KR20150078122A - 필름 부착 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 초음파 진동부(A)를 이용하여, 그 초음파 진동에 의하여 발생되는 비접촉 척력을 기판의 일면에 가하여, 상기 기판의 일면을 비접촉 지지하면서, 가압롤러를 이용하여, 상기 기판의 타면에 필름을 가압하여 부착하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법을 제공한다. 상기 초음파 진동부(A)는, 상기 기판의 일면을 대향하는 초음파 진동체와, 상기 초음파 진동체를 가진시키는 초음파 가진부를 포함할 수 있다. 또한, 본 발명은, 초음파 ,진동에 의하여 발생되는 비접촉 척력을 기판의 일면에 가하여, 상기 기판의 일면을 비접촉 지지하는 초음파 진동부(A)와 상기 기판의 타면에 필름을 가압하여 부착하는 가압롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치를 제공한다.
Description
본 발명은 필름 부착 방법 및 장치 에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판의 일면을 비접촉 지지하면서, 타면에 필름을 부착하는 필름 부착 방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적으로 기판의 표면에는 일정 목적을 가지고 필름을 부착하는 경우가 있다. 예컨대, 기판의 표면의 스크래치 및 오염 등의 방지를 위하여 보호 필름을 부착하거나, 특수 용도의 기능성 필름을 부착하는 것이 이에 해당된다.
도1은 종래의 양면 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도시한 바와 같이, 필름의 부착이 요구되는 면은 한쪽 면일 뿐이더라도, 다른 쪽 면의 표면 손상을 방지하기 위해, 양면에 필름을 부착한다. 따라서, 불필요하게 양면에 필름이 사용되어 소모품비의 상승을 유발하는 문제점이 있었다.
?도 2 및 3은 종래의 단면 필름 부착 방법을 보여주는 도면이다.
표면 품질이 상대적으로 덜 중요한 기판에는, 기판의 한쪽 면(B면)은 롤러(B)를 이용하여 필름을 기판에 가압하여 부착하고, 기판의 다른 면(A면)은 소프트한 재질(예컨대 실리콘)의 롤러(A)를 기판에 접촉하게 하여 지지한다. 그러나, 연속적으로 사용함에 따라 롤러가 오염 및 손상되어 A면에 스크래치, 오염 등의 손상이 야기됨은 전술한 바와 같다.
도 4는 종래의 또 다른 단면 필름 부착 방법을 보여주는 도면이다.
스티키 롤러를 롤러(A)에 구름 접촉시켜, 기판에 접촉하는 롤러(A)의 표면을 깨끗한 상태로 유지한다. 그러나, 이 경우 스티키 롤러의 점착 성분이 롤러(A)를 통하여 기판의 표면에 전사되어 스테인 등의 불량을 유발하는 문제점이 있었다.
도 5는 종래의 또 다른 단면 필름 부착 방법을 보여주는 도면이다.
종래의 양면 필름 부착 방법에서 A면에 부착된 필름을 제거한다. 그러나, 이 경우 필름 자체의 점착 성분이 기판의 표면에 전사되어 오염을 발생시키는 문제점이 있었다. 또한 지속적인 제거용 필름 사용에 따른 원가 상승의 요인이 발생하는 문제점이 있었다.
한편, 에어 플로팅과 같은 비접촉 기술을 접목하여 기판의 A면과 접촉하지 않고 지지하는 기술도 제안된 바 있다. 그러나, 이 경우 과도한 유틸리티 비용이 야기된다. 또한, 필름을 접합하기 위하여 일정 압력을 가할 경우 에어가 충분한 척력을 가지지 못하여 기판과 롤러가 접촉되는 문제점이 빈번하게 발생하였다. 또한 에어에 의하여 기판 표면이 오염되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은, 기판의 양면에 스크래치, 오염 등의 손상을 주지 않으면서도, 한쪽 면에만 필름을 안정적으로 부착할 수 있도록 하는데 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 초음파 진동부(A)를 이용하여, 그 초음파 진동에 의하여 발생되는 비접촉 척력을 기판의 일면에 가하여, 상기 기판의 일면을 비접촉 지지하면서, 가압롤러를 이용하여, 상기 기판의 타면에 필름을 가압하여 부착하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법을 제공한다.
