KR20140078140A

KR20140078140A - Graphite sheet and pruducing method thereof

Info

Publication number: KR20140078140A
Application number: KR1020120147158A
Authority: KR
Inventors: 김동헌
Original assignee: (주)우주일렉트로닉스
Priority date: 2012-12-17
Filing date: 2012-12-17
Publication date: 2014-06-25
Also published as: KR101465419B1

Abstract

The present invention relates to a graphite sheet, and method for manufacturing the same, and a heat radiation film comprising the same. More specifically, the present invention relates to a method for manufacturing a graphite sheet comprising the steps of: forming a graphite layer on at least one side of a supporter by using joule heating; and forming an adhesive layer on the graphite layer, so that the graphite sheet having the excellent properties can be applied to wide industrial fields.

Description

흑연 시트 및 이의 제조 방법{GRAPHITE SHEET AND PRUDUCING METHOD THEREOF}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a graphite sheet and a method for producing the graphite sheet.

본원은 흑연 시트, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 방열 필름에 관한 것이다.The present invention relates to a graphite sheet, a method for producing the same, and a heat-radiating film containing the same.

세라믹스 재료 중에 탄화규소는 고온강도, 크립 저항성, 내마모성, 화학적 안정성 등 우수한 특성들로 열기관, 열교환기, 내마모 용품 및 우주항공기의 재료 등 여러 분야에서 광범위하게 사용되고 있으며, 수요산업계에서는 경량이면서 파괴인성, 내식성 및 고온강도를 가진 탄화규소 복합화에 대한 응용 범위는 계속 확대되고 있는 실정이다.Silicon carbide in ceramics materials has excellent properties such as high temperature strength, creep resistance, abrasion resistance and chemical stability, and is widely used in various fields such as heat pipes, heat exchangers, wear resistant materials and materials for space vehicles. In the demand industries, , The application range of silicon carbide composites having corrosion resistance and high temperature strength is still expanding.

탄소 원자들이 2차원 상에서 벌집 모양의 배열을 이루면서 원자 한 층의 두께를 가지는 전도성 물질인 그래핀이 3차원으로 쌓여 형성된 흑연은 구조적, 화학적으로도 매우 안정할 뿐 아니라 매우 뛰어난 열전도체로서 기존 구리와 알루미늄보다 수배 이상 뛰어난 방열 효과를 제공할 수 있다고 알려져 있다. Graphite formed by stacking three-dimensionally graphene, which is a conductive material having a thickness of one layer, in which carbon atoms form a honeycomb arrangement in a two-dimensional phase is very stable not only structurally and chemically, but also a very good thermal conductor, It is known that it can provide heat dissipation effect that is several times better than aluminum.

흑연 소재 방열판은 최대 2,000 W/m.k의 열전도율을　나타내는데, 이는 기존 알루미늄 제품의 평균　열전도율인 228 W/m.k보다 약 10배 정도 우수하다. 이러한 탁월한 열전도율 성능뿐만 아니라 팬이나 히트파이프와 같은 다른 열관리 제품의 중복 설치를 피함으로써 유효 공간의 최대 확보도 기대할 수 있다. 또한 구리와 알루미늄보다 무게가 가벼워 무게에 민감한 휴대용 전기제품에 이상적인 특성을 구현할 수 있다.The graphite heat sink exhibits a thermal conductivity of up to 2,000 W / m.k, which is about 10 times better than the average thermal conductivity of conventional aluminum products of 228 W / m.k. In addition to this excellent thermal conductivity performance, it is also possible to maximize the effective space by avoiding redundant installation of other thermal management products such as fans and heat pipes. It is also lighter than copper and aluminum, making it ideal for weight-sensitive portable electronics.

그러나, 아직 수십 ㎛ 이하 두께의 고밀도 흑연 필름의 대량 합성법 개발 및 이를 통한 방열필름 응용의 실제 적용 가능한 기술이 개발되지 않아 이러한 기술의 개발에 대한 요구가 증가되고 있다.However, the development of a large-scale synthesis method of a high-density graphite film having a thickness of several tens of micrometers or less and a practical application of a heat-radiating film through this technique have not been developed, and the demand for development of such a technology is increasing.

현재 금속촉매를 활용한 화학증기증착법은 1 nm 미만의 두께를 갖는 투명전도필름용 얇은 그래핀 합성에 대해서만 기술이 개발이 되어 있으며(대한민국 공개 특허 제10-2011-0031863호) 방열필름에 사용할 수 있는 수십 ㎛ 두께의 흑연 필름 합성 기술에 대해서는 연구가 되어 있지 않다. Currently, a chemical vapor deposition method using a metal catalyst has been developed only for thin graphene synthesis for a transparent conductive film having a thickness of less than 1 nm (Korean Patent Laid-Open No. 10-2011-0031863) There is no study on the technique of synthesizing graphite film having a thickness of several tens of 탆.

또한, 기존의 흑연 필름 제조는 고분자 필름의 고온소성, 탄화법 공정을 통해 이루어 질 수 있으나, 2000℃ 이상의 고열조건하에서 장시간 소성 과정이 필요하여 막대한 에너지를 필요로 하는 문제점을 가지고 있다 (일본 공개 특허 JP 2006-306068).In addition, although the conventional graphite film can be produced through a high-temperature firing and a carbonization process of a polymer film, a long time firing process is required under a high-temperature condition of 2000 ° C or more, which requires enormous energy (Japanese Patent Laid- 2006-306068).

이에, 본원은 주울 가열(Joule heating)을 이용한 흑연 시트의 제조 방법, 상기 제조 방법에 의해 제조된 흑연 시트 및 이를 포함하는 방열 필름을 제공하고자 한다.Accordingly, the present invention provides a process for producing a graphite sheet using Joule heating, a graphite sheet produced by the process, and a heat-radiating film comprising the graphite sheet.

