KR20090106457A - 진공 라인 청소 분리 시스템 - Google Patents

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KR20090106457A
KR20090106457A KR1020097009252A KR20097009252A KR20090106457A KR 20090106457 A KR20090106457 A KR 20090106457A KR 1020097009252 A KR1020097009252 A KR 1020097009252A KR 20097009252 A KR20097009252 A KR 20097009252A KR 20090106457 A KR20090106457 A KR 20090106457A
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KR1020097009252A
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스티븐 제이. 베너
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티비더블유 인더스트리즈, 인코포레이티드
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Abstract

진공 청소 시스템은, 분리기 챔버와 진공으로부터 유체 물질 및 부스러기를 제거하고, 진공 회수 라인이 오염물로부터 자유로워지도록 하기 위한 수집 챔버를 포함한다. 진공 배출 라인은, 깨끗한 진공이 회수 라인을 향하여 상방으로 이동하는 과정에서, 유입 진공 기류에서 순환 회전을 야기하고 유체 및 부스러기가 상기 챔버의 표면에 충돌하여 챔버의 바닥으로 낙하되도록 하는 싸이클론 분리 챔버와 연결된다. 상기 수집 챔버는 축적된 유체 및 부스러기가 용이하게 수집 챔버로 배수되도록 하기 위하여, 분리기와 동일한 음압으로 유지된다. 수집 챔버와 연계된 센서는 수집 챔버의 가득 찰 때와 배출이 요구되는 시기를 결정하기 위하여 사용될 수 있다. 이 때, 분리기 챔버는 수집 챔버로부터 격리되고, 수집 챔버는 배기되며 축적된 물질은 배출 및/또는 분석된다. 유익하게, 분리기 챔버는 음압을 유지하고, 간섭없이, 진공 청소 공정이 계속된다.
진공

Description

진공 라인 청소 분리 시스템{VACUUM LINE CLEAN-OUT SEPARATOR SYSTEM }
본 실시예는 진공 청소 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 오염물 없는 진공 회수 라인을 제공하기 위하여, 진공 흐름으로부터 쓰레기 물질을 분리시키고, 진공 유동으로부터 수집된 쓰레기 물질을 격리시키는 멀티 챔버 장치(multi chamber arrangement)가 포함되는 진공 청소 시스템에 관한 것이다.
진공 시스템을 설비물에서 반도체 웨이퍼를 유지하는데 사용하고, 제어된 환경을 조성 및/또는 다양한 종류의 불필요한 물질 들을 제거하기 위한 많은 어플리케이션(applictation), 특히, 산업 어플리케이션(industrial application)이 있다.
진공 라인이 진공 펌프에 문제를 야기하는 어떠한 오염물로부터 자유로운 공정으로 되돌아가기 위해서는, 음압이 지속적으로 유지되고, 제거된 물질이 회수 진공 유동으로부터 분리되는 폐 시스템(closed system)을 이용하는 것이 바람직하다.
많은 진공 시스템이 잘 알려져 있고 기술분야에서 사용되고 있으며, 그러한 시스템 들은 "dry" 진공 환경 또는 "wet" 진공 환경에서 사용될 수 있다.
하지만, 모든 시스템의 공통적인 문제점은, 규정 시간을 넘은 사용에 의해서 축적되는 미립자 물질을 제거하기 위하여 주기적으로 진공 제거 시스템을 청소하는 것이 요구되는 것이다.
상기 미립자를 위한 유지 탱크로서 분리기를 사용하는 시스템에서, 상기 분리기 자체는 주기적인 청소가 필요하며, 그렇지 않은 경우 진공 효율은 감소되기 시작하거나, 미립자의 일부가 상기 분리기를 통과하여 상기 시스템으로 재 인입될 수 있다.
상기와 같은 주기적인 청소는 건조 분리기들(dry separators)의 미립자를 제거하기 위하여 역 방향으로 압력풍(a blast of pressure)이 가해지는 소위 "역류(backflow)" 방식에 의해서 주기적으로 수행되어 왔다.
건조 타입 분리기를 사용할 때의 그러한 시스템은 상기 장치에서 환경 또는 특정 리셉터클로 배출되는 미립자들 또는 오염물 들에 의해서 불필요한 메스(mess)를 야기하게 된다. 그러한 시스템은 시간 경과 후에 여전히 막히게 되어, 수동 분해가 요구되고, 상기 시스템에서 적절한 진공 유동이 발생될 수 있도록 분리기의 재조립이 요구된다.
습식 분리기(wet separtor) 역시 분리기의 배수 및 청소를 위하여 시스템의 주기적인 정지가 요구되고, 그 다음 분리기 물질(separator material)을 공급하게 된다.
따라서, 시스템의 정지가 요구되지 않고, 수동적으로 청소 및 재 공급을 하지 않기 위하여, 축적된 쓰레기를 자동으로 및 주기적으로 청소할 수 잇는 진공 시스템을 개발하는 것이 바람직하다.