상기 초음파 진동부(A)는, 상기 기판의 일면을 대향하는 초음파 진동체와, 상기 초음파 진동체를 가진시키는 초음파 가진부를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명은, 초음파 진동에 의하여 발생되는 비접촉 척력을 기판의 일면에 가하여, 상기 기판의 일면을 비접촉 지지하는 초음파 진동부(A)와 상기 기판의 타면에 필름을 가압하여 부착하는 가압롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치를 제공한다.
상기한 구성에 따르면, 본 발명은 기판의 양면에 스크래치, 오염 등의 손상을 주지 않으면서도, 한쪽 면에만 필름을 안정적으로 부착할 수 있는 효과가 있다. 따라서, 본 발명을 통하여 기판의 표면 품질을 우수하게 유지하면서도, 소모품의 사용량을 절반으로 줄여 제품의 원가 경쟁력을 제고할 수 있다.
도1은 종래의 양면 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2 및 3은 종래의 단면 필름 부착 방법을 보여주는 도면이다.
도 4는 종래의 또 다른 단면 필름 부착 방법을 보여주는 도면이다.
도 5는 종래의 또 다른 단면 필름 부착 방법을 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다. ?
도 7은 도 6의 초음파 진동부를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 8은 초음파 진동부와 기판 사이의 거리와 척력의 관계를 보여주는 도면이다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름 부착 방법의 필름 부착 과정을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 13은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 14는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 15는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 16은 본 발명의 제 7 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 17은 도 16의 낱장 기판과 낱장 기판 사이의 필름 절단 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 18 내지 도 22는 본 발명의 제 8 실시예에 따른 필름 부착 방법의 필름 부착 과정을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 23은 본 발명의 제 9 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 24 및 도 25는 본 발명의 제 10 실시예에 따른 가압롤러에 필름이 흡착되는 과정을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2 및 3은 종래의 단면 필름 부착 방법을 보여주는 도면이다.
도 4는 종래의 또 다른 단면 필름 부착 방법을 보여주는 도면이다.
도 5는 종래의 또 다른 단면 필름 부착 방법을 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다. ?
도 7은 도 6의 초음파 진동부를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 8은 초음파 진동부와 기판 사이의 거리와 척력의 관계를 보여주는 도면이다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름 부착 방법의 필름 부착 과정을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 13은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 14는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 15는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 16은 본 발명의 제 7 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 17은 도 16의 낱장 기판과 낱장 기판 사이의 필름 절단 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 18 내지 도 22는 본 발명의 제 8 실시예에 따른 필름 부착 방법의 필름 부착 과정을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 23은 본 발명의 제 9 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 24 및 도 25는 본 발명의 제 10 실시예에 따른 가압롤러에 필름이 흡착되는 과정을 개략적으로 보여주는 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다. ?
기판은 유리 기판일 수 있다. 또한, 기판은 플렉서블한 재질의 기판일 수도 있고, 하드한 재질의 기판일 수도 있다. 플렉서블한 재질의 기판은 도 6에서와 같은 필름 부착 방법을 이용하고, 하드한 재질의 기판은 도 16에서와 같은 필름 부착 방법을 이용할 수 있을 것이다.
박형 (0.2mm 이하) 유리 기판의 경우, 기판이 유연하여 연속 공정으로 구성될 수 있다. 이렇듯 유연하고 길이 방향으로 연속적인 기판을 웹이라 한다. 이러한 웹은 연속 공정으로 본 발명의 필름 부착 외에 가공, 인쇄 등의 공정을 거칠 수 있다.
도 6의 필름 부착 장치는 초음파 진동부(A)와 가압롤러(Pressure Roller)를 포함한다.
초음파 진동부(A)는 초음파 진동된다. 초음파 진동부에는 초음파 가진 기술(공개특허 KR 2010-0057530)이 사용된다. 초음파 진동부는 그 초음파 진동에 의하여 발생되는 비접촉 척력을 기판의 일면(A면)에 가하여 기판의 일면을 비접촉 지지한다. 상기 초음파 진동부(A)는 가압롤러의 상류에 설치되는 초음파 진동부(A1) 및 하류에 설치되는 초음파 진동부(A2)를 포함한다. 여기서, 상류 및 하류는 기판의 이송로를 기준으로 한다.
