KR20080067109A - Method for generation and fixation of metal aerosol nanoparticle - Google Patents

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Abstract

A method for producing and fixing metal aerosol nanoparticles is provided to simplify the process by producing metal aerosol nanoparticles in a dry aerosol state through a continuous process, and enable a large area to be treated easily environmentally friendly without discharging harmful substances such as wastewater and waste. A method for producing and fixing metal aerosol nanoparticles comprises: a first metal aerosol nanoparticle producing step(S110) of producing first metal aerosol nanoparticles; an agglomerating and heat-treating step(S120) of colliding the first metal aerosol nanoparticles with one another in a high temperature channel with a temperature gradient to convert the first metal aerosol nanoparticles to metal aerosol agglomerated nanoparticles, and heat treating the metal aerosol agglomerated nanoparticles to form one metal aerosol nanoparticle; and a metal aerosol nanoparticle fixing step(S140) of the aggolerated and heat-treated metal aerosol nanoparticle to a fixing object. The method further comprises: a fixing object surface treatment step(S130) of subjecting the fixing object to a plasma surface treatment or applying a chemical agent to a surface of the fixing object to form irregularities on the fixing object prior to the metal aerosol nanoparticle fixing step; and a fixing object heating and pressing step(S150) of heating and pressing the fixing object after the metal aerosol nanoparticle fixing step.

Description

금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법{Method for generation and fixation of metal aerosol nanoparticle}Method for generation and fixation of metal aerosol nanoparticles

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법의 흐름도,1 is a flow chart of a method for producing and fixing metal aerosol nanoparticles according to an embodiment of the present invention;

도 2 내지 도 5는 도 1의 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계에 관한 제1실시예 내지 제4실시예를 나타내는 구성도,2 to 5 is a schematic view showing a first embodiment to a fourth embodiment of the first metal aerosol nanoparticle generation step of FIG.

도 6 내지 도 8b는 도 1의 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계에 관한 제1실시예 내지 제3실시예를 나타내는 구성도,6 to 8b is a schematic view showing a first embodiment to a third embodiment of the metal aerosol nanoparticle fixing step of FIG.

도 9는 도 1의 가열 압착 단계를 나타내는 구성도,9 is a configuration diagram showing the heat pressing step of FIG.

도 10a 내지 도 10c는 도 1의 방법에 포함되는 부착개선제 처리 단계에 관한 제1실시예 내지 제3실시예를 나타내는 구성도,10A to 10C are configuration diagrams showing first to third embodiments of the adhesion improving agent treatment step included in the method of FIG. 1;

도 11a 내지 도 11b는 도 1의 피고정체 표면처리 단계를 나타내는 구성도,11a to 11b is a schematic view showing the surface treatment step of the fixed body of FIG.

도 12는 도 1의 방법에 포함되는 금속 에어로졸 나노입자 저장 단계를 나타내는 구성도이다. FIG. 12 is a block diagram illustrating a metal aerosol nanoparticle storage step included in the method of FIG. 1.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

10...피고정체 12...요철10 ... fixed body 12 ... unevenness

19...금속증기 20...1차 금속 에어로졸 나노입자19 ... metal vapor 20 ... primary metal aerosol nanoparticles

21...금속 에어로졸 응집 나노입자 22...금속 에어로졸 나노입자21.Metal aerosol nanoparticles 22.Metal aerosol nanoparticles

30...고온채널 40...금속전극30 High temperature channel 40 Metal electrode

41...스파크 50...고온로41 ... spark 50 ... high temperature furnace

51...금속 원재료 60...액체용매51 Metal raw material 60 Liquid solvent

61...금속이온액 62...히팅튜브61 Metal ion solution 62 Heating tube

63...금속분말 64...금속액적63 ... metal powder 64 ... metal droplets

71...온도조절장치 72...전극판71 Thermostat 72 Electrode plate

80...압착롤 81...점착액80 ... Compression Roll 81 ... Adhesive Liquid

90...플라즈마 91...화학제90 Plasma 91 Chemicals

92...분산용매92.Dispersed Solvent

본 발명은 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 나노 금속재료인 합금(Alloy Metal) 또는 금속복합체(Metal Composite)를 에어로졸 상태에서 생성하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing and fixing metal aerosol nanoparticles, and more particularly to a method for producing and fixing metal aerosol nanoparticles in which an alloy (Alloy Metal) or metal composite (Metal Composite), which is a nano metal material, is produced in an aerosol state. It is about.

일반적으로 전기전자재료 산업 및 에너지환경 산업 등에 있어서 나노 금속재로(합금 및 복합체)의 요구가 증대되고 있어 다양한 제조방법이 개발되고 있으나, 대부분 액상화학공정(Liquid Chemical Process) 혹은 극한 조건이 수반되는 물리화 학적 공정(Physicochemical Process Under Critical Operation Condition)에 한정되고 있다.In general, the demand for nano metal materials (alloys and composites) is increasing in the electrical and electronic materials industry and the energy environment industry, but various manufacturing methods have been developed, but most of them have a liquid chemical process or physical conditions with extreme conditions. It is restricted to chemical processes under critical operation conditions.

그런데 상술한 바와 같은 종래의 경우, 액상 화학공정 또는 임계조건에 기반한 공정이 반드시 수반되어야 하므로 공정이 복잡하고 고비용이 소모될 뿐만 아니라, 폐수, 폐기물 등의 유해성분이 발생되어 친환경적이지 못함은 물론이며, 연속적인 처리 및 대면적 조건의 처리에 한계가 있는 문제점이 있다.However, in the conventional case as described above, a process based on a liquid chemical process or a critical condition must be accompanied, so that the process is not only complicated and expensive, but also harmful substances such as wastewater and waste are not environmentally friendly. There is a problem that there is a limit in the processing of continuous processing and large area conditions.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 건식 에어로졸 상태에서 연속적 공정으로 금속 에어로졸 나노입자를 생성함에 따라 공정이 간단하고 폐수 또는 폐기물과 같은 유해성분이 배출되지 않아 친환경적이고 대면적 처리가 용이한 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention was created in order to solve the above-mentioned problems, the process is simple, as the metal aerosol nanoparticles are produced in a continuous process in a dry aerosol state, and the harmful components such as waste water or waste are not discharged, and it is easy to be environmentally friendly and large area treatment. It is an object of the present invention to provide a method for producing and fixing a metal aerosol nanoparticles.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허청구범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.Other objects and advantages of the invention will be described below and will be appreciated by the embodiments of the invention. Furthermore, the objects and advantages of the present invention can be realized by means and combinations indicated in the claims.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법은, 단성분, 이성분 또는 다성분의 1차 금속 에어로졸 나노입자를 생성하는 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계; 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자가 온도구배가 있는 고온채널에서 서로 충돌에 의해 응집되어 금속 에어로졸 응집 나노입자로 전환된 후 열처리되어 하나의 금속 에어로졸 나노입자로 형성되는 응집 및 열처리 단계; 및 상기 응집 및 열처리된 금속 에어로졸 나노입자를 피고정체에 고정하는 금속 에어로졸 나노입자 고정단계를 포함한다.Metal aerosol nanoparticle generation and fixing method of the present invention for achieving the above object, the primary metal aerosol nanoparticle generation step of producing a monocomponent, bicomponent or multicomponent primary metal aerosol nanoparticles; An agglomeration and heat treatment step in which the primary metal aerosol nanoparticles are agglomerated by collision with each other in a high temperature channel having a temperature gradient, converted into metal aerosol agglomerated nanoparticles, and then heat treated to form one metal aerosol nanoparticles; And a metal aerosol nanoparticle fixing step of fixing the agglomerated and heat treated metal aerosol nanoparticles to a fixed body.

또한, 본 발명은 상기 응집 및 열처리 단계 이후에는, 상기 응집 및 열처리된 금속 에어로졸 나노입자를 포집하여 분산용매에 현탁시키는 동시에 상기 분산용매로부터 상기 비활성 기체 또는 질소를 휘발 제거시키는 금속 에어로졸 나노입자 저장 단계를 더 포함하며, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계는, 상기 저장된 금속 에어로졸 나노입자를 상기 피고정체에 분무 고정할 수 있다.In addition, the present invention, after the agglomeration and heat treatment step, the metal aerosol nanoparticles storage step of collecting and suspending the agglomerated and heat-treated metal aerosol nanoparticles in a dispersion solvent while the volatilization of the inert gas or nitrogen from the dispersion solvent. Further comprising, the metal aerosol nanoparticle fixing step, the stored metal aerosol nanoparticles may be spray fixed to the fixed body.

그리고, 본 발명은 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계 이전에, 상기 피고정체에 플라즈마 표면처리 또는 화학제 도포를 통해 피고정체에 요철을 생성시키는 피고정체 표면처리 단계; 및 상기 금속 에어로졸 나노입자가 고정 단계 이후, 상기 피고정체를 가열압착하는 피고정체 가열 압착 단계를 더 포함할 수 있다.And, before the fixing step of the metal aerosol nanoparticles, the surface of the fixed surface by the surface treatment step of generating irregularities in the fixed body through the plasma surface treatment or chemical application to the fixed body; And after the fixing step of the metal aerosol nanoparticles, the fixed body heat-compression step of heat-compressing the fixed body may further comprise a.

