KR20140018504A - Rolling break apparatus for brittle material substrate - Google Patents

Rolling break apparatus for brittle material substrate Download PDF

Info

Publication number
KR20140018504A
KR20140018504A KR1020120084653A KR20120084653A KR20140018504A KR 20140018504 A KR20140018504 A KR 20140018504A KR 1020120084653 A KR1020120084653 A KR 1020120084653A KR 20120084653 A KR20120084653 A KR 20120084653A KR 20140018504 A KR20140018504 A KR 20140018504A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
brittle material
material substrate
rolling
seating pad
flexible seating
Prior art date
Application number
KR1020120084653A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101365049B1 (en
Inventor
김필종
Original Assignee
한국미쯔보시다이아몬드공업(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) filed Critical 한국미쯔보시다이아몬드공업(주)
Priority to KR1020120084653A priority Critical patent/KR101365049B1/en
Priority to TW102114560A priority patent/TWI591031B/en
Priority to JP2013127088A priority patent/JP6274756B2/en
Priority to CN201310280463.3A priority patent/CN103568138B/en
Publication of KR20140018504A publication Critical patent/KR20140018504A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101365049B1 publication Critical patent/KR101365049B1/en
Priority to JP2017228984A priority patent/JP6528829B2/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/037—Controlling or regulating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Dicing (AREA)
  • Footwear And Its Accessory, Manufacturing Method And Apparatuses (AREA)

Abstract

The present invention relates to a rolling break device, specifically to a rolling break device for a brittle material substrate capable of easily dividing the brittle material substrate with a scribing line. The rolling break device comprises the following: a flexible mounting pad (25) for mounting the brittle material substrate (3) with the scribing line (S) on the upper side; a pulling tension unit (30) formed on one end of the flexible mounting pad (25) for pulling the flexible mounting pad (25) to one direction for preventing the flexible mounting pad (25) from sagging to the lower side; a pushing movement rolling unit (20) located on the opposite side of the brittle material substrate (3) around the flexible mounting pad (25); and an ascending and descending unit (26) ascending and descending the pushing movement rolling unit (20) for the pushing movement rolling unit (20) to push the lower side of the brittle material substrate (3) mounted on the flexible mounting pad (25) toward the upper side.

Description

취성 재료 기판의 롤링 브레이크 장치{ROLLING BREAK APPARATUS FOR BRITTLE MATERIAL SUBSTRATE}Rolling brake device of brittle material substrate {ROLLING BREAK APPARATUS FOR BRITTLE MATERIAL SUBSTRATE}

본 발명은 롤링 브레이크 장치에 관한 것으로, 특히 스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판(brittle material substrate)을 쉽게 분단(dividing)시킬 수 있는 취성 재료 기판의 롤링 브레이크 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a rolling brake device, and more particularly to a rolling brake device of a brittle material substrate capable of easily dividing a brittle material substrate on which a scribe line is formed.

일반적으로 취성 재료 기판은 대형으로 제조되며, 사용자는 당해 기판을 원하는 크기에 맞게 분단하여 사용한다.Generally, brittle material substrates are manufactured in large sizes, and the user divides and uses the substrate to a desired size.

이러한 대형의 취성 재료 기판을 분단하는 종래의 분단 장치에 대해 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.A conventional dividing apparatus for dividing such a large brittle material substrate will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1을 참조하면, 대형의 취성 재료 기판(3)을 분단하기 위해서는 우선 대형의 취성 재료 기판(3)의 표면에 커터 휠(4)를 사용해 스크라이브 라인(S)을 형성시킨다.Referring to FIG. 1, in order to divide a large brittle material substrate 3, first, a scribe line S is formed on the surface of the large brittle material substrate 3 using the cutter wheel 4.

상기와 같이 취성 재료 기판(3)상에 스크라이브 라인(S)이 형성되면, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 취성 재료 기판(3)을 상하면이 바뀌도록 흡착회전장치(도시되지 않음)를 이용해 180도 회전시킨다.When the scribe line (S) is formed on the brittle material substrate 3 as described above, as shown in Figure 2, using the adsorption rotating device (not shown) so that the top and bottom of the brittle material substrate 3 is changed Rotate 180 degrees

상기 스크라이브 라인(S)이 형성된 취성 재료 기판(3)의 면이 바닥면을 향하도록 회전되면, 브레이크 바(8) 등을 이용해 스크라이브 라인(S)이 형성된 라인의 방향을 따라 취성 재료 기판의 상부측이 가압된다. 이에 따라, 취성 재료 기판(8)은 스크라이브 라인(S)을 따라 양쪽으로 벌어지면서 분단된다.When the surface of the brittle material substrate 3 on which the scribe line S is formed is rotated to face the bottom surface, the upper portion of the brittle material substrate is formed along the direction of the line on which the scribe line S is formed using the brake bar 8 or the like. The side is pressurized. Thereby, the brittle material substrate 8 is divided while spreading to both sides along the scribe line S. FIG.

이때에 취성 재료 기판(S)의 하부측에는 브레이크 바(8)로 가압할 시에 취성 재료 기판(3)이 하부측으로 눌리면서 완충되도록 쿠션 시트(7)가 깔려져 있다.At this time, the cushion sheet 7 is laid on the lower side of the brittle material substrate S so as to be cushioned while the brittle material substrate 3 is pressed down when pressed by the brake bar 8.

상기와 같이 스크라이브 라인(S)을 따라 취성 재료 기판(3)의 상부측에서 브레이크 바(8)를 이용해 가압하면서 누르게 되면, 취성 재료 기판(3)의 스크라이브 라인(S)을 따라 하부측으로 밀쳐지면서 분단된다.As described above, when the upper side of the brittle material substrate 3 is pressed while pressing the brake bar 8 along the scribe line S, it is pushed downward along the scribe line S of the brittle material substrate 3. Segmented.

