KR20140041754A - 전자 부품 및/또는 캐리어를 배출 장치에 대하여 위치 결정하기 위한 장치 및 방법 - Google Patents

전자 부품 및/또는 캐리어를 배출 장치에 대하여 위치 결정하기 위한 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 배출 장치에 대하여 이송될 전자 부품의 위치 결정 장치 및 방법을 개시한다. 관련된 배출 장치는 적어도 하나의 전자 부품을 위한 슬라이드와 상기 슬라이드를 둘러싸는 하우징을 구비하고, 상기 하우징은 제1 투명 영역을 구비한다. 이송될 전자 부품은 제1 캐리어에 의해 구비되고, 이는 배출 장치와 대향하는 제1 측부와 배출 장치와 이격되어 대향하는 제2 측부를 가지며, 복수의 전자 부품은 제2 측부 상에 구비된다. 적어도 하나의 이미지 데이터 취득 장치는 슬라이드는 적어도 하나의 전자 부품과 상호 작용하도록 구성되고 하나의 영역의 하우징 이미지 데이터의 제1 투명 영역을 통하여 캡쳐하도록 구성되어 있다. 제어 장치는 이송될 전자 부품의 취득된 이미지 데이터 위치 데이터로부터 결정하고 위치 데이터에 기초하여 제어 명령을 생성하도록 구성되어 있고, 적어도 하나의 액튜에이터는 제1 캐리어를 이동시키도록 구성되고 슬라이드가 종축과 이송될 전자 부품의 중심축 사이의 오프셋을 변경하도록 제어 명령에 기초하여 서로에 대하여 제1 캐리어와 배출 장치를 이동시키도록 구성되어 있다.

Description

전자 부품 및/또는 캐리어를 배출 장치에 대하여 위치 결정하기 위한 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR POSITIONING AN ELECTRONIC COMPONENT AND/OR A CARRIER RELATIVE TO A DISCHARGING DEVICE}
본 발명은 전자 부품 및/또는 캐리어를 배출 장치에 대하여 위치 결정하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 특히 캐리어에 전자 부품을 이송하기 전에 전자 부품 및/또는 캐리어를 위치시키는 장치 및 방법에 관한 것이다.
특히, 다이에서 전자 부품을 이송할 때, 개별화된 전자 부품을 이송할 때, 전자 부품은 전자 부품을 이송할 때, 정밀에 관련된 요구 사항이 계속적으로 정밀해지고 소형화되어 가고 있다.
예를 들면, DE 10 2006 027 663 A1은 장치의 헤드에 의해 취해지기 전에 하우징에 들어 있지 않은 부품을 검사하기 위하여 전자 부품을 측정하기 위한 광학 검사 시스템을 개시하고 있다. JP 2009 016455 A는 기판의 위치를 캡쳐링하기 위한 장치 및 방법이 개시되어 있다. 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하기 위한 이송 장치의 예가 DE 10 2011 017 218 A1에 개시되어 있다.
예를 들면, DE 103 49 847 B3는 전자 부품을 이송하기 위한 장치 및 방법을 개시한다. 여기에서, 캐리어 필름 상에 배열된 반도체 웨이퍼는 밴드형 기판 위 및 기판과 나란히 배열된다. 웨이퍼는 웨이퍼 홀더에 의해 웨이퍼 평면의 내측으로 전진할 수 있고 웨이퍼 평면에 대하여 수직인 회전축에 대하여 부가적으로 회전된다. 배출 장치는 배출 니들을 구비하고, 이는 분리되어야만 할 다이의 후방에서 작용하고, 하방 운동하도록 구비되어 있고 이 때문에 다이는 캐리어 필름으로부터 분리된다. 캐리어 필름으로부터 분리된 다이는 밴드형 기판의 본딩 위치에 위치된다.
전자 부품과 본딩 위치는 배출 장치에 의해 위로부터 감추어지고 기판에 의해 아래로부터 캐리어 필름도 감추어 진다는 문제점이 있다. 더욱이, 캐리어 필름과 기판 사이의 갭은 대부분의 경우에 매우 좁은데, 전자 부품과 본딩 위치를 광학적으로 캡쳐링하는 것이 불가능하다. 따라서, 전자 부품을 이송하기 전에 서로 개별 부품 및/또는 기판을 의미있게 정확한 위치에 정확하게 정렬시키는 것은 불가능하다. 대신에, 지금까지는, 이송하기 전에 전자 부품의 위치는 한점에서 더 이상 변경되지 않도록 전자 부품이 미리 위치하고 있는 상태에서 장치의 밖으로 캡쳐링된다. 다른 부품을 이송함에 따라 부품의 위치가 변경된다면, 기판에 복수의 전자 부품을 부정확하게 이송하는 결과일 수 있다.
부정확하게 위치된 전자 부품은 통상적으로 불량으로 처리되기 때문에 버려져야만하고 이 때문에 전자 부품의 정확한 배치가 바람직하다.
부정확하게 이송된 부품과 부정확하게 제공된 기판은 부품의 위치 불량의 결과가 된다.
그러므로, 본 발명의 목적은 전자 부품을 이송하기 전에 전자 부품 및/또는 기판의 위치를 정확하게 캡쳐링하기 위하여 필요하다면 교정할 수 있는 장치 및 방법을 제공하는 데 있다. 또한, 출력 수율에 영향이 없다.
배출 장치에 대하여 이송되는 전자 부품을 위치시키는 장치가 본 목적을 달성하기 위한 해결책으로 제안한다. 여기에서 배출 장치는 적어도 하나의 전자 부품을 위한 슬라이드와 상기 슬라이드를 둘러싸고 있는 하우징을 구비하고, 상기 하우징은 제1 투명 영역을 가진다. 제1 미러는 하우징 내에 배치되어 있다. 이송될 전자 부품을 제공하는 제1 캐리어는 배출 장치와 대면하는 제1 측부와 배출 장치로부터 이격된 제2 측부를 구비하고, 여기에서 복수의 전자 부품이 제2 측부 상에 제공된다. 적어도 하나의 이미지 데이터 취득 장치는 슬라이드가 적어도 하나의 전자 부품과 상호 작용하도록 구성되는 곳에서 하우징의 투명 영역을 통하여 영역의 미이지 데이터를 캡쳐링하도록 구성되어 있다. 제어 장치는 캡쳐된 이미지 데이터에 기초하여 이송된 전자 부품의 위치 데이터를 결정하고 위치 데이터에 기초하여 제어 명령을 생성하도록 구성된다. 적어도 하나의 액튜에이터는 슬라이드의 종축과 이송될 전자 부품의 중심축 사이에서 오프셋을 변경하기 위하여 제어 명령에 기초하여 서로 대하여 제1 캐리어와 배출 장치를 구성한다.
투명 영역이 있기 때문에, 이미지 데이터 취득 장치는 배출 장치를 통하여 이미지 데이터를 캡쳐할 수 있고 이에 대응하는 배출 장치에 의해 감춰진 것들과 함께 전자 부품의 위치를 캡쳐할 수 있다. 그러므로, 전자 부품의 위치의 캡쳐링을 매우 정밀하게 할 수 있고, 이에 의해 전자 부품은 매우 정밀하게 위치시킬 수 있다. 더욱이, 전자 부품은 배출 장치를 구비한 장치 내에서 위치시킬 수 있기 때문에 제1 캐리어와 제2 캐리어의 내부에서 전자 부품 이송이 이루어지고, 수율은 부가적인 이동 거리에 의해 타협되지 않는다.
또한, 투명 영역은 적어도 부분적으로 하우징을 밀봉할 수 있고 이에 의해 하우징 내에 부압을 유지시키기가 용이해진다.
