속부재의 결합 및 분리 작업과, 검사부재와 기판의 접촉 및 분리 작업을 안정적으로 수행할 수 있다. 또한, 검사부재와 접속부재의 각각의 결합면에 서로 결합 가능한 가이드블록과 가이드홀을 형성하고, 이로부터 이들 부재의 결합 시에 검사부재의 위치를 목적하는 위치로 정확하게 정렬시킬 수 있다. 또한, 접속부재로부터 분리된 일 검사부재를 언로딩시키고, 이어서, 타 검사부재를 로딩시킬 수 있는 교체부재를 형성하고, 이로부터 검사부재의 교체가 요구되는 경우 기 사용중인 일 검사부재를 목적하는 타 검사부재로 교체하는 작업을 용이하게 수행할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, it is possible to form a lifting assembly capable of selectively moving or simultaneously moving the inspection member and the connection member, from which the joining and separating operation of the inspection member and the connection member, The contact and separation operations can be stably performed. Further, a guide block and a guide hole, which are engageable with each other on the mating surfaces of the inspection member and the connection member, can be formed, and the position of the inspection member can be accurately aligned to the desired position when these members are engaged. Further, it is also possible to form a replacement member for unloading a test member separated from the connecting member, and then to load another test member, and to replace the test member in use when it is required to replace the test member It is possible to easily carry out the operation of replacing with another inspection member.

이와 같이, 본 발명의 실시 형태에 따르면, 검사 대상 기판의 전극 개수 또는 전극 형성 위치가 달라지는 경우에, 기판 검사 장치가 마련된 챔버 내에서 변경된 기판에 상응하도록 검사부재를 자동 교체한 후, 연속하여 기판의 검사를 수행할 수 있다. 이로부터 검사부재의 교체와 기판의 검사 과정이 연속적으로 수행될 수 있어 공정의 효율성이 향상될 수 있다.As described above, according to the embodiment of the present invention, when the number of electrodes or the electrode formation position of the substrate to be inspected changes, the inspection member is automatically replaced in correspondence with the changed substrate in the chamber provided with the substrate inspection apparatus, Can be performed. From this, the replacement of the inspection member and the inspection process of the substrate can be continuously performed, and the efficiency of the process can be improved.

또한, 본 발명의 실시 형태에 따르면 검사부재와 접속부재의 각각의 결합면에 서로 전기적 신호를 주고받을 수 있는 단자들을 형성하고, 이로부터 이들 부재를 전기적으로 연결 및 분리시키는 별도의 구조 및 과정 없이, 접속부재와 검사부재의 분리와 동시에 이들을 전기적으로 분리시키고, 접속부재와 검사부재의 결합과 동시에 이들을 전기적으로 연결시킬 수 있다.According to the embodiments of the present invention, terminals for transmitting and receiving electrical signals to and from the respective mating surfaces of the inspection member and the connection member are formed, and without a separate structure and process for electrically connecting and separating these members from the terminals , The connection member and the inspection member can be separated from each other electrically at the same time, and the connection member and the inspection member can be electrically connected to each other at the same time.

이와 같이, 본 발명의 실시 형태에 따르면, 검사부재와 접속부재를 전기적으로 연결 및 분리시키는 구조 및 과정에 이들 부재를 기계적으로 결합 및 분리시키는 구조 및 과정을 활용함으로써 장치의 구조 및 공정을 간소화시킬 수 있다.
As described above, according to the embodiment of the present invention, the structure and process of the device are simplified by utilizing the structure and process of mechanically connecting and separating the members in the structure and process of electrically connecting and disconnecting the inspection member and the connection member .

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 개략도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 분해도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 부분도.
도 4 내지 도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 모식도.
도 11은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 방법의 순서도.1 is a schematic diagram of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is an exploded view of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention;
3 is a partial view of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 to 10 are schematic views of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
11 is a flowchart of a method of inspecting a substrate according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. 단지 본 발명의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 해당분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면은 실시 예를 설명하기 위해 그 크기가 과장될 수 있고, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in various forms. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the present invention are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. The drawings may be exaggerated in size to illustrate the embodiments, wherein like reference numerals refer to like elements throughout.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치를 도시한 개략도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 각 구성부를 도시한 분해도이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 검사부재와 접속부재를 도시한 부분도이다.FIG. 1 is a schematic view showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded view showing each constituent unit of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. Fig. 3 is a partial view showing an inspection member and a connection member of the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention;

본 발명의 실시 예를 설명함에 있어서, 좌우방향(또는, 폭방향)은 도면상의 x축방향을 의미하고, 전후방향(또는, 길이방향)은 도면상의 y축방향을 의미하며, 상하방향(또는, 높이방향)은 도면상의 z축방향을 의미한다. 또한, 본 실시 예를 설명함에 있어서, 좌우방향의 가장자리 영역은 x축방향으로의 양측 가장자리 영역을 의미하며, 중심영역은 상기의 양측 가장자리 영역 사이의 내측 영역을 의미한다.In the following description of the embodiment of the present invention, the horizontal direction (or the width direction) refers to the x-axis direction in the drawing, the front-back direction (or the longitudinal direction) refers to the y- , Height direction) means the z-axis direction on the drawing. In describing the present embodiment, the left and right edge regions mean both side edge regions in the x-axis direction, and the center region means the inside region between the both side edge regions.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치는 기판(S)의 전극(미도시)에 검사 신호를 인가하여 기판(S)의 결함을 검사하는 장치로서, 진공 챔버(미도시) 내에 마련될 수 있고, 구비된 승강 어셈블리(200)를 이용하여 상기의 챔버 내에서 검사부재(300)의 교체와 기판(S)의 검사를 연속적으로 수행 가능한 장치이다.The substrate inspecting apparatus according to the embodiment of the present invention is an apparatus for inspecting a defect of a substrate S by applying an inspection signal to an electrode (not shown) of the substrate S and may be provided in a vacuum chamber And the inspection of the substrate S can be continuously carried out by using the lifting and lowering assembly 200 provided in the chamber.

이하에서는 도 1 내지 도 3을 참조하여, 기판 검사 장치를 상세히 설명한다. 기판 검사 장치는 기판(S)이 지지되는 스테이지(100), 상하방향 예컨대 스테이지의 높이방향으로 이동 가능한 복수개의 승강부재를 구비하는 승강 어셈블리(200), 승강부재들 중 적어도 일 승강부재에 탈착 가능하게 지지되며, 스테이지(100)를 향하는 일면에 프로브(Probe)(330)가 구비되는 검사부재(300), 승강부재들 중 타 승강부재에 장착되며, 검사부재(300)를 향하여 형성된 접속단자(420)를 구비하는 접속부재(400)를 포함하고, 또한, 검사부재(300) 및 기판(S)을 승강 어셈블리(200) 및 스테이지(100)에 각각 로딩시키거나 언로딩시키는 교체부재(500)를 포함할 수 있다.Hereinafter, a substrate inspection apparatus will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 3. FIG. The substrate inspection apparatus includes a stage 100 on which a substrate S is supported, a lifting assembly 200 having a plurality of lifting members vertically movable in the height direction of the stage, An inspection member 300 having a probe 330 mounted on one side thereof facing the stage 100 and a connecting terminal 300 mounted on another elevating member of the elevating members 300, 420 and a replacement member 500 for loading or unloading the inspection member 300 and the substrate S to and from the lifting assembly 200 and the stage 100, respectively, . ≪ / RTI >

기판(S)은 예컨대 행과 열을 이루어 형성된 복수개의 단위 셀과 이에 연결되는 전극을 가지는 사각판 형상의 기판일 수 있다. 기판(S)의 좌우방향의 가장자리 영역(이하, 가장자리 영역)에는 음극전극(미도시)과 양극전극(미도시)이 마련될 수 있으며, 전극들은 기판(S)의 상부면으로 노출될 수 있다. 본 실시 예에 따른 기판 검사 장치는 검사부재(300)의 프로브(330)들을 상기의 전극들에 각각 동시에 접속시킨 후, 전극들에 소정 크기의 전압을 인가하여 기판(S)의 전체 영역에 걸쳐 단위 셀들의 작동상태 예컨대 점등상태를 신속하게 검사할 수 있다.The substrate S may be a rectangular plate-shaped substrate having a plurality of unit cells formed by rows and columns and electrodes connected thereto. A cathode electrode (not shown) and an anode electrode (not shown) may be provided in the edge region (hereinafter referred to as edge region) of the substrate S in the left and right direction and the electrodes may be exposed to the upper surface of the substrate S . The substrate inspection apparatus according to the present embodiment connects probes 330 of the inspection member 300 to the electrodes at the same time and applies a predetermined voltage to the electrodes to cover the entire area of the substrate S It is possible to quickly check the operating state of the unit cells, for example, the lighting state.

