KR20110062539A - Apparatus for transfer inter-layer used in manufacturing flat panel display - Google Patents

Apparatus for transfer inter-layer used in manufacturing flat panel display Download PDF

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이창용
전은수
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세메스 주식회사
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Abstract

PURPOSE: An interlayer transferring apparatus for a flat display manufacturing process is provided to control the operational time required for layers by arranging a buffer space between the layers. CONSTITUTION: A housing includes a first entrance(112) and a second entrance(114). A first elevator(200-1) transfers a substrate between the first entrance and the second entrance. A second elevator transfers the substrate between the first entrance and the second entrance. The elevators include conveyors including a plurality of transferring shafts(222). The first elevator faces the second elevator in the housing.

Description

평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치{APPARATUS FOR TRANSFER INTER-LAYER USED IN MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY}Interlayer conveying apparatus used for manufacturing flat panel display {APPARATUS FOR TRANSFER INTER-LAYER USED IN MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY}

본 발명은 평판 디스플레이 세정기와 같은 2층 구조를 갖는 장비에 있어서 기판과 같은 물체를 상하로 운반하기 위한 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an interlayer conveying apparatus used in the manufacture of flat panel displays for carrying an object such as a substrate up and down in equipment having a two-layer structure such as a flat panel display cleaner.

잘 알려진 바와 같이, 평판 디스플레이 장치는 액정을 이용하는 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마를 이용하는 플라즈마 표시장치(PDP), 유기 발광 소자를 이용하는 유기 발광 표시 장치(OLED) 등을 들 수 있다. As is well known, a flat panel display device may include a liquid crystal display (LCD) using liquid crystal, a plasma display device (PDP) using plasma, an organic light emitting display (OLED) using an organic light emitting element, and the like.

이와 같은 평판 디스플레이 장치는 실질적으로 영상을 표시하는 표시 패널을 포함하여 이루어진다. 상기 표시 패널의 대면적의 기판에 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 다양한 처리 공정을 반복적으로 수행하여 제조된다. 이와 같은 처리 공정들은 복수의 공정을 순차적으로 수행하는 공정라인 또는 기판 처리 설비에 의해서 행해질 수 있다. Such a flat panel display apparatus includes a display panel that displays an image substantially. The substrate is manufactured by repeatedly performing various processing processes such as a deposition process, an etching process, a photolithography process, a cleaning process, and an inspection process on a large area substrate of the display panel. Such treatment processes may be performed by a process line or a substrate treatment facility that sequentially performs a plurality of processes.

이러한, 기판 처리 설비는 공정을 위한 복수의 처리조 또는 복수의 처리부가 일렬로 배치되는데, 최근에는 설비의 설치 공간을 최소화하기 위하여 복수의 층들 로 이루어진 구조의 설비가 이용되고 있다. 복수의 층들로 이루어진 기판 설비에서는 층들간 기판의 이송을 위해 층간 반송 장치가 구비되어 사용된다. Such a substrate processing facility is arranged in a plurality of processing tanks or a plurality of processing units for the process, and in recent years, a facility having a plurality of layers is used to minimize the installation space of the equipment. In a substrate facility consisting of a plurality of layers, an interlayer conveying apparatus is provided and used for transferring substrates between layers.

이러한 층간 반송 장치는 일정한 속도로 상하 이동을 하는 엘리베이터 방식으로 이루어져 있기 때문에, 기판이 아래층에서 위층으로 이동할 때 엘리베이터가 아래층으로 돌아오기 전에 다음 기판을 아래층 프로세스 존에서 저속으로 운반하거나 정지하여 대기시켜야 한다. 이에 따라 각층에 설치된 모듈(module)의 조건, 택 타임(tack time), 운반속도 등을 제한적으로 설정해야 한다. 이러한 문제는 결국 작업의 지연을 가져와 수율을 떨어뜨리거나, 각 층별 프로세스 존에서의 충분한 작업을 행하지 못하는 결과를 초래하여 생산품의 성능을 저하시켜 왔다. Since the interlayer conveying device is made of an elevator system that moves up and down at a constant speed, when the substrate moves from the lower floor to the upper floor, the next substrate should be transported or stopped at a low speed in the lower floor process zone before the elevator returns to the lower floor. . Accordingly, the conditions, tack time, transport speed, etc. of modules installed on each floor must be limited. This problem has resulted in a delay in operation, resulting in a drop in yield, or incapable of performing sufficient work in each floor process zone, thereby degrading the performance of the product.

