KR20140144121A - 소자핸들러 - Google Patents

Abstract

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체공정을 마친 소자들을 캐리어테이프, 트레이 등에 적재하는 소자핸들러에 관한 것이다.
본 발명은, 미리 검사된 다수의 소자들이 부착된 복수의 웨이퍼링들이 적재된 웨이퍼링카세트부와; 상기 웨이퍼링카세트부로부터 웨이퍼링을 공급받아 웨이퍼링을 수평방향으로 이동하는 웨이퍼링테이블과; 상기 웨이퍼링테이블로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 상기 웨이퍼링으로부터 소자를 전달받아 적재하는 적재부재가 설치된 언로딩부와; 상기 웨이퍼링테이블의 상측에 설치되며 상기 웨이퍼링테이블에 안착된 웨이퍼링으로부터 소자를 픽업하고 회전되어 픽업된 소자의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 제1픽업툴과; 상기 제1픽업툴에 의하여 반전된 소자를 픽업한 후 선형이동 및 회전이동 중 적어도 어느 하나의 이동에 의하여 상기 언로딩부의 적재부재로 소자를 전달하는 제2픽업툴을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다..

Description

소자핸들러 {Device Handler}

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체공정을 마친 소자들을 캐리어테이프, 트레이 등에 적재하는 소자핸들러에 관한 것이다.

SD 램, 프래쉬램, LSI, LED 등 반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 반도체공정을 마친 후 소잉공정, 패키징공정 등을 마친 후 시장에 출하됨이 일반적이다.

여기서 시장에 출하된 제품에 대한 신뢰성을 확보하기 위하여 검사장치, 분류장치, 검사 및 분류장치 등에 의하여 자동검사 및 검사결과에 따른 분류를 통하여 양품의 제품들을 선별하여 시장에 출하하고 있다.

한편 소자는 SD 램, 프래쉬램, LSI 등 리드프레임, BGA 등 단자구조가 다양해지는 등 칩의 종류가 다양해지고 있다.

더 나아가 최근에는 소자에 대한 소형화요구에 따라서 소자가 수지 등에 의한 몰딩공정을 거치지 않고 웨이퍼 레벨에서 최종 제품화되는 것이 확대되고 있는 추세이다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 추세에 맞추어, 웨이퍼로부터 소자를 픽업하여 반전하고 반전된 소자를 이송하여 적재부재에 신속하게 적재할 수 있는 소자핸들러를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 웨이퍼로부터 소자의 픽업 후 저면에 대한 비전검사 및 그 검사결과에 따라서 반전하여 적재부재에 신속하게 적재할 수 있는 소자핸들러를 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 미리 검사된 다수의 소자들이 부착된 복수의 웨이퍼링들이 적재된 웨이퍼링카세트부와; 상기 웨이퍼링카세트부로부터 웨이퍼링을 공급받아 웨이퍼링을 수평방향으로 이동하는 웨이퍼링테이블과; 상기 웨이퍼링테이블로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 상기 웨이퍼링으로부터 소자를 전달받아 적재하는 적재부재가 설치된 언로딩부와; 상기 웨이퍼링테이블의 상측에 설치되며 상기 웨이퍼링테이블에 안착된 웨이퍼링으로부터 소자를 픽업하고 회전되어 픽업된 소자의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 제1픽업툴과; 상기 제1픽업툴에 의하여 반전된 소자를 픽업한 후 선형이동 및 회전이동 중 적어도 어느 하나의 이동에 의하여 상기 언로딩부의 적재부재로 소자를 전달하는 제2픽업툴을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.

상기 제1픽업툴은, 상기 웨이퍼링으로부터 소자를 픽업하는 픽업위치와, 상기 제2픽업툴에 의하여 소자가 픽업되는 전달위치 사이를 회전하며 그 회전축을 중심으로 원주방향으로 일정한 간격을 두고 설치되는 복수의 제1픽커들과, 상기 제1픽커들이 지지되어 설치됨과 아울러 상기 복수의 제1픽커들 각각을 상기 픽업위치 및 상기 전달위치에 위치되도록 순차적으로 회전시키는 회전구동부를 포함할 수 있다.

상기 제1픽커들의 회전축은 수평방향과 평행하거나 경사를 이루어 설치될 수 있다.

상기 제2픽업툴은, 상기 전달위치에서 소자를 픽업한 후 적재위치로 이동되어 상기 언로딩부의 적재부재로 소자를 전달하는 제2픽커와, 상기 전달위치와 상기 적재위치 사이에서 상기 제1픽업툴에 의하여 반전된 소자를 픽업한 후 선형이동 및 회전이동 중 적어도 어느 하나의 이동에 의하여 상기 제2픽커를 이동시키는 픽커이동부를 포함할 수 있다.