본 발명의 특정 목적에 대한 해결책으로서 배출 장치에 대하여 이송될 전자 부품을 위치시키는 방법이 또한 제공된다. 전자 부품과 제1 캐리어는 제1 캐리어의 제1 측부는 배출 장치에 대하여 놓여지도록 제공된다. 복수의 전자 부품은 배출 장치로부터 이격되어 대향하는 제1 캐리어의 제2 측부 상에 제공된다. 이미지 데이터는 제1 미러에 의해 반사되는 광로에 의해 캡쳐되고, 이미지 데이터는 배출 장치의 슬라이드의 위치에 관한 정보와 이송될 전자 부품의 위치에 관한 정보를 포함한다. 이송된 전자 부품의 위치 데이터는 캡쳐된 이미지 데이터에 기초하여 결정된다. 적어도 하나의 제1 액튜에이터에 대한 제어 명령은 이송될 전자 부품의 결정된 위치 데이터에 기초하여 생성되고; 제1 캐리어 및/또는 배출 장치는 슬라이드의 종축과 이송될 전자 부품의 중심축 사이에서 오프셋을 변경하기 위하여 생성된 제어 명령에 각각 기초하여 이동된다.
투명 영역이 있기 때문에 이미지 취득 장치는 배출 장치를 통하여 이미지 데이터를 캡쳐할 수 있고 대응하여 배출 장치에 의해 감춰져 있던 전자 부품의 위치를 또한 검출할 수 있다. 여기에서, 전자 부품의 위치는 매우 정밀하게 캡쳐가 가능하고 전자 부품의 위치가 더욱 정밀해진다. 더욱이, 전자 부품의 위치가 이송된 전자 부품이 배출 장치, 제1 캐리어 및 제2 캐리어의 내부에서 일어나기 때문에 수율이 부가적인 이송 거리에 의해 타협되지 않는다.
더욱이, 하우징의 투명 영역은 적어도 부분적으로 하우징을 밀봉할 수 있고 이에 의해 하우징 내의 부압의 유지가 용이해진다.
본 발명의 목적을 달성하기 위한 다른 제안된 해결책은 배출 장치에 대하여 이송될 전자 부품을 위치시키기 위한 방법이다. 전자 부품과 함께 제1 캐리어는 제1 캐리어의 제1 측부가 배출 장치에 대하여 놓이도록 제공된다. 복수의 전자 부품은 배출 장치로부터 이격되어 대향하는 제1 캐리어의 제2 측부 상에 제공된다. 이미지 데이터는, 이미지 데이터가 배출 장치의 슬라이드의 위치에 관한 정보와 이송될 전자 부품의 위치 정보를 가지고 캡쳐된다. 이송될 전자 부품의 위치 데이터는 위치 데이터는 캡쳐된 이미지 데이터에 기초하여 결정된다. 적어도 하나의 제1 액튜에이터를 개시시키기 위한 제어 명령은 이송될 전자 부품의 결정된 위치 데이터에 기초하여 생성되고; 제1 캐리어 및/또는 배출 장치는 슬라이드의 종축과 이송될 전자 부품의 중심축 사이에서 오프셋을 변경하기 위해 생성된 제어 명령에 기초하여 서로에 대하여 이동한다.
배출 장치에 대하여 전자 부품을 수용하기 위한 적어도 하나의 접촉면을 가진 제2 캐리어를 위치시키기 위한 장치가 또한 제안된다. 상기 장치는 제1 캐리어의 제1 측부가 놓이는 투명 지지체와; 투명 지지체로부터 이격되어 대향하는 제2 캐리어의 제2 측부 상에 제2 캐리어에 대하여 어떤 거리로 배열된 적어도 제3 방사원과; 대응하는 센서 신호를 발생하고 제2 캐리어에 적용되는 마크를 검출하도록 구성된 적어도 하나의 광학 센서 요소와; 위치 데이터에 기초하여 제어 명령을 생성하고 센서 신호에 기초하여 접촉면의 위치 데이터를 결정하도록 구성된 제어 장치와; 배출 장치의 종축과 접촉면 사이의 오프셋을 변경하도록 제어 명령에 기초하여 제1 캐리어, 제2 캐리어 및/또는 배출 장치를 이동시키도록 구성된 적어도 하나의 제2 액튜에이터를 구비한다.
제2 캐리어의 제2 측부에 대하여 제3 방사원의 이격된 장치를 제공함으로써, 제2 캐리어의 이미지를 광학 센서 요소로 투사하는 것이 가능하다. 이러한 투사로서, 구조물의 불투명에 의한 최소한의 차이와 제2 캐리어의 물질의 명도의 차이를 캡쳐할 수 있다. 그러므로, 비교적 매우 불투명한 캐리어 물질의 사용은, 예를 들면 종이 또는 몇몇 플라스틱이 가능하다.
또한, 배출 장치에 대하여 제2 캐리어를 위치시키는 방법은 제안된 바와 같다. 이송될 전자 부품을 수용하기 위한 적어도 하나의 접촉면을 포함하는 제2 캐리어는 광학 센서 요소가 제2 캐리어 상에 구비된 마크를 검출하도록 구비된다. 제2 캐리어의 이미지는 광학 센서 요소로 투사된다. 센서 신호가 생성되는 데, 센서 신호는 배출 장치의 위치와 마크의 위치에 관한 정보를 포함한다. 접촉면의 위치 데이터는 생성된 센서 신호에 기초하여 결정된다. 결정된 위치 데이터는 적어도 하나의 제2 액튜에이터를 개시시키기 위한 제어 명령을 생성하는 데 사용되고; 제2 캐리어, 제1 캐리어 및/또는 배출 장치는 접촉면과 배출 장치의 측부의 종축 사이에서 오프셋을 변경하도록 생성된 제어 신호에 기초하여 이동된다.
최종적으로, 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하는 장치 및 방법이 또한 제안된다. 여기에서 장치 및/또는 방법은 배출 장치에 대하여 이송될 전자 부품의 위치 결정을 위한 장치/방법과 배출 장치에 대한 제2 캐리어의 위치 결정을 위한 장치/방법을 포함한다.
제1 캐리어 및 제2 캐리어 상에 제공되어 있는 전자 부품이 서로에 대하여 정확하게 정렬되어 있기 때문에 전자 부품은 예전에 비하여 매우 정밀하게 이송된다. 그러므로, 매우 작은 부품의 이송도 또한 가능하다.
장치 및 방법의 구성 및 특성
이미지 데이터 취득 장치에 의해 캡쳐된 이미지 데이터에 있어서, 전자 부품의 위치의 검출은, 예를 들면 개별적인 전자 부품 사이에 구비된 톱니 라인에 기초할 수 있다.
이미지 데이터 취득 장치에 의해 캡쳐된 영역은 이송될 전자 부품을 구비할 수 있고 이는 부품이 인접한 부품과 함께 다음에 이송될 것이라는 의미이다. 이는 또한 슬라이드에 의해 감춰진 전자 부품을 이송할 수 있다. 이송될 전자 부품의 위치는, 예를 들면 둘러싸고 있는 전자 부품/바로 인접한 전자 부품 및/또는 톱니 라인들의 진로에 기초하여 결정될 수 있다.
장치의 구성에 따라, 이송될 전자 부품 및/또는 제2 캐리어는 배출 장치, 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어의 이동에 의해 위치될 수 있다. 용어 "위치 결정"은, 특히 배출 장치와 제1 캐리어 사이에서의 상대 이동을 말하며 배출 장치, 제1 캐리어 및 제2 캐리어 사이의 상대 이동을 말한다. 마모에 관계없이 이러한 상대 운동을 달성하기 위하여, 적어도 하나의 제1 액튜에이터 및/또는 적어도 하나의 제2 액튜에이터는 배출 장치, 제1 캐리어 및/또는 제2 캐리어에 의해 상대 이동이 달성된다.
제1 방사원은 또한 하우징의 외측에 구비될 수도 있다. 제1 방사원은 영역을 조사하게 되고, 제1 투명 영역을 통하여 이미지 데이터 취득 장치에 의해 캡쳐된다. 부가적으로 또는 대체적으로, 제3 투명 영역을 통하여 제1 방사원이 이미지 데이터 취득 장치에 의해 캡쳐되는 영역을 조사할 수 있다.