그러나, 본원이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본원의 제 1 측면은 주울 가열(joule heating)을 이용하여 지지체의 적어도 일면에 흑연층을 형성하는 단계; 및 상기 흑연층에 점착층을 형성하는 단계를 포함하는, 흑연 시트의 제조 방법을 제공한다.A first aspect of the present invention provides a method of forming a graphite sheet, comprising: forming a graphite layer on at least one side of a support using joule heating; And forming a pressure-sensitive adhesive layer on the graphite layer.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 지지체를 제거하는 단계를 추가 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the invention, the step of removing the support may further include but is not limited to the following.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 점착층은 롤-투-롤 공정에 의해 형성되는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the present invention, the adhesive layer may be formed by a roll-to-roll process, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 지지체는 Ni, 다공성 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동(brass), 청동(bronze), 백동(white brass), 스테인레스 스틸(stainless steel), Ge 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the present invention, the support comprises at least one of Ni, porous Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, But are not limited to, those selected from the group consisting of Zr, brass, bronze, white brass, stainless steel, Ge, and combinations thereof.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 지지체는 그의 표면에 형성되는 흑연 성장용 금속 촉매층을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the present invention, the support may include, but is not limited to, a metal catalyst layer for graphite growth formed on its surface.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 흑연 성장용 금속 촉매층은 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동(brass), 청동(bronze), 백동(white brass), 스테인레스 스틸(stainless steel), Ge 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the present invention, the graphite growth metal catalyst layer comprises at least one of Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, , Zr, brass, bronze, white brass, stainless steel, Ge, and combinations thereof. However, the present invention is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 흑연층은 100 nm 내지 100 ㎛ 두께를 가지는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the present invention, the graphite layer may have a thickness of 100 nm to 100 탆, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 흑연층의 일면에 절연층을 형성하는 단계를 추가 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the present invention, a step of forming an insulating layer on one side of the graphite layer may be further included, but the present invention is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 점착층은 열 박리성(thermal release) 폴리머, 저밀도 폴리에틸렌, 또는 저분자 폴리머를 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the invention, the adhesive layer can include, but is not limited to, a thermal release polymer, a low density polyethylene, or a low molecular weight polymer.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 흑연층은 상기 지지체에 고전류를 흘려주어 가열한 후 탄소 소스를 포함하는 반응 가스를 주입하여 흑연이 성장되어 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the present invention, the graphite layer may be formed by growing a graphite by injecting a reactive gas containing a carbon source after flowing a high current through the support, but the present invention is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 지지체를 제거하는 단계는 에칭 용액조에서 실시할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the invention, the step of removing the support may be performed in an etching solution bath, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 절연층은 폴리에스테르, 폴리스티렌, 폴리이미드, PET (polyethylene terephthalate), 폴리올레핀, 셀룰로스에스테르, 폴리카보네이트, 폴리술폰 또는 이들의 조합을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
In one embodiment of the invention, the insulating layer may include, but is not limited to, polyester, polystyrene, polyimide, polyethylene terephthalate (PET), polyolefin, cellulose ester, polycarbonate, polysulfone, no.

본원의 제 2 측면은, 지지체; 상기 지지체의 적어도 일면에 형성된 흑연층; 및 상기 흑연층에 형성된 점착층을 포함하는 흑연 시트를 제공한다.A second aspect of the present application provides a lithographic apparatus comprising: a support; A graphite layer formed on at least one side of the support; And a pressure-sensitive adhesive layer formed on the graphite layer.

본원의 제 3 측면은, 흑연층; 및 상기 흑연층의 형성된 점착층을 포함하는 흑연 시트를 제공한다.A third aspect of the present application provides a graphite layer; And a pressure-sensitive adhesive layer formed of the graphite layer.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 흑연시트는 상기 흑연층의 일면에 형성된 절연층을 추가 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the present invention, the graphite sheet may further include an insulating layer formed on one side of the graphite layer, but the present invention is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 지지체는 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동(brass), 청동(bronze), 백동(white brass), 스테인레스 스틸(stainless steel), Ge 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the present application, the support comprises at least one of Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, but are not limited to, those selected from the group consisting of brass, bronze, white brass, stainless steel, Ge, and combinations thereof.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 지지체는 그의 표면에 형성된 흑연 성장용 금속 촉매층을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the present invention, the support may include, but is not limited to, a metal catalyst layer for graphite growth formed on its surface.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 흑연층은 100 nm 내지 100 ㎛ 두께를 가질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In one embodiment of the present invention, the graphite layer may have a thickness of 100 nm to 100 탆, but is not limited thereto.

본원의 제 4 측면은, 상기 본원의 제 2 측면 또는 제 3 측면의 흑연 시트를 포함하는 방열 필름을 제공한다.The fourth aspect of the present invention provides a heat-radiating film comprising the graphite sheet of the second or third aspect of the present invention.

본원의 제 5 측면은, 상기 본원의 제 2 측면 또는 제 3 측면의 흑연 시트를 포함하는 흑연 복합 필름을 제공한다.The fifth aspect of the present invention provides a graphite composite film comprising the graphite sheet of the second or third aspect of the present invention.

본원의 흑연 시트의 제조 방법에 의하면, 기존의 고분자 필름 탄화법과는 달리 니켈, 철 등의 금속 또는 이들의 합금 형태의 지지체 상에 탄소 소스를 공급하면서, 별도의 외부 고로에 의한 가열공정 없이 금속 지지체에 전류를 공급하여 주울 가열로 금속 지지체를 900℃ 이상으로 가열하여 탄소 흡착에 의한 고밀도의 흑연을 용이하게 제조할 수 있어, 열전도도, 전자파자폐, 내열성, 내화학성 및 기계적 특성 등의 뛰어난 특성을 갖는 흑연 시트를 방열 필름뿐만 아니라 전자파 차폐 등의 보완제로서 폭넓은 산업 분야에 적용 가능하다. According to the process for producing a graphite sheet of the present invention, unlike conventional polymer film carbonization, a carbon source is supplied onto a support such as nickel, iron or the like or an alloy thereof, The graphite can be easily manufactured by heating the Joule furnace metal support at 900 ° C. or higher by supplying current to the Joule heating furnace to easily produce high density graphite by carbon adsorption and to obtain excellent characteristics such as thermal conductivity, electromagnetic wave autonomy, heat resistance, chemical resistance and mechanical characteristics Can be applied to a wide range of industrial fields as a heat radiating film as well as a complementary agent for shielding electromagnetic waves.

또한, 본원의 흑연 시트를 포함하는 방열 필름으로 코팅된 전자 소자 등은 열 방출이 좋아짐으로써 높은 전기적 성질을 보다 장시간 동안 유지할 수 있다.In addition, electronic devices coated with a heat radiating film including the graphite sheet of the present invention can maintain high electrical properties for a longer time by improving heat release.

본원에 따른 스마트폰, 타블렛 PC, TV와 같은 전자소자 등에 적용되는 흑연 방열필름은 단시간 내에 저비용으로 목적 소자상에 삽입할 수 있으며, 상기 코팅 필름은 수 ㎛에서 수십 ㎛로 매우 얇으며, 경량이고, 유연성 및 탄성이 탁월한 특징을 나타낸다.The graphite heat-radiating film applied to electronic devices such as smart phones, tablet PCs, and TVs according to the present invention can be inserted on a target device at a low cost within a short time. The coating film is extremely thin from several μm to several tens of μm, , Flexibility and elasticity.