상기 픽커이동부는, 일단에 상기 제2픽커가 결합되는 암부와, 상기 암부의 타단이 결합되어 수직방향의 제1회전축을 중심으로 상기 암부를 회전시키는 회전구동부를 포함할 수 있다.

상기 픽커이동부는, 상기 암부에 결합되어 수직방향의 제2회전축을 중심으로 상기 제2픽커를 회전시키는 픽커회전부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 픽커회전부는, 상기 암부에 설치되는 회전모터와, 상기 제2픽커에 결합된 종동풀리와, 상기 회전모터에 결합된 구동풀리와 상기 종동풀리를 연결하여 상기 회전모터의 구동력을 상기 종동풀리로 전달하는 회전벨트를 포함할 수 있다.

상기 픽커이동부는, 상기 제2픽커를 상하로 이동시키는 상하이동부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 픽커이동부는, 상기 제2픽커를 수평방향으로 선형이동시키는 하나 이상의 선형이동부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제2픽업툴은, 상기 제1픽업툴을 사이에 두고 평행하게 한 쌍으로 설치되고, 상기 적재부재는 상기 한 쌍의 제2픽업툴이 이루는 평행한 방향과 수직방향으로 이동될 수 있다.

상기 소자핸들러는, 미리 검사된 검사결과에 따라서 부적합한 것으로 판단된 소자가 상기 제2픽업툴에 의하여 적재되는 리젝적재부재가 설치된 리젝부를 포함할 수 있다.

상기 제1픽업툴이 상기 픽업위치에서 상기 전달위치로 회전될 때 상기 제1픽업툴에 의하여 픽업된 소자의 저면에 대한 비전검사를 위하여 소자의 저면에 대한 이미지를 획득하는 제1이미지획득부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제1이미지획득부에 의하여 획득된 소자에 대한 이미지에 따라서 미리 설정된 판단기준에 따라서 부적합한 것으로 판단된 소자가 상기 제2픽업툴에 의하여 적재되는 리젝적재부재가 설치된 리젝부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제2픽업툴의 제2픽커가 상기 전달위치에서 상기 적재위치로 이동될 때 소자의 적재위치를 정렬하기 위하여 상기 제2픽커에 대한 소자의 픽업상태에 대한 이미지를 획득하는 제2이미지획득부를 추가로 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 소자핸들러는, 웨이퍼링에 부착된 소자를 픽업하여 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 제1픽업툴 및 제1픽업툴에 의하여 반전된 소자를 픽업하여 적재부재로 적재시키는 제2픽업툴을 포함함으로써 웨이퍼링으로부터 적재부재로의 소자픽업 및 적재가 신속하게 이루어져 UPH를 크게 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

또한 상기 제1픽업툴이 복수의 픽커들을 구비하고 복수의 픽커들이 수평면에 대하여 평행하거나 경사를 이루는 회전축을 중심으로 회전됨으로써 소자픽업 및 반전을 수행하고 제2픽업툴이 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 웨이퍼링으로부터 적재부재로의 소자픽업 및 적재가 이루어짐으로써 UPH의 향상과 함께 장치의 수평크기를 줄여 장치가 차지하는 공간을 줄여 장치의 공간효율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 소자핸들러는, 제1픽업툴에 의한 소자이송시 소자의 저면에 대한 이미지를 획득하고 획득된 이미지를 분석하여 미리 설정된 기준에 적합한 소자들만을 선별하여 양품의 소자들만 적재함으로써 출하를 위한 적재부재에 적재된 소자에 대한 신뢰성을 높일 수 있는 이점이 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 소자핸들러의 개념을 보여주는 평면도이다.
도 2a 및 도 2b는 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 웨이퍼링을 보여주는 사시도 및 단면도이다.
도 3은, 도 1에서 Ⅲ-Ⅲ방향의 단면도이다.
도 4는, 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 적재부재로 사용되는 와플팩을 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 적재부재의 다른 변형례를 보여주는 평면도이다.
도 6은, 도 1의 소자핸들러의 개념을 보여주는 측면도이다.
도 7은, 도 1의 소자핸들러의 제1픽업툴을 보여주는 부분사시도이다.
도 8 및 도 9는, 도 1의 소자핸들러에서 제1픽업툴 및 제2픽업툴의 소자 이송을 보여주는 개념도들이다.
도 10 및 도 11은, 도 1의 소자핸들러에서 언로딩부가 변형된 경우를 보여주는 평면도이다.
도 12는, 변형된 제2픽업툴을 가지는 도 1의 소자핸들러의 다른 실시예를 보여주는 평면도이다.
도 13 내지 도 16는, 도 12의 소자핸들러에서 제1픽업툴 및 제2픽업툴의 소자 이송을 보여주는 개념도들이다.
도 17은, 도 12의 소자핸들러에서 진동부의 구성을 보여주는 개념도이다.
도 18은, 도 17의 캐리어테이프 및 진동부의 구성을 보여주는 캐리어테이프의 이동방향과 수직인 방향의 단면도이다.