제1 미러는 배출 장치의 하우징의 내측에 배열될 수 있다. 개구는 제1 미러의 대략 중심에 제공될 수 있다. 슬라이드는 종축 방향으로 개구를 통하여 가동가능하게 배열될 수 있다. 제1 미러가 구비되어 있다면, 특히 단순한 구성에 있어서, 제1 투명 영역을 생략할 수 있다. 이러한 실시예에 있어서, 하우징 내에 들여다 보는 채널 또는 홈을 제공할 수 있으며, 이에 따라 하우징의 내부는 투명 영역으로 한정되지 않는다.
더욱이, 제2 미러는 하우징의 외측에 제공될 수 있다. 제2 미러는 제1 방사원으로부터 전자기 방사로 결합되도록 구성된 반투명 미러일 수 있다. 예를 들면, 제2 방사원은 제1 방사원에 대응할 수 있다. 더욱이, 제2 방사원은 전자기 방사를 방출할 수 있고 이에 의해 전자 부품은 제1 캐리어로부터 적어도 부분적으로 분리된다.
하우징은 제2 투명 영역을 가질 수 있다. 개구는 제2 투명 영역 내에 제공될 수 있고, 이를 통하여 슬라이드는 종축 방향으로 가동가능하게 배열되어 있다.
미러 요소는 적어도 하나의 센서 요소와 투명 지지체 사이에 배열될 수 있고 이는 제4 방사원으로부터 방사되는 광로 내에서 결합되는 전자기 방사를 하도록 구성되어 있다. 예를 들면, 미러 요소는 부분적으로 투명 또는 반투명 미러일 수 있다.
이송될 전자 부품 및/또는 제2 캐리어 상에 구비될 수 있는 도전 패턴의 접촉면은 마크로서 사용될 수 있다.
제3 방사원은 제1 캐리어의 제2 측부와 제2 캐리어의 제2 측부를 조사하기 위하여 구성될 수 있다. 따라서, 제3 방사원을 사용하여, 제1 캐리어의 이미지를 이미지 데이터 취득 장치로 투사하는 것이 가능하고 제2 캐리어의 이미지를 광학 센서 요소로 투사하는 것이 가능하다.
이미지 데이터에 기초하여 위치 데이터를 결정하기 전에 이미지 데이터는 이미지 데이터의 입체에 관련된 왜곡을 조정하도록 처리할 수 있다. 예를 들면, 이는 이미지 데이터 취득 장치는 측면으로 배열되어 있고 모든 이미지 데이터는 어떤 각도로 캡쳐될 수 있다.
상기에 설명된 장치 및 방법의 적용 가능성, 목적, 특징 및 이점은 하기에 첨부된 도면을 참조하여 하기 실시예로부터 명백해질 것이고 이는 본 발명의 보호 영역에 대하여 비제한적이다.
도 1은 제1 캐리어의 위치 결정 장치의 제1 실시예를 도시한다.
도 2는 제1 캐리어의 위치 결정 장치의 제2 실시예를 도시한다.
도 3은 제1 캐리어의 위치 결정 장치와 제2 캐리어의 위치 결정 장치의 제1 실시예를 도시한다.
도 4는 제1 캐리어의 위치 결정을 위한 공정의 흐름도를 나타낸다.
도 5는 제2 캐리어의 위치 결정을 위한 공정의 흐름도를 나타낸다.
도 6a 및 도 6b는 제1 캐리어의 위치 결정 장치의 제3 실시예를 도시한다.
도 7은 제1 캐리어의 위치 결정 장치의 제4 실시예를 도시한다.
도 1은 배출 장치(14)에 대하여 이송될 전자 부품(12)의 위치 결정을 위한 장치의 하나의 실시예를 도시한다.
배출 장치(14)는 슬라이드(16)를 포함한다. 슬라이드(16)의 한 단부는 도시되지 않은 액튜에이터에 연결되어 있고 슬라이드(16)의 다른 한단부는 팁을 가진다. 슬라이드(16)의 액튜에이터는 도 1에서 이중 화살표로 도시된 바와 같이 도 1에서와 같이 종축을 따라 슬라이드(16)가 이동할 수 있도록 개시될 수 있다. 슬라이드(16)는 예를 들면, 배출 니들일 수 있다.
슬라이드(16)는 하우징(18)에 의해 둘러싸여 있다. 하우징(18)은 타원형 형상을 가지며 액튜에이터(도시 안 됨)에 의해 이동될 수 있다. 하우징(18)은 하우징의 종방향 측부에 배열된 제1 투명 영역(20)을 가진다. 여기에서, 투명이란 전자기 방사의 파장 범위가 침투가능한 영역을 의미한다. 파장 범위는, 예를 들면 자외선(UV) 범위, 육안의 가시 범위 및/또는 적외선(IR) 범위일 수 있다. 제1 투명 영역(20)은, 예를 들면 유리 또는 플라스틱으로 제조할 수 있고 판 형상일 수 있다. 적어도 하나의 제1 투명 영역(20)의 표면은 하우징(18)의 종축에 대하여 어떤 각도로 배열된 하우징(18)의 종축에 대하여 경사질 수 있으며 0도가 아니다. 이러한 방법은, 예를 들면 투명 영역(20)의 표면의 반사를 감소시킬 수 있다.
지지체(20)는 하우징(18)의 한 측면에 제공되어 있고 제1 캐리어(30)는 하우징에 대하여 놓여 있을 수 있다. 여기에서 지지체(22)는 슬라이드의 종축(ls)에 대하여 실제적으로 수직으로 배열된다. 제2 투명 영역(24)은 지지체(22)의 대략 중간에 구비된다. 제2 투명 영역(24)은 판 형상을 가질 수 있고 제1 투명 영역(20)과 같은 물질로 제조될 수 있다. 따라서, 제2 투명 영역(24)은 제1 투명 영역(20)과 같은 파장 범위에 대하여 투명하다.
예를 들면, 제2 투명 영역(24)은 약 3mm의 직경과 약 0.3mm의 두께를 가진다. 개구는 제2 투명 영역(24) 내에 구비되고 이는 개구를 통하여 슬라이드(16)가 이동 가능하다. 그러므로, 개구의 직경은 슬라이드(16)의 직경보다 커야한다. 예를 들면, 개구는 대략 0.3mm의 직경을 가진다.
제1 방사원(26)은 하우징(18) 내에 구비되어 있다. 제1 방사원(26)은 도 1에 예증적으로 도시된 바와 같이 하우징(16)의 내측에 배열될 수 있고 하우징(18)의 외측에 배열될 수 있다. 다르게는, 제1 방사원(26)은 별개의 캐리어 요소(도시 안 됨)에 장착될 수도 있다. 여기에서, 제1 방사원(26)과 배출 장치(14)는 독립적으로 이동가능하다. 제1 방사원(26)은 하우징(18)의 외측에 제공되고 제1 투명 영역(20) 또는 별개의 제3 투명 영역과 슬라이드(16)의 상부 둘레 영역을 통하여 제1 방사원(26)이 조사될 수 있다. 여기에서 제1 방사원(26)은 투명한 투명 영역(20, 24)에 대하여 대략 같은 파장 범위의 파장 범위를 방사할 수 있다.
더욱이, 제1 방사원(26)은 제1 캐리어(30)가 투명 또는 최소한으로 불투명한 물질의 파장 범위에 대응하는 파장 범위의 광선을 발할 수 있다. 투명 영역(20, 24)이 하우징(18)의 개구를 폐쇄하기 때문에 하우징(18)은 실제적으로 기밀이 되고 이에 의해 하우징(18) 내에서 부압을 생성할 수 있다. 예를 들면, 이는 제1 캐리어(30)로부터 전자 부품의 이송 및/또는 전자 부품 분리를 하는 것이 바람직하다.
