KR20100119371A - 레이저 조사 장치 및 상기 레이저 조사 장치를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법 - Google Patents

레이저 조사 장치 및 상기 레이저 조사 장치를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법

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KR20100119371A
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Abstract

본 발명은, 접합부재를 이용하여 제1 기판과 제2 기판을 접합하는 레이저 조사 장치에 있어서, 상기 제1 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 배치되는 상기 접합부재에 레이저를 조사하는 레이저 발진 부재와, 상기 제1 기판의 온도를 소정의 온도로 유지하는 온도 유지 부재를 구비하는 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공한다.

Description

레이저 조사 장치 및 상기 레이저 조사 장치를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법{Laser irradiation apparatus and manufacturing method of flat display apparatus using the same}
본 발명은 레이저 조사 장치 및 상기 레이저 조사 장치를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
근래에 디스플레이 장치는 휴대가 가능한 박형의 평판 표시 장치로 대체되는 추세이다. 평판 디스플레이 장치 중에서도 전계 발광 디스플레이 장치는 자발광형 디스플레이 장치로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가져서 차세대 디스플레이 장치로 주목받고 있다. 또한 발광층의 형성 물질이 유기물로 구성되는 유기 발광 디스플레이 장치는 무기 발광 디스플레이 장치에 비해 휘도, 구동 전압 및 응답속도 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 점을 가진다.
통상적인 유기 발광 디스플레이 장치는 한 쌍의 전극, 즉 제1 전극과 제2 전극 사이에 발광층을 포함한 적어도 하나 이상의 유기층이 개재된 구조를 가진다. 상기 제1 전극은 기판상에 형성되어 있으며, 정공을 주입하는 양극(Anode)의 기능 을 하고, 상기 제1 전극의 상부에는 유기층이 형성되어 있다. 상기 유기층 상에는 전자를 주입하는 음극(Cathode)의 기능을 하는 제2 전극이 상기 제1 전극과 대향하도록 형성되어 있다.
이와 같은 유기 발광 디스플레이 장치는 주변 환경으로부터 수분이나 산소가 소자 내부로 유입될 경우, 전극 물질의 산화, 박리 등으로 소자 수명이 단축되고, 발광 효율이 저하될 뿐만 아니라 발광색의 변질 등과 같은 문제점들이 발생한다.
따라서, 유기 발광 디스플레이 장치의 제조에 있어서, 소자를 외부로부터 격리하여 수분이 침투하지 못하도록 밀봉(sealing) 처리가 통상적으로 수행되고 있다. 이와 같은 밀봉 처리 방법으로써, 통상적으로는 유기 발광 디스플레이 장치의 제2 전극 상부에 PET(polyester) 등의 유기 고분자를 라미네이팅하거나, 흡습제를 포함하는 금속이나 유리로 커버 또는 캡(cap)을 형성하고, 그 내부에 질소가스를 충진시킨 후, 상기 커버 또는 캡의 테두리를 에폭시와 같은 밀봉재로 캡슐 봉합하는 방법이 사용되고 있다.
그러나, 이러한 방법은 외부에서 유입되는 수분이나 산소 등의 소자 파괴성 인자들을 100% 차단하는 것이 불가능하여 소자구조가 수분에 특히 취약한 능동형 전면발광 구조의 유기 발광 디스플레이 장치에 적용하기에는 불리하며 이를 구현하기 위한 공정도 복잡하다. 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 밀봉재로 프릿(frit)을 사용하여 소자 기판과 캡 간의 밀착성을 향상시키는 캡슐 봉합 방법이 고안되었다.
유리 기판에 프릿(frit)을 도포하여 유기 발광 디스플레이 장치를 밀봉하는 구조를 사용함으로써, 소자기판과 캡 사이가 완전하게 밀봉되므로 더욱 효과적으로 유기 발광 디스플레이 장치를 보호할 수 있다.
프릿으로 캡슐 봉합하는 방법은 프릿을 각각의 유기 발광 디스플레이 장치의 실링부에 도포한 뒤, 레이저 조사 장치가 이동하며 각각의 유기 발광 디스플레이 장치의 실링부에 레이저를 조사하여 프릿을 경화시켜서 실링한다.
