KR20100010900A - 자외선 조사 장치 및 자외선 조사 장치의 점등 제어 방법 - Google Patents

Abstract

램프의 통산 점등 시간에 따라, 적절한 초기 점등 전력으로 점등시킬 수 있는 자외선 조사 장치 및 그 장치의 제어 방법을 제공하는 것이다.

엑시머 램프(1)에 설치된 IC태그(1a)에, 그 램프의 점등 시간의 적산값인 통산 점등 시간, 점등 이력 정보 등의 정보에 더하여, 초기 전압 규정값, 초기 주파수 규정값, 정상(定常) 전압 규정값, 정상 주파수 규정값 등의 그 램프에 고유의 전기적 특성값을 기록해 둔다. 장치를 기동할 때, 제어부(4)는, IC태그(1a)로부터 상기 정보를 판독하고, 램프의 통산 점등 시간과 그 램프에 고유의 전기적 특성값에 기초하여, 초기 점등시에 램프에 인가하는 전압, 주파수 등을 설정하여 램프를 초기 점등시킨다. 초기 점등 후, 정상 점등으로 이행시키고, 램프(1)에 인가하는 전력의 정전력 제어를 행한다.

Description

자외선 조사 장치 및 자외선 조사 장치의 점등 제어 방법{ULTRAVIOLET ILLUMINATION APPARATUS AND LIGHTING CONTROL METHOD FOR THE SAME}

본 발명은, 반도체 기판이나 액정 기판의 제조 공정에서의 기판의 세정 등에 사용되는 엑시머 램프의 자외선 조사 장치 및 그 장치의 점등 제어 방법에 관한 것으로, 특히, 엑시머 램프에 설치된 IC태그의 정보에 기초하여 점등 장치를 제어하는 자외선 조사 장치 및 그 장치의 점등 제어 방법에 관한 것이다.

종래, 반도체 기판이나 액정 기판의 제조 공정에는, 이들 기판의 세정을 목적으로 하여 진공 자외선을 조사하는 엑시머 램프를 구비한 자외선 조사 장치가 이용된다.

엑시머 램프는, 예를 들면 크세논 가스를 발광 물질로 한 파장 172nm의 진공 자외광을 방사하는 것이며, 세정 능력에서 저압 수은 램프보다 우수하다.

상기 서술한 엑시머 램프는, 사용 수명 말기가 되면 발광관을 구성하는 석영 유리 등의 열화에 수반하여 진공 자외선의 방사 강도가 저하된다. 이 때문에, 새로운 것으로 교환하지 않으면 안되는데, 엑시머 램프의 외관으로부터 사용 수명 말기에 이르렀는지 여부를 판단하는 것은 통상은 곤란하다.

그래서, 개개의 엑시머 램프에 IC태그를 설치하고, 그 IC태그에 엑시머 램프의 통산 점등 시간 정보를 기억시켜, 통산 점등 시간을 관리하도록 한 장치가 제안되고 있다(예들 들면, 특허 문헌 1 참조).

도 12, 도 13에, 엑시머 램프를 탑재한 자외선 조사 장치의 단면도를 나타낸다. 도 12는, 엑시머 램프의 관축에 평행한 평면으로 자른 단면도, 도 13은 엑시머 램프의 관축에 수직인 평면으로 자른 단면도이다.

동 도에 나타내는 바와 같이, 자외선 조사 장치는, 내부에 불활성 가스를 순환시키는 금속제의 케이스(101)를 가진다. 케이스(101)의 아래쪽에는 광조사창(101a)이 설치되고, 케이스(101)의 측면에는, 불활성 가스를 도입하기 위한 가스 도입구(101b), 불활성 가스를 배출시키기 위한 가스 배출구(101c)가 설치되어 있다.

케이스(101)의 내부에는, 관축이 평행이 되도록 병렬로 배치된 복수개의 엑시머 램프(100)가 배치되어 있다. 엑시머 램프(100)를 따라, 엑시머 램프(100)로부터 방사되는 자외선을 피처리물 방향으로 반사하는 홈통 형상의 반사경(102)이, 각 엑시머 램프(100)에 대응하여 설치되어 있다. 반사경(102)이 설치된 각 엑시머 램프(100)는, 예를 들면 내부를 수냉 파이프(104)가 순환하는 알루미늄제의 냉각 블록(103)에 고정되어 있다.

엑시머 램프(100)는, 진공 자외광을 투과시키는 유전체 재료로 이루어지는 발광관(100a)의 양단에는, 각각 금속박(100e)을 매설한 시일부(100f)가 형성되고, 발광관(100a)의 내부에, 코일 형상의 내부 전극(100b)이 발광관(100a)의 관축 상에 배치되며, 내부 전극(100b)의 주위가 절연체(100d)로 덮여 있다. 또, 발광관(100a)의 외표면에는 망형상의 외부 전극(100c)이 배치되어 있다.

각 금속박(100e)에는, 발광관(100a)의 바깥쪽으로 돌출하는 외부 리드(100g)가 접속되고, 외부 리드(100g)에는, 고압 급전 케이블(120c)이 접속되며, 그 단부에 고압 급전 단자(120)가 설치되어 있다.

케이스(101)에는 수지제의 커넥터(110)가 장착되고, 그 커넥터(110)내에 안테나(140)가 설치되어 있다. 또, 고압 급전 케이블(120c)의 단부에 고압 급전 단자(120)가 장착되고, 고압 급전 단자(120)의 절연 홀더내에 IC태그(13)가 설치되어 있다.

상기 커넥터(110)에 고압 급전 단자(120)의 플러그를 꽂음으로써, 내부 전극(100b)과 고주파 점등 전원(도시하지 않음)이 도통한다. 외부 전극(100c)에 대해서는 도시하고 있지 않지만, 마찬가지로 고주파 점등 전원과 도통한다.

또한 엑시머 램프는, 도 12, 도 13에 나타낸 구조의 것 이외에, 예를 들면 특허 문헌 3에 나타내는 바와 같이 직육면체 타입인 것, 혹은 특허 문헌 4에 나타내는 바와 같이 이중관 타입인 것 등이 알려져 있으며, 이러한 타입의 엑시머 램프를 이용할 수도 있다.

도 14는, 상기 서술한 IC태그를 구비한 엑시머 램프를 점등시키는 자외선 조사 장치(10)의 시스템 구성의 일례를 나타내는 도이다.

엑시머 램프(100)는 IC태그(130)를 구비하며, 엑시머 램프(100)가 장착되면, 제어부(21)의 IC태그 R/W부(21b)는, 안테나(21c)를 통하여 IC태그(130)로부터, IC 태그(130)의 정보로서 예를 들면 통산 점등 시간을 판독한다. CPU(21a)는 그 정보를 기억부(21d)에 기억시킨다.

그리고, 고주파 점등 전원(22)으로 엑시머 램프(100)를 점등시키고 있는 동안, 수시로 최신의 점등 시간 정보가 기억부(21d)에 기억되어 있는 통산 점등 시간에 가산된다.

이 통산 점등 시간이 사용 수명 시간에 도달하면, CPU(21a)는, 고주파 점등 전원(22)에 대해서 점등 정지 신호를 송신하고, 엑시머 램프(100)를 소등한다(특허 문헌 1의 단락 0021, 0022 참조).

또, 특허 문헌 1에는, IC태그(130)에 기억되어 있는 조도 특성 정보를 이용하여 엑시머 램프(100)를 제어하는 것도 기재되어 있다(특허 문헌 1의 단락 0023 참조).

또 IC태그를 이용한 광원 장치로서, 램프의 점등 시간이나 점등 회수 등의 정보를 개개의 램프에 갖게 함으로써, 정확한 램프의 정보를 공급할 수 있도록 한 장치가 제안되고 있다(특허 문헌 2 참조).

크세논 광원은 각각 밝기가 다르므로, 특허 문헌 2에 기재된 것에서는, 사전에 출하 규격값을 IC태그에 기록시켜, 장치측이 그 출하 규격값을 판독하여 최적의 램프 전류값을 설정하여, 램프 전원으로 크세논 광원을 제어하도록 하고 있다(특허 문헌 2의 단락 0030, 0031, 0032)

특허 문헌 1: 일본 공개 특허 2007－123069호 공보

특허 문헌 2: 일본 공개 특허 2003－068478호 공보

특허 문헌 3: 일본 공개 특허 2004－111326호 공보

특허 문헌 4: 일본 공개 특허 2000－048772호 공보

엑시머 램프를 점등 개시시키기 위해서는, 초기 점등시에 정상 점등보다도 큰 전력이 필요하다. 이 초기 점등시에 투입해야 할 전력은 엑시머 램프의 제조 편차에 따라 달라진다.

예를 들면 엑시머 램프는, 석영 유리와 같은 유전성을 가지는 유리 부재를 이용하고 있으며, 그 두께가 제조 편차에 따라 변동하여, 이 내측 두께의 변동에 의해 초기 점등시에 필요한 투입 전력이 달라진다. 이 때문에, 확실히 엑시머 램프를 램프 점등시키기 위해, 엑시머 램프의 초기 점등시에서의 투입 전력을 제조 편차에 있어서의 가장 투입 전력이 필요한 것에 맞추고 있고, 제조 편차에서의 가장 투입 전력이 작은 것에 있어서는, 과잉한 투입 전력이 되어, 램프 수명을 짧게 만드는 결과가 되었다.

즉, 엑시머 램프는, 차가워진 상태에서는 점등성이 나쁘고, 또 점등성은 램프에 따라 편차가 크다. 이 때문에, 초기에 램프를 점등할 때에는, 모든 램프가 점등될 수 있도록, 과도하게 투입 전력을 넣어, 강제적으로 점등시킬 필요가 있었다. 이 때문에, 도 15(a)에 나타내는 바와 같이, 초기 점등시에 과도한 광이 발광하게 된다.

그래서, 특허 문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 사전에 출하 규격값을 IC 태그에 기록시켜, 장치측이 그 출하 규격값을 판독하여 최적의 값을 설정하는 것을 생각할 수 있다.

그러나, 엑시머 램프는 램프 점등에 고전압과 고주파를 이용하는 것이며, 특허 문헌 2에 기재되는 크세논 램프와 같이 전류를 흘려 점등시키는 것은 아니다. 또, 본 발명자의 예의 노력에 의해 해명한 바, 엑시머 램프는, 램프 점등 시간(통산 점등 시간)의 경과에 수반하여, 그 초기 점등에 필요한 전력이 다른 것을 알 수 있었다.

즉, 램프 점등의 통산 점등 시간이 예를 들면 200시간의 엑시머 램프의 초기 점등에 필요한 전력과, 램프 점등의 통산 점등 시간이 예를 들면 1000시간의 엑시머 램프의 초기 점등에 필요한 전력은 다른 것을 알 수 있었다.

이 때문에, 엑시머 램프가 구비하는 IC태그에, 초기 점등시키기 위한 전력을 설정한 것 만으로는, 통산 점등 시간이 다른 엑시머 램프에 따른 적절한 전력으로 초기 점등시킬 수 없다.

또, IC태그의 데이터를 이용할 수 없는 엑시머 램프가 장치에 장착되거나, 다른 장치에서 사용된 램프가 장착되는 것도 생각할 수 있다. 이 경우에도, 과잉한 투입 전력으로 초기 점등시키는 일 없이, 적절한 전력으로 초기 점등시키는 것이 요구된다.

