KR20100003701A - Multi chamber type heat furnace - Google Patents

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KR20100003701A
KR20100003701A KR1020090057768A KR20090057768A KR20100003701A KR 20100003701 A KR20100003701 A KR 20100003701A KR 1020090057768 A KR1020090057768 A KR 1020090057768A KR 20090057768 A KR20090057768 A KR 20090057768A KR 20100003701 A KR20100003701 A KR 20100003701A
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KR
South Korea
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chamber
heat treatment
pinion
conveying
carburizing
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KR1020090057768A
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가즈히코 가츠마타
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가부시키가이샤 아이에이치아이
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Abstract

PURPOSE: A multi-chamber heat treatment furnace is provided to carry a work piece in an approximately straight path and reduce heat loss in the chambers. CONSTITUTION: A multi-chamber heat treatment furnace comprises multiple heat treatment chambers including a multi-receiving heat treatment chamber, and a transfer unit(7). The heat treatment chambers are arranged in a line in the transfer direction to accommodate a plurality of work pieces. The transfer unit carries the next work piece to the rear heat treatment chamber arranged after the multi-receiving heat treatment chamber.

Description

다실형 열처리로{Multi chamber type heat furnace}Multi chamber type heat furnace

본 발명은 처리 대상물에 대해 복수의 열처리실에서 순차적으로 열처리를 하는 다실형 열처리로에 관한 것이다. 본원은 2008년 7월 1일에 일본에 출원된 특원 2008-172568호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.The present invention relates to a multi-chamber heat treatment furnace which performs heat treatment sequentially in a plurality of heat treatment chambers with respect to the object to be treated. This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2008-172568 for which it applied to Japan on July 1, 2008, and uses the content here.

다실형 열처리로로서는, 예를 들면 예열실, 침탄실, 확산실 및 강온(降溫)실 등의 복수의 열처리실을 처리 대상물의 반송경로에 직렬로 배열하고, 반송경로를 따라 반송되는 금속 부품 등의 처리 대상물에 대해 각 열처리실에서 순차적으로 열처리를 행함으로써, 연속하여 반송되는 처리 대상물에 대해 연속적으로 침탄 처리를 행하는 것이 알려져 있다(일본특허공고 평7-6746호 공보 참조).As the multi-chamber heat treatment furnace, for example, a plurality of heat treatment chambers such as a preheating chamber, a carburizing chamber, a diffusion chamber, and a temperature-lowering chamber are arranged in series on the conveying path of the object to be treated, and the metal parts conveyed along the conveying path. It is known to carry out carburizing treatment continuously on the process target object conveyed continuously by heat-processing sequentially in each heat treatment chamber with respect to the process target object (refer Japanese Unexamined-Japanese-Patent No. 7-6746).

상기 다실형 열처리로에는, 복수의 처리 대상물을 상기 처리 대상물의 반송방향으로 수용 가능한 다수용(多收容) 열처리실이 상기 열처리실로서 구비되어 있는 것이 있다(일본특허공고 평7-6746호 공보 참조).Some of the multi-threaded heat treatment furnaces are provided with a plurality of heat treatment chambers for accommodating a plurality of treatment objects in a conveying direction of the treatment object as the heat treatment chambers (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-6746). ).

그리고, 이러한 다수용 열실을 구비하는 다실형 열처리로에서의 처리 대상물의 반송방법으로서는, 회전 구동되는 마찰 롤러를 배열함으로써 열처리실의 플로어(floor)부를 롤러 하스(roller hearth)로서 그 롤러 하스에서 처리 대상물을 반 송하는 방법, 혹은 반송경로에 깔려 배열되는 처리 대상물의 가장 앞쪽의 처리 대상물을 푸셔 장치에 의해 밀어서 반송하는 방법이 알려져 있다(일본특허공개 2003-240440호 공보 참조).And as a conveying method of the process target object in the multi-chamber heat processing furnace provided with such many heat chambers, the floor part of a heat processing chamber is processed by the roller hearth as roller hearth by arrange | positioning the friction roller which is rotationally driven. The method of conveying an object or the method of pushing and conveying the foremost object of processing of the process object arrange | positioned on a conveyance path with a pusher apparatus is known (refer Unexamined-Japanese-Patent No. 2003-240440).

그러나, 롤러 하스로 처리 대상물을 반송하는 경우에는, 롤러와 처리 대상물(혹은 처리 대상물이 안착되는 트레이) 사이의 마찰에 의해 처리 대상물이 이동한다. 그 때문에, 하나의 롤러가 처리 대상물에 주어지는 추진력은 매우 약하여, 단일(혹은 소수)의 롤러의 구동력만으로 반송경로에 깔려 배열되는 복수의 처리 대상물을 한번에 반송할 수는 없다. 이 때문에, 전부(혹은 대부분)의 롤러에 대해 모터 등의 구동장치를 설치할 필요가 있다.However, when conveying a process object with a roller hearth, a process object moves by the friction between a roller and a process object (or the tray on which a process object is seated). Therefore, the driving force given to one object by the roller is very weak, and it is not possible to convey a plurality of objects to be disposed on the conveying path at one time only by the driving force of a single (or few) rollers. For this reason, it is necessary to provide driving devices, such as a motor, with respect to all (or most) rollers.

구동장치는 열처리실의 내부에 설치할 수 없기 때문에, 롤러의 구동축이 열처리실을 관통하여 외부에 돌출되고, 이 돌출된 구동축과 구동장치가 접속된다. 그러나, 열처리실의 열량의 일부는 롤러의 구동축을 통해 외부로 방열되어 버린다. 이 때문에, 모든 롤러에 대해 구동장치를 설치할 필요가 있는 롤러 하스에 의한 반송방법은 다실형 열처리로에서의 열손실이 커진다.Since the drive device cannot be installed inside the heat treatment chamber, the drive shaft of the roller passes through the heat treatment chamber and protrudes to the outside, and the projected drive shaft and the drive apparatus are connected. However, part of the heat amount of the heat treatment chamber is radiated to the outside through the drive shaft of the roller. For this reason, in the conveyance method by the roller hearth which needs to provide a drive apparatus with respect to all the rollers, the heat loss in a multi-room heat processing furnace becomes large.

한편, 푸셔 장치에 의한 처리 대상물의 반송방법은, 처리 대상물(혹은 처리 대상물이 안착되는 트레이)을 직접 밀어서 반송한다. 그 때문에, 상기 반송방법은 하나의 푸셔 장치에 의해 처리 대상물에 큰 추진력을 부여할 수 있다. 이 때문에, 상기 반송방법은 반송경로에 깔려 배열되는 처리 대상물의 가장 앞쪽의 처리 대상물을 밀어서 복수의 처리 대상물을 한번에 반송할 수 있다. 따라서, 상기 반송방법은 열처리실의 플로어부를 자유 롤러에 의해 구성할 수 있고, 구동축을 열처리실에 관통시킬 필요가 없기 때문에 열손실이 작아진다.On the other hand, in the method of conveying the object to be processed by the pusher device, the object to be processed (or the tray on which the object to be processed) is directly pushed and conveyed. Therefore, the said conveying method can give a big thrust force to a process target object by one pusher apparatus. For this reason, the said conveyance method can convey a some process object at once by pushing the process object of the front side of the process object arrange | positioned on a conveyance path | route. Therefore, the conveying method can constitute the floor of the heat treatment chamber by a free roller, and the heat loss is reduced because it is not necessary to penetrate the drive shaft through the heat treatment chamber.

그런데, 다실형 열처리로에는, 다른 감압 환경 중에서 열처리하는 이른바 진공로가 있고, 이러한 진공로에서는 다른 압력으로 설정된 열처리실이 시일(seal) 도어에 의해 격리된다. 따라서, 시일 도어를 폐쇄하기 위해 반송경로 상에서 처리 대상물끼리를 이간시킬 필요가 있다.By the way, the multi-chamber heat processing furnace has what is called a vacuum furnace which heat-processes in different pressure reduction environments, and in this vacuum furnace, the heat processing chamber set to the other pressure is isolate | separated by the seal door. Therefore, in order to close a seal door, it is necessary to separate processing objects from each other on a conveyance path | route.

그러나, 단일의 푸셔 장치에서 반송경로 상의 모든 처리 대상물을 반송하기 위해서는, 모든 처리 대상물끼리(혹은 트레이끼리)가 접촉되어 있을 필요가 있고, 처리 대상물끼리를 이간시킬 수 없다. 이 때문에, 진공로에 푸셔 장치에 의한 처리 대상물의 반송방법을 적용하는 경우에는, 반송경로 도중에 처리 대상물의 반송방향을 변화시키기 위한 푸셔 장치가 복수 설치된다. 그리고, 그 반송경로 도중에 설치된 푸셔 장치가 처리 대상물의 반송경로를 변화시켜 처리 대상물끼리를 이간시킨다.However, in order to convey all the process target objects on a conveyance path | route by a single pusher apparatus, all the process target objects (or trays) need to contact, and cannot process a process object. For this reason, when the conveying method of the object to be processed by the pusher device is applied to the vacuum path, a plurality of pusher devices for changing the conveying direction of the object to be processed are provided in the middle of the conveying path. And the pusher apparatus provided in the middle of the conveyance path changes the conveyance path | route of a process target object, and separates the process target objects.

푸셔 장치는 롤러 하스에 이용되는 하나하나의 구동장치에 비해 크다. 이 때문에, 푸셔 장치를 복수 설치하는 것은 다실형 열처리로의 대형화를 초래한다.The pusher device is larger than the single drive device used for the roller hearth. For this reason, providing a plurality of pusher devices results in enlargement of the multi-threaded heat treatment furnace.

또, 처리 대상물의 반송경로를 직선형상으로 할 수 없기 때문에, 반송경로가 복잡화되어 공장 내에서의 다실형 열처리로의 설치공간의 확보가 어려워진다.Moreover, since the conveyance path | route of a process target object cannot be made linear, a conveyance path becomes complicated and it becomes difficult to ensure the installation space of the multi-room heat processing furnace in a factory.

본 발명은 상술한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 롤러 하스에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 열처리실에서의 열손실을 저감시키는 것을 목적으로 한다. 또, 본 발명은 푸셔 장치에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 처리 대상물의 반송경로를 보다 직선형상에 가깝게 형성 가능하게 하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of the above-mentioned problem, Comprising: It aims at reducing heat loss in a heat processing chamber compared with the conveyance method of the object to be processed by a roller hearth. Moreover, an object of this invention is to make it possible to form the conveyance path | route of a process target object more linearly compared with the conveying method of the process target object by a pusher apparatus.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 처리 대상물의 반송방향으로 복수의 처리 대상물을 수용 가능한 열처리실인 다수용(多收容) 열처리실을 적어도 포함한다. 또, 본 발명은, 상기 반송방향을 따라 직선형상으로 배열되는 복수의 열처리실과, 상기 다수용 열처리실로부터 다수용 열처리실의 후단에 배치되는 후단 열처리실에, 다음에 공급되는 처리 대상물만을 반송하여 상기 후단 열처리실에 압입하는 제1 반송수단을 구비한다.In order to achieve the said objective, this invention contains at least the multiple heat processing chamber which is a heat processing chamber which can accommodate a some process object in the conveyance direction of a process object. Moreover, this invention conveys only the process target object supplied next to the some heat processing chamber arrange | positioned linearly along the said conveyance direction, and the following heat processing chamber arrange | positioned at the rear end of the many heat processing chambers from the said multiple heat processing chambers, A first conveying means for press-fitting into the rear stage heat treatment chamber is provided.

본 발명에 의하면, 제1 반송수단에 의해 다수용 열처리실에 수용된 복수의 처리 대상물 중에서, 다음에 공급되는 처리 대상물만이 후단 열처리실에 반송되고, 이 반송된 처리 대상물이 후단 열처리실에 압입된다.According to the present invention, of the plurality of treatment objects accommodated in the plurality of heat treatment chambers by the first conveying means, only the object to be supplied next is conveyed to the rear heat treatment chamber, and the conveyed treatment object is press-fitted into the rear heat treatment chamber. .

또한, 본 발명에서는 상기 처리 대상물이 트레이에 안착되어 반송되는 경우에, 상기 제1 반송수단은 상기 트레이에 형성되는 랙과, 랙에 끼워맞춤되는 피니언과, 피니언을 회전 구동하는 구동수단을 가진다.Moreover, in this invention, when the said process object is seated in a tray and conveyed, the said 1st conveying means has the rack formed in the said tray, the pinion which fits in a rack, and the drive means which rotationally drives a pinion.

또한, 본 발명에서는, 상기 제1 반송수단은, 상기 피니언으로서 상기 다수용 열처리실에 설치되는 제1 피니언과, 상기 후단 열처리실에 설치되는 제2 피니언을 가진다. 또한, 상기 구동수단으로서 상기 제1 피니언을 회전 구동하는 제1 구동수단과, 상기 제2 피니언을 회전 구동하는 제2 구동수단을 가진다.In the present invention, the first conveying means has a first pinion provided in the plurality of heat treatment chambers as the pinion, and a second pinion provided in the rear stage heat treatment chamber. Further, the drive means includes first drive means for rotationally driving the first pinion and second drive means for rotationally driving the second pinion.

또한, 본 발명에서는, 상기 다수용 열처리실과 후단 열처리실 사이에 중간실이 배치되는 경우에, 상기 제1 반송수단은, 상기 중간실에 설치되는 제3 피니언과 제3 피니언을 회전 구동하는 제3 구동수단을 가진다.Further, in the present invention, when the intermediate chamber is disposed between the plurality of heat treatment chambers and the rear stage heat treatment chamber, the first conveying means is a third to rotate and drive the third pinion and the third pinion provided in the intermediate chamber. It has a driving means.

또한, 본 발명의 장치는, 상기 제1 반송수단에 더하여 제1 반송수단에 의해 상기 처리 대상물이 반송되는 열처리실 사이 이외의 열처리실 사이에서 상기 처리 대상물을 반송하는 제2 반송수단을 구비한다. 그리고, 제2 반송수단은 포크리프트 장치이다.Moreover, the apparatus of this invention is equipped with the 2nd conveyance means which conveys the said object to be processed between heat treatment chambers other than between the heat treatment chambers by which a said 1st conveyance means conveys a said process object in addition to the said 1st conveyance means. The second conveying means is a forklift device.

