KR20110047769A - 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 플렉서블 디스플레이(flexible display)용 배선 형성방법은 필름(film)형의 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이를 제조함에 있어 그래핀(graphene)을 이용하여 플렉서블 기판에 손쉽게 배선을 형성함으로써 공정을 단순화하는 한편, 평탄화와 배선 형성을 일체화함으로써 비용을 절감하기 위한 것으로, 니켈이 코팅된 웹(web)을 가열하면서 진공 중에서 에틸렌 가스를 흘려주어 상기 니켈 위에 그래핀 막을 형성하는 단계; 점착성을 가지는 절연막을 상기 플렉서블 기판 위에 인쇄하여 배선 형태의 절연막 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 니켈 위에 형성된 그래핀 막을 상기 플렉서블 기판 위에 형성된 절연막 패턴과 접촉시킨 상태에서 열 전사시켜 상기 절연막 패턴 위에 상기 배선 형태로 그래핀 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
플렉서블 디스플레이, 플렉서블 기판, 그래핀, 배선, 평탄화

Description

플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법{METHOD OF FORMING WIRING FOR FLEXIBLE DISPLAY}
본 발명은 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 필름형의 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이를 제조함에 있어 그래핀을 이용하여 배선을 형성하도록 한 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법에 관한 것이다.
최근의 정보화 사회에서 디스플레이는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있으며, 향후 주요한 위치를 점하기 위해서는 저소비전력화, 박형화, 경량화, 고화질화 등의 요건을 충족시켜야 한다.
상기 디스플레이는 자체가 빛을 내는 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT), 전계발광소자(Electro Luminescence; EL), 발광소자(Light Emitting Diode; LED), 진공형광표시장치(Vacuum Fluorescent Display; VFD), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP) 등의 발광형과 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)와 같이 자체가 빛을 내지 못하는 비발광형으로 나눌 수 있다.
한편, 표시장치를 접거나 말아서 넣더라도 손상되지 않는 플렉서블 디스플레이(Flexible Display)가 디스플레이 분야의 새로운 기술로 떠오를 전망이다. 현재는 플렉서블 디스플레이 구현에 다양한 장애들이 존재하고 있지만, 기술개발과 함께 박막 트랜지스터 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), 유기EL(Organic Light Emitting Diodes; OLED)과 전기영동(Electrophoretic) 기술이 주류를 이루게 될 것이다.
이하, 도면을 참조하여 플렉서블 디스플레이에 대해 상세히 설명한다.
도 1a 및 도 1b는 일반적인 플렉서블 디스플레이를 나타내는 예시도이다.
플렉서블 디스플레이는 두루말이 디스플레이로 불리는데, 도면에 도시된 바와 같이 플라스틱과 같이 얇은 기판에 구현되어 종이처럼 접거나 말아도 손상되지 않는 것으로 차세대 디스플레이의 하나이며, 현재는 1㎜ 이하로 얇게 만들 수 있는 유기EL 및 액정표시장치가 유망하다.
유기EL은 소자 자체가 스스로 빛을 내기 때문에 어두운 곳이나 외부 빛이 들어올 때도 시인성(是認性)이 좋으며, 모바일(mobile) 디스플레이의 성능을 판가름하는 중요한 기준인 응답속도가 현존하는 디스플레이 가운데 가장 빠르기 때문에 완벽한 동영상을 구현할 수 있다.
또한, 유기EL은 초박형 디자인이 가능해 휴대폰 등 각종 모바일 기기를 슬림(slim)화할 수 있다.
한편, 액정표시장치는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 기존의 브라운관에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크 기의 브라운관에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.
상기 액정표시장치에 있어서 플렉서블 디스플레이 구현을 위해서는 액정표시패널의 유연성 확보가 필요하며, 현재 이러한 기판 유연성 확보를 위해서 기존의 글라스 기판 대신 플라스틱이나 스테인레스 스틸(SUS)의 플렉서블 기판을 사용하게 된다.
일반적으로 이러한 플렉서블 기판에 배선을 형성하는 방법은 플렉서블 기판에 평탄화를 위한 절연층 도포, 금속 물질의 도금이나 스퍼터링을 통한 금속막 증착, 상기 금속막 위에 포토레지스트 막 코팅 및 사진식각 방법을 이용한 상기 포토레지스트 막의 패터닝, 금속막 에칭 및 포토레지스트 스트립을 통한 배선 형성으로 진행된다.
