CN101636031A - 紫外线照射装置以及紫外线照射装置的点灯控制方法 - Google Patents

Abstract

提供一种紫外线照射装置以及紫外线照射装置的点灯控制方法，根据灯的总计点灯时间，而以适当的初期点灯电力可进行点灯的紫外线照射装置及该装置的控制方法。在设置于准分子灯(1)的IC标签(1a)，除了该灯的点灯时间的累计值的总计点灯时间，点灯历史信息等的信息以外，还记录有起始电压规定值，起始频率规定值，稳定电压规定值，稳定频率规定值等的灯上所固有电特性值。起动装置时，控制部(4)是从IC标签(1a)读取上述信息，而根据灯的总计点灯时间与该灯上所固有的电特性值，在初期点灯时设定施加于灯的电压、频率等而将灯进行初期点灯。初期点灯后，过渡至稳定点灯，进行施加于灯(1)的电力的定电力控制。

Description

紫外线照射装置以及紫外线照射装置的点灯控制方法

技术领域

本发明是关于一种使用于半导体基板或液晶基板的制造工序上的基板的洗净等的准分子灯的紫外线照射装置及该装置的点灯控制方法，尤其是，关于一种依据设置在准分子灯的IC标签的信息进行控制点灯装置的紫外线照射装置及该装置的点灯控制方法。

背景技术

当前，在半导体基板或液晶基板的制造工序中，将这些基板的洗净作为目的而使用具有照射真空紫外线的准分子灯的紫外线照射装置。

准分子灯是例如放射将氙气体作为发光物质的波长172nm的真空紫外光，而在洗净能力上比低压水银灯优异。

上述的准分子灯在使用寿命末期时，则随着构成发光管的石英玻璃等劣化，真空紫外线的放射强度降低。所以必须更换新的，但一般很难从准分子灯的外观判断是否达到使用寿命末期。

在此，提案有在各个准分子灯设置IC标签，而在该IC标签存储着准分子灯的总计点灯时间信息，作成可管理总计点灯时间的装置(例如，参照专利文献1)。

图12及图13，是表示搭载准分子灯的紫外线照射装置的剖面图。图12是表示以平行于准分子灯的管轴的平面切剖的剖面图，图13是表示垂直于准分子灯的管轴的平面切剖的剖面图。

如同图所示，紫外线照射装置是内部具有循环惰性气体的金属制壳体101。在壳体101的下方设置有光照射窗101a，而在壳体101的侧面，设有用于导入惰性气体的气体导入口101b，及用于排出惰性气体的气体排出口101c。

在壳体101的内部，配置有管轴成为平行的方式排列配置的多支准分子灯100。沿著准分子灯100，将从准分子灯100所放射的紫外线朝被处理物方向反射的导水筒状反射镜102，对应设置于各准分子灯100。设有反射镜102的各准分子灯100是例如将内部被固定于循环着水冷管104的铝制的冷却块103。

准分子灯100在由透射真空紫外光的介质材料构成的发光管100a的两端，分别形成有埋设金属箔100e的密封部100f，而在发光管100a内部，线圈状内部电极100b配置于发光管100a的管轴上，而以绝缘体100d覆盖内部电极100b的周围。另外，在发光管100a的外表面配置有网状外部电极100c。

在各金属箔100e，连接有朝发光管100a外方突出的外部引线100g，而在外部引线100g，连接有高压供电电缆120c，在其端部设有高压馈电端子120。

在壳体101安装有树脂制连接器110，而在该连接器110内设有天线140。又，在高压供电电缆120c的端部安装有高压馈电端子120，而在高压供电端子120的绝缘座内设有IC标签13。

通过将高压供电端子120的插头***至上述连接器110，导通内部电极100b与高频点灯电源(未图示)。针对于外部电极100，虽未图示，但同样地与高频点灯电源导通。

另外，准分子灯是除了表示于图12及图13的构造以外，例如专利文献3所示，公知有长方体类型，或是如专利文献4所示公知有双重管类型，也可使用此种型式的准分子灯。

图14是表示将具备上述的IC标签的准分子灯进行点灯的紫外线照射装置10的***结构的一例的图。

准分子灯100是具备IC标签130，当安装有准分子灯100时，控制部21的IC标签R/W部21b通过天线21c从IC标签130读取作为IC标签130的信息，例如总计点灯时间。CPU 21a是将该信息存储在存储部21d。

并且，以高频点灯电源22对准分子灯100进行点灯的期间，随时有最新的点灯时间信息被加在存储于存储部21d的总计点灯时间。

当该总计点灯时间到达使用寿命时间，则CPU 21a是对于高频点灯电源22发送点灯停止信号，并进行关灯准分子灯100(参照专利文献1的段落0021、0022)。

另外，在专利文献1，也记载有使用被记载在IC标签130的照度特性信息来控制准分子灯100(参照专利文献1的段落0023)。

另外，作为使用IC标签的光源装置，提案有通过使多个灯具有的点灯时间或点灯次数等信息，而可供应正确的灯的信息的装置(参照专利文献2)。

氙光源是亮度分别不相同，因此而在专利文献2记载有：事先将发货规格值记录在IC标签，而装置侧读取该发货规格值并设定最适当的灯电流值，作成以灯电源可控制氙光源(专利文献2的段落0030、0031、0032)。

专利文献1：日本特开2007-123069号公报

专利文献2：日本特开2003-068478号公报

专利文献3：日本特开2004-111326号公报

专利文献4：日本特开2000-048772号公报

发明内容

为了开始点灯准分子灯，在初期点灯时需要比稳定点灯还要大的电力。在该初期点灯时应接通的电力是因准分子灯的制造偏差而有所不同。

例如准分子灯是使用具有如石英玻璃的介质性的玻璃构件，其厚度因制造偏差有所变动，而因该厚度的变动，初期点灯时所必需的接通电力有所不同。所以，为了可靠地使准分子灯点灯，将准分子灯的初期点灯时的接通电力与制造偏差的最需要接通电力一致，对于制造偏差的接通电力最小的，成为过剩的接通电力，而导致缩短灯寿命的结果。

即，准分子灯是在较冷状态下点灯性不好，另外点灯性是根据灯而偏差很大。所以，在初期点灯时，为了能点灯所有灯，须投入过度的接通电力，来强制地进行点灯。所以，如图15(a)所示，在初期点灯时成为过度的光进行发光的情形。

因此，如专利文献2所述，考虑将发货规定值事先记录在IC标签，而装置侧读取该发货规格值而设定最适当数值的情形。

但是，准分子灯是在点灯时使用高电压与高频率，而并不是如专利文献2所述的氙气体灯流动电流而进行点灯。另外，经本发明人的专心努力加以解释清楚，则可知准分子灯是随着点灯时间(总计点亮时间)的经过，该初期点灯所必须的电力有所不同。

即，可知灯点灯的总计点灯时间例如200小时的准分子灯的初期点灯的所需电力，与灯点灯的总计点灯时间例如1000小时的准分子灯的初期点灯的所需电力有所不同。

所以在具有准分子灯的IC标签，仅设定用于初期点灯的电力，并无法根据总计点灯时间不相同的准分子灯的适当电力进行初期点灯。

另外，也可考虑无法利用IC标签的数据的准分子灯安装于装置，或是安装有在其他装置所使用的灯。在该情形，也不会以过剩的接通电力进行初期点灯，而期望以适当的电力进行初期点灯。

本发明是鉴于上述的事项而完成的，本发明的目的是在于提供一种紫外线照射装置及该装置的控制方法，即使灯的总计点灯时间不相同的灯也能够以适当的初期点灯电力进行点灯，另外，即使无法利用IC标签的数据，或是安装有在其他装置所使用的灯的情形，也可以在可能范围内以适当的电力可进行初期点灯。

在本发明中，在设于灯的IC标签，除了该灯的点灯时间的累计值的总计点灯时间，点灯历史信息等的信息以外，还记录着起始电压规定值、起始频率规定值、稳定电压规定值、稳定频率规定值等的该灯上所固有电特性值。

并且，起动装置时，从IC标签读取上述信息，而依据灯的总计点灯时间与该灯上所固有的电特性值，在初期点灯时设定施加于灯的电压、频率等而将灯进行初期点灯。

由此，考虑灯的偏差，使用经过状态，就可进行各灯所适用的初期点灯动作。所以，如图15(b)所示可抑制过剩的光，而如图15(a)所示在初期点灯时不会发过度的光。

即，在本发明中，如下地来解决上述课题。

(1)一种紫外线照射装置具有：对来自设置于准分子灯的IC标签的信息进行读取及对给IC标签的信息进行写入的IC标签读取/写入单元；向准分子灯进行供电的点灯电源；及对准分子灯的点灯进行控制的控制部，安装有具有IC标签的准分子灯的紫外线照射装置特征为，