종래 기술에서의 요구는 진공 청소 시스템에 관한 진공 시스템, 보다 상세하게는, 오염물 없는 연속된 진공 회수 라인을 제공하기 위하여, 진공 흐름으로부터 쓰레기 물질을 분리시키고, 진공 유동에 간섭없이 격리된 쓰레기 물질을 배출하기 위하여, 진공 유동으로부터 수거된 쓰레기 물질을 격리시키는 멀티 챔버 장치(multi chamber arrangement)가 포함되는 진공 청소 시스템에 개시된다.
본 발명에 따르면, 진공 라인 청소 시스템은 제 1 분리기 챔버와, 상기 제 1 분리기 챔버와 연결되는 제 2 수집 챔버(collection chamber)가 포함되고, 상기 수집 챔버는 분리기 챔버 내에서 진공 청소 공정의 간섭없이 축적된 쓰레기 물질을 배출시키기 위하여, 주기적으로 상기 분리기 챔버로부터 격리될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 분리기 챔버는, 깨끗한 진공 유동이 깨끗한 진공 회수 라인으로 유동되는 동안, 유입 진공 쓰레기 기류에서 싸이클론 유동을 유도하여, 기류 내의 유체 및 부스러기(debris)를 챔버 들의 충돌을 야기하여 챔버의 바닥으로 낙하되도록 한다.
상기 수집 챔버는 분리기 챔버의 배수 부(drain output)에 연결되고, 상기 분리기 챔버의 하방으로 이동된 유체/부스러기를 수거한다.
또한, 상기 수집 챔버는, 분리기 챔버와 동일한 음압을 유지하여, 상기 유체/부스러기를 용이하게 배출되도록 상기 진공 회수 라인에 연결된다.
상기 수집 챔버의 비움이 필요할 때를 알리기 위하여 센서가 상기 수집 챔버와 연계될 수 있다(배출 공정으로 언급됨).
선택적으로, 수집 챔버의 배출은 수동으로 조절되거나, 수집된 쓰레기 물질의 부피에 관계없이 주기적으로 수행될 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 분리기 챔버는 배출 공정 동안 수집 챔버로부터 격리되어, 배출 과정에서 분리기 챔버에서 진공 청소 공정이 지속될 수 있다. 배출 공정 중에 수집된 유체/부스러기는 분리기 챔버의 바닥에 수집될 수 있고, 배출 공정이 한 차례 완료되면 수집 챔버로 이동되며, 음압은 수집 챔버에 재 작용하게 되고, 두 챔버 간은 재 연통된다.
본 발명의 일 실시예의 의하면, 상기 분리기 챔버의 상기 진공 회수 라인은, 상기 분릭 챔버의 유체 및 또는 부스러기가 상기 진공 회수 라은으로 유입되는 것을 방지하기 위하여, 필터 요소, 압력 감소 오리피스(orifice), 및/또는 컨덴싱 요소(condensing element)를 더 포함할 수 있다.
제한적이지는 않으나, 분리기 챔버 자체에 테이퍼진 내부 벽들 또는 싸이클론 발생을 위하여 분리기 챔버 내부에 구비되는 디버터(diverter)를 포함하는, 상기 발명 시스템으로 싸이클론 유동을 유도하기 위한 다양한 장치 들이 사용될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예 들 및 특징들은 하기되는 설명 및 도면 들의 참조에 의해서 명확해질 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 진공 라인 청소 분리기 시스템의 일 례를 상세하게 보여준다.
도 2는 수집 챔버로부터 축적된 쓰레기 물질을 배출하는 공정이 시작될 때의 도 1의 시스템을 보여준다.
도 3은 배출 쓰레기 물질을 평가하고, 진공 제거 시스템과 연계된 산업 어플리케이션의 다양한 측면을 컨트롤 하기 위하여 상기 평가 자료를 이용하는 배출 분석 시스템을 가지는 본 발명의 선택적인 실시 예를 보여준다.
도 4는 본 발명의 진공 라인 청소 분리기 시스템의 선택적인 실시 예를 보여준다.
도 1은 본 발명과 관련한 진공 라인 청소 분리기 시스템(10)의 일 례를 보여준다.
시스템(10)은 도 1의 진공 라인(19)과 같은 공정 진공 라인을 이용하여, 유체 쓰레기 물질과 부스러기를 연계된 산업 어플리케이션(industrial application: 미도시)으로부터 분리시키기 위하여 사용된다. 시스템(10)은 분리기 챔버로 유입된 진공 유동으로부터 일차로 유체 물질과 부스러기 들을 분리시키고, 깨끗한 진공이 클린 진공 회수 라인를 경유하여 상기 시스템으로 회수되는 동안 상기 유체/부스러기가 수집 챔버로 배출되도록 한다. 시스템(10)은 다수의 밸브에 의해서 제어되고, 회수 진공 라인이 오염물에서 자유로울 수 있도록 음압을 유지하는 것(분리기 및 수집 챔버들)이 본 발명의 중요한 특징이다.
게다가, 상기 시스템의 밸브 제어는, 상기 분리기 챔버 내의 진공 청소 공정의 정지 없이 수집된 쓰레기 물질의 배출이 가능하도록, 상기 수집 챔버가 상기 분리기 챔버로부터 주기적으로 격리되도록 한다.