제1 캐리어(30)의 제1 측부는 지지체(22)에 대하여 놓여 있다. 제1 캐리어(30)는 지지체로부터 멀리 이격된 제2 측부를 가지고 복수의 전자 부품(12)은 상기 측부에 구비된다. 제1 캐리어(30)는, 예를 들면 웨이퍼 필름일 수 있다. 전자 부품은 개별화 단계 이전에 웨이퍼 필름에 적용될 수 있는 개별화 다이일 수 있다. 제1 캐리어(30)는 리셉터클(32)에 의해 지지된다. 적어도 하나의 제1 액튜에이터(34)는 제1 캐리어(30)에 장착된 전자 부품(12)의 위치 결정을 허용하는 리셉터클(32) 상에 제공된다. 특히, 제1 액튜에이터(34)는 지지체와 평행하게 제1 캐리어(30)를 이동시키도록 구성될 수 있고, 이는 슬라이드(16)의 종축에 대하여 수직인 방향으로 움직이는 것을 의미한다.
더욱이, 도 1은 이미지 데이터 취득 장치(40)를 도시한다. 이미지 데이터 취득 장치(40)는 하우징(18)의 측면 방향으로 옆에 배열된다. 예를 들면 이미지 데이터 취득 장치(40)는 도시되지 않은 캐리어 요소에 장착되고, 배출 장치(14)는 이미지 데이터 취득 장치(40)와 독립적으로 이동할 수 있도록 장착된다. 이의 대안으로, 하우징(18) 상에 이미지 데이터 취득 장치(40)를 장착하는 것이 가능하고 이미지 데이터 취득 장치(40)는 배출 장치(14)와 함께 이동될 수 있다.
제1 투명 영역(20)에 대하여 이미지 데이터 취득 장치(40)가 이미지 데이터 취득 장치(40)는 슬라이드(16)의 팁 둘레의 영역의 이미지 데이터를 캡쳐할 수 있도록 배열되어 있다. 상기 영역은 또한 제2 투명 영역(24)의 아래에 위치하는 제1 캐리어(30)의 부분을 또한 구비한다. 이미지 데이터 취득 장치(40)는 광학적 센서 및 렌즈를 포함할 수 있다. 같은 맥락으로, 카메라를 이미지 데이터 취득 장치로 사용될 수 있다.
이미지 데이터 취득 장치(40)는 어떤 파장 범위의 전자기 광선을 신호로 전환할 수 있다. 파장 범위는 파장 범위에 대하여 적어도 부분적으로 대응하도록 선택될 수 있고 제1 방사원(26)은 광선을 발하고 이에 의해 투명 영역(20, 24)을 투과한다.
이미지 데이터 취득 장치(40)는, 케이블 또는 무선 연결 장치를 통하여 예를 들면 메모리 프로그램드 제어 장치와 같은 제어 장치(42)에 접속된다. 또한, 제어 장치(42)는 제1 액튜에이터(34)에 접속될 수 있다. 여기에서 제어 장치(42)는 이미지 데이터 취득 장치(40)에 의해 캡쳐된 이미지 데이터에 기초하여 이송될 전자 부품(12)에 대한 위치 데이터를 결정하도록 구성되어 있다. 이송될 전자 부품(12)의 위치 데이터에 기초하여, 제어 장치(42)는 슬라이드(16)의 종축(ls)과 전자 부품(12)의 중력 중심을 통하여 연장하는 전자 부품의 중심축(lb) 사이의 오프셋을 결정할 수 있다. 결정된 오프셋이 임계치를 초과하면, 제어 장치(42)는 제1 캐리어(30)를 이동시켜 오프셋을 변경하기 위하여 제1 액튜에이터(34)를 개시하기 위하여 제어 명령을 생성할 수 있다. 검출된 오프셋은 배출 장치(14)를 이동시켜 또한 수정할 수 있다. 장치의 구성과 제1 캐리어(30)의 특성에 따라 제1 캐리어(30) 및/또는 배출 장치(14)를 이동시킬 수 있다.
도 2는 제2 실시예를 도시한다. 본 실시예는 도 1에 도시한 실시예인 실시예와 이미지 데이터 취득 장치(40)의 제1 미러(50)에 의해 반사되어 광로가 직선이 아닌 것이 다르다. 제1 미러(50)는 하우징(18) 내측에 배열되어 있다. 제1 미러(50)를 하우징(18)의 내측에 배열함으로써, 이미지 데이터 취득 장치(40)의 광로가 반사되는 것이 가능하고 광로는 투명 영역(24)의 아래에 배열된 제1 캐리어(30) 영역과 수직으로 "접촉한다". 따라서, 이미지 데이터 취득 장치(40)에 의해 캡쳐된 이미지 데이터는 찌그러지지 않는다.
제1 미러(50)는, 예를 들면 4 x 6 mm의 크기를 가지며 슬라이드(16)의 종축에 대하여 45도의 각도를 가지고 배열된다. 제1 미러(50)는 제1 미러(50)의 대략 중심에 배열될 수 있는 개구를 가진다. 슬라이드(16)는 개구를 통하여 종축을 따라 이동가능하게 배열될 수 있다.
제2 미러(52)는 하우징(18)의 외측에 배열된다. 제2 미러(50)는 별개의 캐리어 요소에 장착된다. 따라서, 배출 장치(14)는 제2 미러(52)와 독립적으로 이동될 수 있다. 그 내부의 캐리어 요소는 이미지 데이터 취득 장치(40)가 장착되는 캐리어 요소에 대응할 수 있다. 다르게는, 제2 미러(52)는 하우징(18)에 장착될 수 있다.
제2 미러(52)는 반투명 미러일 수 있다. 제2 방사원(54)에 의한 방사는 광축으로 나타낸 광진로 내에서 방사를 결합할 수 있다. 따라서, 별개의 투명 영역은 제2 방사원(54)에 대하여 필요하지 않다.
제2 방사원(54)은 부가적으로 제1 캐리어(30)와 제1 캐리어(30)에 구비된 전자 부품 사이에서 접착 연결부를 적어도 부분적으로 용해시키기에 적절한 전자기 방사를 발하도록 구성될 수 있다. 전자기 방사를 결합시킴에 의해 목표로 하는 방식으로 제2 투명 영역(24) 바로 아래에 위치되는 제1 캐리어(30)의 영역에 조사할 수 있다. 예를 들면, 접착 연결부를 적어도 용해시키기 위하여 UV 또는 IR방사 장치를 사용할 수 있다.
이미지 데이터 취득 장치(40)는 배출 장치(14) 옆에 배열된다. 제2 미러(52)와 이미지 데이터 취득 장치(40) 사이의 광로는 슬라이드(16)의 종축에 대하여 실제적으로 평행하다. 도 2에 도시된 바와 같이, 다른 방법으로는, 이미지 데이터 취득 장치(40)는 제2 미러(52)의 위치 내에 배열될 수 있다. 따라서, 이 경우에 있어서, 이미지 데이터 취득 장치(40)는 도 2에 도시된 것처럼 수직으로 배열되지 않아도 되고 대신에 수평으로 배열되어도 된다.
투명 영역(20, 24)과 이미지 데이터 취득 장치(40)의 도시된 배열로서, 배출 장치(14)에 의해 공지의 장치에 의해 가려질 제1 캐리어(30)의 영역으로부터 이미지 데이터를 취득할 수 있다. 따라서, 도시된 장치는 제1 캐리어가 이미 지지체(22) 상에 놓일 때 또는 지지체 바로 아래에 있을 때, 위치결정을 허용한다.
도 3은 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 전자 부품을 이송하는 장치를 도시한다. 도 1에 이미 도시된 장치와는 별개로 본 장치는 또한 배출 장치에 대하여 제2 캐리어의 위치 결정 장치를 구비한다.