이러한 문제를 해결하기 위한 방법으로, 각 층별 프로세스 존에 별도의 버퍼기능의 구간을 설치 운영해야 하는데, 이러한 버퍼 구간으로 설비 점유면적 증가와 처리량 감소라는 문제점을 유발시킨다.In order to solve this problem, a separate buffer function section should be installed and operated in the process zone for each floor, and this buffer section causes problems such as an increase in equipment occupancy and throughput.

본 발명의 목적은 반입 및 반출을 동시에 수행하여 이송 효율이 높일 수 있는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치를 제공하는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an interlayer conveying apparatus used for manufacturing a flat panel display which can carry out carrying out and carrying out at the same time to increase the transfer efficiency.

또 다른 본 발명의 목적은 기판이 상하로 이동하는 도중에도 다음 기판을 인계받을 수 있는 층간 반송 장치를 제공하는데 있다. Still another object of the present invention is to provide an interlayer conveying apparatus that can take over the next substrate even while the substrate is moving up and down.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치는 기판이 반입 또는 반출되는 제1출입구와 제2출입구를 갖는 하우징; 상기 하우징의 내부 일측에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제1엘리베이터; 및 상기 제1엘리베이터와 마주하도록 상기 하우징의 내부 타측에 설치되고, 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제2엘리베이터를 포함한다.In order to achieve the above object, an interlayer conveying apparatus used in the manufacture of a flat panel display of the present invention comprises: a housing having a first entrance and a second entrance through which a substrate is loaded or unloaded; A first elevator installed at an inner side of the housing and configured to carry a substrate between the first entrance and the second entrance; And a second elevator installed at the other inner side of the housing so as to face the first elevator, and performing a substrate transfer between the first entrance and the second entrance.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1엘리베이터와, 상기 제2엘리베이터는 승강부; 상기 승강부에 의해 승강되며, 기판을 지지 및 이송시키기 위한 다수의 반송샤프트들을 갖는 컨베이어를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the first elevator and the second elevator is a lifting unit; And a conveyor lifted by the lifter and having a plurality of transport shafts for supporting and transporting the substrate.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1,2엘리베이터는 상기 반송샤프트들을 수평상태에서 수직상태로 회동시키는 수직수평 전환구동부를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the first and second elevators further include a vertical horizontal shift driving unit for rotating the transport shafts from a horizontal state to a vertical state.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 컨베이어는 상기 반송샤프트들이 외팔보 형태로 설치된다.According to an embodiment of the present invention, the conveyor is installed in the form of cantilevered conveying shafts.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 제2엘리베이터의 반송샤프트들은 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치된다.According to an embodiment of the present invention, the conveying shafts of the first elevator and the conveying shafts of the second elevator are alternately arranged so as not to overlap each other.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 제2엘리베이터의 반송샤프트들 중 적어도 하나는 수직한 방향으로 세워질 수 있도록 회동된다.According to an embodiment of the present invention, at least one of the conveying shafts of the first elevator and the conveying shafts of the second elevator is rotated so as to be erected in a vertical direction.

상기한 과제를 달성하기 위한 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치는 기판이 반입 또는 반출되는 제1출입구와 제2출입구를 갖는 하우징; 상기 하우징의 내부 일측에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제1엘리베이터; 및 상기 제1엘리베이터와 마주하도록 상기 하우징의 내부 타측에 설치되고, 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제2엘리베이터를 포함하되; 상기 제1엘리베이터와 상기 제2엘리베이터는 기판을 지지 및 이송시키기 위한 외팔보 형태의 반송샤프트들이 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치된 컨베이어 유닛을 포함한다.In order to achieve the above object, an interlayer transport apparatus used for manufacturing a flat panel display includes a housing having a first entrance and a second entrance through which a substrate is loaded or unloaded; A first elevator installed at an inner side of the housing and configured to carry a substrate between the first entrance and the second entrance; And a second elevator installed at the other inside of the housing so as to face the first elevator, and performing a substrate transfer between the first entrance and the second entrance; The first elevator and the second elevator includes a conveyor unit alternately arranged so that the cantilever-shaped conveying shafts for supporting and transporting the substrate do not overlap each other.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 컨베이어 유닛의 반송샤프트들은 수직한 방향으로 세워질 수 있도록 회동된다.According to an embodiment of the invention, the conveying shafts of the conveyor unit are rotated so that they can stand in a vertical direction.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 컨베이어 유닛은 상기 반송샤프트들이 회전가능하게 설치되고 그 내부에 상기 반송샤프트들을 회전시키기 위한 샤프트 구동부를 갖는 몸체; 및 상기 반송샤프트들이 수직하게 세워지도록 상기 몸체를 회동시키는 수직수평 전환구동부를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the conveyor unit includes a body having a shaft drive unit for rotating the conveying shafts and the conveying shafts are rotatably installed; And a vertical horizontal conversion driving unit which rotates the body so that the transport shafts are erected vertically.