도 1을 참조하면, 제 1 진공 공급 라인(12)은 제 1 밸브(14)에 의해서 제어 되며, 진공 청소 시스템을 이용하는 어떠한 산업 어플리케이션과 같이, 연계된 어플레이케이션으로부터 진공 배출(vacuum output)을 야기시키는데 이용된다. 상기 진공 배출(vacuum output)은 연계된 어플리케이션으로 진공 유동을 재순환시키기 전에 제거되어야 하는 유체 및/또는 부스러기를 불가피하게 포함한다. 제 1 밸브(14)가 개방 위치에 있는 경우, 공급 라인(12) 상의 진공은 유입 포트(16)를 통하여 분리기 챔버(18)로 유입될 것이다. 관련된 도면에 개시된 다양한 밸브들은 개방된 밸브를 정의하기 위하여 외곽선 형태(outline form)로 개시되고, 폐쇄된 밸브를 정의하기 위하여 내부가 어둡게 표현된 형태(darkened form)로 개시된다.
본 발명에 의하면, 분리기 챔버(18)는, 효율적으로 상기 쓰레기 물질을 진공으로부터 제거하기 위하여 싸이클론 진공 유동(cyclonic vacuum flow)을 야기시키도록 형성된다. 이러한 특정 실시 예에 의하면, 분리기 챔버(18)는 도 1의 벽 영역(20)으로 표시되는 테이퍼진 벽(tapered wall) 들을 포함하도록 형성된다. 따라서, 진공 유동이 분리기 챔버(18)로 유입될 때, 테이퍼진 벽 들은 진공 유동을 싸이클론 유동으로 변화시킨다. 도 4의 선택적인 실시 예에서 도시되는 선택적인 장치에 의해서 다른 싸이클론 유동이 형성될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 분리기 챔버(18)에서 진공 유입 유동이 반복적으로 회전(선회)될 때, 유체 물질 및 부스러기는 테이퍼진 벽 영역(20)에 대항하는 힘을 받고, 분리기 챔버(18)의 끝 부분(apex: 33)을 향하여 하방으로 이동하게 된다. 유체와 부스러기가 끝 부분(22)을 향하여 이동하는 동안, 필터링된 진공 유체는 배출 포트(24: outlet port)를 통하여 상방으로 유동하게 되고, 클린 진공 회수 라 인(26: clean vaccum return line)으로 유입된다. 필터링된 진공 유체에서 오염물질이 완전하게 제거되기 위하여, 필터 요소(28)가 배출 포트(24)를 둘러싸도록 구비되어 어떠한 잔여 미립자 부스러기를 걸르도록 할 수 있다.
본 발명에 따르면, 제 2 밸브(30)는 분리기 챔버(18)의 끝 부분(22)에 결합되고, 축적된 유체 및 부스러기가 연결된 회수 챔버(32)로 전달되는 것을 제어한다. 동작 측면에서, 제 2 밸브(30)는 일반적으로 개방된 상태를 유지하게 되고, 오직 수집 챔버(32)가 가득 찼을 때만 닫히게 된다. 제 3 밸브(34)는 도 1에 개시된 클린 진공 회수 라인(26)에 연결된 진공 라인(36)과 수집 챔버를 연결시킨다. 제 3 밸브(34: 또는 진공 라인 밸브)는 진공 라인이 수집 챔버(32)에 연결되고 챔버(32)가 음압이 유지될 수 있도록 일반적으로 개방된 상태가 된다. 수집 챔버(32)에서의 음압의 존재는 신속하고 빠르게 쓰레기 물질이 분리기 챔버(18)에서 수집 챔버(32)로 이동되도록 한다.
수집 챔버(32)로부터 축적된 쓰레기 물질의 넘침을 방지하고, 진공 라인(36)을 통하여 배출되는 진공의 오염을 방지하기 위하여, 수집 챔버(32)를 비우기 위한 배출 공정이 주기적으로 수행된다. 분리기 챔버(18)에서 진공 라인 청소 공정의 정지 없이 이러한 배출 공정이 수행되는 것은 본 발명에서 중요한 측면이다.
도 2는 배출 공정 과정에서의 시스템(10)을 보여주며, 특히, 챔버 들(18, 32) 간의 격리를 위한 다양한 밸브 들의 작동을 보여준다. 도시된 바와 같이, 제 2 밸브(30)는 배출 공정 중에 닫혀, 분리기 챔버(18)에서 진공(음압)이 유지되는 동안 수집 챔버(32)로부터 분리기 챔버(18)를 격리시킨다. 제 3 밸브(34) 또한 축적 된 쓰레기가 회수 진공 라인으로 유입되는 것을 방지하기 위하여 닫힌다. 배출 밸브(33)는 수집 챔버(32)에 음압(negative pressure) 또는 양압(positive pressure)이 가해지도록 개방되고, 드레인 밸브(38)는 수집 챔버(32)로부터 축적된 쓰레기가 배출되도록 개방된다.
유익하게, 챔버 들 간에 격리되고 음압이 분리기 챔버(18)에 유지되기 때문에, 배출 공정 중에 간섭 없이 분리기 챔버(18)에서 상기 진공 라인 청소 공정이 계속된다. 따라서, 발명된 시스템은 진공 공정 자체의 정지 없고, 시간 및 비용의 낭비 없이, 주기적으로 청소될 수 있다.
