KR20130090109A - The cleansing method of the glass plate for lcd-panel and thereof device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 엘시디(LCD) 유리 기판 제조 공정 중 글라스의 표면을 세척하는 세척방법 및 그 장치에 관한 것으로, 상세하게는 엘시디 유리 기판 제조 공정에서 엘시디용 유리의 표면을 상부에서 안전하게 세척하는 세척방법 및 그 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a cleaning method and apparatus for cleaning the surface of the glass during the LCD glass substrate manufacturing process, and more particularly, a cleaning method for safely washing the surface of the glass for LCD in the LCD glass substrate manufacturing process from the top and To the device.
일반적으로 디스플레이용 유리 기판은 두께가 0.7mm 내외로 얇고 높은 공정온도에서 열적 변형을 최소화할 수 있는 높은 유리 전이온도(Tg)를 지니면서 가시광선 영역에서의 투과율이 높아 산업적으로 널리 활용되고 있다.In general, the glass substrate for display has a thin glass thickness of about 0.7mm and has a high glass transition temperature (Tg) to minimize thermal deformation at a high process temperature and has a high transmittance in the visible light range, and thus is widely used industrially.
또한, 세정 구입 가격 측면에서 볼 때 디스플레이용으로 제작 및 사용하기에 적당하여 많은 업체에서 유리기판을 사용하고 있다.In addition, in view of the purchase price of cleaning, many companies use glass substrates because they are suitable for manufacturing and using for display.
한편, 디스플레이용 유리 기판이나 에리디 글라스는 표면에 미립자를 비롯한 금속 불순물, 유기 오염물, 자연 산화 막과 같은 불순물 제거가 중요한 공정으로 대두 되고 있다.On the other hand, display substrates and eddy glass have emerged as an important process for removing impurities such as metal impurities, organic contaminants, and natural oxide films on the surface.
이러한 불순물은 반도체 소자의 성능과 수명을 좌우하는 중요한 요소이기 때문에 반도체 웨이퍼나 엘시디 글라스 유리기판 등을 제조하기 위한 각 공정을 진행하기 전에 불순물 제거를 위한 세정 공정을 거쳐야한다.Since these impurities are important factors that determine the performance and lifespan of the semiconductor device, a cleaning process for removing impurities must be performed before each process for manufacturing a semiconductor wafer or LCD glass substrate.
즉 엘시디 글라스를 가공하기 전에 표면을 깨끗하게 하기 위하여 세척공정을 거치게 되는바, 케미컬과 물을 이용하여 엘시디 글라스의 표면을 세척하고, 표면을 세척한 다음 브러시를 이용하여 엘시디 글라스의 표면에 묻어 있는 케미컬과 물을 제거하였다.In other words, before the LCD is processed, the surface of the LCD is cleaned by using a chemical and water.The surface of the LCD is cleaned using chemicals and water, and then the surface of the LCD is cleaned using a brush. And water were removed.
한편, 최근에는 상기와 같은 엘시디 글라스의 표면에 있는 불순물을 제거하기 위하여 PVA 엠보싱 브러시 롤러를 사용하여 이물질을 제거하였다.On the other hand, recently, in order to remove impurities on the surface of the LCD glass as described above to remove foreign substances using a PVA embossing brush roller.
그러나 상기 PVA 엠보싱 브러시 롤러는 전량이 수입에 의존하고 있기 때문에 외화의 낭비가 심하였고, 소모량이 많아 웨이퍼의 가격을 상승시키는 요인이 되었다.However, since the PVA embossing brush roller is entirely dependent on imports, wasted foreign currency was wasted and the consumption of the PVA abrasive brush roller increased the price of the wafer.
본 출원인은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 엘시디 글라스 세척용 브러시 롤러의 제조방법 및 그 장치를 발명하였다.Applicant has invented a method and apparatus for manufacturing an LCD glass cleaning brush roller to solve the above problems.