제2 캐리어(60)는 제 1 캐리어(30)에 대하여 이격되어 제공된다. 예를 들면, 제2 캐리어(60)는 칩 카드 또는 스마트 카드의 제조에 사용되는 캐리어 재질인 기판 밴드이다. 제2 캐리어(60)는 이송될 전자 부품(12)이 위치되는 접촉면을 가진다. 여기에서, 접촉면은 전기 접속점을 포함할 수 있고; 그러나 거의 동일하다면 이는 전기적으로 비전도성 구조체일 수 있다. 다른 구조적 패턴은 접촉면과는 별개로, 예를 들면 제2 캐리어(60) 상에 제공된다. 전도로 또는 접촉면은 그 내부에서 마크로서 사용될 수 있다. 그러나, 이는 또한 별개의 마크일 수 있다.
제2 캐리어(60)는 투명 지지체(62) 상의 한 측부에 의해 놓여질 수 있다. 투명 지지체(62)는 투명 영역(20, 24)과 같은 재질로 형성할 수 있고; 이들은 투명할 수 있고, 따라서, 파장 범위와 비교 가능하다. 투명 지지체(62)는 도시된 실시예에서 만곡되어 있다. 곡률 반경은 제2 캐리어(60)가 투명 지지체(62)에 대하여 고르게 놓여지도록 선택된다. 만곡된 지지체 대신에, 편평한 지지체 또는 둥근 에지를 가지지 않고 사용하는 것이 가능하다.
제3 방사원(64)은 제1 캐리어(30)의 제2 측부와 제2 캐리어(60)의 제2 측부 사이에 제공된다. 제3 방사원(64)은 제1 및 제2 방사원(26, 54)에 실질적으로 대응한다. 제3 방사원(64)은 제1 캐리어(30)와 제2 캐리어(60) 사이의 갭을 조사하도록 구성된다.
제3 방사원(64)에 의해 방출된 파장 범위는 제2 캐리어(60)와 투명 지지체(62)의 재질과 매칭될 수 있다. 그러므로, 제3 방사원(64)은 제2 방사원 및/또는 투명 지지체(62)가 투명 또는 최소한으로 불투명한 파장 범위로 방사할 수 있다. 예를 들면, 이 방법에서, 제3 방사원(64)은 종이가 특별히 작은 불투명도로 파장 범위를 방사하는 것이 가능하다.
투명 지지체(62)에 대하여 이격되어 배열되는 것은 광학 센서 요소(66)이다. 광학 센서 요소(66)는 배출 장치(14)의 측부에 대향하는 투명 캐리어(62)의 측부에 배열된다. 그 내부에서 광학 센서 요소(66)는 제2 캐리어(60)에 구비된 마크를 캡쳐하도록 구성되고 대응하는 제어 신호를 출력하도록 배열되어 있다. 이미 지시한바와 같이, 이러한 마크는 접촉면 또는 전도로 일 수 있고, 이는 제2 캐리어(60) 상에 제공되어 있다. 같은 방법으로, 예를 들면 제2 캐리어(60)의 요홈 형태의 별개의 마크를 구비할 수 있다.
광학 센서 요소(66)는, 예를 들면 이미 설명한 이미지 데이터 취득 장치(40)에 대응할 수 있다. 그러나, 특별히 단순한 실시예에서, 광학 센서 요소는 광트랜지스터 또는 광다이오드일 수 있다. 광트랜지스터 또는 광다이오드는 제2 캐리어(60) 내의 요홈이 캡쳐될 수 있는 제3 방사원(64)의 포크드(forked) 광전기 배리어 형태일 수 있다. 다르게는 실행된 포크드 광전기 배리어에 대하여, 마크를 캡쳐하기 위한 통상의 포크드 광전기 배리어를 사용 가능하다.
제3 방사원(64), 제2 캐리어(60), 투명 지지체(62)의 이러한 배열로서, 제2 캐리어의 구조적 패턴에 투사 가능하고, 이는 광학 센서 요소(66)는 제2 캐리어(60)의 "섀도우"를 또한 캡쳐할 수 있다. 제2 캐리어에 구비된 마크는 제2 캐리어(60)보다 더 좋은 불투명도를 일반적으로 가짐으로써, 돌출부에서, 제2 캐리어(60) 상에 제공된 구조적 패턴은 명도 내의 차이점에 매우 잘 기초하여 제공될 수 있고, 그러므로 이는 배출 장치(14)에 대하여 제2 캐리어의 위치 결정을 위하여 사용될 수 있다.
부분적으로 투명 미러(68)는 투명 지지체에 대하여 제4 방사원(70)의 방사를 반사시키도록 구성된 투명 지지체(62)와 광학 센서 요소(66) 사이에 제공된다. 더욱이, 부분적으로 투명한 미러(68)는 투명 지지체(62)로부터의 방사가 광학 센서 요소(66)를 통하여 통과를 허용하도록 구성된다. 부분적으로 투명한 미러(68)의 구성에 따라 제4 방사원(70)과 광학 센서 요소(66)의 배열이 변경할 수 있다. 예를 들면, 광학 센서 요소(66)의 위치와 제4 방사원은 보존할 수 있다.
광학 센서 요소(66)는 제어 장치(42)에 접속된다. 그 안에서, 제어 장치(42)는 광학 센서 요소(66)의 센서 신호로부터 제2 캐리어(60)의 위치 데이터를 결정하도록 구성되어 있다. 예를 들면, 제어 장치(42)는 마크의 위치를 결정할 수 있다. 결정된 위치 데이터에 기초하여, 제어는 슬라이드의 종축(ls)과 이송될 전자 부품(12a)의 제어 표면 사이의 오프셋이 있는 지를 검출하고, 필요하다면, 오프셋을 변경하기 위하여 적어도 하나의 제2 액튜에이터(74)를 개시하는 제어 명령을 생성하도록 검출할 수 있다. 여기에서, 제2 액튜에이터(74)는 검출된 오프셋을 수정하기 위하여 배출 장치(14) 및/또는 제1 캐리어(30)에 대하여 제2 캐리어(60)를 이동시키도록 구성된다. 예를 들면, 적어도 제2 액튜에이터는 기판 밴드를 말거나 풀거나 하는 구동 수단일 수 있다.
제3 방사원(64)에 의해 방사되는 전자기 방사는 이미지 데이터 취득 장치(40)에 의해 캡쳐되는 제1 캐리어의 일부를 또한 조사할 수 있다. 제3 방사원(64)은 전자 부품(12)을 투사할 수 있고, 이미지 데이터 취득 장치(40)에 전자 부품 사이의 톱니 라인을 조사할 수 있다.
도 4는 제1 캐리어(30)를 위치 결정하기 위한 방법의 흐름도를 도시한다. 단계(S10)는 제1 캐리어(30)를 사용가능하게 한다. 결국, 제1 캐리어(30)는 배출 장치(14) 아래에 배열되고, 제1 캐리어(30)는 배출 장치(14) 또는 배출 장치(14)에 대하여 매우 작은 거리로 놓여 진다. 제1 캐리어(30)의 이러한 위치에서, 통상의 배출 장치(14)는 이송될 전자 부품(12a)을 가리게 된다.
단계(S20)에 있어서, 이미지 데이터 취득 장치(40)는 제1 캐리어(30)의 이미지 데이터를 캡쳐한다. 여기에서, 이미지 데이터는 이송될 전자 부품(12a)의 위치에 관한 정보와 함께 슬라이드(16)에 관한 정보를 포함한다. 전자 부품(12, 12a)이 배출 장치(14)로부터 이격되어 대면하는 제1 캐리어(30)의 제2 측부 상에 구비되어 있으므로 이미지 데이터 취득 장치(40), 제1 캐리어(30)는 어떤 투명도를 가지고, 전자 부품(12, 12a) 사이의 톱니 라인들은 이미지 데이터의 명도 차에 근거하여 결정될 수 있다.