상기 배출 공정은 수동 또는 타이머의 제어 하(일 례로 매 30분 마다 배출 공정이 수행됨)에서 수행될 수 있다. 배출 공정을 시작하고 제거하기 위한 다른 다양한 과정 들이 있을 수 있으며, 이는 본 발명의 사상 범위 내에 포함된다.
실제로, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 배출 공정의 선택적인 제어 방법의 하나는, 수집 챔버(32)의 측벽을 따라 배치된 고 레벨 센서(high level sensor: 40)를 이용하는 것이다. 고 레벨 센서(40)는 진공 시스템이 작동 중에 유체/부스러기의 상승 레벨을 모니터하여, 배출 공정이 시작되도록 한다. 수집 유체의 레벨을 감지하는 대신에, 다른 감지 장치 들(일 례로 수집 유체의 중량을 감지하는 것)이 사용될 수 있으며, 이 또한 본 발명 사상의 범위 내에 속한다.
하지만, 어떠한 환경에서도, 센서(40)는, 축적된 쓰레기 물질이 진공 라인(36)의 흡입구에 가까워지기 전에 상기 배출 공정이 시작되도록 하여, 어떠한 부스러기 들이 상기 회수 진공 유동으로 유입되는 것이 방지되도록 함이 바람직하다.
게다가, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 긴급 정지 센서(emergency shut-off sensor: 42)가 본 발명에 적용될 수 있다. 상세히, 긴급 정지 센서(42)는 분리기 챔버(18)에 결합되며, 쓰레기 물질이 바람직하지 않거나 위험한 레벨로 쌓일 때의 분리기 챔버의 손상을 방지하도록, 전체 시스템을 정지시키는데 사용된다. 시스템(10)은, 모든 축적된 물질이 상기 시스템으로부터 제거되도록 상기 분리기 챔버(18)와 수집 챔버(32)의 벽을 주기적으로 청소하는 린스 어플리케이션(rinse application)을 더 포함할 수 있다.
도 1을 참조하면, 일 실시 예의 린스 어플리케이션은, 린스 밸브(23)와 배출 밸브(25)에 의해서 제어되는 린스 워터 흡입 라인(rinse water intake line: 21)을 포함한다. 상기 린스 어플리케이션은, 상기 시스템을 통하여 물질의 이송이 개선되도록 한다. 그리고, 린스 어플리케이션은, 배출 공정과 유사하게, 수동 또는 자동으로 제어될 수 있다.
도 3은 배출 분석 유닛(44)이 드레인 밸브(38)를 통하여 수집 챔버(32)에 결합된 상태의 본 발명의 선택적인 실시예를 보여준다. 본 실시예에서, 분석 유닛(44)은 유체 쓰레기 및 오염된 부스러기를 시험하고, 평가한다. 예를 들면, 상기 어플리케이션을 제어하기 위한 피드백 시스템에 유용한 특정 산업 어플리케이션과 연관되어, 물질의 다양한 화학적 및 물리적 물성이 지표로 제공된다. 택일적으로, 상기 쓰레기 물질의 특정 물성은 환경적인 관점으로부터 최선의 처리 메커니즘을 결정하기 위하여 평가될 수 있다. 쓰레기 분석의 특정 용도는, 본 발명의 사상의 종속적인 것으로 고려되며, 제어된 시스템에서 분석될 수 있도록, 제어된 방식에서 의 쓰레기 물질의 축적에 적용될 수 있다.
본 발명의 청소 및 분리 시스템이 상술한 음압(진공) 환경 대신에 양얍 환경에서도 적용될 수도 있음은 용이하게 이해될 수 있다. 본 발명의 핵심 측면은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 자동화된, 억제된(contained) 및 격리된 장치이다. (분리기 챔버와 본질적으로 동일한 압력이 유지되는)분리된 수집 챔버의 사용은 청소 공정의 간섭 없이 쓰레기 물질의 제거 및 처리가 가능하도록 한다.
도 4는 본 발명에 따른 선택적인 진공 라인 청소 시스템(50)을 보여준다. 위에서 설명한 바와 같이, 시스템(50)은 분리기 챔버(52)와 수집 챔버(54)를 포함한다. 산업 어플리케이션(미도시)로부터 이동되는 진공 라인(56)은 제 1 밸브(58)를 통하여 분리기 챔버(52)로의 유입이 제어된다. 본 실시 예에 의하면, 분리된 디버터 요소(60: diverter elemnent)는 분리기 챔버(52)의 흡입 영역에 구비되어 유입되는 진공 기류의 싸이클론 유동을 유도한다. 위에서 설명한 바와 같이, 유입된 진공 기류의 싸이클론 유동은 유체와 미립자 부스러기가 분리기 챔버(52)의 측벽 들(62)에 부딪히도록 힘을 가하여, 분리기 챔버(52)의 바닥으로 떨어지도록 한다.