상기한 과제를 달성하기 위한 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치는 기판이 반입 또는 반출되는 제1출입구와 제2출입구를 갖는 하우징; 상기 하우징의 내부 일측에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제1엘리베이터; 및 상기 제1엘리베이터와 마주하도록 상기 하우징의 내부 타측에 설치되고, 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제2엘리베이터를 포함하되; 상기 제1엘리베이터와 상기 제2엘리베이터는 외팔보 형태로 이루어지며, 서로 중첩되지 않도록 수직하게 세워질 수 있는 반송샤프트들을 갖 는 컨베이어를 포함한다.In order to achieve the above object, an interlayer transport apparatus used for manufacturing a flat panel display includes a housing having a first entrance and a second entrance through which a substrate is loaded or unloaded; A first elevator installed at an inner side of the housing and configured to carry a substrate between the first entrance and the second entrance; And a second elevator installed at the other inside of the housing so as to face the first elevator, and performing a substrate transfer between the first entrance and the second entrance; The first elevator and the second elevator is in the form of a cantilever, and includes a conveyor having conveying shafts that can be erected vertically so as not to overlap each other.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 기판의 반입 및 반출이 동시에 수행되어 이송 효율이 높다.As described above, according to the present invention, the loading and unloading of the substrate are performed at the same time, so that the transfer efficiency is high.

또한, 본 발명에 의하면 버퍼 공간을 부가하여 상하 운반 시간을 조절함으로써 장비의 상하층에서의 공정시간을 조절할 수 있다.In addition, according to the present invention it is possible to control the processing time in the upper and lower layers of the equipment by adding a buffer space to adjust the vertical transport time.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명된 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치를 보여주는 사시도이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치를 보여주는 측면도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치를 보여주는 평면도이다. 도 4는 제1엘리베이터부재의 제1컨베이어가 수직하게 회동된 상태를 보여주는 도면이다. 도 5는 제1컨베이어의 몸체 내부 구조를 보여주는 도면이다.1 is a perspective view showing an interlayer conveying device according to an embodiment of the present invention. 2 is a side view showing an interlayer conveying apparatus according to an embodiment of the present invention. 3 is a plan view showing an interlayer conveying apparatus according to an embodiment of the present invention. 4 is a view showing a state in which the first conveyor of the first elevator member is rotated vertically. 5 is a view showing the internal structure of the body of the first conveyor.

최근에는 LCD 기판의 대형화 추세에 따라 이들을 처리하는 세정기와 같은 설비들은 대형화되고 있다. 이들 설비들이 대형화되면서 장비들이 차지하는 공간의 효율성을 높이기 위하여 상하 구조 즉 2층 구조를 갖는 설비들이 채택되고 있는 실 정이다. 본 발명의 층간 반송 장치는 이러한 다층 구조를 갖는 설비에 매우 유용하게 적용될 수 있다. In recent years, with the trend of larger LCD substrates, facilities such as cleaners for treating them have become larger. As these facilities become larger, facilities having a vertical structure, that is, a two-layer structure, are being adopted to increase the efficiency of the space occupied by the equipment. The interlayer conveying apparatus of the present invention can be very usefully applied to a facility having such a multilayer structure.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 층간 반송 장치(1) 하우징(100)과 제1엘리베이터(200-1) 제2엘리베이터(200-2)를 포함한다. 1 to 5, the interlayer conveying apparatus 1 according to the present invention includes a housing 100, a first elevator 200-1, and a second elevator 200-2.

