KR20130029778A - 테이프 부착 장치 및 테이프 부착 방법 - Google Patents

테이프 부착 장치 및 테이프 부착 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 도전 테이프의 낭비를 배제하면서 테이프 박리 동작을 효율적으로 실행하고, 생산성을 향상시킬 수 있는, 테이프 부착 장치 및 테이프 부착 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
테이프 부재(4)를 도전 테이프 조각(4b*)으로 절단하고, 이 도전 테이프 조각(4b*)을 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)에 형성된 복수의 부착 부위에 부착하는 본 발명의 테이프 부착 방법에서는, 제1 부착 위치 P1의 부착 부위에 도전 테이프 조각(4b*)을 부착하는 부착 단계와, 부착 유닛(15)과 박리 유닛(17)을 일체적으로 기판 유지 테이블(20)에 대하여 상대 이동시키면서, 테이프 이송 기구를 구동하여 테이프 부재(4)의 이송 동작을 실행함으로써, 압착 헤드(15)를 제2 부착 위치 P2의 부착 부위에 정렬시키고, 이 상대 이동 과정에서 제1 부착 위치 P1에 부착된 테이프 부재(4)로부터 박리 유닛(17)에 의해 세퍼레이터(4a)를 박리하는 이동 단계가 반복 실행된다.

Description

테이프 부착 장치 및 테이프 부착 방법{TAPE ADHESION DEVICE AND TAPE ADHESION METHOD}
본 발명은, 디스플레이 패널 등의 기판에 부품을 실장하기 위한 테이프를 부착하는 테이프 부착 장치 및 테이프 부착 방법에 관한 것이다.
디스플레이 패널(이하에서는 "기판"이라 함)의 측방 가장자리부에, IC, TCP(Tape Carrier Package), COF(Chip on Film), FPC(Flexible Printed Circuit) 등의 부품을 실장하는 부품 실장 작업에서는, 부품 탑재 동작에 앞서, 도전 입자를 포함하는 접착제로서 사용되는 이방성 도전 테이프(Anisotropic Conductive Film : ACF)(이하, 도전 테이프라 함)를, 기판의 측방 가장자리부에 마련된 전극부에 부착하는 테이프 부착 작업이 실행된다.
테이프 부착 작업은, 세퍼레이터라고 불리는 보호 테이프에 도전 테이프를 적층한 테이프 부재를, 부착 유닛의 압박체에 의해 기판의 측방 가장자리부에 압박함으로써 행해지고, 이에 의해 전극부에 대하여 도전 테이프가 부착된다. 부착 이후에는, 도전 테이프로부터 세퍼레이터를 박리하는 박리 공정이 실행된다(예컨대, 특허문헌 1참조). 이 특허문헌에 나타내어진 선행 기술에 있어서는, 부착된 도전 테이프와 세퍼레이터의 사이에 개재하는 박리 부재를 수평 방향으로 이동시킴으로써, 세퍼레이터만이 박리된다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2001-294361호 공보
최근에 텔레비전 화면이 대형화됨에 따라, 텔레비전에 사용되는 디스플레이 패널의 크기가 길이 및 폭 모두에 있어서 확대되는 경향이 있다.
이러한 이유로, 이와 같은 대형 디스플레이 패널의 조립 시에 도전 테이프가 부착되는 범위도 증대되고 있다. 그러나, 디스플레이 패널에 있어서, 부품이 접속되는 전극부는, 디스플레이 패널의 측방 가장자리부의 전체 범위에 형성되어야만 하는 것은 아니며, 많은 경우에 소정 길이의 전극부가 간격을 두고 불연속적으로 형성된다. 이러한 디스플레이 패널에 도전 테이프를 부착하는 경우에, 전체 도전 테이프가 측방 가장자리부의 전체 범위에 부착된다면, 이 도전 테이프는 불필요한 범위에까지 부착될 것이고, 재료의 낭비가 일어날 것이다.
이러한 낭비를 배제하기 위해서는, 디스플레이 패널의 측방 가장자리부에 있어서 전극부가 형성되는 부품 접속 범위에만 도전테이프를 부착하여야 한다. 그러나, 이러한 식으로 테이프를 부착하면, 테이프 부착 이후에 테이프를 박리하는 동작을 여러 번 반복해야 하므로, 전체 작업 시간이 지연되고 생산성이 저하되는 것을 피하기 어렵다. 이러한 이유로, 도전 테이프의 낭비를 배제하면서 테이프 박리 동작의 효율을 개선하는 것이 요구되고 있다.