스테이지(100: 110, 120)는 좌우방향 예컨대 스테이지의 폭방향으로 각각 이격되어 마련되는 제1 스테이지(110) 및 제1 스테이지(110)들의 내측에 마련되는 제2 스테이지(120)를 포함할 수 있다. 제1 스테이지(110)는 기판(S)의 가장자리 영역을 지지 가능하도록 좌우방향으로 소정 거리 이격되어 각각 배치된다. 제2 스테이지(120)는 기판(S)의 중심영역을 지지 가능하도록 제1 스테이지(110)들의 사이에 배치된다. 각 스테이지의 상부면에는 기판(S)이 안착 지지되며, 후술하는 교체부재(500)에 의한 기판(S)의 로딩 및 언로딩을 보조하도록 별도의 리프트핀(미도시)이 구비될 수 있다. 또한, 각 스테이지의 상부면에는 로딩된 기판(S)을 고정시키도록 별도의 진공척(미도시)이 구비될 수 있다.The stages 100 and 110 and 120 may include a first stage 110 and a second stage 120 provided inside the first and second stages 110 and 110, have. The first stage 110 is disposed at a predetermined distance in the lateral direction so as to support the edge region of the substrate S, respectively. The second stage 120 is disposed between the first stages 110 to support the central region of the substrate S. The substrate S is supported on the upper surface of each stage and a separate lift pin (not shown) may be provided to assist loading and unloading of the substrate S by the replacement member 500 described later. In addition, a separate vacuum chuck (not shown) may be provided on the upper surface of each stage so as to fix the substrate S loaded thereon.

정렬 유닛은 스테이지(100)를 둘러싸도록 배치될 수 있다. 정렬 유닛은 x축방향으로 이격되어 각각 배치되는 x축정렬 유닛(130) 및 y축방향으로 이격되어 각각 배치되는 y축정렬 유닛(140)을 포함할 수 있다. 본 발명의 실시 예에서는 정렬 유닛의 세부 구조 및 작동방식을 특별히 한정하지 않으며, 각각의 상단부가 스테이지(100)의 상부면의 상측에서 스테이지(100)를 향하여 슬라이딩 가능한 것을 만족하는 다양한 세부 구조 및 작동방식을 가질 수 있다. 본 실시 예에서는 예컨대 'ㄱ' 형상을 가지며, 상단부가 스테이지(100)의 상부면과 나란한 면 상에서 좌우방향 및 전후방향 중 적어도 한 방향으로 슬라이딩 가능한 정렬 유닛을 예시한다.The alignment unit may be arranged to surround the stage 100. [ The aligning unit may include an x-axis aligning unit 130 spaced apart from the x-axis direction and a y-axis aligning unit 140 spaced apart from the y-axis direction, respectively. In the embodiment of the present invention, the detailed structure and the manner of operation of the alignment unit are not particularly limited, and various detailed structures and operations that satisfy the requirement that each upper end thereof can slide toward the stage 100 from above the upper surface of the stage 100 . In this embodiment, for example, an aligning unit having an "a" shape and capable of sliding in at least one of a left-right direction and a back-and-forth direction on a surface of which the upper end is parallel to the upper surface of the stage 100 is illustrated.

기판(S)이 로딩되는 과정을 간단히 설명하면 다음과 같다. 기판(S)은 교체부재(500) 예컨대 로봇 암에 지지되어 스테이지(100)의 상측으로 이송되고, 이어서, 스테이지(100)를 향하여 하강 이송되어 스테이지(100)의 상부면에 안착 지지된다. 이때, 스테이지(100)의 상부면에는 복수의 지지핀(미도시)이 구비될 수 있고, 지지핀은 기판(S)이 하강 이송되는 동안 기판(S)에 접촉되어 기판(S)이 하강 이송되는 것을 보조할 수 있다. 스테이지(100)의 상부면에 안착된 기판(S)의 측면에는 x축 정렬유닛(130)와 y축 정렬유닛(140)의 각각의 단부가 접촉되고, 각 단부의 슬라이딩에 의하여 기판(S)은 목적하는 위치로 정렬된다. 정렬이 완료된 기판(S)은 기판지지면에 마련된 진공척에 의하여 진공 흡착되어 안정적으로 지지될 수 있다. 이어, 기판(S)이 언로딩되는 과정은 다음과 같다. 스테이지(100) 상에 로딩된 기판(S)은 교체부재(500)에 의하여 스테이지(100)의 상측으로 상승 이송되고, 이어서, 스테이지(100)의 상측에서 전후방향 예컨대 스테이지(100)의 길이방향으로 후진 이송되는 과정을 거쳐 언로딩된다.A process of loading the substrate S will be briefly described as follows. The substrate S is supported on the upper surface of the stage 100 by being lowered toward the stage 100 while being supported by the replacement member 500 such as a robot arm. At this time, a plurality of support pins (not shown) may be provided on the upper surface of the stage 100, and the support pins come into contact with the substrate S while the substrate S is being transported downward, Of the total. The x-axis aligning unit 130 and the y-axis aligning unit 140 are brought into contact with the respective sides of the substrate S which is seated on the upper surface of the stage 100, Are aligned to a desired position. The substrate S on which alignment is completed can be stably supported by vacuum adsorption by a vacuum chuck provided on the substrate supporting surface. The process of unloading the substrate S is as follows. The substrate S loaded on the stage 100 is lifted up to the upper side of the stage 100 by the replacement member 500 and then moved upward and downward from the upper side of the stage 100, And then unloaded.

검사부재(300)의 로딩 언로딩 과정에는 상술한 기판(S)의 로딩 언로딩 과정이 적용될 수 있다. 예컨대, 검사부재(300)는 교체부재(500)에 의하여 이를 지지하는 승강부재의 상측으로 상승 이송되고, 이어서, 전후방향으로 후진 이송되는 과정을 거쳐 언로딩된다.The loading unloading process of the substrate S described above may be applied to the loading unloading process of the inspection member 300. For example, the inspection member 300 is lifted up by the replacement member 500 to the upper side of the lifting member, and then unloaded through a process of being transported backward in the back-and-forth direction.

한편, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 좌우방향으로 서로 이격된 제1 스테이지(110)의 각각의 상부면을 '스테이지의 가장자리 영역'이라고 정의한다. 또한, 제1 스테이지(110)들의 사이에 형성되는 영역을 '스테이지의 중심영역'이라고 정의한다. 또한, 후술하는 도 4를 기준으로 할 때, 제1 스테이지(110)들 중 우측 방향에 위치하는 제1 스테이지(110)로부터 우측으로 이격되는 소정 영역과, 좌측 방향에 위치하는 제1 스테이지(110)로부터 좌측으로 이격되는 소정 영역을 '스테이지의 외측 영역'이라고 정의한다. 상기에서 정의된 영역들은 이하에서 승강 어셈블리(200)의 각 구성부들의 구조를 설명할 때 사용된다.
Hereinafter, for convenience of description, the upper surface of each of the first stages 110 spaced apart from each other in the left-right direction is defined as a 'edge region of the stage'. In addition, an area formed between the first stages 110 is defined as a 'center area of the stage'. 4, which will be described later, a predetermined region spaced apart from the first stage 110 located on the right side of the first stages 110 to the right and a first region 110 located on the left side of the first stage 110 Is defined as an " outer region of the stage ". The areas defined above are used below to describe the structure of each component of the lifting assembly 200.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 승강 어셈블리(200)를 설명한다. 승강 어셈블리(200)는 스테이지(100)의 상측에 배치되어 스테이지(100)를 마주보는 제1 승강부재(210), 스테이지(100)와 제1 승강부재(210)의 사이에 배치되어 스테이지(100)를 마주보는 제2 승강부재(220), 제1 승강부재(210)에 장착되는 제1 구동부(230) 및 제1 승강부재(210)와 제2 승강부재(220)의 서로 마주보는 면을 연결하여 장착되는 제2 구동부(240)를 포함할 수 있고, 제1 승강부재(210)의 승강 및 하강을 가이드하도록 제1 승강부재(210)의 적어도 일측에 장착되는 가이드부재(250)를 더 포함할 수 있다.Hereinafter, a lifting assembly 200 according to an embodiment of the present invention will be described. The elevating assembly 200 includes a first elevating member 210 disposed on the stage 100 and facing the stage 100, a second elevating member 210 disposed between the stage 100 and the first elevating member 210, A first driving part 230 mounted on the first elevating member 210 and a second driving part 230 mounted on the opposite side of the first elevating member 210 and the second elevating member 220, And a guide member 250 mounted on at least one side of the first lifting member 210 to guide the lifting and lowering of the first lifting member 210 .

한편, 이하에서는 본 실시 예를 설명함에 있어 제1 승강부재(210)와 제2 승강부재(220)를 특별히 구분하지 않아도 되는 경우에 이들을 통칭하여 승강부재라 하고, 제1 구동부(230)와 제2 구동부(240)를 특별히 구분하지 않아도 되는 경우에 이들을 통칭하여 구동부라 한다.When the first elevating member 210 and the second elevating member 220 do not need to be specifically distinguished from each other in the description of the present embodiment, they are collectively referred to as elevating members, and the first driving unit 230 and the second driving unit 230 2 drive unit 240 are collectively referred to as a drive unit.