또한, 본 발명의 장치는, 상기 제1 반송수단에 더하여 제1 반송수단에 의해 상기 처리 대상물이 반송되는 열처리실 사이 이외의 열처리실 사이에서 상기 처리 대상물을 반송하는 제2 반송수단을 구비한다. 그리고, 제2 반송수단은 푸셔 장치이다.Moreover, the apparatus of this invention is equipped with the 2nd conveyance means which conveys the said object to be processed between heat treatment chambers other than between the heat treatment chambers by which a said 1st conveyance means conveys a said process object in addition to the said 1st conveyance means. The second conveying means is a pusher device.

또한, 본 발명의 장치는, 상기 제1 반송수단에 더하여 제1 반송수단에 의해 상기 처리 대상물이 반송되는 열처리실 사이 이외의 열처리실 사이에서 상기 처리 대상물을 반송하는 제2 반송수단을 구비한다. 그리고, 제2 반송수단은 상기 트레이에 형성되는 랙과, 랙에 끼워맞춤되는 피니언과, 피니언을 회전 구동하는 구동수단을 가진다.Moreover, the apparatus of this invention is equipped with the 2nd conveyance means which conveys the said object to be processed between heat treatment chambers other than between the heat treatment chambers by which a said 1st conveyance means conveys a said process object in addition to the said 1st conveyance means. The second conveying means has a rack formed on the tray, a pinion fitted to the rack, and driving means for rotationally driving the pinion.

본 발명에 의하면, 제1 반송수단에 의해, 다수용 열처리실에 수용된 복수의 처리 대상물 중에서, 다음에 공급되는 처리 대상물만이 후단 열처리실에 반송된다. 이 때문에, 다수용 열처리실과 후단 열처리실이 직선형상으로 배열되어 있는 경우라도, 다수용 열처리실과 후단 열처리실 사이에서 처리 대상물끼리를 이간시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 푸셔 장치에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 처리 대상물의 반송경로가 보다 직선형상에 가깝게 형성될 수 있다.According to this invention, only the process target object supplied next is conveyed by the 1st conveyance means to the rear-end heat treatment chamber among the some process target object accommodated in many heat processing chambers. For this reason, even when a plurality of heat treatment chambers and a post stage heat treatment chamber are arranged in a linear shape, the objects to be treated can be separated between the plurality of heat treatment chambers and the post stage heat treatment chambers. Therefore, according to the present invention, the conveyance path of the object to be treated can be formed closer to the linear shape as compared with the method of conveying the object to be processed by the pusher device.

또한, 본 발명에 의하면, 제1 반송수단에 의해 반송된 처리 대상물이 후단 열처리실에 압입된다. 이 때문에, 후단 열처리실에 수용된 처리 대상물이 제1 반송수단에 의해 압입된 처리 대상물에 밀려 이동하기 때문에, 제1 반송수단만에 의해 후단 열처리실에 수용되는 처리 대상물이 반송된다. 이 때문에, 본 발명은 후단 열처리실의 플로어부를 자유 롤러에 의해 구성할 수 있고, 열처리실을 관통하는 구동축을 적어도 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명의 장치는 롤러 하스에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 열처리실에서의 열손실을 저감시키는 것이 가능하게 된다.Moreover, according to this invention, the process target object conveyed by the 1st conveying means is press-fitted to a post heat processing chamber. For this reason, since the object to be processed accommodated in the rear end heat treatment chamber is pushed by the object to be pushed in by the first conveying means, the object to be accommodated in the rear end heat treatment chamber is conveyed only by the first conveying means. For this reason, this invention can comprise the floor part of a post heat processing chamber by a free roller, and can at least reduce the drive shaft which penetrates a heat processing chamber. Therefore, the apparatus of this invention can reduce the heat loss in a heat processing chamber compared with the conveyance method of the process target object by a roller hearth.

따라서, 본 발명의 장치는 롤러 하스에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 열처리실에서의 열손실을 저감시킨다. 그리고, 본 발명의 장치는 푸셔 장치에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 처리 대상물의 반송경로를 보다 직선형상에 가깝게 형성될 수 있다.Therefore, the apparatus of this invention reduces the heat loss in a heat processing chamber compared with the conveyance method of the process target object by a roller hearth. In addition, the apparatus of the present invention can be formed closer to a straight line in the conveying path of the object to be treated as compared with the method of conveying the object to be processed by the pusher device.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 다실형 열처리로의 일실시형태에 대해 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one Embodiment of the multi-chamber heat processing furnace which concerns on this invention with reference to drawings is demonstrated.

이하의 도면에서 각 부재를 인식 가능한 크기로 하기 위해 각 부재의 축척은 적절히 변경되어 있다. 또한, 이하의 설명에서 처리 대상물의 반송방향의 상류측을 상단측, 처리 대상물의 반송방향의 하류측을 하단측으로 한다.In the following drawings, the scale of each member is appropriately changed in order to make each member recognizable size. In addition, in the following description, the upstream side of the conveyance direction of a process target object is made into the upper end side, and the downstream side of the conveyance direction of a process object is made into the lower end side.

(제1 실시형태)(First embodiment)

도 1은 본 제1 실시형태의 다실형 열처리로(S1)의 개략 구성도로서, 처리 대상물의 반송방향에 따른 단면도이다.1: is a schematic block diagram of the multi-chamber heat processing furnace S1 of this 1st Embodiment, and is sectional drawing along the conveyance direction of a process target object.

이 도면에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)는 탈기부(1), 예열부(2), 침탄부(3), 확산부(4), 강온부(5), 냉각부(6), 제1 반송장치(7)(제1 반송수단)를 구비한다.As shown in this figure, the polysilicon heat treatment furnace S1 of this embodiment is a degassing part 1, the preheating part 2, the carburizing part 3, the diffusion part 4, the temperature reduction part 5, and cooling A part 6 and the 1st conveying apparatus 7 (1st conveying means) are provided.

탈기부(1)(열처리실)는 처리 대상물(X)이 노출되는 공간을 진공퍼지하는 장치로, 처리 대상물(X)의 흐름 방향에 대해 가장 상단측에 설치되어 있다.The degassing part 1 (heat treatment chamber) is a device which vacuum-purges the space to which the process target object X is exposed, and is installed in the uppermost side with respect to the flow direction of the process target object X.

이 탈기부(1)는, 상단측과 하단측 각각에 처리 대상물(X)이 통과 가능한 개구가 형성된 챔버(1a)를 구비한다. 상단측의 개구가 승강장치(8a)에 의해 승강되는 시일 도어(9a)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다. 또한, 하단측의 개구가 승강장치(8b)에 의해 승강되는 차열도어붙이 시일 도어(9b)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다.This degassing part 1 is provided with the chamber 1a in which the opening which the process target object X can pass is formed in each of the upper end side and the lower end side. The opening at the upper end side can be opened and closed by a seal door 9a that is lifted by the lifting device 8a. Moreover, the opening of the lower end side is opened and closed by the seal door 9b with a heat shield door which elevates by the elevating apparatus 8b.

또한, 탈기부(1)의 챔버(1a)에는 도시하지 않은 진공 펌프가 접속되어 있고, 진공 펌프에 의해 챔버(1a)의 내부(즉, 처리 대상물(X)이 노출되는 공간)가 진공퍼 지된다.In addition, a vacuum pump (not shown) is connected to the chamber 1a of the degassing part 1, and the inside of the chamber 1a (that is, the space where the object X is exposed) is vacuum purged by the vacuum pump. do.

탈기부(1)는 처리 대상물(X)에 대해 적극적으로 열처리를 하는 장치는 아니지만, 침탄부(3), 확산부(4), 강온부(5), 냉각부(6)에서의 처리 대상물(X)에 대한 열처리의 준비처리를 행하는 장치로서, 본 발명의 열처리실에 포함된다. 이와 같이, 본 발명의 열처리실은 처리 대상물(X)에 대해 적극적으로 열처리를 하는 처리실에 한정되지 않고, 열처리를 위한 준비처리를 행하는 처리실을 포함한다.The degassing part 1 is not an apparatus that actively heat-treats the object X, but the object to be treated in the carburizing part 3, the diffusion part 4, the temperature lowering part 5, and the cooling part 6 ( An apparatus for performing a heat treatment for X), which is included in the heat treatment chamber of the present invention. As described above, the heat treatment chamber of the present invention is not limited to the treatment chamber that actively heat-treats the object X, and includes a treatment chamber that performs a preparation process for heat treatment.

예열부(2)는 처리 대상물(X)을 미리 정해진 온도(예를 들면, 930℃)까지 예열하는 장치로서, 탈기부(1)의 하단측에 접속된다.The preheating part 2 is an apparatus which preheats the process object X to predetermined temperature (for example, 930 degreeC), and is connected to the lower end side of the degassing part 1.

이 예열부(2)는, 상단측과 하단측 각각에 처리 대상물(X)이 통과 가능한 개구가 형성된 챔버(2a)와, 챔버(2a)의 내부에 수용됨과 동시에 챔버(2a)의 개구에 접속되는 상단측의 개구와 하단측의 개구를 구비하는 예열실(2b)(열처리실)을 구비한다.This preheating part 2 is accommodated inside the chamber 2a and the chamber 2a in which the opening which the process target X can pass is formed in the upper end side and the lower end side, respectively, and is connected to the opening of the chamber 2a. It is provided with the preheating chamber 2b (heat processing chamber) provided with the opening of the upper end side, and the opening of the lower end side.

챔버(2a) 및 예열실(2b)은 복수(본 실시형태에서는 5개)의 처리 대상물(X)이 반송방향으로 배열되어 수용 가능하도록, 처리 대상물(X)의 반송방향으로 연장하여 형성되어 있다. 즉, 본 실시형태에서 예열실(2b)은 처리 대상물(X)의 반송방향으로 복수의 처리 대상물(X)이 수용 가능한 다수용 열처리실로 되어 있다. 예열실(2b)의 내부에는 도시하지 않은 히터가 설치되어 있고, 히터에 의해 처리 대상물(X)의 예열이 행해진다.The chamber 2a and the preheating chamber 2b are formed extending in the conveying direction of the processing target object X so that a plurality (5 in this embodiment) of the processing object X can be arranged and accommodated in the conveying direction. . That is, in the present embodiment, the preheating chamber 2b is a plurality of heat treatment chambers in which the plurality of treatment objects X can be accommodated in the conveying direction of the treatment object X. The heater which is not shown in figure is installed in the preheating chamber 2b, and the preheating of the process target object X is performed by a heater.

또한, 챔버(2a) 및 예열실(2b)의 상단측의 개구는 탈기부(1)의 하단측의 개구와 접속되어 있고, 상기 승강장치(8b)에 의해 승강되는 차열도어붙이 시일 도 어(9b)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다. 또한, 챔버(2a) 및 예열실(2b)의 하단측의 개구는 승강장치(8c)에 의해 승강되는 차열도어붙이 시일 도어(9c)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다.Moreover, the opening of the upper end side of the chamber 2a and the preheating chamber 2b is connected with the opening of the lower end side of the degassing part 1, and the seal door with a shielding door which raises and lowers by the said elevating apparatus 8b ( The opening and closing is made possible by 9b). Moreover, the opening of the lower end side of the chamber 2a and the preheating chamber 2b is opened and closed by the shield door 9c with the heat shield door lifting up and down by the elevating apparatus 8c.

침탄부(3)는, 처리 대상물(X)을 예열부(2)에서 예열된 온도로 유지함과 동시에 침탄 가스 분위기 중에 처리 대상물(X)을 노출시킴으로써 처리 대상물(X)의 표면의 탄소 함유량을 증가시키는 장치이다.The carburizing part 3 increases the carbon content of the surface of the object X by maintaining the object X at the temperature preheated in the preheating part 2 and exposing the object X in the carburizing gas atmosphere. Device.

이 침탄부(3)는 상단측과 하단측 각각에 처리 대상물(X)이 통과 가능한 개구가 형성된 챔버(3a)와, 챔버(3a)의 내부에 수용됨과 동시에 상단측과 하단측 각각에 처리 대상물(X)이 통과 가능한 개구가 형성된 침탄실(3b)(열처리실)을 구비한다.The carburizing portion 3 is provided with a chamber 3a having an opening through which the processing object X can pass through each of the upper side and the lower side, and is accommodated inside the chamber 3a, and at the top side and the lower side, respectively. A carburizing chamber 3b (heat treatment chamber) in which an opening through which (X) can pass is provided.

챔버(3a)는, 침탄실(3b)보다도 상단측으로 연장되어 형성됨과 동시에 상단측의 개구가 예열부(2)의 챔버(2a)의 하단측의 개구와 접속됨으로써, 예열실(2b)과 침탄실(3b) 사이에 중간실(3c)을 형성한다.The chamber 3a is formed to extend to the upper end side than the carburizing chamber 3b, and the opening at the upper end is connected to the opening at the lower end side of the chamber 2a of the preheating unit 2, thereby carburizing the preheating chamber 2b. The intermediate chamber 3c is formed between the chambers 3b.

침탄실(3b)은 복수(본 실시형태에서는 3개)의 처리 대상물(X)이 반송방향으로 배열되어 수용 가능하도록, 처리 대상물(X)의 반송방향으로 연장하여 형성되어 있다. 즉, 본 실시형태에서 침탄실(3b)은 예열실(2b)의 후단에 배치되는 후단 열처리실임과 동시에 처리 대상물(X)의 반송방향으로 복수의 처리 대상물(X)을 수용 가능한 다수용 열처리실이기도 하다. 침탄실(3b)의 내부에는 도시하지 않은 히터가 설치되어 있고, 히터에 의해 처리 대상물(X)이 예열온도로 유지된다. 또한, 침탄실(3b)에는 도시하지 않은 침탄 가스 공급장치가 접속되어 있고, 침탄 가스 공급장 치에 의해 처리 대상물(X)이 노출되는 공간이 침탄 가스 분위기로 되어 있다.The carburizing chamber 3b is formed extending in the conveying direction of the object to be treated X so that a plurality (the three in this embodiment) of the object X to be processed are arranged in the conveying direction and accommodated therein. That is, in this embodiment, the carburizing chamber 3b is a rear stage heat treatment chamber arranged at the rear end of the preheating chamber 2b and can accommodate a plurality of treatment objects X in the conveying direction of the treatment object X. It is also. A heater (not shown) is provided inside the carburizing chamber 3b, and the object to be treated X is maintained at a preheating temperature by the heater. In addition, the carburizing gas supply apparatus which is not shown in figure is connected to the carburizing chamber 3b, and the space where the process target object X is exposed by the carburizing gas supply apparatus becomes a carburizing gas atmosphere.