본 발명은, 도전 테이프의 낭비를 배제하면서 테이프 박리 동작을 효율적으로 실행하고, 생산성을 향상시킬 수 있는, 테이프 부착 장치 및 테이프 부착 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 테이프 부착 장치는, 이방성 도전 테이프를 소정의 부착 길이의 도전 테이프 조각으로 절단하고, 기판의 측방 가장자리부에 형성된 복수의 부착 부위에 상기 도전 테이프 조각을 부착하는 테이프 부착 장치로서, 기판을 유지하는 기판 유지 테이블; 상기 이방성 도전 테이프가 세퍼레이터에 적층되어 있는 테이프 부재를 테이프 공급 유닛으로부터 기판의 측방 가장자리부에 그 길이 방향을 따라 마련된 상기 부착 부위로 안내하고, 상기 이방성 도전 테이프를 상기 부착 부위에 부착시킴으로써, 세퍼레이터로만 이루어지게 된 테이프 부재를 테이프 회수 유닛 측으로 이송하는 테이프 안내 유닛; 상기 부착 부위에서의 부착 길이에 대응한 간격으로 상기 이방성 도전 테이프에 틈을 형성하여 상기 도전 테이프 조각을 형성하는 절단 유닛; 상기 기판 유지 테이블 상에 유지되어 있고 그 측방 가장자리부가 하측 받침부에 의해 아래쪽으로부터 받쳐지고 있는 상기 기판에, 압착 헤드로 상기 테이프 부재를 압박함으로써, 상기 이방성 도전 테이프를 상기 부착 부위에 부착하는 부착 유닛; 상기 부착 유닛에 의해 부착된 상기 이방성 도전 테이프로부터 상기 세퍼레이터를 박리하는 박리 유닛; 상기 부착 유닛과 상기 박리 유닛의 상대 위치를 유지시킨 상태로 상기 부착 유닛 및 상기 박리 유닛을 상기 기판 유지 테이블에 대하여 수평 방향으로 상대 이동시키는 상대 이동 유닛; 및 상기 상대 이동 유닛, 상기 테이프 안내 유닛, 상기 절단 유닛, 상기 부착 유닛 및 상기 박리 유닛을 제어하는 제어 유닛을 포함하고, 상기 제어 유닛은, 상기 테이프 안내 유닛에 의해 실행되는 상기 테이프 부재의 이송 동작을, 상기 상대 이동 유닛에 의한 상기 상대 이동과 동기화시키는 것이다.
본 발명의 테이프 부착 방법은, 이방성 도전 테이프를 소정의 부착 길이의 도전 테이프 조각으로 절단하고, 기판의 측방 가장자리부에 형성된 복수의 부착 부위에 상기 도전 테이프 조각을 부착하는 테이프 부착 방법으로서, 이 방법은, 기판을 유지하는 기판 유지 테이블과, 상기 이방성 도전 테이프가 세퍼레이터에 적층되어 있는 테이프 부재를 테이프 공급 유닛으로부터 기판의 측방 가장자리부에 그 길이 방향을 따라 마련된 상기 부착 부위로 안내하고, 상기 이방성 도전 테이프를 상기 부착 부위에 부착시킴으로써, 세퍼레이터로만 이루어지게 된 테이프 부재를 테이프 회수 유닛 측으로 이송하는 테이프 안내 유닛과, 상기 부착 부위에서의 부착 길이에 대응한 간격으로 상기 이방성 도전 테이프에 틈을 형성하는 절단 유닛과, 상기 기판 유지 테이블 상에 유지되어 있고 그 측방 가장자리부가 하측 받침부에 의해 아래쪽으로부터 받쳐지고 있는 상기 기판에, 압착 헤드로 상기 테이프 부재를 압박함으로써, 상기 이방성 도전 테이프를 상기 부착 부위에 부착하는 부착 유닛과, 상기 부착 유닛에 의해 부착된 상기 이방성 도전 테이프로부터 상기 세퍼레이터를 박리하는 박리 유닛과, 상기 부착 유닛과 상기 박리 유닛의 상대 위치를 유지시킨 상태로 상기 부착 유닛 및 상기 박리 유닛을 상기 기판 유지 테이블에 대하여 수평 방향으로 상대 이동시키는 상대 이동 유닛, 그리고 상기 상대 이동 유닛, 상기 테이프 안내 유닛, 상기 절단 유닛, 상기 부착 유닛 및 상기 박리 유닛을 제어하는 제어 유닛을 포함하는 테이프 부착 장치에 의해 실행되며, 상기 테이프 부착 방법은, 하나의 부착 부위에 상기 도전 테이프 조각을 부착하는 부착 단계; 및 상기 압착 헤드를 상승시킨 후에, 상기 상대 이동 유닛을 구동하여 상기 부착 유닛과 상기 박리 유닛을 일체적으로 상기 기판 유지 테이블에 대하여 상대 이동시키면서, 상기 테이프 안내 유닛을 구동하여 상기 테이프 부재의 이송 동작을 실행함으로써, 상기 압착 헤드를 다음 부착 부위에 정렬시키고, 이 상대 이동 과정에서 상기 부착 부위에 부착된 상기 이방성 도전 테이프로부터 상기 박리 유닛에 의해 상기 세퍼레이터를 박리하는 이동 단계를 포함하고, 상기 부착 단계와 상기 이동 단계를 반복하는 것인 테이프 부착 방법이다.
