KR20100110696A - Structure of coating body of vacuum deposition coating device - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An arrangement structure for coated members of a vacuum deposition coating machine is provided to improve processing steps by coating the five surfaces of a cubic product at once. CONSTITUTION: An arrangement structure for coated members of a vacuum deposition coating machine comprises a ring-shaped carrier(102), a stationary gear(104), a plurality of mobile gear(105), a cylinder(106) and a plurality of product hangers(107). The carrier is installed on a base and is rotated with a motor(103). The stationary gear is fixed on the base. A coated material(108) is placed in a plurality of product hangers.

Description

진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조{omitted}Structure to be coated in vacuum deposition coating apparatus

본 발명은 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조에 관한 것으로, 진공증착장치 내부의 베이스위에 안치되는 육면체의 제품을 코팅함에 있어서, 그 배치구조에 대한 것이다The present invention relates to a to-be-coated body arrangement of a vacuum deposition coating apparatus, and in the coating of a hexahedron product placed on a base inside a vacuum deposition apparatus, the arrangement structure thereof.

상기 진공증착 코팅장치의 챔버의 외통(10)과 내통(20)에 걸쳐서 글로우 방전 또는 플라즈마 방전을 발생시키는 방전수단(24,24')이 대향하여 설치되어 있어 전원공급장치(13)로부터 전원이 공급받아 방전대를 형성하고, 상기한 플라즈마 방전 또는 글로우 방전에 필요한 불활성 주입가스(Ar, N2, He)를 공급하는 가스 입력구(11)를 구비하고, 외통의 타측에는 진공 배기하기 위한 진공배기 수단(12)을 구비하고 있다.Discharge means (24, 24 ') for generating a glow discharge or a plasma discharge across the outer cylinder (10) and the inner cylinder (20) of the chamber of the vacuum deposition coating apparatus is provided opposite to the power supply from the power supply device (13) A gas input port 11 for supplying an inert injection gas (Ar, N2, He) required for the plasma discharge or the glow discharge, which is supplied to form a discharge zone, and on the other side of the outer cylinder, a vacuum exhaust for exhausting the vacuum; Means 12 are provided.

또한 기성 사출품(피코팅체)이 내주면의 치구(21)에 장착된 상태에서 코팅물질을 용융시켜 코팅하는 이베퍼레이터(23 ; Evaporator)와 스퍼터링 타겟(22)이 구비되어 있다.In addition, an evaporator 23 and a sputtering target 22 for melting and coating a coating material in a state where a ready-made injection molded product (coated body) is mounted on the jig 21 on the inner circumferential surface are provided.

그리고 상기 스퍼터링 타겟 (22)은 고정 수단(26)에 장착되어 있다.The sputtering target 22 is attached to the fixing means 26.

여기서 상기 이베퍼레이터(23)는 저항가열식 또는 전자빔 방식으로 코팅물질 을 용융증발시켜 코팅하고, 상기 스퍼터링 타겟은 코팅물질을 스퍼터하여 분산시켜 피코팅체를 코팅하게 된다.Here, the evaporator 23 is coated by melting and evaporating the coating material by resistance heating or electron beam method, and the sputtering target is sputtered and dispersed to coat the coating material.

상기 저항 가열방식은 저항체에 전류를 흘려 주울열을 발생하는것을 이용한 가열방식을 사용한다. 여기서는 물체에 직접 전류를 흘려서 가열하는 직접식과 발열체의 열을 복사 대류 전도등으로 피가열물에 전달하는 간접식의 양자 방식을 모두 채택할 수 있다.The resistance heating method uses a heating method using a current to flow through the resistor to generate Joule heat. In this case, both a direct method of heating a current directly through an object and an indirect method of transferring heat from a heating element to a heated object by radiant convection conduction can be adopted.

