KR20080041927A - 소자 검사용 니들 모듈 및 이를 포함하는 프로브 카드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 소자 검사용 니들 모듈 및 이를 포함하는 프로브 카드에 관한 것으로 특히, 디바이스 전극 패드들의 협피치 방향에 수직한 방향으로 길게 형성되는 지지부, 상기 지지부의 하부로 돌출한 탐침 및 상기 지지부의 상부로부터 위로 돌출하고 상기 지지부를 따라 서로 이격되는 적어도 2개의 연결다리를 가지며, 상기 연결다리 중 어느 하나는 다른 연결다리보다 그 길이가 긴 수직형 니들로서 상기 디바이스 전극 패드들의 협피치 방향을 따라 배치되고, 상기 니들의 긴 연결다리는 상기 디바이스 전극 패드들의 협피치 방향을 따라 서로 엇갈려 배치되는 적어도 2개의 수직형 니들, 상기 지지부 상면에 적층되어 상기 니들의 연결다리를 모두 수용하는 구멍들을 가지는 제1지지블록 및, 상기 제1지지 블록의 상면에 위치하고 상기 니들의 연결다리 중 긴 연결다리만을 수용하는 구멍을 가지는 제2지지블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 검사용 니들 모듈 및 이를 포함하는 프로브 카드에 관한 것이다. 이를 통하여 소자의 고집적 및 소형화에 따라 전극패드의 협피치화가 이루어지고 있는 상황에서 협피치 전극 제조에 한계가 있는 카드 기판인 PCB의 전극 패드의 피치를 소자 전극 패드의 피치보다 넓게, 여유롭게 가져가 협피치 소자에 대하여 대응 가능한 PCB 카드 기판이 제조가능하고, 프로브 카드의 제조 및 소자의 검사 불량을 최소화할 수 있다.

니들, 프로브 카드, 연결다리

Description

소자 검사용 니들 모듈 및 이를 포함하는 프로브 카드 { NEEDLE MODULE FOR DEVICE TEST AND PROBE CARD INCLUDING THE SAME }

도 1은 본 발명의 소자 검사용 니들 모듈에 적용되는 니들의 일 실시예를 도시한 도면이다.

도 2는 본 발명의 소자 검사용 니들 모듈에 적용되는 지지블록의 일 실시예를 도시한 도면이다.

도 3은 본 발명의 소자 검사용 니들 모듈에 적용되는 지지블록의 일 실시예를 확대도시한 도면이다.

도 4는 본 발명의 소자 검사용 니들 모듈에 적용되는 지지블록의 일 실시예를 겹친 것을 확대도시한 도면이다.

도 5는 도 4에 도시한 확대도면에서 본 발명에 따라 도 1의 니들들을 삽입한 것을 설명하는 도면이다.

도 6은 도 5에 도시한 설명도를 측면에서 바라본 단면을 도시한 도면이다.

도 7은 본 발명의 소자 검사용 니들 모듈에 적용되는 니들의 연결다리 부분에 대한 실시예를 도시한 도면이다.

도 8은 본 발명의 소자 검사용 니들 모듈의 다른 실시예를 도시한 도면이다.

도 9는 본 발명의 소자 검사용 니들 모듈을 포함하는 프로브 카드의 일 실시 예를 도시한 도면이다.

도 10은 본 발명을 적용하는 경우의 웨이퍼 전극패드와 카드기판 전극패드의 상호관계를 모사한 개략도이다.

도 11은 본 발명의 소자 검사용 니들 모듈을 포함하는 프로브 카드의 다른 실시예를 도시한 도면이다.

도 12는 본 발명의 소자 검사용 니들 모듈에 추가적으로 적용되는 전면 가이드 블록 및 이의 일부를 확대 도시한 도면이다.

도 13은 상기 도 12의 전면 가이드 블록이 결합된 니이들 모듈의 측단면을 도시한 도면이다.