본 발명에 따르면, 이방성 도전 테이프를 소정의 부착 길이의 도전 테이프 조각으로 절단하고 이 도전 테이프 조각을 기판의 측방 가장자리부에 형성된 복수의 부착 부위에 부착하는 테이프 부착 방법에서, 하나의 부착 부위에 하나의 도전 테이프 조각을 부착하는 부착 단계와, 부착 유닛 및 박리 유닛을 일체적으로 기판 유지 테이블에 대하여 상대 이동시키면서, 테이프 안내 유닛을 구동하여 테이프 부재의 이송 동작을 실행함으로써, 압착 헤드를 다음 부착 부위에 정렬시키고, 이 상대 이동 과정에서 상기 부착 부위에 부착된 이방성 도전 테이프로부터 박리 유닛에 의해 세퍼레이터를 박리하는 이동 단계를 반복한다. 따라서, 도전 테이프의 낭비가 배제되면서 테이프 박리 동작이 효율적으로 실행되며, 생산성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 테이프 부착 장치의 정면도이다.
도 2는 상기한 본 발명의 실시형태에 따른 테이프 부착 장치의 측면도이다.
도 3의 (a) 및 (b)는 상기한 본 발명의 실시형태에 따른 테이프 부착 장치의 대상인 기판에서의 이방성 도전 테이프의 부착 길이를 보여주는 설명도이다.
도 4의 (a), (b) 및 (c)는 본 발명의 일 실시형태에 따른 테이프 부착 방법의 공정 설명도이다.
도 5의 (a), (b) 및 (c)는 상기한 본 발명의 일 실시형태에 따른 테이프 부착 방법의 공정 설명도이다.
도 6은 상기한 본 발명의 실시형태에 따른 테이프 부착 방법의 공정 설명도이다.
이어서, 도면을 참조로 하여, 본 발명의 실시형태를 설명한다. 우선, 도 1 및 도 2를 참조하여, 테이프 부착 장치(1)를 설명한다. 디스플레이 패널 등의 기판의 측방 가장자리부에 드라이버용 등의 부품을 실장하는 부품 실장 장치에 있어서, 테이프 부착 장치(1)는, 측방 가장자리부에 부품을 접합하고 이 부품을 전극부에 전기 접속시키는 데 사용되는 이방성 도전 테이프(이하, 간단히 "도전 테이프"라고만 함)를, 부품 탑재 동작에 앞서서 소정의 부착 길이의 도전 테이프 조각으로 절단하며, 이 도전 테이프 조각을 기판의 측방 가장자리부에 형성된 복수의 부착 부위에 부착하는 기능을 갖는 것이다.
도 1 및 도 2에 있어서, 테이프 부착 장치(1)는, 부착 대상인 기판을 위치 결정하는 기판 위치 결정 유닛(3)이, 도전 테이프를 공급하고 부착하는 기능을 갖는 부착 기구(2)의 아래쪽에 배치되는 구성을 갖는다. 부착 기구(2)는, 부착 유닛 이동 기구(2b)에 의해 X 방향으로 이동 가능한 수직 평판형 베이스 플레이트(2a)에 기초를 두고 있고, 베이스 플레이트(2a)의 상부에는 테이프 공급 릴(5)이 배치되어 있다. 테이프 공급 릴(5)은, 세퍼레이터(4a)에 도전 테이프(4b)를 적층함으로써 형성된 테이프 부재(4)를 권취 및 수납하고 있고, 베이스 플레이트(2a)의 이면에 배치된 릴 구동 기구(5a)(도 2참조)에 의해 회전 구동된다.
릴 구동 기구(5a)를 구동하면, 테이프 공급 릴(5)은 화살표 a 방향으로 회전하고, 권취 및 수납된 테이프 부재(4)가 조출되며, 장력 부여 기구(6)의 장력 롤러(6a)의 둘레에서 아래쪽으로 안내된다(화살표 b). 장력 부여 기구(6)는, 조출된 테이프 부재(4)에서 처짐이 생기지 않도록, 테이프 부재(4)에 소정의 장력을 부여하는 기능을 갖고 있다. 테이프 공급 릴(5) 및 릴 구동 기구(5a)는, 테이프 부재(4)를 공급하는 테이프 공급 유닛을 구성한다.
베이스 플레이트(2a)의 하단부의 양측에는, 제1 가이드 롤러(8) 및 제2 가이드 롤러(9)가 수평하게 배치되어 있고, 또한 제2 가이드 롤러(9)의 상측에는 테이프 이송 기구(10) 및 테이프 회수 유닛(13)이 배치되어 있다. 제1 가이드 롤러(8) 및 제2 가이드 롤러(9) 사이의 수평 부분은, 후술하는 부착 유닛에 의해 도전 테이프(4b)가 기판(20)의 부착 부위(23)[도 3의 (a) 및 (b) 참조]에 부착되는 부착 위치이다. 테이프 공급 릴(5)로부터 조출되고 장력 부여 기구(6)를 통과한 테이프 부재(4)는, 제1 가이드 롤러(8)의 둘레를 돌아서 도전 테이프(4b)를 아래쪽으로 한 상태로 수평하게 안내되고, 부착 위치에서는, 테이프 부재(4)의 하측에 있는 도전 테이프(4b)만이 기판(20)의 부착 부위(23)에 부착된다.