플라즈마 또는 글로우 방전은 상기한 방전 수단(24, 24') 사이에서 상기한 불활성 주입가스와 전원 공급장치(13)으로부터 공급된 고압 전압의 스파크에 의해서 플라즈마 또는 글로우 방전대(25)가 형성된다. 이러한 상태에서 상기 내통(20)이 회전하면서 치구(21)에 안착되어 있는 피코팅체의 코팅부위에 상기한 방전대를 거치면서 에칭이 이루어지고, 이와 동시에 스퍼터링 타겟(22) 및/또는 이베퍼레이터(23)에 의해서 용융된 코팅물질이 비산 또는 스퍼터되어 상기한 피코팅체에 다층의 전도성 실드막이 형성되게 된다.In the plasma or glow discharge, the plasma or glow discharge zone 25 is formed by the above-described inert injection gas and the high-voltage voltage spark supplied from the power supply device 13 between the discharge means 24 and 24 '. In this state, the inner cylinder 20 is rotated while etching is carried out through the above-described discharge zone on the coated portion of the coated body seated on the jig 21, and at the same time, the sputtering target 22 and / or the evaporer The molten coating material is scattered or sputtered by the radar 23 so that a multilayer conductive shield film is formed on the coated object.

이상과 같이 피코팅체의 코팅 공정을 요약하면, 코팅하고자 하는 기판(피코팅체)을 내통(20)의 치구(21)에 장착한 후, 진공배기 장치(12)를 통하여 진공증착 챔버(1)를 진공배기하고, 챔버내가 일정한 진공상태에 도달하면 치구(21)가 장착된 내통(20)을 회전시켜 피코팅체의 코팅할 부분이 상기 플라즈마 또는 글로우 방전대에서 에칭이 이루어지는 동시에, 상기 스퍼터링 타겟(22) 또는 이배퍼레이터(23)로부터 용융 비산 또는 스퍼터되는 코팅물질이 피코팅체로 균일하게 코팅이 이루어지는 것이다.Summarizing the coating process of the to-be-coated body as described above, after mounting the substrate (to-be-coated body) to be coated on the jig 21 of the inner cylinder 20, the vacuum deposition chamber 1 through the vacuum exhaust device 12 ), And when the chamber reaches a constant vacuum, the inner cylinder 20 equipped with the jig 21 is rotated so that the portion to be coated is etched in the plasma or glow discharge zone, and the sputtering The coating material melted or scattered from the target 22 or the evaporator 23 is uniformly coated with the to-be-coated body.

이상 기술한 바와 같은 진공 증착 코팅 방법으로 피코팅체(사출품)인 폴리카보네이트 또는 플라스틱재로된 기판, 수지 또는 도료의 중간 밀착막층, 구리 또는 은으로 된 주전도성 박막층, SUS 또는 Ni로 된 막보호 박막층이 적층된 도전성 필름실드막이 형성된 코팅 적층체를 얻을 수 있다.The above-described vacuum vapor deposition coating method is a substrate made of a polycarbonate or plastic material to be coated (injected product), an intermediate adhesion film layer of resin or paint, a main conductive thin film layer made of copper or silver, a film made of SUS or Ni. The coating laminated body in which the electroconductive film shield film in which the protective thin film layer was laminated | stacked was formed can be obtained.

고진공 펌프와 확산펌프는 진공 코팅장치에서 통상적으로 사용되는 장치이다.High vacuum pumps and diffusion pumps are devices commonly used in vacuum coating equipment.

종래 기술에서 치구에 걸친 피코팅체는 3면만 코팅이 가능하다. 그러나 주로 육면체의 피코팅체중 5면을 코팅할 경우에는 상기 피코팅체를 코팅한 후 다시 방향을 돌려 치구에 장착한 후 코팅하여야 하는 번거러움이 있었고, 당연히 작업효율이 떨어진다는 단점이 있었다.In the prior art, the coated body over the jig can be coated on only three sides. However, in the case of coating five surfaces of the coated body of the hexahedron, there is a hassle that has to be coated after mounting the jig to be mounted on the jig again after the coating the coated body, there was a disadvantage of poor work efficiency.

