KR20130113621A - 유체 디스펜싱장치 - Google Patents

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KR20130113621A
KR20130113621A KR1020120035922A KR20120035922A KR20130113621A KR 20130113621 A KR20130113621 A KR 20130113621A KR 1020120035922 A KR1020120035922 A KR 1020120035922A KR 20120035922 A KR20120035922 A KR 20120035922A KR 20130113621 A KR20130113621 A KR 20130113621A
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최봉진
방인호
김명기
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(주) 디바이스이엔지
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Abstract

본 발명은 유체 디스펜싱장치에 관한 것으로서, 기판에 대한 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 정확하게 파악할 수 있고, 이를 근거로 기판 상의 특정 지점에 최적량의 유체를 정확하게 적하할 수 있으며, 이로써, 기판 상에 미세한 패터닝 작업이 가능하도록 하는 것을 목적으로 한다.
이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 이송 스테이지에 의해 이송되는 기판 상에 유체를 적하하는 디스펜싱 노즐을 구비하는 유체 디스펜싱장치에 있어서, 디스펜싱 노즐부분과, 유체가 적하되는 기판부분을 촬영하는 카메라와; 기판에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점을 육안으로 확인할 수 있도록, 카메라에서 촬영된 디스펜싱 노즐부분과 유체가 적하되는 기판부분의 영상데이터를 디스플레이하는 모니터를 구비한다. 그리고 카메라에서 입력된 영상데이터를 처리하여 기판에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점 및, 디스펜싱 노즐과 기판이 유체로 연결되는 시점을 분석하는 제어부를 더 구비하며, 제어부는, 기판에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점 및, 디스펜싱 노즐과 기판이 유체로 연결되는 시점을 분석한 결과에 따라 디스펜싱 노즐의 유체 토출량과 토출시점 및 이송 스테이지의 이송속도를 제어한다.

Description

유체 디스펜싱장치{LIQUID DISPENSER}
본 발명은 유체 디스펜싱장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 기판에 대한 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 정확하게 파악할 수 있고, 이를 근거로 기판 상의 특정 지점에 최적량의 유체를 정확하게 적하할 수 있으며, 이로써, 기판 상에 미세한 패터닝 작업이 가능한 유체 디스펜싱장치에 관한 것이다.
액정표시장치(LCD Display), 유기전계 발광 표시장치(OLED Display), 유기태양전지, 반도체 소자 등의 제조공정은, 기판 상에 유체를 적하(Dropping)하는 공정을 포함한다.
예를 들면, 기판에 특정 패턴을 형성하기 위해서 기판 상에 유체 잉크를 적하하는 공정, 기판에 특수기판을 접합하기 위해서 기판 상에 접착제를 적하하는 공정 등이 있다.
일반적으로, 기판 상에 유체를 적하하는 공정은, 유체 디스펜싱장치(Dispenser)에 의해 시행된다. 유체 디스펜싱장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 디스펜싱 노즐(1)을 갖추고 있는 것으로, 상기 디스펜싱 노즐(1)로 유체를 기판(3) 상에 토출한다. 특히, 이송 스테이지(5)를 따라 이송되는 기판(3) 상에 토출한다. 이로써, 기판(3) 상에 유체를 적하하게 된다.
여기서, 디스펜싱 노즐(1)은, 에어 가압식, 스크류 가압식, 피스톤 가압식 등으로 구성되며, 필요에 따라 유체의 토출량을 조절할 수 있도록 구성된다. 따라서, 기판(3) 상에 적하되는 유체의 적하량을 조절할 수 있게 된다.
그런데, 이러한 종래의 유체 디스펜싱장치는, 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점을 정확하게 파악하기가 어렵다는 단점이 있으며, 이러한 단점 때문에 유체의 적하 불량이 발생될 경우 이를 확인하기가 어렵다는 문제점이 있다. 특히, 유체의 적하 불량을 확인하기 어려우므로, 불량 제품이 양산될 우려가 있다는 결점이 있다.
또한, 종래의 유체 디스펜싱장치는, 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점을 정확하게 파악하기가 어려우므로, 기판(3) 상의 특정 지점에 최적량의 유체를 정확하게 적하하기가 어렵다는 문제점이 있다.