上述紫外线照射装置的控制部具有：判定单元，在准分子灯被安装于该紫外线照射装置时，通过执行由上述IC标签读取/写入单元对于IC标签的存取，来判定是否可从IC标签读取信息并向IC标签写入，或是可读取信息且是否具有该紫外线照射装置实际点灯作业；第1设定单元，根据被存储于上述IC标签的信息，设定初期点灯条件；第2设定单元，根据被存储于上述IC标签的信息，设定稳定点灯条件；更新单元，根据该准分子灯的总计点灯时间来更新上述初期点灯条件及稳定点灯条件；存储单元，存储被更新的上述初期点灯条件及稳定点灯条件。

点灯控制单元，进行以下操作：

在上述紫外线照射装置的控制部，上述判定单元的判定结果为从IC标签可读取信息、且没有该紫外线照射装置实际点灯作业时，则根据由上述第1设定单元所设定的初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用由上述第2设定单元所设定的稳定点灯条件，将该准分子灯过渡至稳定点灯。

上述判定单元的判定结果为从IC标签可读取信息、且具有该紫外线照射装置实际点灯作业时，则根据被存储于上述存储单元的初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用被存储于上述存储单元的稳定点灯条件，将该准分子灯过渡至稳定点灯。

上述判定单元的判定结果为从IC标签无法读取信息时，则由事先所规定的作为安全值的初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用事先所规定的作为安全值的稳定点灯条件，将该准分子灯过渡至稳定点灯。

(2)在上述(1)中，上述第1设定单元根据被存储于上述IC标签的起始电压规定值及起始频率规定值，进行设定起始电压目标值及初期点灯频率目标值，作为上述初期点灯条件，上述第2设定单元根据被存储于上述IC标签的稳定电压规定值及稳定频率规定值，进行设定稳定电压目标值及稳定频率目标值，作为上述稳定点灯条件。

上述更新单元是根据该准分子灯的总计点灯时间，进行更新上述起始电压目标值、初期点灯频率目标值、稳定电压目标值及稳定频率目标值，

上述存储单元是进行存储被更新的上述起始电压目标值、初期点灯频率目标值、稳定电压目标值及稳定频率目标值。

另外，上述点灯控制单元进行以下操作：

在上述判定单元的判定结果为从IC标签可读取信息、且没有该紫外线照射装置实际点灯作业时，根据由第1设定单元所设定的上述起始电压目标值及初期点灯频率目标值，对该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用由上述第2设定单元所设定的稳定电压目标值及稳定频率目标值，将该准分子灯过渡至稳定点灯。

在上述判定单元的判定结果为从IC标签可读取信息、且具有该紫外线照射装置实际点灯作业时，则根据被存储于上述存储单元的起始电压目标值、初期点灯频率目标值，对该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用被存储于上述存储单元的稳定电压目标值及稳定频率目标值，将该准分子灯过渡至稳定点灯，上述判定单元的判定结果为从IC标签无法读取信息时，则由事先所设定的作为安全值的起始电压安全值及起始频率安全值，对该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用事先所设定的作为安全值的稳定电压安全值及稳定频率安全值，将该准分子灯过渡至稳定点灯。

(3)一种紫外线照射装置的点灯控制方法，是具备：来自设于准分子灯的II C标签的信息的读取/写人单元，及控制准分子灯的点灯的控制部的紫外线照射装置的点灯控制方法，其特征为：

上述紫外线照射装置的控制部，在准分子灯被安装于该紫外线照射装置时，上述准分子灯具有IC标签，根据该IC标签判别是否可读取/写入信息，从该准分子灯的IC标签可读取/写入信息时，则取得被存储于IC标签的信息，根据从IC标签所取得的信息，判别有无该准分子灯的该紫外线照射装置实际点灯作业，根据上述判别结果进行如下(A)至(C)的步骤：

(A)在从IC标签可读取信息，且没有该紫外线照射装置实际点灯作业时，根据被存储于上述IC标签的信息，设定初期点灯条件，而根据该被设定的初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯。

根据被存储于上述IC标签的信息，进行设定稳定点灯条件，初期点灯后，使用该被设定的稳定点灯条件，使该准分子灯过渡至稳定点灯。

(B)在从IC标签可读取信息，且具有该紫外线照射装置实际点灯作业时，根据与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息和/或被存储于上述IC标签的信息，设定初期点灯条件，根据该被设定的初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯。

根据与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息和/或被存储于上述IC标签的信息，进行设定稳定点灯条件，初期点灯后，使用该被设定的稳定点灯条件，使该准分子灯过渡至稳定点灯。

(C)从IC标签无法读取信息时，设定事先所规定的作为安全值的初期点灯条件，由作为该安全值的该初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯。

设定事先所规定的作为安全值的稳定点灯条件，初期点灯后，使用作为安全值的该稳定点灯条件，使该准分子灯过渡至稳定点灯。

(4)在上述(3)的(A)的步骤中，从IC标签可读取信息，没有该紫外线照射装置实际点灯作业，而具有其他装置实际点灯作业时，则使用表示被存储于IC标签的总计点灯时间及该准分子灯的固有电特性的信息，进行设定初期点灯条件，并且设定稳定点灯条件。

(5)在上述(3)、(4)的(A)，(B)的步骤中，根据被存储于上述IC标签的起始电压规定值、起始频率规定值和/或与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息，进行设定起始电压目标值及初期点灯频率目标值，作为上述初期点灯条件，作为上述稳定点灯条件，根据被存储于上述IC标签的稳定电压规定值、稳定频率规定值和/或与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息，进行设定稳定电压目标值及稳定频率目标值，在上述(C)的步骤中，设定作为安全值的起始电压安全值及起始频率安全值，作为上述初期点灯条件，作为上述稳定点灯条件，进行设定事先所规定的安全值的稳定电压安全值及稳定频率安全值。

(6)在上述(5)的(A)及(B)的步骤中，根据被存储于上述IC标签的信息和/或与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息，以如下方式求出上述起始电压目标值及初期点灯频率目标值。

(a)求出对应于该准分子灯的总计点灯时间的起始电压修正值。

(b)对起始电压修正值及起始电压规定值进行运算，而求出起始电压目标值。

(c)求出对应于所求出的该起始电压目标值的初期点灯频率修正值。

对该初期点灯频率修正值及起始频率规定值进行运算，而求出初期点灯频率目标值。

(7)在上述(5)的(A)及(B)的步骤中，根据被存储于上述IC标签的信息和/或与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息，以如下的方式求出上述稳定电压目标值及稳定频率目标值。

(a)求出对应于该准分子灯的总计点灯时间的稳定点灯电压修正值。

(b)对稳定点灯电压修正值及稳定电压规定值进行运算，而求出稳定电压目标值。

(c)求出对应于所求出的该稳定电压目标值的稳定点灯频率修正值。

对该稳定点灯频率修正值及稳定频率规定值进行运算，而求出稳定频率目标值。

(8)在上述(3)至(7)中，从IC标签可读取信息及可将信息写入IC标签时，上述控制部在使准分子灯关灯时，更新设置于该准分子灯的IC标签的总计点灯时间，并且在该紫外线照射装置记录有使用实际作业(日语：実績)的情形，在该紫外线照射装置存储用于识别上述准分子灯的信息，及进行下一次点灯时的起始电压目标值、初期点灯频率目标值、稳定电压目标值及稳定频率目标值。

在本发明中，可得到以下的效果。

(1)基于被存储于设置在灯的IC标签的该灯的至今为止的总计点灯时间，及该灯固有的电特性值，将灯进行点灯，因此抑制在初期点灯时电力过剩地接通于灯的情形，并可防止缩短灯寿命。

另外，事先设定电力未过剩地输入到灯的安全的电特性值，而无法从IC标签读取信息时，通过基于上述安全的电特性值而将灯进行点灯，即使例如未具备IC标签的灯，也可限制接通电力而可将灯进行点灯，并可防止缩短灯寿命。

