KR20090068061A - 파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템 및 레티클로딩 방법 - Google Patents

파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템 및 레티클로딩 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템 및 레티클 로딩 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레티클 로딩 시스템 내에 파티클 제거 장치를 별도로 구비하여 상기 레티클 로딩 시스템 내에서 레티클의 세정 작업을 함으로서 레티클의 로딩 시간을 줄일 수 있는 파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템 및 레티클 로딩 방법에 관한 것으로, 본 발명의 레티클 로딩 시스템은 PPD 장비의 하부에 파티클 제거 장치를 더 구비하고, 상기 파티클 제거 장치(60)는 일측이 개방되어 로봇암(20)을 수용하는 로봇암수용부(64), 하부에는 상기 로봇암(20)이 로딩되는 로봇암스테이지(63), 레티클(12)의 상부면을 왕복하며 상기 레티클(12)의 상부면에 압축공기를 분사하는 압축공기분사구(61); 상기 로봇암수용부(64)의 반대측에 구비되며 상기 압축공기에 의해 상기 레티클(12)로부터 분리되 파티클을 흡입하기 위한 압축공기배출구(62)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
파티클, 제거, 장치, 레티클, 로딩, 시스템, 방법

Description

파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템 및 레티클 로딩 방법{Reticle Loading System Equipped with Apparatus for Removing Particle and Method for Loading Reticle}
본 발명은 파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템 및 레티클 로딩 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레티클 로딩 시스템 내에 파티클 제거 장치를 별도로 구비하여 상기 레티클 로딩 시스템 내에서 레티클의 세정 작업을 함으로서 레티클의 로딩 시간을 줄일 수 있는 파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템 및 레티클 로딩 방법에 관한 것이다.
반도체 소자 제조 공정에는 패턴(pattern)의 웨이퍼(wafer) 상으로의 전사를 위해서, 노광 장비, 예컨대, 스캐너(scanner) 또는 스테퍼(stepper)가 이용되고 있다.
일반적으로 반도체 소자는, 반도체 소자를 제조할 수 있는 웨이퍼 상에 소정의 막을 형성시킨 후, 소정의 막을 반도체 소자의 특성에 따라 설정된 패턴으로 형 성시킴으로써 제조되고 있다.
여기서 설정된 패턴은 주로 포토리소그래피(photolithography) 공정을 수행하여 형성시킬 수 있고, 이러한 포토리소그래피 공정은 상기한 바와 같은 노광 장비를 이용하여 수행되고 있다.
이와 같이 형성된 웨이퍼 상의 패턴 상에, 여러 공정을 거쳐가면서 정확한 정밀도를 유지해가며 여러 층들이 적층되어, 하나의 특정 특성을 지닌 반도체 소자가 제조되고 있다.
이러한 층들을 적층할 때마다 회로 패턴이 그려져 있는 레티클을 교환하며 공정 단계 별로 요구되는 포토리소그래피 공정을 진행하는 것이 요구된다.
따라서, 노광 장비는 빈번한 레티클의 로딩 및 언로딩(loading/unloading)이 수행된다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 종래의 레티클 정렬 시스템을 설명한다.
도 1은 종래의 기술에 따른 레티클 정렬 시스템이다.
도 1에 도시된 바와 같이 레티클의 로딩 절차는 일반적으로, 먼저 카세트 라이브러리(cassette library, 10)의 해당 레티클 케이스(11)에 탑재된 레티클(12)은, 로봇 암(20)에 의해 상기 레티클 케이스(11)에서 빼내어진다. 그리고, 상기 레티클(12)은 제 1 예비 정렬 장치(30)에서 대략적인 예비 정렬된다. 연후에 바코드리코더(40)에 의해 바코드 검사를 거쳐 PPD(Pellicle Patricle Detection) 검사를 위해 PPD 장비(50)로 이동된다.
그 다음에는, 상기 레티클(12)는 제 2 예비정렬장치(70)에서 정밀한 예비 정렬된다.