이하 본 발명에 따른 소자핸들러에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 소자핸들러는, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 웨이퍼링(10)들이 적재된 웨이퍼링카세트부(100)와; 웨이퍼링카세트부(100)로부터 웨이퍼링(10)을 공급받아 웨이퍼링(10)을 수평방향으로 이동하는 웨이퍼링테이블(200)과; 웨이퍼링테이블(200)로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 웨이퍼링(10)으로부터 소자(1)를 전달받아 적재하는 적재부재(20)가 설치된 언로딩부(300)와; 웨이퍼링테이블(200)의 상측에 설치되며 웨이퍼링테이블(200)에 안착된 웨이퍼링(10)으로부터 소자(1)를 픽업하고 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 제1픽업툴(400)과; 제1픽업툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 선형이동 및 회전이동 중 적어도 어느 하나의 이동에 의하여 언로딩부(300)의 적재부재(20)로 소자(1)를 전달하는 제2픽업툴(500)을 포함한다.

상기 웨이퍼링카세트부(100)는, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 웨이퍼링(10)들이 적재된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

여기서 상기 웨이퍼링(10)에 적재되는 소자는, 반도체공정 및 소잉공정을 마친 SD램, 프래시램, LSI, DDI, LED 등 어떠한 반도체소자도 가능하다.

특히 상기 소자(1)는, 반도체공정 후 패키징공정을 거치는 기존 소자와는 달리, 패키징공정을 요하지 않은 소위, 웨이퍼레벨소자, 즉 WLP소자가 그 대상이 될 수 있다.

한편 상기 웨이퍼링(10)은, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 반도체공정 및 소잉공정을 마친 소자(1)가 적재되는 구성으로서, 소자(1)가 부착되는 테이프(11) 및 테이프(11)를 고정하는 프레임부재(12)를 포함하여 구성될 수 있다.

그리고 상기 테이프(11)는 소자(1)들이 부착될 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하며 소위 블루테이프가 사용될 수 있다.

상기 프레임부재(12)는 소자(1)들이 부착된 테이프(11)를 고정하기 위한 구성으로서 원형링, 사각링 등 다양한 구성이 가능하다.

상기 웨이퍼링카세트부(100)는, 복수의 웨이퍼링(10)의 적재를 위한 구성으로서 웨이퍼링(10)들이 상하로 적층될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

상기 웨이퍼링테이블(200)은, 웨이퍼링카세트부(100)로부터 웨이퍼링(10)을 공급받아 웨이퍼링(10)을 수평방향으로 이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 웨이퍼링테이블(200)은 웨이퍼링로딩부(미도시)에 의하여 웨이퍼링카세트부(100)로부터 웨이퍼링(10)을 전달받아 제1픽업툴(400)이 소자(1)를 픽업할 수 있도록 웨이퍼링(10)을 수평방향으로 이동시키는 구성으로서, X-Y테이블, X-Y-θ테이블 등 다양한 구성이 가능하다.

한편 상기 웨이퍼링카세트부(100)로부터 웨이퍼링테이블(200)로 웨이퍼링(10)을 전달하기 위한 웨이퍼링로딩부는, 웨이퍼링카세트부(100)로부터 웨이퍼링(10)을 인출하고 인출된 웨이퍼링(10)을 웨이퍼링테이블(200)로 전달할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

상기 언로딩부(300)는, 웨이퍼링테이블(200)로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 웨이퍼링(10)으로부터 소자(1)를 전달받아 적재하는 적재부재(20)가 설치된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다

특히 상기 언로딩부(300)는, 테이프앤릴, 와플팩 및 트레이 등 적재부재(20)의 구성에 따라서 그 구성이 결정된다.

예로서, 상기 언로딩부(300)는, 도 1 및 도 3, 도 12에 도시된 바와 같이, 소자(1)가 적재되는 포켓부(21)가 길이방향을 따라서 형성되며 소자적재 후 테이프(미도시)에 의하여 밀봉되는 캐리어테이프이 적재부재(20)를 구성하는 경우 일단에 회전가능하게 설치되어 소자(1)가 적재될 캐리어테이프이 감겨진 풀림롤부(311)와, 타단에 회전가능하게 설치되며 소자적재 후 커버테이프에 의하여 밀봉된 캐리어테이프이 감기는 감길롤부(312)와, 풀림롤부(311)로부터 풀린 캐리어테이프가 적재위치③를 지나도록 캐리어테이프의 이동을 안내하는 캐리어테이프가이드부(313)를 포함하여 구성될 수 있다.