도전 테이프(4b)가 기판(20)의 부착 부위(23)에 부착되므로, 세퍼레이터(4a)로만 이루어지게 된 테이프 부재(4)는, 제2 가이드 롤러(9)의 둘레를 돌아서 테이프 이송 기구(10)에 의해서 위쪽으로 안내되며, 테이프 회수 유닛(13)에 의해서 회수된다. 테이프 이송 기구(10)에는, 세퍼레이터(4a)를 유지하여 위쪽으로 보내는 구동 롤러(11) 및 아이들 롤러(12)가 마련되어 있고, 구동 롤러(11)는 베이스 플레이트(2a)의 이면측에 배치된 롤러 구동 기구(11a)(도 2참조)에 의해 회전된다. 테이프 이송 기구(10), 제1 가이드 롤러(8) 및 제2 가이드 롤러(9)는, 도전 테이프(4b)를 세퍼레이터(4a)에 적층함으로써 형성된 테이프 부재(4)를 테이프 공급 유닛으로부터 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)에 그 길이 방향을 따라 마련된 부착 부위(23)로 안내하고, 도전 테이프(4b)가 기판(2)의 부착 부위(23)에 부착되므로 세퍼레이터(4a)로만 이루어지게 된 테이프 부재(4)를 테이프 회수 유닛(13) 측으로 이송하는 테이프 안내 유닛이다.
장력 부여 기구(6)로부터 제1 가이드 롤러(8)에 이르는 테이프 부재(4)의 공급 경로에는 절단 유닛(7)이 배치되어 있다. 절단 유닛(7)은, 블레이드 구동 기구(7a)에 의해 커터 블레이드(7b)가 도전 테이프(4b)에 대하여 진퇴하게 되는 구성을 갖는다. 세퍼레이터(4a)의 이면측이 받침 부재(7c)에 의해 지지되어 있는 상태에서, 커터 블레이드(7b)를 테이프 부재(4)에 대하여 진퇴시킴으로써, 테이프 부재(4)에 있어서 도전 테이프(4b)만이 절단되고, 틈(4c)이 형성된다. 틈(4c)은, 한 번의 테이프 부착에서 부착되는 도전 테이프(4b)의 범위, 즉 부착 길이를 규정한다. 즉, 절단 유닛(7)은, 기판(20)의 부착 부위(23)에서의 부착 길이(L)[도 3의 (b) 참조]에 대응한 간격으로 도전 테이프(4b)에 틈(4c)을 형성한다. 틈(4c)은, 도전 테이프(4b)의 부착 시작 위치(S)에 대응하며, 테이프 부착 작업 시에, 틈(4c)의 위치는 부착 부위(23)의 부착 시작 단부(23a)에 정렬된다[도 4의 (b)참조].
승강 기구(14)에 의해 상하로 이동하게 되는 압착 헤드(15)가, 제1 가이드 롤러(8)와 제2 가이드 롤러(9)의 사이에서 테이프 부재(4)의 수평 방향(X 방향)의 공급 경로의 위쪽에 배치되어 있고, 압착 헤드(15)의 아래쪽에는, 하측 받침부(22)가 압착 헤드(15)와 대향하게 배치되어 있다. 또한, 기판 이동 기구(18)에 의해 기판 유지 테이블(19)이 이동하게 되는 구성을 갖는 기판 위치 결정 유닛(3)이, 하측 받침부(22)의 Y 방향의 이면측에 배치되어 있다. 기판 유지 테이블(19)은 부착이 실시되는 기판(20)을 유지한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(20)은 2장의 유리 기판을 적층한 구성을 갖고, 하측의 유리 기판이 부분적으로 노출되는 측방 가장자리부(20a)에는, A-A 화살표 방향에서 본 모습에 나타내어진 바와 같이, 부품 접속용의 복수의 단자(21a)를 포함하는 복수(본 실시형태에서는 4개)의 전극부(21)가 측방 가장자리부(20a)의 길이 방향을 따라 선 형상으로 형성되어 있다.
기판 이동 기구(18)는, 아래쪽으로부터 X축 테이블(18X), Y축 테이블(18Y), Zθ축 테이블(18Zθ)을 적층함으로써 형성되어 있고, Zθ축 테이블(18Zθ)의 상면에는 기판 유지 테이블(19)이 결합되어 있다. 기판 이동 기구(18)를 구동함으로써, 기판(20)을 유지한 기판 유지 테이블(19)은 X 방향, Y 방향, Z 방향 및 θ 방향으로 이동된다. 이로써, 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)의 부착 부위(23)는 압착 헤드(15)의 부착 위치에 위치 결정될 수 있다.
즉, Y축 테이블(18Y)에 의해 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)는 Y 방향으로 이동되어(화살표 d), 압착 헤드(15)의 아래에 놓인다. 또한, Zθ축 테이블(18Zθ)에 의해 측방 가장자리부(20a)가 하강되어(화살표 e), 측방 가장자리부(20a)의 이면이 하측 받침부(22)의 상단면의 받침면에 의해 아래에서부터 받쳐진다. 측방 가장자리부(20a)의 이면을 하측 받침부(22)의 상단면의 받침면으로부터 이격시킨 상태로, X축 테이블(18X)을 구동함으로써, 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)는 X 방향으로 이동되고, 측방 가장자리부(20a)를 따라 설정된 부착 부위(23)는 압착 헤드(15)에 대향하게 될 수 있다. 즉, 기판 이동 기구(18)는, 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)에 따르는 X 방향으로 기판 유지 테이블(19)을 적어도 이동시킨다. 또한, 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)의 이면과 하측 받침부(22)의 상단면의 받침면과의 접촉에 의한 수취 동작과, 측방 가장자리부(20a)의 이면과 하측 받침부(22)의 상단면의 받침면과의 분리 동작은, 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있는 하측 받침부(22)를 상하 방향으로 이동시킴으로써 행해질 수 있다.