그리고, 로테이션 암(80)에 의해 상기 레티클(12)은 레티클스테이지(90)에 로딩되고 상기 레티클(12)에 빛을 조사하여 노광 공정을 수행한다.
여기서, 상기 PPD 검사에서 펠리클(Pellicle)의 표면에서 파티클이 검출되는 경우에는 레티클을 상기 PPD 장비에서 꺼내어 세정을 하여야 한다.
다만, 종래에는 노광장비의 운영자가 상기 PPD 장비의 알림창에 나타난 일정한 표시를 보고 세정작업을 하였는바, 운영자의 실수로 세정을 하지 않고 노광 공정을 수행하는 경우에는 웨이퍼의 품질저하의 문제가 발생하였다.
또한, 운영자가 상기 PPD 장비에서 레티클을 꺼내어 세정을 하고 다시 레티클을 상기 PPD 장비에 로딩하여 다시 PPD 검사를 수행하는 결과 공정시간이 지연되는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 레티클 로딩 시스템에 PPD 검사를 기초로 자동으로 레티클을 세정할 수 있는 장비를 구비하여 공정시간을 줄이고 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있는 파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템 및 레티클 로딩 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 레티클 로딩 시스템은 PPD장비의 하부에 파티클 제거 장치를 더 구비하고, 상기 파티클 제거 장치는 일측이 개방되어 로봇암을 수용하는 로봇암수용부, 하부에는 상기 로봇암이 로딩되는 로봇암스테이지, 레티클의 상부면을 왕복하며 상기 레티클의 상부면에 압축공기를 분사하는 압축공기분사구; 상기 로봇암수용부의 반대측에 구비되며 상기 압축공기에 의해 상기 레티클로부터 분리되는 파티클을 흡입하기 위한 압축공기배출구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 압축공기분사구에서 분사되는 공기는 질소(N2) 가스인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 일 측면으로서 본 발명의 레티클 로딩 방법은 카세트라이브러리(cassette library)의 해당 레티클 케이스에 탑재된 레티클이 로봇암에 의해 상기 레티클케이스에서 빼내어지는 1 단계; 상기 레티클이 제1예비정렬장치에서 대략적인 예비 정렬이 되는 2 단계; 상기 레티클이 바코드리코더에 의해 바코드 검사를 거쳐 PPD(Pellicle Patricle Detection) 검사를 위해 PPD장비로 이동되는 3 단계; 상기 PPD장비에서 펠리클의 표면에서 파티클이 검출되는 경우에는 레티클을 상기 PPD장비에서 꺼내어 파티클제거장치에 로딩하는 4 단계; 상기 파티클제거장치에 의해 상기 레티클이 세정되는 5 단계; 상기 세정된 레티클에 대하여 다시 PPD 검사를 하고 펠리클(Pellicle)의 표면에서 파티클이 검출되지 않는 경우에는 상기 레티클이 제2예비정렬장치에 로딩되고 정밀한 예비 정렬이 되는 6 단계; 로테이션암에 의해 상기 레티클이 레티클스테이지에 로딩되는 7 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 5 단계는 상기 로봇암이 로봇암수용부를 통과하여 상기 로봇암스테이지에 로딩되는 5 - 1 단계; 상기 레티클의 상부로 압축공기분사구가 왕복하며 압축공기에 의해 상기 레티클의 상부면으로부터 상기 파티클이 분리되는 5 - 2 단계; 상기 분리된 파티클이 압축공기배출구를 통하여 배출되는 5 -3 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템 및 레티클 로딩 방법에 의하면 운영자의 실수로 PPD 검사에서 파티클이 검출되었는데도 세정을 하지 않고 노광 공정을 수행하여 웨이퍼의 품질저하되는 것을 방지할 수 있다.