한편, 승강 어셈블리(200)의 구동부들은 기판(S)과 검사부재(300)의 로딩 및 언로딩에 의해 기판(S)과 검사부재(300)가 구동부들과 상호 간섭되지 않도록 스테이지(100)의 외측 영역에 서로 쌍을 이루어 각각 구비된다. 이에 따라 승강 어셈블리(200)의 각 구성부들은 스테이지(100)의 전후방향으로의 중심축(미도시)을 중심으로 좌우 대칭되는 구조를 가진다. 물론, 구동부들이 배치되는 위치는 상술한 위치에 한정되지 않는다. 구동부들은 후술하는 교체부재(500) 및 검사부재(300)의 로딩, 언로딩 동작과 서로 간섭되지 않는 것을 만족하는 다양한 위치에서 승강부재들을 지지 가능하도록 배치될 수 있다.The driving parts of the lifting assembly 200 may be configured such that the substrate S and the testing member 300 are not interfered with the driving parts by the loading and unloading of the substrate S and the testing member 300, And are provided in pairs in the outer region. Accordingly, each of the components of the lifting and lowering assembly 200 has a structure that is symmetrical about the center axis (not shown) in the longitudinal direction of the stage 100. Of course, the position in which the driving portions are disposed is not limited to the above-described position. The driving parts can be arranged to support the elevating members at various positions that satisfy the condition that they do not interfere with loading and unloading operations of the replacement member 500 and the inspection member 300 which will be described later.

제1 승강부재(210)는 스테이지의 가장자리 영역 및 외측 영역의 상측을 커버 가능한 면적을 가지는 승강판(211), 승강판(211)의 가장자리 영역에 각각 형성되는 돌출부(212), 승강판(211)의 가장자리 영역에서 돌출부(212)로부터 전후방향으로 이격되어 각각 형성되는 오목부(213)를 포함할 수 있다. 이때, 접속부재(400)는 승강판(211)의 가장자리 영역의 하부면에 장착될 수 있다.The first elevating member 210 includes a lifting plate 211 having an area capable of covering the upper side of the edge region and the outer region of the stage, a protrusion 212 formed in the edge region of the lifting plate 211, And a recess 213 formed in the edge region of the protrusion 212 and spaced apart from the protrusion 212 in the forward and backward directions. At this time, the connecting member 400 may be mounted on the lower surface of the edge region of the lifting plate 211.

승강판(211)의 형상은 특별히 한정하지 않으며, 스테이지(100)의 형상에 대응하여 예컨대 사각판 형상으로 제작될 수 있다. 스테이지의 중심영역 및 가장자리 영역에 대응되는 즉, 스테이지의 중심영역과 가장자리 영역을 마주보는 승강판(211)의 중심영역에는 센서(미도시)가 구비될 수 있다. 센서는 기판(S)의 단위 셀의 작동상태 예컨대 온 오프상태를 광학적으로 측정할 수 있는 광학센서일 수 있다. 스테이지의 외측 영역에 대응되는 즉, 스테이지의 외측 영역을 마주보는 승강판(211)의 가장자리 영역은 후술하는 접속부재(400)와 구동부들이 장착 가능한 소정 면적을 가질 수 있다. 돌출부(212)는 스테이지의 가장자리 영역에 대응되는 승강판(211)의 가장자리 영역에 각각 돌출 형성되며, 이때, 승강판(211)의 좌우방향으로의 중심축(미도시)에 정렬되도록 형성될 수 있다. 돌출부(212)는 후술하는 제1 구동부(230)의 제1 승강로드(231)가 장착되도록 소정 면적을 가질 수 있다. 오목부(213)는 승강판(211)의 가장자리 영역에 각각 관통 형성되며, 이때, 전후방향으로의 중심위치로부터 동일 간격 이격된 위치에 형성될 수 있다. 오목부(213)의 형성 개수는 특별히 한정하지 않으며, 본 실시 예에서는 하나의 돌출부(212) 별로 한 쌍을 이루어 형성되는 오목부(213)를 예시한다. 오목부(213)에는 후술하는 가이드부재(250)가 장착될 수 있다.The shape of the elevated steel plate 211 is not particularly limited and may be formed in a rectangular plate shape corresponding to the shape of the stage 100, for example. A sensor (not shown) may be provided in the center area of the lifting plate 211, which corresponds to the center area and the edge area of the stage, that is, the center area of the stage and the edge area. The sensor may be an optical sensor capable of optically measuring the operating state of the unit cell of the substrate S, for example, the on-off state. The edge region of the lift plate 211 corresponding to the outer region of the stage, that is, the edge region of the lift plate 211 facing the outer region of the stage may have a predetermined area to which the connection member 400 and the driving portions described below can be mounted. The protrusions 212 may protrude from the edge region of the lift plate 211 corresponding to the edge region of the stage and may be formed so as to be aligned with the center axis (not shown) of the lift plate 211 in the left- have. The protruding portion 212 may have a predetermined area so that the first lifting rod 231 of the first driving portion 230, which will be described later, is mounted. The concave portions 213 are respectively formed in the edge regions of the lifting plate 211 and can be formed at positions spaced equidistantly from the center positions in the forward and backward directions. The number of the concave portions 213 is not particularly limited, and in this embodiment, the concave portions 213 are formed as a pair for each one of the convex portions 212. A guide member 250, which will be described later, may be mounted on the concave portion 213.

제2 승강부재(220)는 복수개의 바(bar)로 구성되는 구조체로서, 각 바들은 예컨대 웰딩 등의 방식으로 고정되어 소정 형상의 틀(frame)을 형성할 수 있고, 그 형상은 예컨대 스테이지(100)의 형상에 대응하여 사각 형상일 수 있다. 물론, 이에 한정되지 않고, 제2 승강부재(220)의 구조 및 형상은 후술하는 검사부재(300)의 양측 가장자리를 지지 가능한 소정 면적을 가지는 것을 만족하는 다양한 구조 및 형상으로 제작될 수 있다. 제2 승강부재(220)는 제1 구동부(230)들의 내측에 배치되며, 전후방향으로 연장 형성되고, 좌우방향으로 각각 이격되는 지지바(221), 좌우방향으로 연장 형성되고, 전후방향으로 각각 이격되며, 지지바(221)들의 상측에서 지지바(221) 각각을 연결하여 장착되는 연결바(222), 제1 구동부(230)를 마주보는 지지바(221)들의 각각의 면에 각각 장착되는 지지블록(223)을 포함할 수 있다. 이때, 검사부재(300)는 지지바(221)의 상부면에 탈착 가능하게 지지될 수 있다.The second elevating member 220 is a structure composed of a plurality of bars. The bars may be fixed, for example, by welding or the like to form a frame of a predetermined shape, 100 may be rectangular in shape. The structure and shape of the second elevation member 220 may be variously formed and configured to satisfy a predetermined area capable of supporting both side edges of the inspection member 300, which will be described later. The second lift member 220 is disposed inside the first drive units 230 and extends in the front-rear direction. The support bar 221 is laterally spaced apart from each other. The second lift member 220 extends in the left-right direction. A connection bar 222 mounted on each of the support bars 221 by connecting the support bars 221 on the upper side of the support bars 221 and a support bar 221 facing the first drive part 230, And a support block 223. At this time, the inspection member 300 may be detachably supported on the upper surface of the support bar 221.