또한, 본 발명은 상기 응집 및 열처리 단계 이후에 상기 금속 에어로졸 나노입자에 점착액이 분무 혼합되거나, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계 이전에 상기 피고정체에 점착액이 도포되거나, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계 이후에 금속 에어로졸 나노입자가 고정된 피고정체에 점착액이 도포되는 부착개선제 처리 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the present invention, the adhesive liquid is spray-mixed to the metal aerosol nanoparticles after the agglomeration and heat treatment step, the adhesive liquid is applied to the fixed body before the metal aerosol nanoparticles fixing step, or the metal aerosol nanoparticles fixing After the step may further comprise an adhesion improver treatment step of applying a pressure-sensitive adhesive liquid to the fixed body to which the metal aerosol nanoparticles are fixed.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가 장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적인 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in this specification and claims should not be construed as being limited to the common or dictionary meanings, and the inventors should properly introduce the concept of terms to explain their own invention in the best way possible. It should be interpreted as meanings and concepts in accordance with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments described in the specification and the drawings shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various modifications that can be replaced at the time of the present application It should be understood that there may be equivalents and variations.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법의 흐름도, 도 2 내지 도 5는 도 1의 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계에 관한 제1실시예 내지 제4실시예를 나타내는 구성도, 도 6 내지 도 8b는 도 1의 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계에 관한 제1실시예 내지 제3실시예를 나타내는 구성도이다.1 is a flow chart of a method for producing and fixing metal aerosol nanoparticles according to an embodiment of the present invention, Figures 2 to 5 are the first to fourth embodiments of the first metal aerosol nanoparticle generation step of Figure 1 6 to 8b are diagrams illustrating first to third embodiments of the metal aerosol nanoparticle fixing step of FIG. 1.

또한, 도 9는 도 1의 가열 압착 단계를 나타내는 구성도, 도 10a 내지 도 10c는 도 1의 방법에 포함되는 부착개선제 처리 단계에 관한 제1실시예 내지 제3실시예를 나타내는 구성도, 도 11a 내지 도 11b는 도 1의 피고정체 표면처리 단계를 나타내는 구성도, 도 12는 도 1의 방법에 포함되는 금속 에어로졸 나노입자 저장 단계를 나타내는 구성도이다. FIG. 9 is a configuration diagram showing the heat pressing step of FIG. 1, and FIGS. 10A to 10C are configuration diagrams showing the first to third embodiments of the adhesion improving agent treatment step included in the method of FIG. 1. 11A to 11B are schematic views showing the surface treatment of the fixed body of FIG.

이하에서는 도 1 내지 도 12를 참고로 하여, 본 발명의 실시예에 따른 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법에 관하여 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, referring to FIGS. 1 to 12, a method of generating and fixing metal aerosol nanoparticles according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail.

먼저, 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)를 생성한다(S110).First, primary metal aerosol nanoparticles 20 are generated (S110).

이러한 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계(S110)는 이하의 도 2 내지 도 5에 도시된 제1실시예 내지 제4실시예에 의해 다양한 방식으로 시행될 수 있다.The primary metal aerosol nanoparticle generation step (S110) may be performed in various ways by the first to fourth embodiments shown in FIGS. 2 to 5 below.

먼저, 도 2의 제1실시예는 금속전극(40)의 고전압 인가를 이용한 1차 금속 에어로졸 나노입자(20) 생성 방법에 관한 것으로 상세한 설명은 아래와 같다.First, the first embodiment of FIG. 2 relates to a method of generating primary metal aerosol nanoparticles 20 using high voltage application of the metal electrode 40.

먼저, 금속으로 이루어진 양 금속전극(40)에 고전압이 인가되어 스파크(41)가 발생되고, 상기 스파크(41)로 발생되는 고열에 의해 상기 금속전극(40)이 금속증기(19)로 기화된 후 응축되어 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)로 형성된다(제1a단계;1차 금속 에어로졸 나노입자 형성 단계). First, a high voltage is applied to both metal electrodes 40 made of metal to generate a spark 41, and the metal electrode 40 is vaporized into the metal vapor 19 by the high heat generated by the spark 41. It is then condensed to form the primary metal aerosol nanoparticles 20 (step 1a; primary metal aerosol nanoparticles forming step).

여기서, 상기 양 금속전극(40) 간의 간격은 0.5㎜ 내지 10㎜ 범위의 수 미리미터(㎜) 단위일 수 있다. 예를 들어 금속전극(40) 간 간격이 1mm 인 경우 2.5kV 내지 3kV의 고전압 인가시 5000℃ 내외의 고열이 발생되면서 상기 금속전극(40)이 금속증기(19)로 기화된 후 응축되어 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)로 형성될 수 있다.Here, the distance between the two metal electrodes 40 may be a unit of several millimeters (mm) in the range of 0.5mm to 10mm. For example, when the interval between the metal electrode 40 is 1mm, when a high voltage of 2.5kV to 3kV is applied, high heat is generated at about 5000 ° C., and the metal electrode 40 is vaporized with metal vapor 19 and condensed. The primary metal aerosol nanoparticles 20 may be formed.

또한, 인가되는 고전압 전원은 직류 또는 교류일 수 있고, 교류인 경우 사각파, 삼각파, 오프셋 조절 등의 상기 전원 적용예는 보다 다양할 수 있다.In addition, the applied high voltage power source may be DC or AC, and in the case of AC, the application examples of the power supply such as square wave, triangle wave, offset adjustment, and the like may be more diverse.

다음으로, 상기 양 금속전극(40) 사이에 비활성기체 또는 질소(N2)가 공급되는 동시에, 상기 공급되는 비활성기체 또는 질소의 흐름을 따라 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 고온채널(30)로 이동되게 된다(제1b단계;1차 금속 에어로졸 나노입자 이동). Next, an inert gas or nitrogen (N 2 ) is supplied between the both metal electrodes 40, and the primary metal aerosol nanoparticles 20 are heated at a high temperature channel ( 30) (step 1b; primary metal aerosol nanoparticle migration).

여기서, 상기 비활성기체 또는 질소는 주변의 다른 원소 등과의 화학 반응성이 낮은 안정적인 물질로서 추후 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)를 안정적으로 이동시킬 수 있다. 이러한 제1b단계는 상기 제1a단계가 시행되는 동안 또는 그 제1a단계 직후에 시행되어도 무방하다. In this case, the inert gas or nitrogen is a stable material having low chemical reactivity with other elements and the like, which may later stably move the primary metal aerosol nanoparticles 20. This step 1b may be performed during step 1a or immediately after step 1a.

한편, 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)는 상기 스파크(41) 발생지점에서 생성된 금속증기(19)가 스파크(41) 지점에 비해 온도가 낮은 스파크 외부 영역으로 이동되는 동안의 급격히 낮아진 온도에 의해 응축되어 1차 입자화될 수 있다.On the other hand, the primary metal aerosol nanoparticles 20 is a temperature lowered sharply while the metal vapor (19) generated at the point of the spark 41 is moved to a spark outer region where the temperature is lower than the point of the spark 41 By condensation and primary granulation.

상기 제1b단계 이후에는, 도 1과 같이, 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)를 응집 및 열처리하는 단계(S120)를 거칠 수 있다. 즉, 도 2와 같이 상기 공급된 비활성기체 또는 질소의 흐름을 따라 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 이동되는 과정 중에 온도구배가 있는 상기 고온채널(30)의 선단에서 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 서로 충돌되면서 응집되어 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)가 생성되며, 생성된 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)는 상기 고온채널(30)의 중단 또는 후단에서 열처리 되면서 하나의 금속 에어로졸 나노입자(22)로 전환되어 형성될 수 있다(S120).After the step 1b, as shown in FIG. 1, the first metal aerosol nanoparticles 20 may be coagulated and heat treated (S120). That is, the primary metal aerosol at the tip of the hot channel 30 having a temperature gradient during the process of moving the primary metal aerosol nanoparticles 20 along the flow of the supplied inert gas or nitrogen as shown in FIG. When the nanoparticles 20 collide with each other to agglomerate to produce metal aerosol agglomerated nanoparticles 21, the generated metal aerosol agglomerated nanoparticles 21 are heat treated at the end or the rear end of the hot channel 30. It may be formed by converting into aerosol nanoparticles 22 (S120).

한편, 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)의 크기는 1차적으로 기화되어 10㎚ 내외로 형성될 수 있고, 입자 간의 충돌에 의해 응집이 이루어짐에 따라 상기 1차 크기보다 큰 크기의 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)로 형성될 수 있다.On the other hand, the size of the primary metal aerosol nanoparticles 20 may be primarily vaporized to form around 10nm, the metal aerosol agglomeration of the size larger than the primary size as agglomeration is made by the collision between the particles It may be formed of nanoparticles (21).