이와 같이 플렉서블 기판에 배선을 형성하기 위해서는 적어도 10가지 이상의 많은 공정 및 절연층 재료, 금속 물질, 포토레지스트, 현상액, 포토 마스크, 금속 에천트, 스트립 액 등 많은 재료가 필요하다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 필름형 기판을 이용한 플렉서블 디스플레이를 제조함에 있어 플렉서블 기판에 손쉽게 배선을 형성하는 한편, 평탄화와 배선 형성을 일체화 한 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법을 제공하는데 목적이 있다.
기타, 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법은 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이를 제조함에 있어서, 니켈이 코팅된 웹(web)을 가열하면서 진공 중에서 에틸렌 가스를 흘려주어 상기 니켈 위에 그래핀 막을 형성하는 단계; 점착성을 가지는 절연막을 상기 플렉서블 기판 위에 인쇄하여 배선 형태의 절연막 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 니켈 위에 형성된 그래핀 막을 상기 플렉서블 기판 위에 형성된 절연막 패턴과 접촉시킨 상태에서 열 전사시켜 상기 절연막 패턴 위에 상기 배선 형태로 그래핀 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법은 그래핀을 이용하여 플렉서블 기판에 손쉽게 배선을 형성함으로써 공정을 단순화할 수 있는 효과를 제공한다.
본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법은 평탄화와 배선 형성을 일체화함으로써 비용을 절감할 수 있는 효과를 통한 저가 소자구현을 가능하게 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
현재는 플렉서블 디스플레이 구현에 다양한 장애들이 존재하고 있지만, 기술개발과 함께 박막 트랜지스터 액정표시장치, 유기EL 및 전기영동 표시장치에 플렉서블 디스플레이 기술을 적용할 수 있을 것이다.
플렉서블 디스플레이는 두루말이 디스플레이로 불리는데, 플라스틱 등의 얇은 기판에 구현되어 종이처럼 접거나 말아도 손상되지 않는 것으로 차세대 디스플레이의 하나이며, 현재는 1㎜ 이하로 얇게 만들 수 있는 유기EL 및 액정표시장치가 유망하다.
일반적으로 사용되는 플렉서블 기판에 배선을 형성하고자 할 때 초기 평탄화를 위한 절연층을 코팅한 후, 그 위에 금속막의 증착, 포토레지스트 막의 패터닝, 에칭 및 스트립 등의 복잡한 공정을 통해 배선을 형성해야 한다.
이에 본 발명에서는 유기 박막이면서도 전기전도성이 금속보다 좋은 그래핀 재료를 배선으로 활용하고 평탄성을 가지는 점착성 절연층을 이용하여 패턴을 형성함으로써 공정을 단순화하며 비용을 절감할 수 있게 된다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법을 개 략적으로 나타내는 예시도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법은 플렉서블 기판(10)의 배선을 금속 배선이 아닌 그래핀을 이용하게 되는데, 상기 그래핀은 전선의 주재료인 구리보다 100배 많은 전류를 흘려보낼 수 있는 것으로 알려져 있다.
상기 그래핀은 근래에 들어 상당히 각광받는 탄소로 구성된 물질이다. 이미 오래 전부터 잘 알려져 있던 흑연에서 한 층을 떼어낸 형태인 그래핀은 탄소 원자들이 완전히 한 겹으로 배치된 육각형 모양의 2차원 구조를 이루기 때문에 일반적인 3차원 구조와는 다른 물리적 특성을 갖고 있다. 이러한 기초적인 물성뿐만 아니라 그래핀의 실용적인 활용 역시 활발하게 연구되고 있다.
특히, 그래핀의 광학적 특성과 전기적 특성은 그래핀의 활용에 있어서 주된 연구 방향을 제공하는데, 투명 도체의 산업적인 필요성과 맞물려 그래핀이 차세대 투명 도체로 연구되는 것이다.