그러나, 상기 취성 재료 기판(3)의 스크라이브 라인(S)은 깔려 있는 쿠션 시트(7)의 면과 맞닿음 접촉하고 있기 때문에, 스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판(3)의 면과 반대측에서 브레이크 바(8) 등을 이용해 가압할 시에, 스크라이브 라인면이 쿠션 시트(7)의 면과 접촉되어 접촉면과의 마찰력이 발생된다. 따라서, 가압시에 스크라이브 라인이 폭 방향 양쪽으로 쉽게 벌어지지 않아, 취성 재료 기판의 분단이 수월하게 이루어지지 않는 문제점이 있다.However, since the scribe line S of the brittle material substrate 3 is in abutting contact with the surface of the cushion sheet 7 which is laid, the brake bar is opposite to the surface of the brittle material substrate 3 on which the scribe line is formed. When pressurizing using (8) or the like, the scribe line surface comes into contact with the surface of the cushion sheet 7 to generate frictional force with the contact surface. Therefore, there is a problem that the scribe line does not easily open in both width directions at the time of pressing, so that the brittle material substrate is not easily divided.

또한, 취성 재료 기판(3)의 스크라이브 라인(S)을 따라 분단되어도, 스크라이브 라인(S)이 형성된 면이 쿠션 시트(7)의 면과 맞닿음된 상태에서 쿠션 시트(7) 쪽으로 밀쳐지면서 마찰력이 발생되어 분단되기 때문에, 취성 재료 기판의 분단면에서 치핑(chipping)이 발생된다.Moreover, even if it is divided along the scribe line S of the brittle material board | substrate 3, the frictional force pushes toward the cushion seat 7 in the state in which the surface in which the scribe line S was formed was in contact with the surface of the cushion seat 7. Since this is generated and parted, chipping occurs at the parting surface of the brittle material substrate.

또한, 상기와 같은 종래의 분단 장치는, 특히 취성 재료 기판을 분단하기 위해서 흡착회전장치 등을 이용해 기판을 회전시켜야 하기 때문에, 취성 재료 기판면의 흡착시에, 흡착에 의한 취성 재료 기판 면의 오염 문제가 대두되고 있는 실정이다.In addition, in the conventional dividing apparatus as described above, the substrate must be rotated by using an adsorption rotating device or the like, in order to separate the brittle material substrate. Problems are emerging.

또한, 취성 재료 기판의 가압시에, 스크라이브 라인의 정확히 반대편에서 기판을 누르면서 가압하여야 스크라이브 라인을 따라 정확하게 분단되는데, 취성 재료 기판의 위치 결정이 약간 어긋난 상태에서 브레이크 바를 가압하면서 누르면, 취성 재료 기판상의 스크라이브 라인을 따라 분단되지 않고, 다른 쪽으로 어긋난 상태로 분단이 이루어지는 문제가 발생된다.In addition, at the time of pressing the brittle material substrate, pressing the substrate on the opposite side of the scribe line must be pressed to precisely cut along the scribe line. When pressing the brake bar while pressing the brake bar in a slightly shifted position of the brittle material substrate, A problem arises in that the division is not performed along the scribe line but is carried out in a state in which it is shifted to the other side.

따라서, 본 발명은 종래와 같은 문제점을 감안하여 창출된 것으로, 그 목적은 스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판을 쉽게 분단시킬 수 있는 취성 재료 기판의 롤링 브레이크 장치를 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the same problems as in the prior art, and an object thereof is to provide a rolling brake apparatus for a brittle material substrate that can easily divide a brittle material substrate having a scribe line formed thereon.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 롤링 브레이크 장치는, 상면에 스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판이 안착되는 유연성 안착 패드와, 상기 유연성 안착 패드의 일측단에 형성되어, 상기 유연성 안착 패드가 하부측으로 처지지 않도록 상기 유연성 안착 패드를 일측 방향으로 당기는 당김 장력부와, 상기 유연성 안착 패드를 사이에 두고 상기 취성 재료 기판과 반대쪽에 위치하는 밀침 이동 롤링부와, 상기 밀침 이동 롤링부가 상기 유연성 안착 패드에 안착된 상기 취성 재료 기판의 하면을 상부측으로 밀치도록, 상기 밀침 이동 롤링부를 상하 이동시키는 승하강부를 구비한다.In order to achieve the above object, the rolling brake device of the present invention, a flexible seating pad on which a brittle material substrate having a scribe line is formed on the upper surface, and formed on one side end of the flexible seating pad, A pulling tension portion for pulling the flexible seating pad in one direction so as not to sag to a lower side, a push-up rolling part positioned opposite to the brittle material substrate with the flexible seating pad interposed therebetween, and the push-up rolling rolling part with the flexible seating part And an elevating portion for vertically moving the push-up rolling portion so as to push the lower surface of the brittle material substrate seated on the pad to the upper side.

상기 밀침 이동 롤링부는 상기 취성 재료 기판의 하면을 따라 이동되도록 형성될 수 있다.The push movement rolling part may be formed to move along a lower surface of the brittle material substrate.

상기 롤링 브레이크 장치는, 상기 밀림 이동 롤링부와 상기 승하강부 사이에 상기 취성 재료 기판의 하면과 평행하게 설치된 수평 선반을 더 포함하고, 상기 밀침 이동 롤링부는 상기 수평 선반 상에서 상기 취성 재료 기판의 하면을 따라 이동되도록 형성될 수 있다.The rolling brake device further includes a horizontal shelf provided between the slide moving rolling unit and the lifting unit in parallel with a lower surface of the brittle material substrate, and the push moving rolling unit is configured to move the lower surface of the brittle material substrate on the horizontal shelf. It can be formed to move along.