그러나, 주변에 영향을 미치지 않고 프릿을 녹이기 위해 레이저를 조사하여 국부적으로 열을 가하게 되면, 레이저에 의해 가열된 부분과 가열되지 않은 부분 사이에 응력이 발생하여 프릿과 기판에 마이크로-크랙(micro-crack)이 발생할 수 있다. 또한, 기판을 면취하는 공정시 절단면에 버(burr)가 발생하는 깨짐 불량이 생기는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 주된 목적은 레이저 조사시 응력 발생을 최소화하여 절단면에 깨짐 불량을 최소화할 수 있는 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 조사 장치는, 접합부재를 이용하여 제1 기판과 제2 기판을 접합하는 레이저 조사 장치에 있어서, 상기 제1 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 배치되는 상기 접합부재에 레이저를 조사하는 레이저 발진 부재와, 상기 제1 기판의 온도를 소정의 온도로 유지하는 온도 유지 부재를 구비한다.
본 발명에 있어서, 상기 온도 유지 부재는 상기 제1 기판을 가열하여 상기 소정의 온도로 유지함으로써 상기 레이저가 조사되는 부분과 상기 레이저가 조사되지 않는 부분에서 발생하는 응력을 감소시킬 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 온도 유지 부재는 상기 레이저를 상기 접합부재에 조사하는 중에 상기 제1 기판을 상기 소정의 온도로 유지할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 소정의 온도는 대략 25 내지 150℃일 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 온도 유지 부재는 상기 스테이지 내부에 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 온도 유지 부재는 상기 제1 기판과 상기 스테이지 사이에 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 온도 유지 부재는 상기 기판을 상기 소정의 온도로 가열하고 유지할 수 있는 열선일 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 접합부재는 프릿(frit)으로 이루어질 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 레이저가 상기 접합부재에만 조사되도록 상기 접합부재에 대응하는 부분에 패턴이 형성된 마스크를 더 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 기판은 유기 발광부를 갖는 복수 개의 셀을 구비하며, 상기 제2 기판은 상기 셀들을 밀봉하도록 상기 제1 기판 상에 배치되며, 상기 접합부재는 상기 셀들 각각을 둘러싸도록 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 도포될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 접합부재를 이용하여 제1 기판과 제2 기판을 접합하는 레이저 조사 장치를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 제2 기판 상에 접합부재를 도포하는 단계와, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 합착하는 단계와, 합착된 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 상기 레이저 조사 장치의 스테이지 상에 안착하는 단계와, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 소정의 온도로 유지하는 단계와, 상기 접합부재에 레이저를 조사하여 상기 접합부재를 경화시켜 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접합하는 단계를 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 소정의 온도로 유지하는 단계는, 상기 제1 기판상에 형성된 발광부의 열화가 발생하지 않는 소정의 온도로 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 가열하는 단계와, 상기 온도를 유지하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 소정의 온도로 유지하는 단계는, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 대략 25 내지 150℃로 유지할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 접합부재는 프릿일 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 접합부재에 레이저를 조사하는 중에도 상기 온도를 유지할 수 있다.
상기와 같이 이루어진 본 발명의 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 평판 디스플레이 장치 제조 방법에 따르면, 레이저 조사 시 발행하는 응력을 방지하여 절단면의 깨짐 불량을 감소시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면에 도시된 본 발명의 실시예를 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. 그러나. 본 발명은 이밖에도 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면 상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 조사 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 레이저 조사 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 1 및 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 조사 장치는(100)는 스테이지(110), 레이저 발진 부재(120), 마스크(140), 및 온도 유지 부재(150)를 구비한다.
스테이지(110) 상에는 제1 기판(101) 및 제2 기판(102)이 안착된다. 스테이지(110)는 레이저가 조사되는 동안에 제1 기판(101)과 제2 기판(102)을 고정시킨다. 그리고, 제1 기판(101)과 제2 기판(102) 사이에는 접합부재(103)가 도포되어 있다.