도 1은 본원의 일 구현예에 따른 흑연 시트 제조 방법의 흐름도이다.
도 2는 본원의 일 구현예에 따른 흑연 시트의 제조 과정을 나타낸 개략도이다.
도 3은 본원의 일 구현예에 따른 흑연 시트의 제조 과정을 나타낸 개략도이다.
도 4는 본원의 일 구현예에 따른 흑연 시트 제조 방법의 흐름도이다.
도 5는 본원의 일 구현예에 따른 흑연 시트의 제조 과정을 나타낸 개략도이다.
도 6은 본원의 일 구현예에 따른 흑연 시트의 롤-투-롤 제조 장치를 나타낸 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is a flow chart of a method of making a graphite sheet according to one embodiment of the present application.
FIG. 2 is a schematic view showing a process for producing a graphite sheet according to an embodiment of the present invention. FIG.
3 is a schematic view showing a process for producing a graphite sheet according to an embodiment of the present invention.
4 is a flow chart of a method of manufacturing a graphite sheet according to one embodiment of the present application.
5 is a schematic view illustrating a process of producing a graphite sheet according to an embodiment of the present invention.
6 shows an apparatus for producing a roll-to-roll of a graphite sheet according to an embodiment of the present invention.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and similar parts are denoted by like reference characters throughout the specification.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. It should be understood, however, that the present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In the drawings, the same reference numbers are used throughout the specification to refer to the same or like parts.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. Throughout this specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it is not limited to a case where it is "directly connected" but also includes the case where it is "electrically connected" do.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 상에 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Throughout this specification, when a member is located on another member, this includes not only when a member is in contact with another member but also when another member is present between the two members.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.Throughout this specification, when an element is referred to as "including " an element, it is understood that the element may include other elements as well, without departing from the other elements unless specifically stated otherwise. The terms "about "," substantially ", etc. used to the extent that they are used throughout the specification are intended to be taken to mean the approximation of the manufacturing and material tolerances inherent in the stated sense, Accurate or absolute numbers are used to help prevent unauthorized exploitation by unauthorized intruders of the referenced disclosure. The word " step (or step) "or" step "used to the extent that it is used throughout the specification does not mean" step for.

본원 명세서 전체에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 이들의 조합(들)의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.Throughout this specification, the term combination (s) thereof in the expression of a machine form means a mixture or combination of one or more elements selected from the group consisting of the constituents described in the expression of the form of a marker, &Lt; / RTI > < RTI ID = 0.0 > and / or < / RTI >

본원 명세서 전체에서 사용된 용어 "주울 가열(Joule heating)"은 도체에 전류가 흐름으로 인해 열이 발생하는 과정을 의미한다. 발생하는 열은 전류의 제곱과 전선의 전기저항의 곱에 비례한다.
The term " Joule heating " as used throughout this specification refers to the process in which heat is generated due to current flow through the conductor. The heat generated is proportional to the product of the square of the current and the electrical resistance of the wire.

이하, 본원에 대하여 도면을 참조하여 구현예와 실시예를 이용하여 구체적으로 설명한다. 그러나, 본원에 이러한 구현예와 실시예에 제한되는 것은 아니다.
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and embodiments. However, the present invention is not limited to these embodiments and examples.

도 1 및 도 2는 본원의 일 구현예에 따른 흑연 시트 제조 방법의 흐름도 및 제조 과정을 나타낸 개략도이다. 1 and 2 are schematic views showing a flow chart and a manufacturing process of a graphite sheet manufacturing method according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본원의 일 구현예에 따른 흑연 시트는 금속층에 흑연층을 형성하는 단계(S10); 상기 흑연층에 점착층을 형성하는 단계(S21); 및 상기 흑연 시트를 건조하는 단계(S30)에 의해 제조할 수 있다. 본원의 다른 구현예에 있어서, 도 5에서와 같이, 상기 흑연층에 점착층을 형성하는 단계(S21) 이후에 상기 금속층을 제거하고 세척하는 단계(S22)를 추가 포함할 수 있다(도 4).As shown in FIG. 1, a graphite sheet according to an embodiment of the present invention includes a step (S10) of forming a graphite layer on a metal layer; Forming an adhesive layer on the graphite layer (S21); And drying the graphite sheet (S30). In another embodiment of the present invention, as shown in FIG. 5, the method may further include a step (S22) of removing and cleaning the metal layer after the step (S21) of forming an adhesive layer on the graphite layer (FIG. 4) .

도 2에 도시된 바와 같이, 본원의 일 구현예에 따른 흑연 시트는, 지지체(110)의 양면에 흑연층(120)을 형성하고, 상기 흑연층(120)에 점착층(130)을 형성하여 제조될 수 있다. 2, a graphite sheet according to an embodiment of the present invention includes graphite layers 120 formed on both sides of a support 110, an adhesive layer 130 formed on the graphite layer 120, .

본원의 예시적인 구현예에 있어서, 상기 흑연층은 단일층 또는 다층의 그래핀을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 흑연층은, 예를 들어, 약 100 nm 내지 약 100 ㎛, 약 300 nm 내지 약 100 ㎛, 약 500 nm 내지 약 100 ㎛, 약 1 ㎛ 내지 약 100 ㎛, 약 10 ㎛ 내지 약 100 ㎛, 약 50 ㎛ nm 내지 약 100 ㎛, 약 100 nm 내지 약 90 ㎛, 약 100 nm 내지 약 50 ㎛, 약 100 nm 내지 약 10 ㎛, 약 100 nm 내지 약 1 ㎛, 또는 약 100 nm 내지 약 500 nm의 두께일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 흑연층은 횡방향 및/또는 종방향의 길이가 약 10 mm 내지 약 1000 m의 대면적으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. In an exemplary embodiment of the invention, the graphite layer may comprise a single layer or multiple layers of graphene, but is not limited thereto. The graphite layer may have a thickness of, for example, from about 100 nm to about 100 m, from about 300 nm to about 100 m, from about 500 nm to about 100 m, from about 1 m to about 100 m, from about 10 m to about 100 m, From about 100 nm to about 100 m, from about 100 nm to about 90 m, from about 100 nm to about 50 m, from about 100 nm to about 10 m, from about 100 nm to about 1 m, or from about 100 nm to about 500 nm But is not limited thereto. The graphite layer may be formed in a large area of about 10 mm to about 1000 m in the transverse direction and / or the longitudinal direction, but is not limited thereto.

본원의 예시적인 구현예에 있어서, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 흑연층(120)의 일면에 절연층(140)을 추가 형성할 수 있다. 지지체(110)의 양면에 흑연층(120)을 형성하고, 상기 흑연층(120)의 다른 일면에 점착층(130)을 형성하여, 상기 흑연층(120)에 상기 절연층(140) 및 상기 점착층(130)이 형성된 흑연 시트를 제조할 수 있다. 본원의 다른 구현예에 있어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 지지체(110)의 양면에 흑연층(120)을 형성하고, 상기 흑연층(120)의 다른 일면에 점착층(130)을 형성한 후, 상기 지지체(110)를 에칭하여 제거하여, 상기 흑연층(120)에 상기 점착층(130)이 형성된 흑연 시트를 제조할 수 있다.In an exemplary embodiment of the present invention, an insulating layer 140 may be further formed on one side of the graphite layer 120 as shown in FIG. A graphite layer 120 is formed on both sides of the support 110 and an adhesive layer 130 is formed on the other surface of the graphite layer 120. The insulating layer 140 and the insulating layer 140 are formed on the graphite layer 120, A graphite sheet having the adhesive layer 130 formed thereon can be produced. 5, a graphite layer 120 is formed on both sides of the support 110 and an adhesive layer 130 is formed on the other surface of the graphite layer 120 The support 110 may be etched and removed to produce a graphite sheet having the adhesive layer 130 formed on the graphite layer 120.

