KR20140062368A - 플렉서블 표시장치의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 플렉서블(flexible) 표시장치의 제조방법은 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 개재된 희생층에 레이저를 조사한 후에 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이의 계면에 에어를 주입하여 계면진공을 파괴하면서 탈착을 진행함으로써 탈착불량에 의한 손상을 방지하기 위한 것으로, 보조기판을 제공하는 단계; 상기 보조기판 표면에 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층이 형성된 보조기판 상부에 플렉서블 기판을 형성하는 단계; 상기 플렉서블 기판에 표시패널을 제작하는 단계; 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 개재된 희생층을 제거하는 단계; 희생층이 제거된 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 에어를 주입하는 단계; 및 상기 보조기판을 플렉서블 기판으로부터 분리하는 단계를 포함한다.

Description

플렉서블 표시장치의 제조방법{METHOD OF FABRICATING THE FLEXIBLE DISPLAY DEVICE}
본 발명은 플렉서블 표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정이 완료된 플렉서블 기판으로부터 보조기판을 용이하게 분리할 수 있는 플렉서블 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
최근의 정보화 사회에서 표시장치는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있으며, 향후 주요한 위치를 점하기 위해서는 저소비전력화, 박형화, 경량화, 고화질화 등의 요건을 충족시켜야 한다.
상기 표시장치는 자체가 빛을 내는 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT), 전계발광소자(Electro Luminescence; EL), 발광소자(Light Emitting Diode; LED), 진공형광표시장치(Vacuum Fluorescent Display; VFD), 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Device; OLED), 전계방출표시장치(Field Emission Display; FED), 플라즈마표시장치패널(Plasma Display Panel; PDP), 전기영동(electrophoresis) 표시장치 등의 발광형과 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)와 같이 자체가 빛을 내지 못하는 비발광형으로 나눌 수 있다.
한편, 표시장치를 접거나 말아서 넣더라도 손상되지 않는 플렉서블(flexible) 표시장치가 표시장치 분야의 새로운 기술로 떠오를 전망이다. 현재는 플렉서블 표시장치 구현에 다양한 장애들이 존재하고 있지만, 기술개발과 함께 박막 트랜지스터 액정표시장치나 유기발광표시장치 또는 전기영동 표시장치가 주류를 이루게 될 것이다.
이하, 도면을 참조하여 플렉서블 표시장치에 대해 상세히 설명한다.
도 1a 및 도 1b는 일반적인 플렉서블 표시장치를 예를 들어 나타내는 사진이다.
플렉서블 표시장치는 두루마리 표시장치로 불리는데, 도면에 도시된 바와 같이 플라스틱과 같이 얇은 기판에 구현되어 종이처럼 접거나 말아도 손상되지 않는 것으로 차세대 표시장치의 하나이며, 현재는 1㎜ 이하로 얇게 만들 수 있는 액정표시장치 및 유기발광표시장치가 유망하다.
액정표시장치는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 기존의 브라운관에 비해 시인성(是認性)이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 브라운관에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.
유기발광표시장치는 소자 자체가 스스로 빛을 내기 때문에 어두운 곳이나 외부 빛이 들어올 때도 시인성이 좋으며, 모바일(mobile) 표시장치의 성능을 판가름하는 중요한 기준인 응답속도가 현존하는 표시장치 가운데 빠르기 때문에 완벽한 동영상을 구현할 수 있다. 또한, 유기발광표시장치는 초박형 디자인이 가능해 휴대폰 등 각종 모바일 기기를 슬림(slim)화할 수 있다.
이러한 플렉서블 표시장치의 구현을 위해서는 기판의 유연성 확보가 필요하며, 현재 이러한 기판 유연성 확보를 위해서 기존의 유리기판 대신 플라스틱이나 스테인레스 스틸(stainless steel; SUS)의 플렉서블 기판을 사용하게 된다.