상기 롤링 브레이크 장치는 상기 밀침 이동 롤링부를 선회시키는 회전부를 더 포함할 수 있다.The rolling brake device may further include a rotating part that pivots the push movement rolling part.

상기 유연성 안착 패드는 매쉬형 망의 상부측에 고무 패드가 겹쳐지게 형성되거나, 점착성 고무로 형성될 수 있다. The flexible seating pad may be formed by overlapping a rubber pad on the upper side of the mesh type net or by adhesive rubber.

상기 밀침 이동 롤링부는 상기 취성 재료 기판보다 폭이 넓게 형성될 수 있다.The push movement rolling portion may be formed to be wider than the brittle material substrate.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성한 후, 당해 취성 재료 기판을 뒤집지 않고 바로 취성 재료 기판의 후면에서부터 상부측으로 밀쳐서 분단시키기 때문에, 기판상의 오염을 방지할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, since a scribe line is formed on the brittle material substrate, the brittle material substrate is pushed from the rear side to the upper side of the brittle material substrate without being inverted, and thus divided, thereby preventing contamination on the substrate. .

또한, 수평 방향으로 이동하는 밀침 이동 롤링부를 이용함으로써, 스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판을 빠르고 쉽게 분단시킴과 동시에, 스크라이브 라인에 밀침 이동 롤링부를 정확하게 맞추지 않고 이동시키면서도 정확하게 분단시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the use of the squeezing rolling part moving in the horizontal direction makes it possible to divide the brittle material substrate on which the scribe line is formed quickly and easily, and to accurately segment the squeezing rolling part without moving the squeezing rolling part accurately.

또한, 밀침 이동 롤링부를 상부측으로 밀치면서 취성 재료 기판의 하면을 따라 수평 방향으로 이동시키기 때문에, 취성 재료 기판의 스크라이브 라인을 한줄씩 차례로 분단할 수 있을 뿐만 아니라, 밀침 롤링부를 이용해 취성 재료 기판의 하면을 바로 맞닿음시켜 밀치지 않고, 유연성 안착 패드를 통하여 밀치기 때문에 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, since the squeezing rolling portion is moved horizontally along the lower surface of the brittle material substrate while pushing the upper portion to the upper side, the scribe lines of the brittle material substrate can be partly lined up one by one, and the lower surface of the brittle material substrate by the squeezing rolling part is also used. There is an effect that can prevent contamination because it is pushed directly through the flexible seating pads without being pushed directly.

또한, 유연성 안착 패드는 매쉬형 망의 상부측에 점착성 고무 패드가 겹쳐져 형성되기 때문에, 취성 재료 기판이 점착성 고무 패드에 안착되면, 밀침 이동 롤링부에 취성 재료 기판의 하면이 밀쳐지더라도 상부측으로 들뜨는 것을 방지할 수 있어, 분단력을 높일 수 있는 효과가 있다.In addition, since the flexible seating pad is formed by overlapping the adhesive rubber pad on the upper side of the mesh net, when the brittle material substrate is seated on the adhesive rubber pad, the flexible seating pad is lifted to the upper side even if the lower surface of the brittle material substrate is pushed on the push-moving rolling part. It can prevent that, and can improve the division force.

도 1 은 취성 재료 기판을 분단하기 위해 스크라이브 라인을 형성하는 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2 는 도 1에 의해 스크라이브 라인을 형성한 후, 브레이크 바를 이용하여 기판을 분단하는 종래의 분단장치를 나타내는 도면이다.
도 3 은 본 발명의 일 실시예에 따른 취성 재료 기판의 롤링 브레이크 장치를 나타내는 도면이다.
도 4 는 본 발명의 일 실시예에 따른 취성 재료 기판의 롤링 브레이크 장치를 이용해 취성 재료 기판을 분단하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 5 는 본 발명의 일 실시예에 따른 취성 재료 기판의 롤링 브레이크 장치를 이용해 취성 재료 기판을 분단하는 상태를 보다 구체적으로 나타낸 도면이다.1 is a schematic illustration of an apparatus for forming a scribe line to segment a brittle material substrate.
FIG. 2 is a view showing a conventional dividing apparatus for dividing a substrate using a brake bar after forming a scribe line according to FIG. 1.
3 is a view showing a rolling brake device of a brittle material substrate according to an embodiment of the present invention.
4 is a view illustrating a state in which a brittle material substrate is divided using a rolling brake device for a brittle material substrate according to an embodiment of the present invention.
5 is a view illustrating in more detail a state in which a brittle material substrate is divided using a rolling brake device for a brittle material substrate according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예에 있어, 종래 기술의 구성요소와 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는, 동일한 도면 부호를 사용함으로써, 설명을 생략하기로 한다.In the embodiment of the present invention, the same or similar components as those of the prior art are denoted by the same reference numerals, and a description thereof will be omitted.

본 발명의 일 실시예에 따른 취성 재료 기판의 롤링 브레이크 장치는, 도 3에 도시된 바와 같이, 상부측으로 실린더 등에 의해 승하강이 가능한 승하강부(26)를 구비하고, 상기 승하강부(26)에는 회전부(28)가 장착된다.The rolling brake device of the brittle material substrate according to an embodiment of the present invention, as shown in Figure 3, has an elevating portion 26 that can be raised and lowered by a cylinder or the like to the upper side, the elevating portion 26 The rotating part 28 is mounted.