하우징(100)은 기판이 반입/반출되는 제1출입구(112)와 제2출입구(114)를 갖는데, 제1출입구(112)는 하층에 해당되는 제1공정처리부(10)(전단 설비)와 연결되며, 제2출입구(114)는 상층에 해당되는 제2공정처리부(20)(후단 설비)와 연결된다. 제1공정처리부(10)와 제2공정처리부(20)에는 층간 반송 장치(1)와의 기판 인계를 위한 컨베이어 유닛이 설치되어 있다. The housing 100 has a first entrance 112 and a second entrance 114 through which a substrate is loaded / exported. The first entrance 112 has a first process unit 10 (shearing equipment) and a lower layer. The second entrance 114 is connected to the second process unit 20 (the rear equipment) corresponding to the upper layer. In the first process unit 10 and the second process unit 20, a conveyor unit for transferring the substrate to the interlayer conveying apparatus 1 is provided.

제1엘리베이터(200-1)와 제2엘리베이터(200-2)는 하우징(100)의 내부에 서로 마주보도록 설치된다. 제1엘리베이터(200-1)와 제2엘리베이터(200-2)는 동일한 구성을 갖는 것으로, 편의상 제1엘리베이터(200-1)에 대해서 설명하기로 한다. The first elevator 200-1 and the second elevator 200-2 are installed to face each other inside the housing 100. The first elevator 200-1 and the second elevator 200-2 have the same configuration, and for convenience, the first elevator 200-1 will be described.

제1엘리베이터(200-1)는 승강부(210)와, 승강부(210)에 의해 승강되는 컨베이어(220)를 포함한다. 승강부(210)는 승강수단(211)과 승강수단(211)에 의해 업다운되는 이동플레이트(214) 그리고 이동플레이트(214)의 업다운 이동을 가이드하는 가이드레일(212)을 포함한다. 도시하지 않았지만, 승강부(210)의 승강수단(211)은 자기(磁氣)작용을 이용한 비접촉 급전방식의 모터구동 방식, 통상의 엘리베이터 등에서 이용되고 있는 모터구동의 타이밍 벨트나, 와이어，스크루 나사를 이용한 방식, 실린더 방식 등이 사용될 수 있다. 이러한 승강수단은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에 의하여 용이하게 실시될 수 있다. The first elevator 200-1 includes a lifter 210 and a conveyor 220 that is lifted by the lifter 210. The elevating unit 210 includes an elevating means 211, a movable plate 214 up and down by the elevating means 211, and a guide rail 212 for guiding an up and down movement of the movable plate 214. Although not shown, the elevating means 211 of the elevating unit 210 includes a motor belt based on a non-contact power feeding method using a magnetic action, a timing belt for driving a motor used in a normal elevator, a wire, a screw screw, and the like. Method using, cylinder method and the like can be used. Such lifting means can be easily implemented by those skilled in the art to which the present invention pertains.

제1컨베이어(200-1)는 기판을 지지 및 이송시키기 위한 다수의 반송샤프트(222)들과, 반송샤프트(222)들이 회전가능하게 설치되고 그 내부에 반송샤프트(222)들을 회전시키기 위한 모터(232)와 벨트(234)들 그리고 풀리(pulley;236)들을 포함하는 샤프트 구동부를 갖는 몸체(230)(도 5에 자세히 표시됨) 그리고 반송샤프트(222)들이 수직하게 세워지도록 몸체(230)를 회동시키는 수직수평 전환구동부(260)를 포함한다. The first conveyor 200-1 includes a plurality of conveying shafts 222 for supporting and conveying a substrate, and a conveying shaft 222 is rotatably installed and a motor for rotating the conveying shafts 222 therein. The body 230 (shown in detail in FIG. 5) and the conveying shafts 222 are erected vertically with a shaft drive comprising 232 and belts 234 and pulleys 236. It includes a vertical horizontal conversion drive unit 260 to rotate.