상기의 발명은 엘시디 글라스 세척용 PVA 롤러를 고온에서도 축과 분리되지 않도록 함으로써 케미컬의 세척 최적의 온도인 90℃에서 엘시디 글라스를 깨끗하게 세척할 수 있도록 한 것이다.The above invention is to allow the LCD glass cleaning PVA roller to be separated from the shaft even at a high temperature to clean the LCD glass at 90 ℃ the optimum temperature of the chemical cleaning.
그러나 상기의 세척장치는 회전식 세척장치로서 유리에 압력이 발생하는 단점이 있다.However, the cleaning device has a disadvantage that the pressure generated in the glass as a rotary cleaning device.
즉 상기의 발명은 엘시디용 유리가 이동되는 동안 브러시가 회전하면서 세척하는 방식으로 대형의 유리를 세척할 경우 브러시가 회전하면서 유리를 가압하게 되고, 이로 인하여 압력을 받은 유리가 세척 도중 파손되는 문제점이 있다.That is, in the above invention, when the large glass is cleaned by rotating the brush while the glass for LCD is moved, the brush rotates and presses the glass, thereby causing a problem that the glass under pressure breaks during cleaning. have.
또한, 상기 회전식 브러시는 회전 축에 고정되어 있는 브러시의 마모시 브러시를 고정하고 있는 회전축 자체를 교체하여야 함으로써 작업이 복잡하고 힘들며, 여러 사람이 동원되어야 하고, 작업시간이 오래 걸리는 문제점이 있다.In addition, the rotary brush has a problem in that the work is complicated and difficult, requires a large number of people, and takes a long time by replacing the rotating shaft itself fixing the brush when the brush is fixed to the rotating shaft.
그리고 회전식 브러시를 이용하여 엘시디용 유리나 유리기판을 세척하면 브러시와 유리의 접촉 면이 좁기 때문에 세척력이 떨어지는 단점이 있고, 이로 인하여 제품의 이동속도를 줄이고 회전 브러시의 회전수를 빨리 하여 세척력을 향상시킬 수는 있으나 에너지의 낭비가 심한 문제점이 있다.In addition, when cleaning the glass or glass substrate for LCD using a rotary brush, the contact surface between the brush and the glass is narrow, which reduces the cleaning power. This reduces the moving speed of the product and improves the cleaning power by speeding up the rotational brush. It is possible, but there is a serious waste of energy.
한편, 최근에는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 수평 이동을 이용한 브러시 장치가 개발되었으나, 상기의 고안은 실린더와 캠을 이용하여 브러시가 수평축을 타고 좌우로 작동하면서 세척하도록 한 것으로, 실질적으로 작동 불가능한 고안이다.On the other hand, in recent years, a brush device using a horizontal movement has been developed in order to solve the above problems, the invention is to use the cylinder and the cam to clean the brush while operating from side to side on the horizontal axis, practically impossible to operate It is devised.
즉 상기의 고안은 모터에 의하여 축이 회전되면 양측의 브러시가 캠과 콘 로드에 의하여 좌우로 작동 되도록 한 것이다.In other words, the design of the above is that when the shaft is rotated by the motor, the brushes on both sides are operated left and right by the cam and the cone rod.
그러나 양측 전후로 브러시를 고정하고 있는 실린더는 그 특성을 알 수 없으며, 또한 캠을 고정하고 있는 구성은 전혀 알 수 없는 것으로 상기의 고안은 단순하게 브러시를 좌우로 작동되도록 한 것으로, 상기 종래의 브러시는 문헌상으로 작동을 할 수 없는 구조이다. However, the cylinder holding the brush back and forth on both sides can not know its characteristics, and also the configuration holding the cam is not known at all, the above design simply to operate the brush from side to side, the conventional brush It is a structure that cannot operate in the literature.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로, 세척장치의 유리를 가압하지 않고 세척을 할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been invented to solve the above problems, and its object is to enable cleaning without pressing the glass of the cleaning device.
본 발명의 다른 부가적인 목적으로는 브러시의 교체시 작업자가 간편하고 손쉽게 교체할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.Another additional object of the present invention is to enable the operator to easily and easily replace when replacing the brush.