여기서 상기 적재부재(20)는 도 3에 도시된 바와 같이, 소자(1)가 담겨지는 포켓부(21)의 저면에 복수의 홀(22)들이 형성될 수 있다.

그리고 상기 적재부재(20)가 적재위치③에 위치되었을 때 적재부재(20)의 직하방에 진공압을 형성하는 진공압형성장치(24)가 설치되어 후술하는 제2픽업툴(500)에 의하여 적재될 때 소자(1)가 안정적으로 적재될 수 있도록 할 수 있다.

여기서 상기 적재부재(20)가 캐리어테이프인 경우 도 3에 도시된 바와 같이, 캐리어테이프의 날개부분을 가이드하도록 설치된 한 쌍의 롤러부재(28)와, 롤러부재가 고정되는 지지부재(29)의 가이드에 의하여 그 이동이 가이드될 수 있다.

또한 상기 적재부재(20)가 캐리어테이프인 경우, 도 17 및 도 18에 도시된 바와 같이, 적재부재(20)가 적재위치③에 위치되었을 때 적재부재(20)의 직하방에 캐리어테이프에 진동을 가하는 진동부(600)가 설치될 수 있다.

상기 진동부(600)는, 풀림롤부(311)와 감길롤부(312) 사이에서 캐리어테이프의 이동경로상에 설치되어 소자(10)가 캐리어테이프의 포켓부(21)의 정위치에 담길 수 있도록 캐리어테이프에 진동을 가하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 진동부(600)는, 캐리어테이프에 진동을 발생시킬 수 있는 다양한 구성이 채용될 수 있다. 예를 들어, 진동부(600)는, 캐리어테이프과 물리적으로 연결되어 캐리어테이프에 진동을 발생시키는 기계적 가진장치, 초음파 가진장치 등 다양한 구성이 이용될 수 있다.

일예로서, 상기 진동부(600)는, 기체분사장치로 구성되는 경우 캐리어테이프의 포켓부(21)에 소자(10)가 어느 정도 담긴 상태에서 캐리어테이프를 향하여 기체, 특히 공기를 분사하여 캐리어테이프가 진동되도록 한다. 이러한 캐리어테이프의 진동에 의해 소자(10)가 캐리어테이프의 포켓부(21) 내의 정위치에 위치될 수 있다.

상기 기체분사장치는 기체, 즉 공기가 분사되는 단일의 노즐로 구성될 수 있다. 또한, 도 18에 도시된 바와 같이, 캐리어테이프의 이동방향을 따라 길게 연장되고, 복수의 기체분사홀(612)이 그 길이방향을 따라 형성되는 기체분사노즐(611)을 포함할 수 있다.

이와 같이, 기체분사장치(610)가 복수의 기체분사홀(612)을 가지는 기체분사노즐(611)을 포함하므로, 캐리어테이프의 길이방향을 따라 기체를 분사하여 복수의 소자(10)를 동시에 캐리어테이프의 포켓부(21)의 정위치에 위치시킬 수 있다.

한편, 캐리어테이프의 포켓부(21)에서 소자(10)를 보다 원활하게 이동시킬 수 있도록 캐리어테이프의 포켓부(21)의 바닥에는 (22)이 형성되고, 기체분사장치(610)는 홀(22)을 통과하도록 기체를 분사하는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은 구성에 따르면, 캐리어테이프를 이송하는 도중에 캐리어테이프에 기체를 분사하여 캐리어테이프가 진동되도록 함으로써, 캐리어테이프의 포켓부(21)에 정상적으로 안착되지 못한 소자(10)를 캐리어테이프의 포켓부(21)의 정위치에 위치시킬 수 있는 효과가 있다.

상기 언로딩부(300)의 다른 예로서, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 언로딩부(300)는, 일단에 위치되어 복수의 소자(1)들이 적재되는 트레이(20-1)가 적층되는 트레이적재부(381)와, 타단에 위치되어 소자(1)들이 적재된 트레이(20-1)가 적층되는 트레이언로딩부(382)와, 트레이적재부(381)로부터 트레이(20-1)를 공급받아 적재위치③로 이동하여 제2픽업툴(500)에 의하여 소자(10)들을 전달받도록 트레이(20-1)를 이동시키는 트레이이동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

여기서 상기 트레이(20-1)는, 소자(1)의 종류에 따라서 도 10에 도시된 바와 같은 와플팩으로 구성되거나, 규격화된 트레이, 즉, JEDEC 트레이가 사용될 수 있다.

예로서, 상기 트레이(20-1)는 도 4에 도시된 바와 같이, 와플팩과 같이 각 소자(1)가 안착될 수 있도록 복수개의 안착홈(21)들이 형성되며, 장방형 등 다양한 형상을 가질 수 있다. 상기 안착홈(21)은 트레이(20-1)가 상하로 적층될 때 손상되지 않도록 소자(1)의 높이보다 깊게 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 트레이(20-1)의 또 다른 예로서, 도 5 및 도 11에 도시된 바와 같이, 각 소자(1)가 안착될 수 있도록 복수개의 안착홈(21)들이 형성되며, 장방형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.