상기의 회전부(28)의 상부측에는 수평상태로 편평하게 형성된 수평 선반(22)이 놓여져 있으며, 상기 수평 선반(22) 상에는 수평방향으로 이동이 자유로운 밀침 이동 롤링부(20)가 장착되어 있다.On the upper side of the rotating part 28, a horizontal shelf 22 formed flat in a horizontal state is placed, and on the horizontal shelf 22, a sliding movement rolling part 20 freely movable in the horizontal direction is mounted.

상기의 밀침 이동 롤링부(20)는 수평 선반(22)상에서 구동장치(도시되지 않음) 등에 의해 전후진 이동되도록 설치되어 있다.The push movement rolling unit 20 is installed on the horizontal shelf 22 so as to move forward and backward by a driving device (not shown) or the like.

상기와 같이 이동되는 밀침 이동 롤링부(20)의 상부측에는 유연성 안착 패드(25)가 수평지게 위치 고정되어 있고, 상기 유연성 안착 패드(25)의 일측단에는, 유연성 안착 패드(25)가 항상 수평을 이루도록 당겨주는 당김 장력부(30)가 장착되어 있다.The flexible seating pad 25 is horizontally fixed to the upper side of the push-up rolling unit 20 which is moved as described above, and at one end of the flexible seating pad 25, the flexible seating pad 25 is always horizontal. Pull tension portion 30 is pulled to achieve.

상기 당김 장력부(30)는, 유연성 안착 패드(25)의 일측단에 장착되어 유연성 안착 패드(25)를 항상 당김 상태로 유지시키는 무게추나 스프링 탄성체일 수 있으며, 유연성 안착 패드(25)를 항상 당김 상태로 유지시킬 수 있는 다른 수단일 수도 있다. The pulling tension part 30 may be a weight or a spring elastic body mounted at one end of the flexible seating pad 25 to keep the flexible seating pad 25 always in a pulled state, and the flexible seating pad 25 may always be It may be another means by which it can be kept in a pulled state.

이러한 당김 장력부(30)는, 취성 재료 기판(3)이 유연성 안착 패드(25)상에 올려놓여진 상태에서도, 유연성 안착 패드(25)가 하부측으로 처짐 없이 수평 상태를 유지하도록, 유연성 안착 패드(25)에 당김력을 유지시킬 수 있다.This pull tension portion 30 is provided with a flexible seating pad (a flexible seating pad) such that the flexible seating pad 25 is horizontally maintained without sagging even when the brittle material substrate 3 is placed on the flexible seating pad 25. 25) can maintain the pulling force.

또한, 상기와 같이 당김 장력부(30)가 유연성 안착 패드(25)의 전체의 면적을 일정하게 당겨 유연성 안착 패드(25)의 수평을 유지할 수 있도록, 유연성 안착 패드(25)는, 매쉬 형태의 고무망 형태로 형성되거나, 매쉬 형태의 그물망 상부측에 고무 패드 등이 일체가 되도록 형성될 수 있다.In addition, the flexible seating pad 25 has a mesh shape so that the pulling tension part 30 can maintain the horizontality of the flexible seating pad 25 by pulling the entire area of the flexible seating pad 25 uniformly as described above. It may be formed in the form of a rubber net, or may be formed so that a rubber pad or the like is integrated on the mesh-shaped upper side of the mesh.

또한, 유연성 안착 패드(25)는 취성 재료 기판(3)이 안착된 상태로 놓여질 때에 고정력을 발생시키기 위해, 부착성이 좋은 점착 고무 등을 이용할 수도 있다.In addition, in order to generate | occur | produce a fixing force when the flexible seating pad 25 is set in the state in which the brittle material board | substrate 3 was mounted, you may use adhesive rubber etc. with good adhesiveness.

상기와 같이 구성된 본 실시예에 따른 롤링 브레이크 장치에서 기판이 분단되는 과정을 구체적으로 설명한다.The process of dividing the substrate in the rolling brake device according to the present embodiment configured as described above will be described in detail.

우선, 도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이브 공정상에서 스크라이브 라인(S)이 상부측에 형성된 취성 재료 기판(3)이 유연성 안착 패드(25)상에 그대로 이동 안착된다.First, as shown in FIG. 3, the brittle material substrate 3 having the scribe line S formed on the upper side in the scribing process is moved and seated on the flexible seating pad 25 as it is.

한편, 유연성 안착 패드(25)상에 취성 재료 기판(3)이 이동되어 올려 놓여질 때에, 유연성 안착 패드(25)는 하부측으로 처지지 않고 수평이 유지된다. 즉, 상기 유연성 안착 패드(25)는, 그의 일측에서 당김 장력부(30)에 의해 항상 취성 재료 기판(3)의 무게보다 큰 힘으로 당겨지고 있기 때문에, 취성 재료 기판(3)의 무게에 의해 유연성 안착 패드(25)의 중앙 부위가 하부측으로 처지는 것이 방지될 수 있다.On the other hand, when the brittle material substrate 3 is moved and placed on the flexible seating pad 25, the flexible seating pad 25 is kept horizontal without sagging to the lower side. That is, since the flexible seating pad 25 is always pulled with a force greater than the weight of the brittle material substrate 3 by the pull tension portion 30 at one side thereof, the flexible seating pad 25 The central portion of the flexible seating pad 25 can be prevented from sagging to the lower side.

이와 같이 유연성 안착 패드(25)상에 취성 재료 기판(3)이 안착되면, 상기 유연성 안착 패드(25)의 하부 위치에 장착되어 있는 승하강부(26)가, 도시되지 않은 구동장치 등에 의해 상부측으로 상승된다.When the brittle material substrate 3 is seated on the flexible seating pad 25 in this manner, the lifting portion 26 mounted at the lower position of the flexible seating pad 25 is moved upward by a driving device or the like not shown. Is raised.