그래핀의 높은 전기전도성은 이론적인 밴드구조의 계산으로부터 알려져 있다. 그래핀은 가장 간단한 강한 결합(tight binding) 방법을 이용한 계산에서부터 섭동 이론(perturbation theory)과 LCAO(Linear Combination of Atomic Orbital) 방법 혹은 DFT(Density Functional Theory)의 결과까지 대부분의 이론에서 디락 퍼미온(Dirac fermion)의 특성을 보여준다. 낮은 에너지 영역에서의 그래핀 에너지 밴드는 고 대칭점에서 분산 관계(dispersion relation)가 선형적인 특성을 나타내는데, 이러한 선형 분산 관계는 전자가 고 대칭점 부근에서 거의 상대론적 입자와 같이 운동한다는 것을 의미한다. 따라서, 고 대칭점 부근의 전자는 마치 광자(photon)와 같이 거의 질량이 없고 거의 광속으로 움직인다고 볼 수 있고, 이러한 전자는 대단히 높은 전도성의 원인이 된다.
쉽게 생각하면 원자 하나의 두께만큼 얇기 때문으로 볼 수 있는 그래핀의 투명한 특성 역시 이러한 디락 퍼미온의 관점에서 해석될 수 있다. 빛과 2차원 디락 퍼미온의 상호 작용을 QED(Quantum Electro-Dynamics)의 페르미 황금률(Fermi’s Golden Rule)을 통해 계산하면 그래핀의 전기전도성은 물질에 상관없이 2차원 디락 퍼미온의 보편적인 값을 갖게 되고, 전도성에 의해 결정되는 투과율 역시 보편적인 값을 갖게 된다. 따라서, 그래핀 한 장의 투과율은 항상 일정한 값을 갖게 되고, 이는 미세 구조 상수에 원주율을 곱한 정도의 불투명도로 구해진다. 즉, 그래핀은 대략 2.3% 정도 되는 불투명도를 빼고 나면 약 97.7%의 투과율을 갖는 것이다.
이와 같이 전기전도성과 투명성이 우수한 그래핀을 얻기 위해서는 일반적으로 테이프를 이용한 방법이 있다. 보통의 접착용 테이프를 이용해 흑연에 붙였다 떼면 테이프에 떨어져 나온 흑연 층, 즉 그래핀 구조가 남아있게 되고, 여기서 얻은 그래핀을 활용하는 것이다. 이렇게 그래핀을 얻는 것은 별다른 장비나 기술이 필요하지 않기 때문에 쉽지만, 정확히 한 겹의 그래핀을 얻거나 큰 크기의 그래핀을 얻는 것은 용이하지 않을 뿐만 아니라 대부분의 작업이 손으로 이루어지기 때문에 대량 생산이 불가능하였다.
그러나, 본 발명의 실시예의 경우 상기 그래핀은 화학기상증착(Chemical Vapour Deposition; CVD) 장비(70)를 통해 니켈이 코팅된 웹(web)(41)을 가열하면 서 진공 중에서 에틸렌(ethylene; C2H2) 가스를 흘려줌으로써 상기 니켈 위에 원하는 두께의 그래핀 막(40)으로 성장할 수 있게 된다.
그리고, 점착성을 갖는 절연막(60')을 플렉소 프린팅(flexography)이나 그라비어 프린팅(gravure printing) 등의 기법을 이용하여 플렉서블 기판(10) 위에 배선 형태로 인쇄하여 소정의 절연막 패턴(60)을 형성하고, 이후 소프트 베이킹을 진행한다.
이때, 상기 플렉소 프린팅은 아닐린 잉크를 고무 볼록판에 칠하고 적당한 압력을 가해 다양한 재질표면에 그림과 글씨를 인쇄하는 기법이며, 상기 그라비어 프린팅은 인쇄될 상(像)이 인쇄판 표면에 깎여 들어감으로써 새겨지는 음각사진 기법이다.
또한, 상기 절연막(60')은 아크릴계열의 보호막 재료, 스핀 온 글라스(Spin On Glass; SOG) 계열의 물질들이 사용될 수 있다.
그리고, 니켈 위에 형성된 그래핀 막(40)은 상기 플렉서블 기판(10) 위에 형성된 절연막 패턴(60)과 접촉된 상태에서 상기 플렉서블 기판(10)의 상, 하부에 위치한 한 쌍의 제 1 롤러(50a, 50b)를 통해 열 전사시켜주게 되면 상기 절연막 패턴(60)에 접착되어 정확히 한 겹으로 떨어져서 소정의 그래핀 패턴(45)을 형성하게 된다.
