KR20110063420A - 웨이퍼 분리 및 반출장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 태양전지 또는 반도체 기판제조용으로 양산되는 웨이퍼다발로부터 웨이퍼를 일부 분리시키면서 공급하는 웨이퍼 공급장치에 설치되어, 상기에서 일부 분리된 웨이퍼를 재분리함과 동시에 반출되도록 한 것으로, 웨이퍼의 완전 분리가 달성토록 함은 물론, 웨이퍼의 반출간격이 일정하며, 분리 및 반출속도가 신속하면서도 효율적이고 생산성이 극대화되는 웨이퍼 분리 및 반출장치를 제공한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 분리 및 반출장치는, 수조(A0) 내에 일정깊이 수장되도록 웨이퍼다발(W1)을 수직적재하고, 상기 웨이퍼다발(W1)의 진입부 선단에 일정범위만큼 웨이퍼다발(W1)로부터 낱장 웨이퍼(W)를 분리시켜 공급되도록 하는 것에 있어서, 상기 공급부 전방에 수직으로 설치되며, 밸트(10) 표면에는 웨이퍼(W)를 흡착하는 흡착공(11)과 흡입공(12)이 형성되어 공급되는 웨이퍼(W)를 밸트(10) 표면에 흡착시켜 수중에서 수면 위로 수직 승강케 하는 반출컨베어(1)와; 상기 반출컨베어(1)와 후행 공정의 입구 사이에 경사지게 설치되며, 반출컨베어(1)에서 수직 승강되는 웨이퍼(W)를 밸트(20) 표면에 점착시켜 웨이퍼(W)를 수직상태에서 수평으로 눕히면서 후행 공정으로 전달하는 전달컨베어(2);로 구성됨을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼 분리 및 반출장치{Wafer Separator and Transferring device}
본 발명은 태양전지 또는 반도체 기판제조용으로 양산되는 웨이퍼다발로부터 웨이퍼를 일부 분리시키면서 공급하는 웨이퍼 공급장치에 설치되어, 상기에서 일부 분리된 웨이퍼를 낱장으로 완전 분리함과 동시에 완전 분리된 웨이퍼를 후행 공정으로 연속반출되도록 하는 웨이퍼 분리 및 반출장치에 관한 것이다.
웨이퍼는 반도체의 재료가 되는 얇은 원판으로 실리콘을 녹여 만든 잉곳형태의 덩어리를 소잉가공으로 얇게 절단하여 제조되며, 소잉가공을 거쳐 절단된 웨이퍼들은 여러 장의 웨이퍼가 서로 겹쳐진 상태로 놓이게 된다.
이렇게 서로 겹쳐져 붙어 있는 여러 장의 얇은 웨이퍼들(이하, '웨이퍼다발'이라 함)을 태양전지 또는 반도체 기판 등으로 제조하기 위해서는 상기 웨이퍼다발로부터 웨이퍼를 한 장씩 낱장으로 분리시켜 후공정으로 이송시켜야 한다.
그런데 상기 웨이퍼는 두께가 10~300㎛로 매우 얇고 부서지기 쉬운 성질을 가지고 있고, 각각의 웨이퍼들이 서로 겹쳐져 점착력을 가지기 때문에 낱장으로 분리하기 어려우며 또한 분리시 파손이 우려되는 문제점이 있었다.
이에 상기 웨이퍼다발로부터 웨이퍼를 낱장으로 분리하는 여러 방식이 도출되었는데 그 중 최근에는 첨부도면 도4와 같이 웨이퍼다발(W1)을 수조 내부에 수장되도록 공급대(A1)에 적재한 다음 상기 웨이퍼다발(W1)의 선단에 수압분출구(A2)를 설치하여 웨이퍼다발(W1)에 물을 분사하여 웨이퍼(W)를 낱장으로 분리하면서 공급하는 방식이 사용되고 있다.