레이저 발진 부재(120)는 제1 기판(101)과 제2 기판(102) 사이의 접합부재(103)에 레이저를 조사하여, 접합부재(103)를 용융 접착시킨다.
레이저 발진 부재(120)는 레이저 헤드(121)와 레이저 헤드 가이드(122)로 이루어질 수 있다. 레이저 헤드(121)는 레이저 헤드 가이드(122)에 의해 지지되며, 기판(101, 102)의 상부를 이동 가능하게 장착될 수 있다. 레이저 헤드(121)는 레이저 헤드 가이드(122)를 따라 이동하면서 제2 기판(102) 상에서 접합부재(103)을 향 하여 레이저를 조사한다.
마스크(140)는 제2 기판(102) 상측에 안착된다. 마스크(140)는 접착부재(103)에 대응하는 영역에 패턴이 형성되어 있어 레이저 헤드(121)에서 조사되는 레이저가 접착부재(103)에 조사되며 발광부(104)로는 레이저가 차단되어 레이저로 부터 발광부(104)를 보호한다.
접합부재(103)은 제1 기판(101)과 제2 기판(102) 사이에 배치되며 레이저에 의해 용융되어 제1 기판(101)과 제2 기판(102)을 합착할 수 있다. 접합부재(103)로는 프릿(frit)이 이용될 수 있다. 프릿은 분말 상태의 유리라는 의미로 사용되나, 본 발명에서의 프릿은 분말 상태에 유기물을 첨가한 젤 상태의 유리 및 레이저를 조사하여 경화된 고체 상태의 유리를 통칭하여 사용한다.
온도 유지 부재(150)는 기판(101, 102)을 소정의 온도로 유지할 수 있다. 온도 유지 부재(150)는 레이저가 조사되기 전에 기판(101, 102)을 소정의 온도까지 가열한 후 레이저가 조사되는 동안에 기판(101, 102)을 상기 소정의 온도로 유지할 수 있다. 또한, 온도 유지 부재(150)는 레이저가 조사됨과 동시에 기판(101, 102)을 소정의 온도로 가열하여 레이저가 조사되는 동안에 기판(101, 102)을 상기 소정의 온도로 유지할 수 있다.
온도 유지 부재(150)는 레이저 조사 중에 기판(101, 102)을 소정의 온도로 유지함으로써 응력 발생을 감소시킬 수 있다. 상세하게는, 접합부재(103)에 레이저를 조사하는 경우, 레이저에 의해 접합부재(103)는, 특히 프릿은 대략 800 내지 1000℃까지 가열된다. 그러나, 레이저는 접합부재(103)에 집중되어 조사된다. 또 한, 마스크(140)에 의해 레이저가 발광부(104)에 도달하는 것을 차단하므로 발광부(104)는 고열의 레이저로부터 영향이 최소화된다. 그러나, 레이저가 조사된 부분과 조사되지 않은 부분 사이에는 응력이 발생하게 되어 기판(101, 102)을 면취하는 경우 절단면에 깨짐 불량이 생길 수 있다. 상기 응력은 레이저가 조사된 부분은 고열으로 가열되고 레이저가 조사되지 않은 부분은 가열되지 않으므로 온도 차이에 의해 발생하게 된다. 본 발명의 온도 유지 부재(150)는 레이저가 조사되는 동안에 기판(101, 102) 전체를 상기 소정의 온도로 가열하고 이를 유지함으로써 레이저가 조사되는 부분과 조사되지 않은 부분 사이의 응력 발생을 최소화할 수 있다.
이를 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도 3을 기판(101, 102)의 평면도이다. 도 3을 참조하면, 제1 기판(101) 상에는 복수 개의 셀(C1, C2, …)이 배치되어 있다. 셀(C1, C2, …) 각각은 발광부(104)와, 셀(C1, C2, …) 각각을 둘러싸는 접합부재(103)를 구비할 수 있다. 제1 기판(101)과 제2 기판(102)가 접합된 후에는 셀(C1, C2, …) 별로 면취되며, 면취된 각각의 셀(C1, C2, …) 들이 평판 디스플레이 장치로 사용된다.