가압롤러는 기판의 타면에 필름을 가압하여 부착한다. 가압롤러는, 기판의 일면이 양의 곡률면을 이루도록 (따라서, 기판의 타면은 음의 곡률면을 이루도록) 하는 가압력으로 필름이 부착된 기판을 가압한다. 기판을 대향하는 초음파 진동부(A)의 대향면은 적어도 일 부위가 기판의 양의 곡률면에 대응되는 곡면을 갖는다.
가압롤러로부터 접촉 가압력(FPR)과 초음파 진동부의 비접촉 척력(구속력)(F1 및 F2)이 균형을 이루어 기판의 양면에 각각 가해진다. 박형 유리와 같이 취성 재료의 파손을 방지하기 위하여 기판을 완만하게 가압하도록 구성되어 있다. 또한, 가압롤러의 접촉 가압력과 초음파 진동부의 비접촉 척력을 조절하여 그 크기를 변경할 수 있다.
아래 표 1은 종래의 필름 부착 방법과 본 발명의 필름 부착 방법을 비교한 것이다.
롤러& 롤러 |
롤러& 스티키롤러 |
필름 부착& 제거 |
롤러& 초음파진동부 |
|
A면 접촉 | 롤러 | 롤러 | 필름 | 무 |
스크래치 | 고 | 중 | 저 | 무 |
스테인 | 고 | 중 (점착 성분 전사) |
저 | 무 |
소모비용 | 무 | 중 | 고 | 무 |
종합 | 나쁨 | 보통 | 좋음 | 매우 좋음 |
표 1에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 필름 부착 방법은 필름을 부착하지 않는 A면에 기계적 접촉이 없으므로, 스크래치가 발생하지 않는다. 또한, 점착성 테이프나 필름을 사용하지 않으므로 오염(Stain)이 발생하지 않는다. 또한, 소모품 비용이 발생하지 않는 이점을 갖는다. B면은 가압롤러와의 사이에 필름이 개재되기 때문에, 기판과 가압롤러가 직접적으로 접촉하지 않아, 기판 표면에 손상을 주지 않는다.
도시하지는 않았지만, 기판을 권출롤러로부터 권출하여 상기 필름을 부착한 후 권취롤러에 권취하는 것이 바람직하다. (롤투롤 프로세스)
도 7은 도 6의 초음파 진동부를 개략적으로 보여주는 도면이다.
초음파 진동부(A)는 기판의 일면을 대향하는 초음파 진동체 (초음파 진동 테이블)와, 초음파 진동체를 가진시키는 초음파 가진부를 포함한다. 또한, 초음파 진동체를 지지하는 프레임을 포함한다. 또한, 초음파 진동체와 프레임 사이에 설치되어 초음파 진동체의 진동이 프레임에 전달되지 않도록 진동 전달을 차단하는 진동 흡수부를 포함한다. 초음파 진동에 의하여 초음파 진동체의 표면에 일정 압력의 공기층이 형성되어 기판을 안정적으로 밀어내는 힘(척력, Repelling force)이 발생하여 기판과의 기계적인 접촉을 방지하여 기판 표면의 손상을 방지한다.
도 8은 초음파 진동부와 기판 사이의 거리와 척력의 관계를 보여주는 도면이다.
초음파 진동부와 기판 사이의 거리가 가까워질수록 공기층의 압력이 더 커지기 때문에 가압롤러와 초음파 진동부의 사이의 간격을 줄이면서 필름을 부착할 수 있는 압력을 형성할 수 있다. 높은 공기층의 압력 때문에 기판이 초음파 진동부에 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름 부착 방법의 필름 부착 과정을 개략적으로 보여주는 도면이다.
본 실시예에 따른 필름 부착 장치는, 초음파 진동부(A) 및 가압롤러 외에, 초음파 진동부(B), 이송롤러, 권출롤러 및 일정힘 인가부(B)를 포함한다.
초음파 진동부(B)는 가압롤러의 상류에 설치된다. 초음파 진동부(B)를 이용하여, 그 초음파 진동에 의하여 발생되는 비접촉 척력을 상기 기판의 타면에 가하여 상기 기판의 타면을 비접촉 지지한다.