상기와 같은 방식으로 낱장분리 및 공급된 웨이퍼(W)는 후공정(웨이퍼정렬 이나 세척공정 등)을 위해 수조 상부에 위치한 이송컨베어(B)로 다시 하나씩 재분리하면서 반출되어야 하는데, 종래에는 수조에서 낱장으로 분리된 웨이퍼를 회전기구, 로봇팔 등과 같은 이동수단에 구비된 흡착패드로 흡착하여 수조 내에서 웨이퍼를 파지한 채 수조 밖으로 꺼내 수조 상단에 위치하는 이송컨베어 상부까지 이동시킨 후 다시 이송컨베어 상에 수평으로 안착시키는 방법을 사용하였다.
그러나 상기와 같은 종래의 웨이퍼 분리 및 반출방식은 수조에서 수조 상단의 이송컨베어까지 웨이퍼를 이송하는 동안 흡착패드가 웨이퍼를 지속적으로 강하게 흡착하고 있어야 하기 때문에 강한 흡착력으로 인해 웨이퍼가 깨지거나 금이 가는 등의 파손에 대한 우려가 크고, 흡착된 부위에 자국이 남는 등의 웨이퍼의 표면이 훼손될 수 있으며, 흡착시 겹쳐진 웨이퍼가 있을 경우 이송과정 중에 겹쳐진 웨이퍼가 낙하하면서 인근의 웨이퍼까지 손상시킬 수 있는 문제점이 있었다. 더욱이, 낱장으로 분리된 웨이퍼를 한 장씩 흡착패드가 일일이 흡착한 다음 이송시켜야 하고 수조에서 수조 상단의 이송컨베어까지 긴 이송거리를 이동해야 하기 때문에 반출속도가 느려 생산성이 떨어질 수밖에 없는 문제점도 내포하고 있었다.
이에 본원 출원인은 등록특허 제0907448호와 같이 자동으로 승강되는 캐리어에 웨이퍼를 수평으로 눕힌 상태로 적재하고, 상기 웨이퍼의 상단에 수압으로 웨이퍼다발로부터 개별 웨이퍼로 낱장 분리되도록 하며, 상기에서 낱장 분리된 웨이퍼의 최상부에 별도의 수압분출구를 위치시켜 최상단 웨이퍼를 동일선상의 이송컨베어에 바로 분리 및 반출되도록 밀어주게 한 태양전지 웨이퍼의 스플리터 분리장치를 제안함으로써, 웨이퍼가 공기 중에 노출되어 건조되는 것을 방지할 뿐 아니라 웨이퍼에 불순물이 부착되는 것을 방지하고 웨이퍼의 손상 없이 적재된 웨이퍼가 개별의 웨이퍼로 분리 및 반출될 수 있도록 하여 분리 및 반출작업의 효율성을 높일 수 있도록 하였다.
그러나 상기와 같은 방식은 웨이퍼를 수평은 눕힌 상태에서 최상단의 웨이퍼를 수압으로 밀어서 반출하고 있으나, 이는 미처 분리되지 못한 웨이퍼가 있을 경우 겹쳐진 상태 그대로 반출되는 일이 잦아 반출시 웨이퍼의 완전 분리가 어려워 이송컨베어 상에 별도의 분리설비를 구축하여 재분리해야 함은 물론 재분리되는 웨이퍼의 처리가 곤란함이 있고, 또한 웨이퍼가 밀리는 힘이 저마다 달라 웨이퍼의 반출간격이 일정하지 못하므로 이송컨베어 상에 별도의 재정렬설비를 구축해야 하는 등의 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 한꺼번에 해결하기 위해 개발된 것으로 써, 특히 웨이퍼다발을 수직으로 세운 상태로 수장시켜 낱장 분리하되, 낱장 분리된 웨이퍼를 흡착밸트에 하나씩 흡착함과 동시에 흡착밸트에 웨이퍼를 흡착한 상태로 수중에서 수직 승강시켜 수면 위로 하나씩 연속 반출케 하는 컨베어방식을 제안함으로써 웨이퍼의 완전 분리를 달성함과 아울러 웨이퍼의 분리 및 반출속도가 신속하고 효율적으로 됨은 물론 생산성이 향상되도록 함에 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 웨이퍼 분리 및 반출장치는, 수조(A0) 내에 일정깊이 수장되도록 웨이퍼다발(W1)을 수직적재하고, 상기 웨이퍼다발(W1)의 진입부 선단에 일정범위만큼 웨이퍼다발(W1)로부터 낱장 웨이퍼(W)를 분리시켜 공급되도록 하는 것에 있어서, 상기 공급부 전방에 수직으로 설치되며, 밸트(10) 표면에는 웨이퍼(W)를 흡착하는 흡착공(11)과 흡입공(12)이 형성되어 공급되는 웨이퍼(W)를 밸트(10) 표면에 흡착시켜 수중에서 수면 위로 수직 승강케 하는 반출컨베어(1)와; 상기 반출컨베어(1)와 후행 공정의 입구 사이에 경사지게 설치되며, 반출컨베어(1)에서 수직 승강되는 웨이퍼(W)를 밸트(20) 표면에 점착시켜 웨이퍼(W)를 수직상태에서 수평으로 눕히면서 후행 공정으로 전달하는 전달컨베어(2);로 구성됨을 특징으로 한다.