본 발명은 상기한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은, 램프의 통산 점등 시간이 다른 램프여도 적절한 초기 점등 전력으로 점등시킬 수 있으며, 또, IC태그의 데이터를 이용할 수 없거나, 다른 장치에서 사용된 램프가 장착된 경우라도, 가능한 범위에서 적절한 전력으로 초기 점등시킬 수 있는 자외선 조사 장치 및 그 장치의 제어 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명에서는, 램프에 설치된 IC태그에, 그 램프의 점등 시간의 적산값인 통산 점등 시간, 점등 이력 정보 등의 정보에 더하여, 초기 전압 규정값, 초기 주파수 규정값, 정상 전압 규정값, 정상 주파수 규정값 등의, 그 램프에 고유의 전기적 특성값을 기록해 둔다.

그리고, 장치를 기동할 때, IC태그로부터 상기 정보를 판독하여, 램프의 통산 점등 시간과 그 램프에 고유의 전기적 특성값에 기초하여, 초기 점등시에 램프에 인가하는 전압, 주파수 등을 설정하여 램프를 점등시킨다.

이것에 의해, 램프의 편차, 사용 경과 상태를 고려하여, 각 램프 마다 적합한 초기 점등 동작을 행할 수 있다. 이 때문에, 도 15(b)에 나타내는 바와 같이 과잉한 광을 억제할 수 있어, 도 15(a)에 나타내는 바와 같이 초기 점등시에 과도한 광이 발광하는 일이 없다.

즉, 본 발명에서는, 다음과 같이 하여 상기 과제를 해결한다.

(1) 엑시머 램프에 설치된 IC태그로부터의 정보의 판독 및 IC태그로의 정보의 기록을 행하는 IC태그 판독/기록 수단과, 엑시머 램프에 급전하는 점등 전원과, 엑시머 램프의 점등을 제어하는 제어부를 구비하고, IC태그를 구비한 엑시머 램프가 장착되는 자외선 조사 장치에 있어서, IC태그에, 적어도, 그 IC태그를 구비하는 엑시머 램프의 통산 점등 시간과, 그 엑시머 램프의 고유의 전기적 특성을 나타내 는 정보와, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적의 유무를 나타내는 정보를 기록한다.

또 상기 자외선 조사 장치의 제어부에, 엑시머 램프가 그 자외선 조사 장치에 장착되었을 때, 상기 IC태그 판독/기록 수단에 의한 IC태그로의 액세스를 실행함으로써, IC태그로부터 정보의 판독 IC태그로의 기록이 가능한지 여부, 정보의 판독이 가능하고, 또한 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 있는지 여부를 판정하는 판정 수단과, 상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 초기 점등 조건을 설정하는 제1의 설정 수단과, 상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 정상 점등 조건을 설정하는 제2의 설정 수단과, 상기 초기 점등 조건 및 정상 점등 조건을, 그 엑시머 램프의 통산 점등 시간에 따라 갱신하는 갱신 수단과, 갱신된 상기 초기 점등 조건 및 정상 점등 조건을 기억하는 기억 수단을 설치한다.

또한 상기 자외선 조사 장치의 제어부에, 상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 없을 때, 상기 제1의 설정 수단에 의해 설정된 초기 점등 조건에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 상기 제2의 설정 수단에 의해 설정된 정상 점등 조건을 이용하여 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키고,

상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 있을 때, 상기 기억 수단에 기억된 초기 점등 조건에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 상기 기억 수단에 기억된 정상 점등 조건을 이용하여 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키 며,

상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독을 할 수 없을 때, 미리 정해진 안전값인 초기 점등 조건에 의해, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 미리 정해진 안전값인 정상 점등 조건을 이용하여, 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키는 점등 제어 수단을 설치한다.

(2) 상기 (1)에서, 제1의 설정 수단은, 상기 초기 점등 조건으로서, 상기 IC태그에 저장된 초기 전압 규정값, 초기 주파수 규정값에 기초하여, 초기 전압 목표값 및 초기 점등 주파수 목표값을 설정하고, 상기 제2의 설정 수단은, 상기 정상 점등 조건으로서, 상기 IC태그에 저장된 정상 전압 규정값 및 정상 주파수 규정값에 기초하여, 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 설정한다.

상기 갱신 수단은, 상기 초기 전압 목표값, 초기 점등 주파수 목표값, 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을, 그 엑시머 램프의 통산 점등 시간에 따라 갱신한다.

상기 기억 수단은, 갱신된 상기 초기 전압 목표값, 초기 점등 주파수 목표값, 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 기억한다.

또한 상기 점등 제어 수단은, 상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 없을 때, 제1의 설정 수단에 의해 설정된 상기 초기 전압 목표값 및 초기 점등 주파수 목표값에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 상기 제2의 설정 수단에 의해 설정된 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 이용하여 그 엑시머 램 프를 정상 점등으로 이행시키고,

상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 있을 때, 상기 기억 수단에 기억된 초기 전압 목표값, 초기 점등 주파수 목표값에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 상기 기억 수단에 기억된 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 이용하여 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키며, 상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독을 할 수 없을 때, 미리 정해진 안전값인 초기 전압 안전값 및 초기 주파수 안전값에 의해, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 미리 정해진 안전값인 정상 전압 안전값 및 정상 주파수 안전값을 이용하여, 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시킨다.

(3) 엑시머 램프에 설치된 IC태그로부터의 정보의 판독/기록 수단과, 엑시머 램프의 점등을 제어하는 제어부를 구비한 자외선 조사 장치의 점등 제어 방법에 서,

상기 자외선 조사 장치의 제어부는, 엑시머 램프가 그 자외선 조사 장치에 장착되었을 때, 상기 엑시머 램프가 IC태그를 구비하고, 그 IC태그로부터 정보의 판독/기록이 가능한지 여부를 판별하여, 그 엑시머 램프의 IC태그로부터 정보의 판독/기록이 가능할 때, IC태그에 저장된 정보를 취득하고, IC태그로부터 취득한 정보에 기초하여, 그 엑시머 램프의 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적의 유무를 판별하여, 상기 판별 결과에 따라 다음의 (가)~(다)의 공정을 행한다.

(가) IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점 등 실적이 없을 때, 상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 초기 점등 조건을 설정하고, 그 설정된 초기 점등 조건에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고,

상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 정상 점등 조건을 설정하고, 초기 점등 후, 그 설정된 정상 점등 조건을 이용하여 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시킨다.

(나) IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 있을 때, 그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보 및/또는 상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 초기 점등 조건을 설정하고, 그 설정된 초기 점등 조건에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고,

그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보 및/또는 상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 정상 점등 조건을 설정하고, 초기 점등 후, 그 설정된 정상 점등 조건을 이용하여 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시킨다.

(다) IC태그로부터 정보의 판독을 할 수 없을 때, 미리 정해진 안전값인 초기 점등 조건을 설정하고, 그 안전값인 그 초기 점등 조건에 의해, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고,

미리 정해진 안전값인 정상 점등 조건을 설정하고, 초기 점등 후, 안전값인 그 정상 점등 조건을 이용하여, 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시킨다.

(4) 상기 (3)의 (가)의 공정에서, IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 없고, 다른 장치에서의 점등 실적이 있을 때, IC태그에 저장된 통산 점등 시간 및 그 엑시머 램프의 고유의 전기적 특성을 나타내는 정보를 이용하여, 초기 점등 조건을 설정함과 함께, 정상 점등 조건을 설정한다.

(5) 상기 (3)(4)의 (가)(나)의 공정에서, 상기 초기 점등 조건으로서, 상기 IC태그에 저장된 초기 전압 규정값, 초기 주파수 규정값 및/또는 그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보에 기초하여, 초기 전압 목표값 및 초기 점등 주파수 목표값을 설정하고, 상기 정상 점등 조건으로서, 상기 IC태그에 저장된 정상 전압 규정값, 정상 주파수 규정값 및/또는 그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보에 기초하여, 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 설정하고, 상기 (다)의 공정에서, 상기 초기 점등 조건으로서, 안전값인 초기 전압 안전값 및 초기 주파수 안전값을 설정하고, 상기 정상 점등 조건으로서, 미리 정해진 안전값인 정상 전압 안전값 및 정상 주파수 안전값을 설정한다.

(6) 상기 (5)의 (가) 및 (나)의 공정에서, 상기 초기 전압 목표값 및 초기 점등 주파수 목표값을, 상기 IC태그에 저장된 정보 및/또는 그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보에 기초하여 다음과 같이 구한다.

(a) 그 엑시머 램프의 통산 점등 시간에 대응하는 초기 전압 보정값을 구하고,

(b) 초기 전압 보정값과, 초기 전압 규정값을 연산하여 초기 전압 목표값을 구하며,

(c) 구한 그 초기 전압 목표값에 대응하는 초기 점등 주파수 보정값을 구하 여,

그 초기 점등 주파수 보정값과, 초기 주파수 규정값을 연산하여 초기 점등 주파수 목표값을 구한다.

(7) 상기 (5)의 (가) 및 (나)의 공정에서, 상기 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을, 상기 IC태그에 저장된 정보 및/또는 그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보에 기초하여, 다음과 같이 구한다.

(a) 그 엑시머 램프의 통산 점등 시간에 대응하는 정상 점등 전압 보정값을 구하고,

(b) 정상 점등 전압 보정값과, 정상 전압 규정값을 연산하여 정상 전압 목표값을 구하며,

(c) 구한 그 정상 전압 목표값에 대응하는 정상 점등 주파수 보정값을 구하여,

그 정상 점등 주파수 보정값과, 정상 주파수 규정값을 연산하여 정상 주파수 목표값을 구한다.

(8) 상기 (3)~(7)에서, IC태그로부터 정보의 판독 및 IC태그로의 정보의 기록이 가능할 때, 상기 제어부는, 엑시머 램프를 소등시켰을 때, 그 엑시머 램프에 설치된 IC태그의 통산 점등 시간을 갱신함과 함께 그 자외선 조사 장치에서 사용 실적이 있는 것을 기록하고, 그 자외선 조사 장치에, 상기 엑시머 램프를 동정(同定)하기 위한 정보, 및 다음회 점등시킬 때의, 초기 전압 목표값, 초기 점등 주파수 목표값, 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 기억시킨다.

본 발명에서는, 이하의 효과를 얻을 수 있다.

(1) 램프에 설치된 IC태그에 기억된, 당해 램프의 지금까지의 통산 점등 시간과, 당해 램프 고유의 전기적 특성값에 기초하여, 램프를 점등시키고 있으므로, 초기 점등시에 램프에 과잉하게 전력이 투입되는 것을 억제하여, 램프 수명이 짧아지는 것을 막을 수 있다.

또, 램프에 과잉하게 전력이 입력되지 않는 것 같은 안전한 전기적 특성값을 미리 설정해 두어, IC태그로부터 정보를 판독할 수 없는 경우는, 상기 안전한 전기적 특성값에 기초하여 램프를 점등시킴으로써, 예를 들면 IC태그를 구비하지 않는 램프여도, 투입 전력을 제한하여 램프를 점등시킬 수 있어, 램프 수명이 짧아지는 것을 방지할 수 있다.

(2) 당해 장치에서의 점등 실적의 유무를 나타내는 데이터를 IC태그에 기록해 둠과 함께, 장치에 장착된 램프의 전기적인 특성값을 당해 장치에 기억부에 기억해 둠으로써, 점등시, IC태그의 기록 데이터로부터 그 램프가 당해 장치에서 점등 실적이 있는지 여부를 판단하고, 점등 실적이 있는 경우, 당해 장치의 기억부로부터 당해 램프를 초기 점등할 때의 데이터를 취득할 수 있다.

이 때문에, 각 램프에 대해 초기 점등할 때의 처리 시간을 단축할 수 있고, 당해 장치에 장착되어 있는 램프 갯수가 많은 경우라도, 신속히 장치를 기동할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 일실시 형태인 자외선 조사 장치의 시스템 구성을 나타내는 도이다.