유리기판 제조공정에 의하여 유리기판이 세척공정으로 공급되면 모터의 구동에 의하여 회전축이 회전하는 회전축 구동단계;A rotating shaft driving step of rotating the rotating shaft by driving of the motor when the glass substrate is supplied to the washing process by the glass substrate manufacturing process;
상기 회전축 구동단계에 의하여 회전하는 회전축에 일정한 간격으로 다수 개가 설치된 캠이 같이 회전하면서 각각의 캠 하단부에 체결된 지지대를 밀어 지지대를 전후로 이송시키는 지지대 이송단계;A support transfer step of transferring the support back and forth by pushing the supports fastened to the lower ends of the respective cams while the plurality of cams are rotated together at regular intervals by the rotation shaft driving step;
상기 지지대 이송단계에 의하여 지지대가 전후로 이송되면서 지지대의 하단부에 설치된 전후 작동구가 가이드레일을 타고 전후로 이송되는 전후 작동구 작동단계;A front and rear operating tool operation step in which the front and rear operating tools installed at the lower end of the support are transported back and forth on the guide rail while the support is transported back and forth by the support transporting step;
상기 전후 작동구 작동단계에 의하여 전후 작동구가 작동됨과 동시에 전후작동구의 하단부에 설치된 노즐에 의하여 세척액이 분사되는 세척액 분사단계;A washing liquid spraying step in which the washing liquid is sprayed by a nozzle installed at the lower end of the front and rear operating holes at the same time as the front and rear operating holes are operated by the front and rear operating tool operating steps;
상기 전후 작동구 작동단계와 세척액 분사단계에 의하여 세척액이 분사되면서 전후 작동구의 전후로 이송됨과 동시에 전후 작동구의 하단부에 설치된 브러시가 전후로 이송되면서 유리기판의 표면을 세척하는 세척단계; 로 이루어진 것을 특징으로 한다.Washing step of washing the surface of the glass substrate while being transported to the front and rear of the front and rear operation sphere while the cleaning liquid is injected by the front and rear operating tool operation step and the cleaning liquid spraying step and the brush installed at the lower end of the front and rear operation port back and forth; .
본 발명의 구조는 다음과 같다.The structure of the present invention is as follows.
본체(1)상부 양측에 고정구를 설치하여 회전축(8)이 회전 가능하게 고정 설치하고, 회전축(8)에 일정한 간격으로 다수 개의 캠(7)을 설치하며, 회전축(8)의 한쪽에는 모터(9)를 설치하여 모터의 구동에 의하여 회전축(8)이 회전되도록 한 구동부;Fixtures are installed on both upper sides of the
상기 구동부의 회전축(8) 하단부 양측 전후에 각각 설치되는 가이드레일(5);
상기 가이드레일(5)에 체결되어 전후로 작동하고, 상측으로 지지대(6)를 설치하여 지지대(6)의 중앙부에 회전축(8)에 설치된 각각의 캠(7)에 체결되어 캠(7)의 회전에 의하여 전후로 가이드레일(5)을 타고 작동되는 전후 작동구(2);It is fastened to the guide rail (5) to operate back and forth, and install the support (6) to the upper side is fastened to the respective cam (7) installed on the rotary shaft (8) in the center of the support (6) to rotate the cam (7) By the front and rear operating sphere (2) is operated by the guide rail (5) back and forth by;
상기 전후 작동구(2)의 하단부에 고정볼트(10)에 의하여 분리 가능하게 체결되는 브러시(3);A brush (3) detachably fastened by a fixing bolt (10) to the lower end of the front and rear operation holes (2);
상기 브러시(3)가 설치된 전후 작동구(2)의 하단부에 설치되어 세척액을 분사하는 세척액 분사용 노즐(4)이 포함된 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it comprises a nozzle for spraying the cleaning
실시 예Example
상기 구동부의 다른 실시 예로, 전후 작동구(2)가 체결된 가이드레일(5)의 한쪽에 중앙부에 체결부(11)가 형성된 지지대(16)를 설치하고 이 지지대(16)의 체결부(11)에 모터(9)에 의하여 회전되는 캠(7)을 체결하여 캠(7)의 회전에 의하여 지지대(16)를 밀고 당김으로써 하단부에 브러시(3)가 체결되는 전후 작동구(2)가 가이드레일(5)을 타고 전후로 작동되게 하여도 바람직하다.In another embodiment of the drive unit, a
본 발명은 유리기판을 회전방식이 아닌 전후 작동방식으로 세척하는 방법으로 유리기판을 세척할 때 가압하지 않음으로써 유리 기판이 파손되는 것을 방지할 수가 있다.The present invention can prevent the glass substrate from being broken by not pressurizing the glass substrate when the glass substrate is washed by the front-back operation method rather than the rotation method.