이때, 그래핀 패턴(45)의 형성이 완료된 니켈 박막 웹(41)은 소정의 에칭장비(75)를 통해 상기 니켈 위에 증착된 그래핀 막(40)이 제거되게 된다.
참고로, 도면부호 51, 52 및 55는 각각 제 2 롤러, 인쇄판 및 제 3 롤러를 나타낸다.
이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법은 그래핀을 이용하여 플렉서블 기판에 손쉽게 배선을 형성함으로써 공정을 단순화할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법은 평탄화와 배선 형성을 일체화함으로써 비용을 절감할 수 있는 효과를 통한 저가 소자구현을 가능하게 한다.
물론 상기 플렉서블 기판 대신에 유리기판을 사용할 수도 있으며, 이 경우에는 전술한 바와는 다르게 니켈 박막 웹이 꺾여진 상태에서 배선 형성이 이루어지게 된다.
상기의 배선 형성방법으로 형성된 그래핀 패턴은 다양한 플렉서블 디스플레이의 각종 배선에 적용할 수 있으며, 이하 상기 플렉서블 디스플레이 중 액정표시장치 및 전기영동 표시장치에 대해서 상세히 설명한다.
도 3은 액정표시장치의 구조를 개략적으로 나타내는 분해사시도로써, 플라스틱 기판을 사용하여 제작한 플렉서블 액정표시장치를 예를 들어 나타내고 있다.
도면에 도시된 바와 같이, 액정표시장치는 크게 컬러필터 기판(105)과 어레이 기판(110) 및 상기 컬러필터 기판(105)과 어레이 기판(110) 사이에 형성된 액정층(liquid crystal layer)(130)으로 구성된다.
상기 컬러필터 기판(105)은 적(Red; R), 녹(Green; G), 청(Blue; B)색의 서 브컬러필터(107)로 구성되는 컬러필터(C)와 상기 서브컬러필터(107) 사이를 구분하고 상기 액정층(130)을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix)(106), 그리고 상기 액정층(140)에 전압을 인가하는 투명한 공통전극(108)으로 이루어져 있다.
상기 어레이 기판(110)에는 종횡으로 배열되어 화소영역(P)을 정의하는 게이트라인(116)과 데이터라인(117)이 형성되어 있다. 이때, 상기 게이트라인(116)과 데이터라인(117)의 교차영역에는 스위칭소자인 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)(T)가 형성되어 있으며, 상기 각 화소영역(P)에는 화소전극(118)이 형성되어 있다.
상기 화소영역(P)은 컬러필터 기판(105)의 하나의 서브컬러필터(107)에 대응하는 서브화소(sub pixel)로 컬러화상은 상기 적, 녹 및 청색의 3종류의 서브컬러필터(107)를 조합하여 얻어진다. 즉, 적, 녹 및 청색의 3개의 서브화소가 모여서 한 개의 화소를 이루며, 박막 트랜지스터(T)는 상기 적, 녹 및 청색의 서브화소에 각각 연결되어 있다.
한편, 상기와 같이 구성되는 액정표시장치는 플렉서블 디스플레이 구현을 위해서 상기 어레이 기판(110)과 컬러필터 기판(105)으로 유리기판 대신 플라스틱이나 스테인레스 스틸의 플렉서블 기판을 사용하게 되며, 그 제조방법은 크게 어레이 기판을 형성하는 어레이공정과 컬러필터 기판을 형성하는 컬러필터공정 및 상기 어레이 기판과 컬러필터 기판을 합착하여 단위 액정표시장치를 형성하는 셀공정으로 이루어지며, 이를 보다 상세히 살펴보면 다음과 같다.
도 4는 상기 도 3에 도시된 액정표시장치의 제조공정을 개략적으로 나타내는 흐름도이다.
우선, 투명한 가요성 플라스틱 기판 위에 종횡으로 배열되어 복수개의 화소영역을 정의하는 복수개의 게이트라인과 데이터라인을 형성하고, 상기 각 화소영역에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 스위칭소자인 박막 트랜지스터를 형성한다. 또한, 상기 어레이공정을 통해 박막 트랜지스터에 접속되며 상기 박막 트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다. 한편, 횡전계 모드의 경우에는 상기 어레이공정을 통해 액정층에 수평전계를 형성하는 화소전극 및 공통전극을 함께 형성하게 된다(S101).