본 발명의 자외선 조사 장치(10)는, 기록 정보를 비접촉으로 입력할 수 있는 IC태그(1a)를 구비하는 엑시머 램프(이하 램프라고 한다)(1)와, 고주파 고전압을 램프(1)에 공급하기 위한 고주파 점등 전원(2)과, 고주파 점등 전원(2)의 출력측에 설치된 트랜스(3)와, 램프(1)의 점등을 제어하는 제어부(4)를 구비한다.

제어부(4)는, 램프(1)의 점등을 제어하는 연산 처리를 실행하는 연산 처리부(CPU)(11)와, 기억부(13)와, IC태그(1a) 사이에서 데이터의 송수신을 행하기 위한 안테나(14)와, IC태그(1a) 사이의 데이터의 송수신을 제어하는 IC태그 R/W부(12)와, A/D변환기(16), D/A변환기(17)로 구성된다. A/D변환기(16)는 고주파 점등 전원(2)으로부터의 신호를 디지털 신호로 변환하여 CPU(11)에 송출하고, D/A변환기(17)는 CPU(11)로부터의 디지털 신호를 아날로그 신호로 변환하여, 고주파 점등 전원(2)에 송출한다. .

상기 기억부(13)는, 읽고 쓰기 가능한 휘발성 메모리(RAM(13a))와, 판독 전용의 불휘발성 메모리(ROM(13b))와, 고쳐 쓰기가 가능한 불휘발성 메모리(EEPROM(13c))를 구비하여, 프로그램이나 데이터를 기억한다.

기억부(13)의 ROM(13b)에는, 통산 점등 시간에 따라 램프(1)에 공급하는 초기 점등시의 전압 목표값이나, 초기 주파수 목표값 등을 설정하기 위해 전압 보정 테이블(Tv)이나 주파수 보정 테이블(Tf) 등이 기록되고, EEPROM(13c)에는, 초기 점등시의 전압 목표값, 초기 주파수 목표값, 등의 정보가 기록된다.

상기 엑시머 램프(1)는, 예를 들면, 크세논 가스 등의 방전 가스가 봉입되어 있으며, 파장 172nm의 진공 자외광을 출사한다. IC태그(1a)는, 각 램프마다 설치되어 있으며, 통산 점등 시간(Ts) 등, 당해 램프 고유의 데이터가 기록된다.

제어부(4)의 CPU(11)는, 후술하는 바와 같이, 엑시머 램프가 그 자외선 조사 장치(10)에 장착되었을 때, IC태그(1a)로부터 정보의 판독/기록이 가능한지 여부, 정보의 판독이 가능하고, 또한 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 있는지 여부 등을 판정하여, IC태그로부터의 정보의 판독/기록이 가능한 경우에는, IC태그(1a)에 기록된 정보에 기초하여, 초기 점등 조건 및 정상 점등 조건을 정하고, 이것에 기초하여 엑시머 램프(1)를 초기 점등시킨 후, 정상 점등으로 이행시킨다. 또, IC태그(1a)로부터 정보의 판독을 할 수 없을 때는, 미리 정해진 안전값인 초기 점등 조건, 정상 점등 조건에 의해, 엑시머 램프(1)를 초기 점등시킨 후, 정상 점등으로 이행시킨다.

여기서, 본 실시 형태중에서 이용되는 각종의 데이터를 정리하여 나타낸다. 이들 데이터는, 예들 들어 판독 전용의 불휘발성 메모리(ROM(13b)), 고쳐 쓰기가 가능한 불휘발성 메모리(EEPROM(13c)), 또 필요에 따라 판독 기록 가능한 메모리(RAM(13a))에 저장된다.

또한 이들 데이터의 저장 개소는 적절히 변경할 수 있어, 예를 들면 ROM를 설치하지 않고, 모든 데이터를 EEPROM에 저장해도 되고, 그 외의 불휘발성 메모리나 자기 디스크 등의 기억 매체에 기억해 두어, 실행시 RAM에 전개하고, 종료시에 불휘발성 메모리나 기억 매체로 퇴피시키도록 해도 된다.

·통산 점등 시간(Ts): IC태그에 저장된 램프 점등 시간의 적산값.

·고유 번호(시리얼 번호): 제조된 엑시머 램프의 각각 개별적으로 설정된 번호.

·점등 이력 정보: 점등 실적의 유무의 정보.

·장치 정보: 장착하여 점등시킨 장치의 정보.

·초기 전압 규정값(Vfk): 램프 출하전에 미리 정해져 IC태그에 저장된, 당해 램프에 고유의 점등 초기 램프 인가 전압값.

·초기 주파수 규정값(Ffk): 램프 출하전에 미리 정해져 IC태그에 저장된, 당해 램프에 고유의 점등 초기 램프 인가 주파수.

·초기 전압 목표값(Vfm): 전압 보정 테이블의 보정값과, 초기 전압 규정값(Vfk)으로부터 연산되는, 당해 램프에 실제로 인가되는 점등 초기 램프 전압값, 혹은 초기 전압 안전값(Vfs)에 의해 정해지는 램프 인가 전압값.

·초기 주파수 목표값(Ffm): 주파수 보정 테이블의 보정값과, 초기 주파수 규정값(Ffk)으로부터 연산되는 당해 램프에 실제로 인가되는 점등 초기 램프 주파수, 혹은 초기 주파수 안전값(Ffs)에 의해 정해지는 램프 인가 주파수.

·정상 전압 규정값(Vtk): 램프 출하전에 미리 정해져 IC태그에 저장된, 당해 램프에 고유의 정상 점등시의 램프 인가 전압값.

·정상 주파수 규정값(Ftk): 램프 출하전에 미리 정해져 IC태그에 저장된, 당해 램프에 고유의 정상 점등시의 램프 인가 주파수.

·정상 전압 목표값(Vtm): 전압 보정 테이블의 보정값과, 정상 전압 규정 값(Vtk)으로부터 연산되는 당해 램프에 실제로 인가되는 정상 점등시의 램프 인가 전압값, 혹은 정상 전압 안전값(Vts)에 의해 정해지는 램프 인가 전압값. 이하에서는, 점등 전압이라고도 한다.

·정상 주파수 목표값(Ftm): 주파수 보정 테이블의 보정값과, 정상 전압 목표값(Vtm)에 의해 정해지는 램프 인가 주파수, 혹은 정상 주파수 안전값(Fts)에 의해 정해지는 램프 인가 주파수. 이하에서는, 점등 주파수라고도 한다.

·초기 전압 안전값(Vfs): 램프의 안전을 고려한 초기 점등 램프 인가 전압값(제조 편차를 고려했을 때의 램프 점등 초기에 인가하는 전압 중의 가장 낮은 값)

·초기 주파수 안전값(Ffs): 램프의 안전을 고려한 초기 점등 램프 주파수(제조 편차를 고려했을 때의 램프 점등 초기에 인가하는 주파수 중의 가장 낮은 값)

·정상 전압 안전값(Vts): 램프의 안전을 고려한 정상 점등시의 인가 전압값(제조 편차를 고려했을 때의 램프 정상 점등시에 인가하는 전압 중의 가장 낮은 값)

·정상 주파수 안전값(Fts): 램프의 안전을 고려한 정상 점등시의 주파수(제조 편차를 고려했을 때의 램프 정상 점등시에 인가하는 주파수 중의 가장 낮은 값)

·전압 보정 테이블(Tv): 통산 점등 시간과 보정값의 대응 테이블.

·주파수 보정 테이블(Tf): 램프 인가 전압값과 보정값의 대응 테이블.

도 2는 본 발명의 일 실시 형태의 광원 장치의 기능 블럭도이며, 제어부(4) 의 CPU(11)에서 실행되는 처리에 의해 실현되는 기능을 블럭도로서 나타낸 것이다.

램프(1)에 설치된 IC태그(1a)에는, 상기 서술한 바와 같이 통산 점등 시간(Ts), 고유 번호(시리얼 번호), 점등 이력 정보, 장치 정보, 초기 전압 규정값(Vfk), 초기 주파수 규정값(Ffk), 정상 전압 규정값(Vtk), 정상 주파수 규정값(Ftk)이 기록되고, IC태그 R/W부(12)는 상기 서술한 바와 같이 안테나(14)를 통하여, 상기 IC태그(1a)에 기록된 상기 데이터를 읽어들여, IC태그 데이터로서 기억부(13)에 기억시킨다.

제어부(4)의 판정 수단(4a)은, 램프(1)가 자외선 조사 장치에 장착되었을 때, IC태그 R/W부(12)에 의한 IC태그로부터의 판독/기록이 가능한지 여부, 정보의 판독이 가능하고, 또한 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 있는지 여부 등을 판정한다.

여기서, 자외선 조사 장치에 장착되는 램프(1)에는 이하의 (a)~(d)의 케이스를 생각할 수 있으며, 판정 수단(4a)은, 장치에 장착되어 있는 램프(1)가 어느 종류의 램프인지를 판정하여, 판정 결과를 점등 제어 수단(4e)에 건네준다.

(a) IC태그(1a)로부터의 판독/기록이 가능하지 않은 램프

이 경우는, IC태그(1a)의 데이터에서는 이용할 수 없는 경우이며, IC태그(1a)의 데이터는 이용할 수 없다.

또, IC태그로부터의 판독/기록이 가능한 경우에는, 이하의 경우가 있다.

(b) 사용된 적이 없는 신품의 램프

이 경우, 점등 이력 정보가 점등 실적 없음을 나타내는 경우이며, 통산 점등 시간(Ts)은 0이다. IC태그(1a)에 저장된 초기 전압 규정값(Vfk), 초기 주파수 규정값(Ffk) 등의 데이터는 이용 가능하다.

(c) 당해 자외선 조사 장치에서는 사용되고 있지 않지만, 점등 실적이 있는 램프

이 경우, 점등 이력 정보가 점등 실적 있음을 나타내고, 장치 정보는, 당해 자외선 조사 장치에서 사용되고 있지 않은 것을 나타내고 있는 경우이며, 통산 점등 시간(Ts)은 0 이상이다.

(d) 당해 자외선 조사 장치에서 사용되고 있던 램프

이 경우, 점등 이력 정보가 점등 실적 있음을 나타내고, 장치 정보는, 당해 자외선 조사 장치에서 사용되고 있던 것을 나타내는 경우이며, 통산 점등 시간(Ts)은 0 이상이다. 또한 이 케이스의 경우는, 그 램프를 전회(前回) 사용했을 때의 데이터가 당해 자외선 조사 장치내의 기억부(13)내에 저장되어 있어, 램프의 고유 번호로 읽어낼 수 있다.

제1의 설정 수단(4b)은, IC태그(1a)에 저장된 정보에 기초하여 초기 점등 조건을 설정하고, 제2의 설정 수단(4c)은, IC태그(1a)에 저장된 정보에 기초하여 정상 점등 조건을 설정한다.

즉, 제1의 설정 수단(4b)은, 상기 초기 점등 조건으로서, 통산 점등 시간 등에 의해 정해지는 전압 보정 테이블 및 주파수 보정 테이블의 보정값과 IC(1a) 태그에 기록된 초기 전압 규정값(Vfk), 초기 주파수 규정값(Ffk)에 기초하여, 초기 전압 목표값(Vfm) 및 초기 주파수 목표값(Ffm)을 설정한다.

또, 제2의 설정 수단(4c)은, 상기 정상 점등 조건으로서, 통산 점등 시간 등에 의해 정해지는 전압 보정 테이블 및 주파수 보정 테이블의 보정값과 IC태그(1a)에 기록된 정상 전압 규정값(Vtk) 및 정상 주파수 규정값(Ftk)에 기초하여, 정상 전압 목표값(Vtm) 및 정상 주파수 목표값(Ftm)을 설정한다.

