KR20140147353A - 증착용 마스크 조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 조립체는, 증착 패턴이 형성된 마스크 및 마스크의 가장자리가 고정되며 중앙에 개구부가 형성된 마스크 프레임을 포함하며, 서로 대향하는 마스크의 가장자리에 형성된 제 1 면과 개구부에 인접한 마스크 프레임의 제 1 면이 서로 용접된다.

Description

증착용 마스크 조립체{MASK STRUCTURE FOR DEPOSITION}
본 발명은 증착용 마스크 조립체에 관한 것이다.
표시 장치, 특히 유기 발광 표시 장치는 기판 상에 박막을 증착하여 제조된다. 현재 표시장치의 박막을 증착하는데 사용되는 증착용 마스크 조립체는 통상적으로 포토리소그라피법을 적용한 에칭법과 포토리소그라피법과 전기분해법을 이용한 전주법을 이용하여 제작된다. 이러한 증착용 마스크 조립체는 증착 대상물 즉, 표시소자가 형성될 기판에 위치시키고, 증착 마스크를 통해 증착물을 기판에 제공하여 원하는 형태의 패턴을 기판 상에 증착한다.
일반적으로, 마스크 조립체는 마스크와 마스크 프레임을 용접하여 서로 고정하는데, 마스크 상측으로 용접 비드(weld bead)가 돌출되어 형성된다. 이에 의해, 증착 공정시 기판을 마스크 상측면에 밀착시키면 돌출된 용접 비드로 인해 기판이 손상되는 문제가 발생한다.
또한, 마스크와 마스크 프레임을 용접하는 과정에서 용접 파편이 튀어 마스크 상에 존재하는 증착용 패턴에 손상을 입히는 문제가 발생한다.
본 발명의 일 실시예는, 마스크 상측면에 돌출된 용접 비드에 의해 마스크 상측면에 밀착되는 기판의 손상을 방지하고, 마스크와 마스크 프레임의 용접에 의해 마스크에 형성된 증착용 패턴이 손상되는 것을 방지할 수 있는 증착용 마스크 조립체를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 조립체는, 증착 패턴이 형성된 마스크 및 상기 마스크의 가장자리가 고정되며 중앙에 개구부가 형성된 마스크 프레임을 포함하며, 서로 대향하는 상기 마스크의 상기 가장자리에 형성된 제 1 면과 상기 개구부에 인접한 상기 마스크 프레임의 제 1 면이 서로 용접된다.
이때, 상기 마스크 프레임의 상기 제 1 면을 관통하는 복수개의 용접홀이 형성될 수 있다.
이때, 상기 복수개의 용접홀은 상기 개구부 둘레를 따라 형성될 수 있다.
이때, 상기 개구부는 사각 형상으로 이루어질 수 있다.
이때, 상기 마스크 프레임은 상기 마스크 프레임의 상기 제 1 면으로부터 하측 방향으로 연장된 제 2 면을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 제 2 면은 상기 개구부 둘레를 따라 폐곡선을 형성할 수 있다.
이때, 상기 마스크 프레임은 상기 마스크 프레임의 상기 제 2 면과 마주보는 제 3 면을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 제 3 면은 상기 제 2 면 외측에 형성될 수 있다.
이때, 서로 마주보는 상기 제 2 면 및 제 3 면 사시에 용접봉이 삽입될 수 있는 용접봉 삽입홈이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 조립체는, 마스크 상측면에 돌출된 용접 비드에 의한 기판의 손상을 방지하고, 마스크와 마스크 프레임의 용접에 의한 마스크에 형성된 증착용 패턴의 손상을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 조립체의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 조립체의 측면도이다.
도 3 내지 도 5는 도 2에 도시된 마스크와 마스크 프레임의 결합 과정을 나타낸다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 조립체를 이용하여 증착 공정을 수행하는 상태도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함하며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 조립체는, 마스크 조립체의 제조 과정에서 마스크에 형성된 증착 패턴의 손상을 방지하고, 마스크와 마스크 프레임을 서로 용접하는 용접 비드(weld bead)에 의한 증착 대상물인 기판의 손상을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 조립체는, 마스크 (100) 및 마스크 프레임(200)을 포함한다.
