KR20100020038A - 크라이오 펌프 - Google Patents
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Abstract
실린더(14, 15) 내에서 디스플레이서(14A, 15A)가 왕복 운동하는 것에 의해 팽창실에서 한랭을 발생시키는 냉동기(5)와, 상기 팽창실에서 발생된 한랭에 의해 냉각되는 실드(9) 및 크라이오 패널(10)과, 실드(9) 및 크라이오 패널(10) 등을 내부에 수납하는 진공 용기(4)를 가지며, 실드(9) 및 크라이오 패널(10)을 역전 승온시킬 수 있는 크라이오 패널에 있어서, 실드(9)에, 액화된 물 이외의 분자를 실드(9)로부터 진공 용기(4)로 유출시키는 유출구멍(18)과, 재생에 의해 발생된 물분자(23)를 저장할 수 있는 저장 용량을 가지는 물 저장부(20)를 형성한다.
Description
도 2는 실시 형태의 크라이오 펌프의 구성도이며, 실드나 크라이오 패널에 고체상 가스가 응고 또는 흡착된 상태를 나타내는 도이다.
도 3은 실시 형태의 크라이오 펌프의 구성도이며, 재생 처리를 설명하기 위한 도이다(1).
도 4는 실시 형태의 크라이오 펌프의 구성도이며, 재생 처리를 설명하기 위한 도이다(2).
도 5는 배출 시간 특성을 종래와 비교해 나타내는 도이다.
도 6은 실시 형태의 변형예의 크라이오 펌프의 구성도이다.
도 7은 실시 형태의 변형예의 크라이오 펌프의 구성도이다.
도 8은 실시 형태의 변형예의 크라이오 펌프의 구성도이다.
3 : 압축기
4 : 진공 용기
5 : 냉동기
7 : 제1단 냉동 스테이지
8 : 제2단 냉동 스테이지
9 : 실드
10 : 크라이오 패널
11 : 활성탄
12 : 루버
13 : 러핑(roughing) 펌프
14 : 제1단 실린더
14A : 제1단 디스플레이서
15 : 제2단 실린더
15A : 제2단 디스플레이서
16 : 가역 모터
17 : 퍼지 배관
18 : 유출구멍
19 : 제방부
20, 32 : 물 저장부
21 : 포착 분자
21A : 물분자(응고 상태)
22 : 액체 분자
23 : 물분자
31 : 경사면
Claims (4)
- 실린더 내에서 디스플레이서가 왕복 운동하는 것에 의해 팽창실에서 한랭을 발생시키는 냉동기와, 진공 용기와, 상기 진공 용기 내에 수용되어 상기 팽창실에서 발생된 한랭에 의해 냉각되는 크라이오 패널과, 상기 진공 용기 내에 수용되어 상기 팽창실에서 발생된 한랭에 의해 냉각됨과 함께, 상기 크라이오 패널을 당해 진공 용기의 복사열로부터 보호하는 컵 형상의 실드와, 상기 실드의 상기 컵 형상의 상부 개구부에 배치되는 루버와, 재생시에 상기 크라이오 패널 및 실드를 승온시키는 승온 장치를 포함하며, 상기 크라이오 패널 및 상기 실드에 상기 진공 용기 내의 분자를 응고 또는 흡착시키는 크라이오 펌프에 있어서,
상기 실드는,
상기 컵 형상의 저부 또는 측부에 형성되는 구멍부와,
상기 구멍부의 위치에 의해 상기 컵 형상의 저부에 규정되는 저장 용량으로서, 재생시에 상기 루버, 상기 실드, 또는 상기 크라이오 패널로부터 이탈하여 액화되는 물분자를 저장할 수 있는 저장 용량을 가지는 물 저장부를 구비하는 크라이오 펌프. - 청구항 1에 있어서,
상기 구멍부에는 상기 실드의 내측을 향해 돌출되어 상기 구멍부를 둘러싸는 제방부가 형성되는 크라이오 펌프. - 청구항 1에 있어서,
상기 실드의 저면은 경사져 있고 또한 상기 구멍부는 당해 경사진 저면에 형성되어 있으며, 상기 물 저장부는 당해 경사면에 있어서의 상기 구멍부보다 낮은 영역에 형성되는 크라이오 펌프. - 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 승온 장치는 상기 디스플레이서를 정방향 회전 및 역방향 회전시킬 수 있는 가역 모터를 포함하며, 상기 가역 모터를 역전 방향으로 회전시켜 냉동 사이클을 반전시키는 것에 의해 상기 실드를 승온시키는 크라이오 펌프.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130037185A (ko) * | 2011-10-05 | 2013-04-15 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 극저온 냉동기 및 크라이오펌프 및 디스플레이서 |
KR20180050925A (ko) | 2016-11-07 | 2018-05-16 | 주식회사코아티앤티 | 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치 및 그의 방법 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012034102A1 (en) | 2010-09-10 | 2012-03-15 | Osram Sylvania Inc. | Directly driven high efficiency led circuit |
EP2700284B1 (en) | 2011-03-07 | 2017-05-03 | Osram Sylvania Inc. | High efficiency, low energy storage driver circuit for solid state light sources |
GB2489975A (en) | 2011-04-14 | 2012-10-17 | Edwards Ltd | Vacuum pumping system |
CN102230461B (zh) * | 2011-06-09 | 2014-01-01 | 刘庆明 | 一种真空抽取方法及装置 |
US9909582B2 (en) | 2015-01-30 | 2018-03-06 | Caterpillar Inc. | Pump with plunger having tribological coating |
