KR20140083315A - 플렉서블 압전 복합체 및 이를 이용한 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터 - Google Patents
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Abstract
세라믹-폴리머 복합체에 전도성 패스(path) 역할을 하는 폴링 전극을 형성함으로써, 압전 특성 및 출력 특성을 향상시킬 수 있는 플렉서블 압전 복합체 및 이를 이용한 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 플렉서블 압전 복합체는 압전 특성을 가지는 세라믹-폴리머 복합체; 상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하고, 상기 폴링 전극은 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에, 서로 이격된 복수개의 전극 형태로 패터닝되어 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 플렉서블 압전 복합체는 압전 특성을 가지는 세라믹-폴리머 복합체; 상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하고, 상기 폴링 전극은 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에, 서로 이격된 복수개의 전극 형태로 패터닝되어 형성된 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 플렉서블 압전 복합체 및 이를 이용한 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 세라믹-폴리머 복합체에 전도성 패스(path) 역할을 하는 폴링 전극을 형성하여, 압전 특성 및 출력 특성을 향상시킬 수 있는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터에 관한 것이다.
에너지 하베스팅(energy harvesting)은 예를 들어 태양광 에너지를 전기 에너지로 변환하는 것과 같이, A 에너지를, 이와 상이한 성질을 갖는 B 에너지로 변환하는 것을 의미한다.
이중 압전 에너지 하베스팅은 외부로부터 기계적 변형을 가하면 전기분극이 나타나는 현상을 이용한 압전 재료(piezoelectric materials)를 매개체로 하여 외부의 기계적 에너지를 압전 재료의 변형에 의하여 전기 에너지로 변환시키는 것을 말한다.
이때, 압전 재료의 변형에 의하여 변형 및 복원이 반복되면서 전기 에너지를 발생 시키는 압전소자는 유니몰프 타입 또는 바이몰프 타입의 캔틸레버 구조로 형성될 수 있다. 유니몰프 타입은 강성이 우수한 금속판의 일면에 압전 재료막이 접착되며, 바이몰프 타입은 강성이 우수한 금속판의 양쪽면에 압전 재료막이 접착되는 것이다.
본 발명과 관련된 배경기술로는 대한민국 공개특허공보 제 10-2010-0035271호 (2010. 04. 05. 공개)가 있으며, 상기 문헌에는 압전 진동자 및 압전 진동자의 전극 구조가 개시되어 있다.
본 발명의 목적은 세라믹-폴리머 복합체에 전도성 패스(path) 역할을 하는 폴링 전극을 형성함으로써, 압전 특성 및 출력 특성을 향상시킬 수 있는 플렉서블 압전 복합체를 이용한 압전 에너지 하베스터를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체는 압전 특성을 가지는 세라믹-폴리머 복합체; 상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하고, 상기 폴링 전극은 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에, 서로 이격된 복수개의 전극 형태로 패터닝되어 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체는 압전 특성을 가지며, 복수개가 적층된 세라믹-폴리머 복합체; 상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및 상기 복수개의 세라믹-폴리머 복합체의 사이에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터는 지지부; 상기 지지부에 캔틸레버 형태로 타측이 고정되어, 탄성운동을 하는 판형몸체; 및 상기 판형몸체의 일면 또는 양면에 배치되어, 상기 판형몸체의 탄성운동에 의해 변형 및 복원을 반복하면서 교류전원을 발생시키는 플렉서블 압전 복합체;를 포함하고, 상기 플렉서블 압전 복합체는 세라믹-폴리머 복합체와, 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성된 폴링 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 플렉서블 압전 복합체는 세라믹-폴리머 복합체에 복수개의 폴링 전극을 패터닝하거나, 복수개가 적층된 세라믹-폴리머 복합체 사이에 폴링 전극을 형성함으로써, 압전 성능을 향상시킬 수 있으며, 전자의 이동 경로를 형성함으로써 출력 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체 구조를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 도 1의 A를 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체 구조를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 4는 도 2의 B를 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 압전 에너지 하베스터를 나타낸 것이다.
도 2는 도 1의 A를 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체 구조를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 4는 도 2의 B를 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 압전 에너지 하베스터를 나타낸 것이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체 및 이를 이용한 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체 구조를 개략적으로 나타낸 것이다. 도 2는 도 1의 A를 나타낸 것이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체(100)는 세라믹-폴리머 복합체(110), 전극(120) 및 폴링 전극(130)을 포함한다.