이러한, 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 응집되어 형성된 금속 에어 로졸 응집 나노입자(21)의 크기는, 상기 공급되는 비활성기체 또는 질소의 유량 또는 유속에 따라 수 나노미터 단위에서 수백 나노미터 단위의 광범위한 입경으로 조절될 수 있다. 예를 들어, 상기 공급되는 비활성기체 또는 질소의 유량(또는 유속)이 증가되는 경우, 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)의 농도가 감소됨에 따라 입자 간의 응집현상 또한 감소되게 되고, 이러한 과정을 통해 상기 응집된 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)의 크기 또한 감소될 수 있다. 물론, 상기 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)의 입경과 밀도의 조절은 스파크 생성조건인 인가전압, 주파수, 전류, 저항, 커패시턴스값 또는 상기 비활성 기체의 종류 및 양, 스파크 전극 형상 등에 의해 변경될 수 있다.The size of the metal aerosol agglomerated nanoparticles 21 formed by agglomeration of the primary metal aerosol nanoparticles 20 may range from several nanometers to several hundred nanometers depending on the flow rate or flow rate of the inert gas or nitrogen supplied thereto. It can be adjusted to a wide range of particle sizes of the unit. For example, when the flow rate (or flow rate) of the supplied inert gas or nitrogen is increased, as the concentration of the primary metal aerosol nanoparticles 20 decreases, the aggregation phenomenon between particles also decreases. Through the agglomerated metal aerosol agglomerated nanoparticles 21 may also be reduced in size. Of course, the adjustment of the particle diameter and density of the metal aerosol agglomerated nanoparticles 21 may be changed by the spark generation condition applied voltage, frequency, current, resistance, capacitance value or the type and amount of the inert gas, the shape of the spark electrode, and the like. have.

이상과 같이, 상기 공급되는 비활성기체 또는 질소의 유량 조절에 따른 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)의 응집 크기의 제어를 통해, 사용 목적에 따른 적합한 크기의 금속 에어로졸 나노입자(22) 제조 및 공급이 가능하게 된다.As described above, through the control of the agglomeration size of the metal aerosol agglomerated nanoparticles 21 according to the flow rate of the inert gas or nitrogen to be supplied, the manufacture and supply of metal aerosol nanoparticles 22 of a suitable size according to the purpose of use It becomes possible.

한편, 도 3은 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계(S110)에 관한 제2실시예, 즉 금속 원재료(51)를 고열로 가열하는 방식을 이용한 것이다.Meanwhile, FIG. 3 uses a second embodiment of the primary metal aerosol nanoparticle generation step (S110), that is, a method of heating the metal raw material 51 at high heat.

도 3을 참고하면, 먼저 고온로(50) 내부에 주입된 금속 원재료(51)를 가열함에 따라 상기 금속 원재료(51)가 금속증기(19)로 기화된 후 응축되어 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)로 형성된다(제2a단계;1차 금속 에어로졸 나노입자 형성). 여기서, 상기 금속 원재료(51)가 기화되는 가열온도는 1000℃ 내지 2000℃ 범위일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Referring to FIG. 3, first, as the metal raw material 51 injected into the high temperature furnace 50 is heated, the metal raw material 51 is vaporized with metal vapor 19 and condensed to form primary metal aerosol nanoparticles ( 20) (step 2a; forming the primary metal aerosol nanoparticles). Here, the heating temperature at which the metal raw material 51 is vaporized may range from 1000 ° C. to 2000 ° C., but is not limited thereto.

여기서, 상기 고온로(50) 내부에 비활성기체 또는 질소(N2)가 공급되는 동시에, 상기 공급되는 비활성기체 또는 질소의 흐름을 따라 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 외부 고온채널(30)로 이동되게 된다(제2b단계;1차 금속 에어로졸 나노입자 이동). 이러한 제2b단계는 상기 제2a단계가 시행되는 동안 또는 그 제2a단계 직후에 시행되어도 무방하다.Here, an inert gas or nitrogen (N 2 ) is supplied to the inside of the high temperature furnace 50, and the primary metal aerosol nanoparticles 20 are external high temperature channels 30 along the flow of the supplied inert gas or nitrogen. (Step 2b; primary metal aerosol nanoparticle migration). This second step may be performed during step 2a or immediately after step 2a.

여기서, 상기 금속증기(19)의 응축 현상은 상기 고온로(50) 내부의 높은 온도와 외부의 낮은 온도 간 차이에 의해서 발생된다. 즉, 상기 금속증기(19)가 고온로(50) 외부의 고온채널(30)로 이동되는 과정에서 상기 온도 차이에 의해 응축되어 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)로 형성될 수 있다.Here, the condensation phenomenon of the metal vapor 19 is generated by the difference between the high temperature inside the high temperature furnace 50 and the low temperature outside. That is, the metal vapor 19 may be formed as primary metal aerosol nanoparticles 20 by being condensed by the temperature difference in the process of moving to the high temperature channel 30 outside the high temperature furnace 50.

상기 제2b단계 이후에는, 도 1과 같이 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)를 응집 및 열처리하는 단계(S120)를 거칠 수 있다. 즉, 도 3과 같이 상기 공급된 비활성기체 또는 질소의 흐름을 따라 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 고온로(50) 외부로 이동되는 과정 중에 온도구배가 있는 상기 고온채널(30)의 선단에서 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 서로 충돌되면서 응집되어 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)가 생성되며, 생성된 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)는 상기 고온채널(30)의 중단 또는 후단에서 열처리 되면서 하나의 금속 에어로졸 나노입자(22)로 전환되어 형성될 수 있다(S120).After the step 2b, as shown in FIG. 1, the primary metal aerosol nanoparticles 20 may be coagulated and heat treated (S120). That is, as shown in FIG. 3, the primary metal aerosol nanoparticles 20 move along the outside of the high temperature furnace 50 along the flow of the supplied inert gas or nitrogen. At the front end, the primary metal aerosol nanoparticles 20 collide with each other to agglomerate to generate metal aerosol agglomerated nanoparticles 21, and the generated metal aerosol agglomerated nanoparticles 21 stop or stop the hot channel 30. The heat treatment at the rear end may be formed by converting into one metal aerosol nanoparticle 22 (S120).

한편, 도 4는 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계(S110)의 제3실시예, 즉 이온상태의 금속이온액(61)을 이용한 나노입자 생성 방법에 관한 것이다.Meanwhile, FIG. 4 relates to a third embodiment of the primary metal aerosol nanoparticle generation step (S110), that is, a nanoparticle generation method using the metal ion solution 61 in an ionic state.

먼저, 이온상태의 금속시약액을 액체용매(60)에 주입한 후 금속이온액으로 분무한다(제3a단계;금속이온액 분무). First, the metal reagent solution in an ionic state is injected into the liquid solvent 60 and then sprayed with the metal ionic liquid (step 3a; spraying the metal ionic liquid).

예를 들어, 상기 금속시약액은 팔라듐시약액, 백금시약액, 금시약액, 은시약액 등 즉, PdCl2, H2PtCl6, KAu(CN)2, AgNO3 등일 수 있으며, 상기 팔라듐시약액, 백금시약액, 금시약액, 은시약액 상의 금속 Pd, Pt, Au, Ag는 Pd2 +, Pt4 +, Au3 +, Ag+의 이온상태로 존재할 수 있다. For example, the metal reagent may be a palladium reagent, a platinum reagent, a gold reagent, a silver reagent, or the like, such as PdCl 2 , H 2 PtCl 6 , KAu (CN) 2 , or AgNO 3. The palladium reagent, the platinum reagent, the gold reagent, and the metal Pd, Pt, Au, Ag on the silver reagent are Pd 2 + , Pt 4 + , Au 3 + , Ag + may exist in the ionic state.

그리고, 상기 액체용매(60)는 휘발성 있는 물, 알코올, 물과 알코올의 혼합 등일 수 있으며, 이러한 상기 액체용매(60)에는 상기 금속시약액의 환원 및 분산촉진을 위한 히드라진, 알콜, 알데이드, 글루코스, 폴리비닐알코올(PVA), 폴리피롤리돈(PVP), 폴리아닐린(PA) 등의 환원 및 분산촉진제가 더 주입될 수 있다.The liquid solvent 60 may be volatile water, alcohol, a mixture of water and alcohol, and the like. The liquid solvent 60 includes hydrazine, alcohol, aldehyde, for promoting reduction and dispersion of the metal reagent solution. Reducing and dispersing accelerators such as glucose, polyvinyl alcohol (PVA), polypyrrolidone (PVP), polyaniline (PA) and the like may be further injected.

그런 다음, 상기 분무되는 금속이온액(61)이, 미리 공급된 비활성기체 또는 질소에 의해 히팅튜브(62)를 통과하며, 통과되는 과정에서 액체성분은 기화되고 금속이온이 환원되어 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)로 형성된다(제3b단계;1차 금속 에어로졸 나노입자 형성). Then, the sprayed metal ion solution 61 passes through the heating tube 62 by a pre-supplied inert gas or nitrogen, in which the liquid component is vaporized and the metal ions are reduced to reduce the primary metal aerosol. It is formed of the nanoparticles 20 (step 3b; primary metal aerosol nanoparticles formed).

즉, 상기 분무되는 금속이온액(61)은, 예를 들어 50℃ 내지 150℃의 히팅튜브(62)를 통과하는 과정에서 액체성분은 기화되고 금속이온이 환원되어 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)로 형성될 수 있다.That is, the sprayed metal ion solution 61, for example, the liquid component is vaporized and the metal ion is reduced in the course of passing through the heating tube 62 of 50 ℃ to 150 ℃ primary metal aerosol nanoparticles (20) It can be formed into).