단계(S30)에 있어서, 이미지 데이터는 이미지 데이터를 입체감나도록 변형하여 수정 처리된다. 이러한 변형은, 예를 들면 이미지 데이터 취득 장치(40)가 도 1에 도시된 바와 같이 측면으로 배열될 때, 발생되고, 이미지 데이터는 "모든 각도에서" 캡쳐되고 이는 이미지 데이터 취득 장치와 제1 캐리어(30)가 광로 상에 있다는 의미이며, 90도가 아닌 각도로 배열된다는 의미이다. 이미지 데이터 취득 장치(40)와 제1 캐리어(30)의 광로가, 예를 들면 도 2에 도시한 주제와 같이 90도와 같게 되고 이러한 처리는 필요하지 않다.
단계(S40)에 있어서, 이송될 전자 부품의 위치 데이터는 캡쳐된 이미지 데이터에 근거하여 결정된다. 예를 들면 위치 데이터를 결정하는 데 톱니 라인들이 사용될 수 있다. 제1 캐리어가 어떤 투명도를 가진다면, 통상적으로, 톱니 라인들은 캡쳐된 이미지 데이터 내에서 용이하게 검출될 수 있다. 따라서, 상기 전자 부품을 둘러싸고 있는 톱니 라인들에 근거하여 전자 부품의 위치 데이터를 결정할 수 있다.
캡쳐된 이미지 데이터가 슬라이드(16)를 나타내지 않을지라도, 제어 장치(42)는 전자 부품(12, 12a)의 위치를 캡쳐할 수 있고, 이미지 데이터 취득 장치(40)는 이미지 데이터를 항상 같은 위치에서 캡쳐되도록 구비되고, 이는 이미지 데이터 취득 장치(40)의 배열은 배출 장치(14)와 제1 캐리어(30)에 대하여 일정하게 있다는 것을 의미한다.
단계(S50)에 있어서, 위치 데이터에 기초하여, 오프셋은 슬라이드의 종축(ls)와 이송될 전자 부품의 중심축 사이에서 결정된다.
단계(S60)에 있어서, 오프셋이 검출되지 않거나 오프셋이 허용 범위 이내라면, 제어 명령이 생성되고, 단계(S90)에서 전자 부품(12a)을 이송하도록 출력된다.오프셋이 임계치를 초과한다면, 제어 명령이 생성되고 적어도 하나의 제1 액튜에이터(34)에 출력한다.
단계(S70)에 있어서, 적어도 하나의 제1 액튜에이터(34)는 제1 캐리어(34) 및/또는 배출 장치(14)의 검출된 오프셋이 변경되도록 이동시킨다.
단계(S80)에 있어서, 예를 들면, 문의는 제2 캐리어(60)가 이미 정확하게 위치되었는지를 확인가능하고, 도 5와 관련하여 하기에 기술된 바와 같은 처리가 올바르게 실행되었음을 의미한다. 이는, 예를 들면, 단계(S180)에 생성된 제2 해제 신호에 근거하여 검출될 수 있다. 따라서, 제1 해제 신호는 제2 캐리어(60)의 위치 결정 처리를 고려하여 연속적으로 일어날 수 있는 단계(S80)에서 생성될 수 있다.
단계(S70 및 S80)를 완료한 후에, 제어 신호가 생성될 수 있고, 단계(S90)에서 전자 부품(12a)을 이송하기 위하여 출력된다. 다르게는, 전자 부품(12a)의 수정된 위치가 정말로 올바른 위치인지를 체크하기 위하여 처리가 재시작할 수 있다.
도 5는 제2 캐리어의 위치 결정을 위한 처리의 흐름도를 나타낸다. 캐리어(60)는 단계(S110)에서 사용가능하게 된다. 이는, 예를 들면 기판 밴드를 풀러 달성할 수 있다. 제2 캐리어(60)는 광학 센서 요소(66)에 의해 검출될 수 있는 마크를 가진다.
단계(S120)에 있어서, 제3 방사원(64)은 제2 캐리어(60)의 제2 측부를 조사한다. 여기에서, 제2 캐리어(60)의 이미지를 광학 센서 요소(66)에 투사할 수 있다. 여기에서, 제3 방사원(64)은 광학 센서 요소(66)가 대응하는 센서 신호가 출력될 때까지, 이는 단계(130)가 완료될 때까지 적어도 전자기 방사를 방출한다.
단계(S130)에 있어서, 광학 센서 요소(66)는 제2 캐리어(60)의 투사된 이미지에 근거하여 센서 신호를 출력한다.
단계(S140)에 있어서, 제어 장치(42)는 센서 신호에 근거하여 제2 캐리어(60) 상에 구비되어 있는 접촉면의 위치 데이터를 결정한다.
단계(S150)에 있어서, 접촉면과 슬라이드의 종축 사이의 오프셋은 위치 데이터에 근거하여 결정된다.
단계(S160)에 있어서, 오프셋이 임계치를 초과하면 결정된다. 상기 임계치는, 예를 들면 처리를 실행하기 전에 규정된다. 오프셋이 임계치보다 작다면, 전자 부품(12a)을 주문하는 제어 명령이 즉시 출력할 수 있다(단계 S190). 오프셋이 임계치보다 크면, 제어 명령이 생성되고 적어도 하나의 제2 액튜에이터(74)가 작동되도록 출력된다.
단계(S170)에 있어서, 적어도 하나의 제2 액튜에이터(74)는 오프셋을 변경하기 위하여 제2 캐리어(60), 제1 캐리어(30) 및/또는 배출 장치(14)를 이동시킨다.
단계(S180)에 있어서, 예를 들면 제1 캐리어(30)와 배출 장치(14)가 올바르게 위치되어 있는 지를 문의할 수 있는 데, 이는 도 4와 관련된 이미 서술한 공정이 이미 올바르게 실행됨을 의미한다. 이는, 예를 들면 단계(S80)에서 생성된 제1 해제 신호에 근거하여 검출할 수 있다. 따라서, 제1 캐리어(30)의 위치 결정 처리를 참작한 단계(S180)에 제2 해제 신호를 생성할 수 있다
단계(S190)에 있어서, 전자 부품(12a)의 이송을 명령하는 제어 명령을 생성하고 출력할 수 있다. 상기 단계는 전자 부품을 수용하는 접촉면이 올바르게 위치되었는지를 결정하도록 교대로 재개시될 수 있다.
다른 실시예가 도 6a에 도시되어 있다. 배출 장치(102)는 슬라이드(104)를 둘러싸는 슬라이드(104)와 하우징(106)을 포함한다. 본질적으로, 배출 장치(102)는 도 1에 도시된 배출 장치(14)에 대응하나, 도 6a에 도시된 실시예는 제1 투명 영역(20)이 필요하지 않다. 도 6a에 도시된 실시예는 적어도 두 개의 이미지 데이터 취득 장치(108, 110)를 포함한다. 용어 "간접"은 캡쳐된 이미지 데이터가 이송될 전자 부품의 이미지 데이터가 아니고, 전자 부품이 슬라이드에 직접 위치하나 인접한 전자 부품의 이미지 데이터를 의미한다. 여기에서 용어 "인접한"이란 직접 인접하게 위치된 전자 부품에 한정되지 않으나; 또한 어떤 거리로 배열된 전자 부품을 포함한다. 간접 이미지 데이터 취득 장치(108, 110)는 도 1과 관련하여 기술된 이미지 데이터 취득 장치(40)에 대응한다.
간접 이미지 데이터 취득 장치(108, 110)는 배출 장치(102)에 대하여 어떤 거리를 가지고 배열되어 있다. 간접 이미지 데이터 취득 장치(108, 110)는 측부(106)의 종축에 대하여 실제적으로 평행하다.