클린 진공 유동은 상방으로 이동되어(디버터(60)의 입구를 통하여) 시스템(50)의 클린 진공 회수 라인(55)으로 유입된다. 위에서 설명한 바와 같이, 추가적인 필터 요소(61)가 진공 유동에 남아있는 미립자가 클린 진공 회수 라인(55)으로 유입되는 것을 방지하기 위하여 배출 경로를 따라 배치될 수 있다.
그 후에, 축적된 유체/부스러기는 연결된 수집 챔버(54)로 드레인된다. 위에서 설명한 바와 같이, 수집 챔버(54)는 클린 진공 회수 라인(55)에 연결된 진공 라 인(66)에 의해서 본질적으로 분리기 챔버(52)와 동일한 압력이 유지된다.
도 4에는 분리기 챔버(52)와 수집 챔버(54) 사이에 구비되는 복귀 감지 요소(64)가 개시되어 있다. 상기 복귀 감지 요소(64)는 일정량의 부스러기가 수집 챔버(54)에 저장되어 배출이 필요한 시기를 결정하는데 사용된다. 수집 챔버(54)가 충분히 찬 경우(감지 요소(64)에 의해서 감지되어), 감지 요소(64)는 분리기 챔버(52)와 수집 챔버(54)의 연결을 차단하게 되어, 수집 챔버(54)로부터 진공 청소 공정이 격리되고, 축적된 쓰레기 물질이 수집 챔버(54)로부터 제거된다.
상술한 바와 같이 배출구(66)는 음압이 가해지기 위해서 수집 챔버(54)에서 열려, 상기 쓰레기가 드레인(68)을 통하여 배출 가능하도록 한다.
배출 공정 동안, 분리기 챔버(52)는 음압을 유지하고(수집 챔버(54)로부터 격리되는 것에 의해서), 유입되는 쓰레기 진공 라인의 필터링이 지속되고, 클린 진공 유동이 회수 라인(55)으로 회수된다.
다시, 시스템(50)은 이전에 설명한 실시예와 같이, 복귀 센싱 요소(64) 대신에 수동 조절 방식이 적용될 수 있다. 선택적으로, 주기적인 시간 간격으로 쓰레기를 배출시키는 주기적인 배출 시스템이 적용될 수 있다.
배출 공정을 시작시키기 위한 특정한 장치에 관계 없이, 진공 라인 청소 공정이 간섭 없이 지속되도록, 수집 챔버가 배출 공정 동안 격리되는 것이 본 발명의 중요한 측면이다.
본 발명을 바람직한 실시 예를 참조하여 설명되었지만, 본 발명의 사상은 이에 제한되는 것은 아니며, 첨부되는 청구항 들에 의해서 정의되는 본 발명의 사상 의 벗어남 없이 다양한 변경이 가능함은 당업자에게는 명확할 것이다.

Claims (16)

  1. 유입 쓰레기 진공 유동이 유입되며, 유입 쓰레기 유동에 존재하는 유체/부스러기를 배수 포트(drainage port)로 이동되도록 하고 깨끗한 진공 유동을 클린 진공 배출 포트로 이동되도록 하기 위하여, 그 내부에 싸이클론 유동(cyclonic flow)을 유도하는 제 1 챔버; 및
    상기 유체/부스러기가 유입되기 위하여 상기 제 1 챔버의 배수 포트에 연결되고, 그 내부에서 음압(negative pressure)이 유지되도록 하기 위한 진공 배출 포트와, 상기 제 1 챔버와의 연결을 차단시키고 상기 제 1 챔버에서 유입 쓰레기 진공 유동이 계속 발생되는 중에 그 내부로부터 축적된 유체/부스러기가 배출되도록 하기 위한 격리 밸브를 가지는 제 2 챔버를 포함하는 진공 라인 청소 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 시스템은, 축적된 유체/부스러기의 부피를 모니터하고, 설정된 부피에 도달한 경우 배출 과정을 시작시키기 위하여 상기 제 2 챔버에 결합되는 센서가 포함되고,
    상기 배출 과정은, 배출 중에 상기 제 2 챔버로부터 상기 제 1 챔버의 연결을 해제하기 위한 상기 격리 밸브를 닫는 과정을 포함하는 진공 라인 청소 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 챔버는, 상기 진공 배출 포트로 유체/부스러기가 유입되는 것을 방지하기 위하여, 상기 배출 포트에 결합되는 배출 필터가 더 포함되는 진공 라인 청소 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 시스템은, 제 1 챔버로의 유체/부스러기의 수집을 모니터하고, 상기 제 1 챔버 내부에 바람직하지 않은 양의 물질이 축적될 때 상기 시스템을 정지시키기 위하여, 상기 제 1 챔버에 연결되는 시스템 센서를 더 포함하는 진공 라인 청소 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 시스템 센서는, 축적된 부스러기가 상기 진공 배출 포트에 근접할 때 시스템을 정지시키는 진공 라인 청소 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 챔버는, 상기 제 1 챔버 내부에서 싸이클론 유동이 발생되도록 하기 위하여 내측으로 테이퍼진 측벽 들을 포함하는 진공 라인 청소 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 챔버는, 원형 진공 유동을 발생시키고 상기 제 1 챔버 내부에서 싸이클론 유동을 유동하기 위하여, 유입 포트 측에 배치되는 디버터 요소(diverter element)를 포함하는 진공 라인 청소 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 시스템은, 수집된 유체/부스러기를 모니터하고 평가하기 위하여, 상기 제 2 챔버에 연결되는 배출 분석 유닛을 더 포함하는 진공 라인 청소 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 시스템은, 제 1 챔버 및 제 2 챔버로 린스 워터 유동을 공급하기 위한 린스 요소(rinse element)를 더 포함하는 진공 라인 청소 시스템.