또한, 본 발명은 전후 작동구의 하단부에 브러시가 고정되어 있는 것으로 브러시 교체시 브러시 몸체를 고정하고 있는 볼트만 풀면 간단하게 교체할 수가 있기 때문에 작업자가 브러시 교체작업을 간편하고 간편하게 할 수가 있으며, 이로 인하여 브러시의 작업 시간을 단축할 수가 있다.In addition, the present invention is that the brush is fixed to the lower end of the front and rear operating port can be replaced simply by loosening the bolt holding the brush body when replacing the brush, the operator can easily and easily replace the brush, because of this This can shorten the working time of the brush.
그리고 본 발명은 세척용 브러시는 솔이 수평의 판형으로 되어 있어 유리기판과의 접촉 면이 넓어 세척력이 강하므로 제품이 고속으로 이동하여도 유리기판의 표면에 있는 이물질을 깨끗하게 세척할 수가 있는 유용한 발명이다. In addition, the present invention is a cleaning brush is a useful invention that can clean the foreign matter on the surface of the glass substrate even if the product moves at a high speed because the brush is a horizontal plate-like contact surface is wide and strong cleaning power. .
도 1은 본 발명의 세척 공정을 보인 블록도
도 2는 본 발명의 세척 공정에 대한 실시 예를 보인 블록도
도 3은 본 발명의 설치 상태를 보인 개략 정 단면도
도 4는 본 발명의 작동상태를 보인 측 단면도
도 5는 본 발명의 실시 예에 대한 구조를 보인 개략 정 단면도
도 6은 본 발명의 실시 예에 대한 작동상태를 보인 측 단면도1 is a block diagram showing a washing process of the present invention
Figure 2 is a block diagram showing an embodiment of the washing process of the present invention
3 is a schematic cross-sectional view showing an installation state of the present invention.
Figure 4 is a side cross-sectional view showing an operating state of the present invention
5 is a schematic cross-sectional view showing a structure of an embodiment of the present invention
Figure 6 is a side cross-sectional view showing an operating state for an embodiment of the present invention.
도 1 및 도 3에서와 같이 대형 유리기판의 제조 공정 중 유리 기판의 표면을 세척하고자 할 경우 기존의 이송라인에 설치된 이송장치에 의하여 대형 유리기판이 세척장치로 이송된다. 1 and 3, when the surface of the glass substrate is to be washed during the manufacturing process of the large glass substrate, the large glass substrate is transferred to the washing apparatus by a transfer apparatus installed in the existing transfer line.