도 6b는 도 6a에 도시된 것의 상부면도를 나타낸다. 원내에 해칭된 영역은 제1 캐리어(30)의 영역을 향하고 배출 장치(102)로부터 감춰져 있고, 웨이퍼의 톱니 라인들에 격자로 놓여 진다. 도 6a에 도시된 것과는 달리 도 6b에 도시된 것은 4개의 간접 이미지 데이터 취득 장치(108, 110, 112, 114)를 포함한다. 간접 이미지 데이터 취득 장치(108, 110, 112, 114)는 간접 이미지 데이터 취득 장치(108, 110, 112, 114)의 아래에 배열된 전자 부품의 이미지 데이터를 캡쳐한다. 전자 부품(116, 118, 120, 122)에 관한 이미지 데이터는 이에 따라 캡쳐된다. 도 6b에 도시된 바와 같이, 전자 부품(116, 118, 120, 122)은 이송될 전자 부품(124)에 대하여 어떤 거리로 배열된다.
간접 이미지 데이터 취득 장치(108, 110, 112, 114)에 의해 캡쳐된 이미지 데이터는 도 6a에 나타낸 바와 같이 제어 장치(126)에 전송된다. 제어 장치(26)는 어떤 거리로 배열된 전자 부품(116, 118, 120, 122)의 위치 데이터를 결정하도록 구성되어 있다. 제어 장치(26)는 저장된 장치 데이터에 접근하도록 구성되어 있고, 장치 데이터는 제1 캐리어의 전자 부품의 배열에 관한 정보를 포함한다. 장치 데이터는, 예를 들면 전자 부품의 제조에 의해 사용가능하도록 만들어지고 메모리(도시 안 됨) 내에 저장된다. 다르게는, 미리 제1 캐리어 상에 전자 부품의 배열을 캡쳐할 수 있다.
제어 장치(26)는 결정된 위치 결정 데이터와 장치 데이터에 기초하여 이송될 전자 부품(124)의 위치 결정 데이터를 결정할 수 있다. 이송된 전자 부품(124)의 위치 데이터에 의해 제어 장치(26)는 이송될 전자 부품(124)의 위치가 슬라이드의 종축에 대하여 오프셋을 가진다면 결정할 수 있다. 따라서, 제어 장치(26)는 적어도 하나의 제1 액튜에이터를 개시하기 위한 제어 명령을 생성할 수 있고 이에 의해 오프셋이 변경되고 이어서 제1 캐리어(30) 및/또는 배출 장치를 움직이게 할 수 있다.
도 7은 다른 실시예를 도시한다. 본 실시예에 있어서, 가동 이미지 취득 장치(150)가 제공되고, 부가적으로 또는 대체적으로, 상기한 이미지 데이터 취득 장치(40)와 간접 이미지 데이터 취득 장치(108, 110, 112, 114)가 제공된다. 가동 이미지 취득 장치(150)는, 예를 들면 제1 위치와 제2 위치(도시 안 됨) 사이에서 도 7에 도시된 바와 같이, 가동 이미지 취득 장치(150)를 이동시키기 위한 피복 암(152)에 장착되어 있다.
여기에서, 제1 위치는 전자 부품(12)이 이송되어야만 할 제1 캐리어(30)와 제2 캐리어(60) 사이에 위치한다. 가동 이미지 취득 장치(150)는 제1 캐리어(30)의 제2 측부의 이미지 데이터를 캡쳐할 수 있다. 예를 들면, 제1 위치는 가동 이미지 취득 장치(150)의 광축이 슬라이드의 종축과 매칭되도록 선택될 수 있다. 가동 이미지 취득 장치(150)는 캡쳐된 이미지 데이터를 제어 장치(156)에 전송할 수 있다. 캡쳐된 이미지 데이터에 기초하여, 제어 장치(156)는 이송될 전자 부품에 대한 위치 데이터를 결정할 수 있다. 위치 데이터에 근거하여 이미 서술된 실시예와 비교하여, 제어 장치(156)는 슬라이드(16)의 종축(ls)과 전자 부품(12)의 중심축 사이에 오프셋이 존재하는지 않는지를 결정할 수 있다. 이러한 오프셋이 임계치를 초과하면, 제어 신호가 생성되고 이에 의해 적어도 하나의 제1 액튜에이터(34)가 오프셋을 변경하도록 개시된다.
가동 이미지 취득 장치(150)는 전자 부품(12)의 이미지 데이터를 찌그러짐없이 캡쳐하게 한다. 그러나, 이러한 사실에 근거하여, 가동 이미지 취득 장치(150)는 제1 캐리어(30)와 제2 캐리어(60) 사이에 배열되고, 가동 이미지 취득 장치(150)는 전자 부품이 이송되기 전에 제2 위치로 이동되어야만 한다. 더욱이, 제1 캐리어(30)와 제2 캐리어(60) 사이의 거리를 확장할 필요가 있다. 결국, 제1 캐리어(30), 배출 장치(14) 및/또는 제2 캐리어(60)의 이동을 위해 제공 가능하다.
제1 캐리어 상의 전자 부품의 배열이 공지되어 있다면, 제1 캐리어(30) 상의 전자 부품의 장치가 이미 캡쳐되어 있고, 전자 부품 제조자에 의해 이용가능하게 만들어져 있고 폼(form)이나 장치 데이터가 있다면, 샘플링을 채취하여 전자 부품(12)의 위치 데이터를 캡쳐 가능하고 이에 의해 전자 부품의 이송이 빨라질 수 있다. 예를 들면, 어떤 개수의 전자 부품이 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송된 후, 가동 이미지 데이터 취득 장치(150)는 전자 부품의 위치 데이터를 결정하기 위하여 제1 위치로 이동될 수 있다. 결정된 위치 데이터에 기초하여, 오프셋을 교정하는 것이 가능하다. 또한, 저장된 장치 데이터에 인접한 전자 부품의 위치를 추론 가능하다. 이와 같이 가능하므로, 예를 들면 전자 부품의 각각의 칼럼 및/또는 열중의 하나의 전자 부품만 캡쳐 가능하다. 예를 들면, 이는 전자 부품을 우선 칼럼 또는 열로부터 이송할 수 있다. 나머지 전자 부품의 칼럼 또는 열은 제1 결과로부터 추론하여 결정된다. 샘플링 검사는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 처리와 관련하여 제공된다는 것을 볼 수 있다.
같은 방법으로, 가동 이미지 데이터 취득 장치(150)는 하나의 또는 복수의 참조 부품의 위치를 검출하는 데 사용될 수 있다. 예를 들면, 하나의 또는 복수의 참조 부품은 웨이퍼 맵의 참조 다이일 수 있고, 장치 데이터의 참조위치로 작용할 수 있다는 의미이다.
도 7에 도시된 바와 같은 가동 이미지 데이터 취득 장치(150)는, 예를 들면 제1 캐리어 상에 구비된 전자 부품의 장치 데이터를 캡쳐하기 위하여 사용될 수 있다.
방법과 장치를 포함하는 이미 설명된 상세는 독립적으로 또는 종속적으로 실시 가능하고 단일 청구항 내에 기재되고 이에 대하여 특별히 설명되어 있지만 이들은 서로 자유롭게 결합할 수도 있다. 더욱이, 명세서에 개시된 다른 특징부는 독자적으로 또는 다른 특징과 자유롭게 결합할 수도 있다. 도면에 도시된 특정적인 축적과 치수는 본질적인 특징과 장치/방법의 특징을 가장 잘 나타내고 실제 실시에 있어서 다른 축적 및 치수가 선택된다.