이와 같이 플렉서블 표시장치를 구현하기 위해서는 플라스틱 기판과 같은 유연한 기판을 사용해야하며, 이러한 유연한 기판의 반송 및 프로세스(process) 진행을 위해서는 일반적으로 상기 플라스틱 기판을 점착제를 이용해 유리기판에 부착한 후 상기 공정들을 진행하게 되는데, 그 점착공정이 복잡하고 다수의 라미네이션(lamination) 공정의 진행으로 불량발생의 소지 및 생산성이 저하되는 단점이 있었다.
즉, 유리기판에 플라스틱 기판을 부착하기 위해서는 점착제의 하부 이형지 제거, 점착제의 라미네이션공정, 점착제의 상부 이형지 제거 및 플라스틱 기판의 라미네이션공정 등 복잡한 점착공정을 거쳐야 하며, 상기 라미네이션공정 진행 중에 기포 발생 및 얼룩과 같은 공정 불량이 발생할 소지가 많다. 특히, 상기와 같은 복잡한 점착공정의 진행으로 생산성이 저하되는 문제가 있다.
또한, 유리기판에 합착된 플라스틱 기판은 합착된 상태로 반송되어 여러 프로세스를 통해 표시패널 제작을 완료하게 되면, 표시패널인 플라스틱 기판으로부터 유리기판을 분리하는 공정을 거치게 된다.
이때, 유리기판에 부착된 점착제로부터 플라스틱 기판을 분리하기 위해서는 분리공정에 따라 여러 조건을 만족시켜야하며, 상기 점착제가 기판 전면에 부착되어 있어 상기 분리공정이 쉽지 않은 단점이 있다.
최근에는 플라스틱 기판과 유리기판 사이에 희생층을 개재한 후에 공정들을 진행하여 표시패널을 형성하고, 레이저 탈착(laser release)을 적용하여 플라스틱 기판으로부터 유리기판을 분리하고 있는데, 레이저 탈착 시 상기 플라스틱 기판과 유리기판 사이에 계면진공이 형성됨에 따라 유리기판이 쉽게 분리되지 않게 된다. 이 경우 플라스틱 기판을 포함한 표시패널에 충격이 인가될 수 있어 플렉서블 표시장치의 손상을 초래할 수 있다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 공정이 완료된 플렉서블 기판으로부터 보조기판을 용이하게 분리하도록 한 플렉서블 표시장치의 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.
기타, 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 플렉서블 표시장치의 제조방법은 보조기판을 제공하는 단계; 상기 보조기판 표면에 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층이 형성된 보조기판 상부에 플렉서블 기판을 형성하는 단계; 상기 플렉서블 기판에 표시패널을 제작하는 단계; 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 개재된 희생층을 제거하는 단계; 희생층이 제거된 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 에어를 주입하는 단계; 및 상기 보조기판을 플렉서블 기판으로부터 분리하는 단계를 포함한다.
이때, 상기 보조기판은 유리기판 또는 금속 기판을 이용하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 플렉서블 기판은 폴리이미드계 수지를 희생층 위에 코팅하여 형성하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 표시패널은 액정표시장치나 유기발광표시장치 또는 전기영동 표시장치 중 하나로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 플렉서블 기판에 표시패널을 제작한 후에 상기 보조기판이 상부로 향하게 한 상태에서 상기 플렉서블 기판을 진공 스테이지에 로딩하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 보조기판 상부에서 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 개재된 희생층을 제거하는 것을 특징으로 한다.
레이저의 조사와 보조기판의 탈착은 동일한 진공 스테이지에서 진행하는 것을 특징으로 한다.
진공패드 유닛을 이용하여 상기 보조기판을 플렉서블 기판으로부터 분리하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 진공패드 유닛은 다수의 진공패드 및 이들을 상하로 이동시키는 진공패드 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 에어는 상기 진공패드 유닛에 구비된 에어 주입장치를 통해 주입하는 것을 특징으로 한다.
