KR20100033743A - 회동수단을 가지는 솔더볼 범핑유닛과 이를 포함하는 웨이퍼 범핑 장비 및 이를 이용한 범핑 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 기판에 형성된 다수의 범핑영역에 솔더볼을 부착하는 범핑유닛에 있어서,진공펌핑을 위한 흡입홀이 형성된 진공플레이트와,상기 진공플레이트의 상부에 결합되고, 상면에 형성된 적어도 하나의 오목홈과 상기 오목홈의 내부공간과 상기 흡입홀 사이의 진공펌핑경로를 제공하는 제1관통홀을 구비하는 제1마스크와,상기 제1마스크의 상부에 결합되고, 상기 다수의 범핑영역에 각각 대응하는 다수의 제2관통홀을 구비하는 제2마스크를 포함하는 솔더볼흡착부;상기 솔더볼흡착부를 회전시키는 회동수단;을 포함하는 솔더볼 범핑 유닛
- 제1항에 있어서,상기 진공플레이트의 상면에는 오목부가 형성되고, 상기 흡입홀은 상기 오목부의 저면 또는 측면에 형성된 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 유닛
- 제1항에 있어서,상기 진공플레이트에는 진동모터가 결합된 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 유닛
- 제1항에 있어서,상기 제1마스크의 상기 오목홈은 다수 개가 형성되고, 상기 다수의 오목홈은 각각 상기 기판에 형성된 다수의 다이(Die) 중에서 하나 이상의 다이와 대응하는 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 유닛
- 제4항에 있어서,상기 다수의 오목홈은 상기 기판에 정의된 절단선(sawing line)을 따라 형성된 경계벽에 의해 구획되는 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 유닛
- 제5항에 있어서,상기 경계벽에는 인접한 오목홈의 내부공간을 연통시키는 진공유로가 형성된 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 유닛
- 제4항에 있어서,상기 제1마스크의 상기 제1관통홀은 상기 다수의 오목홈마다 적어도 하나가 형성된 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 유닛
- 제4항에 있어서,상기 제1마스크의 상기 제1관통홀은 그 상단부가 상기 다수의 오목홈 중에서 2이상의 오목홈의 내부공간과 연통되도록 형성된 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 유닛
- 제1항에 있어서,상기 진공플레이트의 가장자리에는 상기 제2마스크의 상부로 공급된 솔더볼이 외곽으로 유출되는 것을 방지하기 위한 측벽이 돌출 형성되고, 상기 측벽에는 잔류솔더볼을 배출하기 위한 개폐가능한 통로가 형성되는 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 유닛
- 웨이퍼에 형성된 다수의 범핑영역에 솔더볼을 부착하는 웨이퍼 범핑 장비에 있어서,상기 웨이퍼를 안치하는 척을 포함하는 웨이퍼안치유닛;플럭스를 도포하는 스크린인쇄수단을 구비하는 플럭스유닛;상기 웨이퍼에 솔더볼을 부착하는 솔더볼 범핑 유닛;을 포함하며,상기 솔더볼 범핑유닛은,진공펌핑을 위한 흡입홀이 형성된 진공플레이트와,상기 진공플레이트의 상부에 결합하고, 상면에 형성된 적어도 하나의 오목홈과 상기 오목홈의 내부공간과 상기 흡입홀 사이의 진공펌핑경로를 제공하는 제1관통홀을 구비하는 제1마스크와,상기 제1마스크의 상부에 결합하고, 상기 다수의 범핑영역에 각각 대응하는 다수의 제2관통홀을 구비하는 제2마스크를 포함하는 솔더볼흡착부;상기 솔더볼흡착부를 회전시키는 회동수단;을 포함하는 웨이퍼 범핑 장비
- 제10항에 있어서,상기 솔더볼흡착부에 안착되지 못한 잔류 솔더볼을 제거하기 위한 것으로서 고압공기를 분사하는 에어블로우어, 또는 솔질을 통해 잔류 솔더볼을 제거하는 자동화 브러쉬를 더 포함하는 웨이퍼 범핑 장비
- 제10항에 있어서,솔더볼을 상기 웨이퍼에 가접합시키기 위한 고주파발생장치 또는 핫에어(hot air) 공급장치를 더 포함하는 웨이퍼 범핑 장비
- 제10항에 있어서,제1마스크 또는 제2마스크에 묻은 플럭스를 제거하기 위한 클리닝장치를 더 포함하는 웨이퍼 범핑장비
- 제10항에 있어서,상기 웨이퍼의 상부에 상기 솔더볼흡착부를 위치시킨 후에 상기 진공플레이트와 상기 제1마스크를 상기 제2마스크로부터 분리하거나, 상기 진공플레이트를 상기 제1마스크로부터 분리하는 분리장치를 더 포함하는 웨이퍼 범핑 장비