특히, 기판(3) 상에 미세한 패턴을 형성하기 위해서는 최적량의 유체를 미리 설정된 지점에 정확하게 적하하는 것이 매우 중요한데, 종래의 유체 디스펜싱장치는, 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점을 정확하게 파악할 수 없으므로, 기판(3) 상의 특정 지점에 최적량의 유체를 정확하게 적하하기가 어렵다는 단점이 있다.
따라서, 기판(3) 상에 미세한 패터닝 작업이 어렵다는 단점이 있으며, 이러한 단점 때문에 기판(3) 상에 미세 패턴을 형성하기가 매우 어렵다는 문제점이 있다. 그 결과, 고품질의 액정표시장치, 유기전계 발광 표시장치, 유기태양전지, 반도체 소자 등을 제조하기 어렵다는 결점이 지적되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 실시간으로 모니터링할 수 있도록 구성함으로써, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 정확하게 파악할 수 있는 유체 디스펜싱장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 정확하게 파악할 수 있도록 구성함으로써, 유체의 적하 불량이 발생될 경우, 이를 신속하게 실시간으로 확인할 수 있도록 하는 유체 디스펜싱장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 유체의 적하 불량이 발생될 경우, 이를 신속하게 실시간으로 확인할 수 있도록 구성함으로써, 유체의 적하 불량에 신속하게 대처할 수 있고, 따라서, 유체의 적하 불량으로 인한 불량 제품의 양산을 미연에 방지할 수 있는 유체 디스펜싱장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 정확하게 파악할 수 있도록 구성함으로써, 기판 상의 특정 지점에 최적량의 유체를 정확하게 적하할 수 있는 유체 디스펜싱장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 기판 상의 특정 지점에 최적량의 유체를 정확하게 적하할 수 있도록 구성함으로써, 미세한 패터닝 작업이 가능한 유체 디스펜싱장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 미세한 패터닝 작업이 가능하도록 구성함으로써, 기판 상에 미세한 패턴을 형성할 수 있고, 따라서, 고품질의 제품을 제조할 수 있도록 하는 유체 디스펜싱장치를 제공하는 데 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유체 디스펜싱장치는, 이송 스테이지에 의해 이송되는 기판 상에 유체를 적하하는 디스펜싱 노즐을 구비하는 유체 디스펜싱장치에 있어서, 상기 디스펜싱 노즐부분과, 유체가 적하되는 기판부분을 촬영하는 카메라와; 상기 기판에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점을 육안으로 확인할 수 있도록, 상기 카메라에서 촬영된 상기 디스펜싱 노즐부분과 유체가 적하되는 기판부분의 영상데이터를 디스플레이하는 모니터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 카메라에서 입력된 영상데이터를 처리하여 상기 기판에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점 및, 상기 디스펜싱 노즐과 기판이 유체로 연결되는 시점을 분석하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 제어부는, 상기 기판에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점 및, 상기 디스펜싱 노즐과 기판이 유체로 연결되는 시점을 분석한 결과에 따라 상기 디스펜싱 노즐의 유체 토출량과 토출시점 및 상기 이송 스테이지의 이송속도를 제어하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 카메라는, 상기 기판의 이송방향을 향해 일정각도로 설치되어 있되, 상기 기판과 예각 이내의 각도를 이루며 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 유체 디스펜싱장치에 의하면, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 실시간으로 모니터링하는 구조이므로, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 실시간으로 파악할 수 있는 효과가 있다.
또한, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 실시간으로 파악할 수 있으므로, 유체의 적하 불량이 발생될 경우, 이를 실시간으로 확인할 수 있고 실시간으로 대처할 수 있으며, 따라서, 유체의 적하 불량으로 인한 불량 제품의 양산을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 정확하게 파악한 다음, 이에 대응하여 디스펜싱 노즐과 기판의 이송속도 등을 유기적으로 제어하는 구조이므로, 기판에 대한 유체의 적하량과 적하지점 적하시점을 정밀하게 조절할 수 있는 효과가 있다.
또한, 기판에 대한 유체의 적하량과 적하지점 적하시점을 정밀하게 조절할 수 있는 구조이므로, 기판 상의 특정 지점에 최적량의 유체를 정확하게 적하할 수 있는 효과가 있다.