본 발명은 상기와 같은 컨베어방식의 채용한 웨이퍼 분리 및 반출장치를 제공함으로써, 낱장 분리부의 웨이퍼를 흡착밸트에 하나씩 흡착하면서 낱장 분리부에서 겹쳐진 웨이퍼가 있을 경우 상기 웨이퍼를 재분리하고, 동시에 흡착밸트에 웨이퍼를 흡착한 상태로 수중에서 수직 승강시켜 수면 위로 반출하면서 다시 한번 더 웨이퍼를 분리하여 웨이퍼의 완전 분리를 달성할 수 있게 된다.
그리고 본 발명은 웨이퍼를 수직을 세운 상태로 수중에서 간접 흡입력으로 유수나 소정의 흡착력을 일으켜 웨이퍼를 밸트에 흡착시켜 반출하기 때문에 웨이퍼 손상 및 훼손이 거의 없고, 반출과정에서 분리되는 웨이퍼는 수직 승강시 직선으로 낙하하면서 낱장 분리부에 그대로 남아 차기 분리 및 반출을 대기토록 함으로써 종래의 이송과정 중에 분리되면서 초래되는 심각한 오류를 미연에 방지할 수 있음은 물론 별도의 재분리수단를 배제할 수 있는 이점이 있다.
또한 종래와 같이 흡착패드에 웨이퍼를 흡착시켜 하나씩 이동시키는 방식에 비해 별도의 이동과정을 거치지 않고 컨베어로 이어서 바로 분리 및 반출하기 때문에 연속적인 분리 및 반출이 가능함으로 속도가 매우 빠르고 반출간격이 일정하여 분리 및 반출효율이 향상되고 생산성이 극대화되는 등의 여러 가지 효과를 낳는다.
도 1은 본 발명의 단면 예시도
도 2는 도 2의 일부 사시도
도 3은 도 3의 일부 상세도
도 4은 본 발명의 실시 예를 나타낸 예시도 이다.
본 발명은 첨부도면 도4와 같이, 크게 웨이퍼다발(W1)으로부터 웨이퍼(W)를 낱장 분리 및 공급케 하는 웨이퍼 공급장치(A)와, 낱장 분리된 웨이퍼(W)를 후행 공정으로 이송케 하는 이송컨베어(B)를 전제부로 한다.
상기 전제부를 바탕으로 하여 본 발명은 첨부도면 도4와 같이 웨이퍼 공급장치(A)와 이송컨베어(B)를 동일선상에 나란히 배치하되, 이송컨베어(B)를 수조(A0) 상단 일측에 배치하고, 상기 웨이퍼 공급장치(A)와 이송컨베어(B) 사이에 설치하여 낱장 분리부에서 웨이퍼(W)를 낱장으로 재분리하면서 수중에서 수면 위로 반출케 하는 수직 승강식 반출컨베어(1)와, 상기 반출컨베어(1)에서 웨이퍼(W)를 전달받아 수조(A0) 내에서 수조 밖의 이송컨베어(B)로 다시 전달케 하는 경사형 전달컨베어(2)로 이루어진다.
