JP5368222B2 - ウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置 - Google Patents
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Description
Lq 液体
Ls 液面
Wf ウエハ
Wfa 端面
1 ウエハ槽
2 吸着コンベア(ウエハ受け取り手段)
5 中継コンベア
6 装填コンベア
7 スタッカ
11 コンベア
12 リフタ
21 ローラ
22 無端ベルト
22a 吸着区間
22b 孔
22c ウエハ吸着面
23 バキュームボックス
231,232,233 区画室
23a 吸気口
23b 孔
24 ホース
25 脱水槽
26 ポンプ
27 バルブユニット
31,311,312,313 ノズル(液体噴出手段)
32 スポンジローラ
41 ヒータ
42 温度センサ
43 ヒータ制御部
71 ポケット
81 置台
811 底台部
812,813 板状部材
814 補助支持部材
815 空間
82 サポート部材
821,822 (第1方向)移動規制部
823,824 (第2方向)移動規制部
Claims (19)
- 液体中に積層された複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送方法であって、
上記ウエハの面内方向のうちの第1の方向の一方に向かう上記複数枚のウエハの移動を規制するサポート部材を、上記複数枚のウエハに対して上記第1の方向の上記一方側に配置した状態で、上記複数枚のウエハどうしの間のいずれかに隙間を生じさせるべく、上記複数枚のウエハの上記第1の方向の他方側における端面に向けて上記液体を噴出する工程を備え、
上記液体を噴出する工程においては、上記第1の方向の上記他方側における端面に向けて噴出された上記液体が、上記ウエハに対し、上記ウエハから上記サポート部材に向かう力を与え、
上記ウエハから上記サポート部材へ向かう力の方向は、上記第1の方向の上記一方に一致することを特徴とする、ウエハ搬送方法。 - 所定幅を有するウエハ受け取り手段を上記複数枚のウエハに接近させ、上記複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハを取り上げる工程をさらに備え、
上記サポート部材は、上記面内方向のうち上記第1の方向に直交する上記第2の方向において上記所定幅以上離間する一対の第1方向移動規制部を備える、請求項1に記載のウエハ搬送方法。 - 上記ウエハの端面の延びる方向は上記第2の方向に一致し、
上記一対の第1方向移動規制部どうしの離間距離は、上記第2の方向における上記ウエハの大きさより小さい、請求項2に記載のウエハ搬送方法。 - 上記一対の第1方向移動規制部はいずれも、上記複数枚のウエハの積層方向に沿って延びる長板状である、請求項2または3に記載のウエハ搬送方法。
- 上記サポート部材は、上記第2の方向における上記複数枚のウエハの両側に配置され、且つ、上記複数枚のウエハの上記第2の方向における移動を規制する一対の第2方向移動規制部を備える、請求項2ないし4のいずれかに記載のウエハ搬送方法。
- 上記一対の第2方向移動規制部はいずれも、上記複数枚のウエハの積層方向に沿って延びる平板状である、請求項5に記載のウエハ搬送方法。
- 上記ウエハ受け取り手段は、上記複数枚のウエハのうち最上位にあったものを吸着した状態でこのウエハをその面内方向にスライドさせる吸着スライド手段であり、
上記吸着スライド手段を用いて、上記最上位のウエハから順に上記ウエハを搬送する工程をさらに備える、請求項2ないし6のいずれかに記載のウエハ搬送方法。 - 上記吸着スライド手段は、互いに離間した一対のローラと、上記一対のローラにかけまわされた無端ベルトとを備え、
上記無端ベルトには、上記無端ベルトに囲まれ且つ減圧されうる空間とつながる複数の孔が設けられている、請求項7に記載のウエハ搬送方法。 - 上記液体を噴出する工程においては、上記複数枚のウエハに対して上記ウエハのスライド方向前方側から上記液体を噴出する、請求項7または8に記載のウエハ搬送方法。
- 液体中に積層された複数枚のウエハを搬送するウエハ搬送装置であって、
上記複数枚のウエハに対して上記ウエハの面内方向のうちの第1の方向の一方側に配置され、且つ、上記第1の方向の上記一方に向かう上記複数枚のウエハの移動を規制するサポート部材と、
上記複数枚のウエハに対して上記第1の方向の他方側に配置され、且つ、上記複数枚のウエハの上記第1の方向の他方側における端面に向けて上記液体を噴出することにより、上記複数枚のウエハどうしの間のいずれかに隙間を生じさせる少なくとも1つの液体噴出手段と、を備え、
上記少なくとも1つの液体噴出手段によって、上記第1の方向の上記他方側における端面に向けて噴出された上記液体が、上記ウエハに対し、上記ウエハから上記サポート部材に向かう力を与え、
上記ウエハから上記サポート部材へ向かう力の方向は、上記第1の方向の上記一方に一致することを特徴とする、ウエハ搬送装置。 - 上記面内方向のうち上記第1の方向に直交する第2の方向において所定幅を有し、且つ、上記複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハを受け取り可能なウエハ受け取り手段をさらに備え、
上記サポート部材は、上記第2の方向において上記所定幅以上離間する一対の第1方向移動規制部を備える、請求項10に記載のウエハ搬送装置。 - 上記ウエハの端面の延びる方向は上記第2の方向に一致し、
上記一対の第1方向移動規制部どうしの離間距離は、上記第2の方向における上記ウエハの大きさより小さい、請求項11に記載のウエハ搬送装置。 - 上記一対の第1方向移動規制部はいずれも、上記複数枚のウエハの積層方向に沿って延びる長板状である、請求項11または12に記載のウエハ搬送装置。
- 上記サポート部材は、上記第2の方向における上記複数枚のウエハの両側に配置され、且つ、上記複数枚のウエハの上記第2の方向における移動を規制する一対の第2方向移動規制部を備える、請求項11ないし13のいずれかに記載のウエハ搬送装置。
- 上記一対の第2方向移動規制部はいずれも、上記複数枚のウエハの積層方向に沿って延びる平板状である、請求項14に記載のウエハ搬送装置。
- 上記サポート部材を支持し且つ上記複数枚のウエハを載置する置台をさらに備え、
上記置台と上記ウエハ受け取り手段とは、上記複数枚のウエハの積層方向において相対移動可能である、請求項11ないし15のいずれかに記載のウエハ搬送装置。 - 上記ウエハ受け取り手段は、上記複数枚のウエハのうち最上位にあるものを吸着した状態で、このウエハをその面内方向にスライドさせる吸着スライド手段を含む、請求項11ないし16に記載のウエハ搬送装置。
- 上記吸着スライド手段は、互いに離間した一対のローラと、上記一対のローラにかけまわされた無端ベルトとを備え、
上記無端ベルトには、上記無端ベルトに囲まれ且つ減圧されうる空間とつながる複数の孔が設けられている、請求項17に記載のウエハ搬送装置。 - 上記ウエハのスライド方向前方は、上記第1の方向の上記他方と一致する、請求項17または18に記載のウエハ搬送装置。
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