본원의 예시적인 구현예에 있어서, 상기 점착층(130)은 열 박리성(thermal release) 폴리머, 저밀도 폴리에틸렌, 또는 저분자 폴리머를 포함할 수 있으며, 예를 들어, PDMS(poly-dimethylsiloxane), 폴리 우레탄 필름, 수계 점착제, 수용성 점착제, 초산 비닐 에멀젼 접착제, 핫멜트 접착제, 광경화용 접착제, PBI(Polybenizimidazole), PI(Polyimide), 실리콘/이미드(Silicone/imide), BMI(Bismaleimide), 변성 에폭시 수지, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 점착층은 약 0.1 ㎛ 내지 약 500㎛, 예를 들어, 약 1 ㎛ 내지 약 500㎛, 약 10 ㎛ 내지 약 500㎛, 약 50 ㎛ 내지 약 500㎛, 약 100 ㎛ 내지 약 500㎛, 약 200 ㎛ 내지 약 500㎛, 약 300 ㎛ 내지 약 500㎛, 약 0.1 ㎛ 내지 약 400㎛, 약 0.1 ㎛ 내지 약 300㎛, 약 0.1 ㎛ 내지 약 200㎛, 약 0.1 ㎛ 내지 약 100㎛, 약 0.1 ㎛ 내지 약 50㎛, 약 0.1 ㎛ 내지 약 10㎛, 또는 약 0.1 ㎛ 내지 약 1㎛ 의 두께일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 점착층(13)은 종래의 라미네이션법, 스프레이법 등을 통해 상기 흑연층(120)에 코팅함으로써 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The adhesive layer 130 may comprise a thermal release polymer, a low density polyethylene, or a low molecular weight polymer, such as poly-dimethylsiloxane (PDMS), polyurethane Film, water-based adhesive, water-soluble adhesive, vinyl acetate emulsion adhesive, hot melt adhesive, photo-curing adhesive, polybenizimidazole (PBI), polyimide, silicone / imide, bismaleimide, And combinations thereof. However, the present invention is not limited thereto. The adhesive layer may have a thickness of from about 0.1 microns to about 500 microns, such as from about 1 microns to about 500 microns, from about 10 microns to about 500 microns, from about 50 microns to about 500 microns, from about 100 microns to about 500 microns, from about 200 microns From about 0.1 microns to about 300 microns, from about 0.1 microns to about 200 microns, from about 0.1 microns to about 100 microns, from about 0.1 microns to about 500 microns, from about 300 microns to about 500 microns, from about 0.1 microns to about 400 microns, About 50 占 퐉, about 0.1 占 퐉 to about 10 占 퐉, or about 0.1 占 퐉 to about 1 占 퐉, but is not limited thereto. The adhesive layer 13 may be formed by coating the graphite layer 120 through a conventional lamination method or a spray method, but the present invention is not limited thereto.

상기 절연층(140)은 절연성 커버 또는 시트의 형태로 사용가능한 플라스틱이라면 제한 없이 사용할 수 있으며, 예를 들어, 폴리에스테르, 폴리스티렌, 폴리이미드, PET (polyethylene terephthalate), 폴리올레핀, 셀룰로스에스테르, 폴리카보네이트, 폴리술폰 또는 이들의 조합들을 포함하는 것일 수 있으며, 예를 들어, PET(poly ethylene telephtalate)일 수 있다.The insulating layer 140 may be any plastic that can be used in the form of an insulating cover or a sheet. Examples of the insulating layer 140 include polyester, polystyrene, polyimide, polyethylene terephthalate (PET), polyolefin, cellulose ester, polycarbonate, Polysulfone, or combinations thereof, and may be, for example, PET (poly ethylene telephtalate).

본원의 예시적인 구현예에 있어서, 상기 지지체의 양면에 흑연층(120)을 형성하는 단계는 주울 가열을 이용한 것으로서, 지지체에 접촉된 전극을 통해 고전류를 흘려주어 가열한 후 탄소 소스를 포함하는 반응가스를 흘려주어 흑연이 상기 지지체의 표면에 성장 및 코팅되어 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In the exemplary embodiment of the present invention, the step of forming the graphite layer 120 on both sides of the support is performed by using Joule heating, in which a high current is flowed through the electrode contacted with the support, Graphite may be formed by flowing a gas and growing and coating on the surface of the support, but the present invention is not limited thereto.

본원의 예시적인 구현예에 있어서, 상기 흑연 시트를 건조하는 단계(S30)를 추가 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In an exemplary embodiment of the present application, the step of drying the graphite sheet (S30) may be further included, but is not limited thereto.

본원의 예시적인 구현예에 있어서, 상기 흑연 시트를 냉각하는 단계를 추가 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In an exemplary embodiment of the invention, the step of cooling the graphite sheet may be further included, but is not limited thereto.

본원의 예시적인 구현예에 있어서, 상기 흑연 시트의 제조 방법은 도 6에 도시된 바와 같은 장치에 의해 제조될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 도 7에 도시된 바와 같은 장치는, 상기 지지체(110)를 롤-투-롤 방식으로 공급하기 위한 제 1 롤러(210); 상기 지지체(110)의 전치리를 위한 전처리부(400); 상기 지지체(110)의 표면에 흑연층(120)을 합성과 동시에 코팅하여 흑연 시트를 형성하기 위한 흑연 합성부(300); 상기 흑연 합성부(300)에서 형성된 상기 흑연 시트를 냉각하기 위한 냉각부(500); 상기 점착층(130)을 형성하기 위한 점착물질을 롤투롤 방식으로 공급하기 위한 제 2 롤러(220); 및 상기 건조된 흑연 시트를 롤투롤 방식으로 회수하기 위한 제 3 롤러(230)를 포함할 수 있다. 상기 지지체(110)는 상기 제 1 롤러(210)와 상기 제 3 롤러(230)의 구동에 의하여 상기 제 1 롤러(210)로부터 상기 전처리부(400), 흑연 합성부(300), 및 냉각부(500)를 순차적으로 통과하면서 흑연층(120)이 코팅되고 점착층(130)이 형성됨으로써, 상기 흑연층(120) 및 상기 점착층(130)을 포함하는 흑연 시트가 상기 제 3 롤러(230)에 의하여 회수된다.In an exemplary embodiment of the invention, the method of making the graphite sheet may be manufactured by an apparatus as shown in Fig. 6, but is not limited thereto. 7 comprises a first roller 210 for feeding the support 110 in a roll-to-roll manner; A pretreatment unit 400 for pretreatment of the support 110; A graphite synthesizer 300 for synthesizing and simultaneously coating a graphite layer 120 on the surface of the support 110 to form a graphite sheet; A cooling unit 500 for cooling the graphite sheet formed in the graphite synthesis unit 300; A second roller 220 for supplying a sticky material for forming the adhesive layer 130 in a roll-to-roll manner; And a third roller 230 for recovering the dried graphite sheet in a roll-to-roll manner. The support 110 is moved from the first roller 210 to the pretreatment unit 400, the graphite synthesis unit 300, and the cooling unit 300 by driving the first roller 210 and the third roller 230, The graphite layer 120 is coated and the adhesive layer 130 is formed while the graphite layer 120 and the adhesive layer 130 are sequentially passed through the third roller 230 ).