따라서 본 발명에서는 치구에 고정되는 피코팅체에서 5면을 한 번에 코팅할 수 있게 피코팅체 걸이구조를 제공하는 것이다Therefore, the present invention is to provide a coated body hanger structure so that five surfaces can be coated at a time from the coated body fixed to the jig.

위 과제를 해결하기 위한 본발명의 구성은, 베이스(101)위에 고리 형상의 캐리어(102)가 설치되고, 상기 캐리어(102)는 모터(103)에 의해 회전되되, 캐리어(102) 위에 다시 고정기어(104)를 설치하며, 상기 고정기어(104)는 캐리어(102)가 아닌 베이스(101)에 고정되는 것으로, 캐리어(102)의 중공부분을 통해 고정기어(104)의 하부가 베이스상부에 결합되는 것이며, 또한, 다수 개의 이동기어(105)가 캐리어(102) 위에 설치되되, 이동기어(105)들은 각각 고정기어(104)와 기어접촉함으로써, 상기 캐리어(102)가 자전함에 따라 각각의 이동기어(105)들은 공전과 자전운동을 동시에 하게 되며, 상기 각각의 이동기어(105)위에 원통(106)을 고정설치하고, 원통(106)의 외주면에 다수 개의 제품걸이(107)를 설치하여 상기 제품걸이(107)에는 피코팅체(108)를 안치시키며, 이동기어의 상부에 이격되며 원통 내부에 설치되는 제1베벨기어(109)를 형성하되, 이동기어 중심축에 관통홀이 형성되어, 상기 관통홀을 통해 제1베벨기어의 수직축이 캐리어 상면에 고정되어 있으며, 상기 제1베벨기어와 1쌍이 되게 제2베벨기어(110)가 설치되고 제2베벨기어의 수평축은 원통의 외부로 관통되며, 수평축의 타단에 피코팅체(108)를 안치시키는 제품걸이(107)가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조이다.The present invention for solving the above problems, the annular carrier 102 is installed on the base 101, the carrier 102 is rotated by the motor 103, but is fixed again on the carrier 102 Gear 104 is installed, the fixed gear 104 is fixed to the base 101, not the carrier 102, the lower portion of the fixed gear 104 through the hollow portion of the carrier 102 on the base In addition, a plurality of mobile gear 105 is installed on the carrier 102, the mobile gear 105 is in gear contact with the fixed gear 104, respectively, so that each of the carrier 102 is rotated The mobile gears 105 are rotating and rotating at the same time, and fixed to the cylinder 106 on each of the mobile gear 105, by installing a plurality of product hangers 107 on the outer peripheral surface of the cylinder 106 The product hanger 107 is placed on the to-be-coated body 108, the upper portion of the moving gear A first bevel gear 109 is formed in the cylinder, and a through hole is formed in the central axis of the moving gear, and the vertical axis of the first bevel gear is fixed to the upper surface of the carrier through the through hole. The second bevel gear 110 is installed in pairs with the first bevel gear, the horizontal axis of the second bevel gear penetrates to the outside of the cylinder, and a product hanger 107 for placing the coated body 108 on the other end of the horizontal axis. The coated body arrangement structure of the vacuum deposition coating apparatus, characterized in that the installation.

따라서 본발명은 육면체의 제품을 코팅함에 있어서 5면을 한 번에 코팅하게 됨으로 작업이 간단하고 작업효율이 향상되는 현저한 효과가 있는 것이다.Therefore, the present invention has a remarkable effect that the work is simple and the work efficiency is improved by coating five surfaces at a time in coating a hexahedral product.