다음으로, 상기 공급된 비활성기체 또는 질소(N2)의 흐름을 따라 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 고온채널(30)로 이동되게 된다(제3c단계;1차 금속 에어로졸 나노입자 이동). 이러한 제3c단계는 상기 제3b단계가 시행되는 동안 또는 그 직후에 시행되어도 무방하다.Next, the primary metal aerosol nanoparticles 20 are moved to the high temperature channel 30 along the flow of the supplied inert gas or nitrogen (N 2 ) (step 3c; primary metal aerosol nanoparticle movement). ). This step 3c may be performed during or immediately after step 3b.

상기 제3c단계 이후에는, 도 1과 같이 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)를 응집 및 열처리하는 단계(S120)를 거칠 수 있다. 즉, 도 4와 같이, 상기 공급된 비활성기체 또는 질소의 흐름을 따라 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 이동되는 과정 중에 온도구배가 있는 상기 고온채널(30)의 선단에서 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 서로 충돌되면서 응집되어 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)가 생성되며, 생성된 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)는 상기 고온채널(30)의 중단 또는 후단에서 열처리 되면서 하나의 금속 에어로졸 나노입자(22)로 전환되어 형성될 수 있다(S120).After step 3c, as shown in FIG. 1, the primary metal aerosol nanoparticles 20 may be aggregated and heat treated (S120). That is, as shown in FIG. 4, the primary metal at the tip of the hot channel 30 having a temperature gradient during the process of moving the primary metal aerosol nanoparticles 20 along the flow of the supplied inert gas or nitrogen. The aerosol nanoparticles 20 collide with each other to form agglomerated metal aerosol nanoparticles 21, and the resulting metal aerosol agglomerated nanoparticles 21 are heat treated at the end or the rear end of the hot channel 30. The metal aerosol may be converted to the nanoparticles 22 to be formed (S120).

마지막으로, 도 5는 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계(S110)의 제4실시예, 즉 기 생성된 금속분말(63)을 이용한 에어로졸 나노입자 생성 방식에 관한 것이다.Finally, FIG. 5 relates to a fourth embodiment of the primary metal aerosol nanoparticle generation step (S110), that is, aerosol nanoparticle generation method using the pre-generated metal powder 63.

도 5를 참고하면, 먼저 1차 크기의 나노입자로 이루어진 금속분말(63)을 액체용매(60)에 주입한 후 금속액적(64)으로 분무한다(제4a단계;금속액적 분무)Referring to FIG. 5, first, a metal powder 63 composed of nanoparticles having a primary size is injected into a liquid solvent 60 and then sprayed with a metal droplet 64 (step 4a; metal droplet spray).

다음으로, 상기 분무되는 금속액적(64)이, 미리 공급된 공기, 비활성기체 또는 질소에 의해 히팅튜브(62)를 통과하는 과정에서 액체성분이 기화되어 금속입자만 남음으로써 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)로 형성된다(제4b단계;1차 금속 에어로졸 나노입자 형성). Next, the liquid metal is vaporized in the process of passing through the heating tube 62 by the pre-supplied air, inert gas or nitrogen, leaving only the metal particles, so that the primary metal aerosol nanoparticles are sprayed. 20 (step 4b; forming primary metal aerosol nanoparticles).

즉, 상기 분무되는 금속액적(64)은, 예를 들어 50℃ 내지 150℃의 히팅튜 브(62)를 통과하는 과정에서 액체성분이 기화되어 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)로 형성될 수 있다.That is, the sprayed metal droplets 64 may be formed as primary metal aerosol nanoparticles 20 by evaporating a liquid component in the course of passing through a heating tube 62 of 50 ° C. to 150 ° C., for example. have.

여기서도, 상기 액체용매(60)는 휘발성 있는 물, 알코올 등일 수 있고, 상기 액체용매(60)에는 상기 금속분말(63)의 분산촉진을 위한 폴리비닐알코올(PVA), 폴리피롤리돈(PVP), 폴리아닐린(PA)와 같은 분산촉진제가 더 주입될 수 있다.Here, the liquid solvent 60 may be volatile water, alcohol, or the like, and the liquid solvent 60 may include polyvinyl alcohol (PVA), polypyrrolidone (PVP), and polyaniline to promote the dispersion of the metal powder 63. Dispersing accelerators such as (PA) may be further injected.

상기 제4b단계 이후, 상기 공급된 공기, 비활성기체 또는 질소(N2)의 흐름을 따라 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 고온채널(30)로 이동되게 된다(제4c단계;1차 금속 에어로졸 나노입자 이동). 이러한 제4c단계는 상기 제4b단계가 시행되는 동안 또는 그 직후에 시행되어도 무방하다.After the fourth step, the primary metal aerosol nanoparticles 20 are moved to the hot channel 30 along the flow of the supplied air, inert gas, or nitrogen (N 4 ); Metal aerosol nanoparticle migration). This step 4c may be performed during or immediately after step 4b.

상기 제4c단계 이후에는, 도 1과 같이 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)를 응집 및 열처리하는 단계(S120)를 거칠 수 있다. 즉, 도 5와 같이, 상기 공급된 공기, 비활성기체 또는 질소의 흐름을 따라 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 이동되는 과정 중에 온도구배가 있는 상기 고온채널(30)의 선단에서 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 서로 충돌되면서 응집되어 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)가 생성되며, 생성된 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)는 상기 고온채널(30)의 중단 또는 후단에서 열처리 되면서 하나의 금속 에어로졸 나노입자(22)로 전환되어 형성될 수 있다(S120).After the fourth step, as shown in FIG. 1, the primary metal aerosol nanoparticles 20 may be agglomerated and heat treated (S120). That is, as shown in FIG. 5, the first metal aerosol nanoparticles 20 are moved along the flow of the supplied air, inert gas, or nitrogen. As the secondary metal aerosol nanoparticles 20 collide with each other, the metal aerosol agglomerated nanoparticles 21 are generated, and the generated metal aerosol agglomerated nanoparticles 21 are heat-treated at the stop or the rear end of the hot channel 30. One metal aerosol may be converted into nanoparticles 22 to be formed (S120).

물론 이상과 같은 도 3 내지 도 5의 제2실시예 내지 제4실시예의 경우에 있어서도, 응집되는 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)의 크기는 앞서 제1실시예에서 와 설명한 바와 같은 원리 즉, 상기 공급되는 비활성기체 또는 질소의 유량 또는 유속에 따라 수 나노미터 단위에서 수백 나노미터 단위의 광범위한 입경으로 조절될 수 있다. Of course, in the case of the second to fourth embodiments of FIGS. 3 to 5 as described above, the size of the agglomerated metal aerosol agglomerated nanoparticles 21 is the same as that described in the first embodiment, that is, the Depending on the flow rate or flow rate of the inert gas or nitrogen supplied, it can be adjusted to a wide range of particle diameters from several nanometers to several hundred nanometers.

이상과 같은 도 2 내지 도 5의 4가지 실시예에 사용된 상기 금속의 재질은 Pd(팔라듐), Ni(니켈), Cu(구리), Fe(철), Ag(은), Au(금), Pt(백금), Co(코발트), 탄소(C), Nb(니오브), Al(알루미늄), Mg(마그네슘), Y(이트륨) 중 선택된 하나 또는 그 이상의 조합에 의해 이루어질 수 있다.The material of the metal used in the four embodiments of Figures 2 to 5 as described above is Pd (palladium), Ni (nickel), Cu (copper), Fe (iron), Ag (silver), Au (gold) , Pt (platinum), Co (cobalt), carbon (C), Nb (niob), Al (aluminum), Mg (magnesium), Y (yttrium).

여기서, 상기 금속이 상기 선택된 하나로 이루어지는 경우, 생성된 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)는 순금속 형태일 수 있고, 상기 선택된 적어도 하나 이상의 조합인 경우, 합금형태, 또는 순금속과 합금이 혼합된 금속복합체 형태일 수 있다.Here, when the metal is made of the selected one, the produced primary metal aerosol nanoparticles 20 may be in the form of a pure metal, and in the case of the selected at least one combination, an alloy form, or a metal complex in which the pure metal and the alloy are mixed It may be in the form.

또한, 상술한 비활성기체는 아르곤(Ar), 헬륨(He), 네온(Ne), 크립톤(Kr), 크세논(Xe), 라돈(Ra) 등일 수 있다. In addition, the inert gas may be argon (Ar), helium (He), neon (Ne), krypton (Kr), xenon (Xe), radon (Ra) and the like.

이상과 같은 도 2 내지 도 5와 같은 방법에 의한 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계(S110) 이후에는, 앞서 도 2 내지 도 5의 4가지 실시예에서 상술한 바와 같이, 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 고온채널(30)의 선단에서 서로 충돌에 의해 응집되어 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)로 전환된 후 고온채널(30)의 중단 또는 후단에서 열처리 됨에 따라 하나의 금속 에어로졸 나노입자(22)로 형성된다(S120).After the primary metal aerosol nanoparticle generation step (S110) by the method as shown in Figures 2 to 5 as described above, as described above in the four embodiments of Figures 2 to 5, the primary metal aerosol nano Particles 20 are agglomerated by collision with each other at the front end of the high-temperature channel 30 is converted to the metal aerosol agglomerated nanoparticles 21 and then one metal aerosol nanoparticles as the heat treatment at the end or the rear end of the high-temperature channel 30 It is formed of 22 (S120).