상기 전처리부(400)에서는 상기 제 1 롤러를 통해 공급되는 금속부재 표면 상에 플라즈마, 레이져, 예열 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 공정이 수행될 수 있다. 예를 들어, 필요에 따라 플라즈마 공정, 레이져 공정, 또는 예열 공정을 순차적으로 진행시킬 수 있다.In the pretreatment unit 400, a process selected from the group consisting of plasma, laser, preheating, and combinations thereof may be performed on the surface of the metal member supplied through the first roller. For example, a plasma process, a laser process, or a preheating process can be sequentially performed as needed.

상기 플라즈마 공정 및 상기 레이져 공정은 그래핀이 합성될 금속부재 또는 금속촉매 상에 불순물을 제거하고 금속부재의 조직을 치밀하게 하며, 조직의 크기를 성장시키기 위해 사용될 수 있다. 이 경우, 상기 플라즈마 공정 및/또는 상기 레이져 공정에 의해 제거된 불순물의 이동을 방지하기 위하여, 상기 전처리부 내의 플라즈마 공정과 레이저 공정 사이에 격벽을 설치할 수 있다. 또한 상기 전처리부의 입구 및/또는 출구에 외부 공기와의 유출입을 차단하기 위하여 격벽이 추가로 형성되어 있을 수 있다.The plasma process and the laser process can be used to remove impurities on the metal member or the metal catalyst to be graphened, to compact the structure of the metal member, and to grow the size of the tissue. In this case, in order to prevent the movement of impurities removed by the plasma process and / or the laser process, a partition wall may be provided between the plasma process and the laser process in the pre-process unit. Further, a partition may be additionally formed at the inlet and / or outlet of the pretreatment unit to block the inflow / outflow of the air to / from the outside air.

상기 예열 공정은 상기 흑연 합성부(300)에서 흑연의 합성 및/또는 코팅 전에, 흑연의 성장 및 코팅이 용이하게 일어날 수 있는 온도로 미리 금속부재를 가열하는 공정을 말한다. 상기 예열 공정에 의해 상기 금속부재는 상기 흑연 합성부에서 화학기상증착이 용이하게 일어날수 있는 온도와 동일하게 또는 그보다 낮은 온도로 예열될 수 있다. 상기 온도는, 예를 들어 약 300℃ 내지 약 2000℃, 또는 약 300℃ 내지 약 1000℃, 또는 약 300℃ 내지 약 500℃를 포함한다.The preheating process refers to a process of heating the metal member in advance before synthesis and / or coating of graphite in the graphite synthesizer 300, at a temperature at which graphite growth and coating can easily occur. By the preheating process, the metal member can be preheated to a temperature equal to or lower than a temperature at which chemical vapor deposition can easily occur in the graphite synthesis portion. The temperature includes, for example, from about 300 ° C to about 2000 ° C, or from about 300 ° C to about 1000 ° C, or from about 300 ° C to about 500 ° C.

본원의 예시적인 구현예에 있어서, 상기 냉각부(500)는 공냉 또는 수냉식 냉각 장치를 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.In an exemplary embodiment of the present application, the cooling unit 500 may include, but is not limited to, an air-cooled or water-cooled cooling unit.

본원의 흑연 시트의 제조 장치는 수직 또는 수평으로 배치할 수 있다. 상기 지지체(110)가 고온에서 변형 및/또는 휨 현상을 최소화하거나 방지하고 열의 구배를 안정적으로 유지시키기 위해 상기 장치를 수직으로 배치하는 것이 효과적일 수 있으며, 상기 수직으로 배치된 흑연 시트의 롤-투-롤 장치는 지지체(110) 상에 흑연 성장용 금속 촉매층을 증착하여 흑연층(120)을 코팅하는 경우, 상기 촉매층의 대면적 결정화가 가능하여 보다 용이하게 상기 지지체(110) 상에 흑연층(120)을 코팅할 수 있다. 또한 상기 장치를 수평으로 배치하는 경우 특별한 지그 제작을 통해 안정적으로 이송 가능하게 하여 상기 롤-투-롤 장치를 작동시킬 수 있다. The apparatus for producing graphite sheets of the present invention can be arranged vertically or horizontally. It may be effective to arrange the device vertically to minimize or prevent deformation and / or bowing of the support 110 at high temperatures and to maintain a steady gradient of heat, and the roll- In the case of coating the graphite layer 120 by depositing a metal catalyst layer for graphite growth on the support 110, the to-roll apparatus can crystallize the catalyst layer in a large area, thereby facilitating the graphite layer 120 on the support 110 more easily. (120). In addition, when the apparatus is horizontally disposed, the roll-to-roll apparatus can be operated by making it possible to stably transport the apparatus through a special jig.

상기 흑연 합성부(300)는 챔버 형태를 가지는 것일 수 있다. 상기 챔버 형태의 장치는 상기 지지체(110)의 표면 상에 흑연층(120)을 코팅하는 경우에 사용될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The graphite synthesis section 300 may have a chamber shape. The apparatus in the form of a chamber may be used in coating the graphite layer 120 on the surface of the support 110, but is not limited thereto.