본발명은 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구에 관한 것으로, 그 구성은 베이스(101)위에 고리 형상의 캐리어(102)가 설치되고, 상기 캐리어(102)는 모터(103)에 의해 회전되되, 캐리어(102) 위에 다시 고정기어(104)를 설치하며, 상기 고정기어(104)는 캐리어(102)가 아닌 베이스(101)에 고정되는 것으로, 캐리어(102)의 중공부분을 통해 고정기어(104)의 하부가 베이스상부에 결합되는 것이며, 또한, 다수 개의 이동기어(105)가 캐리어(102) 위에 설치되되, 이동기어(105)들은 각각 고정기어(104)와 기어접촉함으로써, 상기 캐리어(102)가 자전함에 따라 각각의 이동기어(105)들은 공전과 자전운동을 동시에 하게 되며, 상기 각각의 이동기어(105)위에 원통(106)을 고정설치하고, 원통(106)의 외주면에 다수 개의 제품걸이(107)를 설치하여 상기 제품걸이(107)에는 피코팅체(108)를 안치시키는 것을 특징으로 하는 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조이다.The present invention relates to the arrangement of the coating body of the vacuum deposition coating apparatus, the configuration of which is provided with an annular carrier 102 on the base 101, the carrier 102 is rotated by a motor 103 In addition, the fixed gear 104 is installed on the carrier 102 again, and the fixed gear 104 is fixed to the base 101 instead of the carrier 102, and the fixed gear (through the hollow portion of the carrier 102) The lower part of the 104 is coupled to the upper portion of the base, and a plurality of moving gears 105 are installed on the carrier 102, and the moving gears 105 are in gear contact with the fixed gear 104, respectively. As the 102 rotates, each of the moving gears 105 rotates and rotates at the same time. The cylinders 106 are fixedly installed on the respective moving gears 105 and a plurality of cylinders are formed on the outer circumferential surface of the cylinder 106. The product hanger 107 is installed to the product hanger 107 to be coated body 108 A blood-coated body arrangement of the vacuum vapor deposition coating apparatus, comprising a step value.

또한, 본발명은 상기 모터와 캐리어 사이에는 다수 개의 중간기어들이 연결되어 있어서 모터의 힘을 캐리어에 전달하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조이다.In addition, the present invention is a structure of the coated body of the vacuum deposition coating apparatus, characterized in that a plurality of intermediate gears are connected between the motor and the carrier to transfer the power of the motor to the carrier.

또한, 본발명은, 상기 캐리어의 표면에는 축홈이 형성되어 있어 이동기어의 중심축이 상기 축홈에 결합되되, 축홈이 중심축을 지지하기만 할 뿐 움직이지 않게 고정하는 것은 아닌 것을 특징으로 하는 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조이다.In addition, the present invention, the surface of the carrier is formed with a shaft groove is a vacuum deposition, characterized in that the central shaft of the mobile gear is coupled to the shaft groove, the shaft groove only supports the central axis, but not fixedly fixed It is a structure of the coated body of the coating apparatus.

또한, 본발명은, 상기 이동기어의 상부에 이격되며 원통 내부에 설치되는 제1베벨기어(109)를 형성하되, 이동기어 중심축에 관통홀이 형성되어, 상기 관통홀을 통해 제1베벨기어의 수직축이 캐리어 상면에 고정되어 있으며, 상기 제1베벨기어와 1쌍이 되게 제2베벨기어(110)가 설치되고 제2베벨기어의 수평축은 원통의 외부로 관통되며, 수평축의 타단에 피코팅체(108)를 안치시키는 제품걸이(107)가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조이다.In addition, the present invention, while forming a first bevel gear 109 spaced at the upper portion of the mobile gear is installed inside the cylinder, a through hole is formed in the central axis of the moving gear, the first bevel gear through the through hole The vertical axis is fixed to the upper surface of the carrier, the second bevel gear 110 is installed in pairs with the first bevel gear, the horizontal axis of the second bevel gear penetrates to the outside of the cylinder, the coated body on the other end of the horizontal axis A product hanger arrangement structure of a vacuum evaporation coating apparatus, characterized in that a product hanger 107 is placed to settle 108.

또한, 본발명은, 상기 제1베벨기어와 제2베벨기어는 여러 개 설치되며 적층 식으로 수직으로 일정거리를 이격하고 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조이다.In addition, the present invention, the plurality of the first bevel gear and the second bevel gear is a coating structure arrangement structure of the vacuum deposition coating apparatus, characterized in that installed a predetermined distance apart vertically in a stacked manner.