승하강부(26)의 상승에 의해 밀침 이동 롤링부(20)도 상승하게 되고, 이에 따라, 취성 재료 기판(3)이 올려 놓여진 상태에서 수평으로 유지되고 있는 유연성 안착 패드(25)의 하면의 일부분도 밀침 이동 롤링부(20)에 의해 일정 높이 만큼 상부측으로 이동된다. As the lifting and lowering portion 26 is raised, the push movement rolling portion 20 also rises, whereby a portion of the lower surface of the flexible seating pad 25 is horizontally held in a state where the brittle material substrate 3 is placed. In addition, it is moved upward by a predetermined height by the pushing movement rolling part 20.

상기 밀침 이동 롤링부(20)가 유연성 안착 패드(25)의 하면에 맞닿음 되면서 유연성 안착 패드(25)를 상부측(도 3에서 Y축 방향)으로 밀치게 되면, 상기 유연성 안착 패드(25)상에 안착되어 있는 취성 재료 기판(3)도 동시에 상부측으로 밀쳐지게 된다.When the push movement rolling part 20 is in contact with the lower surface of the flexible seating pad 25 and pushes the flexible seating pad 25 toward the upper side (Y-axis direction in FIG. 3), the flexible seating pad 25 The brittle material substrate 3 seated on the surface is also pushed to the upper side at the same time.

즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 유연성 안착 패드(25)가 밀침 이동 롤링부(20)에 의해 Y축상으로 일정 높이 밀쳐지게 되면, 유연성 안착 패드(25)상에 올려 놓여져 있는 취성 재료 기판(3)도 상부측으로 밀쳐지면서 들어 올려지게 된다.That is, as shown in FIG. 4, when the flexible seating pad 25 is pushed to a certain height on the Y axis by the push movement rolling unit 20, the brittle material substrate placed on the flexible seating pad 25 ( 3) is pushed to the upper side and lifted up.

이때에 밀침 이동 롤링부(20)의 상승 높이 만큼, 취성 재료 기판(3)상의 상면에 형성되어 있는 스크라이브 라인(S)이 상부측으로 밀쳐지게 되면, 스크라이브 라인(S)의 사이가 양쪽으로 벌어지면서 스크라이브 라인(S)의 폭방향으로 인장 응력이 발생되고, 이에 따라 스크라이브 라인(2)에 형성된 크랙이 점차 하측으로 진행하면서 취성 재료 기판(3)이 분단된다.At this time, if the scribe line S formed on the upper surface on the brittle material substrate 3 is pushed to the upper side by the rising height of the push-moving rolling part 20, the space between the scribe lines S is opened to both sides. Tensile stress is generated in the width direction of the scribe line S, so that the cracks formed in the scribe line 2 gradually progress downward, thereby segmenting the brittle material substrate 3.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 취성 재료 기판(3)의 스크라이브 라인(S)이 밀침 이동 롤링부(20)의 밀침력에 의해 양쪽으로 벌어질 시에, 취성 재료 기판(3)의 자중에 의해서 스크라이브 라인(S)상에 인가되는 인장 응력이 가중되기 때문에, 크랙의 진행 속도가 더욱 가속되어, 취성 재료 기판(3)이 더욱 쉽게 분단될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 5, when the scribe line S of the brittle material substrate 3 opens to both sides by the push force of the push movement rolling part 20, the self-weight of the brittle material substrate 3 is increased. Due to the weighting of the tensile stress applied on the scribe line S, the speed of crack propagation is further accelerated, so that the brittle material substrate 3 can be more easily divided.

또한, 도 4에 도시된 것처럼, 밀침 이동 롤링부(20)가 수평 방향(도 4에서 X축 방향)으로 이동하면서 취성 재료 기판(3)의 스크라이브 라인(S)들이 형성되어 있는 위치를 경유할 때마다, 밀침 이동 롤링부(20)는 취성 재료 기판(3)의 스크라이브 라인(S)을 상부측으로 밀쳐 들어올리는 형태가 되기 때문에, 스크라이브 라인(S)이 형성된 부위마다 크랙이 진행되면서 기판이 스크라이브 라인의 폭 방향으로 쉽게 벌어지게 되고, 이에 따라 기판이 차례로 분단된다. 즉, 밀침 이동 롤링부(20)가, 취성 재료 기판(3)의 스크라이브 라인(S)의 중심이 형성된 부분을 지나면서 당해 부분을 상부측으로 밀쳐 상승시킬 때, 당해 스크라이브 라인(S)으로부터 먼쪽에 위치해 있는 기판의 바깥쪽 부분은 자중에 의해 하부측으로 처지게 되고, 이로 인해, 스크라이브 라인(S)의 폭 방향으로 인장 응력이 발생하게 되어, 취성 재료 기판(3)은 스크라이브 라인(S)을 중심으로 폭 방향으로 벌어지면서 크랙이 진행되어 결국 분단될 수 있다. In addition, as shown in FIG. 4, the push movement rolling portion 20 moves in the horizontal direction (the X-axis direction in FIG. 4) while passing through the position where the scribe lines S of the brittle material substrate 3 are formed. Each time, the push-moving rolling part 20 is formed to push up the scribe line S of the brittle material substrate 3 to the upper side, so that the substrate is scribed while the crack is progressed for each portion where the scribe line S is formed. It is easily opened in the width direction of the line, and thus the substrate is divided in sequence. That is, when the push movement rolling part 20 pushes up the said part to the upper side while passing through the part in which the center of the scribe line S of the brittle material board | substrate 3 was formed, it is far from the said scribe line S. The outer portion of the substrate on which it is located is drooped downward by its own weight, which causes tensile stress in the width direction of the scribe line S, so that the brittle material substrate 3 is centered on the scribe line S. As the cracks open in the width direction, the cracks may progress and eventually divide.