본 발명은 소자 검사용 니들 모듈 및 이를 포함하는 프로브 카드에 관한 것으로 보다 상세하게는 소자의 고집적 및 소형화에 따라 전극패드의 협피치화가 이루어지고 있는 상황에서 협피치 전극 제조에 한계가 있는 카드 기판인 PCB의 전극 패드의 피치를 소자 전극 패드의 피치보다 넓게, 여유롭게 가져가 협피치 소자에 대하여 대응 가능한 PCB 카드 기판이 제조가능하고, 프로브 카드의 제조 및 소자의 검사 불량을 최소화할 수 있으며, 모듈 단위로 제작되어 니들의 불량이나 파손시에 모듈단위로 교체 및 수리가 가능하며, 웨이퍼 전체의 소자에 대하여 한번에 검사가 가능하도록 넓은 영역에 대하여 니들의 배치 및 니들의 접촉 확보가 용이한 소자 검사용 니들 모듈 및 이를 포함하는 프로브 카드에 관한 것이다.

일반적으로 프로브 카드란 PCB에 고정된 니들로 소자가 형성된 웨이퍼에 접촉하여 전기적 신호로 각 소자의 이상 유무를 판정하는 기구인데, 이러한 프로브 카드에 장착되는 니들은 일반적으로 캔틸레버 타입의 니들이 주로 사용되어 왔다. 그러나 이러한 방식은 1개의 소자에 BGA방식과 같이 입체적으로 배치되는 전극 패드가 존재하는 경우에는 각각의 캔틸레버가 그 길이가 달라지나 탄성도는 동일하여야하므로 각각의 길이에 대하여 다른 설계가 필요하여 제작에 어려움이 있고, 이것이 가능한 경우에도 다수의 칩을 동시에 검사하는 것은 거의 불가능하여 검사에 많은 시간이 소요되며, 각각의 니들에 대하여 납땜이 필요하고, 제작에 많은 숙련도를 요구하는 문제점이 있다.

따라서 이와 같은 문제를 해결하기 위하여 수직형 니들이 개발되어 적용되고 있으나, 이 경우에는 니들의 배치가 소자의 전극 패드 위치와 1:1로 대응이 되어야 하므로 소자 전극패드의 피치가 바로 니들의 피치 및 이에 대응하는 PCB 카드 기판의 전극 패드의 기판의 피치가 된다. 그런데 이러한 소자 전극패드의 피치는 소자가 복잡해지고, 집적도가 올라가며, 소형화됨에 따라 그 간격이 점점 좁아지는 협피치화가 이루어지고 있는 실정이고, 소자의 전극패드의 경우는 UV등을 이용한 단파장 포토 리소그래피 방법으로 제작이 되므로 협치피가 충분히 가능하지만, PCB 카드 기판의 경우는 PCB 제조방법상 그 피치의 협피치화가 어려운 문제점이 있다.

따라서 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 수직형 니들을 사용하면서도 소자의 전극패드 피치와는 별개로 PCB 카드 기판의 전극패드의 피치는 더 넓게 유지 할 수 있는 니들 모듈 및 이를 이용한 프로브 카드의 개발이 절실한 실정이고, 이것이 가능한 경우에는 협피치의 전극패드를 가지는 소자가 다수 배치되어 있는 웨이퍼를 한번에 검사할 수 있는 프로브 카드의 제작도 가능하다.

상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 종래의 PCB 카드 기판의 제조방법을 그대로 적용하면서도 협피치 소자에 대하여 대응 가능한 PCB 카드 기판이 제조가능하고, 프로브 카드의 제조 및 소자의 검사 불량을 최소화할 수 있으며, 모듈 단위로 제작되어 니들의 불량이나 파손시에 모듈단위로 교체 및 수리가 가능하며, 웨이퍼 전체의 소자에 대하여 한번에 검사가 가능하도록 넓은 영역에 대하여 니들의 배치 및 니들의 접촉 확보가 용이한 소자 검사용 니들 모듈 및 이를 포함하는 프로브 카드을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은

디바이스 전극 패드들의 협피치 방향에 수직한 방향으로 길게 형성되는 지지부, 상기 지지부의 하부로 돌출한 탐침 및 상기 지지부의 상부로부터 위로 돌출하고 상기 지지부를 따라 서로 이격되는 적어도 2개의 연결다리를 가지며, 상기 연결다리 중 적어도 어느 하나는 다른 연결다리보다 그 길이가 긴 수직형 니들로서 상기 디바이스 전극 패드들의 협피치 방향을 따라 배치되고, 상기 니들의 긴 연결다리는 상기 디바이스 전극 패드들의 협피치 방향을 따라 서로 엇갈려 배치되는 적어도 2개의 수직형 니들;

상기 지지부 상면에 적층되어 상기 니들의 연결다리를 모두 수용하는 구멍들을 가지는 제1지지블록; 및,

상기 제1지지 블록의 상면에 위치하고 상기 니들의 연결다리 중 긴 연결다리를 수용하는 구멍을 가지는 제2지지블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 검사용 니들 모듈을 제공한다.