도 1을 참조하면, 마스크(100)는 사각의 판 형상일 수 있다. 그러나, 마스크(100)의 형상은 이에 한정되지 않고, 다양한 형상일 수 있다.
이때, 마스크(100)에는 증착 패턴(110)이 형성된다. 증착 패턴(110)은 마스크 표면을 관통하는 복수의 개구가 일정한 형태로 마스크 표면에 형성된 것이다. 미세 증착물이 상기 증착 패턴을 관통하여 증착 대상물인 기판에 증착됨으로써, 기판에 원하는 형태의 패턴으로 박막이 형성될 수 있다.
이때, 마스크(100)의 가장자리(120)는 마스크 프레임(200)에 고정된다. 증착 공정 중 마스크(100)에 형성된 증착 패턴(110)이 움직이지 않도록, 마스크(100)는 마스크 프레임(200)에 단단히 고정된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 마스크(100)의 가장자리(120)에 형성된 제 1 면(121)이 마스크 프레임(200)의 제 1 면(231)에 결합된다. 보다 자세히, 마스크(100)의 가장자리(120)의 제 1 면(121)이 상기 마스크(100)의 가장자리(120)의 제 1 면(121)과 서로 대향하는 마스크 프레임(200)의 제 1 면(231)에 결합된다.
마스크(100)의 가장자리(120)는 용접에 의해 마스크 프레임(200)에 결합된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 마스크(100)의 가장자리(120)의 제 1 면(121)이 마스크 프레임(200)의 제 1 면(231)에 용접된다.
이때, 마스크 프레임(200)에는 마스크 프레임(200)의 제 1 면(231)을 따라 복수의 용접홀(210)이 형성된다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 복수의 용접홀(210)은 마스크 프레임(200)의 제 1 면(231)을 관통하여 형성된다. 마스크 프레임(200) 하측 방향에서 용접봉(600)를 이용하여, 복수의 용접홀(210)을 통해 드러나는 마스크(100) 가장자리(120)의 제 1 면(121)을 용접한다.
이때, 도 2에 도시된 바와 같이 용접에 의해 발생되는 용접 비드(300)가 마스크 프레임(200) 하측 방향으로 돌출된다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 마스크 프레임(200)은 사각의 액자 형상으로 이루어질 수 있다. 즉, 마스크 프레임(200)은 중앙에 사각 형상의 개구부(130)가 형성된 액자 타입으로 이루어질 수 있다.
이때, 마스크 프레임(200)의 개구부를 통해 마스크(100)의 증착 패턴(110)이 노출되도록, 마스크(100)의 가장자리(120)가 마스크 프레임(200)에 고정된다. 즉, 마스크(100)의 가장자리(120)가 개구부(130)의 가장자리(230)에 고정된다.
도 2를 참조하면, 마스크 프레임(200)에는 마스크 프레임(200)의 제 1 면(231)으로부터 하측 방향으로 연장된 제 2 면(232)이 형성된다.
마스크 프레임(200)의 제 2 면(232)은 용접시 발생하는 불꽃에 의해 증착 패턴(110)이 손상되는 것을 방지한다. 즉, 마스크 프레임(200)의 제 2 면(232)은 용접 불꽃이 증착 패턴(110)으로 비산되는 것을 방지하는 장벽(fence) 역할을 한다.
보다 자세히, 용접시 발생하는 용접 불꽃이 마스크 프레임(200)의 개구부(130)를 통해 마스크(100)의 증착 패턴(110)으로 튀는 것을 방지할 수 있다.
이때, 마스크 프레임(200)의 제 2 면(232)은 개구부(130) 둘레를 따라 폐곡선을 형성할 수 있다. 보다 자세히, 제 2 면(232)은 개구부(130) 둘레를 감싸도록 형성되며, 이에 의해 용접 불꽃이 개구부(130)를 통해 증착 패턴(110)으로 비산되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 마스크 프레임(200)은 상기 제 2 면(232)와 서로 마주보는 제 3 면(233)을 더 포함할 수 있다. 이때, 제 3 면(233)은 제 2 면(232)의 외측에 형성된다.