또한 상기 트레이(20-1)의 또 다른 예로서, 웨이퍼링(10)과 유사한 구성으로서 엘이디소자(1)가 부착되는 테이프와, 테이프를 고정시키면서 LOT번호, 분류등급 등의 표식이 있는 지지부재를 포함하여 구성될 수 있다.

도 5에 도시된 트레이(20-1)는 도 1에서 리젝부(700)의 트레이(30), 도 10 및 도 11에서 언로딩부(300)의 일부에서 사용될 수 있다.

한편 상기 언로딩부(300)는, 도 1 및 도 12에 도시된 바와 같이, 캐리어테이프에 소자(1)를 적재하는 구성1(310), 도 10에 도시된 바와 같이, 와플팩 또는 규격화된 트레이에 소자(1)를 적재하는 구성2(320) 등 어느 하나로만 구성되거나, 도 11에 도시된 바와 같이, 구성 1 및 2 중 2개, 또는 모두를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 제1픽업툴(400)은, 웨이퍼링테이블(200)의 상측에 설치되며 웨이퍼링테이블(200)에 안착된 웨이퍼링(10)으로부터 소자(1)를 픽업하고 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 제1픽업툴(400)은, 도 1, 도 6에 도시된 바와 같이, 웨이퍼링(10)으로부터 소자(1)를 픽업하는 픽업위치ⓛ와, 제2픽업툴(500)에 의하여 소자(1)가 픽업되는 전달위치② 사이를 회전하며 그 회전축을 중심으로 원주방향으로 일정한 간격을 두고 설치되는 복수의 제1픽커(410)들과, 제1픽커(410)들이 지지되어 설치됨과 아울러 복수의 제1픽커(410)들 각각을 픽업위치ⓛ 및 전달위치②에 위치되도록 순차적으로 회전시키는 회전구동부(420)를 포함할 수 있다.

상기 각 제1픽커(410)는, 진공압에 의하여 웨이퍼링(10)으로부터 소자(1)를 픽업하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 각 제1픽커(410)는, 회전구동부(420)에 각각 선형이동 가능하게 결합되는 몸체(411)와, 몸체(411)가 원래 위치로 복원될 수 있도록 몸체(411)의 외주면에 체결되는 복귀스프링(412)과, 몸체(411)의 단부에서 몸체(411)와 수직한 방향으로 연장되는 연장부재(413)와, 연장부재(413)의 단부에 구비되어 소자(1)를 흡착하는 흡착부재(414)와, 흡착부재(414)와 연통되어 그 내부를 진공으로 형성할 수 있도록 별도의 진공펌프와 연결되는 연결구(415)를 포함할 수 있다.

상기 회전구동부(420)는 회전구동력을 발생시키는 회전모터(미도시)와, 회전모터에 의하여 회전되는 판상의 부재로서 원형이나 정사각형 등의 다각형상으로 형성되며, 상호 직교를 이루는 4개소, 즉, 회전구동부(420)의 회전 방향을 따라 90도를 이루는 회전구동부(420)의 단부에는 제1픽커(410)의 몸체(411)가 결합될 수 있도록 수용홈(421)이 함몰 형성되며, 그 중심은 회전모터의 회전축과 결합되는 구동플레이트(422)를 포함할 수 있다.

한편 상기 제1픽커들의 회전축(C1)은 수평방향과 평행하거나, 경사를 이루어 설치될 수 있다.

상기 제2픽업툴(500)은, 제1픽업툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 선형이동 및 회전이동 중 적어도 어느 하나의 이동에 의하여 언로딩부(300)의 적재부재(20)로 소자(1)를 전달하는 구성으로서 그 이동형태에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

또한 상기 제2픽업툴은, 도 1, 도 6 및 도 8, 도 12 내지 도 16에 도시된 바와 같이, 전달위치②에서 소자(1)를 픽업한 후 적재위치③로 이동되어 언로딩부(300)의 적재부재(20)로 소자(1)를 전달하는 제2픽커(510)와, 전달위치②와 적재위치③ 사이에서 제1픽업툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 선형이동 및 회전이동 중 적어도 어느 하나의 이동에 의하여 제2픽커(510)를 이동시키는 픽커이동부를 포함할 수 있다.

상기 제2픽커(510)는, 앞서 설명한 제1픽커(410)의 구성과 유사하게 구성될 수 있는바 자세한 설명은 생략한다.