여기서, 상기 고온채널(30)의 전단, 중단 또는 후단은, 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 히팅튜브(30)를 통과하는 과정을 시간적 흐름으로 구분하고 또한 설명의 편의를 구하고자 한 것이나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 고온채널(30)을 통과하면서 서로 충돌 및 응집된 후 하나의 금속 에어로졸 나노입자(22)로 형성되는 어떠한 경우라도 무관하다.Here, the front end, the interruption or the rear end of the high temperature channel 30 is intended to distinguish the process of passing the primary metal aerosol nanoparticles 20 through the heating tube 30 in time flow and seek convenience for explanation. However, the present invention is not limited thereto, and the first metal aerosol nanoparticles 20 may be formed as one metal aerosol nanoparticles 22 after they collide and aggregate with each other while passing through the high temperature channel 30.

한편, 도 2를 예를 들면, 상술한 바와 같이 5000℃ 정도의 고온이 발생되는 스파크(41) 영역 부분을 제외한 외부 영역의 온도는 스파크 영역에 비해 상대적으로 낮은 온도특성을 가지며, 이러한 조건에서 상기 금속증기(19)는 순금속 상태, 합금상태, 또는 다금속 성분이 혼재된 증기상태로 응축되어 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)가 생성되는데, 크기가 제어된 고순도의 순금속, 합금 또는 복합체가 구현되기 위해서는 상기와 같은 응집 및 열처리가 요구된다.2, for example, as described above, the temperature of the outer region except for the portion of the spark 41 region where the high temperature of about 5000 ° C. is generated has a relatively low temperature characteristic compared to the spark region. The metal vapor 19 is condensed in a pure metal state, an alloy state, or a vapor state in which a multimetal component is mixed to generate primary metal aerosol nanoparticles 20. The pure metal, alloy, or composite of size-controlled high purity is realized. In order to achieve such aggregation and heat treatment is required.

여기서, 상기 고온채널(30)이란 선단, 중단 또는 후단 간의 온도구배가 존재하여 응집 및 열처리 수행에 적합한 고온로 등과 같이 고온의 열이 발생될 수 있는 어떠한 수단이라도 무방함은 물론이다. Here, the high temperature channel 30 may be any means capable of generating high temperature heat, such as a high temperature furnace suitable for performing agglomeration and heat treatment because there is a temperature gradient between the front end, the middle end, or the rear end.

또한, 상기 고온채널(30)에서 발생되는 고온의 열은 300℃ 내지 2000℃ 온도 범위일 수 있는데, 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)는 상기 온도범위 내에서 다양한 응집 및 소결(Sintering) 조건을 가질 수 있다. In addition, the high temperature heat generated in the high temperature channel 30 may be in the 300 ° C to 2000 ° C temperature range, the primary metal aerosol nanoparticles 20 is a variety of aggregation and sintering (Sintering) conditions within the temperature range Can have

그리고, 상기 고온채널(30)의 온도 조건은 금속 에어로졸 나노입자(22)를 이루는 금속의 종류에 따라 상기 온도범위 내에서 달리 조절되는 것도 가능하다.In addition, the temperature condition of the high temperature channel 30 may be differently controlled within the temperature range according to the type of metal constituting the metal aerosol nanoparticles 22.

한편, 이상과 같은 응집 및 열처리 단계(S120)에 따르면, 상기 비활성 기체 또는 질소의 유동을 따라 이동되는 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)는 도 2와 같이 고온채널(30) 선단에서 대부분이 어느 정도 응집되어 불균일한 포도송이 형태의 응 집체 입자(Aggregated Particles) 즉, 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)로 존재하는데, 이러한 금속 에어로졸 응집 나노입자(21)가 고온채널(30)의 선단 이후의 영역에서 고온에 의해 순금속, 합금 또는 복합체의 결정성이 개선되는 동시에 비교적 구형(Spherical Shape)에 가까운 균일한 형상의 금속 에어로졸 나노입자(22)로 전환될 수 있다.On the other hand, according to the agglomeration and heat treatment step (S120) as described above, the primary metal aerosol nanoparticles 20 that are moved along the flow of the inert gas or nitrogen, as shown in FIG. Aggregated particles in the form of unevenly aggregated particles are present as Aggregated Particles, that is, metal aerosol aggregated nanoparticles 21, which are areas after the tip of the hot channel 30. The high temperature at can improve the crystallinity of pure metals, alloys or composites and at the same time convert them into relatively uniform spherical shape metal aerosol nanoparticles 22.

여기서, 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자(20)를 이동시키는 유체인 비활성 기체 또는 질소는 상기와 같은 고온채널(30)의 고온 조건에서 금속 에어로졸 나노입자(22)와 반응되지 않으므로 상술한 순금속, 합금 또는 복합체의 결정성 개선에 기여할 수 있다.Here, the inert gas or nitrogen, which is a fluid for moving the primary metal aerosol nanoparticles 20, does not react with the metal aerosol nanoparticles 22 in the high temperature condition of the high temperature channel 30 as described above. Or to improve crystallinity of the complex.

한편, 이상과 같은 응집 및 열처리 단계(S120) 이후에는, 상기 응집 및 열처리된 금속 에어로졸 나노입자(22)를 피고정체(10)에 고정한다(S140).On the other hand, after the aggregation and heat treatment step (S120) as described above, the agglomerated and heat-treated metal aerosol nanoparticles 22 are fixed to the fixed body (10) (S140).

여기서 상기 피고정체(10)는 초소형 집적 기술분야 등의 각종 소자 제작에 이용되는 회로기판일 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다.Here, the pinned body 10 may be a circuit board used for manufacturing various devices such as a micro integrated technology, but is not limited thereto.

이러한 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계(S140)는 이하의 도 6 내지 도 8b에 도시된 제1실시예 내지 제3실시예에 의한 다양한 방식으로 시행 가능하다.The metal aerosol nanoparticle fixing step (S140) may be implemented in various ways according to the first to third embodiments shown in FIGS. 6 to 8b below.

먼저, 도 6의 제1실시예는 충돌 고정, 즉 상기 생성된 금속 에어로졸 나노입자(22)를 상기 피고정체(10)에 충돌시켜 고정하는 방법이다. 여기서, 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)는 비활성 기체 또는 질소의 흐름을 따라 이동되어 자연 충돌될 수 있고 또한 별도의 외부 풍력에 의해 충돌될 수 있다.First, the first embodiment of FIG. 6 is a method of collision fixation, that is, fixing the generated metal aerosol nanoparticles 22 by colliding with the fixed body 10. Here, the metal aerosol nanoparticles 22 may be moved along the flow of inert gas or nitrogen and collide with each other, or may be collided by a separate external wind power.

한편, 상기 피고정체(10)가 다공성 기판인 경우는, 피고정체(10)에 상기 금 속 에어로졸 나노입자(22)가 충돌, 차단 및 확산에 의해 고정됨과 동시에, 상기 비활성기체 또는 질소 등의 기체성분은 기판의 다공을 통해 외부로 이탈될 수 있다.Meanwhile, when the fixed body 10 is a porous substrate, the metal aerosol nanoparticles 22 are fixed to the fixed body 10 by collision, blocking, and diffusion, and the inert gas or gas such as nitrogen is fixed. The component may escape to the outside through the pores of the substrate.

다음, 도 7의 제2실시예는 열영동 현상을 이용한 방법, 즉 온도조절장치(71)에 의해 상기 피고정체(10)의 온도를 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)의 온도에 비해 낮은 온도로 조절하는 것에 의해 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)를 상기 피고정체(10)로 자동 이동을 유도하여 고정하는 방법에 관한 것이다.Next, the second embodiment of FIG. 7 uses a thermophoretic phenomenon, that is, the temperature of the fixed body 10 is lower than that of the metal aerosol nanoparticles 22 by the temperature controller 71. The present invention relates to a method of inducing and fixing the metal aerosol nanoparticles 22 to the fixed body 10 by adjusting.

그리고, 도 8a 내지 도 8b의 제3실시예는 전극판(72)에 형성되는 전기장을 이용한 방법, 즉 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)를 양전하(도8a의 경우) 또는 음전하(도8b의 경우)로 대전시킨 후 전원이 인가되는 양 전극판(72) 사이의 피고정체(10)로 이동시켜 상기 양 전극판(72) 중 일 전극판(72)과 상기 양전하(도8a의 경우) 또는 음전하(도8b의 경우) 간의 인력작용을 이용하여 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)를 상기 피고정체(10)로 이동 유도하여 고정하는 방법이다.8A to 8B illustrate a method using an electric field formed on the electrode plate 72, that is, the metal aerosol nanoparticles 22 are positively charged (in the case of FIG. 8A) or negatively charged (in the case of FIG. 8B). After charging to the positive electrode (72) between the positive electrode (72) and the positive electrode (in the case of Figure 8a) and the positive electrode (72) In the case of FIG. 8B, the metal aerosol nanoparticles 22 are induced and fixed to the fixed body 10 by using attraction force between them.