또한, 챔버(3a)의 상단측의 개구는 예열부(2)의 챔버(2a)의 하단측의 개구와 접속되어 있고, 승강장치(8c)에 의해 승강되는 차열도어붙이 시일 도어(9c)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다. 또한, 침탄실(3b)의 상단측의 개구는 중간실(3c)을 향하여 배치되어 있고, 승강장치(8d)에 의해 승강되는 차열도어(9d)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다. 또한, 챔버(3a)의 하단측의 개구와 침탄실(3b)의 하단측의 개구는 접속되어 있고, 이들 하단측의 개구는 승강장치(8e)에 의해 승강되는 차열도어붙이 시일 도어(9e)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다.In addition, the opening of the upper end side of the chamber 3a is connected to the opening of the lower end side of the chamber 2a of the preheating part 2, and is connected to the heat-sealing seal door 9c which is elevated by the lifting device 8c. Opening and closing is enabled. Moreover, the opening of the upper end side of the carburizing chamber 3b is arrange | positioned toward the intermediate chamber 3c, and can be opened and closed by the heat shield door 9d which raises and lowers by the lifting device 8d. Moreover, the opening of the lower end side of the chamber 3a and the opening of the lower end side of the carburizing chamber 3b are connected, and these openings of the lower end side are sealed doors 9e with heat shield doors which are elevated by the elevating device 8e. It can be opened and closed by.

확산부(4)는, 침탄부(3)에서 표면의 탄소 함유량이 증가된 처리 대상물(X)을 침탄 가스가 없는 분위기에서 보온함으로써 처리 대상물(X)에서 탄소를 확산시키는 장치이다.The diffusion part 4 is an apparatus which diffuses carbon in the process target object X by keeping the process object X with the carbon content of the surface increased in the carburizing part 3 in the atmosphere without carburizing gas.

이 확산부(4)는, 상단측과 하단측 각각에 처리 대상물(X)이 통과 가능한 개구가 형성된 챔버(4a)와, 챔버(4a)의 내부에 수용됨과 동시에 상단측과 하단측 각각에 처리 대상물(X)이 통과 가능한 개구가 형성된 확산실(4b)(열처리실)을 구비한다.The diffusion portion 4 is accommodated in the chamber 4a having an opening through which the processing object X can pass through the upper end side and the lower end side, respectively, and is processed in each of the upper side and the lower end side. The diffusion chamber 4b (heat processing chamber) in which the opening which the object X can pass is formed is provided.

챔버(4a)는, 확산실(4b)보다도 상단측으로 연장되어 형성됨과 동시에 상단측의 개구가 침탄부(3)의 챔버(3a)의 하단측의 개구와 접속됨으로써 침탄실(3b)과 확산실(4b) 사이에 중간실(4c)을 형성한다.The chamber 4a is formed to extend to the upper end side than the diffusion chamber 4b, and the opening at the upper end is connected to the opening at the lower end side of the chamber 3a of the carburizing unit 3, thereby providing the carburizing chamber 3b and the diffusion chamber. The intermediate chamber 4c is formed between (4b).

확산실(4b)은 복수(본 실시형태에서는 4개)의 처리 대상물(X)이 반송방향으로 배열되어 수용 가능하도록, 처리 대상물(X)의 반송방향으로 연장하여 형성되어 있다. 즉, 본 실시형태에서 확산실(4b)은 침탄실(3b)의 후단에 배치되는 후단 열처리실임과 동시에 처리 대상물(X)의 반송방향으로 복수의 처리 대상물(X)을 수용 가능한 다수용 열처리실이기도 하다. 확산실(4b)의 내부에는 도시하지 않은 히터가 설치되어 있고, 히터에 의해 처리 대상물(X)이 보온된다.The diffusion chamber 4b is formed extending in the conveying direction of the object X to be processed so that a plurality (four in this embodiment) of the object X are arranged in the conveying direction and can be accommodated. In other words, in the present embodiment, the diffusion chamber 4b is a post-heat treatment chamber disposed at the rear end of the carburizing chamber 3b and a plurality of heat treatment chambers that can accommodate the plurality of treatment objects X in the conveying direction of the treatment object X. It is also. A heater (not shown) is provided inside the diffusion chamber 4b, and the object to be treated X is kept warm by the heater.

또한, 챔버(4a)의 상단측의 개구는 침탄부(3)의 챔버(3a)의 하단측의 개구와 접속되어 있고, 승강장치(8e)에 의해 승강되는 차열도어붙이 시일 도어(9e)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다. 또한, 확산실(4b)의 상단측의 개구는 중간실(4c)을 향하여 배치되어 있고, 승강장치(8f)에 의해 승강되는 차열도어(9f)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다. 또한, 챔버(4a)의 하단측의 개구와 확산실(4b)의 하단측의 개구는 접속되어 있고, 이들 하단측의 개구는 승강장치(8g)에 의해 승강되는 차열도어붙이 시일 도어(9g)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다.In addition, the opening of the upper end side of the chamber 4a is connected to the opening of the lower end side of the chamber 3a of the carburizing part 3, and is connected to the heat-sealing seal door 9e lifted by the elevating device 8e. Opening and closing is enabled. Moreover, the opening of the upper end side of the diffusion chamber 4b is arrange | positioned toward the intermediate chamber 4c, and can be opened and closed by the heat shield door 9f which raises and lowers by the lifting device 8f. Moreover, the opening of the lower end side of the chamber 4a, and the opening of the lower end side of the diffusion chamber 4b are connected, and these openings of the lower end side are 9g of heat-sealing seal doors which are lifted up and down by the lifting device 8g. It can be opened and closed by.

강온부(5)는, 확산부(4)에서 보온되고 있던 처리 대상물(X)을 낮은 온도 환경에 노출시킴으로써 강온시키는 장치이다.The temperature lowering unit 5 is a device for lowering the temperature by exposing the object X to be kept warm in the diffusion unit 4 to a low temperature environment.

이 강온부(5)는, 상단측과 하단측 각각에 처리 대상물(X)이 통과 가능한 개구가 형성된 챔버(5a)와, 챔버(5a)의 내부에 수용됨과 동시에 상단측과 하단측 각각에 처리 대상물(X)이 통과 가능한 개구가 형성된 강온실(5b)(열처리실)을 구비한다.The temperature-falling part 5 is accommodated in the chamber 5a having an opening through which the processing object X can pass through the upper end side and the lower end side, respectively, and is processed in each of the upper end side and the lower end side. The temperature chamber 5b (heat processing chamber) in which the opening which the object X can pass is provided is provided.

챔버(5a)는, 강온실(5b)보다도 상단측으로 연장하여 형성됨과 동시에 상단측의 개구가 확산부(4)의 챔버(4a)의 하단측의 개구와 접속됨으로써, 확산실(4b)과 강온실(5b)의 사이에 중간실(5c)을 형성한다.The chamber 5a is formed to extend to the upper end side than the temperature chamber 5b, and the opening at the upper end is connected to the opening at the lower end side of the chamber 4a of the diffusion part 4, thereby providing the diffusion chamber 4b and the steel. The intermediate chamber 5c is formed between the greenhouses 5b.

강온실(5b)은 복수(본 실시형태에서는 3개)의 처리 대상물(X)이 반송방향으로 배열되어 수용 가능하도록, 처리 대상물(X)의 반송방향으로 연장하여 형성되어 있다. 즉, 본 실시형태에서 강온실(5b)은 확산실(4b)의 후단에 배치되는 후단 열처리실임과 동시에 처리 대상물(X)의 반송방향으로 복수의 처리 대상물(X)을 수용 가능한 다수용 열처리실이기도 하다. 강온실(5b)의 내부에는 도시하지 않은 히터가 설치되어 있고, 처리 대상물(X)이 미리 정해진 온도(예를 들면, 850℃)까지 강온되도록 히터의 출력이 조절되어 있다.The temperature-reduction chamber 5b is formed extending in the conveyance direction of the process target object X so that a some (3 in this embodiment) process object X may be arrange | positioned and accommodated in a conveyance direction. That is, in this embodiment, the temperature-lowering chamber 5b is a rear-end heat treatment chamber arranged at the rear end of the diffusion chamber 4b and can accommodate a plurality of treatment objects X in the conveying direction of the treatment object X. It is also. A heater (not shown) is provided inside the temperature lowering chamber 5b, and the output of the heater is adjusted so that the object to be treated X is lowered to a predetermined temperature (for example, 850 ° C).

또한, 챔버(5a)의 상단측의 개구는 확산부(4)의 챔버(4a)의 하단측의 개구와 접속되어 있고, 승강장치(8g)에 의해 승강되는 차열도어붙이 시일 도어(9g)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다. 또한, 강온실(5b)의 상단측의 개구는 중간실(5c)을 향하여 배치되어 있고, 승강장치(8h)에 의해 승강되는 차열도어(9h)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다. 또한, 챔버(5a)의 하단측의 개구와 강온실(5b)의 하단측의 개구는 접속되어 있고, 이들 하단측의 개구는 승강장치(8i)에 의해 승강되는 차열도어붙이 시일 도어(9i)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다.Moreover, the opening of the upper end side of the chamber 5a is connected to the opening of the lower end side of the chamber 4a of the diffusion part 4, and is connected to the heat-sealing seal door 9g which is lifted by the lifting device 8g. Opening and closing is enabled. Moreover, the opening of the upper end side of the temperature-fall chamber 5b is arrange | positioned toward the intermediate chamber 5c, and can be opened and closed by the heat shield door 9h which raises and lowers by the lifting device 8h. In addition, the opening of the lower end side of the chamber 5a and the opening of the lower end side of the temperature chamber 5b are connected, and these openings of the lower end side are sealed doors 9i with heat shield doors which are elevated by the elevating device 8i. It can be opened and closed by.

냉각부(6)(열처리실)는 처리 대상물(X)이 노출되는 공간을 냉각하는 장치로서, 처리 대상물(X)의 흐름 방향에 대해 가장 하단측에 설치되어 있다.The cooling part 6 (heat processing chamber) is an apparatus which cools the space where the process target object X is exposed, and is provided in the lowest end with respect to the flow direction of the process target object X.

이 냉각부(6)는 상단측과 하단측 각각에 처리 대상물(X)이 통과 가능한 개구가 형성된 챔버(6a)를 구비하고, 상단측의 개구가 강온부(5)의 챔버(5a)의 하단측의 개구와 접속되어 있다. 그리고, 챔버(6a)의 상단측의 개구가 승강장치(8i)에 의해 승강되는 차열도어붙이 시일 도어(9i)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다. 또한, 하단측의 개구가 승강장치(8j)에 의해 승강되는 시일 도어(9j)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다.The cooling section 6 has a chamber 6a having an opening through which an object X to pass through is formed in each of the upper end side and the lower end side, and the opening at the upper end side is the lower end of the chamber 5a of the temperature lowering part 5. It is connected with the opening of the side. The opening on the upper end side of the chamber 6a is opened and closed by the shield door 9i with the shielding door lifted and lowered by the elevating device 8i. Moreover, the opening of the lower end side is openable and closeable by the seal door 9j which elevates by the lifting device 8j.

또, 냉각부(6)의 챔버(6a)의 내부에는 냉각 가스를 처리 대상물(X)에 분무하기 위한 냉각 팬(6b)이 설치되어 있다.Moreover, inside the chamber 6a of the cooling part 6, the cooling fan 6b for spraying cooling gas to the process target object X is provided.

이러한 냉각부(6)는 강온실(5b)의 후단에 배치되는 후단 열처리실이다.The cooling unit 6 is a rear end heat treatment chamber disposed at the rear end of the temperature chamber 5b.

이와 같이 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)에서는, 탈기부(1), 예열부(2), 침탄부(3), 확산부(4), 강온부(5), 냉각부(6)가 직선형상으로 연결됨으로써, 예열실(2b), 침탄실(3b), 확산실(4b), 강온실(5b), 냉각부(6)가 처리 대상물(X)의 반송방향을 따라 직선형상으로 배열되어 있다.Thus, in the multi-chamber heat processing furnace S1 of this embodiment, the degassing part 1, the preheating part 2, the carburizing part 3, the diffusion part 4, the temperature reduction part 5, and the cooling part 6 Is connected in a straight line, so that the preheating chamber 2b, the carburizing chamber 3b, the diffusion chamber 4b, the temperature-lowering chamber 5b, and the cooling section 6 are linear along the conveying direction of the object X. Are arranged.

제1 반송장치(7)는, 다수용 열처리실로부터, 다음에 공급되는 처리 대상물(X)만을 다수용 열처리실의 후단에 배치되는 후단 열처리실로 반송하여 후단 열처리실에 압입하는 장치이다.The 1st conveying apparatus 7 is an apparatus which conveys only the process object X supplied next from a plurality of heat processing chambers to a post-end heat processing chamber arrange | positioned at the rear end of a plurality of heat processing chambers, and press-fits into a post-heat processing chamber.