이하 본발명에 대해 도면을 참고로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 진공 증착 코팅 장치의 내부 평면도이고, 도 2는 본발명 진공 증착 커팅 장치의 전체 정면도이고, 도 3은 본발명 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조의 단면도이고, 도 4는 본발명의 실시예 요부 사진이다.1 is an internal plan view of a conventional vacuum deposition coating apparatus, FIG. 2 is an overall front view of a vacuum deposition cutting apparatus of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view of a structure of a coated body of the vacuum deposition coating apparatus of the present invention, and FIG. The main part of the invention is a photograph.

본발명은 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구에 관한 것으로, 그 구성은 베이스(101)위에 고리 형상의 캐리어(102)가 설치되고, 상기 캐리어(102)는 모터(103)에 의해 회전된다. 모터의 축에는 다수 개의 중간기어들을 연결하여 회전토오크가 증대하게 한다. 캐리어는 중심이 비어 있음으로 이 위에 고정기어가 안치될 수 있다.The present invention relates to a coated body arrangement of the vacuum deposition coating apparatus, the configuration of which is provided with an annular carrier 102 on the base 101, the carrier 102 is rotated by a motor 103 . A plurality of intermediate gears are connected to the shaft of the motor to increase the rotation torque. The carrier has an empty center so that a fixed gear can be placed thereon.

곧 캐리어(102) 위에는 원형의 고정기어(104)를 설치하며, 상기 고정기어(104)는 캐리어(102)가 아닌 베이스(101)에 고정되는 것으로, 캐리어(102)의 중공부분을 통해 고정기어(104)의 하부가 베이스 상부에 결합되는 것이다. 곧 캐리어가 모터에 의해 자전운동을 하더라도 고정기어는 모터나 캐리어의 동력이 전달되지 않아 베이스 상부에 고정되어 있는 것이다.In other words, a circular fixed gear 104 is installed on the carrier 102, and the fixed gear 104 is fixed to the base 101 instead of the carrier 102, and the fixed gear through the hollow portion of the carrier 102. The lower part of 104 is coupled to the upper part of the base. In other words, even if the carrier rotates by the motor, the fixed gear is fixed to the upper base because the power of the motor or the carrier is not transmitted.

또한, 다수 개의 이동기어(105)가 캐리어(102) 위에 설치되되, 이동기어(105)들은 각각 고정기어(104)와 긴밀하게 기어접촉함으로써, 상기 캐리어(102)가 자전함에 따라 각각의 이동기어(105)들은 공전과 자전운동을 동시에 하게 된다. 한편, 상기 캐리어의 표면에는 축홈이 형성되어 있어 이동기어의 중심축이 상기 축홈 에 결합되되, 축홈이 중심축을 지지하기만 할 뿐 움직이지 않게 고정하는 것은 아니다. 그러므로 상기 캐리어(102)가 자전함에 따라 각각의 이동기어(105)들은 공전과 자전운동을 동시에 하게 된다. 이는 본 발명 도면에 의해서도 알 수 있는 바이다.In addition, a plurality of mobile gear 105 is installed on the carrier 102, each of the mobile gear 105 in close gear contact with the fixed gear 104, so that each of the mobile gear as the carrier 102 rotates (105) will be both a revolution and a rotating movement. On the other hand, the surface of the carrier has a shaft groove is formed so that the central axis of the mobile gear is coupled to the shaft groove, the shaft groove only supports the central axis is not fixed to move. Therefore, as the carrier 102 rotates, each of the mobile gears 105 rotates and rotates simultaneously. This can be seen from the drawings of the present invention.

그리고 상기 각각의 이동기어(105)위에는 원통(106)을 고정설치한다. 원통(106)의 외주면에는 다수 개의 제품걸이(107)를 설치하여 상기 제품걸이(107)에는 피코팅체(108)를 안치시킨다. 이렇게 구성함으로써 제품걸이에 걸린 피코팅체는 육면체일 경우 3면에 코팅이 가능하다.And a cylindrical cylinder 106 is fixedly installed on each of the moving gears 105. A plurality of product hangers 107 are installed on the outer circumferential surface of the cylinder 106 so that the coated body 108 is placed on the product hangers 107. In this way, the coated object on the product hanger can be coated on three sides in the case of a hexahedron.