흑연 합성부(300)는 상기 지지체(110)의 표면에 흑연층(120)을 합성과 동시에 코팅시킨다. 상기 흑연층(120)의 합성을 위한 방법으로는 주울 가열(joule heating)을 위한 방법이라면 제한 없이 사용될 수 있으며, 예를 들어, 상기 지지체(110)에 전극을 접촉하여 전력 공급부(350)을 통해 고전류를 흘려주어 주울 가열에 의해 상기 지지체(110)의 온도를 상승시킨 후 탄소 소스를 포함하는 반응 가스를 주입하여 상기 흑연층을 성장 및 코팅할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 지지체는 예를 들어, 약 700℃ 이상, 약 800 ℃ 이상, 약 900℃ 이상, 약 1000℃ 이상, 약 1100℃ 이상 또는 약 1200℃ 이상의 온도로 가열될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The graphite synthesizer 300 synthesizes and simultaneously coats the graphite layer 120 on the surface of the support 110. As a method for synthesizing the graphite layer 120, any method for joule heating can be used without limitation. For example, when the electrode is brought into contact with the support 110 and the power is supplied through the power supply unit 350 The graphite layer may be grown and coated by injecting a reactive gas including a carbon source after raising the temperature of the support 110 by heating the joule by flowing a high current. However, the present invention is not limited thereto. The support may be heated to a temperature of, for example, about 700 ° C or more, about 800 ° C or more, about 900 ° C or more, about 1000 ° C or more, about 1100 ° C or more, or about 1200 ° C or more.

예시적 구현예에서, 상기 흑연층(120)의 합성과 코팅은 흑연 합성부 내의 가스 노즐(310)을 통하여 탄소 소스를 포함하는 반응 가스가 주입되어, 상기 흑연 합성부(300)에서 주울 가열에 의해 가열된 상기 지지체(110) 표면에 흑연층(120)이 합성되어 코팅되는 것일 수 있다. 상기 탄소 소스를 포함하는 반응가스는 상기 탄소 소스만으로 존재하거나, 또는 질소, 헬륨, 아르곤 등과 같은 불활성 가스와 상기 탄소 소스가 함께 존재할 수도 있다. 또한, 상기 탄소 소스를 포함하는 반응가스는 상기 탄소 소스와 더불어 수소를 포함할 수 있다. 수소는 상기 기재의 표면을 깨끗하게 유지하여 기상 반응을 제어하기 위하여 사용될 수 있으며, 용기 전체 부피의 약 1 부피% 내지 약 40 부피% 로 사용가능하고, 예를 들어, 약 10 부피% 내지 약 30 부피%, 또는 약 5 부피% 내지 약 25 부피% 이다.In the exemplary embodiment, the synthesis and coating of the graphite layer 120 is performed by injecting a reaction gas containing a carbon source through the gas nozzle 310 in the graphite synthesis section, and performing a Joule heating in the graphite synthesis section 300 And the graphite layer 120 is synthesized on the surface of the support 110 heated by the coating. The reaction gas containing the carbon source may be present only as the carbon source, or may be present together with an inert gas such as nitrogen, helium, argon, or the like. Also, the reaction gas containing the carbon source may include hydrogen in addition to the carbon source. Hydrogen may be used to keep the surface of the substrate clean to control the gas phase reaction and may be used from about 1 volume% to about 40 volume% of the total volume of the vessel, for example from about 10 volume% to about 30 volume %, Or from about 5 vol% to about 25 vol%.

상기 탄소 소스는 일산화탄소, 메탄, 에탄, 에틸렌, 에탄올, 아세틸렌, 프로판, 부탄, 부타디엔, 펜탄, 펜텐, 사이클로펜타디엔, 헥산, 사이클로헥산, 벤젠, 톨루엔 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택된 탄소 소스 또는 타르, 고분자, 석탄 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택된 고체상태의 탄소 소스를 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The carbon source may be a carbon source selected from the group consisting of carbon monoxide, methane, ethane, ethylene, ethanol, acetylene, propane, butane, butadiene, pentane, pentene, cyclopentadiene, hexane, cyclohexane, benzene, toluene, Or a solid state carbon source selected from the group consisting of tar, polymers, coal, and combinations thereof.

상기 탄소 소스를 포함하는 반응 가스를 기상으로 상기 흑연 합성부(300)에 공급하면서, 상기 주울 가열에 의해 가열된 상기 지지체(110)의 표면에서 상기 탄소 소스에 존재하는 탄소 성분들이 결합하여 6 각형의 판상 구조를 형성하면서 그래핀이 합성되고 성장시간이 증가함에 따라 그래핀이 적층된 흑연층(120)이 합성된다. 상기 언급한 방법에 의해 제조되는 흑연층(120)은 단층 그래핀 또는 다층 그래핀을 포함할 수 있다.The carbon source present in the carbon source is bonded to the surface of the support 110 heated by the Joule heating while feeding the reaction gas containing the carbon source into the graphite synthesis section 300 in a gaseous state, The graphene is synthesized and the graphite layer 120 in which graphene is stacked is synthesized as the growth time is increased. The graphite layer 120 produced by the above-mentioned method may comprise single-layer graphene or multi-layer graphene.

흑연 합성부(300) 내의 가스 노즐(310)은 상기 챔버의 양 측면에 각각 설치된 한 쌍 또는 여러 쌍일 수 있으며, 필요에 따라 상기 흑연 합성부 내에 상기 가스 노즐을 복수개 설치하여 흑연의 합성 정도를 조절할 수 있다. The gas nozzles 310 in the graphite synthesis section 300 may be a pair or a plurality of pairs provided on both sides of the chamber, and if necessary, a plurality of the gas nozzles may be provided in the graphite synthesis section to control the degree of synthesis of graphite .

상기 점착층(130)은 상기 지지체(110)에 형성된 흑연층(120)의 일면에 롤-투-롤 공정에 의해 형성될 수 있다.The adhesive layer 130 may be formed on one side of the graphite layer 120 formed on the support 110 by a roll-to-roll process.

본원의 본원의 예시적인 구현예에 있어서, 상기 지지체(110)을 제거하는 단계를 추가 포함할 수 있으며, 상기 지지체(110)의 제거를 위해 에칭부를 추가 포함할 수 있다. 상기 에칭부는 에칭 용액조 및 세척액조를 포함할 수 있다. 상기 점착층(130)이 형성된 흑연 시트가 상기 에칭 용액조에 함침되어 통과함으로써 상기 지지체(110)가 에칭되어 제거된 후 상기 세척액조에 함침되어 통과함으로써 세척될 수 있다. In an exemplary embodiment of the present application, the method may further include removing the support 110, and may further include an etch for removing the support 110. The etching portion may include an etching solution bath and a cleaning solution bath. The graphite sheet on which the adhesive layer 130 is formed is impregnated into the etching solution tank and is passed through the support body 110 after being etched and then impregnated and passed through the cleaning solution bath.

상기 에칭 용액은 상기 지지체(110)를 에칭할 수 있는 수용액이라면 제한 없이 사용할 수 있으며, 예를 들어, 불화수소(HF), BOE(buffered oxide etch), 염화 철(Iron(III) Chloride), 과산화수소계 화합물 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The etching solution may be used without limitation as long as it is an aqueous solution capable of etching the support 110. Examples of the etching solution include hydrogen fluoride (HF), buffered oxide etch (BOE), iron (III) chloride, But are not limited to, those selected from the group consisting of compounds, combinations, and combinations thereof.