레이저는 통상적으로 셀(C1, C2, …) 각각의 접합부재(103)를 조사한다. 즉, 레이저 헤드(121)는 셀(C1)의 접합부재(103)를 따라 조사한 후, 인접한 셀(C2)의 접합부재(103)를 조사한다.
제1 기판(103) 상에 형성된 셀들(C1, C2, …) 사이의 간격(t)은 수mm 내지 수십mm로 매우 좁으며, 레이저로 셀(C1)의 접합부재(103)를 조사하는 동안에는 조사되는 부분만이 고열로 가열되고 셀(C1)에 인접한 셀(C2)은 레이저로 가열되지 않 으므로 레이저가 조사된 부분과 레이저가 조사되지 않은 부분 사이에는 응력이 생겨 기판(101, 102)에 마이크로 크랙이 발생할 수 있으며 면취시에는 절단면에 버가 발생할 수 있다.
그러나, 본 발명은 온도 유지 부재(150)에 의해 레이저가 조사되는 동안에도 기판(101, 102)을 소정의 온도로 유지하므로 레이저 조사가 조사된 부분과 조사되지 않은 부분 사이의 온도를 축소시켜 이들 부분에 발생할 수 있는 응력을 감소시킬 수 있다. 이에 따라 면취시 발생하는 절단면의 깨짐 불량의 발생을 감소시킨 수 있다.
또한, 레이저 조사 중에 기판(101, 102)을 소정의 온도로 가열하여 이를 유지하므로 레이저 조사 후에 행하는 레이저 어닐링(Laser annealing) 공정을 생략할 수 있다. 이와 같이 공정단계를 줄여 생산성을 증가시킬 수 있다.
온도 유지 부재(150)는 발광부(104)의 열화를 방지할 수 있는 온도까지 기판(101, 102)을 가열하고 이를 유지할 수 있다. 평판 디스플레이 장치인 경우에는 발광부(104)는 유기 발광 소자이며, 이 경우 유기 발광 소자의 열화를 막을 수 있는 온도는 대략 100℃이므로 온도 유지 부재(150)는 대략 25 내지 150℃로 기판(101, 102)을 가열하고 유지할 수 있다. 기판(101, 102)의 온도가 25 내지 150℃로 유지되는 경우에 발광부(104)의 열화를 방지하면서 절단면의 깨짐 불량을 감소시킬 수 있다.
온도 유지 부재(150)는 도 1 및 2에 도시된 바와 같이 스테이지(110) 내부에 배치될 수 있다. 또 다른 변형예로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 온도 유지 부 재(150)는 스테이지(110) 상에 배치될 수 있다. 이 경우 제1 기판(101)은 온도 유지 부재(150) 상에 안착된다.
온도 유지 부재(150)는 기판(101, 102)을 소정의 온도로 가열하고 유지할 수 있는 열선으로 이루어질 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 관한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법을 설명한다.
우선, 제1 기판(101)과, 제2 기판(102)을 마련한다. 제1 기판(101) 상에 발광부(104)를 배치하고, 제2 기판(102) 상에는 접합부재(103)를 배치한다.
다음으로, 제1 기판(101)과 제2 기판(102)을 합착한다. 제1 기판(101)과 제2 기판(102)을 합착한 경우, 접합부재(103)는 발광부(104)를 둘러싸게 된다.
이어서, 합착된 기판(101, 102)을 레이저 조사 장치의 스테이지(110) 상에 안착시킨다. 스테이지(110)는 레이저가 조사되는 동안 기판(101, 102)을 고정시킨다.
기판(101, 102)을 스테이지(110) 상에 안착시킨 후에는 기판(101, 102)을 소정의 온도로 가열하고 이를 유지한다. 기판(101, 102)은 발광부(104)에 열화가 발생하지 않을 온도까지 가열하고 이를 유지한다. 평판 디스플레이 장치가 유기 발광 디스플레이 장치인 경우에는 발광부(104)는 유기 발광 소자를 구비하고 있으므로 기판(101, 102)은 유기 발광 소자가 열화되지 않는 온도인 25 내지 150℃로 가열되고 유지될 수 있다.