한편, 상기 이동기어의 상부에 이격되며 원통 내부에 설치되는 제1베벨기어(109)를 형성한다. 그리고 이동기어 중심축에는 관통홀이 별도로 형성되어, 상기 관통홀을 통해 제1베벨기어의 수직축이 캐리어 상면에 고정되어 있게 되며, 상기 제1베벨기어와 1쌍이 되게 제2베벨기어(110)가 설치되고, 제2베벨기어의 수평축은 원통의 외부로 관통되며, 수평축의 타단에 피코팅체(108)를 안치시키는 제품걸이(107)가 설치된다. 이러한 구성에 의해 제품걸이가 회전하게 됨으로써, 제품걸이에 안치된 피코팅체(108)는 육면체의 경우 5개면이 한 번에 코팅이 되는 것이다.Meanwhile, a first bevel gear 109 spaced apart from the upper portion of the mobile gear and installed inside the cylinder is formed. In addition, a through hole is formed in the central axis of the moving gear so that the vertical axis of the first bevel gear is fixed to the upper surface of the carrier through the through hole, and the second bevel gear 110 is formed to be paired with the first bevel gear. It is installed, the horizontal axis of the second bevel gear penetrates to the outside of the cylinder, the product hanger 107 for mounting the to-be-coated body 108 is installed at the other end of the horizontal axis. As the product hanger rotates by this configuration, the coated body 108 placed on the product hanger is coated on five surfaces at the same time in the case of a hexahedron.

그리고 필요에 따라 상기 제1베벨기어와 제2베벨기어는 여러 개 설치되며 적층식으로 수직으로 일정거리를 이격하고 설치할 수 있다. 따라서 본발명은 육면체의 제품을 코팅함에 있어서 5면을 한 번에 코팅하게 됨으로 작업이 간단하고 작업효율이 향상되는 현저한 효과가 있는 것이다.If necessary, the first bevel gear and the second bevel gear may be provided in plural and stacked and vertically spaced apart from each other by a predetermined distance. Therefore, the present invention has a remarkable effect that the work is simple and the work efficiency is improved by coating five surfaces at a time in coating a hexahedral product.

미설명 도면부호 41은 고진공 밸브, 42는 오일 확산 고진공 펌프, 43은 저진 공 펌프이다.Reference numeral 41 denotes a high vacuum valve, 42 an oil diffusion high vacuum pump, and 43 a low vacuum pump.

도 1은 종래 진공 증착 코팅 장치의 내부 평면도1 is a plan view of the inside of a conventional vacuum deposition coating apparatus

도 2는 본발명 진공 증착 커팅 장치의 전체 정면도2 is an overall front view of the present invention vacuum deposition cutting device

도 3은 본발명 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조의 단면도Figure 3 is a cross-sectional view of the coated body arrangement of the present invention vacuum deposition coating apparatus

도 4는 본발명의 실시예 요부 사진Figure 4 is a main picture of an embodiment of the present invention

＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞Description of the Related Art

101 : 베이스 102 : 캐리어101: base 102: carrier

103 : 모터 104 : 고정기어103: motor 104: fixed gear

105 : 이동기어 106 : 원통105: shifting gear 106: cylinder

107 : 제품걸이 108 : 피코팅체107: product hanger 108: coated body

109 : 제1베벨기어 110 : 제2베벨기어109: first bevel gear 110: second bevel gear

Claims (5)