(2)将表示有无该装置实际点灯作业的数据记录在IC标签，而且将安装于装置的灯的电特性值存储于该装置的存储部，由此，点灯时，从IC标签的记录数据判断该灯在该装置中是否具有实际点灯作业，有实际点灯作业时，则可从该装置的存储部可取得初期对该灯进行点灯时的数据。

所以，针对于各灯，可缩短初期点灯时的处理时间，即使被安装于该装置的灯为多数支时，也可迅速地起动装置。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的紫外线照射装置的***结构的图；

图2是表示本发明的实施方式的光源装置的功能框图；

图3是表示本发明的实施方式的紫外线照射装置的控制部的处理的概略的流程图；

图4是表示从装置的起动过渡至灯的稳定点灯动作为止的处理的流程图(1)；

图5是表示从装置的起动过渡至灯的稳定点灯动作为止的处理的流程图(2)；

图6是表示点灯后，一直到关灯之间的内部数据的更新处理的流程图；

图7是表示关灯处理的流程图；

图8是表示关灯时的数据的更新处理的流程图；

图9是表示电压修正值表的一例的图；

图10是表示频率修正表的一例的图；

图11(a)及图11(b)是表示说明准分子灯的分极的情况的图；

图12是表示搭载准分子灯的紫外线照射装置的结构的图(以平行于管轴的平面切剖的剖面图)；

图13是表示搭载准分子灯的紫外线照射装置的构成的图(以垂直于管轴的平面切剖的剖面图)；

图14是表示将具备IC标签的准分子灯的紫外线照射装置的***结构的图；

图15(a)及图15(b)是表示初期点灯时的照度变化的图。

(主要元件符号说明)

1：灯(准分子灯)

1a：IC标签

2：点灯电源

3：变压器

4：控制部

4a：判定单元

4b：第一设定单元

4c：第二设定单元

4d：更新单元

4e：点灯控制单元

4f：累计定时器

4g：初期点灯定时器

4h：关灯定时器

10：紫外线照射装置

11：CPU

12：IC标签R/W部

13：存储部

13a：存储器(RAM)

13b：存储器(ROM)

13c：存储器(EEPROM)

14：天线

16：A/D变换器

17：D/A变换器

具体实施方式

图1是表示本发明的一实施方式的紫外线照射装置的***结构的图。

本发明的紫外线照射装置10具有：具有以非接触可输入记录信息的IC标签1a的准分子灯(以下称为灯)1，用于向灯1供给高频高电压的高频点灯电源2，设置于高频点灯电源2的输出侧的变压器3，及控制灯1的点灯的控制部4。

控制部4包括：执行控制灯1的点灯的运算处理的运算处理器(CPU)11，存储部13，及用于在与IC标签1a之间进行数据的收发的天线14，控制与IC标签1a之间的数据收发的IC标签R/W部12，A/D变换器16，以及D/A变换器17。A/D变换器16是将来自高频点灯电源2的信号变换成数字信号且送出至CPU 11，而D/A变换器17是将来自CPU 11的数字信号变换成模拟信号且送出至高频点灯电源2。

上述存储部13具有：可读写的易失性存储器(RAM 13a)，及读取专用的非易失性存储器(ROM 13b)，及可重写的非易失性存储器(EEPROM 13c)，进行存储程式或数据。

在存储部13的ROM 13b，记录有电压修正表Tv或频率修正表Tf等，该电压修正表Tv或频率修正表Tf用于设定根据总计点灯时间向灯1供给的初期点灯时的电压目标值，或是起始频率目标值等。在EEPROM 13c记录有初期点灯时的电压目标值，起始频率目标值等的信息。

上述准分子灯1是例如封入有氙气体等的放电气体，而射出波长172nm的真空紫外光。IC标签1a是被设置于每一个灯，记录有总计点灯时间Ts等该灯固有的数据。

如下所述地，控制部4的CPU11是准分子灯安装于该紫外线照射装置10时，判定是否从IC标签1a可读取/写入信息，或是在可读取信息时判定在该紫外线照射装置是否有实际点灯作业时，在来自IC标签的信息可进行读取/写入时，依据被记录于IC标签1a的信息，设定初期点灯条件及稳定点灯条件，而依据此对准分子灯1进行初期点灯之后，过渡至稳定点灯。另外，无法从IC标签1a读取信息时，则通过作为事先所设定的安全值的初期点灯条件、稳定点灯条件，将准分于灯1进行初期点灯之后，过渡至稳定点灯。

在此，综合地表示本实施方式中所使用的各种数据。这些数据是例如被存储于读取专用的非易失性存储器(ROM 13b)，可重写的非易失性存储器(EEPROM 13c)，或是根据需要被存储于可读取写入的存储器(RAM 13a)

另外，这些数据的存储部位是可适当地变更，例如也可以未设置ROM，而将所有数据存储于EEPROM，或是也可以事先存储在其他的非易失性存储器或磁盘，而在执行时展开于RAM，在结束时存储于非易失性存储器或存储媒体。

·总计点灯时间Ts：被存储于IC标签的灯的点灯时间累计值。

·固有号码(连续号码)：个别地设定于所制造的各个准分子灯的号码。

·点灯历史信息：有无实际点灯作业的信息。

·装置信息：被安装且进行点灯的装置的信息。

·起始电压规定值Vfk：在灯发货前事先设定且被存储于IC标签的该灯所固有的点灯初期灯施加电压值。

·起始频率规定值Ffk：在灯发货前事先设定且被存储于IC标签的该灯所固有的点灯初期灯施加频率。

·起始电压目标值Vfm：由电压修正表的修正值与起始电压规定值Vfk运算的、实际上施加于该灯的点灯初期灯电压值，或是通过起始电压安全值Vfs所设定的灯施加电压值。

·起始频率目标值Ffm：由频率修正表的修正值与起始频率规定值Ffk运算的、实际上施加于该灯的点灯初期灯频率，或是通过起始频率安全值Frs所设定的灯施加频率。

·稳定电压规定值Vtk：在灯发货前事先设定且被存储于IC标签的该灯所固有的稳定点灯时的灯施加电压值。

·稳定频率规定值Ftk：在灯发货前事先设定且被存储于IC标签的该灯所固有的稳定点灯时的灯施加频率。

·稳定电压目标值Vtm：由电压修正表的修正值与稳定电压规定值Vtk运算的实际上施加于该灯的稳定点灯时的灯施加电压值，或是通过稳定电压安全值Vts设定的灯施加电压值。在以下，也称为点灯电压。

·稳定频率目标值Ftm：由频率修正表的修正值与稳定电压目标值Vtm所设定的灯施加频率，或是由稳定频率安全值Fts设定的灯施加频率。在以下，也称为点灯频率。

·起始电压安全值Vfs：考虑灯的安全的初期点灯灯施加电压值(考虑制造偏差时的施加于点灯灯初期的电压内的最低值)。

·起始频率安全值Ffs：考虑灯的安全的初期点灯灯频率(考虑制造偏差时的施加于点灯灯初期的频率内的最低值)。

·稳定电压安全值Vts：考虑灯的安全的稳定点灯时施加电压值(考虑制造偏差时的施加于灯稳定点灯时的电压内的最低值)。

·稳定频率安全值Fts：考虑灯的安全的稳定点灯时的频率(考虑制造偏差时的施加于灯稳定点灯时的频率内的最低值)。

·电压修正表Tv：总计点灯时间与修正值的对应表

·频率修正表Tf：灯施加电压值与修正值的对应表。

图2是表示本发明的一个实施方式的光源装置的功能框图，将由在控制部4的CPU11执行的处理所实现的功能表示作为框图。

在设于灯1的IC标签1a，如上述地记录有总计点灯时间Ts、固有号码(连续号码)、点灯历史信息、装置信息、起始电压规定值Vfk、起始频率规定值Ffk、稳定电压规定值Vtk、以及稳定频率规定值Ftk，IC标签R/W部12是如上述地经由天线14，读取被记录在上述IC标签1a的上述数据，作为IC标签数据而存储在存储部13。

控制部4的判定单元4a，是灯1被安装于紫外线照射装置时，判定是否可进行IC标签R/W部12的来自IC标签的读取/写入，或是是否可进行信息的读取且具有该紫外线照射装置实际点灯作业等。