또한,레티클 로딩 시스템에 PPD 검사를 기초로 자동으로 레티클을 세정할 수 있는 장비를 구비함으로서 공정시간을 줄일 수 있다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 레티클 정렬 시스템의 개략도, 도 3은 본 발명에 따른 레티클 제거 장치의 단면도, 도 4는 본 발명에 따른 레티클 정렬 시스템의 동작 순서도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 레티클 로딩 시스템은, 레티클의 상부면에 증착된 파티클을 제거하기 위하여 도 1에 도시된 종래의 레티클 로딩 시스템에 비하여 PPD 장비의 하부에 파티클 제거 장치(60)가 더 구비된다.
그리고, 상기 파티클 제거 장치(60)는 도 3에 도시된 바와 같이, 일측이 개방되어 로봇암(20)을 수용하는 로봇암수용부(64), 하부에는 상기 로봇암(20)이 로 딩되는 로봇암스테이지(63), 레티클(12)의 상부면을 왕복하며 상기 레티클(12)의 상부면에 압축공기를 분사하는 압축공기분사구(61); 상기 로봇암수용부(64)의 반대측에 구비되며 상기 압축공기에 의해 상기 레티클(12)로부터 분리된 파티클을 흡입하기 위한 압축공기배출구(62)를 포함한다.
여기서, 상기 압축공기분사구(61)에서 분사되는 공기는 질소(N2) 가스인 것이 바람직하다.
이하 도 4를 참조하여 상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 레티클 로딩 시스템의 동작 순서를 설명한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 가장 먼저, 카세트 라이브러리(cassette library, 10)의 해당 레티클케이스(11)에 탑재된 레티클(12)이 로봇암(20)에 의해 상기 레티클케이스(11)에서 빼내어진다.
그리고, 상기 레티클(12)이 제1예비정렬장치(30)에서 대략적인 예비 정렬이 된다.
그 다음에는, 레티클(12)가 바코드리코더(40)에 의해 바코드 검사를 거쳐 PPD(Pellicle Patricle Detection) 검사를 위해 PPD장비(50)로 이동된다.
여기서 상기 PPD장비(50)에서 펠리클(Pellicle)의 표면에서 파티클이 검출되는 경우에는 레티클을 상기 PPD장비(50)에서 꺼내어 파티클제거장치(60)에 로딩된다.
종래에는 레티클 로딩 시스템의 운영자가 PPD 장비(50)에 구비된 일정 표시에 의해 작업자가 펠리클(Pellicle)의 표면에서의 파티클의 검출을 인식하고 작업자가 레티클을 상기 PPD장비(50)에서 꺼내어 별도로 레티클 로딩 시스템의 외부에 구비된 세정 장치에서 세정을 하고 다시 PPD장비(50)로 로딩을 한 다음 다시 PPD 검사를 하는 과정을 거쳤다.
그러나, 본 발명은 공정 시간을 단축하기 위하여 상기 PPD 장비(50)에서 펠리클(Pellicle)의 표면에서 파티클이 검출되는 경우에 상기 로봇암(20)을 제어하여 레티클 로딩 시스템에 구비된 상기 파트클제거장치(60)에 레티클을 로딩하여 파티클을 제거하도록 하였다.
상기 파티클제거장치(60)에 의한 상기 레티클(12)의 세정은 PPD 검사에서 펠리클(Pellicle)의 표면에서 파티클이 검출되는 경우에 상기 로봇 암(20)이 로봇 암 수용부(64)를 통과하여 상기 로봇암 테이지(63)에 로딩이 되고, 상기 레티클(12)의 상부로 압축공기분사구(61)가 왕복하며 압축공기에 의해 상기 레티클(12)의 상부면으로부터 상기 파티클이 분리되며, 상기 분리된 파티클이 압축공기 배출구(62)를 통하여 배출되는 과정을 통하여 이루어진다.