지지바(221)는 복수개 구비되며, 그 연장 길이가 제1 스테이지(110)의 전후방향의 길이보다 길게 형성될 수 있고, 제1 승강부재(210)의 승강판(211)의 가장자리 영역(또는, 스테이지의 외측 영역)을 각각 마주보도록 서로 이격되어 배치될 수 있다. 이에, 지지바(221)들의 각각의 상부면에는 검사부재(300)의 좌우방향의 가장자리 영역이 지지될 수 있다. 연결바(222)는 복수개 구비되며, 연결바(222)들 중 일 연결바는 지지바(221)들 중 일 지지바의 일단과 이에 나란한 타 지지바의 일단을 연결하여 장착될 수 있다. 또한 연결바(222)들 중 타 연결바는 지지바(221)들 중 일 지지바의 타단과 이에 나란한 타 지지바의 타단을 연결하여 장착될 수 있다. 즉, 연결바의 몸체(222a)는 지지바(221)의 각 단부의 각각의 상측에서 좌우방향으로 연장 형성되고, 연결바의 양측단부(222b)는 지지부(221)의 각 단부를 향하여 즉, 상하방향으로 연장 형성된다. 연결바의 몸체(222a)와 지지바(221)사이의 이격 거리는 검사부재(300)의 후술하는 검사부재몸체(310)의 두께보다 크게 형성될 수 있고, 연결바의 단부(222b)들 사이의 이격 거리는 검사부재몸체(310)의 좌우방향의 너비보다 크게 형성될 수 있다. 이에 후술하는 검사부재(300)의 로딩 언로딩 시, 연결바(222)와 지지바(221) 사이에 형성되는 공간으로 검사부재(300)가 통과될 수 있다. 지지블록(223)은 지지바(221)들의 각각의 양 단부에 마련되며, 후술하는 제2 구동부(240)가 장착 지지될 수 있도록 적어도 하나 이상의 지지판을 구비할 수 있다. 본 실시 예에서는 지지바(221)들의 외측에서 지지바(221)의 단부에 근접하여 배치되는 제1 지지판(223a)과, 제1 지지판(223a)을 지지바(221)에 연결시키는 제2 지지판(223b)과, 이들 지지판의 구조를 보강하도록 각각을 연결하여 장착되는 제3 지지판(223c)를 구비하는 지지블록(223)을 예시한다.A plurality of support bars 221 may be provided and the extension length of the support bars 221 may be longer than the length of the first stage 110 in the anteroposterior direction and the edge area of the lift plate 211 of the first lift member 210 And the outer region of the stage), respectively. Thus, the left and right edge regions of the inspection member 300 can be supported on the upper surfaces of the support bars 221, respectively. One connecting bar 222 may be mounted by connecting one end of one supporting bar among the supporting bars 221 and one end of the other supporting bar in parallel. The other connecting bars among the connecting bars 222 may be mounted by connecting the other end of one supporting bar among the supporting bars 221 to the other end of the other supporting bar. That is, the connecting bar body 222a extends in the left-right direction from the upper side of each end of the supporting bar 221, and both side ends 222b of the connecting bar extend toward each end of the supporting portion 221, And extends in the vertical direction. The distance between the body 222a of the connection bar and the support bar 221 may be greater than the thickness of the inspection member body 310 of the inspection member 300 described later and the distance between the end 222b of the connection bar The spacing distance may be greater than the width of the inspection member body 310 in the lateral direction. The inspection member 300 can be passed through the space formed between the connection bar 222 and the support bar 221 when loading and unloading the inspection member 300 described later. The support block 223 is provided at both ends of each of the support bars 221 and may include at least one support plate for supporting and supporting the second drive unit 240 described later. A first support plate 223a disposed in the vicinity of the end of the support bar 221 on the outside of the support bars 221 and a second support plate 223b connecting the first support plate 223a to the support bar 221, A support block 223 having a first support plate 223b and a third support plate 223c mounted to be connected to each other to reinforce the structure of the support plate.

제1 구동부(230)는 복수개 구비되어 한 쌍을 이루며, 스테이지의 좌우방향의 가장자리에서 외측으로 이격된 위치인 스테이지의 외측 영역에서 제1 승강부재(210)의 승강판(211)의 가장자리 영역에 형성된 돌출부(212)들에 각각 장착될 수 있다. 제1 구동부(230)는 제1 승강로드(231) 및 제1 전동기(232)를 포함할 수 있다. 제1 전동기(232)는 예컨대 리니어 모터(linear motor)일 수 있다. 제1 전동기(232)는 제1 스테이지(110)들의 외측으로 이격되고, 스테이지(100)의 좌우방향의 중심축(미도시) 상에 정렬되는 위치에 마련될 수 있다. 제1 승강로드(231) 예컨대 구동축은 상하방향으로 소정 길이 연장되며, 제1 전동기(232)의 상측에서 제1 전동기(232)에 장착될 수 있다. 제1 승강로드(231)는 제1 전동기(232)에 의해 상하방향으로 이동되며 제1 승강부재(210)를 승강 및 하강 이송시킨다.A plurality of first driving parts 230 are provided to form a pair and are arranged at an edge area of the lifting plate 211 of the first lifting member 210 in a region outside the stage which is spaced outward from the edge in the left- Can be mounted on the protrusions 212 formed respectively. The first drive unit 230 may include a first lift rod 231 and a first electric motor 232. The first electric motor 232 may be, for example, a linear motor. The first electric motor 232 may be disposed at a position spaced outside the first stages 110 and aligned on a central axis (not shown) of the stage 100 in the left and right direction. The first lift rod 231, for example, the drive shaft may extend a predetermined length in the vertical direction and may be mounted on the first electric motor 232 on the upper side of the first electric motor 232. The first lifting rod 231 is vertically moved by the first electric motor 232 to move the first lifting member 210 up and down.

제2 구동부(240)는 복수개 구비되어 적어도 두 쌍을 이루며, 제1 구동부(230)로부터 전후방향으로 각각 이격된 스테이지의 외측 영역 상의 네 위치에 각각 구비된다. 상세하게는, 제1 승강부재(210)의 좌우방향의 가장자리 영역과 이를 마주보는 상기 제2 승강부재(220)의 지지블록(223)을 연결하여 각각 장착될 수 있다. 제2 구동부(240)의 구조는 제1 구동부(230)와 상응하며, 즉, 상하방향으로 연장되는 제2 승강로드(241)와 제2 승강로드(241)를 이동시키는 제2 전동기(242)를 구비한다. 제2 전동기(242)는 제2 승강부재(220)의 지지블록(223)들에 각각 장착되어 지지되고, 제2 승강로드(241)는 제1 승강부재(210)의 승강판(211)의 가장자리 영역에 장착된다.The plurality of second driving units 240 are provided at four positions on the outer region of the stage separated from the first driving unit 230 in forward and backward directions. Specifically, the left and right edge regions of the first elevating member 210 may be connected to the supporting blocks 223 of the second elevating member 220 facing each other. The structure of the second driving unit 240 corresponds to the first driving unit 230. That is, the second driving unit 240 includes a second lifting rod 241 extending in the vertical direction, a second motor 242 moving the second lifting rod 241, Respectively. The second electric motor 242 is mounted on and supported by the supporting blocks 223 of the second elevating member 220 and the second elevating rod 241 is supported by the supporting blocks 223 of the second elevating member 220, And is mounted on the edge area.

상술한 바와 같이 형성되는 구동부들에 의하여 제1 승강부재(210)와 제2 승강부재(220)를 동시에 이동시키거나 선택적으로 이동시킬 수 있다. 즉, 제1 구동부(230)를 구동시키고, 제2 구동부(240)를 정지시키는 경우, 제1 승강부재(210)와 제2 승강부재(220)는 동시에 이동될 수 있고, 제1 구동부(230)를 정지시키고 제2 구동부(240)를 구동시키는 경우 제2 승강부재(220)만을 선택적으로 승강 또는 하강 이동시킬 수 있다.The first elevating member 210 and the second elevating member 220 can be simultaneously moved or selectively moved by the driving units formed as described above. That is, when the first driving unit 230 is driven and the second driving unit 240 is stopped, the first elevation member 210 and the second elevation member 220 can be simultaneously moved, and the first driving unit 230 The second lifting member 220 can be selectively lifted or lowered when the second driving unit 240 is driven.

가이드부재(250)는 상하방향으로 연장 형성되고, 스테이지의 외측 영역에서 승강판(221)의 오목부(213)들에 각각 삽입 가능하도록 배치된다. 즉 가이드부재(250)는 제1 구동부(230)의 전후방향으로 각각 이격되어 오목부(213)를 상하방향으로 관통하여 배치되며, 이러한 가이드부재(250)에 의하여 제1 승강부재(210)는 승강 또는 하강 동작 시 안정적으로 지지될 수 있다. 여기서, 가이드부재(250)의 일측면에는 레일(미도시)이 형성될 수 있고, 레일을 통하여 오목부(213)의 내벽에 슬라이딩 가능하게 장착될 수 있다.The guide member 250 extends vertically and is arranged to be insertable into the concave portions 213 of the lift plate 221 in the outer region of the stage. That is, the guide members 250 are spaced apart from each other in the front-rear direction of the first driving unit 230 so as to penetrate the concave portion 213 in the vertical direction. By the guide member 250, And can be stably supported in the ascending or descending operation. Here, a rail (not shown) may be formed on one side of the guide member 250 and slidably mounted on the inner wall of the recess 213 through the rail.