이상과 같이 본 발명에 따르면, 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)를 피고정체(10)에 고정하기 위한 도 7 내지 도 8b의 다양한 방법을 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, various methods of FIGS. 7 to 8B for fixing the metal aerosol nanoparticles 22 to the fixed body 10 may be provided.

한편, 이상과 같은 본 발명은, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계(S140) 이전에, 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)의 고정 효율을 증강시키기 위하여, 도 11a 또는 도 11b와 같은 방법으로 시행되는 피고정체 표면처리 단계(S130)를 더 포함할 수 있다. On the other hand, the present invention as described above, before the metal aerosol nanoparticle fixing step (S140), in order to enhance the fixing efficiency of the metal aerosol nanoparticles 22, the defendant is carried out in the same manner as in Fig. 11a or 11b It may further comprise a stagnation surface treatment step (S130).

즉, 도금 대상인 상기 피고정체(10)에 도 11a와 같은 플라즈마(90) 표면처리 처리 또는 도 11b와 같은 화학제(91) 도포를 통해 상기 피고정체(10)의 일부 표면 이 떨어져 나감에 따라 요철(12)을 생성시킬 수 있으며, 상기 요철(12)에 의한 충돌, 차단 및 확산에 의해 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)의 고정력 및 고정효율을 증강시킬 수 있다. That is, as the surface of the pinned object 10 is separated by the surface treatment of the plasma 90 as shown in FIG. 11A or the application of the chemical agent 91 as shown in FIG. 11B to the pinned object 10 to be plated. (12) can be generated, and the fixing force and the fixing efficiency of the metal aerosol nanoparticles 22 can be enhanced by collision, blocking, and diffusion caused by the unevenness 12.

여기서, 상기 화학제(91)는 강산 또는 강염기 성질의 제재일 수 있으며, 예를 들면 수산화나트륨(NaOH), 질산(HNO3), 염산(HCl), 황산(H2SO4) 등일 수 있다.Here, the chemical agent 91 may be a strong acid or strong base material, for example, sodium hydroxide (NaOH), nitric acid (HNO 3 ), hydrochloric acid (HCl), sulfuric acid (H 2 SO 4 ) and the like.

물론, 이러한 피고정체 표면처리 단계(S130)는 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계(S130) 이전의 단계라면 어떠한 시점에 적용되어도 무방하다.Of course, this fixed surface treatment step (S130) may be applied at any point if the step before the metal aerosol nanoparticles fixing step (S130).

한편, 본 발명에 따르면, 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)가 상기 피고정체(10)에 고정되는 경우, 고정력 즉 부착 개선을 위한 도 10a 내지 도 10c와 같은 부착 개선제 처리 단계를 더 포함할 수 있다.On the other hand, according to the present invention, when the metal aerosol nanoparticles 22 are fixed to the fixed body 10, it may further include an adhesion improving agent treatment step as shown in Figure 10a to 10c for fixing force, that is, adhesion improvement. .

도 10a의 경우는, 응집 및 열처리 단계(S120) 이후에 상기 생성된 금속 에어로졸 나노입자(22)에 점착액(81)이 분무 혼합되는 방식으로서, 추후 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계(S140)에서 금속 에어로졸 나노입자(22)와 상기 점착액(81)의 혼합성분이 상기 피고정체(10)에 함께, 즉 동시 고정되도록 하는 방법이다.In the case of Figure 10a, after the agglomeration and heat treatment step (S120), the adhesive solution 81 is spray-mixed to the generated metal aerosol nanoparticles 22, the metal aerosol nanoparticles fixing step (S140) The mixed component of the aerosol nanoparticles 22 and the adhesive liquid 81 is fixed to the fixed body 10, that is, a method of simultaneously fixing.

도 10b의 경우는, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계(S140) 이전에 상기 피고정체(10)에 점착액(81)이 도포되는 경우로서, 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)가 고정되기 전에 미리 피고정체(10)에 점착액(81)을 도포하며 추후 고정되는 금속 에어로졸 나노입자(22)의 고정력을 증강시키기 위함이다.In the case of FIG. 10B, the adhesive liquid 81 is applied to the fixed body 10 before the fixing of the metal aerosol nanoparticles (S140), before the metal aerosol nanoparticles 22 are fixed. The purpose of the present invention is to enhance the fixing force of the metal aerosol nanoparticles 22 which is applied after the adhesive liquid 81 is applied to the stagnation 10.

도 10c의 경우는, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계(S140) 이후에 금 속 에어로졸 나노입자(22)가 부착되어 고정된 피고정체(10)에 점착액(81)을 도포하는 경우로서, 금속 에어로졸 나노입자(22)가 이미 부착된 피고정체(10) 상에 점착액(81)을 도포하여 고정력을 증강시키는 방법이다. In the case of Figure 10c, after the metal aerosol nanoparticles fixing step (S140) of the metal aerosol nanoparticles (22) is attached to the adhesive liquid 81 is applied to the fixed body (10), the metal aerosol It is a method of enhancing the fixing force by applying the adhesive liquid 81 on the fixed body 10 to which the nanoparticles 22 are already attached.

이러한 도 10a 내지 도 10c에서 처리되는 상기 점착액(81)은 분무되기 좋도록 물에 용해된 상태의 점착성 있는 폴리머 수지 등의 물질일 수 있으나, 기재되지 않은 점착성 있는 어떠한 물질이라도 가능하다.10A to 10C, the adhesive solution 81 may be a material such as a tacky polymer resin dissolved in water so as to be sprayed, but any adhesive material not described may be used.

한편, 본 발명에 따르면, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계(S140) 이후, 도 9의 압착롤(80)을 이용한 롤링 방식을 통해 상기 피고정체(10)를 가열 압착하는 피고정체 가열 압착 단계(S150)를 더 포함할 수 있다. On the other hand, according to the present invention, after fixing the metal aerosol nanoparticles (S140), the fixed body heat-compression step of heat-compressing the fixed body 10 through a rolling method using the pressing roll 80 of Figure 9 (S150) ) May be further included.

여기서 상기 가열 압착에 관한 온도 조건은 상온 이상의 온도일 수 있으며, 상기 온도 조건의 상한점은 상기 피고정체(10)의 종류에 따라 상이할 수 있는데, 즉 피고정체(10)의 변형이 발생되지 않는 온도라면 가능하다. 물론, 상기 피고정체(10)의 종류뿐만 아니라 상기 부착개선제, 금속 에어로졸 나노입자(22)의 성질 변형을 발생시키지 않는 온도인 것이 바람직하다.Here, the temperature condition for the hot pressing may be a temperature higher than or equal to room temperature, and the upper limit of the temperature condition may be different depending on the type of the fixed object 10, that is, the deformation of the fixed object 10 does not occur. Temperature is possible. Of course, it is preferable that not only the kind of the fixed body 10 but also the temperature at which the deformation of the adhesion improving agent and the metal aerosol nanoparticles 22 do not occur.

상기 피고정체 가열 압착 단계(S150)에 따르면, 상기 고정된 금속 에어로졸 나노입자(22)의 고정력을 더욱 증강시킬 뿐 아니라 가열로 인한 열기로 인하여 수분 등의 각종 불순물이 휘발되어 제거되는 효과가 있다.According to the fixed heat-compression step (S150), the fixing force of the fixed metal aerosol nanoparticles 22 is further enhanced, and various impurities such as moisture are volatilized and removed due to heat due to heating.

한편, 본 발명에 따르면, 상기 금속 에어로졸 나노입자 응집 및 열처리 단계(S120) 이후에는, 도 12와 같이 상기 응집 및 열처리된 금속 에어로졸 나노입자(22)를 포집하여 분산용매(92)에 현탁시키는 동시에 상기 분산용매(92)로부터 상 기 비활성 기체 또는 질소를 휘발 제거시키는 금속 에어로졸 나노입자(22) 저장 단계를 더 포함할 수 있다.On the other hand, according to the present invention, after the agglomeration and heat treatment step (S120) of the metal aerosol nanoparticles, the agglomerated and heat-treated metal aerosol nanoparticles 22 as shown in Figure 12 and at the same time suspended in a dispersion solvent 92 The method may further include storing the metal aerosol nanoparticles 22 which volatilizes the inert gas or nitrogen from the dispersion solvent 92.

즉, 도 12를 참고하면, 상기 열처리된 금속 에어로졸 나노입자(22)를 유입관(93)을 통해 특정 용기(容器) 내부로 포집시킨 후, 상기 포집된 금속 에어로졸 나노입자(22)를 용기 내부의 분산용매(92)에 현탁 및 분산시킨다. 여기서, 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)를 이동시키는 상기 비활성 기체 또는 질소의 일부 또한 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)와 함께 포집됨은 물론이다.That is, referring to FIG. 12, after the heat treated metal aerosol nanoparticles 22 are collected into a specific container through the inlet tube 93, the collected metal aerosol nanoparticles 22 are collected in the container. It is suspended and dispersed in the dispersion solvent 92 of. Here, a portion of the inert gas or nitrogen that moves the metal aerosol nanoparticles 22 is also collected together with the metal aerosol nanoparticles 22.