베이스(101)위에 고리 형상의 캐리어(102)가 설치되고, 상기 캐리어(102)는 모터(103)에 의해 회전되되, 캐리어(102) 위에 다시 고정기어(104)를 설치하며, 상기 고정기어(104)는 캐리어(102)가 아닌 베이스(101)에 고정되는 것으로, 캐리어(102)의 중공부분을 통해 고정기어(104)의 하부가 베이스상부에 결합되는 것이며, 또한, 다수 개의 이동기어(105)가 캐리어(102) 위에 설치되되, 이동기어(105)들은 각각 고정기어(104)와 기어접촉함으로써, 상기 캐리어(102)가 자전함에 따라 각각의 이동기어(105)들은 공전과 자전운동을 동시에 하게 되며, 상기 각각의 이동기어(105)위에 원통(106)을 고정설치하고, 원통(106)의 외주면에 다수 개의 제품걸이(107)를 설치하여 상기 제품걸이(107)에는 피코팅체(108)를 안치시키는 것을 특징으로 하는 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조An annular carrier 102 is installed on the base 101, and the carrier 102 is rotated by the motor 103, and installs the fixed gear 104 on the carrier 102, and the fixed gear ( 104 is fixed to the base 101, not the carrier 102, the lower portion of the fixed gear 104 is coupled to the upper base through the hollow portion of the carrier 102, and also a plurality of mobile gear 105 ) Is installed on the carrier 102, the mobile gear 105 is in gear contact with the fixed gear 104, respectively, so that each of the mobile gear 105 is rotating and rotating at the same time as the carrier 102 rotates The cylinder 106 is fixedly installed on each of the moving gears 105, and a plurality of product hangers 107 are installed on the outer circumferential surface of the cylinder 106 to be coated on the product hanger 107. Structure to be coated in the vacuum deposition coating apparatus, characterized in that 제1항에 있어서, 모터와 캐리어 사이에는 다수 개의 중간기어들이 연결되어 있어서 모터의 힘을 캐리어에 전달하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조The structure of the coated body of claim 1, wherein a plurality of intermediate gears are connected between the motor and the carrier to transfer the power of the motor to the carrier. 제1항에 있어서, 캐리어의 표면에는 축홈이 형성되어 있어 이동기어의 중심축이 상기 축홈에 결합되되, 축홈이 중심축을 지지하기만 할 뿐 움직이지 않게 고정하는 것은 아닌 것을 특징으로 하는 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조The vacuum deposition coating according to claim 1, wherein a shaft groove is formed on the surface of the carrier so that the central shaft of the mobile gear is coupled to the shaft groove, but the shaft groove only supports the central shaft but is not immovably fixed. Structure to be coated on device 제1항에 있어서, 이동기어의 상부에 이격되며 원통 내부에 설치되는 제1베벨기어(109)를 형성하되, 이동기어 중심축에 관통홀이 형성되어, 상기 관통홀을 통해 제1베벨기어의 수직축이 캐리어 상면에 고정되어 있으며, 상기 제1베벨기어와 1쌍이 되게 제2베벨기어(110)가 설치되고 제2베벨기어의 수평축은 원통의 외부로 관통되며, 수평축의 타단에 피코팅체(108)를 안치시키는 제품걸이(107)가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조The method of claim 1, wherein the first bevel gear 109 is formed spaced apart from the upper portion of the moving gear is installed in the cylinder, the through-hole is formed in the central axis of the moving gear, the through-hole of the first bevel gear The vertical axis is fixed to the upper surface of the carrier, the second bevel gear 110 is installed to be paired with the first bevel gear, the horizontal axis of the second bevel gear penetrates to the outside of the cylinder, and the coated body at the other end of the horizontal axis 108. The structure to be coated body of the vacuum deposition coating apparatus, characterized in that the product hanger 107 is placed in the seat 제1항에 있어서, 상기 제1베벨기어와 제2베벨기어는 여러 개 설치되며 적층식으로 수직으로 일정거리를 이격하고 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 증착 코팅 장치의 피코팅체 배치구조According to claim 1, wherein the plurality of the first bevel gear and the second bevel gear is installed, the structure to be coated structure of the vacuum deposition coating apparatus, characterized in that installed in a vertical distance spaced apart vertically
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KR102225986B1 (en) * 2019-09-16 2021-03-10 주식회사 테토스 Apparatus for depositing both side portions of the substrate

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