이송롤러는 가압롤러의 하류에서 설치된다. 이송롤러는 기판의 타면에 부착된 필름과 접촉하며 기판을 이송한다.
권출롤러는 필름을 권출하여 기판의 타면에 공급한다.
일정힘 인가부는, 기판을 향하여 가압롤러에 일정힘을 가하여, 필름 및 기판에 일정한 크기의 접촉 가압력이 가해지게 된다. 도 9 내지 도 11에서는 일정힘 인가부로서 실린더를 예시하고 있으나, 이에 한정되지 않는다. 예컨대 일정한 중량체, 스프링 등 다양한 변형예가 가능하다.
필름 부착 과정을 살펴보면, 먼저 기판과 필름을 필름 부착 위치까지 이송 내지는 공급한다. (도 9) 다음으로, 가압롤러가 상승하여 필름과 기판에 압력을 가한다. (도 10), 다음으로, 가압된 상태로, 기판과 필름을 이송하며 연속적으로 필름 부착을 시행한다.
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
초음파 진동부(A)는 초음파 진동부(A3)를 포함한다. 초음파 진동부(A3)는 기판을 사이에 두고 가압롤러의 반대쪽에 설치된다. 일정힘 인가부(A)는, 기판을 향하여 초음파 진동부(A)에 일정한 힘을 가한다.
또한, 도 12의 필름 부착 장치는 필름의 장력을 조절하기 위한 댄서롤러를 포함한다.
도 13은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 13의 필름 부착 장치는 일정힘 인가부 위치 조절부, 초음파 진동부 위치 조절부를 포함한다. 일정힘 인가부 위치 조절부를 이용하여, 일정힘 인가부의 위치를 조절할 수 있다. 초음파 진동부 위치 조절부를 이용하여 초음파 진동부의 위치를 조절할 수 있다.
또한, 필름 공급로를 기준으로 가압롤러의 상류에 커터를 설치하여 필름을 절단할 수 있다. 필름의 처음과 끝 부위의 커팅을 위하여 가압롤러의 외주면과 마주보는 커터를 둘 수 있다.
도 14는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 15는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도시한 바와 같이, 필름 부착 위치는 수평면, 수직면, 상면, 하면, 좌면 및 우면에 관계 없이 다양하게 설계할 수 있다.
도 16은 본 발명의 제 7 실시예에 따른 하드한 재질의 낱장 기판에 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
필름 부착 장치는 필름을 절단하는 커터를 포함한다. 커터는 가압롤러의 하류에서 기판의 타면을 대향한다. 초음파 진동부(A)는 초음파 진동부(A4)를 포함한다. 초음파 진동부(A4)는 기판을 사이에 두고 커터의 반대쪽에 설치된다. 커터의 반대쪽에 초음파 진동부를 배치함으로써 필름이 위치를 이탈하지 않게 된다
도 17은 도 16의 낱장 기판과 낱장 기판 사이의 필름 절단 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다. 두 기판 사이의 필름을 커터를 이용하여 절단한다.
도 18 내지 도 22은 본 발명의 제 8 실시예에 따른 필름 부착 방법의 필름 부착 과정을 개략적으로 보여주는 도면이다.
기판이 초음파 진동부(B) 위에 부상되어 필름 부착 위치까지 이송된다. 이때 가압롤러는 진공 등의 방식을 사용하여 필름을 정위치에 고정한다. 정위치는 필름과 기판이 부착되는 위치에 맞춰 설정된다. (도 18)
기판이 가압롤러와 초음파 진동부(A) 사이로 진입되면, 가압롤러는 회전을 하면서 기판 표면에 필름을 부착하게 되고 초음파 진동부는 기판과 일정 이격 거리를 유지하면서 기판에 비접촉 척력을 가한다. (도 19)
한 장의 기판에 단면 부착이 끝나게 되면, 다음 기판이 일정 간격을 유지하면서 진입하여 후속 접합을 진행하게 된다. (도 20 및 도 21)
일정 간격을 유지하면서 두 기판이 이송되면 일정 위치에서 두 기판 사이의 필름을 커터를 이용하여 절단하게 된다. (도 22)
본 명세서에서는 설명의 편의상, 기판이 이송되는 것으로 설명하고 있으나, 이와 반대로 기판이 고정된 상태에서 가압롤러가 이동되면서 필름을 부착할 수도 있음은 물론이다.