몸체(230)는 이동플레이트(211) 상에 힌지축 결합되며, 일측에 설치된 수직수평 전환구동부(260)에 의해 회동된다. 수직수평구동부(260)는 모터 방식으로 이러한 수직수평 구동부(260)는 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에 의하여 용이하게 실시될 수 있다. 도 4에는 수직하게 세워진 제1컨베이어(220)가 도시되어 있다. The body 230 is hinged on the moving plate 211, and is rotated by the vertical horizontal conversion drive unit 260 installed on one side. The vertical horizontal driving unit 260 is a motor method, such a vertical horizontal driving unit 260 can be easily implemented by those skilled in the art. 4 shows a first conveyor 220 standing vertically.

반송샤프트(222)들은 외팔보형(cantilever type)으로 일단이 몸체(230)에 회전가능하게 설치된다. 도 3에서 도시되어 있는 바와 같이, 제1컨베이어(200-1)의 반송샤프트(222)들과 제2컨베이어(200-2)의 반송샤프트(222)들은 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 제1컨베이어(200-1)과 제2컨베이어 (200-2)은 기판이 놓여지지 않은 상태에서는 서로 교차 이동이 가능하다. The conveying shafts 222 are cantilever type and have one end rotatably installed in the body 230. As shown in FIG. 3, the conveying shafts 222 of the first conveyor 200-1 and the conveying shafts 222 of the second conveyor 200-2 are alternately disposed so as not to overlap each other. desirable. That is, the first conveyor 200-1 and the second conveyor 200-2 may cross-move with each other when the substrate is not placed.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 층간 반송 장치(1)는 제1엘리베이터(200-1)와 제2엘리베이터(200-2)가 번갈아가며 기판을 층간 반송함으로써, 층간 반송 택 타임(tack time)에 의한 정체를 해소하여 전단 설비인 제1공정처리부(10)에서 반출되는 기판을 대기없이 바로 후단 설비인 제2공정처리부(20)로 반입할 수 있다. As described above, in the interlayer conveying apparatus 1 according to the present invention, the first elevator 200-1 and the second elevator 200-2 alternately convey the substrate in an interlayer manner, thereby causing an interlayer conveyance tack time. By eliminating the congestion, the substrate taken out from the first process processing unit 10, which is a front end facility, may be carried directly into the second process processing unit 20, which is a rear end facility, without waiting for air.

도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치에서 기판을 반송하는 과정을 설명하기 위한 도면들이다. 본 실시예에서는 제1공정처리부에서 제2공정처리부로 기판을 반송하는 것을 예를 들어 설명한다. 6A to 6E are diagrams for describing a process of transporting a substrate in an interlayer transport apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention. In this embodiment, the transfer of the substrate from the first processing unit to the second processing unit will be described by way of example.

우선, 도 6a에서와 같이 제1엘리베이터와 제2엘리베이터는 제1출입구를 통해 반입되는 기판을 인계받기 위해 대기한다. 제1엘리베이터와 제2엘리베이터는 반송샤프트들이 서로 교호적으로 배치되어 있기 때문에 동일 수평면상에 위치될 수 있다. 기판1(W-1)이 제1공정처리부로부터 제1출입구(112)를 통해 반입되면, 제1엘리베이터와 제2엘리베이터가 동시에 기판1을 인계받는다. First, as shown in FIG. 6A, the first elevator and the second elevator wait to take over the substrate loaded through the first entrance. The first elevator and the second elevator may be located on the same horizontal plane because the transport shafts are alternately arranged. When the substrate 1 (W-1) is carried in from the first process unit through the first entrance 112, the first elevator and the second elevator take over the substrate 1 at the same time.

도 6b에서와 같이, 기판1은 제1엘리베이터에 의해 반송되어 제2출입구(114)의 반출위치로 반송된다. 그 다음 기판2가 제1출입구를 통해 반입되면 제2엘리베이터에 기판2를 인계받는다. 그 사이에 기판1은 제2출입구(114)를 통해 제2공정처리부로 반출된다. As shown in FIG. 6B, the substrate 1 is conveyed by the first elevator and conveyed to the carrying out position of the second entrance 114. Then, when the substrate 2 is carried through the first entrance, the substrate 2 is taken over by the second elevator. In the meantime, the substrate 1 is carried out to the second processing unit through the second entrance 114.