그리고, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)에서는, 예열부(2)의 예열실(2b)로부터 침탄부(3)의 침탄실(3b)로 처리 대상물(X)을 반송하는 제1 반송장치(7a)와, 침탄부(3)의 침탄실(3b)에서 확산부(4)의 확산실(4b)로 처리 대상물(X)을 반송하는 제1 반송장치(7b)와, 확산부(4)의 확산실(4b)에서 강온부(5)의 강온실(5b)로 처리 대상물(X)을 반송하는 제1 반송장치(7c)와, 강온실(5b)에서 냉각부(6)로 처리 대상물(X)을 반송하는 제1 반송장치(7d)가 설치되어 있다.And in the multi-chamber heat processing furnace S1 of this embodiment, the 1st conveyance which conveys the process object X from the preheating chamber 2b of the preheating part 2 to the carburizing chamber 3b of the carburizing part 3. 1st conveying apparatus 7b which conveys the processing object X from the carburizing chamber 3b of the carburizing part 3 to the diffusion chamber 4b of the spreading part 4, and the spreading part ( In the diffusion chamber 4b of 4), the 1st conveying apparatus 7c which conveys a process object X to the temperature-falling chamber 5b of the temperature-falling part 5, and the cooling part 6 from the temperature-falling chamber 5b. The 1st conveying apparatus 7d which conveys the process object X is provided.

본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)에서는, 처리 대상물(X)은 트레이(T)의 표면에 안착된 상태로 각 열처리실을 통과한다.In the multi-chamber heat processing furnace S1 of this embodiment, the process object X passes each heat processing chamber in the state seated on the surface of the tray T. As shown in FIG.

그리고, 제1 반송장치(7)는 트레이(T)의 이면측에 형성된 랙(R)과, 랙(R)에 끼워맞춤되는 피니언(P)과, 피니언(P)을 회전 구동하는 모터(M)(구동수단)에 의해 처리 대상물(X)을 반송한다.And the 1st conveyance apparatus 7 is the rack R formed in the back surface side of the tray T, the pinion P fitted to the rack R, and the motor M which rotationally drives the pinion P. FIG. (Drive means) conveys the object X to be processed.

도 2는 트레이(T)의 이면측을 나타내는 평면도이다. 이 도면에 나타내는 바와 같이, 랙(R)은 트레이(T)의 이면측에 2열 형성되어 있고, 각 열들이 처리 대상물(X)의 반송방향으로 평행하게 연장하여 형성되어 있다.2 is a plan view showing the back side of the tray T. FIG. As shown in this figure, two rows of racks R are formed in the back surface side of tray T, and each row extends in parallel in the conveyance direction of the process target object X, and is formed.

도 3은 다실형 열처리로(S1)의 예열부(2)에서의 처리 대상물(X)의 반송방향과 직교하는 면에서의 단면도이다. 이 도면에 나타내는 바와 같이, 피니언(P)은 트레이(T)의 랙(R)에 대응하여 2개 배치되어 있다. 그리고, 이들 피니언(P)은 챔버(2a) 및 예열실(2b)을 관통하는 구동축(L)과 연결되어 있다. 그리고, 피니언(P)은 챔버(2a)의 외부에 배치된 모터(M)에 의해 감속기를 개재하여 구동축(L)이 회전 구동됨으로써 회전한다.3 is a cross-sectional view in a plane perpendicular to the conveying direction of the object to be treated X in the preheating section 2 of the multi-chamber heat treatment furnace S1. As shown in this figure, two pinions P are arrange | positioned corresponding to the rack R of the tray T. As shown in FIG. And these pinions P are connected with the drive shaft L which penetrates the chamber 2a and the preheating chamber 2b. And the pinion P rotates by the drive shaft L rotating-rotating via the speed reducer by the motor M arrange | positioned outside the chamber 2a.

그리고, 도 4에 나타내는 바와 같이, 랙(R)과 피니언(P)이 끼워맞춤된 상태로 피니언(P)이 회전 구동함으로써 트레이(T)(즉, 처리 대상물(X))가 수평방향으로 반송된다.And as shown in FIG. 4, the tray T (namely, the process target object X) is conveyed in the horizontal direction by rotating the pinion P in the state which the rack R and pinion P were fitted. do.

도 3에서는, 다실형 열처리로(S1)의 예열부(2)의 단면도를 이용하여 설명하였기 때문에, 피니언(P)에 연결되는 구동축(L)이 챔버(2a) 및 예열실(2b)을 관통하는 부재로서 설명하였다. 그러나, 구동축(L)은, 침탄부(3)에서는 챔버(3a) 혹은 챔버(3a) 및 침탄실(3b)을 관통하고, 확산부(4)에서는 챔버(4a) 혹은 챔버(4a) 및 확산실(4b)을 관통하며, 강온부(5)에서는 챔버(5a) 혹은 챔버(5a) 및 강온실(5b)을 관통하고, 냉각부(6)에서는 챔버(6a)를 관통한다.In FIG. 3, since it demonstrated using sectional drawing of the preheating part 2 of the multi-chamber heat processing furnace S1, the drive shaft L connected to the pinion P passes through the chamber 2a and the preheating chamber 2b. It demonstrated as a member to make. However, the drive shaft L penetrates the chamber 3a or the chamber 3a and the carburizing chamber 3b in the carburizing portion 3, and the chamber 4a or the chamber 4a and the diffusion in the diffusion portion 4. It penetrates the chamber 4b, penetrates the chamber 5a or chamber 5a and the chamber 5b in the temperature-fall part 5, and penetrates the chamber 6a in the cooling part 6. As shown in FIG.

제1 반송장치(7)에 대해 보다 상세하게 설명한다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 반송장치(7a)는 예열부(2)의 예열실(2b)로부터, 침탄부(3)의 침탄실(3b)로 처리 대상물(X)을 반송하는 장치이다. 그리고, 제1 반송장치(7a)는 예열실(2b)의 하단측의 개구 근방에 설치되는 피니언(P1)(제1 피니언)과, 침탄실(3b)의 상단측의 개구 근방에 설치되는 피니언(P2)(제2 피니언)과, 중간실(3c)에 설치되는 피니언(P3)(제3 피니언)을 가진다.The 1st conveyance apparatus 7 is demonstrated in more detail. As shown in FIG. 1, the 1st conveying apparatus 7a is an apparatus which conveys the process object X from the preheating chamber 2b of the preheating part 2 to the carburizing chamber 3b of the carburizing part 3. . And the 1st conveying apparatus 7a is pinion P1 (1st pinion) provided in the vicinity of the opening of the lower end side of the preheating chamber 2b, and pinion provided in the vicinity of the opening of the upper end side of the carburizing chamber 3b. (P2) (2nd pinion) and pinion P3 (3rd pinion) provided in the intermediate chamber 3c.

피니언(P1)은 챔버(2a) 및 예열실(2b)을 관통하는 피니언(P1) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니언(P1) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다. 또한, 피니언(P2)은 챔버(3a) 및 침탄실(3b)을 관통하는 피니언(P2) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니언(P2) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다. 또한, 피니언(P3)은 챔버(3a)를 관통하는 피니언(P3) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니언(P3) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다.The pinion P1 is connected to the motor M dedicated to the pinion P1 via a drive shaft L dedicated to the pinion P1 penetrating the chamber 2a and the preheating chamber 2b and a speed reducer. The pinion P2 is connected to the motor M dedicated to the pinion P2 via a drive shaft L dedicated to the pinion P2 penetrating the chamber 3a and the carburizing chamber 3b and a speed reducer. The pinion P3 is connected to a motor M dedicated to the pinion P3 via a drive shaft L dedicated to the pinion P3 penetrating the chamber 3a and a speed reducer.

그리고, 제1 반송장치(7a)에서는, 피니언(P1)이 회전 구동됨으로써 예열실(2b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중에서, 다음에 침탄실(3b)에 공급되는 처리 대상물(X)만이 침탄실(3b)측으로 반송된다. 또, 피니언(P3)의 회전 구동에 따라 처리 대상물(X)이 침탄실(3b)의 상단측의 개구까지 반송된다.And in the 1st conveying apparatus 7a, the pinion P1 is rotationally driven, and the process object X next supplied to the carburizing chamber 3b among the some process object X accommodated in the preheating chamber 2b. Bay is conveyed to the carburizing chamber 3b side. Moreover, the process object X is conveyed to the opening of the upper end side of the carburizing chamber 3b according to the rotation drive of the pinion P3.

그리고, 침탄실(3b)의 상단측의 개구까지 반송된 처리 대상물(X)은 피니언(P2)의 회전 구동에 의해 침탄실(3b)의 내부에 압입된다. 이 때, 침탄실(3b)에 수용되어 있던 처리 대상물(X)은 압입되는 처리 대상물(X)에 밀려 반송방향으로 이 동된다.And the process object X conveyed to the opening of the upper end side of the carburizing chamber 3b is press-fitted in the inside of the carburizing chamber 3b by the rotational drive of pinion P2. At this time, the processing target object X contained in the carburizing chamber 3b is pushed by the processing target object X to be press-fitted and moved in the conveying direction.

이와 같이, 예열부(2)의 예열실(2b)로부터 침탄부(3)의 침탄실(3b)로 처리 대상물(X)을 반송하는 제1 반송장치(7a)는, 다수용 열처리실인 예열실(2b)로부터, 다음에 공급되는 처리 대상물(X)만을 예열실(2b)의 후단 열처리실인 침탄실(3b)로 반송하여 침탄실(3b)에 압입한다.Thus, the 1st conveying apparatus 7a which conveys the process object X from the preheating chamber 2b of the preheating part 2 to the carburizing chamber 3b of the carburizing part 3 is the preheating chamber which is a heat processing chamber for many. From (2b), only the process object X supplied next is conveyed to the carburizing chamber 3b which is a post-heat treatment chamber of the preheating chamber 2b, and it press-fits to the carburizing chamber 3b.

제1 반송장치(7b)는, 침탄부(3)의 침탄실(3b)로부터 확산부(4)의 확산실(4b)로 처리 대상물(X)을 반송하는 장치이다. 그리고, 제1 반송장치(7b)는 침탄실(3b)의 하단측의 개구 근방에 설치되는 피니언(P4)(제1 피니언), 확산실(4b)의 상단측의 개구 근방에 설치되는 피니언(P5)(제2 피니언), 중간실(4c)에 설치되는 피니언(P6)(제3 피니언)을 가진다.The 1st conveying apparatus 7b is an apparatus which conveys the process target object X from the carburizing chamber 3b of the carburizing part 3 to the spreading chamber 4b of the spreading part 4. And the 1st conveying apparatus 7b is pinion P4 (1st pinion) provided in the vicinity of the opening of the lower end side of the carburizing chamber 3b, and pinion provided in the vicinity of the opening of the upper end side of the diffusion chamber 4b ( P5) (second pinion) and pinion P6 (third pinion) provided in the intermediate chamber 4c.

피니언(P4)은 챔버(3a) 및 침탄실(3b)을 관통하는 피니언(P4) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니언(P4) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다. 또한, 피니언(P5)은 챔버(4a) 및 확산실(4b)을 관통하는 피니언(P5) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니언(P5) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다. 또한, 피니언(P6)은 챔버(4a)를 관통하는 피니언(P6) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니언(P6) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다.The pinion P4 is connected to the motor M dedicated to the pinion P4 via a drive shaft L dedicated to the pinion P4 penetrating the chamber 3a and the carburizing chamber 3b and a speed reducer. The pinion P5 is connected to a motor M dedicated to the pinion P5 via a drive shaft L dedicated to the pinion P5 penetrating the chamber 4a and the diffusion chamber 4b and a speed reducer. The pinion P6 is connected to the motor M dedicated to the pinion P6 via a drive shaft L dedicated to the pinion P6 passing through the chamber 4a and a speed reducer.

그리고, 제1 반송장치(7b)에서는, 피니언(P4)이 회전 구동됨으로써, 침탄실(3b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중에서, 다음에 확산실(4b)에 공급되는 처리 대상물(X)만이 확산실(4b)측으로 반송된다. 또, 피니언(P6)의 회전 구동에 따라 처리 대상물(X)이 확산실(4b)의 상단측의 개구까지 반송된다.And in the 1st conveying apparatus 7b, when pinion P4 is rotationally driven, the process target object X next supplied to the diffusion chamber 4b among the some process target objects X accommodated in the carburizing chamber 3b. ) Is conveyed to the diffusion chamber 4b side. Moreover, the process object X is conveyed to the opening of the upper end side of the diffusion chamber 4b by the rotational drive of the pinion P6.

그리고, 확산실(4b)의 상단측의 개구까지 반송된 처리 대상물(X)은 피니언(P5)의 회전 구동에 의해 확산실(4b)의 내부에 압입된다. 이 때, 확산실(4b)에 수용되어 있던 처리 대상물(X)은 압입되는 처리 대상물(X)에 의해 밀려서 반송방향으로 이동된다.And the object to be processed X conveyed to the opening of the upper end side of the diffusion chamber 4b is press-fitted inside the diffusion chamber 4b by the rotational drive of the pinion P5. At this time, the processing object X accommodated in the diffusion chamber 4b is pushed by the processing object X to be press-fitted and moved in the conveying direction.

이와 같이, 침탄부(3)의 침탄실(3b)로부터 확산부(4)의 확산실(4b)로 처리 대상물(X)을 반송하는 제1 반송장치(7b)는, 다수용 열처리실인 침탄실(3b)로부터, 다음에 공급되는 처리 대상물(X)만을 침탄실(3b)의 후단 열처리실인 확산실(4b)로 반송하여 확산실(4b)에 압입한다.Thus, the 1st conveying apparatus 7b which conveys the process object X from the carburizing chamber 3b of the carburizing part 3 to the diffusion chamber 4b of the diffusion part 4 is a carburizing chamber which is many heat processing chambers. From (3b), only the processing object X supplied next is conveyed to the diffusion chamber 4b which is a post-heat treatment chamber of the carburizing chamber 3b, and it press-fits to the diffusion chamber 4b.

제1 반송장치(7c)는, 확산부(4)의 확산실(4b)로부터 강온부(5)의 강온실(5b)로 처리 대상물(X)을 반송하는 장치이다. 그리고, 제1 반송장치(7c)는 확산실(4b)의 하단측의 개구 근방에 설치되는 피니언(P7)(제1 피니언), 강온실(5b)의 상단측의 개구 근방에 설치되는 피니언(P8)(제2 피니언), 중간실(5c)에 설치되는 피니언(P9)(제3 피니언)을 가진다.The 1st conveying apparatus 7c is an apparatus which conveys the process target object X from the diffusion chamber 4b of the diffusion part 4 to the temperature-falling chamber 5b of the temperature-falling part 5. And the 1st conveying apparatus 7c is pinion P7 (1st pinion) provided in the vicinity of the opening of the lower end side of the diffusion chamber 4b, and pinion provided in the vicinity of the opening of the upper end side of the temperature chamber 5b ( P8) (2nd pinion) and pinion P9 (3rd pinion) provided in the intermediate chamber 5c.