세라믹-폴리머 복합체(110)는 PZT, 티탄산바륨(BaTiO3), 산화아연(ZnO), 질화갈륨(GaN) 및 질화알루미늄(AlN) 중 선택된 1종 이상의 압전 세라믹과 폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리이미드(Polyimide), P(VDF-TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-HFP), 실리콘(silicone), 고무(rubber) 및 에폭시(epoxy) 중 선택된 1종 이상의 폴리머로 형성될 수 있다. 세라믹-폴리머 복합체(110)를 형성하기 위하여 세라믹의 형상은 구(sphere), 바늘(needle), 막대(bar or rod), 평판(plate)형 단독으로 혹은 2종 이상 혼용될 수 있다.
여기서 세라믹-폴리머 복합체(110)는 3개의 층으로 도시하였으나, 이는 예시적인 것으로서 세라믹-폴리머 복합체(110)는 단층 또는 다층으로 구성될 수 있다.
세라믹-폴리머 복합체(110)의 두께는 0.01~1000㎛로 형성하는 것이 바람직하다. 만약, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 두께가 0.01㎛ 미만일 경우에는 폴링 전극을 형성하기 어려우며, 압전 효율이 저하되는 문제가 있다. 반대로, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 두께가 1000㎛를 초과할 경우에는 두께가 두꺼워지며 변형이 어려워져 전력 출력 특성이 저하되므로 더 이상의 압전 에너지 하베스팅 효율의 상승 없이 제조 비용만을 상승시키는 요인으로 작용할 수 있다.
전극(120)은 세라믹-폴리머 복합체(110)의 상하부에 각각 형성될 수 있다. 전극(120)은 백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(Graphene), 루테늄(Ru), 탄탈륨 나이트라이드(TaN) 및 타이타늄 나이트라이드(TiN) 중 선택된 1종 이상으로 형성될 수 있다.
한편, 세라믹-폴리머 복합체(110) 형성 이후에는 전극(120)에 전압을 인가하여 세라믹-폴리머 복합체(110)를 폴링하는 과정이 포함된다. 폴링이란, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 상부 및 하부에 형성된 전극(120)에 전압을 인가하면, 전기장이 발생되고, 전기장에 의하여 인접한 도메인들의 다이폴 방향이 점차 일치하게 되는 공정이다.
종래에는 전극(120)에 전압을 인가하면, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 전기 저항이 높아 두께방향의 중심부까지 전기장이 전달이 되지 않는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명에서는 세라믹-폴리머 복합체(110)에 복수개의 폴링 전극(130)을 형성하여, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 상부에서 하부까지 전기장이 전달될 수 있도록 하였으며, 여기서, 폴링 전극(130)은 보조 전극으로 작용하였다고 볼 수 있다.
폴링 전극(130)은 세라믹-폴리머 복합체(110)에 서로 이격된 복수개의 전극 형태로 패터닝되어 형성될 수 있다. 이때, 폴링 전극(130)은 세라믹-폴리머 복합체(110)에 도전성 물질이 삽입되어, 서로 이격된 형태의 복수개의 전극이 되도록 패터닝되어 형성될 수 있다. 이때, 도전성 물질은 백금(Pt), 알루미늄(Al), 금(Au), 은(Ag), 파라듐(Pd), 구리(Cu) 등의 금속, ITO (indium tin oxide) 및 IZO (indium zinc oxide) 등과 같은 도전성 산화물, ZnO, AlN와 같은 반도성 필름 등으로 형성될 수 있다.
폴링 전극(130)은 세라믹-폴리머 복합체(110)에 형성함으로써, 세라믹-폴리머 복합체(110)의 중심부까지 전기장이 발생할 수 있기 때문에 압전 효과도 향상될 수 있는 장점이 있다. 이때, 압전 효과란 물체에 힘을 가하여 신축시킨 순간에 전압을 일으키고, 역으로 물체에 높은 전압을 가했을 때 신축하는 성질 나타내는 것이다. 이와 같은 성질을 가진 대표적인 예로 강유전체인 티탄산 지르코산연〔Pb(Ti, Zr)O3〕(PZT), 티탄산 바륨 (BaTiO3)이 있으며, 유전성 미세분말의 소결체에 강한 직류전압을 가하면 분극의 방향이 일정방향으로 일치하는 성질을 이용하여 1000℃ 이상의 고온에서 만들어지는 세라믹스이다.