다만, 상기 제2픽커(510)는, 복수의 제1픽커(410)을 구비하는 제1픽업툴(400)과는 달리, 일단이 픽커이동부에 결합되는 암부(511)의 끝단에 설치되어 픽커이동부의 선형이동, 회전이동 등에 의하여 암부(511)의 이동이 이루어지고 최종적으로 암부(511)에 결합된 제2픽커(510)가 전달위치②와 적재위치③ 사이에서 이동된다.

상기 픽커이동부는, 제2픽커(510)의 이동형태에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

예로서, 상기 픽커이동부는, 하나의 선형이동, 즉 X축방향 또는 Y축방향의 선형이동, 소자(1)를 2개 이상의 선형이동, 즉 X축방향, Y축방향 및 Z축방향의 선형이동들 중 2개 또는 3개의 이동들에 의하여 소자(1)를 이동시키도록 구성될 수 있다.

이 경우 상기 픽커이동부는, 선형이동의 수에 따른 선형이동부(미도시)들을 포함할 수 있다.

또한 상기 픽커이동부는, 픽커(510)를 회전이동 및 선형이동의 조합이동 또는 회전이동만 시킬 수 있는바, 이 경우 픽커이동부는, 수직방향인 상하방향을 제1회전축(C2)으로 하여 제2픽커(510)를 회전이동시키는 회전구동부(530)를 포함할 수 있다.

즉, 상기 픽커이동부는, 도 1 및 도 12에 도시된 바와 같이, 일단에 제2픽커(510)가 결합되는 암부(511)와, 암부(511)의 타단이 결합되어 수직방향의 제1회전축(C2)을 중심으로 암부(511)를 회전시키는 회전구동부(530)를 포함할 수 있다.

한편 상기 암부(511)의 회전에 의하여 제2픽커(510)의 회전이 있는 경우, 제2픽커(510)에 픽업된 소자(10)는 적재부재(20)에 적재하기 부적절한 상태로 픽업(도 14 참조)될 수 있다.

이에 상기 픽커이동부는, 암부(511)에 결합되어 수직방향의 제2회전축(C3)을 중심으로 제2픽커(510)를 회전시키는 픽커회전부(540)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 픽커회전부(540)는, 암부(511)에 결합되어 수직방향의 제2회전축(C3)을 중심으로 제2픽커(510)를 회전시킬 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 암부(511)에 설치되는 회전모터(541)와, 제2픽커(510)에 결합된 종동풀리(542)와, 회전모터(541)에 결합된 구동풀리(544)와 종동풀리(542)를 연결하여 회전모터(541)의 구동력을 종동풀리(542)로 전달하는 회전벨트(543)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 암부(511)에 결합된 제2픽커(510)가 암부(511)의 회전에 의하여 전달위치②와 적재위치③ 사이에서 이동된 후 제2픽커(540)에 의하여 픽업된 소자(10)가 적재부재(20)에 적재하기에 부적절한 상태로 회전된 상태인 경우 상기와 같은 픽커회전부(540)에 의하여, 제2픽커(510)를 회전시킴으로써 소자(10)를 적재부재(20)에 적재하기에 적절한 상태로 회전시킬 수 있게 된다.

또한 상기 픽커이동부는, 회전이동에 더하여 선형이동에 의하여 소자(1)를 이동시킬 수 있는바 제2픽커(510)를 선형이동시키는 하나 이상의 선형이동부(520)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 선형이동부(520)는, 도 1, 도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 제2픽커(510)가 소자픽업 및 소자적재가 가능하도록 제2픽커(510)를 선형이동시키는 구성으로서 수평방향, 예를 들면 X축방향의 선형이동을 구동하는 제1선형구동부(521)와, 제2픽커(510)의 선형이동을 가이드하는 가이드부(522)를 포함할 수 있다.

더 나아가 제2픽커(510)의 소자픽업, 인접한 구성과의 간섭을 피하기 위하여 상하방향으로, 즉 Z축방향으로 이동시키는 상하이동부(550)를 포함할 수 있다.

한편 상기 제2픽업툴(500)은, 도 1, 도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 제1픽업툴(400)을 사이에 두고 평행하게 한 쌍으로 설치될 수 있다.

이 경우 앞서 설명한 언로딩부(300)에서 적재부재(20)는 한 쌍의 제2픽업툴(500)이 이루는 평행한 방향과 수직방향으로 이동될 수 있다.

상기와 같이 제2픽업툴(500)이 한 쌍으로 구성됨으로써 신속하게 소자(1)의 이송이 가능하다.

그리고 상기 제2픽업툴(500)이 한 쌍으로 구성된 경우 상하로 이동됨으로써 상호가 이동시 간섭을 방지할 수 있다.

한편 본 발명에 따른 소자핸들러는 웨이퍼링(10)에 적재된 소자(1)는 별도의 검사장치에 의하여 미리 검사된 상태이며 미리 검사된 검사결과에 따라서 부적합한 것으로 판단된 양품의 소자(1)만 적재부재(20)에 적재하도록 구성될 수 있다.