상기 파티클제거장치에 의해 세정을 마친 다음에는 상기 세정된 레티클(12)에 대하여 다시 PPD 검사를 하고 펠리클(Pellicle)의 표면에서 파티클이 검출되지 않는 경우에는 상기 레티클(12)이 제2예비정렬장치(70)에 로딩되고 정밀한 예비 정렬이 된다.
마지막으로, 로테이션 암(80)에 의해 상기 레티클(12)이 레티클스테이지(90)에 로딩되고 상기 레티클(12)에 빛을 조사하여 노광 공정을 수행한다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정·변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
도 1은 종래의 기술에 따른 레티클 정렬 시스템의 개략도,
도 2는 본 발명에 따른 레티클 정렬 시스템의 개략도,
도 3은 본 발명에 따른 레티클 제거 장치의 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 레티클 정렬 시스템의 동작 순서도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
10 : 레티클라이브러리
11 : 레티클케이스 12 : 레티클
20 : 로봇암 30 : 제 1 예비정렬장치
40 : 바코드리코더
50 : PPD(Pellicle Patricle Detection) 장비
60 : 파티클제거장치 61 : 압축공기분사구
62 : 압축공기배출구 63 : 로봇암스테이지
64 : 로봇암수용부
70 : 제 2 예비정렬장치 80 : 로테이션암
90 : 레티클스테이지

Claims (4)

  1. 레티클 로딩 시스템에 있어서,
    PPD 장비의 하부에 파티클 제거 장치를 더 구비하고, 상기 파티클 제거 장치는 일측이 개방되어 로봇암을 수용하는 로봇암 수용부, 하부에는 상기 로봇암이 로딩되는 로봇암 스테이지, 레티클의 상부면을 왕복하며 상기 레티클의 상부면에 압축공기를 분사하는 압축공기 분사구; 상기 로봇암 수용부의 반대측에 구비되며 상기 압축공기에 의해 상기 레티클로부터 분리된 파티클을 흡입하기 위한 압축공기 배출구를 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 압축공기 분사구에서 분사되는 공기는 질소 가스인 것을 특징으로 하는 파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템.
  3. 카세트 라이브러리의 해당 레티클 케이스에 탑재된 레티클이 로봇암에 의해 상기 레티클케이스에서 빼내어지는 1 단계;
    상기 레티클이 제 1 예비 정렬 장치에서 대략적인 예비 정렬이 되는 2 단계;
    상기 레티클이 바코드리코더에 의해 바코드 검사를 거쳐 PPD 검사를 위해 PPD장비로 이동되는 3 단계;
    상기 PPD장비에서 펠리클의 표면에서 파티클이 검출되는 경우에는 레티클을 상기 PPD장비에서 꺼내어 파티클 제거 장치에 로딩하는 4 단계;
    상기 파티클 제거 장치에 의해 상기 레티클이 세정되는 5 단계;
    상기 세정된 레티클에 대하여 다시 PPD 검사를 하고 펠리클의 표면에서 파티클이 검출되지 않는 경우에는 상기 레티클이 제 2 예비정렬장치에 로딩되고 정밀한 예비 정렬이 되는 6 단계;
    로테이션암에 의해 상기 레티클이 레티클스테이지에 로딩되는 7 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 로딩 방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 5 단계는
    상기 로봇 암이 로봇암수용부를 통과하여 상기 로봇암스테이지에 로딩되는 5 - 1 단계;
    상기 레티클의 상부로 압축공기분사구가 왕복하며 압축공기에 의해 상기 레티클의 상부면으로부터 상기 파티클이 분리되는 5 - 2 단계;
    상기 분리된 파티클이 압축공기 배출구를 통하여 배출되는 5 -3 단계;
    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레티클 로딩 방법.
KR1020070135925A 2007-12-22 2007-12-22 파티클 제거 장치가 구비된 레티클 로딩 시스템 및 레티클로딩 방법 KR20090068061A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190134224A (ko) * 2018-05-25 2019-12-04 (주)오로스 테크놀로지 펠리클 오염물질 제거 장치

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