압착 헤드(15)의 테이프 부착 동작에 있어서, 부착할 도전 테이프(4b)를 하측으로 한 테이프 부재(4)가 측방 가장자리부(20a)의 위쪽에 위치해 있는 상태로, 압착 헤드(15)를 승강 기구(14)에 의해 하강시켜 테이프 부재(4)를 측방 가장자리부(20a)의 부착 부위에 소정 하중으로 압박하면서, 압착 헤드(15)에 마련된 히터(16)에 의해서 테이프 부재(4)를 가열한다. 이에 의해, 도전 테이프 조각(4b*)이 전극부(21)를 덮고, 전극부(21)에 부착된다. 베이스 플레이트(2a)의 측방 단부에는, 카메라(25)가 촬상 방향을 하방으로 하여 설치되어 있고, 카메라(25)는 전극부(21)에 부착된 도전 테이프 조각(4b*)을 상측으로부터 촬상한다. 이 촬상결과를 인식 처리함으로써, 도전 테이프 조각(4b*)의 부착 품질이 검사된다.
도 3의 (a) 및 (b)를 참조하여, 압착 헤드(15)의 압박 길이와 기판(20)의 부착 부위의 부착 길이와의 관계를 설명한다. 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 테이프 부재(4)를 압박하는 압박 길이 B의 압착 헤드(15)가, 본 실시형태에 나타내어진 승강 기구(14)에 부착되어 있다. 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 부착 대상인 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)에서의 전극부(21)의 위치, 즉 기판(20)에서의 도전 테이프(4b)의 부착 부위(23)의 길이 L은, 압착 헤드(15)의 압박 길이 B보다 다소 짧고, 압착 헤드(15)의 한 번의 압박 동작으로 하나의 도전 테이프(4b*)의 전체 범위가 커버될 수 있다.
본 실시형태에서는, 4개의 전극부(21)에 각각 대응한 제1 압박 위치 P1, 제2 압박 위치 P2, 제3 압박 위치 P3, 제4 압박 위치 P4에 대하여 압착 헤드(15)를 압박함으로써, 각 부착 부위(23)에 도전 테이프 조각(4b*)이 순차적으로 부착된다. 승강 기구(14)와 압착 헤드(15)는, 기판 유지 테이블(19)에 유지되어 있고 그 측방 가장자리부(20a)가 하측 받침부(22)에 의해 아래쪽으로부터 받쳐지고 있는 기판(20)에 대하여, 세퍼레이터(4a) 상에 도전 테이프(4b)가 적층된 테이프 부재(4)를, 압착 헤드(15)로 압박함으로써, 도전 테이프 조각(4b*)을 기판(20)의 부착 부위(23)에 부착하는 부착 유닛을 구성한다.
도 1에서, 제2 가이드 롤러(9)에 있어서 중앙부측 측부에는, 박리 유닛(17)이 부착 기구(2)의 고정 위치에 배치되어 있고, 박리 유닛(17)과 상기 부착 유닛의 상대 위치는 항상 동일하게 유지되고 있다. 박리 유닛(17)은 2개의 박리 롤러, 즉 수평 방향으로 공급되는 세퍼레이터(4a)의 아래쪽에 놓이는 제1 박리 롤러(17a)와, 세퍼레이터(4a)의 위쪽에 놓이는 제2 박리 롤러(17b)를 포함하고, 상기 부착 유닛에 의해 부착된 도전 테이프(4b)로부터 세퍼레이터(4a)를 박리하는 기능을 갖고 있다.
즉, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)에 부착된 도전테이프(4b)와 세퍼레이터(4a)의 사이에 제1 박리 롤러(17a)가 놓여있는 상태에서, 부착 유닛 이동 기구(2b)를 구동하여 박리 유닛(17)을 베이스 플레이트(2a)와 함께 기판(20)에 대하여 상대적으로 X 방향으로 수평 이동시킴으로써, 테이프 부재(4)의 도전 테이프(4b)와 세퍼레이터(4a)의 계면에 제1 박리 롤러(17a)가 진입하고, 세퍼레이터(4a)는 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)에 부착된 도전 테이프(4b)로부터 박리된다. 이때, 테이프 이송 기구(10)로 테이프 부재(4)를 박리 유닛(17)의 수평 이동과 동기하여 이송함으로써, 박리 후에 세퍼레이터(4a)에 처짐이 발생하는 일없이, 박리된 세퍼레이터(4a)가 회수될 수 있다. 제2 박리 롤러(17b)는 박리 유닛(17)에서 상하로 이동 가능하게 되어 있고, 압착 헤드(15)에 의한 테이프 부착 시에는, 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)에 압박되는 도전 테이프(4b)가 적층되어 있는 테이프 부재(4)에 대하여, 제2 박리 롤러(17b)가 압착 헤드(15)와 함께 상하로 상대 이동될 수 있다.
