KR20080049254A - 기판 이송용 카세트 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송용 카세트에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판 이송용 카세트는 하부 프레임 및 상부 프레임과, 하부 프레임 및 상부 프레임을 연결하는 수직 프레임과, 수직 프레임에 형성되어 기판을 안착하기 위한 탄성 재질의 기판 지지대를 구비한다.

Description

기판 이송용 카세트{Cassette for Transferring Plate}
도 1은 종래의 기판 이송용 카세트를 개략적으로 나타내는 정면도.
도 2는 종래의 기판 이송용 카세트의 기판 지지대를 나타내는 정면도.
도 3은 본 발명에 의한 기판 이송용 카세트를 나타내는 사시도.
도 4는 제1 실시예에 의한 기판 이송용 카세트의 기판 지지대를 나타내는 도면.
도 5 및 도 6은 본 발명에 의한 기판 이송용 카세트의 기판 지지대가 외력에 대해 자가 복귀하는 것을 나타내는 도면.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 의한 기판 이송용 카세트의 기판 지지대를 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
12, 42 : 하부 프레임 14, 44 : 상부 프레임
16, 46 : 수직 프레임 20, 60 : 기판 지지대
본 발명은 기판 운송용 카세트에 관한 것으로, 특히 충격 및 압력에 의해 사이드 슬롯이 변형되는 것을 방지할 수 있는 기판 운송용 카세트에 관한 것이다.
액정표시장치는 광투과성인 두 장의 기판 사이에 액정층을 형성하고, 전극에 전압을 인가하여 액정층을 재배열함으로써 액정층을 투과하는 광량을 조절하는 것으로 휘도를 표시하는 표시장치이다.
이러한 액정표시장치는 기판 세정 공정, 기판 패터닝 공정, 배향막형성/러빙 공정, 기판합착/액정주입 공정, 검사 공정, 리페어(Repair) 공정, 실장 공정 등의 여러 공정을 진행하여 제조된다.
각각의 공정은 특정 장비들에 의해 진행되고, 기판을 각각의 장비들간으로 운반하기 위해서는 자동 반송 장치가 사용된다. 이때, 자동 반송 장치의 반송 효율을 높이기 위해서 기판들을 다수개 수납할 수 있는 카세트에 수납한 다음 자동 반송 장치를 이용하여 반송한다.
이때, 기판을 수납하여 이송하기 위한 카세트를 도 1을 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
카세트는 하부 프레임(12)과, 상부 프레임(14)과, 하부 프레임(12)과 상부 프레임(14)을 연결하는 수직 프레임(16) 및 수직 프레임(16)에 형성된 기판 지지대(20)를 포함한다.
기판 지지대(20)는 기판(100)을 안착하기 위한 것으로, 스테인레스 재질을 이용하여 형성한다.
이러한 기판 지지대(20) 기판(100)을 안착할 수 있기에 충분한 강성을 유지하도록 설계되어 수직 프레임(16)에 합착되지만, 실제 기판(100)에 의한 압력 이외에도 의도하지 않은 충격이나 외력이 기판 지지대(20)에 가해지기도 한다. 기판 지지대(20)에 일정 강도 이상의 외력이 가해지면 기판 지지대(20)는 도 2와 같이 변형이 일어난다. 이처럼 기판 지지대(20)에 변형이 일어나면 기판의 적재/반출 시에 충돌이 일어나서 작업이 불편하거나 기판에 충격을 가하게 되고, 심할 경우 기판 적재를 막을 정도가 된다.
그렇기 때문에 기판 지지대(20)에 이상이 발생하면 수작업으로 정비를 하여야 하는데, 그에 소요되는 인력 및 비용 손실이 불가피하다.
따라서, 본 발명의 목적은 기판 지지대의 변형으로 발생하는 손실을 방지할 수 있는 카세트를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 기판 이송용 카세트는 하부 프레임 및 상부 프레임과, 하부 프레임 및 상부 프레임을 연결하는 수직 프레임과, 수직 프레임에 형성되어 기판을 안착하기 위한 탄성 재질의 기판 지지대를 구비한 다.
기판 지지대는 용수철을 이용하는 것이 바람직하다.