  10. 클린 진공 회수 라인 배출 포트와 배수 포트를 가지는 제 1 챔버로 진공 유동이 유입되는 단계;
    진공 유동으로부터 오염물을 분리시키기 위하여 싸이클론 유동을 유도하고, 오염물은 상기 배수 포트를 향하여 하방으로 이동하고, 깨끗한 진공은 상기 클린 진공 회수 라인 배출 포트로 안내되는 단계; 및
    상기 클린 진공 회수 라인에 연결되는 진공 라인을 가지는 제 2 챔버로 오염물이 배수되는 단계가 포함되는, 클린 회수 진공 유동을 형성하기 위하여 진공 흡입 유동을 청소하기 위한 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 챔버로부터 상기 제 2 챔버를 고립시키고, 상기 진공 라인 연결을 해제시키고 상기 제 2 챔버를 배수시키는 단계; 및
    상기 격리된 제 1 챔버로 유입 진공 유동이 계속해서 유입되고 깨끗한 유동이 발생되는 중에, 상기 제 2 챔버로부터 축적된 오염물을 배출시키는 단계가 더 포함되는, 클린 회수 진공 유동을 형성하기 위하여 진공 흡입 유동을 청소하기 위한 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    격리 및 배출 단계의 시작 시기를 결정하기 위하여, 제 2 챔버 내부의 축적된 오염물을 모니터하는 단계가 더 포함되는, 클린 회수 진공 유동을 형성하기 위하여 진공 흡입 유동을 청소하기 위한 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    격리 및 배출 단계는 주기적으로 수행되는, 클린 회수 진공 유동을 형성하기 위하여 진공 흡입 유동을 청소하기 위한 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 2 챔버로부터 배출되는 오염물을 분석하는 단계가 더 포함되는, 클린 회수 진공 유동을 형성하기 위하여 진공 흡입 유동을 청소하기 위한 방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 배출 단계의 후속으로,
    상기 제 2 챔버와 진공 라인을 재연결시키는 단계; 및
    상기 제 2 챔버 내의 축적 오염물을 재 배수 시키기 위하여 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버의 격리 해제하는 단계가 포함되는, 클린 회수 진공 유동을 형성 하기 위하여 진공 흡입 유동을 청소하기 위한 방법.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 챔버에 축적된 오염물을 모니터하는 단계; 및
    축적된 오염물이 설정 레벨에 도달하면, 청소 공정을 정지시키는 단계가 더 포함되는, 클린 회수 진공 유동을 형성하기 위하여 진공 흡입 유동을 청소하기 위한 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101235681B1 (ko) * 2011-06-24 2013-02-21 신진 엠.티.테크 주식회사 원심 분리식 절삭유 정화장치
KR20240033483A (ko) 2022-09-05 2024-03-12 심진석 중앙 집진식　진공　청소　시스템의 집진기용 분진 밀폐 무인 수거장치

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101522087A (zh) * 2006-10-07 2009-09-02 Tbw工业有限公司 真空管线清洁分离***
US20100186524A1 (en) * 2008-02-05 2010-07-29 Enertechnix, Inc Aerosol Collection and Microdroplet Delivery for Analysis
US8539840B2 (en) 2008-02-05 2013-09-24 Enertechnix, Inc Aerosol collection apparatus and methods
NO330768B1 (no) * 2008-08-15 2011-07-11 Aker Subsea As Anordning for utskilling og oppsamling av vaeske i gass fra et reservoar
DE102009008204A1 (de) * 2009-02-04 2010-08-19 J. Schmalz Gmbh Absaugvorrichtung
EP2743963B8 (en) * 2009-04-03 2015-10-28 Excillum AB Supply of a liquid-metal target in x-ray generation
US9234341B1 (en) 2012-08-11 2016-01-12 James B. Hinkley Two-phase extraction and waste water regeneration systems and methods for servicing storm water management technologies
US20140059983A1 (en) * 2012-09-06 2014-03-06 Everinn International Co., Ltd. Dust separator
CN104812301B (zh) * 2012-09-25 2018-02-09 吸入科学瑞典股份公司 暴露***
US8882892B2 (en) * 2013-02-04 2014-11-11 Nordson Corporation Powder coating system having powder recovery cyclone with hinged lower section
DE102013205425B3 (de) * 2013-03-27 2014-07-31 J. Schmalz Gmbh Absaugvorrichtung
CN103215649A (zh) * 2013-04-08 2013-07-24 英利能源（中国）有限公司 硼扩散炉管的清洁方法及其清洁设备
CN103194801B (zh) * 2013-04-09 2016-03-02 英利能源（中国）有限公司 硼扩散炉管尾气处理方法及处理设备
KR101382588B1 (ko) * 2013-05-08 2014-04-07 주식회사 제이콘 산업용 폐기물질 수거장치
RU2536506C1 (ru) * 2013-07-16 2014-12-27 Общество с ограниченной ответственностью "Газпром трансгаз Волгоград" Способ очистки внутреннего пространства пылеуловителя мультициклонного типа
US9812229B2 (en) 2014-03-04 2017-11-07 Paschal-Gross Enterprises, Inc. Safe geometry vacuum design
DE112015003971T5 (de) * 2014-08-29 2017-06-08 Nabtesco Automotive Corporation Ölabscheider und Drucklufttrocknungssystem
DE102014217609B4 (de) 2014-09-03 2018-02-08 J. Schmalz Gmbh Absaugvorrichtung
US9909956B1 (en) * 2014-12-03 2018-03-06 Mayeaux Holding Llc Cyclonic system for enhanced separation of fluid samples and the like, and method therefore
JP6772262B2 (ja) 2015-10-19 2020-10-21 コンメッド コーポレイション 液体ガス分離装置