- 제10항에 있어서,상기 웨이퍼 안치유닛과 상기 솔더볼흡착부는 상기 진공플레이트 또는 상기 제1마스크를 분리하는 과정에서 정렬이 흐트러지는 것을 방지하기 위한 정렬수단을 포함하며, 상기 정렬수단은 서로 대응하는 정렬핀과 정렬홈인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 범핑 장비
- 상면에 다수의 솔더볼안착홈을 구비하고 내부에 상기 솔더볼안착홈의 내부공간과 연통하는 진공유로가 형성된 솔더볼흡착부를 이용하여 기판에 형성된 다수의 범핑영역에 솔더볼을 범핑하는 방법에 있어서,(a) 상기 솔더볼흡착부를 수평면에 대해 경사지도록 기울이는 단계;(b) 상기 진공유로를 통해 진공펌핑을 하면서 상기 솔더볼흡착부의 상부에 다수의 솔더볼을 공급하는 단계;(c) 상기 다수의 솔더볼이 경사면을 따라 흘러내리면서 상기 다수의 솔더볼안착홈에 흡착되는 단계;(d) 흡착된 상기 솔더볼이 아래를 향하도록 상기 솔더볼흡착부를 회전시키는 단계;(e) 상기 기판의 상기 다수의 범핑영역에 상기 솔더볼을 올려놓는 단계;를 포함하는 솔더볼 범핑 방법
- 제16항에 있어서,상기 단계(d)의 이후에는 경사면을 따라 흘러 내려가지 않은 잔류 솔더볼을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 방법
- 제17항에 있어서,상기 잔류솔더볼을 제거하기 위하여 상기 솔더볼안착부의 상부에 고압공기를 분사하거나 상기 솔더볼안착부를 진동시키는 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 방법
- 제16항에 있어서,상기 단계(e)의 이후에는 상기 솔더볼을 상기 웨이퍼의 상기 범핑영역에 가접합(假接合)하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 방법
- 제19항에 있어서,상기 가접합 공정은 상기 솔더볼에 고주파를 인가하거나 핫에어(hot air)를 분사함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 방법
- 상면에 다수의 솔더볼안착홈을 구비하고 내부에 상기 솔더볼안착홈의 내부공간과 연통하는 진공유로가 형성된 솔더볼흡착부를 이용하여 기판에 형성된 다수 의 범핑영역에 솔더볼을 범핑하는 방법에 있어서,(a) 상기 진공유로를 통해 진공펌핑을 하면서 상기 솔더볼흡착부의 상부에 다수의 솔더볼을 공급하는 단계;(b) 상기 솔더볼흡착부를 시소(seesaw) 운동시키면서 상기 다수의 솔더볼안착홈에 솔더볼을 흡착하는 단계;(c) 흡착된 상기 솔더볼이 아래를 향하도록 상기 솔더볼흡착부를 회전시키는 단계;(d) 상기 기판의 상기 다수의 범핑영역에 상기 솔더볼을 올려놓는 단계;를 포함하는 솔더볼 범핑 방법
- 제21항에 있어서,상기 단계(b)의 이후에는 흡착되지 않은 잔류 솔더볼을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 방법
- 진공펌핑을 위한 흡입홀이 형성된 진공플레이트와, 상기 진공플레이트의 상부에 결합되고, 상면에 형성된 적어도 하나의 오목홈과 상기 오목홈의 내부공간과 상기 흡입홀 사이의 진공펌핑경로를 제공하는 제1관통홀을 구비하는 제1마스크와, 상기 제1마스크의 상부에 결합되고, 상기 다수의 범핑영역에 각각 대응하는 다수의 제2관통홀을 구비하는 제2마스크를 포함하는 솔더볼흡착부를 이용하여 다수의 범핑영역이 형성된 기판에 솔더볼을 범핑하는 방법에 있어서,(a) 상기 솔더볼안착부의 상기 다수의 제2관통홀에 솔더볼을 안착시키는 단계;(b) 안착된 상기 솔더볼이 아래를 향하도록 상기 솔더볼흡착부를 회전시켜서 상기 기판의 상부에 위치시키는 단계;(c) 진공흡착을 해제하여 상기 기판의 상기 다수의 범핑영역에 상기 솔더볼을 올려놓는 단계;(d) 상기 진공플레이트와 상기 제1마스크를 상기 제2마스크로부터 분리하는 단계;(e) 상기 제2마스크의 상부에 플럭스를 도포하는 단계;(f)상기 솔더볼을 상기 기판에 융착시키는 단계;를 포함하는 솔더볼 범핑 방법
- 제23항에 있어서,상기 (e)단계의 이후에는,상기 솔더볼을 상기 기판의 상기 다수의 범핑영역에 가접합하는 단계;상기 제2마스크를 상기 기판으로부터 분리하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 방법
- 제23항에 있어서,상기 (f)단계에서는, 상기 제2마스크가 결합된 상태에서 리플로우 솔더링(reflow soldering)을 수행하여 상기 솔더볼을 상기 기판에 융착시키는 것을 특징으로 하는 솔더볼 범핑 방법
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