在此，在被安装于紫外线照射装置的灯1可考虑以下的(a)至(d)的事例，而判定单元4a是判定被安装于装置的灯1为哪一种类的灯，并将判定结果交给点灯控制单元4e。

(a)无法进行来自IC标签1a的读取/写入的灯

该情形，是在IC标签1a的数据无法利用的情形，IC标签1a的数据是无法利用。

另外，在可进行来自IC标签的读取/写入时，则有以下情形。

(b)从未使用的新品的灯

该情形，为点灯历史信息表示无实际点灯作业的情形，而总计点灯时间Ts是0。被存储于IC标签1a的起始电压规定值Vfk、起始频率规定值Ffk等的数据是能够使用。

(c)在该紫外线照射装置未被使用，但有实际点灯作业的灯

该情形，点灯历史信息表示有实际点灯作业，装置信息是表示在该紫外线照射装置未被使用的情形，总计点灯时间Ts是0以上。

(d)在该紫外线照射装置被使用的灯

该情形，点灯历史信息表示有实际点灯作业，装置信息表示在该紫外线照射装置被使用的情形，总计点灯时间Ts是0以上。另外，该事例的情形，将上一次使用该灯时的数据被保存于该紫外线照射装置内的存储部13内，而以灯的固有号码可读出。

第1设定单元4b是依据被存储于IC标签1a的信息设定初期点灯条件，而第2设定单元4c是依据被存储于IC标签1a的信息设定稳定点灯条件。

即，第1设定单元4b，依据由总计点灯时间等所设定的电压修正表及频率修正表的修正值与被记录于IC标签1a的起始电压规定值Vfk、起始频率规定值Ffk，进行设定起始电压目标值Vfm及起始频率目标值Ffm，作为上述初期点灯条件。

另外，第2设定单元4c，依据由总计点灯时间等所设定的电压修正表及频率修正表的修正值与被记录于IC标签1a的稳定电压规定值Vtk及稳定频率规定值Ftk，进行设定稳定电压目标值Vtm及稳定频率目标值Ftm，作为上述稳定点灯条件。

另外，具有根据该准分子灯的总计点灯时间进行更新上述初期点灯条件及稳定点灯条件的更新单元4d，被更新的上述初期点灯条件及稳定点灯条件是被存储在存储单元13。

即，更新单元4d是根据灯1的总计点灯时间Ts更新上述起始电压目标值Vfm、起始频率目标值Ffm、稳定点灯电压目标值Vtm及稳定频率目标值Ftm。

另外，累计定时器4f是累计计数灯1所点灯的时间，上述更新单元4d是每当达到所定的累计时间进行更新被存储在存储部13的总计点灯时间。该被更新的总计点灯时间Ts，是停止装置的动作时，被写入到设于灯1的IC标签1a。

点灯控制单元4e是判定单元4a的判定结果为从IC标签1a可读取信息，没有该紫外线照射装置实际点灯作业时[上述(b)、(c)的事例]，根据由上述第1设定单元4b所设定的初期点灯条件，即依据起始电压目标值Vfm及起始频率目标值Ffm，对该准分子灯进行初期点灯，初期点灯后，使用由上述第2设定单元4c所设定的稳定点灯条件，即使用稳定电压目标值Vtm及稳定频率目标值Ftm，使灯1过渡至稳定点灯。

另外，判定单元4a的判定结果为从IC标签1a可读取信息，有该紫外线照射装置实际点灯作业时[上述(d)的事例]，根据被存储在存储单元13的初期点灯条件，即依据起始电压目标值Vfm及初期点灯频率目标值Ffm，对灯1进行初期点灯，初期点灯后，使用被存储在存储单元13的稳定点灯条件，即使用稳定电压目标值Vtm及稳定频率目标值Ftm，将灯1过渡至稳定点灯。

再有，判定单元4a的判定结果，为从IC标签1a无法读取数据时[上述(a)的事例]，将事先设定的作为安全值的初期点灯条件，即初期安全值Vfs及起始频率安全值Ffs作为起始电压目标值Vfm及起始频率目标值Ffm对灯1进行初期点灯，初期点灯后，将事先设定的作为安全值的稳定点灯条件，即，将事先设定的作为安全值的稳定电压安全值Vts及稳定频率安全值Ft s作为稳定电压目标值Vtm及稳定频率目标值Ftm，使灯1过渡至稳定点灯。

点灯控制单元4e是控制高频点灯电源2，并控制被供应于灯1的电压、频率。即，检测出被施加于灯1的电压与灯电流，而从点灯电源2送到控制部4的点灯控制单元4e。另外，在点灯电源2所检测的电压、电流是模拟信号，该模拟信号是如上所述地由A/D变换器被变换成数字信号后，被传送到控制部4的CPU11。

控制部4的点灯控制单元4e是将点灯灯1进行初期点灯时，将频率为上述初期点灯频率目标值Ffm、电压为上述起始电压目标值Vfm的电压施加于灯1，而以初期点灯定时器4g所设定的期间，使灯1进行初期点灯动作。另外，上述初期点灯频率目标值Ffm是比稳定点灯时的频率还要高的70kHz左右。

灯1的初期点灯后，点灯控制单元4e是作为初期值，将频率为上述稳定频率目标值Ftm，而电压为稳定电压目标值Vtm的电压施加于灯1，而过渡至稳定点灯。另外，开始稳定点灯时的频率是频率目标值Ftm为50kHz左右。

在稳定点灯，进行电力固定控制。此时，首先，将电压、频率作为初期值，而控制频率以使被供应于灯的电力成为一定。

即，点灯控制单元4e，根据高频点灯电源2所传送的电压、电流算出从电流供应于灯的电力，而把算出的电力运算成一致于事先所设定的目标电力的灯电压与频率。该灯电压与频率是作为电压指令、频率指令而被送出到点灯电源2。

点灯电源2是根据该电压指令、频率指令对灯1的驱动电压、频率进行控制。

由此，被供应于灯1的电力被控制成一致于目标电力，灯1是以根据目标电力的照度进行点灯。

另外，准分子灯1所射出的真空紫外光的照度，是由各种主要原因而随着时间经过而降低。如下所述，为了修正该照度降低，根据需要，也可以根据灯的总计点灯时间而作成增加灯的稳定点灯电压。

另外，在关灯时，使关灯定时器4h动作，一直到关灯定时器4h到时为止的期间，如下所述地进行关灯动作

在本实施方式的紫外线照射装置中，如上述地根据被存储在IC标签的电特性值及累计时间，来设定灯的初期点灯条件、稳定点灯条件，而将灯予以点灯，因而在初期点灯时抑制电力过剩地接通于灯，而可抑制缩灯寿命。

另外，例如在未具备IC标签的灯，或是在读取IC标签上有不方便的灯中，电力不会过剩地输入的方式，由限制事先设定的作为安全值的接通电力的初期点灯条件及稳定点灯条件，将灯进行点灯，因此即使未具备IC标签的灯，也不会缩短灯寿命。

另外，判定该紫外线照射装置实际点灯作业，而有实际点灯作业时，则利用被保存在装置内的数据，进行初期点灯，稳定点灯，因此起动装置时不必进行再运算。所以，可快速地进行初期点灯。

以下，针对于本实施方式的光源装置的动作通过流程图详细地加以说明。

图3是概略地表示图1、图2示出的紫外线照射装置的控制部的处理的流程图。另外，图4至图8是详细地表示图3的各步骤S1至S6的流程图。

首先，利用图3来说明图1、图2示出的紫外线照射装置的控制处理的概略。

当起动紫外线照射装置，则取得初期数据(步骤S1)。即，从灯1的IC标签1a读取数据的同时，根据需要将数据从存储部13的ROM 13b、EEPROM13c等转送至RAM 13a。

然后，根据从上述IC标签1a所读取的数据等，如上所述，将灯1进行点灯初期点灯之后，过渡至稳定点灯(步骤S2)。

当灯1过渡至稳定点灯时，之后，一直到灯的关灯信号成为导通为止，仍维持灯的点灯，这时候，根据灯1的总计点灯时间，进行更新被存储在上述存储部13的内部数据(步骤S3)。

当灯关灯信号成为导通时，则进行灯的关灯动作(步骤S4、S5)，并进行关灯时的IC标签的数据更新，另外，进行被存储于存储部13的RAM13a的数据向EEPROM13c等的存储(步骤S6)后，结束处理。