상기 진공패드 유닛의 진공패드를 이용하여 상기 보조기판의 상부 표면을 흡착하여 고정시킨 상태에서 상기 에어 주입 공정이 진행되는 것을 특징으로 한다.
에어를 주입하여 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이의 계면의 진공접착력을 대기압 이상의 압력으로 전환하여 상기 보조기판의 탈착을 원활하게 하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 에어 주입에 의해 플렉서블 기판과 보조기판 사이의 계면진공이 파괴된 상태에서 상기 진공패드 유닛을 이용하여 상기 보조기판을 플렉서블 기판으로부터 분리하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 진공패드 유닛을 수평 상태를 유지하면서 상부로 이동시켜 상기 보조기판을 플렉서블 기판으로부터 분리하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 개재된 희생층에 레이저를 조사한 후에 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이의 계면에 에어를 주입하여 계면진공을 파괴하면서 탈착을 진행함으로써 탈착불량에 의한 손상을 방지할 수 있는 효과를 제공한다.
도 1a 및 도 1b는 일반적인 플렉서블 표시장치를 예를 들어 나타내는 사진.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 흐름도.
도 3a 내지 도 3g는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 사시도.
도 4a 내지 도 4d는 상기 도 2에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법에 있어, 보조기판의 탈착공정을 순차적으로 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 구조를 예시적으로 나타내는 단면도.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법의 바람직한 실시예를 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 흐름도이다.
또한, 도 3a 내지 도 3g는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 사시도이다.
도 4a 내지 도 4d는 상기 도 2에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법에 있어, 보조기판의 탈착공정을 순차적으로 나타내는 단면도이다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 제조하기 위해, 먼저 보조기판(150)을 제공한다(S101).
여기서, 상기 보조기판(150)은 후술될 표시패널 공정 동안 플렉서블 기판을 지지하는 역할을 수행할 수 있다. 이때, 상기 보조기판(150)은 유리기판 또는 금속 기판을 이용할 수 있다.
이후, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 보조기판(150) 표면에 희생층(140)을 형성한다(S102).
여기서, 상기 희생층(140)은 표시패널 공정 중 보조기판(150) 위에 형성될 플렉서블 기판을 고정하는 역할을 수행할 수 있다.
다음으로, 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 희생층(140)이 형성된 보조기판(150) 상부에 플렉서블 기판(110)을 형성한다(S103).
여기서, 일 예로 상기 플렉서블 기판(110)은 폴리이미드계 수지를 희생층(140) 위에 코팅하여 형성할 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 희생층(140)이 형성된 보조기판(150) 상부에 플렉서블 기판(110)을 부착할 수도 있다.
이후, 도 3d에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블 기판(110)에 표시패널(120)을 형성한다(S104).
여기서, 상기 표시패널(120)은 액정표시장치나 유기발광표시장치 또는 전기영동 표시장치 중 어느 하나일 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 구조를 예시적으로 나타내는 단면도로써, 표시패널로 유기발광표시장치를 예를 들어 나타내고 있다.
상기 표시패널(120)을 유기발광표시장치로 구성하는 경우에는, 상기 도 5를 참조하면, 플라스틱이나 스테인레스 스틸로 이루어진 기판(111) 상에 투명 산화물로 이루어진 양극(112)이 형성되며, 상기 양극(112) 위에는 순차적으로 정공수송층(hole transport layer)(113), 발광층(emission layer)(114), 전자수송층(electron transport layer)(115), 전자주입층(electron injection layer)(116) 및 음극(117)이 적층되어 있다.
이때, 상기 기판(111)으로 폴리이미드(polyimide; PI) 재질을 사용하는 경우 상기 기판(111) 배면에는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate; PET)의 플라스틱이나 스테인레스 스틸의 금속으로 이루어진 백 필름(back film)이 부착될 수 있다.