기판(101, 102)이 상기 소정의 온도로 가열되어 유지된 상태에서 레이저는 접합부재(103)에 조사되어 접합부재(1030)를 용융하여 제1 기판(101)과 제2 기판(102)을 실링한다.
접합부재(103)는 프릿일 수 있다.
도 5은 본 발명의 유기 발광 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도로서, 디스플레이부(300)의 구체적인 구성을 예시적으로 도시하고 있다.
도 5를 참조하면, 기판(301) 상에 복수 개의 박막 트랜지스터(320)들이 구비되어 있고, 이 박막 트랜지스터(320)들 상부에는 유기 발광 소자(330)가 구비되어 있다. 유기 발광 소자(330)는 박막 트랜지스터(320)에 전기적으로 연결된 화소전극(331)과, 기판(301)의 전면(全面)에 걸쳐 배치된 대향전극(335)과, 화소전극(331)과 대향전극(335) 사이에 배치되며 적어도 발광층을 포함하는 중간층(333)을 구비한다.
기판(301) 상에는 게이트 전극(321), 소스 전극 및 드레인 전극(323), 반도체층(327), 게이트 절연막(313) 및 층간 절연막(315)을 구비한 박막 트랜지스터(320)가 구비되어 있다. 물론 박막 트랜지스터(320) 역시 도 5에 도시된 형태에 한정되지 않으며, 반도체층(327)이 유기물로 구비된 유기 박막 트랜지스터, 실리콘으로 구비된 실리콘 박막 트랜지스터 등 다양한 박막 트랜지스터가 이용될 수 있다. 이 박막 트랜지스터(320)와 기판(301) 사이에는 필요에 따라 실리콘 옥사이드 또는 실리콘 나이트라이드 등으로 형성된 버퍼층(311)이 더 구비될 수도 있다.
유기 발광 소자(330)는 상호 대향된 화소전극(331) 및 대향전극(335)과, 이들 전극 사이에 개재된 유기물로 된 중간층(333)을 구비한다. 이 중간층(333)은 적 어도 발광층을 포함하는 것으로서, 복수개의 층들을 구비할 수 있다. 이 층들에 대해서는 후술한다.
화소전극(331)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대항전극(335)은 캐소드 전극의 기능을 한다. 물론, 이 화소전극(331)과 대항전극(335)의 극성은 반대로 될 수도 있다.
화소전극(331)은 투명전극 또는 반사전극으로 구비될 수 있다. 투명전극으로 구비될 때에는 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3로 형성될 수 있고, 반사전극으로 구비될 때에는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 또는 이들의 화합물 등으로 형성된 반사막과, 그 위에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3로 형성된 막을 구비할 수 있다.
대항전극(335)도 투명전극 또는 반사전극으로 구비될 수 있는데, 투명전극으로 구비될 때는 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Mg 또는 이들의 화합물이 화소전극(331)과 대항전극(335) 사이의 중간층(333)을 향하도록 증착된 막과, 그 위에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3 등의 투명전극 형성용 물질로 형성된 보조 전극이나 버스 전극 라인을 구비할 수 있다. 그리고, 반사형 전극으로 구비될 때에는 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Mg 또는 이들의 화합물을 증착함으로써 구비될 수 있다.
한편, 화소 정의막(PDL: pixel defining layer, 219)이 화소전극(331)의 가장자리를 덮으며 화소전극(331) 외측으로 두께를 갖도록 구비된다. 이 화소 정의막(319)은 발광 영역을 정의해주는 역할 외에, 화소전극(331)의 가장자리와 대항전극(335) 사이의 간격을 넓혀 화소전극(331)의 가장자리 부분에서 전계가 집중되는 현상을 방지함으로써 화소전극(331)과 대항전극(335)의 단락을 방지하는 역할을 한다.
화소전극(331)과 대항전극(335) 사이에는, 적어도 발광층을 포함하는 다양한 중간층(333)이 구비된다. 이 중간층(333)은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물로 형성될 수 있다.