또한 본 발명은

상기 소자 검사용 니들 모듈; 및

상기 니들 모듈의 긴 연결다리가 카드 기판의 전극 패드에 연결되도록 일정 간격으로 이격하여 이의 상부에 결합되는 카드 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 제공한다.

이하 본 발명에 대하여 도면을 참고하여 자세히 설명한다.

본 발명은 소자 검사용 니들 모듈에 관한 것으로 디바이스 전극 패드(2)들의 협피치 방향에 수직한 방향으로 길게 형성되는 지지부(12), 상기 지지부(12)의 하부로 돌출한 탐침(14) 및 상기 지지부(12)의 상부로부터 위로 돌출하고 상기 지지부(12)를 따라 서로 이격되는 적어도 2개의 연결다리(16)를 가지며, 상기 연결다리(16) 중 적어도 어느 하나는 다른 연결다리보다 그 길이가 긴 수직형 니들(10)로서 상기 디바이스 전극 패드들의 협피치 방향을 따라 배치되고, 상기 니들의 긴 연결다리는 상기 디바이스 전극 패드들의 협피치 방향을 따라 서로 엇갈려 배치되는 적어도 2개의 수직형 니들(10), 상기 지지부(12) 상면에 적층되어 상기 니들(10)의 연결다리(16)를 모두 수용하는 구멍(22)들을 가지는 제1지지블록(20) 및, 상기 제1 지지 블록(20)의 상면에 위치하고 상기 니들(10)의 연결다리(16) 중 긴 연결다리(16a)를 수용하는 구멍(32)을 가지는 제2지지블록(30)을 포함하여 구성된다.

본 발명의 니들 모듈은 서로 엇갈리게 배치되는 수직형 니들과 이를 수용하는 지지블록으로 이루어지는 것으로 상기 수직형 니들의 일 실시예는 도 1에 그 한 쌍을 도시한 바와 같다. 즉, 본 발명의 수직형 니들(10)은 도 1에 그 실시예를 도시한 바와 같이 한쪽 방향으로 길게 형성되는 지지부(12), 상기 지지부(12)의 하부로 돌출한 탐침(14) 및 상기 지지부(12)의 상부로부터 위로 돌출하고 상기 지지부(12)를 따라 서로 이격되는 적어도 2개의 연결다리(16)를 가지며, 상기 연결다리(16) 중 어느 하나는 다른 연결다리보다 그 길이가 길게 형성된다. 이와 같은 구성의 수직형 니들은 지지블록에 동일한 방향으로 배치되는 것이 아니라 도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이 검사하고자 하는 디바이스 전극 패드의 협피치 방향 (도면에서는 수평방향, 실제로 도 3 내지 도 5의 모듈에 의하여 검사하는 디바이스는 도 3의 제1지지블록의 구멍의 가로방향 피치에 대응하는 디바이스 전극 패드 피치를 가지게 된다.)을 따라 긴 연결다리가 엇갈리게 배치되어지고, 이를 위하여 상기 지지부(12)는 도시한 바와 같이 디바이스 전극 패드들의 협피치 방향 (수평 방향)에 수직한 방향 (수평방향)으로 배치되어지고, 긴 연결다리를 도 1에 도시한 바와 같이 각각의 니들에 대하여 서로 다른 위치에 배치되어지는 니들이 구성되어진다. 즉, 상기 연결다리 중 그 길이가 긴 연결다리는 프로브 카드의 카드 기판의 전극패드에 실제로 접촉하게 되고, 길이가 짧은 연결다리는 니들의 회전을 막고 니들을 고정하는 역할을 수행하며, 상기와 같이 배치하는 경우에 긴 연결다리는 서로 엇갈려 배치되므로 디바이스 전극패드에 비하여 더 넓은 피치를 확보할 수 있고, 이에 따라 이에 접촉하는 PCB 카드 기판의 전극패드도 더 넓은 피치를 확보할 수 있다.