피니언(P7)은 챔버(4a) 및 확산실(4b)을 관통하는 피니언(P7) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니언(P7) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다. 또한, 피니언(P8)은 챔버(5a) 및 강온실(5b)을 관통하는 피니언(P8) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니언(P8) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다. 또한, 피니언(P9)은 챔버(5a)를 관통하는 피니언(P9) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니언(P9) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다.The pinion P7 is connected to the motor M dedicated to the pinion P7 via a drive shaft L dedicated to the pinion P7 penetrating through the chamber 4a and the diffusion chamber 4b and a speed reducer. The pinion P8 is connected to a motor M dedicated to the pinion P8 via a drive shaft L dedicated to the pinion P8 penetrating the chamber 5a and the temperature chamber 5b and a speed reducer. The pinion P9 is connected to a motor M dedicated to the pinion P9 via a drive shaft L dedicated to the pinion P9 penetrating the chamber 5a and a speed reducer.

그리고, 제1 반송장치(7c)에서는, 피니언(P7)이 회전 구동됨으로써, 확산 실(4b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중에서, 다음에 강온실(5b)에 공급되는 처리 대상물(X)만이 강온실(5b)측으로 반송된다. 또, 피니언(P9)의 회전 구동에 따라 처리 대상물(X)이 강온실(5b)의 상단측의 개구까지 반송된다.And in the 1st conveying apparatus 7c, when the pinion P7 is rotationally driven, the process target object X which is supplied to the temperature-lowering chamber 5b next from the some process object X accommodated in the diffusion chamber 4b. ) Is conveyed to the temperature chamber 5b side only. Moreover, according to the rotational drive of the pinion P9, the process target object X is conveyed to the opening of the upper end side of the temperature chamber 5b.

그리고, 강온실(5b)의 상단측의 개구까지 반송된 처리 대상물(X)은 피니언(P8)의 회전 구동에 의해 강온실(5b)의 내부에 압입된다. 이 때, 강온실(5b)에 수용되어 있던 처리 대상물(X)은 압입되는 처리 대상물(X)에 의해 밀려서 반송방향으로 이동된다.And the process object X conveyed to the opening of the upper end side of the temperature chamber 5b is press-fitted in the inside of the temperature chamber 5b by the rotational drive of the pinion P8. At this time, the process target object X accommodated in the temperature chamber 5b is pushed by the process target object X which press-fits, and is moved to a conveyance direction.

이와 같이, 확산부(4)의 확산실(4b)로부터 강온부(5)의 강온실(5b)로 처리 대상물(X)을 반송하는 제1 반송장치(7c)는, 다수용 열처리실인 확산실(4b)로부터, 다음에 공급되는 처리 대상물(X)만을 확산실(4b)의 후단 열처리실인 강온실(5b)로 반송하여 강온실(5b)에 압입한다.Thus, the 1st conveying apparatus 7c which conveys the process object X from the diffusion chamber 4b of the diffusion part 4 to the temperature-falling chamber 5b of the temperature-falling part 5 is a diffusion chamber which is many heat processing chambers. From (4b), only the processing object X supplied next is conveyed to the temperature chamber 5b which is a post-heat treatment chamber of the diffusion chamber 4b, and it press-fits into the temperature chamber 5b.

제1 반송장치(7d)는, 강온실(5b)로부터 냉각부(6)로 처리 대상물(X)을 반송하는 장치이다. 그리고, 제1 반송장치(7d)는 강온실(5b)의 하단측의 개구 근방에 설치되는 피니언(P10)(제1 피니언), 냉각부(6)의 내부에 설치되는 피니언(P11, 12)(제2 피니언)을 가진다.The 1st conveying apparatus 7d is an apparatus which conveys the process target object X from the temperature chamber 5b to the cooling part 6. And the 1st conveying apparatus 7d is pinion P10 (1st pinion) provided in the vicinity of the opening of the lower end side of the temperature chamber 5b, and pinion P11, 12 provided in the inside of the cooling part 6. As shown in FIG. (Second pinion).

피니언(P10)은 챔버(5a) 및 강온실(5b)을 관통하는 피니언(P10) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니언(P10) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다. 또한, 피니언(P11)은 챔버(6a)를 관통하는 피니언(P11) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니언(P11) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다. 또한, 피니언(P12)은 챔버(6a)를 관통하는 피니언(P12) 전용의 구동축(L) 및 감속기를 개재하여 피니 언(P12) 전용의 모터(M)와 접속되어 있다.The pinion P10 is connected to a motor M dedicated to the pinion P10 via a drive shaft L dedicated to the pinion P10 penetrating through the chamber 5a and the temperature chamber 5b and a speed reducer. The pinion P11 is connected to the motor M dedicated to the pinion P11 via a drive shaft L dedicated to the pinion P11 penetrating the chamber 6a and a speed reducer. The pinion P12 is connected to a motor M dedicated to the pinion P12 via a drive shaft L dedicated to the pinion P12 penetrating the chamber 6a and a speed reducer.

그리고, 제1 반송장치(7d)에서는, 피니언(P10)이 회전 구동됨으로써, 강온실(5b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중에서, 다음에 냉각부(6)에 공급되는 처리 대상물(X)만이 냉각부(6)로 반송된다.And in the 1st conveying apparatus 7d, pinion P10 is rotationally driven and the process object X next supplied to the cooling part 6 among the some process object X accommodated in the temperature chamber 5b. ) Is conveyed to the cooling unit 6.

그리고, 냉각부(6)까지 반송된 처리 대상물(X)은 피니언(P11, 12)의 회전 구동에 의해 냉각부(6)의 내부에 압입된다.And the process object X conveyed to the cooling part 6 is press-fitted in the inside of the cooling part 6 by rotational drive of the pinion P11, 12. As shown in FIG.

이와 같이, 강온부(5)의 강온실(5b)로부터 냉각부(6)로 처리 대상물(X)을 반송하는 제1 반송장치(7d)는, 다수용 열처리실인 강온실(5b)로부터, 다음에 공급되는 처리 대상물(X)만을 강온실(5b)의 후단 열처리실인 냉각부(6)로 반송하여 냉각부(6)에 압입한다.Thus, the 1st conveying apparatus 7d which conveys the process object X from the temperature-lowering chamber 5b of the temperature-falling part 5 to the cooling part 6 is moved from the temperature-lowering chamber 5b which is many heat processing chambers, and is next. Only the object X to be supplied to the substrate is conveyed to the cooling unit 6, which is a post-heat treatment chamber of the temperature-lowering chamber 5b, and pressed into the cooling unit 6.

또, 피니언(P11, 12)이 더 회전함으로써, 냉각부(6)에 수용된 처리 대상물(X)은 냉각부(6)의 하단측의 개구를 통해 외부로 반출된다.In addition, as the pinions P11 and 12 are further rotated, the object to be processed X accommodated in the cooling unit 6 is carried out to the outside through an opening on the lower end side of the cooling unit 6.

또한, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)는 제1 반송장치(7)에 더하여 제2 반송장치(10)를 구비한다. 제2 반송장치(10)는, 제1 반송장치(7)에 의해 처리 대상물(X)이 반송되는 열처리실 사이 이외의 열처리실 사이에 처리 대상물(X)을 반송하는 장치이다.In addition, the multi-chamber heat processing furnace S1 of this embodiment is equipped with the 2nd conveying apparatus 10 in addition to the 1st conveying apparatus 7. As shown in FIG. The 2nd conveyance apparatus 10 is an apparatus which conveys the process object X between heat processing chambers other than between the heat processing chambers in which the process object X is conveyed by the 1st conveying apparatus 7.

즉, 제2 반송장치(10)는 제1 반송장치(7)에 의해 처리 대상물(X)이 반송되는 예열실(2b)과 침탄실(3b)의 사이, 침탄실(3b)과 확산실(4b)의 사이, 확산실(4b)과 강온실(5b)의 사이 및 강온실(5b)과 냉각부(6)의 사이 이외의 열처리실 사이인 탈기부(1)와 예열실(2b)의 사이에서 처리 대상물(X)을 반송하는 장치이다.That is, the 2nd conveying apparatus 10 is a carburizing chamber 3b and a diffusion chamber between the preheating chamber 2b and the carburizing chamber 3b by which the process object X is conveyed by the 1st conveying apparatus 7 ( Of the degassing part 1 and the preheating chamber 2b between 4b), between the diffusion chamber 4b and the temperature chamber 5b, and between the heat treatment chambers other than the temperature chamber 5b and the cooling section 6; It is an apparatus which conveys the process object X between.

그리고, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)에 있어서, 제2 반송장치(10)는 제1 반송장치(7)와 동일한 구성을 가진다.And in the multi-chamber heat processing furnace S1 of this embodiment, the 2nd conveying apparatus 10 has the same structure as the 1st conveying apparatus 7.

즉, 제2 반송장치(10)는 트레이(T)에 형성되는 랙(R)과, 랙(R)에 끼워맞춤되는 피니언(10a)과, 피니언(10a)을 회전 구동하는 모터(도시생략)에 의해 처리 대상물(X)을 반송하는 구성을 가진다.That is, the 2nd conveying apparatus 10 is the rack R formed in the tray T, the pinion 10a fitted to the rack R, and the motor (not shown) which rotationally drives the pinion 10a. It has a structure which conveys the process target object X by the.

피니언(10a)은 탈기부(1) 내와 예열실(2b) 내 각각에 설치되어 있고, 상기 모터는 각각의 피니언(10a)에 대해 설치되어 있다.The pinion 10a is provided in each of the degassing part 1 and in the preheating chamber 2b, and the motor is provided for each pinion 10a.

또한, 탈기부(1) 내, 예열실(2b) 내, 침탄실(3b) 내, 확산실(4b) 내, 강온실(5b) 내 및 냉각부(6) 내에는 처리 대상물(X)의 반송방향으로 복수의 자유 롤러(11)가 배열되어 있다.Moreover, in the degassing part 1, in the preheating chamber 2b, in the carburizing chamber 3b, in the diffusion chamber 4b, in the temperature chamber 5b, and in the cooling part 6, A plurality of free rollers 11 are arranged in the conveying direction.

이들의 자유 롤러(11)는 트레이(T)의 이면측에 형성된 랙(R)과 간섭하지 않도록 트레이(T)의 폭방향으로 랙(R)이 통과하는 위치와 어긋나게 배치되어 있다.These free rollers 11 are disposed to deviate from the position where the rack R passes in the width direction of the tray T so as not to interfere with the rack R formed on the rear surface side of the tray T.

다음에, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)의 동작에 대해 설명한다. 이하의 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)의 동작 설명은 탈기부(1), 예열실(2b), 침탄실(3b), 확산실(4b), 강온실(5b) 및 냉각부(6) 전체에 도 1에 나타내는 바와 같이 최대한의 처리 대상물(X)이 수용된 상태에서 탈기부(1)에 새로운 처리 대상물(X)을 반입하기까지의 동작에 대한 설명으로 한다.Next, operation | movement of the multi-chamber heat processing furnace S1 of this embodiment is demonstrated. The operation description of the multi-chamber heat treatment furnace S1 of the present embodiment will be described below. 6) The operation | movement until carrying in the new process object X to the degassing part 1 in the state in which the maximum process object X is accommodated as shown in FIG. 1 as a whole is demonstrated.

또한, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)는 다실형 열처리로 전체를 제어하는 제어장치(도시생략)를 구비한다. 그리고, 이하에 설명하는 동작 주체는 상기 제어장치이다.Moreover, the multi-chamber heat processing furnace S1 of this embodiment is equipped with the control apparatus (not shown) which controls the whole multi-chamber heat processing furnace. The operation principal described below is the control apparatus.

우선, 도 5에 나타내는 바와 같이, 승강장치(8j)에 의해 시일 도어(9j)를 상승시킴으로써 냉각부(6)의 하단측의 개구가 개방된다. 그리고, 제1 반송장치(7d)의 피니언(P11, 12)을 회전 구동함으로써 냉각부(6)에 수용된 처리 대상물(X)이 다실형 열처리로(S1)의 외부로 반출된다.First, as shown in FIG. 5, the opening of the lower end side of the cooling part 6 is opened by raising the seal door 9j by the lifting device 8j. Then, by rotating the pinions P11 and 12 of the first conveying apparatus 7d, the object to be processed X accommodated in the cooling section 6 is carried out of the multi-threaded heat treatment furnace S1.

냉각부(6)에서 다실형 열처리로(S1)의 외부로 반출되는 처리 대상물(X)은 탈기부(1)에서 탈기되고, 예열부(2)에서 예열되며, 침탄부(3)에서 탄소 함유량이 증가되고, 확산부(4)에서 탄소가 확산되며, 강온부(5)에서 강온되고, 냉각부(6)에서 냉각됨으로써, 이른바 침탄 처리가 행해진 처리 대상물(X)이다.The object X to be taken out from the cooling section 6 to the outside of the multi-chamber heat treatment furnace S1 is degassed in the degassing section 1, preheated in the preheating section 2, and carbon content in the carburizing section 3. Is increased, carbon is diffused in the diffusion section 4, the temperature is lowered in the temperature lowering section 5, and is cooled in the cooling section 6, so-called carburizing treatment is performed.