以下，利用图4至图8的流程图，针对于本实施方式的紫外线照射装置的控制部的处理进行说明。

图4及图5是表示从起动装置一直到过渡至灯的稳定点灯动作为止的处理。

在图4中，起动高频点灯电源2(步骤S11)，构成控制部4的各部(CPU11、IC标签R/W部12、控制部4、天线14、存储部13)被通电而成为待机状态。此时，被存储于存储部13的ROM 13b、EEPROM 13c等的数据，根据需要被转送到RAM 13a，使得装置被初始化(步骤S1)。由此，控制部4能够使用被存储于RAM 13a的数据来可进行处理。

另外，在以下的说明中，即使数据被转送至RAM 13a时，根据需要在被存储于装置起动时的场所也有确定数据的存储场所的情形。

在步骤S12，控制部4是经由IC标签R/W部12，将天线14与准分子灯1具备的IC标签1a进行通通信，而控制成可读取被记录于IC标签1a的信息，并将所读取的信息存储在存储部13(RAM 13a)。

在此，作为从IC标签1a所读取的信息，如上所述，有总计点灯时间Ts，固有号码(连续号码)，点灯历史信息，装置信息，起始电压规定值Vfk，起始频率规定值Ftk，稳定电压规定值Ftk等。

另外，如图13所示在同一装置中，也有设置有多个准分子灯的情况，因此上述装置信息是除了装置信息以外，还包括表示安装有该装置的准分子灯的位置的“沟道(channel)信息”。“沟道(channel)信息”是指例如图13的装置中，准分子灯具备4支，而将各准分子灯所配置的位置称为“沟道”，而将该沟道从右边依次称为“沟道1”，“沟道2”……，用于区别各沟道的信息。

控制部4是在步骤S13确认在上述步骤S12是否可读取被记录于IC标签1a的信息。在可读取被记录于IC标签1a的信息时，则转移至步骤S14，而在未读取时，则转移至步骤S191。

在步骤S14中，从被记录于IC标签1a的“点灯历史信息”判断有无准分子灯的实际点灯作业(确认新/旧灯位(bit))。

在步骤S14，判断为没有准分子灯的实际点灯作业时，则转移至步骤S15，而判断为有准分子灯的实际点灯作业(日语：点灯実績)时，则转移至步骤S16。

在步骤S16中，判断是否有同一装置实际点灯作业，没有同一装置实际点灯作业时，则转移至步骤S17，而在有实际点灯作业时，则转移至步骤S18。

另外，在此，从“点灯历史信息”判断有无实际点灯作业，但例如从“累计时间”或“装置信息”也能够进行判断。例如以“累计时间”判断时，则“累计时间”为0时间时成为没有实际点灯作业，而“累计时间”为0时间以外时成为有实际点灯作业。另外，以“装置信息”判断时，则没有“装置信息”的存储时成为没有实际点灯作业，而有“装置信息”的存储时成为有实际点灯作业。

即，控制部4是核对从IC标签1a所读取的“固有号码(连续号码)”，及被存储在存储部13的具有实际点灯作业的准分子灯1的“固有号码(连续号码)”，从而针对于具备该IC标签1a的准分子灯1，判断具备该控制部的紫外线照射装置有无实际点灯作业。

进而，控制部4是判断从IC标签1a所读取的“装置信息”，是否为被安装于准分子灯1的紫外线照射装置的信息。

在步骤S16，判断为具有具备该控制部4的紫外线照射装置实际点灯作业，并且“装置信息”为一致时，则转移至步骤S18，而在此以外时，则转移至步骤S17。

以下，分成上述的(a)至(d)的情形，针对于各事例的情形的处理加以说明。

(a)安装有不能够从IC标签1a读取/写入的灯的情形。

该情形，是从步骤13转移至步骤S191。在步骤S191中，从存储部13(例如ROM 13b)读取起始电压安全值Vfs、起始频率安全值Ffs、稳定电压安全值Vts、稳定频率安全值Fts。

另外，准分子灯1在初期点灯时及稳定点灯时，若过剩电力被输入至灯，则有劣化的危险性，而有考虑安全的起始电压安全值Vfs、起始频率安全值Ffs、稳定电压安全值Vts、稳定频率安全值Fts被存储在存储部13(例如ROM 13b)。

在步骤S19中，将上述起始电压安全值Vfs、起始频率安全值Ffs分别设定作为起始电压目标值Vfm、起始频率目标值Ffm。

然后，在步骤S192，将上述稳定电压安全值Vts，稳定频率安全值Fts设定为稳定电压目标值Vtm，起始频率目标值Ftm。

该起始电压目标值Vfm，起始频率目标值Ffm，稳定电压目标值Vtm，稳定频率目标值Ftm被存储在存储部13(例如RAM 13a)。

步骤S192的处理后，转移至图5。

(b)安装有未被使用的新品的灯的情形。

该情形，从步骤S13转移至步骤S14、步骤S15。在步骤S15中，将从IC标签1a所读取的起始电压规定值Vfk，起始频率规定值Ffk分别设定为起始电压目标值Vfm，起始频率目标值Ffm。

之后，在步骤S151，将从IC标签1a所读取的上述稳定电压规定值Vtk、稳定频率规定值Ftk设定为稳定电压目标值Vtm、稳定频率目标值Ftm。

该起始电压目标值Vfm，起始频率目标值Ffm，稳定电压目标值Vtm，稳定频率目标值Ftm被存储在存储部13(例如RAM13a)。

(c)在该紫外线照射装置未被使用，但安装有实际点灯作业的灯的情形。该情形，则从步骤S14转移至步骤S16、步骤S17。

准分子灯1是能够从紫外线照射装置10拆下。因此，通过使用者的使用方法，则有拆下被称为A的紫外线照射装置所使用的准分子灯1，而将该准分子灯1使用在被称为B的紫外线照射装置的情形。

该情形，虽在准分子灯1的IC标签1a有实际点灯作业，但为A装置的实际点灯作业，而并不是B装置的实际点灯作业。

为了判断此点，在准分子灯1的IC标签1a的“装置信息”，仅存储着即将具有实际点灯作业之前的装置的“装置信息”。

即，在被称为A的紫外线照射装置所使用的准分子灯1的IC标签1a，若在A装置被点灯时，则A装置的“装置信息”被存储，之后在B装置被点灯时，则适合于“装置信息”的A装置的信息是重写成B装置的信息。

在步骤S16中，在安装有具实际点灯作业的准分子灯1的紫外线照射装置，使用被存储在IC标签1a的“装置信息”，判断在刚使用之前在同一装置的有无点灯。若没有在同一装置的点灯时，则转移至步骤S17。

在步骤S17中，如下地进行处理。

表示于上述图2的控制部4的第1设定单元4b，第2设定单元4c，是从事先被存储在存储部13(ROM 13b)的电压修正表读取对应于从IC标签1a所读取的总计点灯时间Ts的电压值的修正值。在图9表示电压修正表Tv的构成例。

如同图所示，电压修正表Tv，是登录对于灯的总计点灯时间(h)的电压修正值的表，利用该修正值而根据总计点灯时间，进行修正起始电压规定值及稳定电压规定值。

即，第1设定单元4b，是参照上述电压修正表Tv而得到电压修正值，运算该电压修正值与从IC标签1a读取的起始电压规定值Vtk而求出起始电压目标值Vfm。

然后，第1设定单元4c，是从事先被存储在存储部13(ROM 13b)的频率修正表Tf读取对应于经运算求出的“电压值”的频率修正值。在图10表示频率修正表Tf的构成例。

如同图所示，频率修正表Tf是登录对于电压值(KV)的频率修正值的表，而利用该修正值进行修正起始频率规定值Ffk及稳定频率规定值Ftk。

即，第1设定单元4b参照上述频率表Tf而得到频率修正值，运算该频率修正值与起始频率规定值Ffk而求出起始频率目标值Ffm。

上述起始电压目标值Vfm，起始频率目标值Ffm，是被设定作为灯1的初期点灯电力，被存储在存储部13。

使用数值例加以说明：从IC标签1a所读取的“总计点灯时间”为“300”小时，从IC标签1a所读取的起始电压规定值Vfk有8KV时，则在步骤S17，从事先被存储在存储部13的图9示出的电压修正表Tv读取对应于总计点灯时间300小时的电压值的修正值，而将读取的“1.010”运算作为起始电压规定值Vfk。即，将起始电压规定值“8”KVד1.010”＝“8.08”KV作为起始电压目标值Vfm来运算求出。