상기 구조를 기반으로 유기전계발광장치는 양극(112)에서 주입되는 정공과 음극(117)에서 주입되는 전자가 각각의 수송을 위한 수송층(113, 115)을 경유하여 발광층(114)에서 결합한 후 낮은 에너지 준위로 이동하면서 상기 발광층(114)에서의 에너지 차에 해당하는 파장의 빛을 생성하게 된다.
이때, 백색광의 발광을 위하여 상기 발광층(114)은 더욱 구체적으로 적색발광층(114a), 녹색발광층(114b) 및 청색발광층(114c)으로 이루어질 수 있다.
이에 비해 표시패널(120)을 액정표시장치로 구성하는 경우에는 도시하지 않았지만, 상기 표시패널(120)은 2장의 기판들과 이들 사이에 형성된 액정층으로 구성될 수 있다.
이때, 하부 기판에는 박막 트랜지스터 어레이가 형성된다. 상기 박막 트랜지스터 어레이에는 R, G 및 B 데이터전압이 공급되는 다수의 데이터라인들, 상기 데이터라인들에 교차하여 게이트펄스가 공급되는 다수의 게이트라인들, 상기 데이터라인들과 게이트라인들의 교차부들에 형성되는 다수의 박막 트랜지스터들, 액정 셀들에 데이터전압을 충전시키기 위한 다수의 화소전극 및 상기 화소전극에 접속되어 액정 셀의 전압을 유지시키기 위한 스토리지 커패시터 등을 포함한다. 상부 기판에는 컬러필터 어레이가 형성되며, 상기 컬러필터 어레이에는 블랙매트릭스와 컬러필터 등을 포함한다.
여기서, 희생층(140) 및 플렉서블 기판(110)은 고온, 예컨대 400℃이상의 온도에서 내구성을 갖는 폴리이미드계 수지로 형성됨에 따라, 전술한 표시패널(120)을 형성하는 공정 환경에 노출되어도 변형되거나 손상되지 않을 수 있다.
다음으로, 도 3e 내지 도 3g 및 도 4a 내지 도 4d에 도시된 바와 같이, 표시패널(120)이 형성된 플렉서블 기판(110)으로부터 보조기판(150)을 분리한다.
구체적으로, 도 4a에 도시된 바와 같이, 표시패널(120)이 형성된 플렉서블 기판(110)을 상하 반전하여 보조기판(150)이 상부로 향하게 한 후에 상기 플렉서블 기판(110)과 보조기판(150)을 진공 스테이지(160)에 로딩한다(S105). 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 반전 없이 상기 플렉서블 기판(110)과 보조기판(150)을 진공 스테이지(160)에 로딩 할 수도 있다.
이때, 상기 진공 스테이지(160)에는 다수의 진공 홀(미도시)이 구비되어 있어, 로딩된 플렉서블 기판(110)을 흡착하여 고정시키게 된다.
이후, 도 3e 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 보조기판(150) 상부에서 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 기판(110)과 보조기판(150) 사이에 개재된 희생층(140)을 제거한다(S106).
다음으로, 도 3f 및 도 4c에 도시된 바와 같이, 희생층이 제거된 상기 플렉서블 기판(110)과 보조기판(150) 사이에 에어를 주입한다(S107).
이때, 상기 에어는 소정의 진공패드 유닛(170)에 구비된 에어 주입장치(175)를 통해 주입될 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 에어 주입장치(175)는 진공패드 유닛(170)과는 별개로 구비될 수 있다.
이와 같이 상기 로딩된 플렉서블 기판(110)과 보조기판(150) 상부에는 다수의 진공패드(vacuum pad)(171) 및 이들을 상하로 이동시키는 진공패드 플레이트(vacuum pad plate)(172)를 구비한 진공패드 유닛(170)이 설치되어 있다.
이때, 상기 진공패드 유닛(170)의 진공패드(171)를 이용하여 보조기판(150)의 상부 표면을 흡착하여 고정시킨 상태에서 전술한 에어 주입 공정이 진행될 수 있다.