그리고, 상기 유입관(93)에 별도의 흡입기구가 설치되는 경우에는, 금속 에어로졸 나노입자(22)를 흡입 방식에 의해 용기 내부로 포집할 수 있다.In addition, when a separate suction mechanism is installed in the inlet pipe 93, the metal aerosol nanoparticles 22 may be collected into the container by a suction method.

상기 분산용매(92)는 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)의 엉김 방지를 위한 즉, 분산촉진을 위한 폴리비닐알코올(PVA), 폴리피롤리돈(PVP), 폴리아닐린(PA) 등과 같은 분산촉진제일 수 있다.The dispersion solvent 92 may be a dispersion accelerator such as polyvinyl alcohol (PVA), polypyrrolidone (PVP), polyaniline (PA), or the like, for preventing agglomeration of the metal aerosol nanoparticles 22. .

한편, 상기 포집된 금속 에어로졸 나노입자(22)가 분산용매(92)에 현탁되는 동시에, 금속 에어로졸 나노입자(22)와 함께 포집된 상기 비활성 기체 또는 질소는 용기 상부의 통공(94)을 통해 휘발되어 제거될 수 있다.Meanwhile, the collected metal aerosol nanoparticles 22 are suspended in the dispersion solvent 92, and the inert gas or nitrogen collected together with the metal aerosol nanoparticles 22 is volatilized through the through hole 94 in the upper portion of the container. Can be removed.

이상과 같이, 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)를 분산용매(92)에 현탁시켜 저장하는 것은, 추후 금속 에어로졸 나노입자(22)가 상기 피고정체(10)와 같은 특정 부위에 분무 또는 분사되어 사용되는데 적합하도록 보관하는 것을 의미한다.As described above, the metal aerosol nanoparticles 22 are suspended and stored in the dispersion solvent 92, and the metal aerosol nanoparticles 22 are sprayed or sprayed on a specific part such as the fixed body 10 later. It means storing it properly.

즉, 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)의 현탁 저장 이후, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계(S140)에서, 상기 저장된 금속 에어로졸 나노입자(22)를 피 고정체(10)에 분무 방식으로 고정할 수 있다.That is, after suspension storage of the metal aerosol nanoparticles 22, in the fixing step of the metal aerosol nanoparticles (S140), the stored metal aerosol nanoparticles 22 may be fixed by spraying to the fixture 10. have.

이상과 같은 본 발명에 따르면, 금속 에어로졸 나노입자(22)를 에어로졸 상태에서 건식방법에 의해 제조함에 따라 기존과 같은 폐수 또는 폐기물 발생 등의 문제점이 없어 친환경적이며, 다양하고 복잡한 피고정체(10)의 형상에 구애받지 않는 이점이 있고, 연속적인 공정이 가능하므로 공정의 고속화가 가능하다.According to the present invention as described above, since the metal aerosol nanoparticles 22 are manufactured by the dry method in the aerosol state, there is no problem such as waste water or waste generation as in the prior art, which is environmentally friendly, and various and complex of the fixed body 10 There is an advantage regardless of the shape, and since the continuous process is possible, the speed of the process is possible.

뿐만 아니라, 전도성 있는 물질에 관해서는 모두 나노합금화 또는 금속 복합체화를 수행할 수 있고, 발생 특성의 제어를 단순한 전기적 또는 유체역학적 방법만으로 조절하여 공정이 용이하며, 다양한 입경분포를 갖는 금속 에어로졸 나노입자(22)의 형성이 가능하다.In addition, all conductive materials can be nanoalloyed or metal complexed, and the control of the generation characteristics can be easily controlled by simple electrical or hydrodynamic methods, and the metal aerosol nanoparticles having various particle size distributions can be used. (22) can be formed.

한편, 본 발명에 의해 생성된 상기 금속 에어로졸 나노입자(22)는, 상기 응집 및 열처리 단계(S120)시 고온채널(30) 내에 산소가 투입되는 경우, 상기 산소와 결합된 형태의 금속 산화물 에어로졸 나노입자로 개질 변경되는 것 또한 가능하다.On the other hand, the metal aerosol nanoparticles 22 produced by the present invention, when oxygen is introduced into the hot channel 30 during the agglomeration and heat treatment step (S120), the metal oxide aerosol nano-type combined with the oxygen It is also possible to modify the particles into particles.

또한, 금속 에어로졸 나노입자(22)를 피고정체(10) 전반에 대하여 대면적으로 균일하게 고정하는 것, 패턴 마스크를 이용하여 특정 부위에 특정 형상의 미세패턴형으로 고정하는 것, 특정 부분에 열, 전기, 물리적 외력을 가하여 특정 부위에 고정하는 것 등의 응용이 가능하며, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems), NEMS(Nano Electro Mechanical Systems), 나노임프린트(Nano Imprint), 나노패터닝(Nano Patterning) 등의 초소형 집적기술분야로의 응용 또한 가능하다.In addition, fixing the metal aerosol nanoparticles 22 uniformly in a large area with respect to the entire to-be-fixed body 10, fixing to a specific site | part by a micropattern shape of a specific shape using a pattern mask, and heat | fever to a specific part It can be applied to fixing to specific part by applying electric, physical and external force, and it can be applied to MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), NEMS (Nano Electro Mechanical Systems), Nano Imprint, Nano Patterning, etc. It is also possible to apply to the field of micro integrated technology.

이러한 본 발명에 따르면, 반도체, 패키징, 가전, 디지털미디어, 디스플레이 등의 전자산업분야, 환경분야, 에너지분야 등의 다양한 유관산업에 광범위하게 적 용될 수 있음은 물론이다.According to the present invention, of course, it can be widely applied to various related industries such as semiconductor, packaging, home appliances, digital media, display, electronics industry, environment, energy.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.As described above, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and is described by the person of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. Various modifications and variations are possible without departing from the scope of the appended claims.

본 발명에 따른 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법에 따르면, 금속 에어로졸 나노입자를 건식 에어로졸 상태에서 생성하므로 공정이 간단할 뿐만 아니라 폐수, 폐기물 등의 유해물질이 발생되지 않아 친환경적이며, 발생 특성의 제어를 단순한 전기적 또는 유체역학적 방법만으로 조절하여 다양한 입경분포를 갖는 금속 에어로졸 나노입자의 형성이 가능함은 물론이며, 생성된 금속 에어로졸 나노입자의 저장 및 피고정체로의 고정이 용이하므로 각종 유관산업분야에 다양하게 응용될 수 있는 이점이 있다.According to the method for producing and fixing metal aerosol nanoparticles according to the present invention, since the metal aerosol nanoparticles are produced in a dry aerosol state, the process is not only simple but also does not generate harmful substances such as waste water and waste, and is environmentally friendly, and control of generation characteristics. It is possible to form metal aerosol nanoparticles having various particle size distributions by controlling only by simple electrical or hydrodynamic methods, and it is easy to store and fix the generated metal aerosol nanoparticles to the fixed body. There is an advantage that can be applied.

Claims (11)