도 6c 및 도 6d에서와 같이, 기판1이 제2출입구(114)를 통해 반출되면, 제1엘리베이터는 컨베이어의 반송샤프트들을 수직한 방향으로 회동시킨 상태에서 제1출입구 위치로 하강하게 된다. As shown in FIGS. 6C and 6D, when the substrate 1 is carried out through the second entrance 114, the first elevator descends to the first entrance position while rotating the conveying shafts of the conveyor in the vertical direction.

도 6d에서와 같이, 기판2는 제2엘리베이터에 의해 제2출입구의 반출 위치로 반송되고, 제1엘리베이터는 제1출입구 위치까지 이동된 후 컨베이어의 반송샤프트들을 수평한 방향으로 회동시켜서 기판3을 인계받으며, 앞에서 언급한 과정을 반복적으로 수행하게 된다. As shown in FIG. 6D, the substrate 2 is conveyed to the carrying out position of the second entrance by the second elevator, and the first elevator is moved to the first entrance position, and then the conveying shafts of the conveyor are rotated in the horizontal direction to move the substrate 3. It will take over and repeat the above process.

본 발명의 층간 반송 장치는 제1엘리베이터와 제2엘리베이터가 교대로 기판 을 반송하기 때문에 기존 층간 반송 장치 대비 반송 효율이 2배로 증가하게 된다. In the interlayer conveying apparatus of the present invention, since the first elevator and the second elevator alternately convey the substrate, the conveying efficiency is doubled compared to the existing interlayer conveying apparatus.

본 발명은 상하층의 2층 구조로 이루어진 설비에 있어서, 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 것으로, FPD는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display) FPD(LCD, PDP, 유기EL) 등을 상하로 운반하는 반송 장치에 모두 적용될 수 있다. The present invention is to manufacture a flat panel display (hereinafter referred to as 'FPD') device in a two-layer structure of the upper and lower layers, FPD is a liquid crystal display (LCD), plasma display (PDP), VFD (Vacuum Fluorescent Display), FED (Field Emission Display), ELD (Electro Luminescence Display) FPD (LCD, PDP, organic EL) and the like can be applied to all the conveying device up and down.

이상에서, 본 발명에 따른 층간 반송 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.In the above, the configuration and operation of the interlayer conveying apparatus according to the present invention has been shown in accordance with the detailed description and drawings, but this is merely described by way of example, and various changes and modifications may be made without departing from the spirit of the present invention. It is possible.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치를 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view showing an interlayer conveying device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치를 보여주는 측면도이다.2 is a side view showing an interlayer conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치를 보여주는 평면도이다.3 is a plan view showing an interlayer conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4는 제1엘리베이터부재의 제1컨베이어가 수직하게 회동된 상태를 보여주는 도면이다.4 is a view showing a state in which the first conveyor of the first elevator member is rotated vertically.

도 5는 제1컨베이어의 몸체 내부 구조를 보여주는 도면이다.5 is a view showing the internal structure of the body of the first conveyor.

도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 실시예에 따른 층간 반송 장치에서 기판을 반송하는 과정을 설명하기 위한 도면들이다. 6A to 6E are diagrams for describing a process of transporting a substrate in an interlayer transport apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100 : 하우징100: housing

200-1 : 제1엘리베이터200-1: First Elevator

200-2 : 제2엘리베이터200-2: second elevator

Claims (10)