검사부재(300)는 기판(S)의 전극에 전원을 인가하는 프로브(330)들이 장착되는 부재로서, 제2 승강부재(220)의 지지바(221)의 상부면에 지지되며, 검사부재몸체(310)와, 검사부재몸체(310)의 좌우방향의 가장자리 영역의 하부면에 각각 돌출 형성되어 전후방향으로 연장되는 프로브블록(320)과, 프로브블록(320)의 하측에서 프로브블록(320)를 상하방향으로 관통하여 장착되며, 프로브블록(320)의 연장방향을 따라 나열되는 복수개의 프로브(330)와, 검사부재(300)의 좌우방향의 가장자리 영역의 상부면에 구비되는 입력단자(340) 및 가이드블록(350)을 포함할 수 있다.The inspection member 300 is a member to which probes 330 for applying power to the electrodes of the substrate S are mounted and is supported on the upper surface of the support bar 221 of the second elevation member 220, A probe block 320 protruding from the lower surface of the edge region in the left and right direction of the inspection member body 310 and extending in the anteroposterior direction and a probe block 320 disposed below the probe block 320, A plurality of probes 330 mounted vertically through the probe block 320 and arranged along the extending direction of the probe block 320 and an input terminal 340 disposed on the upper surface of the edge region in the left- And a guide block 350. [0040]

검사부재몸체(310)는 스테이지의 형상에 대응되도록 예컨대 사각 판 형상으로 제작될 수 있고, 스테이지의 중심영역 및 스테이지의 가장자리영역을 마주보는 검사부재몸체(310)의 중심영역에는 사각 형상의 관통구가 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 관통구의 좌측 및 우측에 각각 위치하는 검사부재몸체(310)의 소정 영역을 검사부재몸체(310)의 가장자리 영역이라고 한다. 상기의 검사부재몸체(310)의 가장자리영역의 하부면은 제2 승강부재(220)의 지지바(221)에 접촉 지지되는 제1 영역과, 이를 제외한 제2 영역으로 구분될 수 있다. 제2 영역에는 프로브블록(330)이 돌출 형성되어 전후방향으로 연장되며, 프로브(330)들은 기판(S)의 전극을 마주보도록 제2 영역의 프로브블록(330)에 장착될 수 있고, 이때, 프로브블록(330)의 연장방향을 따라 복수개 장착될 수 있다. 검사부재몸체(310)의 가장자리 영역의 상부면에는 상기 프로브들과 각각 전기적으로 연결되는 복수개의 입력단자(340)가 구비되며, 입력단자들은 프로브(330)의 배치방향에 대응되도록 상기의 가장자리 영역의 길이방향을 따라 배치될 수 있다. 검사부재몸체(310)의 가장자리 영역의 복수의 위치에는 가이드블록(350)이 장착될 수 있다. 본 실시 예에서는 입력단자(340)들의 길이방향 양측 가장자리의 외측으로 이격되어 각각 장착되는 가이드블록(350)을 예시한다. 가이드브록(350)은 검사부재(300)가 접속부재(400)와 결합될 때, 접속부재(400)에 마련된 가이드홀(430)에 삽입 결합됨으로써 검사부재(300)의 위치를 목적하는 위치로 정렬시키는 역할을 한다. 이에 가이드블록(350)은 적어도 두개 이상 배치되어야 하며, 본 실시 예에서는 검사부재몸체(310)의 네 모서리 영역에 각각 장착되는 네 개의 가이드블록(350)를 예시한다. 또한, 가이드홀(430)에 장착될 때 그 위치가 정렬되도록 가이드블록(350)의 상단부에는 상측을 향하여 외경이 좁아지도록 경사면이 형성되고, 가이드블록(350)은 경사면을 통하여 가이드홀(430)과의 결합 시 용이하게 결합 가능하다.The inspection member body 310 may be formed, for example, in a rectangular plate shape corresponding to the shape of the stage. In the central region of the inspection member body 310 facing the center region of the stage and the edge region of the stage, Can be formed. Hereinafter, for convenience of description, a predetermined region of the inspection member body 310 located on the left and right sides of the through-hole is referred to as an edge region of the inspection member body 310. The lower surface of the edge region of the inspection member body 310 may be divided into a first region contacting and supporting the support bar 221 of the second elevation member 220 and a second region excluding the first region. The probe block 330 may protrude from the second region to extend in the front and back direction and the probes 330 may be mounted on the probe block 330 of the second region so as to face the electrode of the substrate S, A plurality of probes may be mounted along the extending direction of the probe block 330. A plurality of input terminals 340 electrically connected to the probes are provided on the upper surface of the edge region of the inspection member body 310. The input terminals are connected to the edge regions As shown in FIG. The guide block 350 may be mounted at a plurality of positions on the edge region of the inspection member body 310. In this embodiment, the guide block 350 is mounted to be spaced apart from the longitudinally opposite side edges of the input terminals 340, respectively. The guide block 350 is inserted into the guide hole 430 provided in the connection member 400 when the inspection member 300 is engaged with the connection member 400 to thereby position the inspection member 300 at a desired position Sorting. At least two guide blocks 350 should be disposed. In this embodiment, four guide blocks 350 are mounted on four corners of the inspection member body 310, respectively. The guide block 350 is formed with a guide hole 430 through an inclined surface so that the outer diameter of the guide block 350 becomes narrower toward the upper side of the guide block 350 when the guide block 430 is mounted on the guide hole 430, It is possible to easily combine with the coupling.

접속부재(400)는 제1 승강부재(210)의 승강판(211)의 하부면에 장착된다. 접속부재(400)는 전후방향으로 연장 형성되고, 제2 구동부(240)들의 사이에서 좌우방향으로 각각 이격되어 승강판(211)의 가장자리 영역에 장착되는 접속바(410)와, 접속바(410)의 하부면에서 접속바(410)의 연장방향을 따라 복수개 구비되는 접속단자(420)와, 접속바(410)의 하부면을 상하방향으로 관통하는 가이드홀(430)을 포함할 수 있다. 접속부재(400)는 접속단자(420)에 전원을 공급하도록 외부 전원에 연결될 수 있다.The connecting member 400 is mounted on the lower surface of the lifting plate 211 of the first lifting member 210. The connection member 400 extends in the front and rear direction and is separated from the second driving portions 240 in the left and right directions to be connected to the edge portion of the lift plate 211. The connection bar 410 and the connection bar 410 A plurality of connection terminals 420 provided on the lower surface of the connection bar 410 along the extension direction of the connection bar 410 and a guide hole 430 penetrating the lower surface of the connection bar 410 in the vertical direction. The connection member 400 may be connected to an external power source to supply power to the connection terminal 420.

접속바(410)는 검사부재(300)의 가장자리 영역을 마주보는 위치에 각각 배치될 수 있다. 접속바의 몸체(410a)는 승강판(211)의 하측에서 전후방향으로 연장 형성되며, 좌우방향으로 서로 이격되고, 접속바의 단부(410b)는 승강판(211)을 향하여 상하방향으로 연장 형성된다. 접속단자(420)는 검사부재(300)의 입력단자(340)에 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 즉, 접속단자(420)는 복수개 구비되어 접속바의 몸체(410a)의 하부면에서 접속바(410)의 연장 방향으로 배치될 수 있다. 이에, 승강부재들의 이동에 의하여 접속단자(420)가 검사부재(300)의 입력단자(340)에 각각 결합되거나, 입력단자(340)들로부터 각각 분리될 수 있다. 검사부재(300)의 가이드블록(350)의 위치에 대응되도록 접속바(410)의 하부면에는 가이드홀(430)이 형성될 수 있다. 가이드홀(430)은 가이드블록(350)이 삽입 가능하도록 그 내경이 형성될 수 있고, 가이드홀(430)과 가이드블록(350)의 삽입 결합에 의하여 검사부재(300)의 위치를 목적하는 위치로 정렬시킬 수 있다.The connection bar 410 may be disposed at a position facing the edge region of the inspection member 300, respectively. The connecting bar body 410a extends in the front-rear direction from the lower side of the lifting plate 211 and is spaced apart from each other in the left-right direction. The end portion 410b of the connecting bar extends vertically toward the lifting plate 211 do. The connection terminal 420 may be formed at a position corresponding to the input terminal 340 of the inspection member 300. That is, a plurality of connection terminals 420 may be provided and arranged in the extending direction of the connection bar 410 from the lower surface of the body 410a of the connection bar. The connection terminals 420 may be respectively coupled to the input terminals 340 of the inspection member 300 or separated from the input terminals 340 by the movement of the elevation members. A guide hole 430 may be formed on the lower surface of the connection bar 410 to correspond to the position of the guide block 350 of the inspection member 300. The inner circumference of the guide block 430 can be formed such that the guide block 350 can be inserted therein and the position of the test piece 300 can be adjusted to a desired position .

교체부재(500) 예컨대 로봇 암은 검사부재(300)를 제2 승강부재(220)에 로딩 또는 언로딩시키도록 스테이지(100)에 대하여 상하방향, 좌우방향 및 전후방향 중 적어도 한 방향으로 검사부재(300)를 이동시키도록 마련되는 구성부이다. 교체부재(500)는 전후방향으로 연장 형성되며, 좌우방향으로 서로 이격되는 이동부재(510) 및 이동부재(520)들의 후방에서 이동부재(510)들을 연결하는 연결부재(520)를 포함하고, 연결부재(520)는 스테이지(100)의 외측에 마련된 교체부재 구동부(미도시)에 연결되어 상하방향, 좌우방향 및 전후방향으로 이동 가능하다. 이때, 한 쌍의 이동부재(510)는 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(110)와 제2 스테이지(120)의 사이의 이격 공간에 삽입 가능하도록 서로간의 이격 거리가 형성될 수 있다.The replacement member 500 may be configured to be movable in at least one of a vertical direction, a left-right direction and a back-and-forth direction with respect to the stage 100 so as to load or unload the inspection member 300 onto the second lifting member 220, (300). The replacement member 500 includes a shifting member 510 extending in the forward and backward directions and spaced apart from each other in the left and right direction and a connecting member 520 connecting the shifting members 510 behind the shifting members 520, The connection member 520 is connected to a replacement member driving unit (not shown) provided outside the stage 100 and is movable in the up-down direction, the left-right direction, and the back-and-forth direction. At this time, as shown in FIG. 1, the pair of moving members 510 may be spaced from each other such that they can be inserted into the spacing space between the first stage 110 and the second stage 120 .