따라서, 폴링 전극(130)을 형성함으로써, 전류는 증가하고, 전압은 감소하지만, 전체적인 전력은 증가함으로써, 에너지 하베스팅 소자에 응용이 가능하도록 출력 특성을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터(100)에 의하면, 복수개가 적층된 세라믹-폴리머 복합체에 일정간격 이격되도록 복수개의 폴링 전극을 패터닝 함으로써, 압전 특성 및 출력 특성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 압전 복합체 구조를 개략적으로 나타낸 것이다. 도 4는 도 2의 B를 나타낸 것이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터(200)는 세라믹-폴리머 복합체(110), 전극(120) 및 폴링 전극(230)을 포함한다.
도 3 및 도 4에 도시된 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터(200)의 경우, 다른 요소는 도 1 내지 도 2에 도시된 요소들과 동일하나, 폴링 전극(230)의 크기 및 형태가 상이하다.
도 3 및 도 4에 도시된 폴링 전극(230)은 전극(120)과 동일한 크기 및 형태로 형성될 수 있다. 이와 같이, 폴링 전극(230)은 플레이트 형상으로 형성되며, 전극(120)과 동일한 크기 및 형태로 세라믹-폴리머 복합체(110)의 사이에 형성할 수 있다. 따라서, 폴링 전극(230)은 전도성 패스(path) 역할도 하기 때문에, 전류 특성 및 출력전력 특성을 극대화 시킬 수 있게 된다.
본 발명에 따른 플렉서블 압전 복합체(200)에 의하면, 압전 특성을 갖는 세라믹-폴리머 복합체층이 복수개가 적층된 세라믹-폴리머 복합체 사이에 폴링 전극을 위치 시킴으로써 압전 특성이 더욱 향상될 수 있다. 또한, 세라믹-폴리머 복합체의 변형 시 발생되는 전류는 증가하고, 전압은 다소 감소하지만, 전체적인 전력은 증가시킴으로써, 출력 특성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 5는 본 발명에 따른 압전 에너지 하베스터를 나타낸 것이다.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 압전 에너지 하베스터(300)는 지지부(310), 판형몸체(320) 및 플렉서블 압전 복합체(330)를 포함한다.
압전 에너지 하베스터(300)는 바람, 진동 등의 외부의 힘에 의해 플렉서블 압전 복합체(330)의 변형 및 복원이 반복되면서 전기 에너지를 발생시킨다.
지지부(310)는 일렬로 정렬된 복수개의 판형몸체(320)의 타측이 고정된다. 지지부(310)는 원통형, 직육면체 등의 형태로 형성될 수 있으나, 여기서 지지부(310)의 형태를 한정하는 것은 아니다.
판형몸체(320)는 플렉서블 압전 복합체(330)의 변형과 복원을 반복하기 위해서, 캔틸레버(cantilever) 형태로 고정되어, 탄성 운동한다. 이를 위하여, 판형몸체(220)는 일측은 지지부(310)에 고정되고, 타측은 탄성 운동에 의해 변형 및 복원을 반복할 수 있다.
플렉서블 압전 복합체(330)는 판형몸체(320)의 일면 또는 양면에 배치되며, 판형몸체(320)의 탄성 운동에 의해 변형 및 복원을 반복하면서 교류전원을 발생시킨다.
이때, 플렉서블 압전 복합체(330)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 세라믹-폴리머 복합체, 전극 및 폴링 전극으로 형성될 수 있다. 플렉서블 압전 복합체(330)에서 교류전원을 발생시키기 위하여, 세라믹-폴리머 복합체층은 PZT, 티탄산바륨(BaTiO3), 산화아연(ZnO), 질화갈륨(GaN) 및 질화알루미늄(AlN) 중 선택된 1종 이상의 압전 세라믹과 폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리이미드(Polyimide), P(VDF-TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-HFP), 실리콘(silicone), 고무(rubber) 및 에폭시(epoxy) 중 선택된 1종 이상의 폴리머로 형성될 수 있다. 이들 물질들은 단독으로 혹은 2종 이상 혼용될 수 있다.