따라서, 부착 유닛 이동 기구(2b)는, 상기 부착 유닛과 박리 유닛(17)의 상대 위치가 유지되었을 때, 상기 부착 유닛과 박리 유닛(17)을 기판 유지 테이블(19)에 대하여 수평 방향으로 상대 이동시키는 상대 이동 유닛으로 되어 있다. 또한, 부착 기구(2)에 있어서 부착 유닛 이동 기구(2b)로 베이스 플레이트(2a)를 수평 이동시키는 대신에, 기판 이동 기구(18)로 기판 유지 테이블(19)을 X 방향으로 수평 이동시킴으로써, 상기 부착 유닛과 박리 유닛(17)의 상대 위치가 유지되어 있는 상태에서, 상기 부착 유닛과 박리 유닛(17)을 기판 유지 테이블(19)에 대하여 수평 방향으로 상대 이동시키는 것도 가능하다. 이 경우에는, 기판 이동 기구(18)가 상기 상대 이동 유닛을 구성한다.
부착 유닛 이동 기구(2b), 절단 유닛(7), 테이프 이송 기구(10), 승강 기구(14), 압착 헤드(15), 박리 유닛(17) 및 기판 이동 기구(18)의 동작은, 제어 유닛(24)에 의해 제어된다. 이때, 제어 유닛(24)이, 부착 유닛 이동 기구(2b)에 의한 기판 유지 테이블(19)과 박리 유닛(17)의 상대 이동과 동기화하여, 테이프 이송 기구(10)에 의해 테이프 부재의 이송 동작이 행해지게 하는 경우, 테이프 박리가 행해지고, 이에 의해 후술하는 테이프 부착 작업이 실행된다. 이하에서는, 도 1, 도 3의 (a), (b), 도 4의 (a), (b), (c), 도 5의 (a), (b), (c) 및 도 6을 참조하여, 테이프 부착 장치(1)가 도전 테이프(4b)를 소정의 부착 길이의 도전 테이프 조각(4b*)으로 절단하고, 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)에 형성된 복수의 부착 부위(23)에 도전 테이프 조각(4b*)을 부착하는, 부착 방법에 관해서 설명한다.
우선, 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 기판 유지 테이블(19)에 유지된 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)를 기판 이동 기구(18)에 의해서 하측 받침 유닛(22)의 위로 이동시켜(화살표 f) 정렬하면서, 부착 기구(2)를 이동시키고(화살표 h), 측방 가장자리부(20a)에 설정된 제1 압박 위치 P1과 압착 헤드(15)를 하측 받침 유닛(22)의 소정 위치에 정렬시킨다. 그 동안에, 테이프 이송 기구(10)를 구동하여 테이프 부재(4)를 이송함으로써(화살표 g), 미리 형성해 놓은 도전 테이프 조각(4b*) 중의 첫 번째 도전 테이프 조각(4b*)의 부착 시작 위치(S)를 제1 압박 위치(P1)에 정렬시키는 공급 동작이 실행된다.
이어서, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, Zθ축 테이블(18Zθ)을 구동하여 기판 유지 테이블(19)을 하강시킴으로써, 측방 가장자리부(20a)의 이면이 하측 받침 유닛(22)에 의해 아래쪽으로부터 받쳐지도록, 기판(20)이 하강된다(화살표 i). 이러한 상태에서, 압착 헤드(15)는 도전 테이프 조각(4b*)이 측방 가장자리부(20a)의 제1 압박 위치 P1에 대하여 압박되는 위치에 있고, 도전 테이프 조각(4b*)의 부착 시작 위치(S)는 제1 압박 위치 P1의 부착 시작 단부(23a)에 정렬되어 있다. 여기서, 도전 테이프 조각(4b*)의 부착 시작 위치(S)는, 절단 유닛(7)에 의해 도전 테이프(4b)에 형성된 틈(4c)에 대응한다. 이러한 상태에서, 절단 유닛(7)을 작동시킴으로써(화살표 j), 테이프 부재(4)에 새롭게 틈(4c)이 형성된다.
이어서, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 압착 헤드(15)를 하강시킴으로써(화살표 k), 도전 테이프 조각(4b*)은 제1 압박 위치 P1에 대하여 압박되고, 대응하는 부착 부위(23)(하나의 부착 부위)에 부착된다(부착 단계). 이때, 박리 유닛(17)의 제2 박리 롤러(17b)를 압착 헤드(15)와 함께 하강시킨다. 그러나, 제2 박리 롤러(17b)의 하강은 필수불가결한 것이 아니라, 생략 가능하다.
그 후에, 제1 압박 위치 P1에서의 압박이 완료되었을 때, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 압착 헤드(15)가 상승될 것이다(화살표 l). 이어서, 부착 유닛 이동 기구(2b)를 구동함으로써, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 압착 헤드(15)를 포함하는 부착 유닛과 박리 유닛(17)이 일체적으로, 기판 유지 테이블(19)에 유지된 기판(20)에 대하여 수평 방향으로 상대 이동되면서(화살표 n), 상기 테이프 안내 유닛은 테이프 부재(4)의 이송 동작을 행하도록(화살표 m) 구동된다. 기판 유지 테이블(19)과 박리 유닛(17)이 X 방향으로 상대 이동하는 동안에, 박리 유닛(17)의 제1 박리 롤러(17a)와 기판(20)이 상대 이동함으로써, 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)의 부착 부위(23)에 부착된 도전 테이프 조각(4b*)으로부터 세퍼레이터(4a)가 박리된다.