상술한 바와 같이 형성되는 기판 검사 장치는 구동부들에 의하여 승강부재들을 선택적으로 이동시켜, 검사부재(300)와 접속부재(400)를 결합시키거나, 분리시키도록 작동된다. 이때, 기판 검사 장치는 승강부재들을 동시에 이동시키는 동작과 승강부재를 선택적으로 이동시키는 동작에 대응되는 구동부를 각각 구비하고, 또한, 검사부재(300)와 접속부재(400)의 결합면에 각각을 전기적을 연결시키는 단자를 구비함으로써 기판 검사 장치의 구조 및 작동방식을 간소화하였다. 상기에서 검사부재(300)와 접속부재(400)의 결합은 기계적인 결합 및 전기적인 연결을 모두 의미한다. 기계적인 결합은 제2 구동부(230)에 의한 검사부재(300)와 접속부재(400)의 밀착 결합일 수 있고, 전기적인 연결은 검사부재(300)의 입력단자(340)와 접속부재(400)의 접속단자(420)의 접촉 연결일 수 있다.
The substrate inspecting apparatus formed as described above is operated to selectively move the elevating members by the driving units to couple or separate the testing member 300 and the connecting member 400. [ At this time, the substrate inspecting apparatus includes a driving unit for simultaneously moving the elevating members and an operation for selectively moving the elevating members, The structure and operation of the substrate inspection apparatus are simplified. In this case, the connection between the inspection member 300 and the connection member 400 means both mechanical connection and electrical connection. The mechanical coupling may be a tight coupling between the inspection member 300 and the connection member 400 by the second driving unit 230 and the electrical connection may be established between the input terminal 340 of the inspection member 300 and the connection member 400 The connection terminal 420 may be a contact connection.

도 4 내지 도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 작동 상태를 도시한 모식도이다. 또한, 도 11은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 방법의 순서도이다.FIGS. 4 to 10 are schematic views showing an operation state of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 11 is a flowchart of a substrate inspection method according to an embodiment of the present invention.

이하에서는, 도 4 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 방법을 설명한다. 이때, 상기의 기판 검사 장치의 상세한 설명과 중복되는 설명은 간단히 설명하거나 생략하기로 한다.Hereinafter, a method of inspecting a substrate according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 11. FIG. At this time, a description overlapping with the detailed description of the substrate inspection apparatus will be briefly described or omitted.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 방법은 상술한 기판 검사 장치를 이용하여 기판을 검사하는 방법으로, 예컨대 기판의 전극에 전압을 인가한 후, 기판의 단위셀의 점등 상태를 검사하는 기판 검사 방법이다. 기판 검사 방법은 접속부재(400)와 이에 결합된 검사부재(300)를 상승시키는 과정(S100)과, 검사부재(300)를 하강시켜 접속부재(400)와 검사부재(300)와의 결합을 해제하는 과정(S200)과, 검사부재(300)를 언로딩하고 타 검사부재(300')를 로딩하는 과정(S300)과, 접속부재(400)와 타 검사부재(300')를 결합시키는 과정(S400)과, 접속부재(400)에 결합된 타 검사부재(300')로 검사 대상 기판(S)의 전극에 전원을 인가하여 기판을 검사하는 과정(S500)을 포함한다. A method for inspecting a substrate according to an embodiment of the present invention is a method for inspecting a substrate using the substrate inspecting apparatus described above, for example, a substrate inspecting method for inspecting a lighting state of a unit cell of a substrate after a voltage is applied to an electrode of the substrate to be. The substrate inspection method includes a step S100 of raising the connecting member 400 and the inspection member 300 coupled thereto, a step of lowering the inspection member 300 to release the connection between the connection member 400 and the inspection member 300 (S300) of unloading the inspection member 300 and loading the other inspection member 300 ', and a process (S300) of coupling the connection member 400 and the other inspection member 300' And a step S500 of inspecting the substrate by applying power to the electrodes of the substrate S to be inspected with another inspection member 300 'coupled to the connection member 400. [

본 실시 예에 따른 기판 검사 방법은 상술한 바와 같이, 접속부재(400)로부터 분리된 일 검사부재(300)를 언로딩시키고, 이어서, 타 검사부재(300')를 로딩시킬 수 있다. 이로부터 검사 대상 기판의 전극 개수 또는 전극형성 위치가 변경되는 경우에, 기 사용중인 일 검사부재(300)를 변경된 기판에 상응하도록 마련된 타 검사부재(300')로 용이하게 교체할 수 있고, 연속하여 변경된 기판(S)을 검사할 수 있다.The substrate inspection method according to this embodiment can unload one inspection member 300 separated from the connection member 400 and then load another inspection member 300 'as described above. Therefore, when the number of electrodes or the electrode formation position of the substrate to be inspected is changed, it is possible to easily replace the workpiece 300 being used by another inspection member 300 'corresponding to the changed substrate, The changed substrate S can be inspected.

먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 접속부재(400)와 이에 결합된 검사부재(300)를 상승시킨다(S100). 상세하게는 제1 구동부를 이용하여, 제1 승강부재(210)를 상승시킨다. 이때, 제2 구동부(240)는 동작하지 않으며, 이에, 제1 승강부재(210)와 연결된 제2 승강부재(220)도 함께 상승될 수 있다.First, as shown in FIG. 4, the connecting member 400 and the inspection member 300 coupled thereto are raised (S100). Specifically, the first elevating member 210 is raised by using the first driving portion. At this time, the second driving unit 240 does not operate, and the second elevating member 220 connected to the first elevating member 210 may be elevated.

이어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 검사부재(300)를 하강시켜 접속부재(400)와 검사부재(300)와의 결합을 해제시킨다(S200). 상세하게는, 제1 구동부(230)의 작동을 정시시킨 후, 제2 구동부(240)를 작동시켜, 제2 승강부재(220)를 하강시킨다. 이에, 접속부재(400)와 검사부재(300)의 기계적인 결합 및 전기적인 연결이 해제될 수 있다.Then, as shown in FIG. 5, the inspection member 300 is lowered to release the connection between the connection member 400 and the inspection member 300 (S200). Specifically, after the operation of the first driving unit 230 is terminated, the second driving unit 240 is operated to lower the second elevating member 220. [ Thus, the mechanical connection and the electrical connection between the connection member 400 and the inspection member 300 can be released.

다음으로, 도 6에 도시된 바와 같이, 검사부재(300)를 언로딩하고 타 검사부재(300')를 로딩하는 과정(S300)을 수행한다. 상세하게는, 검사부재(300)의 하측에 교체부재(500)를 위치시킨 후, 교체부재(500)를 상승시켜 검사부재(300)를 제2 승강부재(220) 상에서 언로딩시킨다. 검사부재(300)가 언로딩된 상태를 도 7에 도시하였다. 한편, 언로딩된 검사부재(300)는 교체부재(500)에 의해 스테이지(100)의 외측에 마련된 저장 테이블(미도시)로 이송되어 저장 테이블의 일측에 저장되고, 교체부재(500)는 저장 테이블의 타측에 마련된 타 검사부재(300')를 교체부재(500) 상에 로딩한 후 제2 승강부재(220)로 이송시킨다. 이후, 도 8에 도시된 바와 같이, 교체부재(500)를 사용하여, 타 검사부재(300')를 제2 승강부재(220) 상에 로딩시킨다. 즉, 타 검사부재(300')가 지지된 교체부재(500)를 제2 승강부재(220)와 제1 승강부재(210)의 사이로 전진 이송시킨 후, 교체부재(500)를 하강시켜 타 검사부재(300')를 제2 승강부재(220) 상에 안착 지지시킨다.Next, as shown in FIG. 6, a process of unloading the inspection member 300 and loading the other inspection member 300 '(S300) is performed. Specifically, after the replacement member 500 is positioned on the lower side of the inspection member 300, the replacement member 500 is raised to unload the inspection member 300 on the second lift member 220. The unloaded state of the inspection member 300 is shown in Fig. The unloaded inspection member 300 is transferred to a storage table (not shown) provided outside the stage 100 by the replacement member 500 and stored at one side of the storage table, The other inspection member 300 'provided on the other side of the table is loaded on the replacement member 500 and then transferred to the second elevation member 220. Thereafter, as shown in FIG. 8, the replacement member 500 is used to load another test member 300 'onto the second lift member 220. That is, after the replacement member 500 supporting the other inspection member 300 'is advanced and transferred between the second elevation member 220 and the first elevation member 210, the replacement member 500 is lowered, So that the member 300 'is seated and supported on the second lifting member 220.