Claims (17)

  1. 배출 장치(14)에 대하여 이송될 전자 부품(12, 12a) 위치 결정 장치에 있어서,
    - 적어도 하나의 전자 부품(12, 12a)을 위한 슬라이드(16)와 상기 슬라이드(16)를 둘러싸는 하우징(18)을 포함하는 배출 장치(14), 상기 하우징(18)은 제1 투명 영역(20)을 가짐;
    - 상기 배출 장치(14)와 대향하는 제1 측부와 상기 배출 장치(14)로부터 이격되어 대향하는 제2 측부를 구비하고 이송될 전자 부품(12, 12a)을 구비한 제1 캐리어(30), 복수의 전자 부품(12, 12a)은 제2 측부 상에 구비되어 있음;
    - 상기 하우징(18)의 제1 투명 영역(20)을 통하여 하나의 영역의 이미지 데이터를 캡쳐하도록 구성된 적어도 하나의 이미지 데이터 취득 장치(40), 여기에서 상기 슬라이드는 적어도 하나의 전자 부품(12a)과 상호 작용하도록 구성됨;
    - 상기 캡쳐된 이미지 데이터로부터 이송될 전자 부품(12a)의 위치 데이터를 결정하고 상기 위치 데이터에 기초하여 제어 명령을 생성하도록 구성된 제어 장치(42), 및
    - 슬라이드의 종축(ls)과 전자 부품(12a)의 중심축 사이에서 오프셋을 변경하도록 서로에 대하여 제어 명령에 기초하여 제1 캐리어(30)와 배출 장치(14)를 이송시키도록 구성된 적어도 하나의 액튜에이터(34)를 구비하고,
    상기 배출 장치(14)는 상기 하우징(18)의 내부에 배열된 제1 미러(50)를 구비한 것을 특징으로 하는 전자 부품 위치 결정 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 하우징(18)의 내부에 제1 방사원(26)이 구비된 것을 특징으로 하는 전자 부품 위치 결정 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 하우징(18)의 외부에 제1 방사원(26)이 구비된 것을 특징으로 하는 전자 부품 위치 결정 장치.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 미러(50)는 개구를 포함하고, 상기 슬라이드(16)는 종축(ls) 방향으로 개구를 통하여 이동 가능하게 배열된 것을 특징으로 하는 전자 부품 위치 결정 장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하우징(18)의 외부에 제2 미러(52)가 배열된 것을 특징으로 하는 전자 부품 위치 결정 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제2 미러(52)는 제2 방사원(54)으로부터 전자기 방사가 결합되도록 구성된 반투명 미러인 것을 특징으로 하는 전자 부품 위치 결정 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 제2 방사원(54)은 적어도 부분적으로 제1 캐리어(30)로부터 전자 부품(12, 12a)을 분리하기에 적절하도록 전자기 방사를 방사하도록 구성된 것을 특징으로 하는 전자 부품 위치 결정 장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하우징(18)은 제2 투명 영역(24)을 포함하고, 상기 제2 투명 영역(24)은 개구를 가지며 이를 통하여 슬라이드(16)가 종축(ls) 방향으로 이동 가능하게 배열된 것을 특징으로 하는 전자 부품 위치 결정 장치.
  9. 배출 장치(14)에 대하여 전자 부품을 수용하기 위한 접촉면을 가진 제2 캐리어(60) 위치 결정 장치에 있어서,
    - 제2 캐리어(60)의 제1 측부 상에 놓여 있는 투명 지지체(62)와;
    - 투명 지지체(64)로부터 이격되어 대향하는 제2 캐리어(60)의 제2 측부 상의 제2 캐리어(60)에 대하여 어떤 거리에 배열된 적어도 하나의 제3 방사원(64)과;
    - 제2 캐리어(60)에 적용된 마크를 검출하고 대응하는 센서 신호를 생성하도록 구성된 적어도 하나의 광학 센서 요소(66)와;
    - 센서 신호로부터 접촉면의 위치 데이터를 결정하고 위치 데이터에 기초하여 제어 명령을 생성하도록 구성된 제어 장치(42)와;
    - 배출 장치의 종축과 접촉면 사이의 오프셋을 변경하도록 제어 명령에 기초하여 제1 캐리어(30), 배출 장치(14) 및/또는 제2 캐리어(60)를 이동시키도록 구성된 적어도 하나의 제2 액튜에이터(74)를 구비한 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    미러 요소(68)가 제4 방사원(70)으로부터 방사되는 전자기 방사를 광학 센서 요소(66)와 투명 지지체(62) 사이의 광로에서 결합하도록 구성되고 투명 지지체(62)와 적어도 하나의 광학 센서 요소(66) 사이에 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치.
  11. 청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
    상기 마크는 이송될 전자 부품의 접촉면 및/또는 제2 캐리어(60) 상에 구비된 전도성 패턴인 것을 특징으로 하는 위치 결정 장치.
  12. 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 장치에 있어서,
    상기 장치는 청구항 1에 따른 배출 장치에 대하여 이송될 전자 부품 위치 결정 장치 및/또는 청구항 9에 따른 배출 장치에 대하여 제2 캐리어 위치 결정 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 제3 방사원(64)은 제1 캐리어(30)의 제2 측부와 제2 캐리어(60)의 제2 측부를 조사하도록 구성된 것을 특징으로 하는 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 장치.
  14. 청구항 1 내지 청구항 8과 청구항 12, 청구항 13 중 어느 한 항에 따른 장치를 사용하여 배출 장치에 대하여 이송될 전자 부품 위치 결정 방법에 있어서,
    - 제1 캐리어(30)의 제1 측부가 배출 장치(14)에 대하여 놓여 지도록 전자 부품(12, 12a)을 제1 캐리어(30)에 제공하는 단계, 복수의 전자 부품(12, 12a)은 배출 장치(14)로부터 이격되어 배향하는 제1 캐리어(30)의 제2 측부에 제공됨;
    - 제1 미러(50)에 의해 반사되는 광로에 의해 이미지 데이터를 캡쳐하는 단계, 상기 이미지 데이터는 배출 장치의 슬라이드의 위치에 관한 정보와 이송될 전자 부품(12, 12a)의 위치 정보를 구비함;
    - 캡쳐된 이미지 데이터에 기초하여 이송될 전자 부품(12a)의 위치 데이터를 결정하는 단계와;
    - 이송될 전자 부품(12a)의 캡쳐된 이미지 데이터에 기초하여 적어도 하나의 제1 액튜에이터를 개시하기 위한 제어 명령을 생성하는 단계와;
    슬라이드의 종축(ls)과 이송될 전자 부품(12a)의 중심축(lb) 사이에서 오프셋을 변경하기 위하여 서로에 대하여 제어 명령의 생성에 기초하여 제1 캐리어(30) 및/또는 배출 장치(14)를 이동시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 위치 결정 방법.
  15. 배출 장치(14)에 대하여 제2 캐리어 위치 결정하는 방법에 있어서,
    - 광학 센서 요소(66)가 제2 캐리어(60) 상에 구비된 마크를 검출할 수 있도록 이송될 전자 부품(12a)을 수용하기 위하여 적어도 하나의 접촉면을 가진 제2 캐리어(60)를 제공하는 단계와;
    - 광학 센서 요소(66)에 대하여 제2 캐리어(60)의 이미지를 투사하는 단계와;
    - 마크의 위치에 관한 정보와 배출 장치의 위치에 관한 정보를 구비하는 센서 신호를 생성하는 단계와;
    - 생성된 센서 신호에 기초하여 접촉면의 위치 데이터를 결정하는 단계와;
    - 접촉면의 결정된 위치 데이터에 기초하여 적어도 하나의 제2 액튜에이터(74)를 개시하는 제어 명령을 생성하는 단계와;
    접촉면과 배출 장치(14)의 슬라이드의 종축(ls) 사이에서 오프셋을 변경하기 위하여 생성된 제어 명령에 기초하여 제2 캐리어(60), 제1 캐리어(30) 및/또는 배출 장치(14)를 이동시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 위치 결정 방법.
  16. 적어도 하나의 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 방법에 있어서,
    상기 방법은 청구항 14에 따라 배출 장치에 대하여 이송될 전자 부품 위치 결정 단계 및/또는 청구항 15에 따라 배출 장치에 대하여 제2 캐리어 위치 결정 방법을 구비한 것을 특징으로 하는 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 방법.
  17. 청구항 16에 있어서,
    제3 방사원(64)은 제1 캐리어의 이미지를 이미지 데이터 취득 장치(40)로 투사하는 것을 특징으로 하는 전자 부품을 제1 캐리어로부터 제2 캐리어로 이송하기 위한 방법.
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