이때, 상기와 같이 가요성 플라스틱 기판이 적용되었을 경우에는 유기 절연막을 게이트 절연막으로 사용할 수 있으며, 상기 유기 절연막은 PVP(poly-4-vinylphenol), PMMA(poly-(methyl methacrylate)), 암모늄 중크롬산염(ammonuym dichromate)이 첨가된 PVA(polyvinylalchol), 폴리이미드(polyimide)와 파릴렌(parylene) 중 선택된 어느 하나를 사용하는 것이 바람직하다.
컬러필터 기판에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 적, 녹 및 청색의 서브컬러필터로 이루어진 컬러필터와 상기 서브컬러필터 사이를 구분하고 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스를 형성한다. 그리고, 상기 블랙매트릭스와 컬러필터가 형성된 기판 위에 상기 어레이 기판의 화소전극에 대향하는 공통전극을 형성한다(S102).
여기서, 상기 게이트라인과 데이터라인의 각종 배선 및 화소전극과 공통전극 을 포함하는 박막 트랜지스터의 각종 전극은 전술한 본 발명에 따른 배선 형성방법을 통해 플렉서블 기판 위에 형성될 수 있다.
이어서, 상기 어레이 기판과 컬러필터 기판에 각각 배향막을 도포한 후, 상기 두 기판 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 배향 처리한다. 이때, 상기 배향 처리방법으로 러빙 또는 광배향의 방법을 적용할 수 있다(S103).
이후, 합착을 진행하기 위해 어레이 기판의 외곽부에 은 패이스트(paste)를 도포하고 스페이서를 산포하는 동시에 컬러필터 기판에 실(seal) 인쇄 및 소성을 실시한다. 이때, 상기 스페이서를 컬러필터 기판에 형성할 수도 있으며, 상기 스페이서로는 액정표시패널이 점차 대형화되어 감에 따라 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 고정되는 형태의 컬럼 스페이서(또는, 패턴화된 스페이서)를 사용할 수도 있다.
실 패턴의 형성방법은 스크린 마스크(screen mask)로 인쇄하는 방법과 이동 가능한 실런트 디스펜서(sealant dispenser)를 사용하여 원하는 모양의 실 패턴을 형성하는 방법이 있다.
상술한 스크린 마스크에 의한 실 패턴 형성방법은 공정의 편의성이 매우 우수하기 때문에 현재 가장 일반적인 방법이 되고 있다. 그러나, 상기 스크린 마스크 방법은 스크린이 기판 상부에 형성된 배향막과 접촉하게 되어 배향막이 불량으로 되고, 기판의 대면적화에 대응하기 어려운 단점이 있었다. 또한, 상기 스크린 마스크 방법으로 실 패턴을 형성하기 위해서는 상기 패턴이 형성된 스크린 전면에 실런 트를 도포하고 고무밀대로 밀어서 인쇄하기 때문에 실제 인쇄되지 않고 소모되는 실런트의 양이 많다는 단점이 있었다.
상기 실 디스펜서 방법은 원형 또는 사각형의 작은 노즐이 장착된 하나 또는 두개의 주사기 형태의 디스펜서가 이동하면서 기판 외곽의 실 영역에 실런트를 인쇄하게되는 것이다.
이후, 상기 실 패턴과 컬럼 스페이서에 의해 일정한 셀갭이 유지된 상태에서 어레이 기판과 컬러필터 기판을 합착하고 고온에서 압력을 가하여 실런트를 경화시킨다(S104).
합착공정은 어레이 기판과 컬러필터 기판을 정렬하여 합착하는 공정으로 실 인쇄가 된 컬러필터 기판과 스페이서가 산포된 어레이 기판의 정렬 마크를 기준으로 정렬한 후 합착하게 되며, 어레이 기판과 컬러필터 기판의 합착 마진은 블랙매트릭스와 화소전극의 오버랩되는 정도에 의해 결정되며 일반적으로 셀갭 수준인 ±5㎛ 정도이다.
또한, 가압 경화는 기판 전체에 균일한 압력과 온도를 가하여 일정한 셀갭을 유지하면서 실런트를 경화하는 공정이다.