이때 상기 전제부의 웨이퍼 공급장치(A)는 수조(A0) 내에 일정깊이 수장되도록 웨이퍼다발(W1)을 수직적재하고, 상기 웨이퍼다발(W1)의 진입부 선단에 일정범위만큼 웨이퍼다발(W1)로부터 낱장 웨이퍼(W)를 분리되게 하는 것에만 만족하면 어떠한 수단으로 구성하든 무방하다. 예를 들어 웨이퍼다발(W1)을 수조에 고정한 채 수조 전체가 진입할 수도 있으나 바람직하게는 상기 웨이퍼다발(W1)을 적재 및 이송가능한 공급대(A1)에 적재시켜 공급부 방향으로 진입토록 하는 것이 이상적이고, 상기 진입부 선단에 웨이퍼다발(W1)로부터 낱장 웨이퍼(W)를 분리되게 하는 수단으로는 기포, 진동, 물살 등으로도 가능하나 바람직하게는 수압으로 분리되도록 함이 이상적이다.
그리고 상기 전제부의 이송컨베어(B) 또한 낱장 분리된 웨이퍼를 정렬이나 세척 등의 후행 공정으로 이어지도록 한 것에만 만족하면 어떠한 수단으로 구성하든 무방하다. 예를 들어 이송컨베어(B)가 없이 바로 정렬이나 세척공정이 도입될 수도 있고, 상기 이송컨베어(B) 상에 정렬 및 세척공정을 설치할 수도 있으나, 바람직하게는 전달컨베어(B)와 정렬이나 세척공정 사이에 적정의 간격을 띄워, 반출되는 웨이퍼의 불량이나 반출상태 등을 점검할 수 있도록 이송수단을 구비하는 것이 이상적이고, 상기 이송수단은 연속이송이 가능한 컨베어가 적당하며, 컨베어로 할 경우 이송과정 중 웨이퍼가 건조되지 않도록 수분을 공급함이 바람직하다.
한편, 본 발명의 반출컨베어(1)는, 웨이퍼 공급장치(A)의 낱장 분리부의 선단에 마주보도록 배치된 수직 승강형 밸트(10)와, 상기 밸트(10)는 일정궤도상에 전동회전하는 반출컨베어(1)로 되고, 상기 반출컨베어(1)의 수직승강부 밸트(10) 후측에 마련된 강제흡입수단과, 상기 강제흡입수단은 강제흡입력이 밸트(10)를 관통하면서 밸트(W) 전방의 웨이퍼(W)를 밸트(10) 측으로 빨아들여 웨이퍼(W)가 밸트(10) 표면에 흡착되도록 하는 흡착수단과, 상기 흡착수단으로 흡착된 웨이퍼(W)는 흡착력을 유지한 채 밸트(10)의 이송으로 수직 승강하면서 수면 위로 반출하는 반출수단과, 상기 반출수단으로 웨이퍼(W)가 수면 위로 반출될 때 웨이퍼(W) 상단에서부터 흡착력이 상실되며, 이와 동시에 웨이퍼(W)를 다음 단계로 인계하는 전달수단으로 이루어진다.
또한 전달컨베어(2)는, 상기 반출컨베어(1)에서 통상의 이송컨베어(B) 사이로 배치된 밸트(20)와, 상기 밸트(20)는 일정궤도상에 전동회전하는 전달컨베어(2)로 되고, 상기 전달컨베어의 밸트(20) 표면에 점착수단을 구축하며, 상기 점착수단은 미세흡착공이 일정수분을 가질 때 공기 중에서 나타내는 점착력으로 인계된 웨이퍼(W)를 밸트(20)에 점착되도록 하고, 상기 점착수단으로 점착된 웨이퍼(W)는 점착력을 유지한 채 밸트(20)의 이송으로 웨이퍼(W)를 수직에서 수평으로 눕히면서 이송컨베어(B)로 인계하는 전달수단으로 이루어진다.