또한, 기판 상의 특정 지점에 최적량의 유체를 정확하게 적하할 수 있으므로, 미세한 패터닝 작업이 가능하고, 따라서, 기판 상에 미세한 패턴을 형성할 수 있으며, 이로써, 고품질의 제품을 제조할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 유체 디스펜싱장치를 나타내는 측면도,
도 2는 본 발명에 따른 유체 디스펜싱장치의 구성을 나타내는 측면도,
도 3은 본 발명에 따른 유체 디스펜싱장치의 작동예를 나타내는 블록도이다.
이하, 본 발명에 따른 유체 디스펜싱장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명한다(종래와 동일한 구성요소는 동일한 부호를 사용하여 설명한다).
먼저, 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 유체 디스펜싱장치는, 카메라(10)를 구비한다.
카메라(10)는, 고해상도의 카메라로서, 디스펜싱 노즐(1)의 인접부분에 설치된다. 이렇게 설치된 카메라(10)는, 디스펜싱 노즐(1)의 끝부분을 고정밀도로 촬영하여 고해상도의 영상테이터를 확보한다.
특히, 디스펜싱 노즐(1)에서 토출되는 유체와, 유체가 적하되는 기판(3)부분을 고정밀도로 촬영하도록 구성된다. 따라서, 기판(3) 상에 적하되는 유체의 적하량과 적하지점, 그리고 기판(3)에 대한 유체의 적하시점이 고해상도의 영상데이터에 나타날 수 있게 한다.
여기서, 카메라(10)는, 디스펜싱 노즐(1)의 인접부분에 설치되어 있되, 기판(3)의 이송방향을 향해 소정각도로 설치되도록 구성된다. 특히, 기판(3)과 예각 이내의 각도(θ)를 이루며 설치되도록 구성된다.
또한, 카메라(10)는, 디스펜싱 노즐(1)과, 유체가 적하되는 기판(3)부분을 평면적으로 촬영할 수 있도록 2D 카메라로 구성될 수도 있으며, 경우에 따라, 상기 디스펜싱 노즐(1)과 기판(3)부분을 입체적으로 촬영할 수 있도록 3D 카메라로 구성될 수도 있다.
다시, 도 2를 참조하면, 본 발명의 디스펜싱장치는, 모니터(20)를 구비한다.
모니터(20)는, 카메라(10)에서 촬영된 영상데이터를 디스플레이하도록 구성된다. 특히, 유체가 적하되는 기판(3)부분을 실시간으로 디스플레이하도록 구성된다.
따라서, 작업자로 하여금 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점 및, 유체의 적하시점을 실시간으로 확인할 수 있게 한다. 이로써, 유체의 적하 불량 여부를 실시간으로 확인할 수 있게 한다.
그 결과, 유체의 적하 불량이 발생될 경우, 신속하게 실시간으로 대처할 수 있게 한다. 이에 따라, 유체의 적하 불량으로 인한 불량 제품의 양산을 미연에 방지할 수 있게 한다.
다시, 도 2를 참조하면, 본 발명의 디스펜싱장치는, 카메라(10)에서 입력된 영상데이터에 따라 디스펜싱 노즐(1)와 이송 스테이지(5)를 제어하는 제어부(30)를 구비한다.
제어부(30)는, 마이크로 프로세서와 구동회로를 내장하는 것으로, 카메라(10)로부터 입력된 영상데이터를 처리하여, 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점 및, 디스펜싱 노즐(1)과 기판(3)이 유체로 연결되는 시점을 정밀하게 분석 및 판단한 다음, 분석 및 판단한 결과에 따라 디스펜싱 노즐(1)과 이송 스테이지(5)를 제어하도록 구성된다.
특히, 디스펜싱 노즐(1)을 제어하여 유체의 토출량과 토출시점을 조절함으로써, 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하시점을 정밀하게 조절한다. 따라서, 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하시점 및, 디스펜싱 노즐(1)과 기판(3)이 유체로 연결되는 시점이 최적의 상태를 유지할 수 있게 한다.
또한, 제어부(30)는, 이송 스테이지(5)의 이송속도를 제어하여 디스펜싱 노즐(1)에 대한 기판(3)의 이동속도를 조절함으로써, 기판(3)에 대한 유체의 적하지점을 정밀하게 제어한다. 따라서, 미리 설정된 기판(3) 상의 특정 지점에 상기 유체가 정확하게 적하될 수 있게 한다.