한편, 취성 재료 기판(3)이 안착되어 있는 유연성 안착 패드(25)의 표면은 일반적인 고무로 형성될 수도 있고, 취성 재료 기판(3)이 유연성 안착 패드(25)의 표면에 부착되어 인장 응력에 의한 분단력이 더욱 증가될 수 있도록, 흡착성 고무 또는 점착성 고무 등으로 형성될 수도 있다. Meanwhile, the surface of the flexible seating pad 25 on which the brittle material substrate 3 is seated may be formed of general rubber, and the brittle material substrate 3 is attached to the surface of the flexible seating pad 25 to resist tensile stress. It may be formed of an adsorptive rubber or a tacky rubber or the like so that the force of separation by it can be further increased.

이에 관하여 좀 더 구체적으로 설명하면, 유연성 안착 패드(25)가 점착성 고무로 형성된 경우, 유연성 안착 패드(25)는, 취성 재료 기판(3) 중 스크라이브 라인(S)으로부터 먼 쪽에 위치해 있는 기판 양쪽의 단부 부위가 당해 유연성 안착 패드(25)의 표면으로부터 들뜨지 않고 달라붙은 상태가 되도록 단부 부위를 잡아주는 역할을 한다. 따라서, 밀침 이동 롤링부(20)가 유연성 안착 패드(25)를 상부측으로 밀칠 때에, 취성 재료 기판(3)의 스크라이브 라인(S) 중앙으로 가해지는 힘이 더욱 부가되고, 그만큼 더 크랙의 진행을 돕게 되어, 결국에는 분단력이 커지게 된다.More specifically in this regard, when the flexible seating pads 25 are formed of adhesive rubber, the flexible seating pads 25 are formed on both sides of the brittle material substrate 3 located farther from the scribe line S. It serves to hold the end portion so that the end portion is stuck to the surface of the flexible seating pad 25 without being lifted. Therefore, when the push movement rolling part 20 pushes the flexible seating pad 25 to the upper side, a force applied to the center of the scribe line S of the brittle material substrate 3 is further added, and the progress of the crack is further increased. As a result, they become more divided.

한편, 전술한 바와 같이, 밀침 이동 롤링부(20)는 취성 재료 기판(3)의 하면을 따라 X축 방향으로 이동하면서, X축 및 Y축에 수직한 방향(이하, 'Z축 방향'이라 칭한다)으로 형성된 취성 재료 기판(3)의 스크라이브 라인(S)을 분단시킨 후, 승하강부(26)를 통해 하강되어 원래의 위치로 복귀된다.On the other hand, as described above, the push pin movement rolling unit 20 moves in the X-axis direction along the lower surface of the brittle material substrate 3, and is referred to as a direction perpendicular to the X-axis and the Y-axis (hereinafter, referred to as 'Z-axis direction'). After scribing the scribe line S of the brittle material substrate 3 formed of the < RTI ID = 0.0 > form < / RTI >

그리고, 상기 Z축 방향으로 형성된 스크라이브 라인을 따른 분단작업이 완료된 후, 바로 X축 방향으로 형성된 스크라이브 라인을 따른 분단작업을 연이어서 실시하기 위해, 회전부(28)를 이용해 밀침 이동 롤링부(20)의 위치가 90도 회전된다.Then, after the dividing work along the scribe line formed in the Z-axis direction is completed, in order to successively carry out the dividing work along the scribe line formed in the X-axis direction, the push-up moving rolling unit 20 using the rotating unit 28 is performed. The position of is rotated 90 degrees.

상기와 같이 회전부(28)에 의해 밀침 이동 롤링부(20)가 90도 회전된 후, 밀침 이동 롤링부(20)는 승하강부(26)에 의해 다시 Y축 방향으로 상승된다. 그리고, 밀침 이동 롤링부(20)는 수평 방향(Z축 방향)으로 이동하면서 취성 재료 기판(3)상의 X축 방향으로 형성된 스크라이브 라인(S)을 차례로 분단시킨다.After the push pin movement rolling unit 20 is rotated 90 degrees by the rotary unit 28 as described above, the push pin movement rolling unit 20 is elevated in the Y-axis direction by the elevating unit 26. And the push movement rolling part 20 divides the scribe line S formed in the X-axis direction on the brittle material board | substrate 3 in order, moving in a horizontal direction (Z-axis direction).

본 실시예에서는 밀침 이동 롤링부(20)가 수평 선반(22)상에서 이동하도록 설치되어 있지만, 본 발명은 이에 한정하지 않고, 밀침 이동 롤링부(20)가 회전부(28)상에서 수평 방향으로 이동되도록 할 수도 있다. 또한, 상기 밀침 이동 롤링부(20)는, 도면에 도시하지는 않았지만, 양 단측에 레일 등을 깔아서 이동시키거나, 기타 다른 구동장치 등을 장착하여 이동시킬 수 있다.In this embodiment, the push movement rolling unit 20 is installed to move on the horizontal shelf 22, but the present invention is not limited to this, so that the push movement rolling unit 20 is moved in the horizontal direction on the rotary unit 28. You may. In addition, although not shown in the drawing, the push movement rolling unit 20 may be moved by installing a rail or the like on both ends or by mounting other driving devices.