상기와 같이 이송장치에 의하여 대형 유리기판이 세척장치로 공급되면 세척장치는 본체(1)에 설치된 모터(9)의 작동에 의하여 회전축(8)이 회전하게 되고, 이로 인하여 회전축(8)에 체결되어 있는 각각의 캠(7) 또한 같이 회전하게 된다. When the large glass substrate is supplied to the cleaning device by the transfer device as described above, the cleaning device rotates the rotating
이와 같이 회전축(8)에 의하여 캠(7)이 회전하게 되면 캠(7)이 체결된 지지대(6)의 체결부에서 캠(7)이 회전하게 되므로 캠(7)에 의하여 지지대(6)의 전후를 밀게 되므로 지지대(6)가 설치된 전후 작동구(2)가 가이드레일(5)을 타고 전후로 이동하게 된다.As such, when the
상기와 같이 전후 작동구(2)가 전후로 작동되면 전후 작동구(2)의 하단부에 설치된 브러시(3)와 세척액 분사 노즐(4)에서 분사되는 세척액에 의하여 유리기판의 표면에 묻어 있는 각종 이물질을 세척하게 되는 것이다.As described above, when the front and
즉 가이드레일(5)에 의하여 고정되어 있는 전후 작동구(2)가 지지대(6)의 체결부에 체결된 캠(7)의 회전에 의하여 캠(7)이 지지대(6)를 밀게 되므로 지지대가 고정설치된 전후 작동구(2)가 고속으로 전후로 작동하게 되며, 이로 인하여 전후 작동구(2)의 하단부에 설치된 판형의 브러시(3)가 유리 기판의 표면을 세척하게 되는 것이다.That is, since the
그리고 도 5 및 도 6은 본 발명 구동부의 실시 예에 관한 것으로, 모터(9)가 회전하게 되면 모터(9)에 설치된 캠(7)이 같이 회전하게 되고, 이로 인하여 캠(7)이 지지대(16)의 체결부(11)에서 회전하면서 지지대(16)의 전후를 밀게 된다.5 and 6 relate to an embodiment of the driving unit of the present invention, when the
상기와 같이 캠(7)이 회전하면서 지지대(16)의 전후를 밀게 되면 지지대(16)가 설치된 전후 작동구(2)가 가이드레일(5)을 타고 전후로 이송되면서 유리 기판을 세척하게 되는 것이다.As described above, when the
한편, 브러시(3)의 마모가 심하여 세척력이 떨어져 블러쉬를 교체하고 자 할 경우 세척장치를 정지 한 다음 전후 작동구(2)의 상부에서 브러시 몸체를 고정하고 있는 다수개의 고정볼트(10)를 풀면 전후 작동구(2)의 하단부에 고정 설치된 브러시(3) 몸체가 전후 작동구(2)에서 분리되어 하단부로 떨어지게 된다.On the other hand, if the brush (3) is abrasion and the cleaning power is so bad that you want to replace the blush stop the cleaning device and then loosen a number of fixing bolts (10) fixing the brush body at the top of the front and rear operating port (2) The body of the
이와 같이 분리된 브러시(3) 몸체를 폐기하고, 다른 새것의 브러시 몸체를 다시 전후 작동구(2)의 하단부에 놓고 전후 작동구(2)의 상부에서 고정볼트(10)를 조여 브러시 몸체를 고정하면 되는 것이다.Discard the brush (3) body separated in this way, place another new brush body on the lower end of the front and rear operation opening (2) and tighten the fixing bolt (10) at the top of the front and rear operating opening (2) to fix the brush body You can do it.
1. 본체 2. 전후 작동구
3. 브러시캠 4. 세척액 분사용 노즐
5. 가이드레일 6. 16. 지지대
7. 캠 8. 회전축
9. 모터 10. 고정볼트
11. 체결부
3.
5.
7.
9.