그 후에, 다음 부착 부위(23)에 대한 정렬이 행해진다. 다시 말하자면, 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이, 제1 압박 위치 P1에 압박된 도전 테이프 조각(4b*)으로부터 세퍼레이터(4a)가 완전히 박리될 때까지, 박리 유닛(17)이 이동된다. 이때, 압착 헤드(15)는 제2 압박 위치로부터 떨어지는 위치로 수평 이동되므로, 박리 이후에는, 도 6에 도시된 바와 같이, 압착 헤드(15)는 제2 압박 위치 P2의 위쪽에 놓이도록 반대방향으로 이동된다(화살표 o). 그 동안에, 테이프 안내 유닛의 테이프 이송 기구(10)를 구동하여 테이프 부재(4)를 이송함으로써(화살표 p), 다음 부착 대상이 되는 도전 테이프 조각(4b*)의 부착 시작 위치(S)가, 제2 압박 위치 P2에 대응하는 부착 부위(23)(다음 부착 부위)의 부착 시작 단부(23a)에 정렬된다.
이러한 동작들과 함께, 절단 유닛(7)을 작동시킴으로써(화살표 q), 테이프 부재(4)에는 새롭게 틈(4c)이 형성된다. 부착된 도전 테이프 조각(4b*)의 부착 시작 위치(S)를 카메라(25)로 촬상하여 위치를 인식 처리함으로써, 도전 테이프 조각(4b*)의 부착 위치의 매칭이 검사된다. 그 후에, 제2 압박 위치 P2 내지 제4 압박 위치 P4에 각각 대응하는 부착 부위(23)에 대하여, 도 4의 (c) 이후의 처리가 동일한 방식으로 반복 실행된다.
즉, 상기 테이프 부착 방법에서는, 하나의 부착 부위(23)에 도전 테이프 조각(4b*)을 부착하는 부착 단계와, 상대 이동 유닛인 부착 유닛 이동 기구(2b)를 구동하여 상기 부착 유닛과 박리 유닛(17)을 일체적으로 기판 유지 테이블(19)에 대하여 상대 이동시키면서, 상기 테이프 안내 수단을 구동하여 테이프 부재(4)의 이송 동작을 실행함으로써, 압착 헤드(15)를 다음 부착 부위(23)에 정렬시키고, 이 상대 이동 과정에서 부착 부위(23)에 부착된 이방성 도전 테이프(4b*)로부터 박리 유닛(17)에 의해서 세퍼레이터(4a)를 박리하는 이동 단계가 반복 실행된다. 즉, 상기 이동 단계에서는, 세퍼레이터(4a)의 박리와 다음 부착 부위(23)에 대한 압착 헤드(15)의 정렬이 동시에 행해질 수 있으며, 테이프 부착 작업에서 박리 동작에 걸리는 시간을 단축할 수 있다.
따라서, 대형 디스플레이 패널을 작업 대상으로 삼는 경우와 같이, 복수의 전극부(21)가 간격을 두고 불연속적으로 형성되는 경우라도, 기판(20)의 측방 가장자리부(20a)에 있어서 전극부(21)가 형성되어 있는 부품 접속 범위에만 도전 테이프(4b)가 부착되므로, 도전 테이프(4b)의 낭비를 배제하면서 테이프 박리 동작을 효율적으로 행할 수 있고, 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 출원은 2010년 6월 7일자로 출원된 일본 특허 출원(특허 출원 제2010-137951호)에 기초하며, 이 특허 출원의 내용은 본원에 참조로 인용되어 있다.
산업상 이용가능성
본 발명의 테이프 부착 장치 및 테이프 부착 방법은, 도전 테이프의 낭비를 배제하면서 테이프 박리 동작을 효율적으로 행하며, 생산성을 향상시킬 수 있을 수 있다고 하는 효과를 갖고, 디스플레이 패널 등의 기판에 부품을 실장하기 위해 테이프를 부착하는 용도에 이용 가능하다.
