KR20080042201A - 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 본 발명은 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법은, 1) 기판상의 배선의 결함을 검출하는 단계; 2) 상기 결함부를 레이저 CVD 법을 이용하여 리페어 패턴을 형성하는 단계; 및 3) 상기 2)단계와 동시에 상기 리페어 패턴의 상면에 보호코팅을 형성하는 단계; 를 포함하여 이루어진다. 또한, 상기의 보호코팅은 공기압축에 의한 디스펜서 시스템에 의해 이루어짐이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 액정표시장치의 기판의 결함부위에 레이저 CVD 리페어 패턴을 형성한 후 그 위에 동시에 보호코팅을 수행함으로써, 상기 리페어 부위의 안정성을 증진시켜, 리페어 후에 발생하는 리페어 불량을 제거할 수 있는 효과가 있다.

레이저 CVD 리페어(Laser Chemical Vapor Deposition Repair)

Description

평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법{Method of Protective coating for Laser CVD Rapair in Flat display panel}

도 1은 종래의 레이저 CVD 리페어된 패턴의 단면도이다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법의 순서도이다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법의 디스펜서 시스템의 사용 상태도이다.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

10: 에어소스 20:레귤레이터

30:분배제어장치 40:주사기

50:노즐 S1: 결함검출단계

S2: 레이저 CVD 리페어 형성단계 S3:보호막코팅단계

S4: 완성된 리페어 패턴의 코팅단계

본 발명은 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액정표시장치의 기판의 결함부위에 레이저 CVD 리페어 패턴을 형성한 후 그 위에 동시에 보호코팅을 수행함으로써, 상기 리페어 부위의 안정성을 증진시켜, 리페어 후에 발생하는 리페어 불량을 제거할 수 있는 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법에 관한 것이다.

최근 평판 디스플레이장치 특히, 액정표시장치(LCD)의 수요의 증가와 대형화에 추세에 비추어, 그 응용도와 크기의 증가, 해상도의 증가속도가 가속화되어오고 있으며, 생산상의 증가와 낮은 가격을 위해서 제조공정의 단순화 및 수율 향상의 관점에서 많은 노력이 경주되고 있다. 액정표시장치의 기본적인 구성은 블랙매트리스와 컬러필터와 공통전극이 형성된 상부기판과, 화소 영역과 화소 전극과 스위칭소자와 배선이 형성된 하부기판, 그리고 상기 상부기판과 하부기판의 사이에 액정이 충진되는 구조로 설명될 수 있다. 이러한 액정표시장치는 내부의 수백만 개의 화소 전극과 게이트 배선 및 데이터배선이 설비되어 있으며, 이러한 설비를 기준으로 수백만 개의 화소를 구동하기 위해 각 화소마다 수백만 개의 소자를 두며, 아울러 세밀한 패턴을 형성함과 동시에 박막소자들의 특성을 동일하게 제어하는 기술이 매우 중요하다.

이러한 하부기판상에 형성되는 구성요소는 제작공정 중 배선의 단선이나 단락 등의 불량이 발생하며 이러한 결함은 이미지 소자의 표시면적이 대형화됨에 따라 더욱 많아지고 있으며 액정표시장치의 품질의 향상과 안정성을 향상시키기 위해 서는 이러한 결함의 리페어 기술이 필요하게 되었다.

이러한 리페어 기술로 각광을 받던 것이 리페어를 위한 예비배선을 구비하여 결함 시 예비배선을 연결하여 단선을 수리하는 방법이었으나, 이는 리페어 배선이 너무 길게 되는 경우에 배선의 저항값에 의해 신호레벨이 낮아지게 되어, 액정패널의 동작특성에 나쁜 영향을 미치게 되는 문제점이 있었다.