평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치에 있어서:In the interlayer conveying apparatus used for manufacturing flat panel displays: 기판이 반입 또는 반출되는 제1출입구와 제2출입구를 갖는 하우징;A housing having a first entrance and a second entrance through which the substrate is loaded or unloaded; 상기 하우징의 내부 일측에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제1엘리베이터; 및A first elevator installed at an inner side of the housing and configured to carry a substrate between the first entrance and the second entrance; And 상기 제1엘리베이터와 마주하도록 상기 하우징의 내부 타측에 설치되고, 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제2엘리베이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.An interlayer conveying apparatus used for manufacturing a flat panel display, characterized in that it is provided on the other inner side of the housing so as to face the first elevator, and a second elevator for carrying a substrate transfer between the first entrance and the second entrance. . 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1엘리베이터와, 상기 제2엘리베이터는The first elevator and the second elevator 승강부;Elevating unit; 상기 승강부에 의해 승강되며, 기판을 지지 및 이송시키기 위한 다수의 반송샤프트들을 갖는 컨베이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.And a conveyor having a plurality of conveying shafts for elevating and conveying a substrate by the elevating unit. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1,2엘리베이터는The first and second elevator 상기 반송샤프트들을 수평상태에서 수직상태로 회동시키는 수직수평 전환구 동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.An interlayer conveying apparatus for manufacturing a flat panel display, further comprising a vertical horizontal transition hole eastern which rotates the conveying shafts from a horizontal state to a vertical state. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 컨베이어는The conveyor 상기 반송샤프트들이 외팔보 형태로 설치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.The conveyance shafts are interlayer conveying apparatus used for manufacturing a flat panel display, characterized in that the cantilever form. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 제2엘리베이터의 반송샤프트들은 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.The conveying shafts of the first elevator and the conveying shafts of the second elevator are alternately arranged so as not to overlap each other. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 제2엘리베이터의 반송샤프트들 중 적어도 하나는 수직한 방향으로 세워질 수 있도록 회동되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.At least one of the conveying shafts of the first elevator and the conveying shafts of the second elevator is rotated so as to be erected in the vertical direction. 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치에 있어서:In the interlayer conveying apparatus used for manufacturing flat panel displays: 기판이 반입 또는 반출되는 제1출입구와 제2출입구를 갖는 하우징;A housing having a first entrance and a second entrance through which the substrate is loaded or unloaded; 상기 하우징의 내부 일측에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제1엘리베이터; 및A first elevator installed at an inner side of the housing and configured to carry a substrate between the first entrance and the second entrance; And 상기 제1엘리베이터와 마주하도록 상기 하우징의 내부 타측에 설치되고, 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제2엘리베이터를 포함하되; A second elevator installed at the other inner side of the housing to face the first elevator and performing a substrate transfer between the first entrance and the second entrance; 상기 제1엘리베이터와 상기 제2엘리베이터는 The first elevator and the second elevator 기판을 지지 및 이송시키기 위한 외팔보 형태의 반송샤프트들이 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치된 컨베이어 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.An interlayer conveying apparatus for use in manufacturing flat panel displays, characterized in that the cantilevered conveying shafts for supporting and conveying the substrates comprise a conveyor unit alternately arranged so as not to overlap each other. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 컨베이어 유닛의 반송샤프트들은 수직한 방향으로 세워질 수 있도록 회동되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.The conveyer shafts of the conveyor unit are rotated to be erected in a vertical direction, the interlayer conveying apparatus used for manufacturing a flat panel display. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 컨베이어 유닛은 The conveyor unit 상기 반송샤프트들이 회전가능하게 설치되고 그 내부에 상기 반송샤프트들을 회전시키기 위한 샤프트 구동부를 갖는 몸체; 및A body having a shaft drive unit rotatably mounted to the conveying shafts and rotating the conveying shafts therein; And 상기 반송샤프트들이 수직하게 세워지도록 상기 몸체를 회동시키는 수직수평 전환구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.And a vertical horizontal converting driving unit which rotates the body such that the conveying shafts are vertically erected. 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치에 있어서:In the interlayer conveying apparatus used for manufacturing flat panel displays: 기판이 반입 또는 반출되는 제1출입구와 제2출입구를 갖는 하우징;A housing having a first entrance and a second entrance through which the substrate is loaded or unloaded; 상기 하우징의 내부 일측에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제1엘리베이터; 및A first elevator installed at an inner side of the housing and configured to carry a substrate between the first entrance and the second entrance; And 상기 제1엘리베이터와 마주하도록 상기 하우징의 내부 타측에 설치되고, 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 제2엘리베이터를 포함하되; A second elevator installed at the other inner side of the housing to face the first elevator and performing a substrate transfer between the first entrance and the second entrance; 상기 제1엘리베이터와 상기 제2엘리베이터는 The first elevator and the second elevator 외팔보 형태로 이루어지며, 서로 중첩되지 않도록 수직하게 세워질 수 있는 반송샤프트들을 갖는 컨베이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치.An interlayer conveying device used in the manufacture of flat panel displays comprising a conveyor having conveying shafts which are formed in a cantilever shape and which can be erected vertically so as not to overlap each other.
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WO2021005093A1 (en) * 2019-07-09 2021-01-14 NICE Solar Energy GmbH Substrate conveying device and method for conveying a substrate

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