상기 세척액은 물, 에탄올, 메탄올, 이소프로필알콜 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The cleaning solution may be selected from the group consisting of water, ethanol, methanol, isopropyl alcohol, and combinations thereof, but is not limited thereto.

본원의 예시적인 구현예에 있어서, 상기 지지체는, 상기 지지체의 양측에 금속 촉매층이 형성되어 제조될 수 있다.In an exemplary embodiment of the present invention, the support may be manufactured by forming a metal catalyst layer on both sides of the support.

본원의 예시적인 구현예에 있어서, 상기 지지체(110)는 유연성이 있는 호일, 필름, 시트 또는 플레이트 형태의 금속 기재일 수 있으며, 예를 들어, Ni, 다공성 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동(brass), 청동(bronze), 백동(white brass), 스테인레스 스틸(stainless steel), Ge 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 금속 도체는 구리 또는 구리 합금일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. In the exemplary embodiment herein, the support 110 may be a flexible metal foil, film, sheet, or plate, and may include, for example, Ni, porous Ni, Co, Fe, Pt, Au, (Al), Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, brass, bronze, white brass, stainless steel, , Ge, and combinations thereof, but is not limited thereto. For example, the metal conductor may be copper or a copper alloy, but is not limited thereto.

본원의 예시적인 구현예에 있어서, 상기 금속 촉매층은 탄소 용해도가 우수한 금속이라면 제한 없이 사용할 수 있으며, 예를 들어, Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동(brass), 청동(bronze), 백동(white brass), 스테인레스 스틸(stainless steel), Ge 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 금속 촉매층은 전해 방식, 무전해 방식, 전기도금, 스퍼터링, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택된 방법에 의해 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
In the exemplary embodiment of the present invention, the metal catalyst layer can be used without limitation as long as it is a metal having excellent carbon solubility. For example, Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Selected from the group consisting of Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, brass, bronze, white brass, stainless steel, Ge, But are not limited thereto. The metal catalyst layer may be formed by a method selected from the group consisting of an electrolytic method, electroless method, electroplating, sputtering, and combinations thereof, but is not limited thereto.

이하, 본원에 대하여 실시예를 이용하여 좀 더 구체적으로 설명하지만, 본원이 이에 제한되는 것은 아니다.
Hereinafter, the present invention will be described more specifically by way of examples, but the present invention is not limited thereto.

[[ 실시예Example ]]

실시예Example 1 One

탄소 프리폼의 제조Preparation of carbon preform

두께 25 ㎛의 니켈 호일의 양 끝단에 전극을 접촉하여 고전류를 흘려주어 주울 가열에 의해 니켈 호일 자체 온도가 900℃ 이상으로 가열되게 한 후 하기와 같은 조건으로 메탄가스와 질소를 흘려주어 니켈 호일 양면에 수 ㎛ 두께의 흑연을 성장, 코팅하였다:A nickel foil having a thickness of 25 탆 was contacted with both ends of the nickel foil and a high current was passed therethrough to heat the nickel foil itself to a temperature of 900 캜 or more by Joule heating. Then, methane gas and nitrogen were flown under the following conditions, Lt; RTI ID = 0.0 > um < / RTI >

1) 600 ℃ 까지 아르곤 가스 1000 sccm; 2) 1000 ℃ 까지 아르곤 700 sccm , 수소 250 sccm; 3) 수 시간 동안, 아르곤 700 sccm, 수소 250 sccm, 메탄 600 sccm; 및 4) 아르곤 700 sccm, 수소 250 sccm 조건에서 천천히 냉각하고 이후 상온에서 아르곤 700 sccm 분위기로 공냉으로 급냉각. 1) 1000 sccm of argon gas to 600 ° C; 2) 700 sccm argon and 250 sccm hydrogen to 1000 캜; 3) for several hours, 700 sccm argon, 250 sccm hydrogen, 600 sccm methane; And 4) slowly cooling at 700 sccm of argon and 250 sccm of hydrogen, followed by quenching by air cooling at 700 sccm atmosphere of argon at room temperature.

주울 가열 조건은

공식에 전류의 제곱과 니켈 호일 저항의 곱에 의해 발열량 계산법에 의거하여 전류값을 산정하였다.Joule heating conditions

The current value was calculated based on the calorific value calculation method by the product of the square of the current and the resistance of the nickel foil in the formula.

상기 니켈 호일의 앞 뒤 표면에 약 2 ㎛ 내지 약 10 ㎛ 두께의 흑연층이 합성되어 코팅되었다. 니켈을 포함한 흑연의 필름의 전기전도도는 두 프로브(two probe) 상에서 10^-1~10^-2 ohm대로 측정되었다. 열전도도(단위: W/m·K)는 가로, 세로가 각각 50 mm인 정사각형 모양의 시편을 준비하여 ASTM D 5470 방법에 따라 측정한 결과, 1000 W/m·K 이상이었다. 핫 스팟(hot spot) 법에 의해 130℃ 핫 스팟 조건에서 25 ㎛의 니켈(비교예)는 107℃로 감소되었으나, 본원에 따른 흑연층이 코팅된 니켈의 경우 86℃로 44℃ 온도 낮춤 효과가 관측되었다.
A graphite layer having a thickness of about 2 탆 to about 10 탆 was synthesized and coated on the front and back surfaces of the nickel foil. The electrical conductivity of the film of graphite containing nickel was measured at 10 ^-1 to 10 ^-2 ohm on two probes. The thermal conductivity (unit: W / m · K) was measured according to the ASTM D 5470 method and was 1000 W / m · K or more when a square specimen having a width of 50 mm and a length of 50 mm was prepared. Nickel of 25 탆 (Comparative Example) was reduced to 107 캜 at 130 캜 hot spot by the hot spot method, but in the case of the nickel coated with the graphite layer according to the present invention, the temperature lowering effect was 44 캜 at 86 캜 Was observed.

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.It will be understood by those of ordinary skill in the art that the foregoing description of the embodiments is for illustrative purposes and that those skilled in the art can easily modify the invention without departing from the spirit or essential characteristics of the present invention. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention .

110: 지지체 330: 격벽
120: 흑연층 350: 전력 공급부
130: 점착층 400: 전처리부
140: 절연층 410: 플라즈마
210: 제 1 롤러 420: 레이져
220: 제 2 롤러 500: 냉각부
230: 제 3 롤러
300: 흑연 합성부
310: 가스 노즐110: support 330: partition wall
120 graphite layer 350 power supply
130 Adhesive layer 400 Pre-
140: Insulation layer 410: Plasma
210: first roller 420: laser
220: second roller 500: cooling part
230: third roller
300: graphite synthesis part
310: gas nozzle

Claims

주울 가열(joule heating)을 이용하여 지지체의 적어도 일면에 흑연층을 형성하는 단계; 및
상기 흑연층에 점착층을 형성하는 단계
를 포함하는, 흑연 시트의 제조 방법.
Forming a graphite layer on at least one side of the support using joule heating; And
Forming a pressure-sensitive adhesive layer on the graphite layer
Of the graphite sheet.