DE102016105978B4 (de) * 2016-04-01 2019-08-14 Rattunde & Co. Gmbh Späneabsauganlage
CN106000669A (zh) * 2016-06-03 2016-10-12 合肥原印农业科技有限公司 一种粮食尘杂分离机
PT3417944T (pt) * 2017-06-22 2020-07-23 Metso Minerals Ind Inc Separador hidrociclone
CN108144370B (zh) * 2018-02-27 2023-12-01 南京工程学院 一种多阶高效旋风除尘装置
US11534702B2 (en) * 2020-07-30 2022-12-27 Omachron Intellectuaal Property Inc. Water storage chamber for an appliance

Family Cites Families (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3318075A (en) * 1965-04-15 1967-05-09 Curtis L Wilson Vacuum cleaner
US3842461A (en) * 1973-05-15 1974-10-22 Walkee Vacuum Services Ltd Industrial vacuum apparatus
DE2713321A1 (de) * 1977-03-25 1978-09-28 Duerr Dental Kg Vorrichtung fuer den einbau in zahnaerztliche sauganlagen zum abscheiden von fluessigen und festen bestandteilen
US4227893A (en) * 1978-09-01 1980-10-14 Peabody-Myers Corporation Mobile vacuum loader
US4201256A (en) * 1979-01-10 1980-05-06 Andrew Truhan Sawdust collector
JPS6044069A (ja) * 1983-08-19 1985-03-08 Uenoyama Kiko Kk 気水分離装置
US4574420A (en) * 1984-02-24 1986-03-11 Nfe International, Ltd. Versatile particle collector apparatus
US4670139A (en) * 1986-06-19 1987-06-02 Spruiell Walter L Drilling mud cleaning machine
US4800612A (en) 1987-11-23 1989-01-31 Cross American Corporation Vacuum power booster with automatic waste liquid discharge for a water vacuum extraction apparatus
US4963172A (en) * 1987-11-27 1990-10-16 Demarco Thomas Bagger unit for a vacuum loader or the like
US4820315A (en) * 1987-11-27 1989-04-11 Demarco Thomas M Vacuum loader and process for removing asbestos and other particulate material
FR2649333B1 (fr) * 1989-06-13 1991-12-06 Barsacq Gabriel Aspirateur pour nettoyage centralise avec aspiration et evacuation des poussieres par chasse d'eau automatique et double epuration de l'air de rejet
US5030259B1 (en) * 1989-12-18 1994-04-05 Guzzler Mgf Inc Portable vacuum cleaning system
US5034038A (en) 1990-05-14 1991-07-23 Alliance Plastics Separator for vacuum pump loading system
JPH0448267A (ja) 1990-06-15 1992-02-18 Hitachi Ltd 自動分析装置
US5062870A (en) 1990-07-06 1991-11-05 Notetry Limited Shut-off device for cyclonic vacuum cleaner
US5062868A (en) * 1990-08-09 1991-11-05 Aaxon Industrial, Inc. Method and apparatus for unloading mobile vacuum loaders
US5277705A (en) * 1992-12-30 1994-01-11 Iowa State University Research Foundation, Inc. Powder collection apparatus/method
US5403473A (en) 1994-02-15 1995-04-04 Automatic Control Technology, Inc. Apparatus for mixing gases and liquids and separating solids using a vortex
US5492407A (en) 1994-09-14 1996-02-20 Gement; Paul Chamber for treating wastes and removing the treated wastes following treatment
US6045618A (en) 1995-09-25 2000-04-04 Applied Materials, Inc. Microwave apparatus for in-situ vacuum line cleaning for substrate processing equipment
US6440317B1 (en) * 1996-03-18 2002-08-27 Fuel Dynamics Cyclonic ice separation for low temperature jet fuels
US5922093A (en) 1996-04-25 1999-07-13 Miracle Marketing Corporation Ultra-filtration vacuum system
US6190236B1 (en) 1996-10-16 2001-02-20 Vlsi Technology, Inc. Method and system for vacuum removal of chemical mechanical polishing by-products
US5916010A (en) 1997-10-30 1999-06-29 International Business Machines Corporation CMP pad maintenance apparatus and method
US6004196A (en) 1998-02-27 1999-12-21 Micron Technology, Inc. Polishing pad refurbisher for in situ, real-time conditioning and cleaning of a polishing pad used in chemical-mechanical polishing of microelectronic substrates
AU1850199A (en) 1998-03-11 1999-09-23 Baker Hughes Incorporated Apparatus for removal of milling debris
US6358124B1 (en) 1998-11-02 2002-03-19 Applied Materials, Inc. Pad conditioner cleaning apparatus