이후, 여러 개의 셀이 형성된 경화 기판을 개개의 셀로 분리하는 커팅(cutting)공정을 진행하는데, 상기 커팅공정은 경화된 기판 양면을 텅스텐 카바이드 재질의 커팅 휠로 기판 표면에 커팅 라인을 형성하는 스크라이브(scribe)공정 및 상기 커팅 라인에 힘을 가하여 개개의 셀로 분리하는 브레이크(break)공정으로 이루어져 있다.
다음으로, 상기와 같이 개개의 셀로 분리된 액정표시패널의 셀 내부에 액정을 주입하여 액정층을 형성한다(S105).
한편, 상기 액정층의 형성방법은 크게 진공주입 방식과 적하 방식으로 구분되며, 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 진공주입 방식은 대면적의 모기판으로부터 분리된 단위 액정표시패널의 액정주입구를 일정한 진공이 설정된 챔버 내에서 액정이 채워진 용기에 침액시킨 다음 진공 정도를 변화시킴으로써, 상기 액정표시패널 내부 및 외부의 압력차에 의해 액정을 액정표시패널 내부로 주입시키는 방식으로, 이와 같이 액정이 액정표시패널 내부에 충진 되면, 액정주입구를 밀봉시켜 액정표시패널의 액정층을 형성한다. 따라서, 상기 액정표시패널에 진공주입 방식을 통해 액정층을 형성하는 경우에는 실 패턴의 일부가 개방되도록 형성하여 액정주입구의 기능을 갖도록 하여야 한다.
상기 적하 방식은 디스펜서를 이용하여 복수의 어레이 기판이 배치된 대면적의 제 1 모기판이나 또는 복수의 컬러필터 기판이 배치된 제 2 모기판의 화소부에 액정을 적하 및 분배(dispensing)하고, 상기 제 1, 제 2 모기판을 합착하는 압력에 의해 액정을 화소부 전체에 균일하게 분포되도록 함으로써, 액정층을 형성하는 방식이다.
따라서, 상기 액정표시패널에 적하 방식을 통해 액정층을 형성하는 경우에는 액정이 화소부 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있도록 실 패턴이 화소부 외곽을 감싸는 폐쇄된 패턴으로 형성되어야 한다.
상기 적하 방식은 진공주입 방식에 비해 짧은 시간에 액정을 적하할 수 있으며, 액정표시패널이 대형화될 경우에도 액정층을 매우 신속하게 형성할 수 있다.
또한, 기판 위에 액정을 필요한 양만 적하하기 때문에 진공주입 방식과 같이 고가의 액정을 폐기함에 따른 액정표시패널의 단가 상승을 방지하여 제품의 가격경쟁력을 강화시키게 된다.
상기 적하 방식이 적용된 액정표시패널은 진공주입 방식과 달리 액정층이 형성된 후에 대면적 모기판으로부터 단위 액정패널을 분리하는 커팅공정이 진행된다.
이후, 상기 각 액정표시패널의 외관 및 전기적 불량 여부를 가리는 검사공정을 진행함으로써 액정표시패널을 제작하게 된다(S106).
다음으로, 도 5는 전기영동 표시장치의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도로써, 전자잉크(Electronic Ink)를 이용한 전기영동 표시장치의 셀 구조를 개략적으로 나타내고 있다.
전기영동 표시장치인 디지털 페이퍼 디스플레이(Digital Paper Display; DPD)는 액정표시장치, 플라즈마디스플레이패널 및 유기EL 소자를 뒤이을 차세대 표시장치로 개발되고 있다. 특히, 전자종이(Electronic Paper)는 수백만 개의 구슬이 기름 구멍 안에 뿌려져 있는 박형의 플라스틱과 같은 유연한 기판에 문자나 영상을 표시할 수 있도록 한 디스플레이 장치로서, 수백만 번을 재생해 쓸 수 있으며 장래에 책, 신문, 잡지 등 기존의 인쇄매체를 대체할 재료로 기대된다. 또한, 기존의 평판표시장치에 비하여 생산단가가 훨씬 저렴할 뿐만 아니라 화상이 매우 선명하고 시야각이 넓으며, 전원이 없더라도 글씨가 완전히 사라지지 않는 메모리 기능도 가 지고 있어 공공 게시판, 광고물, 전자북 등에 폭넓게 사용될 가능성이 있다.