이러한 기판 지지대는 일 실시예로 수직 프레임에 합착을 위한 합착부와, 합착부에 연결된 용수철 바를 포함하여 형성될 수 있다.
다른 실시예로 카세트는 기판 지지대의 일측 끝단은 암나사부를 포함하고, 수직 프레임은 기판 지지대의 암나사부에 대응되는 숫나사부를 포함하는 구성을 가질 수 있다.
그리고, 기판 지지대는 상기 용수철 바의 외관을 덥는 튜브를 더 포함하는 것이 바람직하다. 이러한 튜브는 수지 계열을 이용하여 형성할 수 있다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 3 내지 도 7을 통하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송용 카세트의 사시도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 이송용 카세트(200)는 하부 프레임(42)과, 상부 프레임(44)과, 하부 프레임(42) 및 상부 프레임을 연결하는 수직 프레임(46) 및 수직 프레임(46)에 합착된 탄성 재질의 기판 지지대(60)를 구비한다.
하부 프레임(42) 및 상부 프레임(44)은 각각 최외각에 직사각형 모양으로 형성된 프레임 내부에 수 개의 프레임이 더 형성되어 매트릭스 모양을 형성한다.
수직 프레임(46)은 하부 프레임(42)과 상부 프레임(44)을 연결하는 것으로, 하부 프레임(42) 및 상부 프레임(44)의 네 모서리 근처와 그 사이 사이에 수 개가 더 형성된다.
하부 프레임(42)과 상부 프레임(44) 및 수직 프레임(46)은 플라스틱 등을 이용하여 제작할 수도 있고, 강도가 높은 알루미늄이나 스테인레스 강(Steel Use Stainless : SUS)을 이용하여 제작할 수 있다.
기판이 반/입출되는 카세트의 정면에 대응되는 카세트의 후면에 형성되는 수직프레임(44)에는 서포트 바(50)가 형성되어 기판이 안착될 경우 기판 지지대(60)에 인가되는 하중을 분산한다.
기판 지지대(60)는 카세트의 측면에 위치한 양측에 수직 프레임(44)에서 형성되어 기판을 안착하기 위한 것으로, 양쪽에서 수평으로 일치하는 높이에서 대응되도록 배치된다.
기판 지지대(60) 및 서포트 바(50)는 수직 프레임(44)에서 같은 같은 높이에 정열되어 기판이 평행하게 안착될 수 있도록 한다. 그리고, 기판 지지대(60) 및 서포트 바(50) 간의 수직 간격은 기판의 적재 및 반출이 용이할 수 있을 정도로 설정된다. 기판 지지대(60) 간의 수직 간격이 좁으면 기판을 많이 적재할 수 있는 장점이 있지만 기판을 적재 및 반출하는 과정에서 로봇 암등의 운송수단을 이용하는 과정에서 난점이 발생할 수 있으므로, 이송이 용이한 범위에서 수직 간격이 좁게 형성하는 것이 바람직하다.
또한 하나의 기판을 안착하기 위하여 평행한 위치에 형성되는 기판 지지대() 의 개수는 기판의 크기를 고려하여 설정한다. 즉, 기판의 크기가 크면 기판의 하중을 분산하기 위하여 더 많은 수의 기판 지지대(60)를 형성할 수 있다.
또한, 기판 지지대(60)는 탄성 재질을 이용하여 형성하고, 이러한 기판 지지대(60)의 일 실시예를 도 4를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
도 4는 카세트의 정면에서 바라본 수직 프레임(44)에 기판 지지대(60)가 합착된 것을 나타내는 도면이다.
기판 지지대(60)는 합착부(62)와, 용수철 바(spring bar,64) 및 용수철 바(64)를 덮고 있는 튜브(66)를 포함한다.
합착부(62)는 기판 지지대(60)를 수직 프레임(46)에 합착할 경우 수직 프레임(46)과 접촉면적을 넓게 하기 위한 것으로, 용접을 통해 합착부(62)를 수직 프레임(46)에 접합할 수 있다.
용수철 바(64)는 강철 및 스테인레스 강을 이용하여 제작할 수 있고, 이때 용수철부(64)의 탄성은 기판이 기판 지지대(60)에 안착될 경우 기판을 지지할 수 있을 정도의 강성을 유지하도록 한다.