또한, 디스펜싱 노즐(1)과 이송 스테이지(5)를 동시에 유기적으로 제어함으로써, 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하시점, 그리고 유체의 적하지점이 최적의 상태를 유지할 수 있도록 제어한다.
따라서, 기판(3) 상의 특정 지점에 최적량의 유체가 정확하게 적하될 수 있게 한다. 이로써, 기판(3) 상에 미세한 패터닝 작업이 가능하고, 그 결과, 기판(3) 상에 미세한 패턴을 형성할 수 있게 한다. 이에 따라, 고품질의 제품을 제조할 수 있게 된다.
한편, 이러한 제어부(30)는, 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점을 정밀하게 분석 및 판단하는 영상처리 분석 프로그램을 다양하게 내장하고 있다.
예를 들면, 디스펜싱 노즐(1)에서 토출되는 유체의 영상을 분석하여 유체의 토출량과 토출속도를 산출하고, 산출된 유체의 토출량과 토출속도를 근거로 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하시점을 분석하는 프로그램과, 디스펜싱 노즐(1)과 기판(3)의 영상을 분석하여 디스펜싱 노즐(1)과 기판(3)이 유체로 연결되는 시점을 분석하는 프로그램과, 기판(3)의 영상을 분석하여 기판(3)의 이송속도와 위치를 검출하고, 검출된 기판(3)의 이송속도와 위치를 근거로 기판(3)에 대한 유체의 적하지점과 적하시점을 분석하는 프로그램들을 다양하게 내장하고 있다.
이들 프로그램들은, 유체가 적하되는 기판(3)부분과 디스펜싱 노즐(1)부분의 영상데이터를 이진화하고 노이즈를 제거하여 분석 객체를 추출한 다음, 추출된 분석 객체를 근거로 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점 등을 분석사한다. 이러한 분석 기술들은 이미 공지되어 있으므로 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
다음으로, 이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 작동예를 도 2와 도 3을 참조하여 설명한다.
먼저, 본 발명의 디스펜싱장치는, 이송 스테이지(5)가 작동되면서 디스펜싱 노즐(1)의 하측부분으로 기판(3)이 이송되면(S101), 상기 디스펜싱 노즐(1)은, 유체를 토출하기 시작하며, 이러한 유체의 토출에 따라 기판(3) 상에는 유체가 적하되기 시작한다(S103).
한편, 기판(3) 상에 유체가 적하되기 시작하면, 카메라(10)는, 유체의 적하를 촬영하고(S105), 촬영된 영상데이터를 모니터(20)와 제어부(30)로 각각 입력시킨다(S107).
이때, 영상데이터가 입력된 모니터(20)는, 입력된 영상데이터를 디스플레이한다(S109). 특히, 유체가 적하되는 기판(3)부분을 실시간으로 디스플레이한다.
따라서, 작업자는 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점 및 디스펜싱 노즐(1)과 기판(3)이 유체로 연결되는 시점을 실시간으로 확인할 수 있다. 이로써, 유체의 적하 불량 여부를 실시간으로 확인할 수 있다. 그 결과, 유체의 적하 불량이 발생될 경우, 신속하게 실시간으로 대처할 수 있게 된다.
그리고 영상데이터가 입력된 제어부(30)는, 입력된 영상데이터를 처리하여 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점 및, 디스펜싱 노즐(1)과 기판(3)이 유체로 연결되는 시점을 정밀하게 분석 및 판단한 다음(S111), 분석 및 판단한 결과에 따라 디스펜싱 노즐(1)과 이송 스테이지(5)를 제어한다(S113).
특히, 디스펜싱 노즐(1)을 제어하여 유체의 토출량과 토출시점을 조절한다. 따라서, 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하시점을 정밀하게 조절한다. 이로써, 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하시점 및, 디스펜싱 노즐(1)과 기판(3)이 유체로 연결되는 시점을 최적의 상태로 제어한다.
이와 더불어, 이송 스테이지(5)를 제어하여 디스펜싱 노즐(1)에 대한 기판(3)의 이동속도도 조절한다. 따라서, 기판(3)에 대한 유체의 적하지점을 정밀하게 제어한다.