US6217430B1 (en) 1998-11-02 2001-04-17 Applied Materials, Inc. Pad conditioner cleaning apparatus
JP3426149B2 (ja) 1998-12-25 2003-07-14 富士通株式会社 半導体製造における研磨廃液再利用方法及び再利用装置
US6287174B1 (en) 1999-02-05 2001-09-11 Rodel Holdings Inc. Polishing pad and method of use thereof
US6458278B1 (en) * 1999-02-22 2002-10-01 Nalge Nunc International Corporation Filtering unit having separately attachable filter cassette, filter cassette, and method of filtering
US6409803B1 (en) * 1999-07-14 2002-06-25 Ramvac Corporation Amalgam separation
US6354241B1 (en) 1999-07-15 2002-03-12 Applied Materials, Inc. Heated electrostatic particle trap for in-situ vacuum line cleaning of a substrated processing
US6244944B1 (en) 1999-08-31 2001-06-12 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for supporting and cleaning a polishing pad for chemical-mechanical planarization of microelectronic substrates
US6237186B1 (en) 1999-10-07 2001-05-29 Bridgewater Corporation Built-in wet/dry vacuum system
US6331136B1 (en) 2000-01-25 2001-12-18 Koninklijke Philips Electronics N.V. (Kpenv) CMP pad conditioner arrangement and method therefor
US6706139B1 (en) 2000-04-19 2004-03-16 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for cleaning a web-based chemical mechanical planarization system
US6936085B2 (en) * 2000-05-10 2005-08-30 Demarco Maxvac Corporation Vacuum loader
US6936095B2 (en) * 2000-07-06 2005-08-30 John Herbert North Air/particle separator
EP1299023B1 (en) * 2000-07-06 2004-11-10 John Herbert North Improved dust/particle collecting arrangement for cyclone separators
US6558238B1 (en) 2000-09-19 2003-05-06 Agere Systems Inc. Apparatus and method for reclamation of used polishing slurry
US7014670B2 (en) 2000-10-05 2006-03-21 Nordson Corporation Controlling cyclone efficiency with a vacuum interface
JP3892663B2 (ja) * 2000-11-07 2007-03-14 住友重機械マリンエンジニアリング株式会社 ハイドロブラスト水の回収装置
US6562109B2 (en) 2001-03-28 2003-05-13 Mks Instruments, Inc. Acceleration assisted particle/gas separation system
US6916236B2 (en) 2001-06-13 2005-07-12 Terpstra Enterprises Pty Ltd. Extraction apparatus
US6605159B2 (en) 2001-08-30 2003-08-12 Micron Technology, Inc. Device and method for collecting and measuring chemical samples on pad surface in CMP
US6716261B2 (en) 2002-07-15 2004-04-06 Inventure Laboratories, Inc. Criticality safe vacuum and safe geometry transport vehicle
US6887290B2 (en) * 2002-09-25 2005-05-03 Federal Signal Corporation Debris separation and filtration systems
US7343643B2 (en) * 2003-03-17 2008-03-18 Panasonic Corporation Of North America Selective bag or bagless cleaning system
US6833016B2 (en) * 2003-03-27 2004-12-21 Oneida Air Systems, Inc Dust collection system
US7179379B2 (en) 2003-03-28 2007-02-20 Ab-Cwt, Llc Apparatus for separating particulates from a suspension, and uses thereof
KR100513402B1 (ko) 2003-09-25 2005-09-09 삼성전자주식회사 화학적 기계적 연마 패드의 컨디셔너 클리닝장치
US7004820B1 (en) 2005-05-26 2006-02-28 United Microelectronics Corp. CMP method and device capable of avoiding slurry residues
CN101522087A (zh) * 2006-10-07 2009-09-02 Tbw工业有限公司 真空管线清洁分离***

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101235681B1 (ko) * 2011-06-24 2013-02-21 신진 엠.티.테크 주식회사 원심 분리식 절삭유 정화장치
KR20240033483A (ko) 2022-09-05 2024-03-12 심진석 중앙 집진식　진공　청소　시스템의 집진기용 분진 밀폐 무인 수거장치

Also Published As

Publication number Publication date
US7909910B2 (en) 2011-03-22
CN101522087A (zh) 2009-09-02
EP2081477A2 (en) 2009-07-29
US20080092734A1 (en) 2008-04-24
IL198110A0 (en) 2009-12-24
WO2008042444A2 (en) 2008-04-10
WO2008042444A3 (en) 2008-06-19
JP2010505611A (ja) 2010-02-25
CA2665346A1 (en) 2008-04-10

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