또, 상기 초기 점등 조건 및 정상 점등 조건을, 그 엑시머 램프의 통산 점등 시간에 따라 갱신하는 갱신 수단(4d)을 가지며, 갱신된 상기 초기 점등 조건 및 정상 점등 조건은 기억 수단(13)에 기억된다.

즉, 갱신 수단(4d)은, 상기 초기 전압 목표값(Vfm), 초기 주파수 목표값(Ffm), 정상 점등 전압 목표값(Vtm) 및 정상 주파수 목표값(Ftm)을, 램프(1)의 통산 점등 시간(Ts)에 따라 갱신한다.

또, 적산 타이머(4f)는 램프(1)가 점등하고 있는 시간을 적산 카운트하고, 상기 갱신 수단(4d)은, 소정의 적산 시간에 이를 때마다 기억부(13)에 기억된 통산 점등 시간을 갱신한다. 이 갱신된 통산 점등 시간(Ts)은, 장치의 동작을 정지시킬 때, 램프(1)에 설치된 IC태그(1a)에 기록된다.

점등 제어 수단(4e)은, 판정 수단(4a)의 판정 결과가, IC태그(1a)로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 없을 때(상기 (b)(c)의 케이스), 상기 제1의 설정 수단(4b)에 의해 설정된 초기 점등 조건, 즉 초기 전압 목표값(Vfm) 및 초기 점등 주파수 목표값(Ffm)에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 상기 제2의 설정 수단(4c)에 의해 설정된 정상 점등 조건, 즉 정상 전압 목표값(Vtm) 및 정상 주파수 목표값(Ftm)을 이용하 여 램프(1)를 정상 점등으로 이행시킨다.

또, 판정 수단(4a)의 판정 결과가, IC태그(1a)로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선조사 장치에서의 점등 실적이 있을 때(상기 (d)의 케이스), 기억 수단(13)에 기억된 초기 점등 조건, 즉 초기 전압 목표값(Vfm) 및 초기 점등 주파수 목표값(Ffm)에 기초하여, 램프(1)를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 기억 수단(13)에 기억된 정상 점등 조건, 즉 정상 전압 목표값(Vtm) 및 정상 주파수 목표값(Ftm)을 이용하여 램프(1)를 정상 점등으로 이행시킨다.

또한 판정 수단(4a)의 판정 결과가, IC태그(1a)로부터 정보의 판독을 할 수 없을 때(상기 (a)의 케이스), 미리 정해진 안전값인 초기 점등 조건, 즉, 초기 전압 안전값(Vfs) 및 초기 주파수 안전값(Ffs)을 초기 전압 목표값(Vfm) 및 초기 점등 주파수 목표값(Ffm)으로 하여 램프(1)를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 미리 정해진 안전값인 정상 점등 조건, 즉, 미리 정해진 안전값인 정상 전압 안전값(Vts) 및 정상 주파수 안전값(Fts)을 정상 전압 목표값(Vtm) 및 정상 주파수 목표값(Ftm)으로 하여, 램프(1)를 정상 점등으로 이행시킨다.

점등 제어 수단(4e)은, 고주파 점등 전원(2)을 제어하고, 램프(1)에 공급되는 전압, 주파수를 제어한다. 즉, 램프(1)에 인가되는 전압과 램프 전류가 검출되어, 점등 전원(2)으로부터 제어부(4)의 점등 제어 수단(4e)에 보내진다. 또한 점등 전원(2)에서 검출된 전압, 전류는 아날로그 신호이며, 이 아날로그 신호는 상기한 바와 같이 A/D변환기에 의해 디지털 신호로 변환되어 제어부(4)의 CPU(11)에 보내진다.

제어부(4)의 점등 제어 수단(4e)은, 점등 램프(1)를 초기 점등시킬 때, 주파수가 상기 초기 점등 주파수 목표값(Ffm)이며, 전압이 상기 초기 전압 목표값(Vfm)인 전압을 램프(1)에 인가하여, 초기 점등 타이머(4g)로 설정되는 기간, 램프(1)에 초기 점등 동작을 시킨다. 또한 상기 초기 점등 주파수 목표값(Ffm)은 정상 점등시의 주파수보다 높은 70kHz 정도이다.

램프(1)의 초기 점등 후, 점등 제어 수단(4e)은, 초기값으로서, 주파수가 상기 정상 주파수 목표값(Ftm)이며, 전압이 정상 전압 목표값(Vtm)인 전압을 램프(1)에 인가하여, 정상 점등으로 이행시킨다. 또한 정상 점등 개시시의 주파수는, 주파수 목표값(Ftm)은 50kHz 정도이다.

정상 점등에서는, 전력 일정 제어를 행한다. 그 때, 우선, 전압, 주파수를 상기 초기값으로 하고, 램프에 공급되는 전력이 일정해지도록, 주파수를 제어한다.

즉, 점등 제어 수단(4e)은, 고주파 점등 전원(2)으로부터 보내져 오는 전압, 전류로부터 램프에 공급되는 전력을 산출하고, 산출한 전력이, 미리 설정된 목표 전력에 일치하는 것 같은 램프 전압과 주파수를 연산한다. 이 램프 전압과 주파수는, 전압 지령, 주파수 지령으로서 점등 전원(2)에 송출된다.

점등 전원(2)은, 이 전압 지령, 주파수 지령에 따라 램프(1)의 구동 전압, 주파수를 제어한다.

이것에 의해, 램프(1)에 공급되는 전력이 목표 전력에 일치하도록 제어되고, 램프(1)는 목표 전력에 따른 조도로 점등된다.

또한 엑시머 램프(1)가 출사하는 진공 자외광의 조도는, 여러 가지의 요인에 의해 경시적으로 저하된다. 이 조도 저하를 보정하기 위해서, 후술하는 바와 같이, 필요에 따라, 램프의 정상 점등 전압을 램프의 통산 점등 시간에 따라 증가시키도록 해도 된다.

또, 소등시에는, 소등 타이머(4h)가 동작하고, 소등 타이머(4h)가 타임업할 때까지의 기간에 후술하는 바와 같이 소등 동작을 행한다.

본 실시 형태의 자외선 조사 장치에서는, 상기와 같이 IC태그에 기억된 전기적 특성값 및 적산 시간에 기초하여, 램프의 초기 점등 조건, 정상 점등 조건을 정하여, 램프를 점등시키고 있으므로, 초기 점등시에 램프에 과잉하게 전력이 투입되는 것을 억제하여 램프 수명이 짧아지는 것을 억제할 수 있다.

또, 예를 들면 IC태그를 구비하지 않은 램프, 혹은 IC태그의 판독에 불편을 가진 램프에서는, 전력이 과잉하게 입력되지 않도록, 미리 정해진 안전값인 투입 전력을 제한한 초기 점등 조건 및 정상 점등 조건에 의해, 램프를 점등시키고 있으므로, IC태그를 구비하지 않은 램프여도, 램프 수명이 짧아지는 일이 없다.

또, 당해 자외선 조사 장치의 점등 실적을 판정하여, 점등 실적이 있는 경우는, 장치내에 저장된 데이터를 이용하여, 초기 점등, 정상 점등을 시키고 있으므로, 장치 기동시에 재차 연산할 필요가 없다. 이 때문에, 초기 점등을 신속하게 행할 수 있다.

다음에, 본 실시 형태의 광원 장치의 동작에 대해 플로우 차트에 의해 상세하게 설명한다.

도 3은, 도 1, 도 2에 나타내는 자외선 조사 장치에서의 제어부의 처리의 개 략을 나타내는 플로우 차트이다. 또, 도 4~도 8은 도 3의 각 스텝 S1~S6의 상세를 나타낸 플로우 차트이다.

우선, 도 3에 의해, 도 1, 도 2에 나타낸 자외선 조사 장치에서의 제어 처리의 개략을 설명한다.

자외선 조사 장치가 기동되면, 초기 데이터를 취득한다(스텝 S1). 즉, 램프(1)의 IC태그(1a)로부터 데이터를 읽어들임과 함께, 필요에 따라 기억부(13)의 ROM(13b), EEPROM(13c) 등에서 데이터를 RAM(13a)에 전송한다.

이어서, 상기 IC태그(1a)로부터 읽어들인 데이터 등에 기초하여, 상기 서술한 바와 같이, 램프(1)를 초기 점등시킨 후에, 정상 점등으로 이행시킨다(스텝 S2).

램프(1)가 정상 점등으로 이행하면, 이후, 램프의 소등 신호가 온이 될 때까지, 램프의 점등을 유지하는데, 그 때, 램프(1)의 적산 점등 시간에 따라, 상기 기억부(13)에 저장된 내부 데이터를 갱신한다(스텝 S3).

램프 소등 신호가 ON이 되면, 램프의 소등 동작을 행하고(스텝 S4, S5), 소등시의 IC태그의 데이터 갱신을 행하며, 또, 기억부(13)의 RAM(13a)에 저장되어 있는 데이터의 EEPROM(13c) 등으로의 퇴피를 행하여(스텝 S6) 처리를 종료한다.

다음에, 도 4~도 8의 플로우 차트에 의해, 본 실시 형태의 자외선 조사 장치의 제어부에서의 처리에 대해 설명한다.

도 4, 도 5는, 장치의 기동으로부터 램프의 정상 점등 동작으로 이행할 때까지의 처리를 나타내고 있다.

도 4에서, 고주파 점등 전원(2)이 기동되고(스텝 S11), 제어부(4)를 구성하는 각 부(CPU(11), IC태그 R/W부(12), 제어부(4), 안테나(14), 기억부(13))가 통전되어 대기 상태가 된다. 이 때, 기억부(13)의 ROM(13b), EEPROM(13c) 등에 기억된 데이터가, 필요에 따라 RAM(13a)에 전송되고, 장치가 초기화된다(스텝 S1). 이것에 의해, 제어부(4)는, RAM(13a)에 저장된 데이터를 이용하여 처리를 행할 수 있게 된다.

또한 이하의 설명에서는, 데이터가 RAM(13a)에 전송되어 있는 경우여도, 필요에 따라 장치 기동시에 저장되어 있던 장소에서 데이터의 저장 장소를 특정하는 경우가 있다.

스텝 S12에서, 제어부(4)는, IC태그 R/W부(12)를 통하여 안테나(14)와, 엑시머 램프(1)에 구비된 IC태그(1a)를 통신시켜, IC태그(1a)에 기록된 정보를 읽어들이도록 제어하고, 읽어들인 정보를 기억부(13)(RAM(13a))에 기억시킨다.

여기서, IC태그(1a)로부터 읽어들이는 정보로서는, 상기 서술한 바와 같이, 통산 점등 시간(Ts), 고유 번호(시리얼 번호), 점등 이력 정보, 장치 정보, 초기 전압 규정값(Vfk), 초기 주파수 규정값(Ffk), 정상 전압 규정값(Vtk), 정상 주파수 규정값(Ftk) 등이다.

또한 도 13에 나타낸 바와 같이 동일 장치에서, 복수의 엑시머 램프가 설치되는 경우도 있으므로, 상기 「장치 정보」는, 장치의 정보에 더하여 그 장치에서의 엑시머 램프가 장착된 위치를 나타내는 「채널 정보」를 포함한다. 「채널 정보」란, 예를 들면 도 13에서의 장치에서는, 엑시머 램프가 4개 구비되어, 각 엑시머 램프가 배치된 위치를 「채널」이라고 부르고, 이 채널을 우측으로부터 「채널 1」 「채널2」‥로 하는 바와 같이, 각 채널을 구별하기 위한 정보이다.

제어부(4)는, 상기 스텝 S12에서 IC태그(1a)에 기록된 정보가 읽어들어졌는지 여부를 스텝 S13에서 확인한다. IC태그(1a)에 기록된 정보가 읽어들여진 경우에는, 스텝 S14로 진행하고, 읽어들여지지 않은 경우에는, 스텝 S191로 진행한다.