따라서 최근 각광을 받고 있는 것이 도 1에 도시된 바와 같은 레이저 CVD 를 이용한 리페어 배선방법이다. 즉 기본적으로 결함을 발견한 경우에 결함부위의 일정부분을 레이저로 절단하고 CVD 방법에 의해 리페어 배선을 증착하고 패턴을 형성하는 방법이나, 또는 배선이 단선 되는 경우 레이저 화학 기상 증착법(Laser CVD)을 이용하여 금속을 증착함으로써 ,단선 된 배선을 전기적으로 연결하는 방법에 나아가 증착된 금속막(120)과 겹치는 부분(이를 테면, 데이터배선(110)을 용접부로 하여 용접하여 리페어를 완료하는 방식을 취하여 왔다.

이러한 레이저 CVD 리페어 방식은 배선의 단선 시, 단선 된 부위에 원하는 형상의 금속배선을 바로 성장할 수 있어 수리공정이 간단하고 적용영역도 게이트 배선이나 데이터 배선을 포괄하여 모두 수리가 가능한 장점이 있다.

그러나, 최근에 이러한 레이저 CVD 리페어 방식으로 형성된 리페어 배선은 기판의 대형화가 가속되면서 리페어가 필요하게 되는 부위가 많아지고, 리페어가 완료된 부위에 다른 배선과 쇼트 등의 결함이 재차 발생하여 리페어를 무의미하게 하는 문제가 발생하여 왔다. 또한, 이 경우 막대한 제작비용의 손실로 이어지게 되는 치명적인 문제가 되는 것이다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 액정표시장치의 기판의 결함부위에 레이저 CVD 리페어 패턴을 형성한 후 그 위에 동시에 보호코팅을 수행함으로써, 상기 리페어 부위의 안정성을 증진시켜, 리페어 후 리페어 불량을 제거할 수 있는 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법을 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어 방법은, 특히 액정표시장치의 리페어 패턴 형성방법에 있어서, 액정표시장치의 리페어 패턴 형성방법에 있어서, 1) 기판상의 배선의 결함을 검출하는 단계; 2) 상기 결함부를 레이저 CVD 장치를 이용하여 리페어 패턴을 형성하는 단계; 및 3) 상기 리페어 패턴을 형성한 후, 상기 레이저 CVD 장치 후단에 형성된 디스펜서 시스템에 의해, 순차적으로 상기 리페어 패턴의 상면에 보호코팅을 형성하는 단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어 방법을 제공하여, 리페어 배선이 기판상의 타부위와 접촉 또는 다른 외부요인에 의한 결함에 의해 훼손되지 않도록 안정성을 확보할 수 있도록 한다.

또한, 본 발명은 상기 디스펜서 시스템은 주사기에 담긴 코팅액을 미세노즐을 통하여 리페어패턴 위로 코팅액을 주사하는 것에 의해 코팅공정을 수행하는 것 을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어 방법을 제공하여, 보다 효율적인 리페어 패턴에의 보호코팅이 이루어질 수 있도록 한다.

또한, 본 발명은 상기 코팅액을 주사하는 공정은 에어 소스부와 상기 에어 소스부에서 공급되는 공기량을 조절하는 공기압을 제어하는 분배제어장치에 의한 공기압의 조절에 의해 분사 정도를 조절하여 주사되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법을 제공하여, 더욱 정밀한 리페어 코팅이 순차적인 공정에 의해서 이루어질 수 있도록 해, 택 타임의 단축 및 코팅공정의 효율성을 높일 수 있게 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법은, 우선 기판상의 배선의 결함을 검출하는 단계(S1)와 상기 결함부를 레이저 CVD 법을 이용하여 리페어 패턴을 형성하는 단계(S2), 그리고 상기 리페어 패턴을 형성한 후 순차적으로 상기 리페어 패턴의 상면에 보호코팅을 형성하는 단계(S4)로 이루어진다. 특히 상기 배선의 결함을 검출하는 단계는 저항검사 또는 광학 소자를 이용하여 빛의 광량의 차를 이용한 검사를 이용하여 이루어질 수 있다. 물론 빛을 이용하는 경우에는 기판에 접촉하지 않고 불량 유무를 판별할 수 있게 되므로 보다 효율적인 방법이라 할 수 있다. 또한, 레이저 CVD 법, 즉 화학 기상 증착법에 의해 상기 S1 단계에서 검출된 결함을 리페어하게 된다. 이러한 레이저 CVD 법에 의한 방법은 일반적으로 저온으로 진행됨이 바람직하며, 특히 부분적인 막의 형성이 가능하므로 다양한 패턴공정이 가능한 장점이 있다.