이어서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 시일 도어(9j)를 하강시킴으로써 냉각부(6)의 하단측의 개구가 폐쇄된다. 그리고, 승강장치(8i)에 의해 차열도어붙이 시일 도어(9i)를 상승시킴으로써 냉각부(6)의 상단측의 개구 및 강온실(5b)(챔버(5a))의 하단측의 개구가 개방된다. 그리고, 제1 반송장치(7d)의 피니언(P10)을 회전 구동하여 강온실(5b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중에서, 다음에 냉각부(6)에 공급되는 처리 대상물(X)(강온실(5b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중 가장 하단측의 처리 대상물(X))만이 반송된다. 제1 반송장치(7d)의 피니언(P11, 12)을 회전 구동함으로써, 피니언(P10)에 의해 반송하는 처리 대상물(X)이 냉각부(6)로 반송된다.6, the opening of the lower end side of the cooling part 6 is closed by lowering the seal door 9j. And the opening of the upper end side of the cooling part 6, and the opening of the lower end side of the temperature chamber 5b (chamber 5a) is opened by raising the seal door 9i with a heat shield door by the elevating apparatus 8i. . Then, among the plurality of processing objects X accommodated in the temperature chamber 5b by rotationally driving the pinion P10 of the first conveying apparatus 7d, the processing object X is then supplied to the cooling unit 6 ( Only the processing object X of the lowest end among the some processing object X accommodated in the temperature chamber 5b is conveyed. By rotating the pinion P11, 12 of the 1st conveying apparatus 7d, the process target object X conveyed by the pinion P10 is conveyed to the cooling part 6. As shown in FIG.

여기서, 강온실(5b)에서 냉각부(6)로 반송되는 처리 대상물(X)은 다음에 냉각부(6)에 공급되는 처리 대상물(X)만이며, 이 반송되는 처리 대상물(X)은 강온실(5b)에 남는 처리 대상물(X)과는 분리되어 냉각부(6)에 수용된다. 이 때문에, 차 열도어붙이 시일 도어(9i)를 폐쇄하는 것이 가능하게 된다.Here, the object X to be conveyed to the cooling unit 6 from the temperature chamber 5b is only the object X to be supplied to the cooling unit 6 next, and the object X to be conveyed is steel. The object X to be left in the greenhouse 5b is separated and accommodated in the cooling unit 6. For this reason, it becomes possible to close the seal door 9i with a heat shield.

이어서, 도 7에 나타내는 바와 같이, 차열도어붙이 시일 도어(9i)를 하강시킴으로써 냉각부(6)의 상단측의 개구 및 강온실(5b)의 하단측의 개구가 폐쇄된다. 그리고, 승강장치(8h)에 의해 차열도어(9h)을 상승시킴으로써 강온실(5b)의 상단측의 개구가 개방된다. 그리고, 승강장치(8g)에 의해 차열도어붙이 시일 도어(9g)를 상승시킴으로써 강온부(5)의 챔버(5a)의 상단측의 개구 및 확산실(4b)(챔버(4a))의 하단측의 개구가 개방된다. 또한, 제1 반송장치(7c)의 피니언(P7)을 회전 구동하여 확산실(4b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중에서, 다음에 강온실(5b)에 공급되는 처리 대상물(X)(확산실(4b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중 가장 하단측의 처리 대상물(X))만이 반송된다. 또한, 제1 반송장치(7c)의 피니언(P9) 및 피니언(P8)을 회전 구동함으로써 피니언(P7)에 의해 반송되는 처리 대상물(X)이 강온실(5b)에 압입된다.Subsequently, as shown in FIG. 7, the opening of the upper end side of the cooling part 6, and the opening of the lower end side of the temperature chamber 5b are closed by lowering the seal door 9i with a heat shield door. Then, the opening of the upper end side of the temperature chamber 5b is opened by raising the heat shield door 9h by the elevating device 8h. The opening of the upper end of the chamber 5a of the temperature lowering part 5 and the lower end of the diffusion chamber 4b (chamber 4a) by raising the seal door 9g with the heat shield by the elevating device 8g. The opening of is opened. Further, among the plurality of processing objects X accommodated in the diffusion chamber 4b by rotationally driving the pinion P7 of the first conveying device 7c, the processing object X is then supplied to the temperature-lowering chamber 5b ( Only the processing object X of the lowest end among the some processing object X accommodated in the diffusion chamber 4b is conveyed. In addition, by rotating the pinion P9 and the pinion P8 of the 1st conveying apparatus 7c, the process target object X conveyed by the pinion P7 is press-fitted to the temperature chamber 5b.

이와 같이 처리 대상물(X)이 강온실(5b)에 압입됨으로써, 강온실(5b)에 먼저 수용되어 있는 처리 대상물(X)이 반송방향으로 밀려 강온실(5b)에 설치된 자유 롤러(11) 상을 이동한다.In this way, the object X to be treated is press-fitted into the temperature chamber 5b, so that the object X to be accommodated first in the temperature chamber 5b is pushed in the conveying direction to the free roller 11 provided on the temperature chamber 5b. To move.

여기서, 확산실(4b)에서 강온실(5b)로 반송되는 처리 대상물(X)은 다음에 강온실(5b)에 공급되는 처리 대상물(X)만이며, 이 반송되는 처리 대상물(X)은 확산실(4b)에 남는 처리 대상물(X)과는 분리되어 강온실(5b)에 수용된다. 이 때문에, 차열도어붙이 시일 도어(9g, 9h)를 폐쇄하는 것이 가능하게 된다.Here, the object X to be conveyed from the diffusion chamber 4b to the temperature chamber 5b is only the object X to be supplied to the temperature chamber 5b next, and the object X to be conveyed is diffused. The processing object X remaining in the chamber 4b is separated from the processing object X and accommodated in the temperature chamber 5b. For this reason, it becomes possible to close the seal doors 9g and 9h with heat shield doors.

이어서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 차열도어(9h)을 하강시킴으로써 강온 실(5b)의 상단측의 개구가 폐쇄된다. 그리고, 차열도어붙이 시일 도어(9g)를 하강시킴으로써 강온부(5)의 챔버(5a)의 상단측의 개구 및 확산실(4b)(챔버(4a))의 하단측의 개구가 폐쇄된다. 그리고, 승강장치(8f)에 의해 차열도어붙이 시일 도어(9g)를 상승시킴으로써 확산실(4b)의 상단측의 개구가 개방된다. 또한, 승강장치(8e)에 의해 차열도어붙이 시일 도어(9e)를 상승함으로써 확산부(4)의 챔버(4a)의 상단측의 개구 및 침탄실(3b)(챔버(3a))의 하단측의 개구가 개방된다. 그리고, 제1 반송장치(7b)의 피니언(P4)을 회전 구동하여 침탄실(3b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중에서, 다음에 확산실(4b)에 공급되는 처리 대상물(X)(침탄실(3b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X)중 가장 하단측의 처리 대상물(X))만이 반송된다. 또, 제1 반송장치(7b)의 피니언(P6) 및 피니언(P5)을 회전 구동함으로써 피니언(P4)에 의해 반송되는 처리 대상물(X)이 확산실(4b)에 압입된다.8, the opening of the upper end side of the temperature-fall chamber 5b is closed by lowering the heat shield door 9h. Then, by lowering the seal door 9g with the heat shield door, the opening at the upper end side of the chamber 5a of the temperature lowering part 5 and the opening at the lower end side of the diffusion chamber 4b (chamber 4a) are closed. The opening on the upper end side of the diffusion chamber 4b is opened by raising the seal door 9g with the heat shield door by the elevating device 8f. Moreover, the opening of the upper end of the chamber 4a of the diffusion part 4, and the lower end side of the carburizing chamber 3b (chamber 3a) by raising the seal door 9e with a heat shield door by the elevating apparatus 8e. The opening of is opened. Then, from among the plurality of processing objects X accommodated in the carburizing chamber 3b by rotationally driving the pinion P4 of the first conveying apparatus 7b, the processing object X is then supplied to the diffusion chamber 4b ( Only the processing object X of the lowest end among the some process object X accommodated in the carburizing chamber 3b is conveyed. Moreover, by rotating the pinion P6 and the pinion P5 of the 1st conveying apparatus 7b, the process object X conveyed by the pinion P4 is press-fitted in the diffusion chamber 4b.

이와 같이 처리 대상물(X)이 확산실(4b)에 압입됨으로써, 확산실(4b)에 먼저 수용되어 있는 처리 대상물(X)이 반송방향으로 밀려 확산실(4b)에 설치된 자유 롤러(11) 상을 이동한다.As the object X is press-fitted into the diffusion chamber 4b in this manner, the object X to be accommodated first in the diffusion chamber 4b is pushed in the conveying direction, and is provided on the free roller 11 provided in the diffusion chamber 4b. To move.

여기서, 침탄실(3b)로부터 확산실(4b)로 반송되는 처리 대상물(X)은, 다음에 확산실(4b)에 공급되는 처리 대상물(X)만이며, 이 반송되는 처리 대상물(X)은 침탄실(3b)에 남는 처리 대상물(X)과는 분리되어 확산실(4b)에 수용된다. 이 때문에, 차열도어붙이 시일 도어(9e, 9f)를 폐쇄하는 것이 가능하게 된다.Here, the processing object X conveyed from the carburizing chamber 3b to the diffusion chamber 4b is only the processing object X supplied to the diffusion chamber 4b next, and the processing object X conveyed is It separates from the process target object X which remains in the carburizing chamber 3b, and is accommodated in the diffusion chamber 4b. For this reason, it becomes possible to close the seal doors 9e and 9f with heat shield doors.

이어서, 도 9에 나타내는 바와 같이, 차열도어(9f)을 하강시킴으로써 확산실(4b)의 상단측의 개구가 폐쇄된다. 그리고, 차열도어붙이 시일 도어(9e)를 하강 시킴으로써 확산부(4)의 챔버(4a)의 상단측의 개구 및 침탄실(3b)(챔버(3a))의 하단측의 개구가 폐쇄된다. 그리고, 승강장치(8d)에 의해 차열도어(9d)을 상승시킴으로써 침탄실(3b)의 상단측의 개구가 개방된다. 그리고, 승강장치(8c)에 의해 차열도어붙이 시일 도어(9c)를 상승시킴으로써 침탄부(3)의 챔버(3a)의 상단측의 개구 및 예열실(2b)(챔버(2a))의 하단측의 개구가 개방된다. 그리고, 제1 반송장치(7a)의 피니언(P1)을 회전 구동하여 예열실(2b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중에서, 다음에 침탄실(3b)에 공급되는 처리 대상물(X)(예열실(2b)에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중 가장 하단측의 처리 대상물(X))만이 반송된다. 또, 제1 반송장치(7a)의 피니언(P3) 및 피니언(P2)을 회전 구동함으로써 피니언(P1)에 의해 반송되는 처리 대상물(X)이 침탄실(3b)에 압입된다.Next, as shown in FIG. 9, the opening of the upper end side of the diffusion chamber 4b is closed by lowering the heat shield door 9f. By lowering the seal door 9e with the heat shield door, the opening at the upper end side of the chamber 4a of the diffusion part 4 and the opening at the lower end side of the carburizing chamber 3b (chamber 3a) are closed. The opening on the upper end side of the carburizing chamber 3b is opened by raising the heat shield door 9d by the elevating device 8d. And the opening of the upper end side of the chamber 3a of the carburizing part 3, and the lower end side of the preheating chamber 2b (chamber 2a) by raising the seal door 9c with a heat shield door by the elevating apparatus 8c. The opening of is opened. Then, among the plurality of processing objects X accommodated in the preheating chamber 2b by rotationally driving the pinion P1 of the first conveying apparatus 7a, the processing object X which is next supplied to the carburizing chamber 3b ( Only the processing object X of the lowest end among the some processing object X accommodated in the preheating chamber 2b is conveyed. Moreover, the process object X conveyed by the pinion P1 is press-fitted in the carburizing chamber 3b by rotationally driving the pinion P3 and the pinion P2 of the 1st conveying apparatus 7a.

이와 같이 처리 대상물(X)이 침탄실(3b)에 압입됨으로써, 침탄실(3b)에 먼저 수용되어 있는 처리 대상물(X)이 반송방향으로 밀려 침탄실(3b)에 설치된 자유 롤러(11) 상을 이동한다.As the object X is press-fitted into the carburizing chamber 3b in this manner, the object X to be accommodated first in the carburizing chamber 3b is pushed in the conveying direction to form the free roller 11 provided on the carburizing chamber 3b. To move.

여기서, 예열실(2b)에서 침탄실(3b)로 반송되는 처리 대상물(X)은, 다음에 침탄실(3b)에 공급되는 처리 대상물(X)만이며, 이 반송되는 처리 대상물(X)은 예열실(2b)에 남는 처리 대상물(X)과는 분리되어 침탄실(3b)에 수용된다. 이 때문에, 차열도어붙이 시일 도어(9c, 9d)를 폐쇄하는 것이 가능하게 된다.Here, the object X to be conveyed from the preheating chamber 2b to the carburizing chamber 3b is only the object X to be supplied to the carburizing chamber 3b next, and the object X to be conveyed is The object X to be left in the preheating chamber 2b is separated from the object X and accommodated in the carburizing chamber 3b. For this reason, it becomes possible to close the seal doors 9c and 9d with heat shield doors.

이어서, 도 10에 나타내는 바와 같이, 차열도어(9d)을 하강시킴으로써 침탄실(3b)의 상단측의 개구가 폐쇄된다. 또한, 차열도어붙이 시일 도어(9c)를 하강시킴으로써 침탄부(3)의 챔버(3a)의 상단측의 개구 및 예열실(2b)(챔버(2b))의 하단 측의 개구가 폐쇄된다. 그리고, 승강장치(8b)에 의해 차열도어붙이 시일 도어(9b)를 상승시킴으로써 예열실(2b)(챔버(2a))의 상단측의 개구 및 탈기부(1)의 하단측의 개구가 개방된다. 그리고, 제2 반송장치(10)의 피니언(10a)을 회전 구동함으로써 탈기부(1)에 수용된 처리 대상물(X)이 예열실(2b)에 압입된다.Next, as shown in FIG. 10, the opening of the upper end side of the carburizing chamber 3b is closed by lowering the heat shield door 9d. Further, by lowering the seal door 9c with the heat shield door, the opening at the upper end side of the chamber 3a of the carburizing part 3 and the opening at the lower end side of the preheating chamber 2b (chamber 2b) are closed. And the opening of the upper end side of the preheating chamber 2b (chamber 2a), and the opening of the lower end side of the degassing part 1 is opened by raising the seal door 9b with a heat shield door by the elevating apparatus 8b. . And the object X accommodated in the degassing part 1 is press-fitted to the preheating chamber 2b by rotationally driving the pinion 10a of the 2nd conveying apparatus 10. As shown in FIG.