스텝 S14에서는, IC태그(1a)에 기록된 「점등 이력 정보」로부터 엑시머 램프의 점등 실적의 유무(신/구 램프 비트를 확인)를 판단한다.

스텝 S14에서, 엑시머 램프의 점등 실적이 없었다고 판단했을 때에는 스텝 S15로 진행하고, 엑시머 램프의 점등 실적이 있었다고 판단했을 때에는 스텝 S16로 진행한다.

스텝 S16에서는, 동일 장치에서의 점등 실적이 있는지를 판단하여, 동일 장치에서의 점등 실적이 없는 경우에는 스텝 S17로 진행하고, 점등 실적이 있는 경우에는 스텝 S18로 진행한다.

또한 여기에서는, 점등 실적의 유무를, 「점등 이력 정보」로부터 판단했지만, 예를 들면 「적산 시간」이나 「장치 정보」로부터도 판단할 수 있다. 예를 들면 「적산 시간」으로 판단하는 경우, 「적산 시간」이 0시간일 때 점등 실적 없음, 「적산 시간」이 0시간 이외일 때 점등 실적이 된다. 또, 「장치 정보」로 판단하는 경우, 「장치 정보」의 기억이 없었을 때 점등 실적 없음, 「장치 정보」의 기억이 있었을 때 점등 실적 있음이 된다.

즉, 제어부(4)는, IC태그(1a)로부터 판독한 「고유 번호(시리얼 번호)」와, 기억부(13)에 기억된 점등 실적이 있는 엑시머 램프(1)의 「고유 번호(시리얼 번호)」를 조합(照合)함으로써, 그 IC태그(1a)를 구비하는 엑시머 램프(1)에 대해, 그 제어부를 구비하는 자외선 조사 장치에서의 점등 실적의 유무를 판단한다.

또한 제어부(4)는, IC태그(1a)로부터 판독한 「장치 정보」가, 엑시머 램프(1)에 장착된 자외선 조사 장치의 정보인지를 판단한다.

스텝 S16에서, 그 제어부(4)를 구비하는 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 있음과 함께 「장치 정보」가 일치한다고 판단했을 때에는 스텝 S18로 진행하고, 그 이외일 때에는 스텝 S17로 진행한다.

이하, 상기한 (a)~(d)의 경우로 나누어, 각 케이스의 경우의 처리에 대해 설명한다.

(a) IC태그(1a)로부터의 판독/기록이 가능하지 않은 램프가 장착된 경우.

이 경우는, 스텝 S13으로부터 스텝 S191로 진행한다. 스텝 S191에서는, 기억부(13)(예를 들면 ROM(13b))으로부터 초기 전압 안전값(Vfs), 초기 주파수 안전값(Ffs), 정상 전압 안전값(Vts), 정상 주파수 안전값(Fts)을 읽어낸다.

또한 엑시머 램프(1)는 초기 점등시 및 정상 점등시, 과잉한 전력이 램프에 입력되면 열화하는 위험성이 있어, 안전을 고려한 초기 전압 안전값(Vfs), 초기 주파수 안전값(Ffs), 정상 전압 안전값(Vts), 정상 주파수 안전값(Fts)이 기억부(13)(예를 들면 ROM(13b))에 저장되어 있다.

스텝 S19에서는, 상기 초기 전압 안전값(Vfs), 초기 주파수 안전값(Ffs)을, 각각, 초기 전압 목표값(Vfm), 초기 주파수 목표값(Ffm)으로서 설정한다.

그 다음에, 스텝 S192에서, 상기 정상 전압 안전값(Vts), 정상 주파수 안전값(Fts)을 정상 전압 목표값(Vtm), 정상 주파수 목표값(Ftm)으로서 설정한다.

이 초기 전압 목표값(Vfm), 초기 주파수 목표값(Ffm)은, 정상 전압 목표값(Vtm), 정상 주파수 목표값(Ftm)은 기억부(13)(예를 들면 RAM(13a))에 기억된다.

스텝 S192의 처리 후, 도 5로 진행한다.

(b) 사용된 적이 없는 신품의 램프가 장착된 경우.

이 경우, 스텝 S13으로부터 스텝 S14, 스텝 S15로 진행한다. 스텝 S15에서는, IC태그(1a)로부터 읽어낸 초기 전압 규정값(Vfk), 초기 주파수 규정값(Ffk)을, 각각, 초기 전압 목표값(Vfm), 초기 주파수 목표값(Ffm)로서 설정한다.

이어서, 스텝 S151에서, IC태그(1a)로부터 읽어낸 상기 정상 전압 규정값(Vtk), 정상 주파수 규정값(Ftk)을 정상 전압 목표값(Vtm), 정상 주파수 목표값(Ftm)으로서 설정한다.

이 초기 전압 목표값(Vfm), 초기 주파수 목표값(Ffm), 정상 전압 목표값(Vtm), 정상 주파수 목표값(Ftm)은 기억부(13)(예를 들면 RAM(13a))에 기억된다.

(c) 당해 자외선 조사 장치에서는 사용되고 있지 않지만, 점등 실적이 있는 램프가 장착된 경우. 이 경우, 스텝 S14로부터 스텝 S16, 스텝 S17로 진행한다.

엑시머 램프(1)는, 자외선 조사 장치(10)로부터 분리가 가능하다. 이 때문에, 사용자의 사용법에 따라서는, A라는 자외선 조사 장치에서 사용한 엑시머 램프(1)를 분리하고, 그 엑시머 램프(1)를 B라는 자외선 조사 장치에서 사용하는 경우가 있다.

이 경우, 엑시머 램프(1)의 IC태그(1a)에는 점등 실적은 있지만, A의 장치의 점등 실적이며, B의 장치의 점등 실적은 아니다.

이 점을 판단하기 위해서, 엑시머 램프(1)의 IC태그(1a)의 「장치 정보」에는, 직전의 점등 실적이 있는 장치의 「장치 정보」만이 기억된다.

즉, A라는 자외선 조사 장치에서 사용한 엑시머 램프(1)의 IC태그(1a)에는, A장치에서 점등되었을 때 A장치의 「장치 정보」가 기억되고, 다음에 B장치에서 점등되었을 때 「장치 정보」에 있던 A장치의 정보는 B장치의 정보로 고쳐 써진다.

스텝 S16에서는, 점등 실적이 있는 엑시머 램프(1)가 장착되어 있는 자외선 조사 장치에서, IC태그(1a)에 기억된 「장치 정보」를 이용하여, 직전에 동일 장치에서의 점등의 유무가 있는지를 판단한다. 동일 장치에서의 점등의 유무가 없는 경우에는, 스텝 S17로 진행한다.

스텝 S17에서는, 이하와 같이 처리를 행한다.

상기 도 2에 나타내는 제어부(4)의 제1의 설정 수단(4b), 제2의 설정 수단(4c)은, IC태그(1a)로부터 판독한 통산 점등 시간(Ts)에 대응하는 전압값의 보정값을, 미리 기억부(13)(ROM(13b))에 기억시킨 전압 보정 테이블로부터 판독한다. 도 9에 전압 보정 테이블(Tv)의 구성예를 나타낸다.

전압 보정 테이블(Tv)은, 동 도에 나타내는 바와 같이, 램프의 통산 점등 시간(h)에 대한 전압 보정값을 등록한 테이블이며, 이 보정값에 의해 통산 점등 시간에 따라, 초기 전압 규정값 및 정상 전압 규정값을 보정한다.

즉, 제1의 설정 수단(4b)은, 상기 전압 보정 테이블(Tv)을 참조하여 전압 보 정값을 얻고, 이 전압 보정값과 IC태그(1a)로부터 판독한 초기 전압 규정값(Vfk)을 연산하여 초기 전압 목표값(Vfm)을 구한다.

계속하여, 제1의 설정 수단(4c)은, 연산하여 구한 「전압값」에 대응하는 주파수의 보정값을, 미리 기억부(13)(ROM(13b))에 기억시킨 주파수 보정 테이블(Tf)로부터 판독한다. 도 10에 주파수 보정 테이블(Tf)의 구성예를 나타낸다.

주파수 테이블(Tf)은, 동 도에 나타내는 바와 같이, 전압값(KV)에 대한 주파수 보정값을 등록한 테이블이며, 이 보정값에 의해 초기 주파수 규정값(Ffk) 및 정상 주파수 규정값(Ftk)을 보정한다.

즉, 제1의 설정 수단(4b)은, 상기 주파수 테이블(Tf)을 참조하여, 주파수 보정값을 얻고, 이 주파수 보정값과 초기 주파수 규정값(Ffk)을 연산하여 초기 주파수 목표값(Ffm)을 구한다.

상기 초기 전압 목표값(Vfm), 초기 주파수 목표값(Ffm)은, 램프(1)의 초기 점등 전력으로서 설정되어 기억부(13)에 기억된다.

수치예를 이용하여 설명하면, IC태그(1a)로부터 판독한 「통산 점등 시간」이 「300」시간이며, IC태그(1a)로부터 판독한 초기 전압 규정값(Vfk)이 8KV였을 때, 스텝 S17에서, 통산 점등 시간 300시간에 대응하는 전압값의 보정값을, 미리 기억부(13)에 기억시킨 도 9에 나타내는 전압 보정 테이블(Tv)로부터 판독하고, 판독한 「1.010」을 초기 전압 규정값(Vfk)으로 연산한다. 즉, 초기 전압 규정값 「8」KV×「1.010」=「8.08」KV를 초기 전압 목표값(Vfm)으로서 연산하여 구한다.

계속하여, 연산하여 구한 초기 전압 목표값(Vfmk)의 「8.08」KV에 대응하는 주파수의 보정값을, 미리 기억부(13)에 기억시킨 도 10에 나타내는 주파수 보정 테이블(Tf)로부터 판독하고, 판독한 주파수 보정값 「1.05」과 그 IC태그(1a)로부터 판독한 초기 주파수 규정값(Ffk)인 「50」KHz를, 50KHz×「1.05」=「52.5」KHz와 같이 연산하여, 「초기 점등 주파수 목표값(Ffm)」을 구한다. 구한 「초기 전압 목표값(Vfmk)」 「8.08」KV와 「52.5」KHz를, 기억부(13)에 기억시킨다.

다음에, 초기 점등 후에 행해지는 정상 전력 점등시키기 위한 정상 전압 목표값(Vtm)과 정상 주파수 목표값(Ftm)을 구한다.

스텝 S171에서, 제어부(4)의 제2의 설정 수단(4c)은, IC태그(1a)로부터 판독한 통산 점등 시간(Ts)에 대응하는 전압 보정값을, 상기 전압 보정 테이블(Tv)로부터 얻고, 이 전압 보정값과 IC태그(1a)로부터 판독한 정상 전압 규정값(Vtk)을 연산하여, 정상 전압 목표값(Vtm)을 구한다. 정상 전압 목표값(Vtm)에 계속하여, 제2의 설정 수단(4c)은 연산하여 구한 정상 전압 목표값(Vtm)에 대응하는 주파수의 보정값을, 상기 주파수 보정 테이블(Tf)로부터 판독하고, 그 주파수 보정값과 IC태그(1a)로부터 판독한 정상 주파수 규정값(Ftk)을 연산하여 정상 주파수 목표값(Ftm)을 구한다. 구한 정상 전압 목표값(Vtm)과 정상 주파수 목표값(Ftm)을 기억부(13)에 기억시킨다.

(d) 당해 자외선 조사 장치에서 사용되고 있던 램프가 그대로 장착되어 있는 경우. 이 경우, 스텝 S14로부터 스텝 S16, 스텝 S18로 진행한다.