또한, 본 실시예에 따른 밀침 이동 롤링부(20)에 의하면, 취성 재료 기판(3)의 스크라이브 라인(S)이 형성된 면의 반대쪽 면, 즉 취성 재료 기판(3)의 후면부에서 장축의 로울러가 굴러가면서 당해 후면부를 상측으로 밀치기 때문에, 밀침 이동 롤링부(20)가, 취성 재료 기판(3)의 상면측에 형성된 스크라이브 라인(S)의 선상에서 약간의 어긋남 등이 발생하더라도, 스크라이브 라인(S)의 선상을 따라 크랙이 진행되면서 정확하게 분단된다.Moreover, according to the push-up rolling part 20 which concerns on this embodiment, the roller of the long axis was formed in the surface opposite to the surface where the scribe line S of the brittle material board | substrate 3 was formed, ie, the back part of the brittle material board | substrate 3. Since the back portion is pushed upward while rolling, the scribe line (even if a slight shift or the like occurs on the line of the scribe line S formed on the upper surface side of the brittle material substrate 3). As the crack progresses along the line of S), it is segmented correctly.

S: 스크라이브 라인
3: 취성 재료 기판
20: 밀침 이동 롤링부
25: 유연성 안착 패드
26: 승하강부
28: 회전부
30: 당김 장력부S: scribe line
3: brittle material substrate
20: push movement rolling part
25: Flexible Seating Pad
26: lift
28: rotating part
30: pulling tension

Claims (7)

상면에 스크라이브 라인(S)이 형성된 취성 재료 기판(3)이 안착되는 유연성 안착 패드(25)와,
상기 유연성 안착 패드(25)의 일측단에 형성되어, 상기 유연성 안착 패드(25)가 하부측으로 처지지 않도록 상기 유연성 안착 패드(25)를 일측 방향으로 당기는 당김 장력부(30)와,
상기 유연성 안착 패드(25)를 사이에 두고 상기 취성 재료 기판(3)과 반대쪽에 위치하는 밀침 이동 롤링부(20)와,
상기 밀침 이동 롤링부(20)가 상기 유연성 안착 패드(25)에 안착된 상기 취성 재료 기판(3)의 하면을 상부측으로 밀치도록, 상기 밀침 이동 롤링부(20)를 상하 이동시키는 승하강부(26)를 구비하는 것을 특징으로 하는 롤링 브레이크 장치.A flexible seating pad 25 on which a brittle material substrate 3 having a scribe line S formed thereon is seated;
Is formed at one end of the flexible seating pad 25, pull tension portion 30 to pull the flexible seating pad 25 in one direction so that the flexible seating pad 25 does not sag to the lower side,
A push-moving rolling part 20 positioned opposite to the brittle material substrate 3 with the flexible seating pad 25 therebetween;
Lifting and lowering part 26 which moves the push-up rolling part 20 up and down so that the push-up rolling part 20 pushes the lower surface of the brittle material substrate 3 seated on the flexible seating pad 25 to the upper side. Rolling brake device characterized in that it comprises a). 제1항에 있어서,
상기 밀침 이동 롤링부(20)는 상기 취성 재료 기판(3)의 하면을 따라 이동되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 롤링 브레이크 장치.The method of claim 1,
Rolling brake device, characterized in that the push movement rolling portion 20 is formed to move along the lower surface of the brittle material substrate (3). 제2항에 있어서,
상기 밀침 이동 롤링부(20)와 상기 승하강부(26) 사이에 상기 취성 재료 기판의 하면과 평행하게 설치된 수평 선반(22)을 더 포함하고,
상기 밀침 이동 롤링부(20)는 상기 수평 선반(22) 상에서 상기 취성 재료 기판(3)의 하면을 따라 이동되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 롤링 브레이크 장치.3. The method of claim 2,
Further comprising a horizontal shelf (22) installed in parallel with the lower surface of the brittle material substrate between the push movement rolling portion 20 and the elevating portion 26,
And the push movement rolling portion (20) is formed to move along the lower surface of the brittle material substrate (3) on the horizontal shelf (22). 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밀침 이동 롤링부(20)를 선회시키는 회전부(28)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤링 브레이크 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Rolling brake device characterized in that it further comprises a rotating portion (28) for turning the push movement rolling portion (20). 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유연성 안착 패드(25)는 매쉬형 망의 상부측에 고무 패드가 겹쳐져 형성된 것을 특징으로 하는 롤링 브레이크 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The flexible seating pad 25 is a rolling brake device, characterized in that the rubber pad is formed on the upper side of the mesh mesh. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
유연성 안착 패드(25)는 점착성 고무인 것을 특징으로 하는 롤링 브레이크 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Flexible seating pad 25 is a rolling brake device, characterized in that the adhesive rubber. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밀침 이동 롤링부는 상기 취성 재료 기판(3)보다 폭이 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 롤링 브레이크 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Rolling brake device, characterized in that the push movement rolling portion is formed wider than the brittle material substrate (3).
KR1020120084653A 2012-08-02 2012-08-02 Rolling break apparatus for brittle material substrate KR101365049B1 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120084653A KR101365049B1 (en) 2012-08-02 2012-08-02 Rolling break apparatus for brittle material substrate
TW102114560A TWI591031B (en) 2012-08-02 2013-04-24 Rolling device for brittle material substrates
JP2013127088A JP6274756B2 (en) 2012-08-02 2013-06-18 Rolling break device for brittle material substrate
CN201310280463.3A CN103568138B (en) 2012-08-02 2013-07-02 The rolling brisement device of brittle substrate
JP2017228984A JP6528829B2 (en) 2012-08-02 2017-11-29 Rolling break device for brittle material substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120084653A KR101365049B1 (en) 2012-08-02 2012-08-02 Rolling break apparatus for brittle material substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140018504A true KR20140018504A (en) 2014-02-13
KR101365049B1 KR101365049B1 (en) 2014-02-20

Family

ID=50041268

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120084653A KR101365049B1 (en) 2012-08-02 2012-08-02 Rolling break apparatus for brittle material substrate

Country Status (4)