11. Fastening part
Claims (3)
상기 회전축 구동단계에 의하여 회전하는 회전축에 일정한 간격으로 다수 개가 설치된 캠이 같이 회전하면서 각각의 캠 하단부에 체결된 지지대를 밀어 지지대를 전후로 이송시키는 지지대 이송단계;
상기 지지대 이송단계에 의하여 지지대가 전후로 이송되면서 지지대의 하단부에 설치된 전후 작동구가 가이드레일을 타고 전후로 이송되는 전후 작동구 작동단계;
상기 전후 작동구 작동단계에 의하여 전후 작동구가 작동됨과 동시에 전후작동구의 하단부에 설치된 노즐에 의하여 세척액이 분사되는 세척액 분사단계;
상기 전후 작동구 작동단계와 세척액 분사단계에 의하여 세척액이 분사되면서 전후 작동구의 전후로 이송됨과 동시에 전후 작동구의 하단부에 설치된 브러시가 전후로 이송되면서 유리기판의 표면을 세척하는 세척단계; 로 이루어진 것을 특징으로 하는 엘시디용 유리기판 세척방법.A rotating shaft driving step of rotating the rotating shaft by driving of the motor when the glass substrate is supplied to the washing process by the glass substrate manufacturing process;
A support transfer step of transferring the support back and forth by pushing the supports fastened to the lower ends of the respective cams while the plurality of cams are rotated together at regular intervals by the rotation shaft driving step;
A front and rear operating tool operation step in which the front and rear operating tools installed at the lower end of the support are transported back and forth on the guide rail while the support is transported back and forth by the support transporting step;
A washing liquid spraying step in which the washing liquid is sprayed by a nozzle installed at the lower end of the front and rear operating holes at the same time as the front and rear operating holes are operated by the front and rear operating tool operating steps;
Washing step of washing the surface of the glass substrate while being transported to the front and rear of the front and rear operation sphere while the cleaning liquid is injected by the front and rear operating tool operation step and the cleaning liquid spraying step and the brush installed at the lower end of the front and rear operation port back and forth; LCD method for cleaning a glass substrate, characterized in that consisting of.
상기 구동부의 회전축(8) 하단부 양측 전후에 각각 설치되는 가이드레일(5);
상기 가이드레일(5)에 체결되어 전후로 작동하고, 상측으로 지지대(6)를 설치하여 지지대(6)의 중앙부에 회전축(8)에 설치된 각각의 캠(7)에 체결되어 캠(7)의 회전에 의하여 전후로 가이드레일(5)을 타고 작동되는 전후 작동구(2);
상기 전후 작동구(2)의 하단부에 고정볼트(10)에 의하여 분리 가능하게 체결되는 브러시(3);
상기 브러시(3)가 설치된 전후 작동구(2)의 하단부에 설치되어 세척액을 분사하는 세척액 분사용 노즐(4)이 포함된 것을 특징으로 하는 엘시디용 유리기판 세척장치.Fixtures are installed on both upper sides of the main body 1 so that the rotating shaft 8 is rotatably fixed, and a plurality of cams 7 are provided on the rotating shaft 8 at regular intervals, and one side of the rotating shaft 8 is provided with a motor ( 9) a drive unit for installing the rotary shaft 8 by the drive of the motor;
Guide rails 5 respectively installed at both sides of the lower end of the rotary shaft 8 of the driving unit;
It is fastened to the guide rail (5) to operate back and forth, and install the support (6) to the upper side is fastened to the respective cam (7) installed on the rotary shaft (8) in the center of the support (6) to rotate the cam (7) By the front and rear operating sphere (2) is operated by the guide rail (5) back and forth by;
A brush (3) detachably fastened by a fixing bolt (10) to the lower end of the front and rear operation holes (2);
LCD device for cleaning a glass substrate, characterized in that the nozzle is installed on the lower end of the front and rear operating port (2), the brush (3) is installed for spraying the cleaning liquid.
상기 구동부(5)의 전후 작동구(2)가 체결된 가이드레일(5)의 한쪽에 중앙부에 체결부(11)가 형성된 지지대(16)를 설치하고 이 지지대(16)의 체결부(11)에 모터(9)에 의하여 회전되는 캠(7)을 체결하여 캠(7)의 회전에 의하여 지지대(16)를 밀고 당김으로써 하단부에 브러시(3)가 체결되는 전후 작동구(2)가 가이드레일(5)을 타고 전후로 작동되게 한 것을 특징으로 하는 엘시디용 유리기판 세척장치.The method of claim 2,
On one side of the guide rail (5) to which the front and rear operation holes (2) of the drive unit (5) are fastened, a support (16) having a fastening portion (11) is provided at the center and the fastening portion (11) of the support (16). The front and rear actuating mechanisms 2 to which the brush 3 is fastened to the lower end by pushing the cam 16 rotated by the motor 9 and pushing and pulling the support 16 by the rotation of the cam 7 are guide rails. (5) a glass substrate cleaning device for an LCD, characterized in that the ride back and forth to operate.
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