후술하는 바와 같이, 기억부(13)에는, 전회 점등시켰을 때의 엑시머 램프(1)의 고유 번호(시리얼 번호)와, 전회의 당해 엑시머 램프(1)를 초기 점등시켰을 때 의 초기 전압 목표값(Vfm), 초기 주파수 목표값(Ffm)이 기억되어 있다. 또, 정상 전압 목표값(Vtm), 정상 주파수 목표값(Ftm)으로 정상 점등을 개시하여, 정상 점등으로 이행한 후, 정상 점등 종료시에서의 점등 전압값과 점등 주파수값이 기억되어 있다.

그래서, 스텝 S18에서는, 기억부(13)(EEPROM(13c))에 기억되어 있는 초기 전압 목표값(Vfm), 초기 주파수 목표값(Ffm)을 읽어내어, 기억부(13)(RAM(13a))에 기억시킨다.

또, 스텝 S181에서, 제어부(4)는, 기억부(13)(EEPROM(13c))에 기억된 데이터인 상기 점등 전압값과 점등 주파수값을 읽어내어, 정상 전압 목표값(Vtm), 정상 주파수 목표값(Ftm)으로서 기억부(RAM(13a))에 기억시킨다.

또한 본 발명은, IC태그(1a)를 구비하는 엑시머 램프(1)의 제어에 관한 것이며, 스텝 S13에서의 IC태그의 데이터 읽어들임이 가능한 것, 및 가능하지 않은 것의 구분을 행하여, 데이터 읽어들임이 가능한 것을 그 데이터에 기초하여 제어하는 점에 특징이 있다.

상기 서술한 바와 같이, 각 스텝 S15, S17, S18, S19에서 자외선 조사 장치에 장착된 엑시머 램프(1)의 초기 전압 목표값(Vfm)과 초기 주파수 목표값(Ffm)을 설정했다.

다음에, 도 5에 의해 상기 초기 전압 목표값(Vfm)과 초기 주파수 목표값(Ffm), 그리고, IC태그(1a)로부터 판독한 통산 점등 시간을 이용하여, 엑시머 램프(1)를 초기 점등시키고, 그 후 통상 점등시키는 처리에 대해 설명한다.

스텝 S21, S22에서, 제어부(4)의 점등 제어 수단(4e)은, 기억부(13)에 기억시킨 상기 초기 전압 목표값(Vfm)과 초기 주파수 목표값(Ffm)을 엑시머 램프(1)를 초기 점등하기 위한 목표값으로서 설정한다.

또한 스텝 S23에서, 점등 제어 수단(4e)은 초기 점등 타이머(4g)에 초기 점등 시간(T0)을 설정한다.

다음에 스텝 S24에서, 고주파 점등 전원(2)에 점등 신호를 출력하고, 이것과 동시에, 스텝 S25에서, 목표값으로서 설정한 초기 전압 목표값(Vfm)과 초기 주파수 목표값(Ffm)을 고주파 점등 전원(2)에 출력하고, 고주파 점등 전원(2)은, 상기 전압과 주파수에 기초하여, 엑시머 램프(1)의 초기 점등을 개시한다.

또, 스텝 S24와 동시에, 스텝 S26에서, 스텝 S23에서 설정한 초기 점등 타이머(4g)의 카운트다운(감산)을 개시한다. 또한 스텝 S2에서 램프의 점등 시간을 적산하기 위해 점등 적산 타이머(4f)의 카운트를 개시한다.

스텝 S28에서, 초기 점등 타이머(4g)가 타임업하는 것을 기다린다. 그 동안, 목표값으로서 설정한 초기 전압 목표값(Vfm)과 초기 주파수 목표값(Ffm)이, 고주파 점등 전원(2)에 출력되고, 고주파 점등 전원(2)은, 이 전압, 주파수로 엑시머 램프(1)를 계속 점등시킨다. 초기 점등 시간(T0)이 경과하면, 스텝 S29로 진행한다.

스텝 S29, S291에서, 제어부(4)의 점등 제어 수단(4e)은, 기억부(13)에 기억시킨 상기 정상 전압 목표값(Vtm)과 정상 주파수 목표값(Ftm)을 엑시머 램프(1)의 정상 점등을 개시할 때의 목표값으로서 설정한다.

그리고, 스텝 S292에서, 정상 전압 목표값(Vtm)과 정상 주파수 목표값(Ftm) 을 고주파 점등 전원(2)에 출력하고, 고주파 점등 전원(2)은, 엑시머 램프(1)의 전력 컨트롤을 개시한다.

점등 제어 수단(4e)은, 정상 점등 개시 후, 상기 고주파 점등 전원(2)으로부터 보내져 오는 전압, 전류로부터 램프에 공급되는 전력을 산출하고, 산출한 전력(상기 전압, 전류의 합에 역률 COSφ를 곱한 값)이, 미리 설정된 목표 전력에 일치하는 것 같은 주파수를 구하여, 주파수 지령으로서 점등 전원(2)에 송출한다.

또, 정상 점등 개시시에는, 상기 정상 전압 목표값(Vtm)에 대응한 전압이 램프(1)에 인가되도록 제어되는데, 후술하는 바와 같이, 램프의 통산 점등 시간이 증대함에 따라, 램프에 인가되는 전압을 증대시킨다.

점등 전원(2)은, 이 전압 지령, 주파수 지령에 따라 램프(1)의 구동 전압, 주파수를 제어한다. 이것에 의해, 램프(1)에 공급되는 전력이 목표 전력에 일치하도록 제어되고, 램프(1)는 목표 전력에 따른 조도로 점등한다.

또한 이하에서는, 정상 점등 중에서, 램프에 인가되는 전압, 주파수를 각각 「점등 전압」, 「점등 주파수」라고 한다.

도 6은, 점등 후, 소등까지의 동안에서의 내부 데이터의 갱신 처리를 나타내는 플로우 차트이다.

점등 후, 소등까지의 정상 점등중에서, 도 2에 나타내는 갱신 수단(4d)은, 점등 적산 타이머(4f)의 카운트값에 따라, 램프의 통산 점등 시간(Ts)을 갱신함과 함께, 상기 서술한 바와 같이 정상 점등시에 램프에 인가되는 점등 전압의 갱신을 행하여, 통산 점등 시간(Ts)에 따라 램프의 점등 전압을 증대시킨다.

또, 램프의 점등중, 램프의 통산 점등 시간(Ts)에 따라, 기억부(13)에 저장되어 있는 초기 전압 목표값(Vfm)과 초기 주파수 목표값(Ffm), 정상 전압 목표값(Vtm)(점등 전압)과 정상 주파수 목표값(Ftm)을 갱신하여, 다음의 점등 개시시에, 이 갱신된 전압, 주파수로, 당해 램프를 초기 점등, 정상 점등시킨다.

이하, 도 6의 플로우 차트에서의 처리에 대해 설명한다.

도 6에서, 스텝 S31에서, 램프(1)가 통상 점등중인지를 도시하지 않은 광센서로 확인하여, 점등중이면 스텝 S311로 진행하고, 점등중이 아니면 처리를 종료한다. 스텝 S311에서, 점등 적산 타이머(4f)(도 2 참조)에서 카운트한 시간이 소정 시간 경과했는지 확인하여, 소정 시간 경과하면 스텝 S32로 진행한다.

스텝 S32에서, 경과한 소정 시간을, 기억부(13)에 기억시킨 통산 점등 시간에 가산하여 갱신한다. 예를 들면, 수치를 이용하여 설명하면, 상기 「소정 시간」을 1시간으로 하고, 기억부(13)에 기억된 통산 점등 시간이 199시간이라고 한다. 스텝 S311에서, 적산 타이머(4f)에서 1시간 경과한 것을 확인하면, 스텝 S32에서 199시간에 1시간 가산하여 통산 점등 시간을 200시간으로 한다.

통산 점등 시간(Ts)이 갱신되면, 도 9에 나타낸 전압 보정값 테이블(Tv)의 보정값이 갱신되어 있을 가능성이 있다.

그래서, 스텝 S33에서, 통산 점등 시간(Ts)의 증가에 따라 점등 전압을 갱신할 필요가 있는지를 조사한다.

예를 들면, 전압 보정값 테이블(Tv)을 참조하여, 갱신된 통산 점등 시간에서의 전압 보정값이, 먼저 전압 보정값 테이블(Tv)을 참조했을 때의 전압 보정값(예 를 들면 도 4의 스텝 S17(또는 S171) 또는 S18(또는 S181)에서 참조했을 때의 전압 보정값)과 다른지 여부를 조사한다.

예를 들면 수치를 이용하여 설명하면, 통산 점등 시간이 199시간이며, 소정 시간이 1시간일 때, 통산 점등 시간 199시간에 소정 시간 1시간이 가산되어 200시간이 된다. 이 경우, 도 9에 나타내는 테이블에서는, 통산 점등 시간 199시간의 보정값도 통산 점등 시간 200시간의 보정값도 같은 「1.005」이므로, 보정값의 갱신은 없다. 또 더 시간이 경과하여, 통산 점등 시간이 201시간이 되면, 보정값은 「1.010」이 되므로, 보정값의 갱신 있음이 되어, 점등 전압을 갱신할 필요가 있다.

통산 점등 시간이 가산된 결과, 전압값의 보정값이 갱신되어 있지 않으면, 스텝 S41로 진행하고, 갱신되어 있으면, 스텝 S331로 진행한다.

점등 전압의 갱신이 없는 경우에는, 스텝 S41로 진행하여, 소등 신호를 확인하고, 소등 신호가 오프일 때, 스텝 311로 되돌아간다.

또, 점등 전압의 갱신이 있는 경우에는, 스텝 S331로 진행한다.

스텝 S331에서, 갱신된 보정값과, 기억부(13)에 기억되어 있는 당해 램프의 초기 전압 규정값(Vfk)으로 연산하고, 그 연산 결과에 따라, 기억부(13)에 기억된 초기 전압 목표값(Vfm)을 갱신한다.

이 초기 전압 규정값(Vfk)은, 당해 램프를 다음에 점등시킬 때, 기억부(13)로부터 읽어내어져, 초기 전압 목표값(Vfm)으로서 설정된다(도 4의 스텝 S18).

마찬가지로 스텝 S331에서, 갱신된 전압 보정값과, 기억부(13)에 기억되어 있는 당해 램프의 정상 전압 규정값(Vtk)으로 연산하여, 그 때의 통산 점등 시간에 따른 점등 전압을 얻고, 이것을 새로운 점등 전압으로 한다.

수치예를 이용하여 설명하면, 정상 전압 규정값(Vfk)이 7KV이며, 「가산된 적산 시간」이 「201시간」이었을 때의 대응하는 보정값 「1.010」이며, 7KV×1.010=7.07KV를 연산에 의해 구하고, 이 7.07KV를, 갱신된 점등 전압으로 하여, 기억부(13)에 기억시킨다.

스텝 S34에서는, 스텝 S331에서 기억부(13)에 기억시킨 전압값을 신규의 점등 전압값으로서 목표값으로 설정하고, 적산 시간이 가산되기 전의 점등 전압값으로부터, 새로운 점등 전압값으로 변경하여, 고주파 전원에 신규의 점등 전압값을 출력한다.

예를 들면, 상기 7.07KV를, 갱신된 점등 전압으로 한 경우, 점등 전압값은, 7.07KV(「전압 규정값」7KV×「보정값」1.010)으로 변경되어, 고주파 점등 전원(2)에 새로운 점등 전압값으로서 7.07KV가 출력된다.

점등 전압값이 갱신되면, 도 10에 나타내는 주파수 보정 테이블(Tf)의 주파수 보정값이 갱신되어 있을 가능성이 있다.