1차 금속 에어로졸 나노입자를 생성하는 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계; Primary metal aerosol nanoparticle generation step of producing primary metal aerosol nanoparticles; 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자가 온도구배가 있는 고온채널에서 서로 충돌에 의해 응집되어 금속 에어로졸 응집 나노입자로 전환된 후 열처리되어 하나의 금속 에어로졸 나노입자로 형성되는 응집 및 열처리 단계; 및An agglomeration and heat treatment step in which the primary metal aerosol nanoparticles are agglomerated by collision with each other in a high temperature channel having a temperature gradient, converted into metal aerosol agglomerated nanoparticles, and then heat treated to form one metal aerosol nanoparticles; And 상기 응집 및 열처리된 금속 에어로졸 나노입자를 피고정체에 고정하는 금속 에어로졸 나노입자 고정단계를 포함하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법.Method for producing and fixing metal aerosol nanoparticles comprising the step of fixing the metal aerosol nanoparticles agglomerated and heat-treated metal aerosol nanoparticles to the fixed body. 제 1항에 있어서, 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계는,The method of claim 1, wherein the primary metal aerosol nanoparticle generation step, 금속으로 이루어진 양 금속전극에 고전압이 인가되어 스파크가 발생되고, 상기 스파크로 발생되는 고열에 의해 상기 금속전극이 금속증기로 기화된 후 응축되어 1차 금속 에어로졸 나노입자로 생성되는 1차 금속 에어로졸 나노입자 형성 단계; 및High voltage is applied to both metal electrodes made of metal to generate sparks, and the first metal aerosol nano is formed as primary metal aerosol nanoparticles by condensation after the metal electrode is vaporized into metal vapor by the high heat generated by the spark. Particle formation step; And 상기 양 금속전극 사이에 공급되는 비활성기체 또는 질소의 흐름을 따라 1차 금속 에어로졸 나노입자가 상기 고온채널로 이동되는 1차 금속 에어로졸 나노입자 이동 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법.And moving the primary metal aerosol nanoparticles to move the primary metal aerosol nanoparticles to the hot channel along the flow of inert gas or nitrogen supplied between the two metal electrodes. Fixed way. 제 1항에 있어서, 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계는,The method of claim 1, wherein the primary metal aerosol nanoparticle generation step, 고온로 내부에 주입된 금속 원재료를 가열함에 따라 상기 금속 원재료가 금속증기로 기화된 후 응축되어 1차 금속 에어로졸 나노입자로 형성되는 1차 금속 에어로졸 나노입자 형성 단계;Forming a primary metal aerosol nanoparticle in which the metal raw material is vaporized with metal vapor and condensed to form primary metal aerosol nanoparticles as the metal raw material injected into the high temperature furnace is heated; 상기 고온로 내부에 공급되는 비활성기체 또는 질소의 흐름을 따라 1차 금속 에어로졸 나노입자가 상기 고온채널로 이동되는 1차 금속 에어로졸 나노입자 이동 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법.Generating and fixing the metal aerosol nanoparticles, characterized in that the primary metal aerosol nanoparticles are moved to the high temperature channel in accordance with the flow of inert gas or nitrogen supplied into the high temperature furnace. Way. 제 1항에 있어서, 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계는,The method of claim 1, wherein the primary metal aerosol nanoparticle generation step, 이온상태의 금속시약액을 액체용매에 주입한 후 금속이온액으로 분무하는 금속이온액 분무 단계;A metal ionic liquid spraying step of injecting a metal reagent in an ionic state into the liquid solvent and then spraying the metal ionic liquid with the metal ionic liquid; 상기 분무되는 금속이온액이, 공급된 비활성기체 또는 질소에 의해 히팅튜브를 통과하는 과정에서 액체성분이 기화되고 금속이온이 환원되어 1차 금속 에어로졸 나노입자로 형성되는 1차 금속 에어로졸 나노입자 형성 단계; 및Forming the primary metal aerosol nanoparticles in which the sprayed metal ion solution is vaporized through the heating tube by the supplied inert gas or nitrogen and the liquid ions are reduced to form the primary metal aerosol nanoparticles. ; And 상기 공급된 비활성기체 또는 질소의 흐름을 따라 1차 금속 에어로졸 나노입자가 상기 고온채널로 이동되는 1차 금속 에어로졸 나노입자 이동 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법.And moving the primary metal aerosol nanoparticles to the high temperature channel in accordance with the flow of the inert gas or nitrogen supplied to the primary metal aerosol nanoparticles. 제 1항에 있어서, 상기 1차 금속 에어로졸 나노입자 생성 단계는,The method of claim 1, wherein the primary metal aerosol nanoparticle generation step, 나노입자로 이루어진 금속분말을 액체용매에 주입한 후 금속액적으로 분무하는 금속액적 분무 단계;A metal droplet spraying step of injecting a metal powder composed of nanoparticles into a liquid solvent and then spraying the droplet into a metal droplet; 상기 분무되는 금속액적이, 공급된 공기, 비활성기체 또는 질소에 의해 히팅튜브를 통과하는 과정에서 액체성분이 기화되어 금속입자만 남음으로써 1차 금속 에어로졸 나노입자로 형성되는 1차 금속 에어로졸 나노입자 형성 단계; 및Forming the primary metal aerosol nanoparticles formed as primary metal aerosol nanoparticles by evaporating the liquid component in the process of passing through the heating tube by the supplied air, inert gas or nitrogen, leaving only metal particles step; And 상기 공급된 공기, 비활성기체 또는 질소의 흐름을 따라 1차 금속 에어로졸 나노입자가 상기 고온채널로 이동되는 1차 금속 에어로졸 나노입자 이동 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법.And moving the primary metal aerosol nanoparticles to the hot channel along the flow of the supplied air, inert gas, or nitrogen. 제 2항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 응집 및 열처리 단계에서 1차 금속 에어로졸 나노입자가 응집되어 형성된 금속 에어로졸 응집 나노입자의 크기는,According to any one of claims 2 to 5, The size of the metal aerosol agglomerated nanoparticles formed by agglomeration of the primary metal aerosol nanoparticles in the agglomeration and heat treatment step, 상기 공급되는 비활성기체 또는 질소의 유량 또는 유속에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법.Method for producing and fixing metal aerosol nanoparticles, characterized in that adjusted according to the flow rate or flow rate of the inert gas or nitrogen supplied. 제 2항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속은,The method according to any one of claims 2 to 5, wherein the metal, Pd(팔라듐), Ni(니켈), Cu(구리), Fe(철), Ag(은), Au(금), Pt(백금), Co(코발트), 탄소(C), Nb(니오브), Al(알루미늄), Mg(마그네슘), Y(이트륨) 중 선택된 하나 또는 그 이상의 조합에 의해 이루어진 것을 특징으로 하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법.Pd (palladium), Ni (nickel), Cu (copper), Fe (iron), Ag (silver), Au (gold), Pt (platinum), Co (cobalt), carbon (C), Nb (niobium), Method of producing and fixing metal aerosol nanoparticles, characterized in that it is made by a combination of one or more selected from Al (aluminum), Mg (magnesium), Y (yttrium). 제 2항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 응집 및 열처리 단계 이후에는,The method according to any one of claims 2 to 5, wherein after the agglomeration and heat treatment step, 상기 응집 및 열처리된 금속 에어로졸 나노입자를 포집하여 분산용매에 현탁시키는 동시에 상기 분산용매로부터 상기 비활성 기체 또는 질소를 휘발 제거시키는 금속 에어로졸 나노입자 저장 단계를 더 포함하며,A metal aerosol nanoparticle storage step of collecting and suspending the agglomerated and heat treated metal aerosol nanoparticles in a dispersion solvent, and simultaneously volatilizing and removing the inert gas or nitrogen from the dispersion solvent, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계는, 상기 저장된 금속 에어로졸 나노입자를 상기 피고정체에 분무 고정하는 것을 특징으로 하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법.The metal aerosol nanoparticle fixing step, the metal aerosol nanoparticle generation and fixing method characterized in that the sprayed fixed metal aerosol nanoparticles to the fixed body. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계는,The method of claim 1, wherein the fixing of the metal aerosol nanoparticles comprises: 상기 금속 에어로졸 나노입자를 상기 피고정체에 충돌시켜 고정하는 방법, 상기 피고정체의 온도를 상기 금속 에어로졸 나노입자의 온도에 비해 낮은 온도로 조절하는 것에 의해 상기 금속 에어로졸 나노입자를 상기 피고정체로 이동 유도하여 고정하는 방법, 또는 상기 금속 에어로졸 나노입자를 양전하 또는 음전하로 대전시킨 후 전원이 인가되는 양 전극판 사이의 피고정체로 이동시켜 상기 양 전극판 중 일 전극판과 상기 양전하 또는 음전하 간의 인력작용을 이용하여 상기 금속 에어로졸 나노입자를 상기 피고정체로 이동 유도하여 고정하는 방법 중 선택된 하나의 방법에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고 정 방법.A method of colliding the metal aerosol nanoparticles with the fixed body, and inducing the movement of the metal aerosol nanoparticles into the fixed body by adjusting the temperature of the fixed body to a temperature lower than that of the metal aerosol nanoparticles. Or the metal aerosol nanoparticles are charged with a positive or negative charge and then moved to a fixed body between the positive electrode plates to which power is applied, thereby attracting the attractive force between one of the positive electrode plates and the positive or negative charge. Method of producing and fixing metal aerosol nanoparticles, characterized in that the fixed by one of the selected method of moving and inducing fixed to the metal aerosol nanoparticles to the fixed body using. 제 9항에 있어서, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정단계 이전에, 10. The method of claim 9, prior to the fixing of the metal aerosol nanoparticles, 상기 피고정체에 플라즈마 표면처리 또는 화학제 도포를 통해 피고정체에 요철을 생성시키는 피고정체 표면처리 단계; 및A fixed surface treatment step of generating irregularities in the fixed object by applying plasma surface treatment or chemical to the fixed object; And 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계 이후, 상기 피고정체를 가열압착하는 피고정체 가열 압착 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법.After the fixing step of the metal aerosol nanoparticles, the method of producing and fixing the metal aerosol nanoparticles, characterized in that further comprising the heat-compressing step of heat-compressing the fixed body. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 응집 및 열처리 단계 이후에 상기 금속 에어로졸 나노입자에 점착액이 분무 혼합되거나, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계 이전에 상기 피고정체에 점착액이 도포되거나, 상기 금속 에어로졸 나노입자 고정 단계 이후에 금속 에어로졸 나노입자가 고정된 피고정체에 점착액이 도포되는 부착개선제 처리 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 에어로졸 나노입자 생성 및 고정 방법.After the coagulation and heat treatment step, the adhesive solution is spray-mixed to the metal aerosol nanoparticles, the adhesive solution is applied to the fixed body before the metal aerosol nanoparticle fixing step, or the metal aerosol after the metal aerosol nanoparticle fixing step Method for producing and fixing a metal aerosol nanoparticles, characterized in that it further comprises an adhesion improving agent treatment step of applying the adhesive liquid to the fixed object to which the nanoparticles are fixed.
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