1 : 테이프 부착 장치 2 : 부착 기구
2b : 부착 유닛 이동 기구 3 : 기판 위치 결정 유닛
4 : 테이프 부재 4a : 세퍼레이터
4b : 도전 테이프 5 : 테이프 공급 릴
7 : 절단 유닛 8 : 제1 가이드 롤러
9 : 제2 가이드 롤러 10 : 테이프 이송 기구
13 : 테이프 회송 유닛 14 : 승강 기구
15 : 압착 헤드 17 : 박리 유닛
18 : 기판 이동 기구 19 : 기판 유지 테이블
20 : 기판 20a : 측방 가장자리부
21 : 전극부 22 : 하측 받침 유닛
23 : 부착 부위 23a : 부착 시작 단부
B : 압박 길이 P1 : 제1 압박 위치
P2 : 제2 압박 위치 S : 부착 시작 위치
L : 부착 길이

Claims (2)

  1. 이방성 도전 테이프를 정해진 부착 길이의 도전 테이프 조각으로 절단하고, 이 도전 테이프 조각을 기판의 측방 가장자리부에 형성된 복수의 부착 부위에 부착하는 테이프 부착 장치로서,
    기판을 유지하는 기판 유지 테이블;
    상기 이방성 도전 테이프가 세퍼레이터에 적층되어 있는 테이프 부재를 테이프 공급 유닛으로부터 기판의 측방 가장자리부에 그 길이 방향을 따라 마련된 상기 부착 부위로 안내하고, 상기 이방성 도전 테이프를 상기 부착 부위에 부착시킴으로써, 세퍼레이터로만 이루어지게 된 테이프 부재를 테이프 회수 유닛 측으로 이송하는 테이프 안내 유닛;
    상기 부착 부위에서의 부착 길이에 대응한 간격으로 상기 이방성 도전 테이프에 틈을 형성하여 상기 도전 테이프 조각을 형성하는 절단 유닛;
    상기 기판 유지 테이블 상에 유지되어 있고 그 측방 가장자리부가 하측 받침부에 의해 아래쪽으로부터 받쳐지고 있는 상기 기판에, 압착 헤드로 상기 테이프 부재를 압박함으로써, 상기 이방성 도전 테이프를 상기 부착 부위에 부착하는 부착 유닛;
    상기 부착 유닛에 의해 부착된 상기 이방성 도전 테이프로부터 상기 세퍼레이터를 박리하는 박리 유닛;
    상기 부착 유닛과 상기 박리 유닛의 상대 위치를 유지시킨 상태로 상기 부착 유닛 및 상기 박리 유닛을 상기 기판 유지 테이블에 대하여 수평 방향으로 상대 이동시키는 상대 이동 유닛; 및
    상기 상대 이동 유닛, 상기 테이프 안내 유닛, 상기 절단 유닛, 상기 부착 유닛 및 상기 박리 유닛을 제어하는 제어 유닛
    을 포함하고, 상기 제어 유닛은, 상기 테이프 안내 유닛에 의해 실행되는 상기 테이프 부재의 이송 동작을, 상기 상대 이동 유닛에 의한 상기 상대 이동과 동기화시키는 것인 테이프 부착 장치.
  2. 이방성 도전 테이프를 정해진 부착 길이의 도전 테이프 조각으로 절단하고, 상기 도전 테이프 조각을 기판의 측방 가장자리부에 형성된 복수의 부착 부위에 부착하는 테이프 부착 방법으로서, 이 테이프 부착 방법은, 기판을 유지하는 기판 유지 테이블과, 상기 이방성 도전 테이프가 세퍼레이터에 적층되어 있는 테이프 부재를 테이프 공급 유닛으로부터 기판의 측방 가장자리부에 그 길이 방향을 따라 마련된 상기 부착 부위로 안내하고, 상기 이방성 도전 테이프를 상기 부착 부위에 부착시킴으로써, 세퍼레이터로만 이루어지게 된 테이프 부재를 테이프 회수 유닛 측으로 이송하는 테이프 안내 유닛과, 상기 부착 부위에서의 부착 길이에 대응한 간격으로 상기 이방성 도전 테이프에 틈을 형성하는 절단 유닛과, 상기 기판 유지 테이블 상에 유지되어 있고 그 측방 가장자리부가 하측 받침부에 의해 아래쪽으로부터 받쳐지고 있는 상기 기판에, 압착 헤드로 상기 테이프 부재를 압박함으로써, 상기 이방성 도전 테이프를 상기 부착 부위에 부착하는 부착 유닛과, 상기 부착 유닛에 의해 부착된 상기 이방성 도전 테이프로부터 상기 세퍼레이터를 박리하는 박리 유닛과, 상기 부착 유닛과 상기 박리 유닛의 상대 위치를 유지시킨 상태로 상기 부착 유닛 및 상기 박리 유닛을 상기 기판 유지 테이블에 대하여 수평 방향으로 상대 이동시키는 상대 이동 유닛, 그리고 상기 상대 이동 유닛, 상기 테이프 안내 유닛, 상기 절단 유닛, 상기 부착 유닛 및 상기 박리 유닛을 제어하는 제어 유닛을 포함하는 테이프 부착 장치에 의해 실행되며,
    하나의 부착 부위에 상기 도전 테이프 조각을 부착하는 부착 단계; 및
    상기 압착 헤드를 상승시킨 후에, 상기 상대 이동 유닛을 구동하여 상기 부착 유닛과 상기 박리 유닛을 일체적으로 상기 기판 유지 테이블에 대하여 상대 이동시키면서, 상기 테이프 안내 유닛을 구동하여 상기 테이프 부재의 이송 동작을 실행함으로써, 상기 압착 헤드를 다음 부착 부위에 정렬시키고, 이 상대 이동 과정에서 상기 부착 부위에 부착된 상기 이방성 도전 테이프로부터 상기 박리 유닛에 의해 상기 세퍼레이터를 박리하는 이동 단계
    를 포함하고, 상기 부착 단계와 상기 이동 단계를 반복하는 것인 테이프 부착 방법.
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