저분자 유기물을 사용할 경우 정공 주입층(HIL: hole injection layer), 정공 수송층(HTL: hole transport layer), 유기 발광층(EML: emission layer), 전자 수송층(ETL: electron transport layer), 전자 주입층(EIL: electron injection layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있으며, 사용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘 (N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB), 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양하게 적용 가능하다. 이들 저분자 유기물은 마스크들을 이용한 진공증착 등의 방법으로 형성될 수 있다.
고분자 유기물의 경우에는 대개 홀 수송층(HTL) 및 발광층(EML)으로 구비된 구조를 가질 수 있으며, 이 때, 상기 홀 수송층으로 PEDOT를 사용하고, 발광층으로 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 유기물질을 사용한다.
이러한 유기 발광 소자(330)는 그 하부의 박막 트랜지스터(320)에 전기적으로 연결되는데, 이때 박막 트랜지스터(320)를 덮는 평탄화막(317)이 구비될 경우, 유기 발광 소자(330)는 평탄화막(317) 상에 배치되며, 유기 발광 소자(330)의 화소전극(331)은 평탄화막(317)에 구비된 컨택홀을 통해 박막 트랜지스터(320)에 전기적으로 연결된다.
한편, 기판 상에 형성된 유기 발광 소자(330)는 봉지 기판(302)에 의해 밀봉된다. 봉지 기판(302)은 전술한 바와 같이 글라스 또는 플라스틱재 등의 다양한 재료로 형성될 수 있다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 조사 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 레이저 조사 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 1의 제1 기판을 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 다른 레이저 조사 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명에 관한 유기 발광 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
101: 제1 기판 102: 제2 기판
103: 접합부재 104: 발광부
120: 레이저 발진 부재 140: 마스크
150: 온도 유지 부재

Claims (15)

  1. 접합부재를 이용하여 제1 기판과 제2 기판을 접합하는 레이저 조사 장치에 있어서,
    상기 제1 기판이 안착되는 스테이지;
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 배치되는 상기 접합부재에 레이저를 조사하는 레이저 발진 부재; 및
    상기 제1 기판의 온도를 소정의 온도로 유지하는 온도 유지 부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 온도 유지 부재는 상기 제1 기판을 가열하여 상기 소정의 온도로 유지함으로써 상기 레이저가 조사되는 부분과 상기 레이저가 조사되지 않는 부분에서 발생하는 응력을 감소키는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 온도 유지 부재는 상기 레이저를 상기 접합부재에 조사하는 중에 상기 제1 기판을 상기 소정의 온도로 유지하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 소정의 온도는 대략 25 내지 150℃인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 온도 유지 부재는 상기 스테이지 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 온도 유지 부재는 상기 제1 기판과 상기 스테이지 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 온도 유지 부재는 상기 기판을 상기 소정의 온도로 가열하고 유지할 수 있는 열선인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 접합부재는 프릿(frit)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 레이저가 상기 접합부재에만 조사되도록 상기 접합부재에 대응하는 부분에 패턴이 형성된 마스크를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제1 기판은 유기 발광부를 갖는 복수 개의 셀을 구비하며,
    상기 제2 기판은 상기 셀들을 밀봉하도록 상기 제1 기판 상에 배치되며,
    상기 접합부재는 상기 셀들 각각을 둘러싸도록 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 도포되는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  11. 접합부재를 이용하여 제1 기판과 제2 기판을 접합하는 레이저 조사 장치를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법에 있어서,
    상기 제2 기판 상에 접합부재를 도포하는 단계;
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 합착하는 단계;
    합착된 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 상기 레이저 조사 장치의 스테이지 상에 안착하는 단계; 및
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 소정의 온도로 유지하는 단계;
    상기 접합부재에 레이저를 조사하여 상기 접합부재를 경화시켜 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접합하는 단계;를 구비하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 소정의 온도로 유지하는 단계는,
    상기 제1 기판상에 형성된 발광부의 열화가 발생하지 않는 소정의 온도로 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 가열하는 단계; 및
    상기 온도를 유지하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 소정의 온도로 유지하는 단계는,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 대략 25 내지 150℃로 유지하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 접합부재는 프릿인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 접합부재에 레이저를 조사하는 중에도 상기 온도를 유지하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법.
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