그리고, 제 3 면(233)은 제 2 면(232)과 마찬가지로 제 2 면(232) 둘레를 따라 폐곡선을 형성할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제 2 면(232)와 제 3 면(233)이 서로 마주봄으로써, 용접봉(600)이 투입될 수 있는 용접봉 삽입홈(220)이 형성될 수 있다.
용접봉 삽입홈(220)이 형성되면, 용접시 발생하는 용접 불꽃 등이 마스크 프레임(200)의 측면 방향 즉 외측방향으로 비산되는 것을 방지할 수 있다.
이때, 용접봉 삽입홈(220)은 복수의 용접홀(210)과 나란하게 형성될 수 있다. 그리고, 용접봉 삽입홈(220)은 도 2에 도시된 바와 같이 일정한 깊이를 갖도록 형성된다. 용접봉 삽입홈(220)은 용접봉으로부터 발생하는 불꽃 등이 마스크(100)의 증착 패턴(110)으로 비산되지 않을 정도의 깊이를 갖는다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 마스크(100)가 마스크 프레임(200)에 고정되는 과정을 알 수 있다.
도 3 및 도 4에서, 마스크(100)의 가장자리(120)가 마스크 프레임(200)의 개구부 가장자리(230) 상측에 위치한다.
다음으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 용접홀(210)을 통한 용접에 의해, 마스크(100)의 가장자리(120)의 제 1 면(121)과 개구부(130)의 제 1 면(231)이 서로 결합하게 된다.
이때, 마스크(100)의 제 1 면(121)을 용접함으로써, 용접 비드(300)가 마스크(100)의 하측 방향으로 돌출된다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 기판(400)과 접촉하는 마스크(400)의 상측면과 반대 방향으로 용접 비드(300)가 돌출된다.
도 6을 참조하면, 기판에 박막을 형성하는 과정은, 기판(400)을 마스크(100) 상측면에 접촉시키고, 마스크(100) 하측 방향에서 증착 장치(500)로부터 나온 미세한 증착 물질을 기판(400) 상에 증착시켜 이루어진다.
이때, 기판(400)과 마스크(400) 상측면 사이에 용접 비드(300)가 존재하지 않음으로써, 용접 비드(300)에 의한 기판의 손상을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크 조립체는 마스크(100)와 마스크 프레임(200)을 용접하는 용접 비드가 마스크(100) 하측 방향으로 돌출되어 증착 과정에서 기판의 손상을 방지할 수 있고, 용접시 발생하는 불꽃 등에 의해 마스크(100)의 증착 패턴(120)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명은 한정된 실시예와 도면을 통하여 설명되었으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재된 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
100: 마스크 110: 증착 패턴
120: 가장자리 200: 마스크 프레임
210: 용접홀 220: 용접봉 삽입홈
230: 가장자리 300: 용접 비드
400: 기판 500: 증착 장치

Claims (9)

  1. 증착 패턴이 형성된 마스크 및
    상기 마스크의 가장자리가 고정되며 중앙에 개구부가 형성된 마스크 프레임을 포함하며,
    서로 대향하는 상기 마스크의 상기 가장자리에 형성된 제 1 면과 상기 개구부에 인접한 상기 마스크 프레임의 제 1 면이 서로 용접되는 증착용 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임의 상기 제 1 면을 관통하는 복수개의 용접홀이 형성된 증착용 마스크 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수개의 용접홀은 상기 개구부 둘레를 따라 형성되는 증착용 마스크 조립체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 개구부는 사각 형상으로 이루어지는 증착용 마스크 조립체.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임은 상기 마스크 프레임의 상기 제 1 면으로부터 하측 방향으로 연장된 제 2 면을 더 포함하는 마스크 조립체.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 면은 상기 개구부 둘레를 따라 폐곡선을 형성하는 마스크 조립체.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임은 상기 마스크 프레임의 상기 제 2 면과 마주보는 제 3 면을 더 포함하는 증착용 마스크 조립체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 3 면은 상기 제 2 면 외측에 형성되는 증착용 마스크 조립체.
  9. 제 8 항에 있어서,
    서로 마주보는 상기 제 2 면 및 제 3 면 사이에 용접봉이 삽입될 수 있는 용접봉 삽입홈이 형성되는 증착용 마스크 조립체.
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