도면에 도시된 바와 같이, 상기 전기영동 표시장치는 일정한 거리를 두고 평행하게 설치된 상부기판(205)과 하부기판(210)으로 구성된다. 이때, 상기 상부기판(205) 및 하부기판(210)은 플라스틱 또는 금속 포일 중 어느 하나로 형성될 수 있다.
상기 상부기판(205)의 전면에는 상부 투명전극(208a, 208b)쌍이 나란하게 형성되어 있으며, 상기 하부기판(210)의 전면에는 하부 투명전극(218a, 218b)쌍이 상기 상부 투명전극(208a, 208b)쌍과 대응되도록 나란하게 형성되어 있다.
상기 투명전극(208a,208b, 218a,218b)쌍들에는 외부 구동부(미도시)의 제어된 극성 제어신호가 공급되어진다. 이러한 투명전극(208a,208b, 218a,218b)쌍들 사이에는 직경이 약 150~200㎛ 정도의 유기물 캡슐(capsule)(230a, 230b)들이 균일하게 분산되어 있는 필름이 형성되어 있다. 상기 캡슐(230a, 230b) 내의 현탁액에는 직경 0.5∼1㎛ 크기의 입자들로 구성된 블랙 및 화이트 안료(pigment)가 분산되어 있다.
이와 같이 구성되는 전기영동 표시장치에 있어서, 빛이 방출되는 과정을 간략히 설명하면, 먼저 부극성 전계가 인가되면 화이트 입자들은 제 1 캡슐(230a)의 상면 즉, 사용자들이 볼 수 있는 방향으로 이동된다. 이때, 화이트 입자들이 이동된 곳에서는 표면에 화이트 색이 표시된다. 동시에 반대쪽 전계는 블랙 입자들을 숨겨진 제 2 캡슐(230b)의 하면으로 끌어당긴다. 이 공정을 전환하면 블랙 입자들은 표면의 표시점에 블랙을 표시하게 하는 캡슐의 상면에 나타난다.
이러한 전자잉크를 이용한 전기영동 표시장치는 도 6에 도시된 제조공정에 의해서 제조되어진다.
도 6은 상기 도 5에 도시된 전기영동 표시장치의 제조공정을 개략적으로 나타내는 흐름도이다.
도면을 참조하면, 다수의 공정을 거쳐 각각 상부기판(205)과 하부기판(210)을 형성한다(S201, S202).
이때, 상기 상부기판(205)과 하부기판(210) 상부에는 본 발명에 따른 배선 형성방법으로 형성된 그래핀으로 이루어진 투명전극(208a,208b, 218a,218b)쌍들이 각각 형성된다.
상기 상부기판(205)과 하부기판(210) 형성되면 상기 하부기판(210) 상에 유전막(미도시) 및 잉크 캡슐(230a, 230b)을 형성한다(S203). 잉크는 유기 잉크 또는 무기 잉크 중 하나를 사용하나, 일반적으로 무기 잉크를 사용하는 경우가 많다.
이러한 잉크는 미세한 캡슐(220a,220b, 222a,222b)들 내에 삽입되고, 이러한 캡슐(220a,220b, 222a,222b)들은 수백만 개의 블랙 및 화이트 입자로 구성된다. 이러한 블랙 무기입자의 재료는 카본(carbon)계로서 부극성을 가지며, 화이트 무기입자의 재료는 산화티타늄(TiO2)이 사용됨과 아울러 양극성을 가진다.
이로써 이들은 전기영동에 의해 외부에서 전계가 가해졌을 때, 양극성 전압이 가해졌을 경우에는 양극으로 카본 입자가 이동하고 반대극성인 음극으로 산화티타늄 입자가 이동함으로써 블랙 및 화이트의 색상을 표시하게 된다. 이때, 전기영 동은 전기장의 영향을 받아 하전된 물질들이 유동성 매체 내에서 이동하는 것을 말한다.
잉크가 캡슐화되면 상기 캡슐(220a,220b, 222a,222b)들을 슬러리, 즉 현탁액(240a, 240b)에 분산시킨다.