然后，从事先被存储于存储部13的图10示出的频率修正表Tf读取对应于经运算所求得的起始电压目标值Vfmk的“8.08”KV的频率的修正值，并将所读取的频率修正值“1.05”与从该IC标签1a所读取的起始频率规定值Ffk的“50”kHz，运算成50kHzד1.05”＝“52.5”KHz，求得初期点灯频率目标值Ffm。将所求得的“起始电压目标值Vfmk”，“8.08”KV与“52.5”KHz存储在存储部13。

然后，求得在初期点灯后所进行的稳定电力点灯所用的稳定电压目标值Vtm与稳定频率目标值Ftm。

在步骤S171，控制部4的第2设定单元4c，是从上述电压修正表Tv得到与从IC标签1a读取的总计点灯时间Ts对应的电压修正值，运算该电压修正值与从IC标签1a所读取的稳定电压规定值Vtk，求得稳定电压目标值Vtm。稳定电压目标值Vtm之后，第2设定单元4c是从上述频率修正表Tf读取与经运算所求得的稳定电压目标值Vtm对应的频率的修正值，运算该频率修正值与从IC标签1a读取的稳定频率规定值Ftk而求得稳定频率目标值Ftm。将所求得的稳定电压目标值Vtm与稳定频率目标值Ftm存储在存储部13。

(d)在该紫外线照射装置所使用的灯仍被安装的情形。该情形，从步骤S14转移至步骤S16、步骤S18。

如下所述地，在存储部13存储著上一次点灯时的准分子灯1的固有号码(连续号码)、初期点灯上一次的该准分子灯1时的起始电压目标值Vfm、及起始频率目标值Ffm。另外，以稳定电压目标值Vtm，稳定频率目标值Ftm开始稳定点灯，过渡至稳定点灯之后，存储有稳定点灯结束时的点灯电压值与点灯频率值。

如此，在步骤S18中，读取被存储于存储部13(EEPROM 13c)的起始电压目标值Vfm、起始频率目标值Ffm存储在存储部13(RAM 13a)。

另外，在步骤S181，控制部4是读取作为存储在存储部13(EEPROM 13c)的数据的上述点灯电压值与点灯频率值，作为稳定电压目标值Vtm、稳定频率目标值Ftm，被存储在存储部(RAM 13a)。

另外，本发明的特征是涉及与具有IC标签1a的准分子灯1有关的控制，将可读取在步骤S13的IC标签1a的数据的情况，及无法读取数据情况进行区分，并将可读取数据的情况根据该数据进行控制。

如上所述，在各步骤S15、S17、S18、S19设定被安装于紫外线照射装置的准分子灯1的起始电压目标值Vfm与起始频率目标值Ffm。

然后，利用图5，使用上述起始电压目标值Vfm与起始频率目标值Ffm，以及从IC标签1a所读取的总计点灯时间，初期点灯准分子灯1，之后针对进行一般点灯的处理加以说明。

在步骤S21、S22，控制部4的点灯控制单元4e，是将被存储在存储部13的上述起始电压目标值Vfm与起始频率目标值Ffm设定作为初期点灯准分子灯1所用的目标值。

进而，在步骤S23，点灯控制单元4e是将初期点灯时间TO设定于初期点灯定时器4g。

接下来，在步骤S24中，将点灯信号输出给高频点灯电源2，与此同时，在步骤S25，将设定作为目标值的起始电压目标值Vfm与起始频率目标值Ffm输出至高频点灯电源2，高频点灯电源2是依据上述电压与频率，开始准分子灯1的初期点灯。

另外，在步骤S26中，与步骤S24之同时开始递减计数(减算)在步骤S23所设定的初期点灯定时器4g。进而，在步骤S2，为了累计灯的点灯时间，开始点灯累计定时器4f的计数。

在步骤S28，初期点灯定时器4g等待时间已到。该期间，作为目标值所设定的起始电压目标值Vfm及起始频率目标值Ffm，输出至高频点灯电源2，高频点灯电源2，是以该电压、频率继续点灯准分子灯1。当经过初期点灯时间TO，则转移至步骤S29。

在步骤S29，步骤S291中，控制部4的点灯控制单元4e是将被存储在存储部13的上述稳定电压目标值Vtm与稳定频率目标值Ftm设作为开始稳定点灯准分子灯1时的目标值。

并且，在步骤S292，将稳定电压目标值Vtm与稳定频率目标值Ftm输出至高频点灯电源2，而高频点灯电源2是开始准分子灯1的电力控制。

点灯控制单元4e是开始稳定点灯之后，从上述高频点灯电源2所传送的电压、电流进行算出被供应于灯的电力，经算出的电力(在上述电压、电流的乘积再乘以功率COSφ的数值)，求得一致于事先所设定的目标电力的频率，作为频率指令送出至点灯电源2。

另外，在开始稳定点灯时，则对应于上述稳定电压目标值Vtm的电压被施加于灯1进行控制，但如下所述，随着灯的总计点灯时间增大，使被施加于灯的电压增大。

点灯电源2是根据该电压指令、频率指令进行控制灯1的驱动电压、频率。由此，被供应于灯1的电力被控制成与目标电力一致，灯1是根据目标电力的照度进行点灯。

另外，在以下，在稳定点灯中，将被施加于灯的电压、频率分别称为“点灯电压”、“点灯频率”。

图6是表示点灯后一直到关灯为止的期间的内部数据的更新处理的流程图。

点灯后，在一直到关灯为止的稳定点灯中，图2示出的更新单元4d，是根据点灯累计定时器4f的计数值，来更新灯的总计点灯时间Ts，并且如上所述地在稳定点灯时对被施加于灯的点灯电压进行更新，而根据总计点灯时间Ts使灯的点灯电压增大。

另外，灯的点灯中，根据灯的总计点灯时间Ts，更新被存储在存储部13的起始电压目标值Vfm与起始频率目标值Ftm、稳定电压目标值Vtm(点灯电压)与稳定频率目标值Ftm，而在开始下一次点灯时，以该被更新的电压、频率，使该灯进行初期点灯、稳定点灯。

以下，对于图6的流程图的处理加以说明。

在图6中，步骤S31以未图示的光感测器来确认灯1是否为普通点灯中，若为点灯中则转移至步骤S311，若不是点灯中，则结束处理。在步骤S311中，确认以点灯累计定时器4f(参照图2)所计数的时间是否经过所定时间，若经过所定时间，则转移至步骤S32。

在步骤S32，将所经过的所定时间与被存储在存储部13的总计点灯时间进行加算并予以更新。例如使用数值加以说明，则将上述“所定时间”作为1小时，而被存储在存储部13的总计点灯时间作为199小时。在步骤S311，若以累计定时器4f确认经过1小时，则在步骤S32，对199小时加算1小时并将总计点灯时间作为200小时。

当总计点灯时间Ts被更新，则图9示出的电压修正值表Tv的修正值有被更新的可能性。

由此，在步骤S33，调查根据增加总计点灯时间Ts是否须更新点灯电压。

例如，调查参照电压修正值表Tv而被更新的总计点灯时间的电压修正值，是否与先前参照电压修正值表Tv时的电压修正值[例如图4的步骤S17(或S171)或是S18(或S181)中参照时的电压修正值]不相同。

例如使用数值加以说明，当总计点灯时间为199小时，而规定时间为1小时时，则在总计点灯时间199小时加算规定时间1小时而成为200小时。这时候，在图9示出的表中，总计点灯时间199小时的修正值，总计点灯时间200小时的修正值都同样是“1.005”，因此并没有更新修正值。另外，再经过时间，总计点灯时间成为201小时，则修正值是成为“1.010”，因而成为有更新修正值，而有须更新点灯电压。

总计点灯时间被加算的结果，若电压值的修正值未被更新，则转移至步骤S41，若被更新，则转移至步骤S331。

在没有更新点灯电压时，则转移至步骤S41，确认关灯信号，而关灯信号为断开时，回到步骤S311。

另外，有更新点灯电压时，则转移至步骤S331。

在步骤S331，以被更新的修正值，与被存储于存储部13的该灯的起始电压规定值Vfk进行运算，通过该运算结果，更新被存储于存储部13的起始电压目标值Vfm。

该起始电压规定值Vfk是欲在下次进行点灯该灯时，从存储部13读出，而被设定为起始电压目标值Vfm(图4的步骤S18)。

同样，在步骤S331中，以被更新的电压修正值，及被存储于存储部13的该灯的稳定电压规定值Vtk进行运算，得到根据此时的总计点灯时间的点灯电压，将此作为新的点灯电压。