또한 S3 단계에서 상기 리패어 패턴 위로 보호막을 코팅하는 공정이 진행된다. 이러한 코팅공정은 리페어 패턴의 형성 후에 순차적으로 곧바로 진행되게 되는데 이러한 공정절차를 통해 코팅공정을 위해 다시 다른 제작설비를 준비하게 되는 번거로움을 줄이기 위해서, 도 3에서 보이는 디스펜서 시스템을 레이저 CVD에 일체로 형성시켜 코팅과 동시에 또는 순차적으로 진행시킴이 바람직하다. 상기 보호막을 코팅한 후에는 완성된 리페어 배선이 생성되어 리페어의 안정성을 확보한 우수한 품질의 액정표시장치의 구현이 가능하게 된다.

도 3을 참조하면, 전술한 바와 같이 본 발명의 기술요지인 리페어 패턴에의 순차적이고 또는 동시적인 코팅방법을 보다 효율적으로 진행시키기 위한 디스펜서시스템(dispenser system)이 도시되어 있다.

상기 디스펜서 시스템은 우선, 공기의 공급원이 되는 에어(air)소스(10), 그리고 공기 공급량을 조절하는 레귤레이터(regulator)(20), 공기압에 의해 디스펜서의 양을 조절하는 분배제어장치(30), 그리고 코팅액이 충진된 주사기(40), 노즐부(50)으로 구성되어 있다. 특히 상기 노즐부(50)의 말단에는 미세한 디스펜스가 가능하도록 미세바늘이 부착됨이 바람직하다.

이러한 디스펜서 시스템은 레이저 CVD 리페어 장치(미도시)의 측면이나 후면등의 부위에 일체로 부착되어 리페어 패턴이 형성되는 공정에 곧바로 코팅공정이 들어가 공정의 효율성을 제공할 수 있으며, 특히 공기압의 조절에 의해 디스펜서의 양을 조절함에 따라 사용자의 원하는 정도의 코팅막의 두께를 조절할 수 있도록 할 수 있게 된다.

전술한 바와 같은 본 고안의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였다. 그러나 본 고안의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능하다 본 고안의 기술적 사상은 본 고안의 기술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 등록실용신안의 청구범위뿐만 아니라 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

본 발명에 따르면, 액정표시장치의 기판의 결함부위에 레이저 CVD 리페어 패턴을 형성한 후 그 위에 동시에 보호코팅을 수행함으로써, 상기 리페어 부위의 안정성을 증진시켜, 리페어 후에 발생하는 리페어 불량을 제거할 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 액정표시장치의 리페어 패턴 형성방법에 있어서,

   1) 기판상의 배선의 결함을 검출하는 단계;

   2) 상기 결함부를 레이저 CVD 장치를 이용하여 리페어 패턴을 형성하는 단계; 및

   3) 상기 리페어 패턴을 형성한 후, 상기 레이저 CVD 장치 후단에 형성된 디스펜서 시스템에 의해, 순차적으로 상기 리페어 패턴의 상면에 보호코팅을 형성하는 단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 디스펜서 시스템은 주사기에 담긴 코팅액을 미세노즐을 통하여 리페어패턴 위로 코팅액을 주사하는 것에 의해 코팅공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법.
3. 청구항 2에 있어서,

   상기 코팅액을 주사하는 공정은 에어 소스부와 상기 에어 소스부에서 공급되 는 공기량을 조절하는 공기압을 제어하는 분배제어장치에 의한 공기압의 조절에 의해 분사 정도를 조절하여 주사되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널의 결함부위 리페어방법.

Images