이때 상기 소자핸들러는, 미리 검사된 검사결과에 따라서 부적합한 것으로 판단된 소자(1)가 제2픽업툴(500)에 의하여 적재되는 리젝적재부재(30)가 설치된 리젝부(700)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 리젝부(700)는, 언로딩부(300)의 구성의 예 중 트레이를 구비한 구성과 유사한 구성을 가질 수 있다. 아울러, 소자이송의 효율화를 위하여 도 1, 도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 제1픽업툴(400)을 중심으로 언로딩부(300)에 대향되어 설치됨이 바람직하다.

그리고 상기 리젝부(700)는, 도 10 내지 도 12에 도시된 언로딩부(300)와 유사한 구성을 가질 수 있으며, 도 1에 도시된 바와 같이, 일단에 위치되어 복수의 소자(1)들이 적재되는 트레이(30)가 적층되는 트레이적재부(710)와, 타단에 위치되어 소자(1)들이 적재된 트레이(30)가 적층되는 트레이언로딩부(720)와, 트레이적재부(710)로부터 트레이(30)를 공급받아 이동하여 제2픽업툴(500)에 의하여 소자(10)들을 전달받도록 트레이(30)를 이동시키는 트레이이동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

한편 상기 소자핸들러는, 제1픽커(410)가 픽업위치ⓛ에서 전달위치②로 회전될 때 제1픽업툴(400)에 의하여 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 비전검사를 위하여 소자(1)의 저면에 대한 이미지를 획득하는 제1이미지획득부(810)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제1이미지획득부(810)는, 소자(1)의 저면에 대한 비전검사를 위하여 소자(1)의 저면에 대한 이미지를 획득하는 구성으로서 카메라 등이 사용될 수 있다.

한편 상기 제1이미지획득부(810)에 의하여 획득된 소자(1)의 저면에 대한 이미지는 제어부(미도시)에 전달된 후 분석되며, 제어부는 그 분석결과에 따라서 미리 설정된 판단기준에 따라서 적합한 것으로 판단된 경우 언로딩부(300)의 적재부재(20)로, 부적합한 것으로 판단된 경우 앞서 설명한 리젝부(700)로 소자(1)가 전달되도록 한다.

이때 상기 웨이퍼링(10)에 부착된 소자(1)는 별도의 검사장치에 의하여 미리 검사된 상태이거나, 검사되지 않은 상태일 수 있다.

또한 상기 소자핸들러는, 제2픽커(520)가 전달위치②에서 적재위치③로 이동될 때 소자(1)의 적재위치③를 정렬하기 위하여 제2픽커(520)에 대한 소자(1)의 픽업상태에 대한 이미지를 획득하는 제2이미지획득부(820)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제2이미지획득부(820)는, 제2픽커(520)에 대한 소자(1)의 픽업상태에 대한 이미지를 획득하는 구성으로서 카메라 등이 사용될 수 있다.

한편 상기 제2이미지획득부(820)에 의하여 획득된 이미지는 제어부에 전달되고 제어부에 의한 이미지분석에 의하여 제2픽커(520)의 회전이동 및 선형이동과, 적재부재(20)의 선형이동의 조합 등 다양한 조합에 의하여 제2픽커(520)에 의하여 픽업된 소자(1)의 소자(1)의 적재위치③의 정렬을 수행할 수 있다.

또한 상기 소자핸들러는, 제2픽커(520)가 적재위치③에서 소자(10)를 적재부재(20)에 적재한 후 그 적재상태에 대한 이미지를 획득하는 제3이미지획득부(미도시)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제3이미지획득부는, 소자(10)가 적재부재(20)에 적재된 후 그 적재상태에 대한 이미지를 획득하여 분석함으로써 적재부재(20)에 부적절하게 적재된 것으로 판단된 경우 시스템을 정지시키거나, 음향 또는 시각신호를 통하여 불적절하게 적재되었음을 알리거나, 제2픽커(520)에 의하여 소자(10)의 재 픽업하여 버리거나 재적재하는 등 적절한 조치를 취할 수 있도록 할 수 있다.