使用数值例进行说明，则稳定电压规定值Vtk为7KV，而与“被加算的累计时间”为“201小时”时对应的修正值“1.010”，通过运算求得7KV×1.010＝7.07KV，将该7.07KV，作为被更新的点灯电压，被存储在存储部13。

在步骤S34中，将在步骤S331被存储在存储部13的电压值作为新的点灯电压值设定成目标值，从累计时间被加算之前的点灯电压值，变更成新的点灯电压值，而在高频电源输出新的点灯电压值。

例如，将上述7.07KV作为被更新的点灯电压时，点灯电压值是被变更成7.07KV(“电压规定值”71Vד修正值”1.010)。在高频点灯电源2作为新的点灯电压值输出7.07KV。

当点灯电压值被更新，则有图10示出的频率修正表Tf的频率修正值被更新的可能性。

所以，在步骤S36，从图10示出的频率修正表Tf读取与被更新的点灯电压值对应的频率修正值，并调查该频率修正值是否与事先参照频率修正表Tf时的频率修正值[例如在图4的步骤S17(或S171)或是S18(或S181)所参照时的频率修正值]有所不同。

并且，点灯电压值被更新的结果，若频率值的修正值未被更新，则转移至步骤S41，若被更新则转移至步骤S37。

在步骤S37中，以被更新的频率的修正值，与被存储在存储部13的该灯的稳定频率规定值Ftk进行运算，而在步骤S371，将经该运算所求得的稳定频率目标值Ftm存储在存储部13。

该稳定频率目标值Ftm是对该灯进行下一次进行点灯时，从存储部13读取，被设定为稳定频率目标值Ftm(图4的步骤S18)。

在步骤S41，确认灯关灯信号，而灯关灯信号未被输出时(导通时)，因为是灯点灯中，所以回到步骤S311，重复上述处理。当关灯信号被输出(断开＝是)，则结束处理，而进行以下所说明的关灯处理。

以下针对于灯的关灯处理加以说明，但首先针对于关灯步骤所必需的理由加以说明。

准分子灯是在一对电极间，经由例如具如石英玻璃的介质性的放电电容(日文：放电容器)，激磁该放电电容内部的发光气体而进行准分子发光。

在准分子灯未使用的情况下，而进行准分子发光的初期点灯时，则放电电容经由电极被施加有例如8KV的高电压。

如图11(a)所示，被施加高电压的放电电容1b，因为是具有介质性，所以分极，在其表面出现电荷，而使用该电荷进行准分子发光。

在准分子灯中，也输入高频率，因此放电电容1b的分极是通过所输入的高频来变化。具体而言，分极被解除或是分极会逆转。

如图11(b)所示，准分子灯的一方电极是在高频的波峰部分时施加有高电位，但在高频的波谷部分时，是与另一方的电极同样地被接地的状态(0KV)，放电电容的分极是被解除。

另外，其他点灯方式时，由于被施加于一方的电极与另一方的电极的电压的高低逆转，例如一方的电极侧为高电位时的放电电容的分极，是从另一方电极侧为高电位时的放电电容的分极来观看为逆转。放电电容的分极是在稳定点灯时也发生。

关灯此种准分子灯时，能够将所输入的高电位立即成为0KV，并将同时地输入的高频立即可作成0KHz，但将高电压与高频立即作成0时，则在下一次的灯点灯时有成为不点灯，或灯输入成为过剩的情形。

该问题被认为是在灯关灯后也有放电电容分极的原因。在以下表示其原因的推测。

在灯点灯后，若将所输入的高电压与高频立即作成0，则放电电容表面的电荷是被解除。然而，刚将高电压与高频作成0之前为6KV时，则放电电容本身的分极是被维持在6KV时的状态。

被输入时准分子灯的高电压或高频，是并未考虑放电电容被分极的状态。所以，在放电电容被分极的状态下，当向准分子灯输入高电压与高频，则受到放电电容的分极状态的影响，有灯输入过剩，或不充分，而会发生灯的不点灯，过剩输入的情形。

因此，本案发明人，实际发现在灯关灯时，若输入比恒定电力控制时的电压值还要低的电压，又输入比恒定电力控制时的频率值还要高的频率值，可抑制放电电容的分极状态，并可解决下一次的点灯灯时不完备。

针对于此种关灯步骤的关灯处理，通过图7的流程图加以说明。

在步骤S501，当关灯信号被输入时，则控制部4的点灯控制单元4e读取来自事先被存储于存储部13的点灯电压值的减算值α。并且，运算被存储在存储部13的点灯电压与上述减算值α，将该运算结果作为关灯电压值而存储在存储部13，并将该关灯电压值设作为目标值。

在步骤S502，点灯控制单元4e读取事先被存储在存储部13的点灯频率值的合计值β，运算被存储在存储部13的点灯频率数值与上述加算值+β，将该运算结果作为关灯频率值被存储在存储部13，并将该关灯频率值设定作为目标值。

在步骤S503，点灯控制单元4e读取事先被存储在存储部13的关灯时间T1，并将该关灯时间T1设定在关灯定时器4h(参照图2)。

在步骤S52，点灯控制单元4e是将作为目标值所设定的“点灯电压值-α”输出至高频点灯电源2，另外，同时地在步骤S53，将“点灯频率+β”输出至高频点灯电源2。

高频点灯电源2是根据作为关灯电压的“点灯电压值-α”与作为关灯频率的“点灯频率+β”，开始准分子灯1的关灯动作。

在步骤S54，与步骤S52及步骤S53同时地开始关灯定时器4h的递减计数(减算)。

被输入于准分子灯1的关灯电压，是比点灯电压仅低α的关灯电压，准分子灯1是被停止准分子发光。

在步骤S55，“关灯时间T1”的期间，将作为目标值设定的关灯电压值与关灯频率输出至高频点灯电源2，继续点灯准分子灯1，经过关灯时间T1，当关灯定时器4h时间已到，则转移至步骤S56。另外，在时间已到的同时，结束关灯定时器4h的动作。

在步骤S56，控制部4的点灯控制单元4e是结束从高频点灯电源2输出至准分子灯1，而将高频点灯电源设为断开。

图8是表示关灯时的数据更新处理的流程图，在此，进行更新IC标签的数据，及更新设置的存储部13的数据。

在步骤S62，控制部4的更新单元4d，是将被存储在存储部的总计点灯时间Ts记录在IC标签1a。另外，作为装置信息，安装有准分子灯的“装置信息”，及在具备多支准分子灯的装置中，安装有该准分子灯的沟道(channel)信息被记录在IC标签1a。

另外，根据需要将IC标签1a的“点灯历史信息”的新/旧标记位设成导通，存储具有实际点灯作业的情形。

在步骤S67，将被存储在存储部13的RAM 13a的准分子灯1的“固有号码(连续号码)”与对根据准分子灯1的总计点灯时间被更新的该准分子灯1进行初期点灯时的“起始电压目标值Vfm”与“起始频率目标值Ffm”、及恒定电力控制该准分子灯1时的最后的“点灯电压值”与“点灯频率”(刚关灯点灯之前的“点灯电压值”与“点灯频率值”)、与“总计点灯时间”存储在存储部13的EEPROM 13c，而断开控制部4的电源。

另外，存储在在上述的说明中，作为将灯予以点灯的控制参数，使用“电压值”与“频率值”，但控制“频率值”的情形，也可说控制“电流值”的情形，因此也可以更换控制频率值，而作成控制电流值。

另外，进行电力控制，除了控制频率值以外，也可以控制施加于灯的电压的占空比。即，作为本发明的控制点灯灯的参数，有“电压值”与“频率值”，还可作成控制“电流值”与“电压的占空比”等。

另外，在上述实施方式中，电压值的“修正参数”(图9)及频率值的“修正参数”(图10)是使用初期点灯时及稳定点灯时的任一都是通用的，但也可使用各自的修正参数。即也可以分成初期点灯时的“修正参数A”，及稳定点灯时的“修正参数B”。

Claims (8)

1.一种紫外线照射装置，具有：

对来自设置于准分子灯的IC标签的信息进行读取及对给IC标签的信息进行写入的IC标签读取/写入单元；

向准分子灯进行供电的点灯电源；及对准分子灯的点灯进行控制的控制部，并且安装有具有IC标签的准分子灯，其特征为，

在上述IC标签中，至少记录有具备该IC标签的准分子灯的总计点灯时间、表示该准分子灯的固有电特性的信息、以及表示该紫外线照射装置有无实际点灯作业的信息，

上述紫外线照射装置的控制部具有：

判定单元，在准分子灯被安装于该紫外线照射装置时，通过执行由上述IC标签读取/写入单元对于IC标签的存取，来判定是否可从IC标签读取信息并向IC标签写入，或是是否可读取信息且具有该紫外线照射装置实际点灯作业；