상기 각 수단의 상세한 설명 및 상기 수단을 실시하기 위한 구체적 예를 각 장치별로 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저 전제부의 웨이퍼 공급장치(A)를 상기와 같은 수단으로 실시할 경우, 첨부도면 도4와 같이, 일정크기의 수조(A0)와, 상기 수조 내에 설치되는 공급대(A1)와, 상기 공급대의 일측에 설치되는 다수의 수압분출구(A2)를 구비하고, 상기 공급대에 웨이퍼다발(W1)을 수직으로 안착한 후 수조 내에 일정깊이만큼 수장되도록 하며, 상기 공급대(A1)는 웨이퍼다발(W1)에서 웨이퍼(W)의 낱장 분리가 용이하도록 웨이퍼다발(W1)의 상단이 후방으로 눕혀질 수 있게 공급대(A1) 밀판은 경사조절부를 마련하고, 수압분출구(A2)는 상기 웨이퍼다발(W1)의 공급부 선단에 웨이퍼다발(W1)의 경사면과 대응되도록 분사각도를 조정하여 적정의 수압으로 웨이퍼다발(W1)의 틈새를 분리시켜 웨이퍼(W)가 낱장 분리되도록 한다.
이때 낱장 분리된 웨이퍼(W)는 반출속도에 따라 연속적인 진입이 이루어지도록 공급대(A1)는 밀판은 진입부 방향으로 이송가능한 이송수단과, 웨이퍼다발(W1)의 크기에 대응하여 공급대(A1)의 내부공간이 축소 및 확장가능한 틀로 구비되면서 반출위치의 조정이 가능토록 상기 공급대(A1)는 높낮이 조절수단을 구비함이 바람직하다.
다음으로 반출컨베어(1)는 첨부도면 도1 내지 도4와 같이, 다수의 롤러와, 상기 롤러에 씌워지는 밸트와, 웨이퍼 흡착수단으로 구비하고, 상기 다수의 롤러는 양측 판 사이에 베어링유닛 등으로 공회전 되게 축설하며, 다수의 롤러 중 일부는 밸트의 장착, 해체, 긴장력을 등을 조절할 수 있도록 장착판에 장공홈을 형성하여 롤러의 축부 일측을 볼팅한 장력조절부를 구비하고, 상기 다수의 롤러 중 일부는 밸트가 회전되도록 축부 일측에 설치되는 구동모터, 또는 구동모터의 동력을 전달받는 구동부를 구비하며, 상기 반출컨베어는 다수의 롤러 및 여러 부재들을 한꺼번에 수용할 수 있는 장착틀에 설치하면서 반출컨베어의 웨이퍼 반출각도, 위치 등의 변위에 따른 대응이 용이하도록 설치하여야 함이 바람직하다.
한편 다수의 롤러 중 적어도 두 개를 수직 상 나란히 배치하여 낱장 분리되는 웨이퍼(W)의 인근에 마주보도록 설치하며, 이는 낱장 분리부에서 확장분산되는 분산력에 의해 웨이퍼(W)가 밸트(10) 표면으로 근접되도록 하기 위함이다.
그리고 상기 웨이퍼 흡착수단은 첨부도면 도3과 같이, 밸트(10)의 회전궤도상에 일정한 간격을 두고 형성된 흡착공(11)과, 상기 흡착공(11) 중 일부에 다수 형성된 흡입공(12)과, 밸트(10)의 수직 승강부 후측면에 일정크기의 받침판(30)과, 상기 받침판(30)에는 흡착공(11) 및 흡입공(12)의 궤도상에 형성되면서 후방으로 강제흡입수단을 가지는 흡입홀(31)(32)로 구성한다.