제 1 항에 있어서,
상기 지지체를 제거하는 단계를 추가 포함하는, 흑연 시트의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Further comprising the step of removing said support.

제 1 항에 있어서,
상기 점착층은 롤-투-롤 공정에 의해 형성되는 것인, 흑연 시트의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the adhesive layer is formed by a roll-to-roll process.

제 1 항에 있어서,
상기 지지체는 Ni, 다공성 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동(brass), 청동(bronze), 백동(white brass), 스테인레스 스틸(stainless steel), Ge 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함하는 것인, 흑연 시트의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The support may be selected from the group consisting of Ni, porous Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, wherein the graphite sheet comprises one selected from the group consisting of bronze, white brass, stainless steel, Ge, and combinations thereof.

제 1 항에 있어서,
상기 지지체는 그의 표면에 형성되는 흑연 성장용 금속 촉매층을 포함하는 것인, 흑연 시트의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the support comprises a metal catalyst layer for growing graphite formed on the surface thereof.

제 5 항에 있어서,
상기 흑연 성장용 금속 촉매층은 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동(brass), 청동(bronze), 백동(white brass), 스테인레스 스틸(stainless steel), Ge 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함하는 것인, 흑연 시트의 제조 방법.
6. The method of claim 5,
Wherein the graphite growth metal catalyst layer comprises at least one of Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, Wherein the graphite sheet comprises a material selected from the group consisting of bronze, white brass, stainless steel, Ge, and combinations thereof.

제 1 항에 있어서,
상기 흑연층은 100 nm 내지 100 ㎛ 두께를 가지는 것인, 흑연 시트의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the graphite layer has a thickness of 100 nm to 100 占 퐉.

제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 흑연층의 일면에 절연층을 형성하는 단계를 추가 포함하는 것인, 흑연 시트의 제조 방법.
3. The method according to claim 1 or 2,
And forming an insulating layer on one surface of the graphite layer.

제 1 항에 있어서,
상기 점착층은 열 박리성(thermal release) 폴리머, 저밀도 폴리에틸렌, 또는 저분자 폴리머를 포함하는 것인, 흑연 시트의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the adhesive layer comprises a thermal release polymer, low density polyethylene, or a low molecular weight polymer.

제 1 항에 있어서,
상기 흑연층은 상기 지지체에 고전류를 흘려주어 가열한 후 탄소 소스를 포함하는 반응 가스를 주입하여 흑연이 성장되어 형성되는 것인, 흑연 시트의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the graphite layer is formed by growing a graphite by injecting a reaction gas containing a carbon source after flowing a high current through the support and heating the graphite layer.

제 2 항에 있어서,
상기 지지체를 제거하는 단계는 에칭 용액조에서 실시하는 것인, 흑연 시트의 제조 방법.
3. The method of claim 2,
Wherein the step of removing the support is carried out in an etching solution bath.

제 8 항에 있어서,
상기 절연층은 폴리에스테르, 폴리스티렌, 폴리이미드, PET (polyethylene terephthalate), 폴리올레핀, 셀룰로스에스테르, 폴리카보네이트, 폴리술폰 또는 이들의 조합을 포함하는 것인, 흑연 시트의 제조 방법.
9. The method of claim 8,
Wherein the insulating layer comprises a polyester, polystyrene, polyimide, polyethylene terephthalate (PET), polyolefin, cellulose ester, polycarbonate, polysulfone or a combination thereof.

지지체;
상기 지지체의 적어도 일면에 형성된 흑연층; 및
상기 흑연층에 형성된 점착층
을 포함하는, 흑연 시트.
A support;
A graphite layer formed on at least one side of the support; And
The pressure-sensitive adhesive layer
&Lt; / RTI >

제 13 항에 있어서,
상기 지지체가 에칭되어, 흑연층 및 상기 흑연층에 형성된 점착층을 포함하는, 흑연 시트.
14. The method of claim 13,
Wherein the support is etched to include a graphite layer and an adhesive layer formed on the graphite layer.

제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,
상기 흑연층의 일면에 형성된 절연층을 추가 포함하는, 흑연 시트.
The method according to claim 13 or 14,
Further comprising an insulating layer formed on one side of the graphite layer.

제 13 항에 있어서,
상기 지지체는 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동(brass), 청동(bronze), 백동(white brass), 스테인레스 스틸(stainless steel), Ge 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함하는 것인, 흑연 시트.
14. The method of claim 13,
The support may be one or more of Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, brass, , White brass, stainless steel, Ge, and combinations thereof.

제 13 항에 있어서,
상기 지지체는 그의 표면에 형성된 흑연 성장용 금속 촉매층을 포함하는 것인, 흑연 시트.
14. The method of claim 13,
Wherein the support comprises a metal catalyst layer for graphite growth formed on its surface.

제 17 항에 있어서,
상기 흑연 성장용 금속 촉매층은 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동(brass), 청동(bronze), 백동(white brass), 스테인레스 스틸(stainless steel), Ge 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함하는 것인, 흑연 시트.
18. The method of claim 17,
Wherein the graphite growth metal catalyst layer comprises at least one of Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, Wherein the graphite sheet comprises one selected from the group consisting of bronze, white brass, stainless steel, Ge, and combinations thereof.

제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,
상기 흑연층은 10 nm 내지 100 ㎛ 두께를 가지는 것인, 흑연 시트.
The method according to claim 13 or 14,
Wherein the graphite layer has a thickness of 10 nm to 100 占 퐉.

제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,
상기 점착층은 열 박리성(thermal release) 폴리머, 저밀도 폴리에틸렌, 또는 저분자 폴리머를 포함하는 것인, 흑연 시트.
The method according to claim 13 or 14,
Wherein the adhesive layer comprises a thermal release polymer, a low density polyethylene, or a low molecular weight polymer.

제 15 항에 있어서,
상기 절연층은 폴리에스테르, 폴리스티렌, 폴리이미드, PET (polyethylene terephthalate), 폴리올레핀, 셀룰로스에스테르, 폴리카보네이트, 폴리술폰 또는 이들의 조합을 포함하는 것인, 흑연 시트.
16. The method of claim 15,
Wherein the insulating layer comprises a polyester, a polystyrene, a polyimide, a polyethylene terephthalate (PET), a polyolefin, a cellulose ester, a polycarbonate, a polysulfone or a combination thereof.

제 13 항 또는 제 14 항의 흑연 시트를 포함하는, 방열 필름.
14. A heat radiation film comprising the graphite sheet of claim 13 or claim 14.

제 13 항 또는 제 14 항의 흑연 시트를 포함하는, 흑연 복합 필름.14. A graphite composite film comprising the graphite sheet of claim 13 or claim 14.