이와 같이 처리 대상물(X)이 예열실(2b)에 압입됨으로써, 예열실(2b)에 먼저 수용되어 있는 처리 대상물(X)이 반송방향으로 밀려 예열실(2b)에 설치된 자유 롤러(11) 상을 이동한다.As the object X is pushed into the preheating chamber 2b in this manner, the object X to be accommodated first in the preheating chamber 2b is pushed in the conveying direction, and is provided on the free roller 11 provided in the preheating chamber 2b. To move.

이어서, 도 11에 나타내는 바와 같이, 차열도어붙이 시일 도어(9b)를 하강시킴으로써 예열실(2b)(챔버(2a))의 상단측의 개구 및 탈기부(1)의 하단측의 개구가 폐쇄된다. 그리고, 승강장치(8a)에 의해 시일 도어(9a)를 상승시킴으로써 탈기부(1)의 상단측의 개구가 개방되고, 이 개구에서 탈기부(1) 내로 처리 대상물(X)이 반입된다.Next, as shown in FIG. 11, the opening of the upper end side of the preheating chamber 2b (chamber 2a), and the opening of the lower end side of the degassing part 1 are closed by lowering the seal door 9b with a heat shield door. . And the opening of the upper end side of the degassing part 1 is opened by raising the seal door 9a by the lifting device 8a, and the process object X is carried in into the degassing part 1 from this opening.

이상과 같은 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)에 의하면, 제1 반송장치(7)에 의해 다수용 열처리실(예열실(2b), 침탄실(3b), 확산실(4b) 및 강온실(5b))에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중에서 후단 열처리실(예열실(2b)에 대한 침탄실(3b), 침탄실(3b)에 대한 확산실(4b), 확산실(4b)에 대한 강온실(5b) 및 강온실(5b)에 대한 냉각부(6))에, 다음에 공급되는 처리 대상물(X)만이 반송된다.According to the multi-chamber heat processing furnace S1 of this embodiment as mentioned above, by the 1st conveying apparatus 7, many heat processing chambers (preheating chamber 2b, carburizing chamber 3b, diffusion chamber 4b, and steel). Among the plurality of treatment objects X accommodated in the greenhouse 5b, the rear end heat treatment chamber (carburizing chamber 3b for preheating chamber 2b, diffusion chamber 4b for carburizing chamber 3b, diffusion chamber 4b) Only the object X to be supplied next is conveyed to the temperature reduction chamber 5b for the cooling chamber and the cooling unit 6 for the temperature reduction chamber 5b.

이 때문에, 다수용 열처리실과 후단 열처리실이 직선형상으로 배열되어 있는 경우라도, 다수용 열처리실과 후단 열처리실 사이에 처리 대상물끼리를 이간시킬 수 있다. 즉, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)와 같이, 각 열처리실을 시일 도 어에 의해 독립하여 격리하면서 예열실(2b), 침탄실(3b), 확산실(4b), 강온실(5b) 및 냉각부(6)를 직선형상으로 배열하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)에 의하면, 푸셔 장치에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 처리 대상물의 반송경로를 보다 직선형상에 가깝게 형성하는 것이 가능하게 된다.For this reason, even when a plurality of heat treatment chambers and a post stage heat treatment chamber are arranged in a linear shape, the objects to be treated can be separated between the plurality of heat treatment chambers and the post stage heat treatment chambers. That is, like the multi-chamber heat treatment furnace S1 of the present embodiment, each heat treatment chamber is separately isolated by a seal door, while the preheating chamber 2b, the carburizing chamber 3b, the diffusion chamber 4b, and the heating chamber ( It becomes possible to arrange 5b) and the cooling part 6 in linear form. Therefore, according to the polysilicon heat treatment furnace S1 of this embodiment, it becomes possible to form the conveyance path | route of a process target object more linearly compared with the conveying method of the process target object by a pusher apparatus.

또한, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)에 의하면, 제1 반송장치(7)에 의해 반송된 처리 대상물(X)이 후단 열처리실에 압입된다. 이 때문에, 후단 열처리실에 수용된 처리 대상물(X)이 제1 반송장치(7)에 의해 압입된 처리 대상물(X)에 밀려 이동하기 때문에, 제1 반송장치만으로 후단 열처리실에 수용되는 처리 대상물(X)을 반송(이동)할 수 있다. 이 때문에, 본 발명은 후단 열처리실의 플로어부를 구동수단과 접속되지 않는 자유 롤러에 의해 구성할 수 있고, 롤러 하스에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 열처리실을 관통하는 구동축을 적어도 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)에 의하면, 본 발명은 롤러 하스에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 열처리실에서의 열손실을 저감시키는 것이 가능하게 된다.Moreover, according to the multi-chamber heat processing furnace S1 of this embodiment, the process target object X conveyed by the 1st conveying apparatus 7 is press-fitted to a post heat processing chamber. For this reason, since the process target object X accommodated in the rear-end heat treatment chamber is pushed and moved by the process target object X indented by the 1st conveying apparatus 7, the process target object accommodated in the rear-end heat treatment chamber only by a 1st conveying apparatus ( X) can be conveyed (moved). For this reason, this invention can be comprised by the free roller which is not connected to the drive means by the floor part of a post-heat treatment chamber, and can at least reduce the drive shaft which penetrates a heat treatment chamber compared with the conveying method of the object to be processed by a roller hearth. have. Therefore, according to the multi-chamber heat processing furnace S1 of this embodiment, this invention can reduce the heat loss in a heat processing chamber compared with the conveyance method of the process target object by a roller hearth.

따라서, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)에 의하면, 롤러 하스에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 열처리실에서의 열손실을 저감시킴과 동시에, 푸셔 장치에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 처리 대상물의 반송경로를 보다 직선형상에 가깝게 형성하는 것이 가능하게 된다.Therefore, according to the multi-room heat treatment furnace S1 of this embodiment, compared with the conveyance method of the process target object by a roller hearth, the heat loss in a heat treatment chamber is reduced, and the conveyance method of a process target object by a pusher apparatus, In comparison, the carrying path of the object to be treated can be formed closer to the straight line.

(제2 실시형태)(2nd embodiment)

다음에, 본 발명의 제2 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태의 설명에서 상기 제1 실시형태와 마찬가지의 부분에 대해서는 그 설명을 생략 혹은 간략화한다.Next, a second embodiment of the present invention will be described. In description of this embodiment, about the part similar to the said 1st embodiment, the description is abbreviate | omitted or simplified.

도 12는 본 제2 실시형태의 다실형 열처리로(S2)의 개략 구성도로서, 처리 대상물의 반송방향에 따른 단면도이다.FIG. 12: is a schematic block diagram of the multi-chamber heat processing furnace S2 of this 2nd Embodiment, and is sectional drawing along the conveyance direction of a process target object.

이 도면에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S2)는 상기 제1 실시형태의 다실형 열처리로(S1)가 구비하는 피니언(10a) 및 모터를 가지는 제2 반송장치(10)(탈기부(1)와 예열실(2b)의 사이에서 처리 대상물(X)을 반송하는 반송장치) 대신에, 푸셔 장치로 이루어진 제2 반송장치(20)를 구비한다.As shown in this figure, the multi-chamber heat processing furnace S2 of this embodiment is the 2nd conveying apparatus 10 which has the pinion 10a with which the polysilicon heat processing furnace S1 of the said 1st embodiment is equipped, and a motor. Instead of (the conveying apparatus which conveys the process object X between the degassing part 1 and the preheating chamber 2b), the 2nd conveying apparatus 20 which consists of a pusher apparatus is provided.

푸셔 장치로 이루어진 제2 반송장치(20)는 처리 대상물(X)의 반송방향으로 출입 가능하다. 또, 제2 반송장치(20)는 선단부가 트레이(T)에 맞물림 가능한 반송봉(20a)을 구비하고, 반송봉(20a)을 트레이(T)에 걸어맞춘 상태로 밀어냄으로써 처리 대상물(X)이 탈기부(1)로부터 예열실(2b)로 반송된다.The 2nd conveying apparatus 20 which consists of a pusher apparatus can be made to go in and out of the conveyance direction of the process target object X. FIG. Moreover, the 2nd conveyance apparatus 20 is equipped with the conveyance rod 20a which a front-end part can engage with the tray T, and pushes the conveyance rod 20a in the state which engaged the tray T, The process object X It is conveyed from this degassing part 1 to the preheating chamber 2b.

또한, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S2)에서는, 냉각부(6)는 유조 내에 처리 대상물(X)을 침지함으로써 냉각하는 유냉방식의 냉각부이다. 또, 냉각부(6)에는 상기 제1 실시형태의 다실형 열처리로(S1)가 구비하는 제1 반송장치(7d) 대신에, 처리 대상물(X)을 반송방향 및 상하방향으로 이동 가능한 포크 장치로 이루어진 제2 반송장치(30)가 설치되어 있다.In addition, in the multi-chamber heat processing furnace S2 of this embodiment, the cooling part 6 is an oil-cooling type cooling part which cools by immersing the process object X in an oil tank. Moreover, the fork apparatus which can move the process target object X to a conveyance direction and an up-down direction instead of the 1st conveying apparatus 7d with which the multi-chamber heat processing furnace S1 of the said 1st embodiment is equipped in the cooling part 6. The 2nd conveying apparatus 30 which consists of these is provided.

즉, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S2)에서는, 제1 반송장치(7)가 예열실(2b)과 침탄실(3b)의 사이에서의 처리 대상물(X)의 반송, 침탄실(3b)과 확산 실(4b)의 사이에서의 처리 대상물(X)의 반송 및 확산실(4b)과 강온실(5b)의 사이에서의 처리 대상물(X)의 반송을 행한다. 그리고, 제1 반송장치(7)에서 처리 대상물(X)이 반송되는 열처리실 사이 이외의 열처리실 사이인, 탈기부(1)와 예열실(2b)의 사이는 푸셔 장치로 이루어진 제2 반송장치(20)가 처리 대상물(X)을 반송한다. 그리고, 강온실(5b)과 냉각부(6)의 사이는 포크 장치로 이루어진 제2 반송장치(30)가 처리 대상물(X)을 반송한다.That is, in the multi-chamber heat processing furnace S2 of this embodiment, the 1st conveying apparatus 7 conveys the process target object X between the preheating chamber 2b and the carburizing chamber 3b, and the carburizing chamber 3b. ) And the processing object X between the diffusion chamber 4b and the processing object X between the diffusion chamber 4b and the temperature chamber 5b. And between the degassing part 1 and the preheating chamber 2b which are between heat processing chambers other than between the heat processing chambers in which the process target object X is conveyed in the 1st conveying apparatus 7, the 2nd conveying apparatus which consists of a pusher apparatus (20) conveys the process target object (X). And the 2nd conveyance apparatus 30 which consists of a fork apparatus conveys the process target object X between the temperature chamber 5b and the cooling part 6.

이러한 본 실시형태의 다실형 열처리로(S2)에서도, 제1 반송장치(7)에 의해 다수용 열처리실(예열실(2b), 침탄실(3b) 및 확산실(4b))에 수용된 복수의 처리 대상물(X) 중에서, 다음에 공급되는 처리 대상물(X)만이 후단 열처리실(예열실(2b)에 대한 침탄실(3b), 침탄실(3b)에 대한 확산실(4b) 및 확산실(4b)에 대한 강온실(5b))에 반송된다.Also in such multi-chamber heat treatment furnace S2 of this embodiment, the some conveyance chamber 2 (preheating chamber 2b, carburizing chamber 3b, and diffusion chamber 4b) accommodated by the 1st conveying apparatus 7 is carried out. Of the objects X to be treated, only the object X to be supplied next is the rear end heat treatment chamber (carburizing chamber 3b for preheating chamber 2b, diffusion chamber 4b for carburizing chamber 3b and diffusion chamber ( It is conveyed to the temperature chamber 5b) to 4b).

이 때문에, 다수용 열처리실과 후단 열처리실이 직선형상으로 배열되어 있는 경우라도, 다수용 열처리실과 후단 열처리실 사이에 처리 대상물끼리를 이간시킬 수 있다. 즉, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S2)와 같이, 각 열처리실을 시일 도어에 의해 독립하여 격리하면서, 예열실(2b), 침탄실(3b), 확산실(4b) 및 강온실(5b)을 직선형상으로 배열하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S2)에 의하면, 모든 열처리실 사이에서의 처리 대상물(X)의 반송을 푸셔 장치에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 처리 대상물의 반송경로를 보다 직선형상에 가깝게 형성하는 것이 가능하게 된다.For this reason, even when a plurality of heat treatment chambers and a post stage heat treatment chamber are arranged in a linear shape, the objects to be treated can be separated between the plurality of heat treatment chambers and the post stage heat treatment chambers. That is, like the multi-chamber heat processing furnace S2 of this embodiment, each heat processing chamber is isolated independently by the seal door, and the preheating chamber 2b, the carburizing chamber 3b, the diffusion chamber 4b, and the heating chamber ( It becomes possible to arrange 5b) linearly. Therefore, according to the multi-chamber heat processing furnace S2 of this embodiment, the conveyance path of a process target object is more linear than the conveyance method of the process target object X between all heat processing chambers compared with the conveying method of the process target object by a pusher apparatus. It becomes possible to form near a shape.