이어서, 접속부재(400)와 타 검사부재(300')를 결합시키는 과정(S400)을 수행한다. 이를 도 9에 도시하였다. 상세하게는 제2 구동부(240)를 이용하여 제2 승강부재(220)를 상승시켜 타 검사부재(300')를 접속부재(400)에 결합시킨다. 이로 인해, 타 검사부재(300')의 입력단자(340)와 접속부재(400)의 접속단자(420)가 접촉되어 두 부재가 전기적으로 연결된다.Next, a process of connecting the connecting member 400 and the other inspection member 300 '(S400) is performed. This is shown in Fig. The second elevating member 220 is elevated by using the second driving unit 240 and the other testing member 300 'is coupled to the connecting member 400. Thus, the input terminal 340 of the other inspection member 300 'and the connection terminal 420 of the connection member 400 are in contact with each other to electrically connect the two members.

이어서, 접속부재(400)에 결합된 타 검사부재(300')로 검사 대상 기판(S)의 전극에 전원을 인가하여 기판을 검사하는 과정(S500)을 수행한다. 상세하게는, 검사 대상 기판(S)을 로딩하는 과정과, 접속부재(400)와 이에 결합된 타 검사부재(300')를 하강시켜 타 검사부재(300')를 기판(S)에 접촉시키는 과정과, 접속부재(400)에서 타 검사부재로 검사 신호를 공급하는 과정과, 타 검사부재(300')에서 검사 대상 기판(S)의 전극으로 검사 신호를 인가하여 검사 대상 기판의 단위 셀의 작동 여부를 검사하는 과정을 수행한다.Subsequently, power is applied to the electrode of the substrate S to be inspected by the other inspection member 300 'coupled to the connection member 400 to perform inspection of the substrate (S500). Specifically, the process of loading the substrate S to be inspected and the step of lowering the connecting member 400 and the other testing member 300 'coupled thereto and bringing the other testing member 300' into contact with the substrate S A process of supplying an inspection signal to the other inspection member in the connection member 400 and a process of applying inspection signals to the electrodes of the inspection target substrate S in the other inspection member 300 ' Perform the process of checking whether it works.

검사 대상 기판(S)은 교체부재(500)에 의하여 스테이지(100)의 상측으로 이송된 뒤, 교체부개(500)가 하강하면서 스테이지(100)의 상부면에 안착 지지된다. 이후, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 구동부(230)를 작동시켜 제1 승강부재(210) 및 제2 승강부재(220)를 동시에 하강시킨다. 이에 타 검사부재(300')가 기판(S)을 향하여 하강되며, 프로브(330)의 단부가 기판(S)의 전극에 접속될 수 잇다. 기판(S)의 전극과 프로브(330)의 접속이 완료되면, 접속부재(400)의 접속단자(420)와 이에 접촉된 타 검사부재(300')의 입력단자(340)와 이에 접촉된 기판(S)의 전극이 전기적으로 연결되며, 형성된 전기적 경로를 통하여 기판(S)에 소정의 전압을 인가함으로써 기판(S)의 단위 셀을 점등시킨다. 이후, 단위셀의 점등 상태를 광학적으로 측정하여 기판(S)의 결함 여부를 검사할 수 있다.The substrate S to be inspected is transferred to the upper side of the stage 100 by the replacement member 500 and is then seated and supported on the upper surface of the stage 100 while the replacement support 500 is lowered. Then, as shown in FIG. 10, the first driving unit 230 is operated to lower the first elevating member 210 and the second elevating member 220 simultaneously. The other inspection member 300 'is lowered toward the substrate S and the end of the probe 330 can be connected to the electrode of the substrate S. [ When the connection between the electrode of the substrate S and the probe 330 is completed, the connection terminal 420 of the connection member 400 and the input terminal 340 of the other inspection member 300 ' And a unit cell of the substrate S is lighted by applying a predetermined voltage to the substrate S through the formed electrical path. Thereafter, whether or not the substrate S is defective can be checked by optically measuring the lighting state of the unit cell.

기판(S)의 결함 여부가 확인되면, 제1 구동부를 이용하여 제1 승강부재(210) 및 제2 승강부재(220)를 상승시켜, 기판(S)과 타 검사부재(300')의 접촉을 해제시키고, 검사가 완료된 기판(S)을 언로딩 한 후, 검사가 요구되는 기판을 로딩시킨다. 기판의 검사를 반복 수행하는 도중에, 타 검사부재(300')의 교체가 요구되는 경우 상기의 과정들을 반복 수행함으로써 타 검사부재(300')를 목적하는 검사부재로 교체시킬 수 있다.
The first elevating member 210 and the second elevating member 220 are raised by using the first driving unit so that the contact between the substrate S and the other inspection member 300 ' Unloads the substrate S which has been inspected, and then loads the substrate to be inspected. During the repeated inspection of the substrate, if the replacement of the other inspection member 300 'is required, the other inspection member 300' can be replaced with the desired inspection member by repeating the above processes.

본 발명은 기판의 전극라인에 전압을 인가하여 기판의 단위셀의 결함을 검사하는 공정 및 장치의 경우가 예시되었으나, 이외의 다양한 기판 검사 공정 및 이를 수행하는 장치에도 적용될 수 있다. 한편 본 발명의 상기 실시 예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명이 해당하는 기술분야에서의 업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
Although the present invention is applied to a process and an apparatus for inspecting defects in a unit cell of a substrate by applying a voltage to an electrode line of the substrate, the present invention can be applied to various substrate inspecting processes and apparatuses for performing the same. It should be noted, however, that the above-described embodiment of the present invention is for the purpose of explanation and not for the purpose of limitation. It is to be understood that various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the scope of the present invention.

100: 스테이지 200: 승강 어셈블리
300: 검사부재 400: 접속부재100: stage 200: lift assembly
300: inspection member 400: connecting member

Claims (15)