이 때문에, 스텝 S36에서, 갱신된 점등 전압값에 대응하는 주파수 보정값을, 도 10에 나타내는 주파수 보정 테이블(Tf)로부터 판독하여, 이 주파수 보정값이, 먼저 주파수 보정 테이블(Tf)을 참조했을 때의 주파수 보정값(예를 들면 도 4의 스텝 S17(또는 S171) 또는 S18(또는 S181)에서 참조했을 때의 주파수 보정값)과 다른지 여부를 조사한다.

그리고, 점등 전압값이 갱신된 결과, 주파수값의 보정값이 갱신되어 있지 않 으면, 스텝 S41로 진행하고, 갱신되어 있으면 스텝 S37로 진행한다.

스텝 S37에서는, 갱신된 주파수의 보정값과, 기억부(13)에 기억되어 있는 당해 램프의 정상 주파수 규정값(Ftk)으로 연산하고, 그 연산하여 구한 정상 주파수 목표값(Ftm)을, 스텝 S371에서, 기억부(13)에 기억시킨다.

이 정상 주파수 목표값(Ftm)은, 당해 램프를 다음에 점등시킬 때, 기억부(13)로부터 읽어내어져, 정상 주파수 목표값(Ftm)으로서 설정된다(도 4의 스텝 S18).

스텝 S41에서, 램프 소등 신호를 확인하고, 램프 소등 신호가 출력되어 있지 않을 때(ON일 때)에는, 램프 점등중이므로, 스텝 S311로 되돌아가, 상기 처리를 반복한다. 소등 신호가 출력되면(OFF=Yes), 처리를 종료하고, 다음에 설명하는 소등 처리를 행한다.

다음에, 램프의 소등 처리에 대해 설명하는데, 우선, 소등 공정이 필요한 이유에 대해 설명한다.

엑시머 램프는, 한 쌍의 전극 사이에, 예를 들면 석영 유리와 같은 유전성을 가지는 방전 용기를 통하여, 그 방전 용기의 내부의 발광 가스를 여기시켜 엑시머 발광을 행하고 있다.

엑시머 램프가 미사용한 것인 경우, 엑시머 발광을 행하는 초기 점등시에, 방전 용기에는, 전극을 통하여 예를 들면 8KV와 같은 고전압이 인가된다.

도 11(a)에 나타내는 바와 같이, 고전압이 인가된 방전 용기(1b)는, 유전성을 가지므로 분극하여, 그 표면에 전하가 나타나고, 이 전하를 이용하여 엑시머 발 광이 행해진다.

엑시머 램프에서는, 고주파도 입력되어 있기 때문에, 방전 용기(1b)의 분극은, 입력된 고주파에 따라 변화한다. 구체적으로는, 분극이 해소되거나, 분극이 역전한다.

엑시머 램프의 한 쪽의 전극은, 도 11(b)에 나타내는 바와 같이 고주파의 산부분일 때에 고전위가 인가되지만, 고주파의 골부분일 때에는, 다른 쪽의 전극과 같이 접지된 상태(0KV)이며, 방전 용기의 분극은 해소된다.

또, 다른 점등 방식의 경우, 한 쪽의 전극과 다른 쪽의 전극에 인가되는 전압의 높낮이는 역전하므로, 예를 들면 한 쪽의 전극측이 고전위일 때의 방전 용기의 분극은, 다른 쪽의 전극측이 고전위일 때의 방전 용기의 분극으로부터 보면 역전하고 있다. 방전 용기의 분극은, 정상 점등시에서도 일어나고 있다.

이러한 엑시머 램프를 소등할 때, 입력하고 있던 고전위를 곧 바로 0KV로 하고, 동시에 입력하고 있던 고주파를 곧 바로 0KHz로 하는 것이 가능하지만, 곧 바로 고전압과 고주파를 0으로 해 버리면, 다음회의 램프 점등시에서 불점등이 되거나, 램프 입력이 과잉해지는 경우가 있었다.

이 문제는, 램프 소등 후에 있어서도 방전 용기가 분극하는 것에 원인이 있다고 생각된다. 이하에 그 원인의 추측을 나타낸다.

램프 점등 후에 있어서, 입력하고 있던 고전압과 고주파를 곧 바로 0으로 해 버리면, 방전 용기의 표면의 전하는 해소된다. 그러나, 고전압과 고주파를 0으로 하기 직전이 6KV였을 때에는, 방전 용기 자신의 분극은 6KV였을 때의 것이 유지되 어 버린다.

엑시머 램프에 입력되는 고전압이나 고주파는, 방전 용기가 분극한 상태를 고려하고 있지 않다. 이 때문에, 방전 용기가 분극한 상태에서, 엑시머 램프에 고전압과 고주파를 입력하면, 방전 용기의 분극 상태의 영향을 받아, 램프 입력이 과잉하거나 불충분하여, 램프의 불점등·과잉 입력이 일어나 버렸다고 생각된다.

그래서, 본 발명자는, 램프 소등시에, 정전력 제어시에서의 전압값보다도 낮은 전압을 입력하고, 또한 정전력 제어시에서의 주파수값보다도 높은 주파수값을 입력하면, 방전 용기의 분극 상태를 억제할 수 있어, 다음회의 램프 점등시에서의 불비를 해소할 수 있는 지견을 얻었다.

이러한 소등 공정을 이용한 소등 처리에 대해서, 도 7의 플로우 차트에 의해 설명한다.

스텝 S501에서, 소등 신호가 입력되면 제어부(4)의 점등 제어 수단(4e)은, 미리 기억부(13)에 기억시킨 점등 전압값으로부터의 감산값(α)을 읽어낸다. 그리고, 기억부(13)에 기억되어 있는 점등 전압과 상기 감산값(α)을 연산하고, 그 연산 결과를 소등 전압값으로서 기억부(13)에 기억시키고, 이 소등 전압값을 목표값으로서 설정한다.

스텝 S502에서, 점등 제어 수단(4e)은, 미리 기억부(13)에 기억시킨 점등 주파수값의 가산값(β)을 읽어내어, 기억부(13)에 기억되어 있는 점등 주파수값과 상기 가산값(+β)를 연산하고, 그 연산 결과를 소등 주파수값으로서 기억부(13)에 기억시켜, 이 소등 주파수값을 목표값으로서 설정한다.

스텝 S503에서, 점등 제어 수단(4e)은 미리 기억부(13)에 기억시킨 소등 시간(T1)을 읽어내어, 이 소등 시간(T1)을 소등 타이머(4h)(도 2 참조)에 설정한다.

스텝 S52에서, 점등 제어 수단(4e)은 목표값으로서 설정한 「점등 전압값-α」를 고주파 점등 전원(2)에 출력하고, 또, 동시에 스텝 S53에서, 「점등 주파수+β」를 고주파 점등 전원(2)에 출력한다.

고주파 전원(2)은 소등 전압인 「점등 전압값-α」과 소등 주파수인 「점등 주파수＋β」에 기초하여, 엑시머 램프(1)의 소등 동작을 개시한다.

스텝 S52 및 스텝 S53와 동시에, 스텝 S54에서, 소등 타이머(4h)의 카운트다운(감산)을 개시한다.

엑시머 램프(1)에 입력되는 소등 전압은, 점등 전압 보다 α만큼 낮은 소등 전압이며, 엑시머 램프(1)는, 엑시머 발광이 정지된다.

스텝 S55에서, 「소등 시간(T1)」의 동안, 목표값으로서 설정한 소등 전압값과 소등 주파수를 고주파 점등 전원(2)에 출력하고, 엑시머 램프(1)를 계속 점등시켜, 소등 시간(T1)이 경과하여, 소등 타이머(4h)가 타임업하면, 스텝 S56로 진행한다. 또, 타임업과 동시에, 소등 타이머(4h)의 동작을 종료시킨다.

스텝 S56에서, 제어부(4)의 점등 제어 수단(4e)은, 고주파 점등 전원(2)으로부터 엑시머 램프(1)로의 출력을 종료시키고, 고주파 점등 전원을 오프로 한다.

도 8은, 소등시의 데이터의 갱신 처리를 나타내는 플로우 차트이며, 여기에서는, IC태그의 데이터의 갱신과, 장치의 기억부(13)의 데이터의 갱신을 행한다.

스텝 S62에서, 제어부(4)의 갱신 수단(4d)은, 기억부(13)에 기억시킨 통산 점등 시간(Ts)을, IC태그(1a)에 기록한다. 또, 장치 정보로서 엑시머 램프가 장착된 「장치의 정보」와, 엑시머 램프를 복수개 구비하는 장치에서는, 그 엑시머 램프가 장착된 채널 정보가 IC태그(1a)에 기록된다.

또, 필요에 따라 IC태그(1a)의 「점등 이력 정보」의 신/구 플래그 비트를 ON로 하여, 점등 실적이 있던 것을 기억시킨다.

스텝 S67에서, 기억부(13)의 RAM(13a)에 기억되어 있는 엑시머 램프(1)의 「고유 번호(시리얼 번호)」와, 엑시머 램프(1)의 통산 점등 시간에 따라 갱신된 그 엑시머 램프(1)를 초기 점등시킬 때의 「초기 전압 목표값(Vfm)」과 「초기 주파수 목표값(Ffm)」, 및, 그 엑시머 램프(1)를 정전력 제어하고 있었을 때의 마지막 「점등 전압값」과 「점등 주파수」(소등 점등 직전의 「점등 전압값」과 「점등 주파수값」)과, 「통산 점등 시간」을 기억부(13)의 EEPROM(13c)에 기억시키고, 제어부(4)의 전원을 OFF한다.

또한 상기 서술의 설명에서는, 램프를 점등시키는 제어 파라미터로서, 「전압값」과 「주파수값」을 이용했지만, 「주파수값」을 제어하는 것은, 「전류값」을 제어하는 것으로도 말할 수 있으므로, 주파수값의 제어 대신에 전류값을 제어하도록 해도 된다.

또, 전력 제어를 행하려면, 주파수값을 제어하는 것 이외에, 램프에 인가하는 전압의 듀티비를 제어해도 된다. 즉, 본 발명에서의 램프 점등의 제어의 파라미터로서는, 「전압값」과 「주파수값」에 더하여, 「전류값」과 「전압의 듀티비」등을 제어하도록 해도 된다.

또, 상기 서술의 실시 형태에서는, 전압값의 「보정 파라미터」(도 9) 및 주파수값의 「보정 파라미터」(도 10)는, 초기 점등시 및 정상 점등시 모두 공통의 것을 이용했지만, 다양한 보정 파라미터를 이용해도 상관없다. 즉, 초기 점등시에서의 「보정 파라미터 A」와, 정상 점등시에서의 「보정 파라미터 B」로 나누어도 된다.

도 1은 본 발명의 실시 형태인 자외선 조사 장치의 시스템 구성을 나타내는 도이다.

도 2는 본 발명의 실시 형태의 광원 장치의 기능 블럭도이다.

도 3은 본 발명의 실시 형태인 자외선 조사 장치에서의 제어부의 처리의 개략을 나타내는 플로우 차트이다.

도 4는 장치의 기동으로부터 램프의 정상 점등 동작으로 이행할 때까지의 처리의 플로우 차트(1)이다.

도 5는 장치의 기동으로부터 램프의 정상 점등 동작으로 이행할 때까지의 처리의 플로우 차트(2)이다.

도 6은 점등 후, 소등까지의 사이에서의 내부 데이터의 갱신 처리를 나타내는 플로우 차트이다.

도 7은 소등 처리를 나타내는 플로우 차트이다.

도 8은 소등시의 데이터의 갱신 처리를 나타내는 플로우 차트이다.

도 9는 전압 보정값 테이블의 일례를 나타내는 도이다.