또한, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S2)에 의하면, 제1 반송장치(7)에 의 해 반송된 처리 대상물(X)이 후단 열처리실에 압입된다. 이 때문에, 후단 열처리실에 수용된 처리 대상물(X)이 제1 반송장치(7)에 의해 압입된 처리 대상물(X)에 밀려 이동하기 때문에, 제1 반송장치만으로 후단 열처리실에 수용되는 처리 대상물(X)을 반송(이동)할 수 있다. 이 때문에, 본 발명은, 후단 열처리실의 플로어부를 구동수단과 접속되지 않는 자유 롤러에 의해 구성할 수 있고, 롤러 하스에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 열처리실을 관통하는 구동축을 적어도 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S1)에 의하면, 본 발명은 롤러 하스에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 열처리실에서의 열손실을 저감시키는 것이 가능하게 된다.In addition, according to the multi-chamber heat processing furnace S2 of this embodiment, the process target object X conveyed by the 1st conveying apparatus 7 is press-fitted to a post heat processing chamber. For this reason, since the process target object X accommodated in the rear-end heat treatment chamber is pushed and moved by the process target object X indented by the 1st conveying apparatus 7, the process target object accommodated in the rear-end heat treatment chamber only by a 1st conveying apparatus ( X) can be conveyed (moved). For this reason, this invention can be comprised by the free roller which is not connected with the drive means by the floor part of a post-heat treatment chamber, and at least reduces the drive shaft which penetrates a heat treatment chamber compared with the conveying method of the object to be processed by a roller hearth. Can be. Therefore, according to the multi-chamber heat processing furnace S1 of this embodiment, this invention can reduce the heat loss in a heat processing chamber compared with the conveyance method of the process target object by a roller hearth.

따라서, 본 실시형태의 다실형 열처리로(S2)에 의하면, 본 발명은 롤러 하스에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 열처리실에서의 열손실을 저감시킴과 동시에, 푸셔 장치에 의한 처리 대상물의 반송방법과 비교하여 처리 대상물의 반송경로를 보다 직선형상에 가깝게 형성하는 것이 가능하게 된다.Therefore, according to the multi-chamber heat processing furnace S2 of this embodiment, compared with the conveying method of the object to be processed by a roller hearth, this invention reduces the heat loss in a heat processing chamber, and the object of a process by a pusher apparatus. As compared with the conveying method, the conveying path of the object to be treated can be formed closer to the straight line.

이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 다실형 열처리로의 적합한 실시형태에 대해 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않는 것은 물론이다. 상술한 실시형태에서 나타낸 각 구성부재의 여러가지 형상이나 조합 등은 일례로서, 본 발명의 주지에서 벗어나지 않는 범위에서 설계 요구 등에 기초하여 다양하게 변경 가능하다.As mentioned above, although preferred embodiment of the polysilicon heat processing furnace which concerns on this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the said embodiment. Various shapes, combinations, and the like of the respective constituent members shown in the above-described embodiments are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the spirit of the present invention.

예를 들면, 상기 실시형태에서는 열처리실로서 탈기부(1), 예열실(2b), 침탄실(3b), 확산실(4b), 강온실(5b) 및 냉각부(6)를 구비하는 다실형 열처리로에 대해 설명하였다.For example, in the said embodiment, the degassing part 1, the preheating chamber 2b, the carburizing chamber 3b, the diffusion chamber 4b, the temperature-fall chamber 5b, and the cooling part 6 are provided as a heat processing chamber. The real heat treatment furnace was demonstrated.

그러나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 이외의 열처리실을 구비하며, 적어도 다수용 열처리실을 구비하는 다실형 열처리로 전반에 적용할 수 있다.However, the present invention is not limited thereto, and the present invention can be applied to the first half of a multi-chamber heat treatment furnace having a heat treatment chamber other than the above, and having at least a plurality of heat treatment chambers.

또한, 상기 실시형태에서의 열처리실의 처리 대상물(X)의 수용 수는 일례이고, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, the accommodation number of the process target object X of the heat processing chamber in the said embodiment is an example, This invention is not limited to this.

상기 실시형태에서는, 예열실(2b)이 5개의 처리 대상물(X)을 수용 가능하고, 침탄실(3b)이 3개의 처리 대상물(X)을 수용 가능하며, 확산실(4b)이 4개의 처리 대상물(X)을 수용 가능하고, 강온실(5b)이 3개의 처리 대상물(X)을 수용 가능한 구성에 대해 설명하였다. 이들의 열처리실의 처리 대상물(X)의 수용 수는 각 열처리실에서의 처리 대상물(X)에 대한 처리시간에 따라 결정되어 있다. 즉, 예를 들면 예열실(2b)에서는, 상기 제1 실시형태에서 설명한 다실형 열처리로(S1)의 동작(탈기부(1)에 새로운 처리 대상물(X)을 반입하기까지의 동작)이 행해지는 시간을 단위 시간으로서 생각하면, 6단위 시간 동안 처리 대상물(X)이 예열된다. 따라서, 각 열처리실에서의 처리 대상물(X)에 대한 처리시간이 다른 다실형 열처리로에서는 열처리실에서의 처리 대상물(X)의 수용 수가 다르다.In the above embodiment, the preheating chamber 2b can accommodate five treatment objects X, the carburizing chamber 3b can accommodate three treatment objects X, and the diffusion chamber 4b has four treatments. The structure which can accommodate the object X and which the temperature chamber 5b can accommodate three processing object X was demonstrated. The number of objects X to be processed in these heat treatment chambers is determined according to the treatment time for the object X in each heat treatment chamber. That is, for example, in the preheating chamber 2b, the operation (operation up to bringing the new object X into the deaeration unit 1) of the multi-threaded heat treatment furnace S1 described in the first embodiment is performed. If time is regarded as unit time, the treatment object X is preheated for 6 unit time. Therefore, in the multi-chamber heat treatment furnace having a different processing time for the object X in each heat treatment chamber, the number of objects X to be treated in the heat treatment chamber is different.

또한, 상기 실시형태에서는 예열실(2b)과 침탄실(3b)의 사이, 침탄실(3b)과 확산실(4b)의 사이 및 확산실(4b)과 강온실(5b)의 사이에 중간실(3c, 4c, 5c)이 설치되고, 제1 반송장치(7)의 피니언(P3, P6, P9)이 중간실에 설치되는 구성에 대해 설명하였다.In the above embodiment, the intermediate chamber is provided between the preheating chamber 2b and the carburizing chamber 3b, between the carburizing chamber 3b and the diffusion chamber 4b, and between the diffusion chamber 4b and the temperature chamber 5b. (3c, 4c, 5c) were installed, and the structure which pinion P3, P6, P9 of the 1st conveying apparatus 7 is provided in the intermediate chamber was demonstrated.

그러나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 반드시 중간실을 설치할 필요는 없다. 그리고, 이러한 경우에는 제1 반송장치(7)에서 중간실에 설치되는 피니언과, 이 피니언을 회전 구동하는 모터 및 피니언과 모터의 연결기구가 생략된다.However, this invention is not limited to this, It is not necessary to necessarily provide an intermediate chamber. In this case, the pinion provided in the intermediate chamber in the first conveying device 7, the motor for driving the pinion and the connecting mechanism between the pinion and the motor are omitted.

또한, 상기 제2 실시형태에서는 냉각부(6)로서 유냉방식의 냉각부를 설치하는 구성에 대해 설명하였다.In addition, in the said 2nd Embodiment, the structure which provides the oil-cooling type cooling part as the cooling part 6 was demonstrated.

그러나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 제2 실시형태에서 상기 제1 실시형태의 가스냉방식의 냉각부를 설치해도 된다. 또, 이러한 가스냉방식의 냉각부라도, 예를 들면 포크 장치로 이루어진 제2 반송장치를 설치해도 된다.However, this invention is not limited to this, In the said 2nd Embodiment, you may provide the gas cooling system of the said 1st Embodiment. Moreover, even if it is such a gas cooling system cooling part, you may provide the 2nd conveying apparatus which consists of a fork apparatus, for example.

도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 개략 구성도의 처리 대상물의 반송방향에 따른 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing along the conveyance direction of the process target of the schematic block diagram of the multi-chamber heat processing furnace which concerns on 1st Embodiment of this invention.

도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 트레이의 이면측을 나타내는 평면도이다.It is a top view which shows the back surface side of the tray of the multi-chamber heat processing furnace which concerns on 1st Embodiment of this invention.

도 3은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 예열부의 처리 대상물의 반송방향과 직교하는 면에서의 단면도이다.It is sectional drawing in the surface orthogonal to the conveyance direction of the process target object of the preheating part of the multi-chamber heat processing furnace which concerns on 1st Embodiment of this invention.

도 4는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 랙과 피니언이 끼워맞춤된 모양을 나타내는 측면도이다.It is a side view which shows the rack and pinion which fitted the multi-chamber heat processing furnace which concerns on the 1st Embodiment of this invention.

도 5는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 동작을 설명하기 위한 공정도이다.5 is a process chart for explaining the operation of the multi-chamber heat treatment furnace according to the first embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 동작을 설명하기 위한 공정도이다.6 is a process chart for explaining the operation of the multi-chamber heat treatment furnace according to the first embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 동작을 설명하기 위한 공정도이다.7 is a process chart for explaining the operation of the multi-chamber heat treatment furnace according to the first embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 동작을 설명하기 위한 공정도이다.8 is a flowchart for explaining the operation of the multi-chamber heat treatment furnace according to the first embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 동작을 설명하기 위한 공정도이다.Fig. 9 is a process chart for explaining the operation of the multi-chamber heat treatment furnace according to the first embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 동작을 설명하기 위한 공정도이다.10 is a flowchart for explaining the operation of the multi-chamber heat treatment furnace according to the first embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 동작을 설명하기 위한 공정도이다.It is process drawing for demonstrating operation | movement of the multi-chamber heat processing furnace which concerns on 1st Embodiment of this invention.

도 12는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 다실형 열처리로의 개략 구성도의 처리 대상물의 반송방향에 따른 단면도이다.It is sectional drawing along the conveyance direction of the process target of the schematic block diagram of the multi-chamber heat processing furnace which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

Claims (7)

처리 대상물의 반송방향으로 복수의 처리 대상물을 수용 가능한 열처리실인 다수용(多收容) 열처리실을 적어도 포함함과 동시에 상기 반송방향을 따라 직선형상으로 배열되는 복수의 열처리실과,A plurality of heat treatment chambers including at least a plurality of heat treatment chambers which are heat treatment chambers capable of accommodating a plurality of treatment objects in a conveying direction of the object to be treated, and arranged in a straight line along the conveying direction; 상기 다수용 열처리실에서 그 다수용 열처리실의 후단에 배치되는 후단 열처리실에, 다음에 공급되는 처리 대상물만을 반송하여 상기 후단 열처리실에 압입하는 제1 반송수단을 구비하는 다실형 열처리로.A multi-chamber heat treatment furnace comprising: a first conveying means for conveying only the object to be supplied next and press-fitting it into the rear end heat treatment chamber from the plurality of heat treatment chambers to a rear end heat treatment chamber disposed at a rear end of the plurality of heat treatment chambers. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 처리 대상물이 트레이에 안착되어 반송되는 경우에, 상기 제1 반송수단은, 상기 트레이에 형성되는 랙과, 그 랙에 끼워맞춤되는 피니언과, 그 피니언을 회전 구동하는 구동수단을 가지는 다실형 열처리로.When the object to be processed is seated on a tray and conveyed, the first conveying means includes a rack formed on the tray, a pinion fitted to the rack, and a drive means for rotationally driving the pinion. in. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1 반송수단은,The first conveying means, 상기 피니언으로서, 상기 다수용 열처리실에 설치되는 제1 피니언과, 상기 후단 열처리실에 설치되는 제2 피니언을 가지며,The pinion includes a first pinion installed in the plurality of heat treatment chambers, and a second pinion installed in the rear stage heat treatment chamber, 상기 구동수단으로서, 상기 제1 피니언을 회전 구동하는 제1 구동수단과, 상기 제2 피니언을 회전 구동하는 제2 구동수단을 가지는 것을 특징으로 하는 다실형 열처리로.And said drive means comprises first drive means for rotationally driving said first pinion and second drive means for rotationally driving said second pinion. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 다수용 열처리실과 후단 열처리실의 사이에 중간실이 배치되는 경우에, 상기 제1 반송수단은, 상기 중간실에 설치되는 제3 피니언과, 그 제3 피니언을 회전 구동하는 제3 구동수단을 가지는 다실형 열처리로.When the intermediate chamber is disposed between the plurality of heat treatment chambers and the rear stage heat treatment chamber, the first conveying means includes a third pinion provided in the intermediate chamber and a third driving means for rotationally driving the third pinion. Eggplant is a multi-chamber heat treatment furnace. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 제1 반송수단에 더하여, 그 제1 반송수단에 의해 상기 처리 대상물이 반송되는 열처리실 사이 이외의 열처리실 사이에서 상기 처리 대상물을 반송하는 제2 반송수단을 구비하고, 그 제2 반송수단은 포크리프트 장치인 다실형 열처리로.In addition to the first conveying means, a second conveying means for conveying the object to be treated is provided between the heat treatment chambers other than between the heat treatment chambers in which the object to be treated is conveyed by the first conveying means. Multi-threaded heat treatment furnace, a forklift device. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 제1 반송수단에 더하여, 그 제1 반송수단에 의해 상기 처리 대상물이 반송되는 열처리실 사이 이외의 열처리실 사이에서 상기 처리 대상물을 반송하는 제2 반송수단을 구비하고, 그 제2 반송수단은 푸셔 장치인 다실형 열처리로.In addition to the first conveying means, a second conveying means for conveying the object to be treated is provided between the heat treatment chambers other than between the heat treatment chambers in which the object to be treated is conveyed by the first conveying means. Multi-threaded heat treatment furnace, a pusher device. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 제1 반송수단에 더하여, 그 제1 반송수단에 의해 상기 처리 대상물이 반송되는 열처리실 사이 이외의 열처리실 사이에서 상기 처리 대상물을 반송하는 제2 반송수단을 구비하고, 그 제2 반송수단은 상기 트레이에 형성되는 랙과, 그 랙에 끼워맞춤되는 피니언과, 그 피니언을 회전 구동하는 구동수단을 가지는 다실형 열처리로.In addition to the first conveying means, a second conveying means for conveying the object to be treated is provided between the heat treatment chambers other than between the heat treatment chambers in which the object to be treated is conveyed by the first conveying means. And a rack formed on the tray, a pinion fitted to the rack, and a drive means for rotationally driving the pinion.
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