도 21의 필름 부착 방법은 기판보다 필름이 크게 부착되게 된다. 필름을 기판보다 작게 부착하기 위해서는 커터를 가압롤러의 외주면과 마주보게 설치할 수 있다.
도 23은 본 발명의 제 9 실시예에 따른 필름 부착 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
초음파 진동부는 원호 형상을 갖는 대신, 원형 형상, 평판 테이블 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있다. 평판 테이블 형상을 갖는 경우, 가압롤러와 초음파 진동부 간의 얼라인을 맞추는 노력을 줄일 수 있다.
도 16 내지 도 23의 필름 부착 방법은 하드한 재질의 낱장 기판에 필름을 부착하는데 사용할 수 있다.
도 24 및 도 25는 본 발명의 제 10 실시예에 따른 가압롤러에 필름이 흡착되는 과정을 개략적으로 보여주는 도면이다.
가압롤러는 필름과 접촉하는 외주면에 복수의 공기 흡입 구멍을 갖는다. 이 경우, 초기 필름이 가압롤러에 잘 밀착되어, 원활한 필름 공급이 가능해진다.
Claims (15)
- 초음파 진동부(A)를 이용하여, 그 초음파 진동에 의하여 발생되는 비접촉 척력을 기판의 일면에 가하여, 상기 기판의 일면을 비접촉 지지하면서,
가압롤러를 이용하여, 상기 기판의 타면에 필름을 가압하여 부착하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
상기 초음파 진동부(A)는 상기 가압롤러의 상류에 설치되는 초음파 진동부(A1) 및 하류에 설치되는 초음파 진동부(A2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
상기 초음파 진동부(A)는 상기 기판을 사이에 두고 상기 가압롤러의 반대쪽에 설치되는 초음파 진동부(A3)를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
상기 가압롤러의 상류에 설치되는 초음파 진동부(B)를 이용하여, 그 초음파 진동에 의하여 발생되는 비접촉 척력을 상기 기판의 타면에 가하여 상기 기판의 타면을 비접촉 지지하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
상기 가압롤러의 하류에서 설치되는 이송롤러를 이용하여, 상기 기판의 타면에 부착된 상기 필름과 접촉하며 상기 기판을 이송하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
상기 기판은 플렉서블 기판이고,
상기 가압롤러는, 상기 기판의 일면이 양의 곡률면을 이루도록 하는 압력으로 상기 필름이 부착된 상기 기판을 가압하고,
상기 기판을 대향하는 상기 초음파 진동부(A)의 대향면은 적어도 일 부위가 상기 기판의 양의 곡률면에 대응되는 곡면을 갖는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
상기 필름을 권출롤러로부터 권출하여 상기 기판의 타면에 공급하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
상기 기판을 권출롤러로부터 권출하여 상기 필름을 부착한 후 권취롤러에 권취하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
상기 가압롤러는 상기 필름과 접촉하는 외주면에 복수의 공기 흡입 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
상기 가압롤러의 하류에 상기 기판의 타면을 대향하는 커터를 설치하여, 상기 필름을 절단하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제10항에 있어서,
상기 초음파 진동부(A)는 상기 기판을 사이에 두고 상기 커터의 반대쪽에 설치되는 초음파 진동부(A4)를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
상기 기판은 유리 기판인 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
상기 초음파 진동부(A)는, 상기 기판의 일면을 대향하는 초음파 진동체와, 상기 초음파 진동체를 가진시키는 초음파 가진부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 제1항에 있어서,
일정힘 인가부(A)를 이용하여 상기 기판을 향하여 상기 초음파 진동부에 일정한 힘을 가하고,
일정힘 인가부(B)를 이용하여 상기 기판을 향하여 상기 가압롤러에 일정한 힘을 가하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 방법. - 초음파 진동에 의하여 발생되는 비접촉 척력을 기판의 일면에 가하여, 상기 기판의 일면을 비접촉 지지하는 초음파 진동부(A)와
상기 기판의 타면에 필름을 가압하여 부착하는 가압롤러,
를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
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