상기 흡착공(11)은 밸트(11) 후방에서 강제흡입력의 발생시 밸트 표면으로 웨이퍼를 흡착될 때 상기 웨이퍼(W)를 밸트(10) 표면에 흡착한 상태를 유지시키면서 이송하기 위함이고, 상기 흡입공(12)은 밸트(11) 후방에서 강제흡입력의 발생시 인근의 웨이퍼(W)를 빨아드려 밸트(10) 표면에 흡착하기 위함이며, 상기 받침판(30)은 밸트(10) 후측면에 배치되면서 강제흡입력에 의한 웨이퍼(W)의 흡착시 웨이퍼 전면을 받치면서 흡입력 및 흡착력이 웨이퍼 표면 전체로 확장시키기 위함이다.
그리고 받침판(30)에 형성된 강제흡입수단을 갖는 흡입홀(31)(32)은, 첨부도면 도3과 같이 흡착공(11) 및 흡입공(12)의 궤도상에 형성하면서 상기 회전하는 밸트(10)의 흡착공(11)과 흡입공(12)이 흡입홀(31)(32)와 일치되었을 때 비로소 밸트(10) 전방으로 흡입력을 발동하여 웨이퍼(W)를 밸트(10) 표면에 흡착 및 흡착된 상태로 이송할 수 있게 한 것이다.
상기 강제흡입수단은 첨부도면 도4와 같이, 내부에 흡입공간을 가지는 케이스와, 상기 케이스 일측에 설치된 흡입관으로 구성하며, 상기 케이스는 반출컨베어(1)의 구축하기 위한 장착틀에 장착시켜 밸트(10) 후측면에 위치되도록 고정하고, 상기 케이스 내부의 흡입공간은 받침판(30)에 흡입홀(31)(32)가 다수 형성될 때 균등한 흡입력을 발생시키도록 하기 위함이며, 상기 케이스 일측의 흡입관은 펌프 등에 의한 강제흡입력을 발생시켜 인근의 웨이퍼(W)를 밸트(10) 측으로 빨아들이도록 한다.
한편 첨부도면 도3과 같이, 상기 흡입공(12)이 흡착공(11) 중 일부에 형성되고, 상기 흡입공(12)은 다수의 타공군으로 되어 흡착공(11)보다 강한 흡입력을 가지게 되는 대신 일정한 간격을 두고 흡입력이 발동된다. 이는 선행 웨이퍼(W)가 밸트(10)에 흡착될 때 차기 웨이퍼는 흡입력이 없으므로 대기상태에 놓여져 있다가 선행 웨이퍼가 이송되고 난 후 다시 흡입력이 발동되면서 웨이퍼의 반출 간격이 일정해지는 작용을 낳는다.
그리고 밸트(10) 표면에 흡착된 웨이퍼(W)는 흡착공(11)에 의해 흡착된 상태에서 수직 승강하면서 받침판(30)을 지날 때 상측에서부터 흡입력이 상실되며 이때 전달컨베어로의 인계작용으로 웨이퍼를 반출케 된다.
다음으로 전달컨베어(2)는 첨부도면 도1 내지 도4와 같이, 다수의 롤러와, 상기 롤러에 씌워지는 밸트로 구비하고, 상기 다수의 롤러는 반출컨베어(1)와 같이 장력조절부, 구동부, 장착틀, 조정수단 등이 구비된 것을 기본적으로 포함하되, 상기 다수의 롤러 중 적어도 두 개를 반출컨베어(1)와, 이송컨베어(B) 사이에 경사지게 배치하고, 중간에 안내롤러를 더 구비하면서 경사부를 완만하게 하여 전달이 용이하게 함이 바람직하다.
그리고 상기 밸트(20)는 표면이 스펀지와 같이 미세흡착공으로 형성되어 수분공급시 자체 흡착력을 가지는 재질로 되는 점착층(21)을 구성함으로써, 강제적 흡착수단이 없이 재질의 구성만으로 웨이퍼(W)가 흡착되도록 함이 용이하다.
이때 첨부도면 도2와 같이, 상기 밸트(20)의 일측에 흡착층(21)이 젖도록 수분공급구(4)를 설치하여 건조시 흡착력이 떨어지는 것을 방지하고, 상기 수분공급구(4)를 지나는 밸트(20) 일측에 탈수롤러(41)를 부설하면서 지나친 수분흡수를 방지함과 동시에 적당한 수분이 유지토록 함이 이상적이다.