US10041447B2 (en) | 2015-01-30 | 2018-08-07 | Caterpillar Inc. | Pump manifold |
US9828976B2 (en) | 2015-01-30 | 2017-11-28 | Caterpillar Inc. | Pump for cryogenic liquids having temperature managed pumping mechanism |
US9828987B2 (en) | 2015-01-30 | 2017-11-28 | Caterpillar Inc. | System and method for priming a pump |
US10041484B2 (en) | 2015-01-30 | 2018-08-07 | Caterpillar Inc. | Pump having inlet reservoir with vapor-layer standpipe |
US9926922B2 (en) | 2015-01-30 | 2018-03-27 | Caterpillar Inc. | Barrel assembly for a fluid pump having separate plunger bore and outlet passage |
JP6629074B2 (ja) | 2016-01-08 | 2020-01-15 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
KR102580537B1 (ko) * | 2022-09-08 | 2023-09-21 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프의 재생 방법 |
KR102536330B1 (ko) * | 2022-09-08 | 2023-05-26 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프의 재생 방법 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4438632A (en) * | 1982-07-06 | 1984-03-27 | Helix Technology Corporation | Means for periodic desorption of a cryopump |
JPS5981784A (ja) * | 1982-10-30 | 1984-05-11 | 角野 博光 | ホツパ−型コイン類払出し装置 |
JPS5981784U (ja) * | 1982-11-24 | 1984-06-02 | 株式会社徳田製作所 | クライオポンプ |
JPS59174379A (ja) * | 1983-03-24 | 1984-10-02 | Tokyo Juki Ind Co Ltd | 印字体の動作制御方法 |
JPS59174379U (ja) * | 1983-05-09 | 1984-11-21 | アルバツク・クライオ株式会社 | クライオポンプの水除去装置 |
US4530213A (en) * | 1983-06-28 | 1985-07-23 | Air Products And Chemicals, Inc. | Economical and thermally efficient cryopump panel and panel array |
US4520630A (en) * | 1984-03-06 | 1985-06-04 | Cvi Incorporated | Cryogenic refrigerator and heat source |
JP2574586B2 (ja) * | 1990-11-19 | 1997-01-22 | ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト | クライオポンプを再生する方法及びこの方法を実施するのに適したクライオポンプ |
JP3060036B2 (ja) * | 1992-02-10 | 2000-07-04 | 富士通株式会社 | クライオポンプ |
US5361580A (en) * | 1993-06-18 | 1994-11-08 | General Electric Company | Gas turbine engine rotor support system |
JPH08135570A (ja) * | 1994-11-11 | 1996-05-28 | Ebara Corp | クライオポンプ及びコールドトラップ |
DE69528607T2 (de) * | 1994-04-28 | 2003-07-10 | Ebara Corp., Tokio/Tokyo | Kryopumpe |
JP4967594B2 (ja) * | 2006-10-20 | 2012-07-04 | 凸版印刷株式会社 | クライオポンプ及びそれを用いた真空装置 |
-
2007
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130037185A (ko) * | 2011-10-05 | 2013-04-15 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 극저온 냉동기 및 크라이오펌프 및 디스플레이서 |
US9182156B2 (en) | 2011-10-05 | 2015-11-10 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryogenic refrigerator, cryopump and displacer |
KR20180050925A (ko) | 2016-11-07 | 2018-05-16 | 주식회사코아티앤티 | 크라이오 펌프의 디스플레이서 세정장치 및 그의 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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