튜브(66)는 기판이 기판 지지대(60)에 안착될 경우 기판과 용수철 바(64)와의 기계적 마찰을 줄이기 위한 것으로 수지 계열을 이용하여 형성할 수 있다.
이러한 기판 지지대(60)는 용수철 바(64)를 포함하여 탄성을 가지고 있기 때문에 외부 압력에 의해서 변형이 일어나는 것을 방지할 수 있다. 즉, 도 5에서와 같이 외부에서 압력이 가해지거나 일정 강도 이상의 충격이 전해질 경우 기판 지지대(60)는 한 순간 휘어진다. 하지만, 외력이 제거되면 기판 지지대(60)는 도 6과 같이 탄성에 의해서 원래의 위치로 복귀한다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 의한 기판 지지대 및 수직 프레임을 나타내는 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 의한 기판 지지대(80)는 수직 프레임(46)에 결합되는 끝단에 암나사부(82)를 포함한다. 그리고, 수직 프레임(46)에는 기판 지지대(80)가 위치할 곳에 기판 지지대(60)의 암나사부(82)에 대응하는 숫나사부(85)를 포함한다.
즉, 기판 지지대(80)는 수직 프레임(46)과 나사결합을 통하여 수직 프레임(46)에 결합되기 때문에 용접 결합보다 더 강한 결합력을 가지고 수직 프레임(46)에 형성된다. 이에 따라 기판 지지대(80)의 결합 부분에서 변형이 일어날 수 있는 것을 방지할 수 있다.
또한, 기판 지지대(80)의 용수철 바(85)는 전술한 실시예와 같은 수지 계열의 튜브(86)를 이용하여 감싸지는 것이 바람직하다.
그리고 본 발명의 또 다른 실시예로서, 기판 지지대는 합착부에 탄성 부재를 형성할 수도 있다. 이처럼 합착부에 탄성 부재를 형성함으로써 기판 지지대가 수직 프레임에 결합되는 부분에서 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이러한 기판 지지대의 합착부는 탄성력을 지니는 수지계열을 이용할 수 있고, 합착부에 판 스프링을 결합하여 탄성력을 부여할 수도 있다.
이러한 기판 지지대는 전술한 실시예들 이외에도 다른 실시예로서 구현될 수 있다. 즉, 기판 지지대는 용수철 바가 아니라 기판을 지지할 수 있을 정도의 강도 와 외력이 제거되었을 경우 원위치로 복귀할 수 있을 정도의 탄성을 가진 재질을 이용하면 얼마든지 가능하다. 도면을 생략한 일례로 기판 지지대는 적당한 강도를 유지할 수 있는 탄성력을 수지계열의 단일 물질을 이용할 수도 있을 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송용 카세트에 의하면 외부의 압력이나 충격이 가해졌을 경우에도 기판 지지대가 변형되지 않고 정위치를 유지할 수 있다.
즉, 기판 지지대를 탄성력을 가진 재질을 이용함으로써 외력에 의해 일시적으로 변형이 일어난 후에도 다시 원위치로 복귀하기 때문에, 기판 지지대의 정위치를 유지한다.
이에 따라, 종래의 기판 지지대가 변형이 일어날 경우 번번이 수작업으로 정비를 해야 함에 드는 비용 및 번거로움을 줄일 수 있다. 특히, 수리를 위하여 공정을 중단할 필요가 없기 때문에 작업 능률을 향상 할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (7)

  1. 하부 프레임 및 상부 프레임;
    상기 하부 프레임 및 상부 프레임을 연결하는 수직 프레임;
    상기 수직 프레임에 형성되어 기판을 안착하기 위한 탄성 재질의 기판 지지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 지지대는 용수철을 이용하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 지지대는
    상기 수직 프레임에 합착을 위한 합착부와;
    상기 합착부에 연결된 용수철 바를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 합착부는 탄성 재질인 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 지지대의 일측 끝단은 암나사부를 포함하고,
    상기 수직 프레임은 상기 기판 지지대의 숫나사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.
  6. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 지지대는 상기 용수철 바의 외관을 덥는 튜브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 기판 지지대 튜브는 수지 계열인 것을 특징으로 하는 기판 이송용 카세트.
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