이후, 상기 현탁액(240a, 240b)을 스크린 프린팅, 롤(roll)코팅 및 스핀 코팅 등의 방법으로 하부기판(210) 표면에 프린트한다. 상기 프린트공정 후 약 100∼200℃ 온도에서 큐어링(curing)공정을 진행하게 된다.
이와 같이 유전막 및 잉크 캡슐(230a, 230b)이 형성되면, 상기 잉크 캡슐(230a, 230b)이 형성된 하부기판(210)과 상부기판(205)을 합착하는 실링 공정을 수행한다(S204).
상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.
도 1a 및 도 1b는 일반적인 플렉서블 디스플레이를 나타내는 예시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법을 개략적으로 나타내는 예시도.
도 3은 액정표시장치의 구조를 개략적으로 나타내는 분해사시도.
도 4는 상기 도 3에 도시된 액정표시장치의 제조공정을 개략적으로 나타내는 흐름도.
도 5는 전기영동 표시장치의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도.
도 6은 상기 도 5에 도시된 전기영동 표시장치의 제조공정을 개략적으로 나타내는 흐름도.
** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **
10 : 플렉서블 기판 40 : 그래핀 막
41 : 니켈 박막 웹 45 : 그래핀 패턴
50a,50b,51,55 : 롤러 52 : 인쇄판
60 : 절연막 패턴 60' : 절연막

Claims (10)

  1. 플렉서블 기판을 이용한 디스플레이를 제조함에 있어서,
    니켈이 코팅된 웹(web)을 가열하면서 진공 중에서 에틸렌 가스를 흘려주어 상기 니켈 위에 그래핀 막을 형성하는 단계;
    점착성을 가지는 절연막을 상기 플렉서블 기판 위에 인쇄하여 배선 형태의 절연막 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 니켈 위에 형성된 그래핀 막을 상기 플렉서블 기판 위에 형성된 절연막 패턴과 접촉시킨 상태에서 열 전사시켜 상기 절연막 패턴 위에 상기 배선 형태로 그래핀 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 디스플레이는 액정표시장치인 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 디스플레이는 유기EL인 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 디스플레이는 전기영동 표시장치인 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 화학기상증착 장비를 통해 상기 니켈 위에 원하는 두께로 그래핀 막을 성장시키는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 절연막 패턴이 형성된 플렉서블 기판을 소프트 베이킹(soft baking)하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법.
  7. 제 1 항에 있어서, 플렉소 프린팅이나 그라비어 프린팅 등의 기법을 이용하여 상기 플렉서블 기판 위에 배선 형태로 절연막을 인쇄하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 절연막은 아크릴계열의 보호막 재료, 스핀 온 글라스 계열의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 플렉서블 기판의 상, 하부에 위치한 한 쌍의 롤러를 통해 열 전사하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 패턴의 형성이 완료된 상기 니켈 박막 웹은 에칭장비를 통해 상기 니켈 위에 증착된 그래핀 막을 제거하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이용 배선 형성방법.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101376978B1 (ko) * 2012-07-06 2014-03-26 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 그래핀 패턴의 제조장치
CN103703543A (zh) * 2011-05-13 2014-04-02 韩国化学研究院 使用分层技术形成石墨烯图案的方法和设备
US9123777B2 (en) 2013-02-19 2015-09-01 Samsung Display Co., Ltd. Method for fabricating micro electro device, method for fabricating organic light emitting display device, micro electro device and organic light emitting display device fabricated thereby
US9960192B2 (en) 2015-04-06 2018-05-01 Samsung Display Co., Ltd. Flexible display device and method of manufacturing the same

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103703543A (zh) * 2011-05-13 2014-04-02 韩国化学研究院 使用分层技术形成石墨烯图案的方法和设备
KR101376978B1 (ko) * 2012-07-06 2014-03-26 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 그래핀 패턴의 제조장치
US9123777B2 (en) 2013-02-19 2015-09-01 Samsung Display Co., Ltd. Method for fabricating micro electro device, method for fabricating organic light emitting display device, micro electro device and organic light emitting display device fabricated thereby
US9960192B2 (en) 2015-04-06 2018-05-01 Samsung Display Co., Ltd. Flexible display device and method of manufacturing the same
US10147746B2 (en) 2015-04-06 2018-12-04 Samsung Display Co., Ltd. Flexible display device and method of manufacturing the same

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