Country Link
JP (2) JP6274756B2 (en)
KR (1) KR101365049B1 (en)
CN (1) CN103568138B (en)
TW (1) TWI591031B (en)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6387679B2 (en) * 2014-05-22 2018-09-12 三星ダイヤモンド工業株式会社 Break method
CN105565254B (en) * 2014-10-17 2017-11-14 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 A kind of MEMS and preparation method thereof, electronic installation
EP3222593B1 (en) * 2014-11-19 2022-06-29 Bando Kiko Co., Ltd Method for splitting glass plate
JP2016104683A (en) 2014-11-19 2016-06-09 坂東機工株式会社 Splitting method of glass sheet, and splitting device therefor
CN104843488B (en) * 2015-04-10 2017-12-29 京东方科技集团股份有限公司 A kind of output device and cutting splitting system
JP6547556B2 (en) * 2015-09-29 2019-07-24 三星ダイヤモンド工業株式会社 Method of dividing brittle substrate
JP6149960B2 (en) * 2016-02-17 2017-06-21 坂東機工株式会社 Glass plate folding method
JP6477946B2 (en) * 2018-03-02 2019-03-06 三星ダイヤモンド工業株式会社 Break device
TWI664134B (en) * 2018-08-07 2019-07-01 住華科技股份有限公司 Transportation device and transportation method using the same

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4989475A (en) * 1972-12-27 1974-08-27
JPS59120452A (en) * 1982-12-28 1984-07-12 昭和電工株式会社 Tarpaulin
JPS63172612U (en) * 1987-04-28 1988-11-09
JPS6457015U (en) * 1987-10-07 1989-04-10
AT399865B (en) 1990-05-15 1995-08-25 Lisec Peter METHOD AND DEVICE FOR BREAKING GLASS PANES
JP2002050589A (en) * 2000-08-03 2002-02-15 Sony Corp Method and device for stretching and separating semiconductor wafer
JP2002184723A (en) * 2000-12-13 2002-06-28 Sony Corp Semiconductor manufacturing method and apparatus
JP4647830B2 (en) * 2001-05-10 2011-03-09 株式会社ディスコ Workpiece division processing method and chip interval expansion apparatus used in the division processing method
JP2003127096A (en) 2001-10-24 2003-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Substrate splitting device and method of splitting substrate
JP4256214B2 (en) * 2003-06-27 2009-04-22 株式会社ディスコ Plate-shaped material dividing device
CN100428418C (en) * 2004-02-09 2008-10-22 株式会社迪斯科 Method for cutting wafer
JP4584607B2 (en) * 2004-03-16 2010-11-24 浜松ホトニクス株式会社 Processing object cutting method
JP4514490B2 (en) * 2004-03-29 2010-07-28 日東電工株式会社 Semiconductor wafer fragmentation method
JP5037138B2 (en) * 2005-01-05 2012-09-26 Ｔｈｋ株式会社 Work breaking method and device, scribing and breaking method, and scribing device with break function
JP2006202933A (en) * 2005-01-20 2006-08-03 Disco Abrasive Syst Ltd Wafer dividing method
CN1994713B (en) * 2006-01-06 2010-05-12 日月光半导体制造股份有限公司 Crystal grain separation device and separation method thereof
JP5216522B2 (en) 2008-10-07 2013-06-19 三星ダイヤモンド工業株式会社 Brittle material pliers
JP5546873B2 (en) * 2010-01-12 2014-07-09 キヤノンマシナリー株式会社 Semiconductor wafer dividing method and apparatus
TWI462215B (en) * 2010-03-29 2014-11-21 Dainippon Screen Mfg Substrate processing apparatus, changing method and transferring method

Also Published As

Publication number Publication date
CN103568138B (en) 2016-11-02
JP2014031002A (en) 2014-02-20
TWI591031B (en) 2017-07-11
TW201406683A (en) 2014-02-16
KR101365049B1 (en) 2014-02-20
JP6274756B2 (en) 2018-02-07
JP2018030376A (en) 2018-03-01
JP6528829B2 (en) 2019-06-12
CN103568138A (en) 2014-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101365049B1 (en) Rolling break apparatus for brittle material substrate
WO2013100203A3 (en) Apparatus for loading a flexible substrate and a lithography apparatus
JP5311527B1 (en) Pasting device
KR101788645B1 (en) Breaking apparatus for brittle material substrate
JP2006117518A5 (en)
KR102422164B1 (en) Conveyer, conveying apparatus, and scribing system
JP6792824B2 (en) Plate glass manufacturing method and plate glass folding device
JP2015188968A (en) Method and device for parting resin sheet
KR101991267B1 (en) Apparatus for cutting substrate
JP2013056813A (en) Method and apparatus for cutting band-shaped plate glass
KR20130014835A (en) A breaking apparatus using breaking bar
JP2014144509A (en) Protective film cutting device
JP6032428B2 (en) Glass film cutting apparatus and glass film cutting method
CN104803592B (en) The scoring device of brittle material substrate
TW201947644A (en) Substrate cutting apparatus can satisfy different types of substrates in which thickness, material and laminated structures are different
TWM449806U (en) Transfer mechanism for glass cutter
JP2006128211A5 (en)
CN100529873C (en) System and method for removing blank glass from panel
KR102067987B1 (en) Apparatus for cutting substrate
JP2013028531A5 (en)
KR20170104033A (en) Scribing apparatus
KR20140125478A (en) Device for cutting glass and method for cutting glass
JP6459742B2 (en) Substrate transfer device
KR20190059576A (en) Apparatus for cutting substrate
TW201929062A (en) Device for dividing substrate capable of maintaining the parallelism of a breaking bar with respect to a substrate while the device for dividing substrate rotates the breaking bar and changes its direction of the extension

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161115

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171109

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181107

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200114

Year of fee payment: 7