상하방향으로 이동 가능한 복수개의 승강부재를 구비하는 승강 어셈블리;
상기 승강부재들 중 적어도 일 승강부재에 탈착 가능하게 지지되며, 스테이지를 향하는 일면에 프로브가 구비되는 검사부재; 및
상기 승강부재들 중 타 승강부재에 장착되며, 상기 검사부재를 향하여 형성된 접속단자를 구비하는 접속부재;를 포함하고,
상기 승강부재들의 이동에 의하여 상기 검사부재가 상기 접속부재에 결합되거나, 상기 접속부재로부터 분리되는 기판 검사 장치.
An elevating assembly including a plurality of elevating members movable in a vertical direction;
An inspection member detachably supported on at least one lifting member among the elevating members and having a probe on one surface thereof facing the stage; And
And a connection member mounted on another elevation member of the elevation members and having a connection terminal formed toward the inspection member,
Wherein the inspection member is coupled to the connection member or separated from the connection member by movement of the elevation members.
청구항 1에 있어서,
상기 승강 어셈블리는 상기 스테이지의 상측에 배치되어 상기 스테이지를 마주보는 제1 승강부재 및 상기 스테이지와 상기 제1 승강부재의 사이에 배치되어 상기 스테이지를 마주보는 제2 승강부재를 구비하고,
상기 제1 승강부재의 하부면에 상기 접속부재가 장착되며,
상기 제2 승강부재의 상부면에 상기 검사부재가 지지되는 기판 검사 장치.
The method according to claim 1,
The elevating assembly includes a first elevating member disposed on the upper side of the stage and facing the stage, and a second elevating member disposed between the stage and the first elevating member and facing the stage,
The connecting member is mounted on a lower surface of the first elevating member,
And the inspection member is supported on an upper surface of the second elevation member.
청구항 2에 있어서,
상기 승강 어셈블리는 상기 제1 승강부재 및 제2 승강부재를 상하방향으로 이동시키도록 상기 제1 승강부재 및 제2 승강부재에 각각 장착되는 제1 구동부 및 제2 구동부를 구비하며,
상기 제1 구동부는 상기 제1 승강부재에 장착되고,
상기 제2 구동부는 상기 제1 승강부재 및 상기 제2 승강부재의 서로 마주보는 면을 연결하여 장착되는 기판 검사 장치.
The method of claim 2,
The elevating assembly includes a first driving unit and a second driving unit mounted to the first elevating member and the second elevating member to move the first elevating member and the second elevating member in the vertical direction,
Wherein the first driving unit is mounted on the first elevating member,
And the second driving unit connects the facing surfaces of the first elevating member and the second elevating member to each other.
청구항 3에 있어서,
상기 제1 구동부는 복수개 구비되며, 상기 스테이지의 좌우방향의 가장자리에서 외측으로 각각 이격된 위치에서 상기 제1 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착되고,
상기 제2 구동부는 복수개 구비되며, 각각의 일단이 상기 제1 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착되고, 각각의 타단이 상기 제2 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착되는 기판 검사 장치.
The method of claim 3,
A plurality of the first driving units are mounted to the left and right edge regions of the first elevating member at positions spaced outward from the edge of the stage in the right and left direction,
Wherein a plurality of the second driving portions are provided and each end of each of the second driving portions is mounted on an edge region of the first elevating member in the left and right direction and the other end of each of the second driving portions is mounted on the edge region of the second elevating member, Device.
청구항 4에 있어서,
상기 제2 승강부재는,
상기 제1 구동부들의 내측에 배치되며, 전후방향으로 연장 형성되고, 좌우방향으로 각각 이격되는 지지바;
좌우방향으로 연장 형성되고, 전후방향으로 각각 이격되며, 상기 지지바들의 상측에서 상기 지지바들 각각을 연결하여 장착되는 연결바; 및
상기 제1 구동부를 마주보는 상기 지지바들의 각각의 면에 각각 장착되는 지지블록;을 포함하고,
상기 제2 구동부 각각은 상기 지지바들의 외측에서 상기 지지블록에 각각 장착되는 기판 검사 장치.
The method of claim 4,
The second elevating member
A support bar disposed inside the first drive units, extending in the front-rear direction, and spaced apart in the left-right direction;
A connecting bar extending in the left-right direction and spaced apart in the front-rear direction, the connecting bars being connected to the supporting bars at the upper side of the supporting bars; And
And a support block mounted on each side of the support bars facing the first drive unit,
And each of the second driving portions is mounted on the support block on the outside of the support bars.
청구항 5에 있어서,
상기 연결바들 중 일 연결바는 상기 지지바들 중 일 지지바의 일단과 이에 나란한 타 지지바의 일단을 연결하여 장착되며, 타 연결바는 상기 지지바들 중 일 지지바의 타단과 이에 나란한 타 지지바의 타단을 연결하여 장착되고,
상기 지지바들의 각각의 상부면에 상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역이 지지되며,
상기 검사부재의 탈착 시 상기 연결바와 상기 지지바 사이에 형성되는 공간으로 상기 검사부재가 통과 가능하도록 상기 연결바와 상기 지지바의 이격 거리 및 상기 연결바의 단부들 사이의 이격 거리가 형성되는 기판 검사 장치.
The method of claim 5,
One connection bar among the connection bars is mounted by connecting one end of one support bar of the support bars and one end of the other support bar adjoining thereto and the other connection bar is connected to the other end of the one support bar among the support bars, Respectively,
The left and right edge regions of the inspection member are supported on the upper surfaces of the support bars,
Wherein a distance between the connecting bar and the supporting bar and a distance between the end portions of the connecting bar are formed so that the inspection member can pass through the space formed between the connecting bar and the supporting bar when the inspection member is detached, Device.
청구항 6에 있어서,
상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역의 하부면은 상기 지지바에 접촉 지지되는 제1 영역과, 이를 제외한 제2 영역으로 구분되고,
상기 프로브들은 상기 제2 영역에서 상기 제2 영역의 연장방향을 따라 구비되는 기판 검사 장치.
The method of claim 6,
The lower surface of the edge region in the left and right direction of the inspection member is divided into a first region which is contact-supported by the support bar and a second region excluding the first region,
Wherein the probes are provided along the extending direction of the second region in the second region.
청구항 6에 있어서,
상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역의 상부면에는 상기 프로브들과 각각 전기적으로 연결되는 복수개의 입력단자가 구비되며,
상기 입력단자들은 상기 검사부재의 상기 가장자리 영역의 길이방향을 따라 배치되는 기판 검사 장치.
The method of claim 6,
A plurality of input terminals electrically connected to the probes are provided on an upper surface of the edge region in the left and right direction of the inspection member,
Wherein the input terminals are disposed along a longitudinal direction of the edge region of the inspection member.
청구항 8에 있어서,
상기 접속부재는 전후방향으로 연장 형성되고, 상기 제2 구동부들의 내측에서 좌우방향으로 각각 이격되어 상기 제1 승강부재에 각각 장착되며, 상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역을 각각 마주보는 기판 검사 장치.
The method of claim 8,
The connecting member extends in the front-rear direction and is mounted on the first elevating member and is spaced apart in the left-right direction from the inside of the second driving portions, .
청구항 9에 있어서,
상기 접속단자는 복수개 구비되며, 상기 접속부재의 하부면에서 상기 입력단자의 위치에 대응되도록 배치되고,
상기 승강부재들의 이동에 의하여 상기 접속부재의 상기 접속단자가 상기 검사부재의 상기 입력단자에 각각 결합되거나, 상기 검사부재의 상기 입력단자들로부터 각각 분리되는 기판 검사 장치.
The method of claim 9,
A plurality of connection terminals provided on the lower surface of the connecting member so as to correspond to positions of the input terminals,
Wherein the connection terminals of the connection member are respectively coupled to the input terminals of the inspection member or separated from the input terminals of the inspection member by movement of the elevation members.
청구항 9에 있어서,
상기 검사부재를 마주보는 상기 접속부재의 하부면에는 가이드홀이 구비되고,
상기 접속부재를 마주보는 상기 검사부재의 상부면에는 상기 가이드홀에 삽입 결합 가능하도록 가이드블록이 구비되며,
상기 가이드홀과 상기 가이드블록의 결합에 의하여 상기 검사부재의 위치가 정렬되는 기판 검사 장치.
The method of claim 9,
A guide hole is provided on a lower surface of the connecting member facing the inspection member,
A guide block is provided on an upper surface of the inspection member facing the connection member so as to be insertable into the guide hole,
And the position of the inspection member is aligned by the combination of the guide hole and the guide block.
청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 하나에 있어서,
상기 검사부재를 상기 승강부재에 로딩 또는 언로딩시키도록 상기 스테이지에 대하여 상하방향, 좌우방향 및 전후방향 중 적어도 한 방향으로 상기 검사부재를 이동시키는 교체부재;를 포함하는 기판 검사 장치.
The method according to any one of claims 1 to 11,
And a replacement member which moves the inspection member in at least one of a vertical direction, a left-right direction and a back-and-forth direction with respect to the stage so as to load or unload the inspection member on the elevation member.
기판을 검사하는 방법으로서,
접속부재와 이에 결합된 검사부재를 상승시키는 과정;
상기 검사부재를 하강시켜 상기 접속부재와 상기 검사부재와의 결합을 해제하는 과정;
상기 검사부재를 언로딩하고 타 검사부재를 로딩하는 과정;
상기 접속부재와 상기 타 검사부재를 결합시키는 과정; 및
상기 접속부재에 결합된 상기 타 검사부재로 검사 대상 기판을 검사하는 과정;을 포함하는 기판 검사 방법.
A method of inspecting a substrate,
A step of raising the connecting member and the inspection member coupled thereto;
And lowering the inspection member to release the connection between the connection member and the inspection member;
Unloading the inspection member and loading another inspection member;
Coupling the connecting member to the other inspection member; And
And inspecting the inspection target board with the other inspection member coupled to the connection member.
청구항 13에 있어서,
상기 접속부재와 상기 검사부재와의 결합이 해제되어 상기 검사부재와 상기 접속부재가 전기적으로 분리되고,
상기 접속부재와 상기 타 검사부재가 결합되어 상기 타 검사부재와 상기 접속부재가 전기적으로 연결되는 기판 검사 방법.
14. The method of claim 13,
The connection between the connecting member and the inspection member is released, the inspection member and the connection member are electrically separated,
Wherein the connection member and the other inspection member are coupled to each other so that the other inspection member and the connection member are electrically connected.
청구항 14에 있어서,
상기 타 검사부재로 검사 대상 기판을 검사하는 과정에 있어서,
검사 대상 기판을 로딩하는 과정;
상기 접속부재와 이에 결합된 상기 타 검사부재를 하강시켜 상기 타 검사부재를 상기 기판에 접촉시키는 과정;
상기 접속부재에서 상기 타 검사부재로 검사 신호를 공급하는 과정; 및
상기 타 검사부재에서 상기 검사 대상 기판의 전극라인으로 상기 검사 신호를 인가하여 상기 검사 대상 기판의 단위 셀의 작동 여부를 검사하는 과정;을 포함하는 기판 검사 방법.
15. The method of claim 14,
In the process of inspecting the inspection target substrate with the other inspection member,
A step of loading a substrate to be inspected;
A step of lowering the connection member and the other inspection member coupled to the connection member to bring the other inspection member into contact with the substrate;
Supplying an inspection signal from the connecting member to the other inspection member; And
And inspecting whether the unit cell of the inspection target substrate is operated by applying the inspection signal to the electrode line of the inspection target substrate from the other inspection target member.

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