이러한 구성의 본 발명에 의하면, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 실시간으로 모니터링하는 구조이므로, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 실시간으로 파악할 수 있다.
또한, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 실시간으로 파악할 수 있으므로, 유체의 적하 불량이 발생될 경우, 이를 실시간으로 확인하고 실시간으로 대처할 수 있다. 따라서, 유체의 적하 불량으로 인한 불량 제품의 양산을 미연에 방지할 수 있다.
또한, 유체의 적하량과 적하지점 및 적하시점을 정확하게 파악한 다음, 이에 대응하여 디스펜싱 노즐과 기판의 이송속도 등을 유기적으로 제어하는 구조이므로, 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점 적하시점을 정밀하게 조절할 수 있다.
또한, 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점 적하시점을 정밀하게 조절할 수 있는 구조이므로, 기판(3) 상의 특정 지점에 최적량의 유체를 정확하게 적하할 수 있다.
또한, 기판(3) 상의 특정 지점에 최적량의 유체를 정확하게 적하할 수 있으므로, 미세한 패터닝 작업이 가능하고, 따라서, 기판 상에 미세한 패턴을 형성할 수 있으며, 이로써, 고품질의 제품을 제조할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
1: 디스펜싱 노즐(Dispensing Nozzle) 3: 기판
5: 이송 스테이지(Stage) 10: 카메라(Camera)
20: 모니터(Monitor) 30: 제어부

Claims (4)

  1. 이송 스테이지(5)에 의해 이송되는 기판(3) 상에 유체를 적하하는 디스펜싱 노즐(1)을 구비하는 유체 디스펜싱장치에 있어서,
    상기 디스펜싱 노즐(1)부분과, 유체가 적하되는 기판(3)부분을 촬영하는 카메라(10)와;
    상기 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점을 육안으로 확인할 수 있도록, 상기 카메라(10)에서 촬영된 상기 디스펜싱 노즐(1)부분과 유체가 적하되는 기판(3)부분의 영상데이터를 디스플레이하는 모니터(20)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 디스펜싱장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 카메라(10)에서 입력된 영상데이터를 처리하여 상기 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점 및, 상기 디스펜싱 노즐(1)과 기판(3)이 유체로 연결되는 시점을 분석하는 제어부(30)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 디스펜싱장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제어부(30)는,
    상기 기판(3)에 대한 유체의 적하량과 적하지점과 적하시점 및, 상기 디스펜싱 노즐(1)과 기판(3)이 유체로 연결되는 시점을 분석한 결과에 따라 상기 디스펜싱 노즐(1)의 유체 토출량과 토출시점 및 상기 이송 스테이지(5)의 이송속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 유체 디스펜싱장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 카메라(10)는,
    상기 기판(3)의 이송방향을 향해 일정각도로 설치되어 있되, 상기 기판(3)과 예각 이내의 각도(θ)를 이루며 설치되는 것을 특징으로 하는 유체 디스펜싱장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016167585A1 (ko) * 2015-04-17 2016-10-20 성안기계 주식회사 슬롯 다이 코팅 장치
WO2017052245A1 (ko) * 2015-09-24 2017-03-30 성안기계 주식회사 슬롯 다이 코팅 장치 및 그 제어 방법
CN112916304A (zh) * 2021-01-22 2021-06-08 苏州彩阳电暖科技有限公司 一种电热毯部件自动注胶和批钉的设备及其使用方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016167585A1 (ko) * 2015-04-17 2016-10-20 성안기계 주식회사 슬롯 다이 코팅 장치
KR20160124380A (ko) * 2015-04-17 2016-10-27 성안기계 (주) 슬롯 다이 코팅 장치
US10610881B2 (en) 2015-04-17 2020-04-07 Sung An Machinery Co., Ltd. Slot die coating apparatus
WO2017052245A1 (ko) * 2015-09-24 2017-03-30 성안기계 주식회사 슬롯 다이 코팅 장치 및 그 제어 방법
CN112916304A (zh) * 2021-01-22 2021-06-08 苏州彩阳电暖科技有限公司 一种电热毯部件自动注胶和批钉的设备及其使用方法

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