도 10은 주파수 보정 테이블의 일례를 나타내는 도이다.

도 11은 엑시머 램프의 분극의 모습을 설명하는 도이다.

도 12는 엑시머 램프를 탑재한 자외선 조사 장치의 구성을 나타내는 도(관축에 평행한 평면으로 자른 단면도)이다.

도 13은 엑시머 램프를 탑재한 자외선 조사 장치의 구성을 나타내는 도(관축에 수직인 평면으로 자른 단면도)이다.

도 14는 IC태그를 구비한 엑시머 램프를 점등시키는 자외선 조사 장치의 시스템 구성을 나타내는 도이다.

도 15는 초기 점등시의 조도 변화를 나타내는 도이다.

<부호의 설명>

1: 램프(엑시머 램프) 1a: IC태그

2: 점등 전원 3: 트랜스

4: 제어부 4a: 판정 수단

4b: 제1의 설정 수단 4c: 제2의 설정 수단

4d: 갱신 수단 4e: 점등 제어 수단

4f: 적산 타이머 4g: 초기 점등 타이머

4h: 소등 타이머 10: 자외선 조사 장치

11: CPU 12: IC태그 R/W부

13: 기억부 13a: 메모리(RAM)

13b: 메모리(ROM) 13c: 메모리(EEPROM)

14: 안테나 16: A/D변환기

17: D/A변환기

Claims (8)

1. 엑시머 램프에 설치된 IC태그로부터의 정보의 판독 및 IC태그로의 정보의 기록을 행하는 IC태그 판독/기록 수단과,

   엑시머 램프에 급전하는 점등 전원과, 엑시머 램프의 점등을 제어하는 제어부를 구비하고, IC태그를 구비한 엑시머 램프가 장착되는 자외선 조사 장치로서,

   상기 IC태그에는, 적어도, 그 IC태그를 구비하는 엑시머 램프의 통산 점등 시간과, 그 엑시머 램프의 고유의 전기적 특성을 나타내는 정보와, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적의 유무를 나타내는 정보가 기록되고,

   상기 자외선 조사 장치의 제어부는,

   엑시머 램프가 그 자외선 조사 장치에 장착되었을 때, 상기 IC태그 판독/기록 수단에 의한 IC태그로의 액세스를 실행함으로써, IC태그로부터 정보의 판독, IC태그로의 기록이 가능한지 여부, 정보의 판독이 가능하고, 또한 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 있는지 여부를 판정하는 판정 수단과,

   상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 초기 점등 조건을 설정하는 제1의 설정 수단과,

   상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 정상(定常) 점등 조건을 설정하는 제2의 설정 수단과,

   상기 초기 점등 조건 및 정상 점등 조건을, 그 엑시머 램프의 통산 점등 시간에 따라 갱신하는 갱신 수단과, 갱신된 상기 초기 점등 조건 및 정상 점등 조건 을 기억하는 기억 수단과,

   상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 없을 때, 상기 제1의 설정 수단에 의해 설정된 초기 점등 조건에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 상기 제2의 설정 수단에 의해 설정된 정상 점등 조건을 이용하여 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키고,

   상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 있을 때, 상기 기억 수단에 기억된 초기 점등 조건에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 상기 기억 수단에 기억된 정상 점등 조건을 이용하여 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키며,

   상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독을 할 수 없을 때, 미리 정해진 안전값인 초기 점등 조건에 의해, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 미리 정해진 안전값인 정상 점등 조건을 이용하여, 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키는 점등 제어 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 IC태그에 기억된 엑시머 램프의 고유의 전기적 특성을 나타내는 정보에는, 적어도, 그 엑시머 램프를 점등시키기에 적합한 초기 전압 규정값, 초기 주파 수 규정값, 정상 전압 규정값 및 정상 주파수 규정값이 포함되고,

   상기 제1의 설정 수단은, 상기 초기 점등 조건으로서, 상기 IC태그에 저장된 초기 전압 규정값, 초기 주파수 규정값에 기초하여, 초기 전압 목표값 및 초기 점등 주파수 목표값을 설정하고,

   상기 제2의 설정 수단은, 상기 정상 점등 조건으로서, 상기 IC태그에 저장된 정상 전압 규정값 및 정상 주파수 규정값에 기초하여, 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 설정하며,

   상기 갱신 수단은, 상기 초기 전압 목표값, 초기 점등 주파수 목표값, 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을, 그 엑시머 램프의 통산 점등 시간에 따라 갱신하고,

   상기 기억 수단은, 갱신된 상기 초기 전압 목표값, 초기 점등 주파수 목표값, 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 기억하고,

   상기 점등 제어 수단은,

   상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 없을 때, 제1의 설정 수단에 의해 설정된 상기 초기 전압 목표값 및 초기 점등 주파수 목표값에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 상기 제2의 설정 수단에 의해 설정된 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 이용하여 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키며,

   상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 있을 때, 상기 기억 수단에 기억된 초기 전압 목표값, 초기 점등 주파수 목표값에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 상기 기억 수단에 기억된 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 이용하여 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키고,

   상기 판정 수단의 판정 결과가, IC태그로부터 정보의 판독을 할 수 없을 때, 미리 정해진 안전값인 초기 전압 안전값 및 초기 주파수 안전값에 의해, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고, 초기 점등 후, 미리 정해진 안전값인 정상 전압 안전값 및 정상 주파수 안전값을 이용하여, 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키는 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치.
3. 엑시머 램프에 설치된 IC태그로부터의 정보의 판독/기록 수단과, 엑시머 램프의 점등을 제어하는 제어부를 구비한 자외선 조사 장치의 점등 제어 방법으로서,

   상기 IC태그에는, 적어도, 그 IC태그를 구비하는 엑시머 램프의 통산 점등 시간과, 그 엑시머 램프의 고유의 전기적 특성을 나타내는 정보와, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적의 유무가 기록되고,

   상기 자외선 조사 장치의 제어부는,

   엑시머 램프가 그 자외선 조사 장치에 장착되었을 때, 상기 엑시머 램프가 IC태그를 구비하고, 그 IC태그로부터 정보의 판독/기록이 가능한지 여부를 판별하여,

   그 엑시머 램프의 IC태그로부터 정보의 판독/기록이 가능할 때, IC태그에 저 장된 정보를 취득하고,

   IC태그로부터 취득한 정보에 기초하여, 그 엑시머 램프의 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적의 유무를 판별하여,

   상기 판별 결과에 따라 다음의 (가)~(다)의 공정,

   (가) IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 없을 때, 상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 초기 점등 조건을 설정하고, 그 설정된 초기 점등 조건에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고,

   상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 정상 점등 조건을 설정하고, 초기 점등 후, 그 설정된 정상 점등 조건을 이용하여 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키는 공정,

   (나) IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 있을 때, 그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보 및/또는 상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 초기 점등 조건을 설정하고, 그 설정된 초기 점등 조건에 기초하여, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고,

   그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보 및/또는 상기 IC태그에 저장된 정보에 기초하여, 정상 점등 조건을 설정하고, 초기 점등 후, 그 설정된 정상 점등 조건을 이용하여 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키는 공정,

   (다) IC태그로부터 정보의 판독을 할 수 없을 때, 미리 정해진 안전값인 초 기 점등 조건을 설정하고, 그 안전값인 그 초기 점등 조건에 의해, 그 엑시머 램프를 초기 점등시키고,

   미리 정해진 안전값인 정상 점등 조건을 설정하여, 초기 점등 후, 안전값인 그 정상 점등 조건을 이용하여, 그 엑시머 램프를 정상 점등으로 이행시키는 공정을 행하는 것을

   특징으로 하는 자외선 조사 장치의 점등 제어 방법.
4. 청구항 3에 있어서,

   상기 (가)의 공정에 있어서, IC태그로부터 정보의 판독이 가능하고, 그 자외선 조사 장치에서의 점등 실적이 없고, 다른 장치에서의 점등 실적이 있을 때,

   IC태그에 저장된 통산 점등 시간 및 그 엑시머 램프의 고유의 전기적 특성을 나타내는 정보를 이용하여, 초기 점등 조건을 설정함과 함께, 정상 점등 조건을 설정하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치의 점등 제어 방법.
5. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,

   상기 IC태그에 저장된 엑시머 램프의 고유의 전기적 특성을 나타내는 정보에는, 적어도, 그 엑시머 램프를 점등시키기에 적합한 초기 전압 규정값, 초기 주파수 규정값, 정상 전압 규정값 및 정상 주파수 규정값이 포함되고,

   상기 (가), (나)의 공정에 있어서, 상기 초기 점등 조건으로서, 상기 IC태그에 저장된 초기 전압 규정값, 초기 주파수 규정값 및/또는 그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보에 기초하여, 초기 전압 목표값 및 초기 점등 주파수 목표값을 설정하고,

   상기 정상 점등 조건으로서, 상기 IC태그에 저장된 정상 전압 규정값, 정상 주파수 규정값 및/또는 그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보에 기초하여, 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 설정하며,

   상기 (다)의 공정에 있어서, 상기 초기 점등 조건으로서, 안전값인 초기 전압 안전값 및 초기 주파수 안전값을 설정하고,

   상기 정상 점등 조건으로서, 미리 정해진 안전값인 정상 전압 안전값 및 정상 주파수 안전값을 설정하는 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치의 점등 제어 방법.
6. 청구항 5에 있어서,

   상기 (가) 및 (나)의 공정에 있어서, 상기 초기 전압 목표값 및 초기 점등 주파수 목표값을, 상기 IC태그에 저장된 정보 및/또는 그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보에 기초하여 다음과 같이 구하는 것,

   (a) 그 엑시머 램프의 통산 점등 시간에 대응하는 초기 전압 보정값을 구하고,

   (b) 초기 전압 보정값과, 초기 전압 규정값을 연산하여 초기 전압 목표값을 구하며,

   (c) 구한 그 초기 전압 목표값에 대응하는 초기 점등 주파수 보정값을 구하 여,

   그 초기 점등 주파수 보정값과, 초기 주파수 규정값을 연산하여 초기 점등 주파수 목표값을 구하는 것을

   특징으로 하는 자외선 조사 장치의 점등 제어 방법.
7. 청구항 5에 있어서,

   상기 (가) 및 (나)의 공정에 있어서, 상기 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을, 상기 IC태그에 저장된 정보 및/또는 그 자외선 조사 장치에 저장된 그 엑시머 램프에 관한 정보에 기초하여, 다음과 같이 구하는 것,

   (a) 그 엑시머 램프의 통산 점등 시간에 대응하는 정상 점등 전압 보정값을 구하고,

   (b) 정상 점등 전압 보정값과, 정상 전압 규정값을 연산하여 정상 전압 목표값을 구하며,

   (c) 구한 그 정상 전압 목표값에 대응하는 정상 점등 주파수 보정값을 구하여,

   그 정상 점등 주파수 보정값과, 정상 주파수 규정값을 연산하여 정상 주파수 목표값을 구하는 것을

   특징으로 하는 자외선 조사 장치의 점등 제어 방법.
8. 청구항 3 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,

   IC태그로부터 정보의 판독 및 IC태그로의 정보의 기록이 가능할 때,

   상기 제어부는, 엑시머 램프를 소등시켰을 때, 그 엑시머 램프에 설치된 IC태그의 통산 점등 시간을 갱신함과 함께 그 자외선 조사 장치에서 사용 실적이 있는 것을 기록하고,

   그 자외선 조사 장치에, 상기 엑시머 램프를 동정(同定)하기 위한 정보, 및 다음회 점등시의, 초기 전압 목표값, 초기 점등 주파수 목표값, 정상 전압 목표값 및 정상 주파수 목표값을 기억시키는 것을 특징으로 하는 자외선 조사 장치의 점등 제어 방법.

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