또한 상기 소자핸들러는, 캐리어테이프가 커버테이프(미도시)에 의하여 밀봉된 후 테이프가 부착된 캐리어테이프에 대한 이미지를 획득하는 제4이미지획득부(미도시)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제4이미지획득부는, 캐리어테이프가 커버테이프(미도시)에 의하여 밀봉된 후 커버테이프가 부착된 캐리어테이프에 대한 이미지를 획득하여 분석함으로써 그 밀봉상태가 부적절한 것으로 판단된 경우 시스템을 정지시키거나, 음향 또는 시각신호를 통하여 불적절하게 밀봉되었음을 알리거나, 캐리어테이프를 반대로 이동시켜 실링을 재수행하는 등 적절한 조치를 취할 수 있도록 할 수 있다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

100 : 웨이퍼링카세트부 200 : 웨이퍼링테이블
300 : 언로딩부 410 : 제1픽업툴
510 : 제2픽업툴

Claims (14)

1. 미리 검사된 다수의 소자들이 부착된 복수의 웨이퍼링들이 적재된 웨이퍼링카세트부와;
   상기 웨이퍼링카세트부로부터 웨이퍼링을 공급받아 웨이퍼링을 수평방향으로 이동하는 웨이퍼링테이블과;
   상기 웨이퍼링테이블로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 상기 웨이퍼링으로부터 소자를 전달받아 적재하는 적재부재가 설치된 언로딩부와;
   상기 웨이퍼링테이블의 상측에 설치되며 상기 웨이퍼링테이블에 안착된 웨이퍼링으로부터 소자를 픽업하고 회전되어 픽업된 소자의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 제1픽업툴과;
   상기 제1픽업툴에 의하여 반전된 소자를 픽업한 후 선형이동 및 회전이동 중 적어도 어느 하나의 이동에 의하여 상기 언로딩부의 적재부재로 소자를 전달하는 제2픽업툴을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 제1픽업툴은,
   상기 웨이퍼링으로부터 소자를 픽업하는 픽업위치와, 상기 제2픽업툴에 의하여 소자가 픽업되는 전달위치 사이를 회전하며 그 회전축을 중심으로 원주방향으로 일정한 간격을 두고 설치되는 복수의 제1픽커들과,
   상기 제1픽커들이 지지되어 설치됨과 아울러 상기 복수의 제1픽커들 각각을 상기 픽업위치 및 상기 전달위치에 위치되도록 순차적으로 회전시키는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 제1픽커들의 회전축은 수평방향과 평행하거나 경사를 이루어 설치된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 제2픽업툴은,
   상기 전달위치에서 소자를 픽업한 후 적재위치로 이동되어 상기 언로딩부의 적재부재로 소자를 전달하는 제2픽커와,
   상기 전달위치와 상기 적재위치 사이에서 상기 제1픽업툴에 의하여 반전된 소자를 픽업한 후 선형이동 및 회전이동 중 적어도 어느 하나의 이동에 의하여 상기 제2픽커를 이동시키는 픽커이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 픽커이동부는,
   일단에 상기 제2픽커가 결합되는 암부와,
   상기 암부의 타단이 결합되어 수직방향의 제1회전축을 중심으로 상기 암부를 회전시키는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 픽커이동부는,
   상기 암부에 결합되어 수직방향의 제2회전축을 중심으로 상기 제2픽커를 회전시키는 픽커회전부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 픽커회전부는,
   상기 암부에 설치되는 회전모터와, 상기 제2픽커에 결합된 종동풀리와, 상기 회전모터에 결합된 구동풀리와 상기 종동풀리를 연결하여 상기 회전모터의 구동력을 상기 종동풀리로 전달하는 회전벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
8. 청구항 4 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
   상기 픽커이동부는,
   상기 제2픽커를 상하로 이동시키는 상하이동부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
9. 청구항 8에 있어서,
   상기 픽커이동부는,
   상기 제2픽커를 수평방향으로 선형이동시키는 하나 이상의 선형이동부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
10. 청구항 8에 있어서,
    상기 제2픽업툴은, 상기 제1픽업툴을 사이에 두고 평행하게 한 쌍으로 설치되고,
    상기 적재부재는 상기 한 쌍의 제2픽업툴이 이루는 평행한 방향과 수직방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
11. 청구항 8에 있어서,
    미리 검사된 검사결과에 따라서 부적합한 것으로 판단된 소자가 상기 제2픽업툴에 의하여 적재되는 리젝적재부재가 설치된 리젝부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
12. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1픽업툴이 상기 픽업위치에서 상기 전달위치로 회전될 때 상기 제1픽업툴에 의하여 픽업된 소자의 저면에 대한 비전검사를 위하여 소자의 저면에 대한 이미지를 획득하는 제1이미지획득부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
13. 청구항 11에 있어서,
    상기 제1이미지획득부에 의하여 획득된 소자에 대한 이미지에 따라서 미리 설정된 판단기준에 따라서 부적합한 것으로 판단된 소자가 상기 제2픽업툴에 의하여 적재되는 리젝적재부재가 설치된 리젝부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
14. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2픽업툴의 제2픽커가 상기 전달위치에서 상기 적재위치로 이동될 때 소자의 적재위치를 정렬하기 위하여 상기 제2픽커에 대한 소자의 픽업상태에 대한 이미지를 획득하는 제2이미지획득부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.

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