다음으로 전제부의 후행 공정을 상기와 같은 이송컨베어(B)로 실시할 경우, 첨부도면 도4와 같이, 수평 상에 나란히 배치되는 다수의 롤러와, 상기 롤러에 씌워지는 밸트로 구비하고, 상기 롤러는 반출컨베어(1)와 같이 장력조절부, 구동부, 장착틀, 조정수단 등이 구비된 것을 기본적으로 포함하되, 구동부는 수평 상으로 배치된 다수의 롤러를 한꺼번에 작동되도록 각각 롤러 축부에 스프로킷을 축설하고 체인을 연결한 전동수단을 구성함이 바람직하며, 상기 밸트는 양측 롤러의 풀리에 씌지는 밴드형태 밸트로 구성하여도 무방하고, 전달컨베어(2)에 의해 전달되는 웨이퍼의 이송시 웨이퍼가 건조되지 않도록 수분공급구(B1)를 더 마련함이 바람직하다.
본 발명은 상기와 같은 실시 예를 설명하였지만 해당기술분야의 숙련된 당업자는 본 발명의 실시 예에 기재된 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다. 그리고 본 발명에서 제시한 도면은 예시도로 써 특징을 부각시키고자 도법에는 맞지 않을 수 있고 요지를 흐릴 수 있는 부분은 편의상 일부 삭제하였다.
A: 웨이퍼 공급장치 A1: 공급대
A2: 수압분출구 W1: 웨이퍼다발
W: 웨이퍼 1: 반출컨베어
10: 밸트 11: 흡입공
12: 흡착공 2: 전달컨베어
20: 밸트 21: 흡착층
30: 받침판 31,32: 흡입홀
4: 수분공급구 41: 탈수롤러

Claims (4)

  1. 수조(A0) 내에 일정깊이 수장되도록 웨이퍼다발(W1)을 수직적재하고, 상기 웨이퍼다발(W1)의 진입부 선단에 일정범위만큼 웨이퍼다발(W1)로부터 낱장 웨이퍼(W)를 분리시켜 공급되도록 하는 것에 있어서,
    상기 공급부 전방에 수직으로 설치되며, 밸트(10) 표면에는 웨이퍼(W)를 흡착하는 흡착공(11)과 흡입공(12)이 형성되어 공급되는 웨이퍼(W)를 밸트(10) 표면에 흡착시켜 수중에서 수면 위로 수직 승강케 하는 반출컨베어(1)와;
    상기 반출컨베어(1)와 후행 공정의 입구 사이에 경사지게 설치되며, 반출컨베어(1)에서 수직 승강되는 웨이퍼(W)를 밸트(20) 표면에 점착시켜 웨이퍼(W)를 수직상태에서 수평으로 눕히면서 후행 공정으로 전달하는 전달컨베어(2);로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 및 반출장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 반출컨베어(1)의 밸트(10) 표면에 웨이퍼(W)를 흡착하는 수단으로는, 상기 밸트(10)의 수직 승강부 후측면에 설치되어 회전궤도를 받쳐주고, 상기 흡착공(11) 및 흡입공(12)의 위치와 일치하는 위치에 흡입홀(31)(32)이 형성된 받침판(30)을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 및 반출장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 전달컨베어(2)에서 웨이퍼(W)를 밸트(20) 표면에 점착시키는 수단으로는, 밸트(20) 표면에 수분이 공급되면 점착력이 생기는 미세점착공이 형성된 점착층(21)을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 및 반출장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 밸트(20) 표면에 수분을 공급하는 수단으로는, 상기 밸트(20)의 일측에 구비되어 밸트(20) 표면의 점착층(21)에 수분을 공급하는 수분공급구(4)와, 상기 점착층(21)의 수분함유량을 일정하게 유지시켜주는 탈수롤러(41)를 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 및 반출장치.
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