이와 같이 에어를 주입하여 플렉서블 기판(110)과 보조기판(150) 사이의 계면의 진공접착력을 대기압 이상의 압력으로 전환하여 보조기판(150)의 탈착을 원활하게 한다. 즉, 보조기판(150)의 탈착 시 레이저 조사 이후의 플렉서블 기판(110)과 보조기판(150) 사이의 계면진공으로 인한 보조기판(150)의 미탈착 문제는 플렉서블 기판(110)과 보조기판(150) 사이의 계면에 에어를 주입하여 내부 계면진공을 파괴함으로써 해결하게 된다.
이후, 도 3g 및 도 4d에 도시된 바와 같이, 플렉서블 기판(110)과 보조기판(150) 사이의 계면진공이 파괴된 상태에서 진공패드 유닛(170)을 이용하여 보조기판(150)을 플렉서블 기판으로부터 분리한다(S108).
이때, 상기 진공패드 유닛(170)은 수평 상태를 유지하면서 상부로 이동함에 따라 보조기판(150)을 플렉서블 기판으로부터 분리할 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 보조기판(150)의 일측으로부터 탈착을 진행하여 지렛대 방식으로 보조기판(150)을 분리할 수도 있다.
또한, 보조기판(150)을 플렉서블 기판으로부터 분리하는 과정에서 전술한 에어 주입 공정을 지속할 수 있다.
이와 같은 레이저의 조사와 보조기판(150)의 탈착은 동일한 진공 스테이지(160)에서 진행될 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.
110 : 플렉서블 기판 120 : 표시패널
140 : 희생층 150 : 보조기판
160 : 진공 스테이지 170 : 진공패드 유닛
171 : 진공패드 172 : 진공패드 플레이트

Claims (14)

  1. 보조기판을 제공하는 단계;
    상기 보조기판 표면에 희생층을 형성하는 단계;
    상기 희생층이 형성된 보조기판 상부에 플렉서블 기판을 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 기판에 표시패널을 제작하는 단계;
    레이저를 조사하여 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 개재된 희생층을 제거하는 단계;
    희생층이 제거된 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 에어를 주입하는 단계; 및
    상기 보조기판을 플렉서블 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 보조기판은 유리기판 또는 금속 기판을 이용하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 플렉서블 기판은 폴리이미드계 수지를 희생층 위에 코팅하여 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 표시패널은 액정표시장치나 유기발광표시장치 또는 전기영동 표시장치 중 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 플렉서블 기판에 표시패널을 제작한 후에 상기 보조기판이 상부로 향하게 한 상태에서 상기 플렉서블 기판을 진공 스테이지에 로딩하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 보조기판 상부에서 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 개재된 희생층을 제거하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  7. 제 5 항에 있어서, 레이저의 조사와 보조기판의 탈착은 동일한 진공 스테이지에서 진행하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  8. 제 1 항에 있어서, 진공패드 유닛을 이용하여 상기 보조기판을 플렉서블 기판으로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 진공패드 유닛은 다수의 진공패드 및 이들을 상하로 이동시키는 진공패드 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 에어는 상기 진공패드 유닛에 구비된 에어 주입장치를 통해 주입하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 진공패드 유닛의 진공패드를 이용하여 상기 보조기판의 상부 표면을 흡착하여 고정시킨 상태에서 상기 에어 주입 공정이 진행되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  12. 제 8 항에 있어서, 에어를 주입하여 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이의 계면의 진공접착력을 대기압 이상의 압력으로 전환하여 상기 보조기판의 탈착을 원활하게 하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 에어 주입에 의해 플렉서블 기판과 보조기판 사이의 계면진공이 파괴된 상태에서 상기 진공패드 유닛을 이용하여 상기 보조기판을 플렉서블 기판으로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 진공패드 유닛을 수평 상태를 유지하면서 상부로 이동시켜 상기 보조기판을 플렉서블 기판으로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
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