第1设定单元，根据被存储于上述IC标签的信息，设定初期点灯条件；

第2设定单元，根据被存储于上述IC标签的信息，设定稳定点灯条件；

更新单元，根据该准分子灯的总计点灯时间来更新上述初期点灯条件及稳定点灯条件；

存储单元，存储被更新的上述初期点灯条件及稳定点灯条件；及

点灯控制单元，进行以下操作：

上述判定单元的判定结果为从IC标签可读取信息、且没有该紫外线照射装置的实际点灯作业时，则根据由上述第1设定单元所设定的初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用由上述第2设定单元所设定的稳定点灯条件，使该准分子灯过渡至稳定点灯，

上述判定单元的判定结果为从IC标签可读取信息、且具有该紫外线照射装置的实际点灯作业时，则根据被存储于上述存储单元的初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用被存储于上述存储单元的稳定点灯条件，将该准分子灯过渡至稳定点灯，

上述判定单元的判定结果为从IC标签无法读取信息时，则由事先所规定的作为安全值的初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用事先所规定的作为安全值的稳定点灯条件，使该准分子灯过渡至稳定点灯。

2.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，

在表示被存储于上述IC标签的准分子灯的固有电特性的信息中，至少包含适用于点灯该准分子灯的起始电压规定值、起始频率规定值、稳定电压规定值及稳定频率规定值，

上述第1设定单元，根据被存储于上述IC标签的起始电压规定值及起始频率规定值，设定起始电压目标值及初期点灯频率目标值，作为上述初期点灯条件，

上述第2设定单元，根据被存储于上述IC标签的稳定电压规定值及稳定频率规定值，设定稳定电压目标值及稳定频率目标值，作为上述稳定点灯条件，

上述更新单元是根据该准分子灯的总计点灯时间，更新上述起始电压目标值、初期点灯频率目标值、稳定电压目标值及稳定频率目标值，

上述存储单元是存储被更新的上述起始电压目标值、初期点灯频率目标值、稳定电压目标值及稳定频率目标值，

上述点灯控制单元进行以下操作：

上述判定单元的判定结果为从IC标签可读取信息、且没有该紫外线照射装置实际点灯作业时，则根据由第1设定单元所设定的上述起始电压目标值及初期点灯频率目标值，对该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用由上述第2设定单元所设定的稳定电压目标值及稳定频率目标值，使该准分子灯过渡至稳定点灯，

上述判定单元的判定结果为从IC标签可读取信息、且具有该紫外线照射装置实际点灯作业时，则根据被存储于上述存储单元的起始电压目标值、初期点灯频率目标值，使该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用被存储于上述存储单元的稳定电压目标值及稳定频率目标值，使该准分子灯过渡至稳定点灯，

上述判定单元的判定结果为从IC标签无法读取信息时，则由事先所设定的作为安全值的起始电压安全值及起始频率安全值，对该准分子灯进行初期点灯，在初期点灯后，使用事先所设定的作为安全值的稳定电压安全值及稳定频率安全值，将该准分子灯过渡至稳定点灯。

3.一种紫外线照射装置的点灯控制方法，该紫外线照射装置是具有：来自设置于准分子灯的IC标签的信息的读取/写入单元，及控制准分子灯的点灯的控制部，该紫外线照射装置的点灯控制方法特征在于，

在上述IC标签中，至少记录有具有该IC标签的准分子灯的总计点灯时间、表示该准分子灯的固有电特性的信息、及表示该紫外线照射装置有无实际点灯作业，

上述紫外线照射装置的控制部，

准分子灯被安装于该紫外线照射装置时，上述准分子灯具有IC标签，根据该IC标签判别是否可读取/写入信息，

从该准分子灯的IC标签可读取/写入信息时，则取得被存储于IC标签的信息，

根据从IC标签所取得的信息，判别有无该准分子灯的该紫外线照射装置的实际点灯作业，

根据上述判别结果进行如下(A)至(C)的步骤：

(A)从IC标签可读取信息，且没有该紫外线照射装置实际点灯作业时，则根据被存储于上述IC标签的信息，设定初期点灯条件，而根据该被设定的初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯，

根据被存储于上述IC标签的信息，设定稳定点灯条件，且初期点灯后，使用该被设定的稳定点灯条件，使该准分子灯过渡至稳定点灯，

(B)从IC标签可读取信息，且具有该紫外线照射装置实际点灯作业时，则根据与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息和/或被存储于上述IC标签的信息，设定初期点灯条件，并根据该被设定的初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯，

根据与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息和/或被存储于上述IC标签的信息，设定稳定点灯条件，并在初期点灯后，使用该被设定的稳定点灯条件，使该准分子灯过渡至稳定点灯，

(C)从IC标签无法读取信息时，设定事先所规定的作为安全值的初期点灯条件，并由作为该安全值的该初期点灯条件，使该准分子灯进行初期点灯，

设定事先所规定的作为安全值的稳定点灯条件，初期点灯后，使用作为安全值的该稳定点灯条件，使该准分子灯过渡至稳定点灯。

4.如权利要求3所述的紫外线照射装置的点灯控制方法，其特征在于，

在上述(A)的步骤中，在从IC标签可读取信息，且没有该紫外线照射装置实际点灯作业、而具有其他装置实际点灯作业时，

使用表示被存储于IC标签的总计点灯时间及该准分子灯的固有电特性的信息，设定初期点灯条件，并且设定稳定点灯条件。

5.如权利要求3或4所述的紫外线照射装置的点灯控制方法，其特征在于，

在表示被存储于上述IC标签的准分子灯的固有电特性的信息中，至少包含适用于使该准分子灯点灯的起始电压规定值、起始频率规定值、稳定电压规定值及稳定频率规定值，

在上述(A)、(B)的步骤中，根据被存储于上述IC标签的起始电压规定值、起始频率规定值和/或与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息，设定起始电压目标值及初期点灯频率目标值，作为上述初期点灯条件，

根据被存储于上述IC标签的稳定电压规定值、稳定频率规定值和/或与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息，设定稳定电压目标值及稳定频率目标值，作为上述稳定点灯条件，

在上述(C)的步骤中，设定作为安全值的起始电压安全值及起始频率安全值，作为上述初期点灯条件，

进行设定事先所规定的作为安全值的稳定电压安全值及稳定频率安全值，作为上述稳定点灯条件，。

6.如权利要求5所述的紫外线照射装置的点灯控制方法，其特征在于，

在上述(A)及(B)的步骤中，根据被存储于上述IC标签的信息和/或与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息，以如下的方式求出上述起始电压目标值及初期点灯频率目标值，

(a)求出对应于该准分子灯的总计点灯时间的起始电压修正值，

(b)对起始电压修正值及起始电压规定值进行运算，而求出起始电压目标值，

(c)求出对应于所求出的该起始电压目标值的初期点灯频率修正值，

对该初期点灯频率修正值及起始频率规定值进行运算，而求出初期点灯频率目标值。

7.如权利要求5所述的紫外线照射装置的点灯控制方法，其特征在于，

在上述(A)及(B)的步骤中，根据被存储于上述IC标签的信息和/或与被存储于该紫外线照射装置的该准分子灯有关的信息，以如下的方式求出上述稳定电压目标值及稳定频率目标值，

(a)求出对应于该准分子灯的总计点灯时间的稳定点灯电压修正值，

(b)对稳定点灯电压修正值及稳定电压规定值进行运算，而求出稳定电压目标值，

(c)求出对应于所求出的该稳定电压目标值的稳定点灯频率修正值，

对该稳定点灯频率修正值及稳定频率规定值进行运算，而求出稳定频率目标值。

8.如权利要求3至7中任一项所述的紫外线照射装置的点灯控制方法，其特征在于，

在从IC标签可读取信息及可将信息写入IC标签时，

上述控制部，在使准分子灯关灯时，更新设置于该准分子灯的IC标签的总计点灯时间，并且记录在该紫外线照射装置有使用实际作业的情形，

在该紫外线照射装置存储用于识别上述准分子灯的信息，及进行下一次点灯时的起始电压目标值、初期点灯频率目标值、稳定电压目标值及稳定频率目标值。

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