본 발명에 따른 압전 에너지 하베스터(300)는 바람, 진동 등의 외부의 힘에 의해 흔들리게 되면서 플렉서블 압전 복합체에 진동 에너지가 가해지고, 이에 따라 변형 및 복원이 반복되면서 진동 에너지를 전기 에너지로 변환할 수 있는 장점이 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100, 200: 플렉서블 압전 복합체
110: 세라믹-폴리머 복합체층
120: 전극층
130, 230: 폴링 전극
300: 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터
310: 지지부
320: 판형몸체
330: 플렉서블 압전 복합체
110: 세라믹-폴리머 복합체층
120: 전극층
130, 230: 폴링 전극
300: 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터
310: 지지부
320: 판형몸체
330: 플렉서블 압전 복합체
Claims (16)
- 압전 특성을 가지는 세라믹-폴리머 복합체;
상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및
상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하고,
상기 폴링 전극은 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에, 서로 이격된 복수개의 전극 형태로 패터닝되어 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
- 제1항에 있어서,
상기 전극은
백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(Graphene), 루테늄(Ru), 탄탈륨 나이트라이드(TaN) 및 타이타늄 나이트라이드(TiN) 중 선택된 1종 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
- 제1항에 있어서,
상기 세라믹-폴리머 복합체는
PZT, 티탄산바륨(BaTiO3), 산화아연(ZnO), 질화갈륨(GaN) 및 질화알루미늄(AlN) 중 선택된 1종 이상의 압전 세라믹을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
- 제1항에 있어서,
상기 세라믹-폴리머 복합체는
폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리이미드(Polyimide), P(VDF-TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-HFP), 실리콘(silicone), 고무(rubber) 및 에폭시(epoxy) 중 선택된 1종 이상의 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
- 제1항에 있어서,
상기 세라믹-폴리머 복합체의 두께는
0.01 ~ 1000㎛인 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
- 압전 특성을 가지며, 복수개가 적층된 세라믹-폴리머 복합체;
상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및
상기 복수개의 세라믹-폴리머 복합체의 사이에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
- 제6항에 있어서,
상기 전극은
백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(Graphene), 루테늄(Ru), 탄탈륨 나이트라이드(TaN) 및 타이타늄 나이트라이드(TiN) 중 선택된 1종 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
- 제6항에 있어서,
상기 세라믹-폴리머 복합체는
PZT, 티탄산바륨(BaTiO3), 산화아연(ZnO), 질화갈륨(GaN) 및 질화알루미늄(AlN) 중 선택된 1종 이상의 압전 세라믹을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
- 제6항에 있어서,
상기 세라믹-폴리머 복합체는
폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리이미드(Polyimide), P(VDF-TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-HFP), 실리콘(silicone), 고무(rubber) 및 에폭시(epoxy) 중 선택된 1종 이상의 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
- 제6항에 있어서,
상기 세라믹-폴리머 복합체의 두께는
0.01 ~ 1000㎛인 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
- 지지부;
상기 지지부에 캔틸레버 형태로 타측이 고정되어, 탄성운동을 하는 판형몸체; 및
상기 판형몸체의 일면 또는 양면에 배치되어, 상기 판형몸체의 탄성운동에 의해 변형 및 복원을 반복하면서 교류전원을 발생시키는 플렉서블 압전 복합체;를 포함하고,
상기 플렉서블 압전 복합체는 세라믹-폴리머 복합체와, 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성된 폴링 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터.
- 제11항에 있어서,
상기 플렉서블 압전 복합체는
압전 특성을 가지는 세라믹-폴리머 복합체;
상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및
상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하고,
상기 폴링 전극은 상기 세라믹-폴리머 복합체 내부에, 서로 이격된 복수개의 전극 형태로 패터닝되어 형성된 것을 특징으로 하는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터.
- 제11항에 있어서,
상기 플렉서블 압전 복합체는
압전 특성을 가지며, 복수개가 적층된 세라믹-폴리머 복합체;
상기 세라믹-폴리머 복합체의 상하부에 형성된 전극; 및
상기 복수개의 세라믹-폴리머 복합체의 사이에 형성되어 있는 폴링 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 압전 복합체.
- 제12항 또는 제13항에 있어서,
상기 세라믹-폴리머 복합체는
PZT, 티탄산바륨(BaTiO3), 산화아연(ZnO), 질화갈륨(GaN) 및 질화알루미늄(AlN) 중 선택된 1종 이상의 압전 세라믹을 포함하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터.
- 제12항 또는 제13항에 있어서,
상기 세라믹-폴리머 복합체는
폴리플루오린화비닐리덴(PVDF), 폴리다이메틸실록산(PDMS), 폴리이미드(Polyimide), P(VDF-TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-HFP), 실리콘(silicone), 고무(rubber) 및 에폭시(epoxy) 중 선택된 1종 이상의 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터.
- 제12항 또는 제13항에 있어서,
상기 세라믹-폴리머 복합체의 두께는
0.01 ~ 1000㎛인 것을 특징으로 하는 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터.
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| KR1020120152908A KR101417855B1 (ko) | 2012-12-26 | 2012-12-26 | 플렉서블 압전 복합체 및 이를 이용한 캔틸레버형 압전 에너지 하베스터 |
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