여기서 상기 니들의 연결다리는 도시한 바와 같이 2개로 구성할 수도 있고, 3개 또는 그 이상으로도 구성할 수 있으며, 이 경우에 긴 연결다리는 PCB 전극패드와 연결이 이루어져야 하므로 적어도 어느 하나 바람직하게는 하나는 그 길이가 다른 것보다 길어야 하며, 이와 같은 긴 연결다리의 배치는 주어진 디바이스의 전극패드 배치에 따라 하나의 니들에 대하여 존재하는 다수의 연결다리 중 어느 하나가 되도록 배치하면 되고, 이에 대한 예로 3개의 다리를 가지는 경우는 긴 연결다리의 위치가 1번째-2번째-3번째-1번째-2번째-3번째의 연결다리가 되도록 하는 형식이나, 1번째-3번째-1번째-3번째-1번째-3번째의 연결다리가 되도록 하는 형식으로 구성할 수 있다.

이와 같이 구성된 니들은 제1지지블록에는 모든 연결다리가 삽입되어 지지되고, 제2지지블록에서는 최종적으로 PCB 기판의 전극패드와 접촉하는 긴 연결다리를 수용하는 형태로 구성한다. 이에 대한 구체적인 예는 도 2에 도시한 바와 같다. 즉, 도 2의 위에 그려진 지지블록은 제1지지블록의 상부에 위치하는 제2지지블록으로 긴 연결다리를 수용하는 구멍이 형성되어있고, 아래에 그려진 지지블록은 니들이 삽입되어지는 제1지지블록으로 모든 연결다리를 수용하는 구멍이 형성되어있다. 이를 확대한 도면이 도 3으로서 웨이퍼에 형성된 디바이스(소자) 1개에 해당하는 더트(DUT) 단위로 구멍을 비교하면, 본 구체예가 적용되는 소자는 총 28개의 전극 패드를 가지는 소자로서 이를 위하여 총 28개의 니들이 필요하고, 여기에 도 1과 같은 니들을 사용하는 경우에는 연결다리는 총 56개이며, 이에 따라 이와 같은 니들의 수용을 위하여 제1지지블록은 1개의 더트당 총 56개의 구멍을 가지고, 세로방향으로 길게 세워져 가로로 연속하여 니들이 이에 삽입되어지고 제2지지블록은 이들 니들의 긴 연결다리를 수용하므로 더트당 총 28개의 구멍이 형성되며, 상기 기술한 바와 같이 긴 연결다리는 서로 엇갈려 배치되도록 니들이 삽입되므로 긴 연결다리를 수용하는 구멍은 아래위로 번갈라 배치되어진다.

즉, 도 4는 도3에 도시한 제2지지블록의 A부분과 제1지지블록의 B부분이 상기 지지블록들이 조립된 경우에 이를 확대도시한 것으로 바람직하게는 제1지지블록의 구멍은 연결다리를 고정하여야하므로 그 구멍의 직경이 작고, 제2지지블록은 연결다리를 단순히 통과시키고 그 위치를 제한해주면 되는 것이므로 조립을 용이하게 하기 위하여 직경을 크게 하는 것이 좋다.

이와 같이 배치되어진 블록 조립체에 대하여 도 5에 도시한 바와 같이 니들이 삽입되어진다. 즉 도시한 바와 같이 긴 연결다리가 엇갈리도록 도 1에 도시된 두 가지 형상의 니들이 서로 교번하여 삽입되어진다. 여기서 니들은 측면을 도시한 것이다. 이를 오른쪽 측면에서 바라본 것을 가, 나 구멍과 다, 라 구멍에 대하여 구분하여 도시한 것이 도 6이다. 이를 통하여 탐침은 동일한 수평선상에 있는 소자의 전극패드에 연결이 가능하고, 긴 연결다리와 접촉하게 될 카드 기판의 전극패드는 세로방향으로는 도 1의 2 가지 타입의 니들에 있어서 지지부에 의하여 이격되어지는 긴 연결다리의 거리차이만큼 서로 이격되어지고, 가로 방향으로는 소자의 건극패드간 거리의 2배만큼 이격되어진다.

여기서 상기 탐침은 바람직하게는 충분한 탄성력 및 내구력을 가지기 위하여 상기 지지부로부터 하부로 돌출하면서 적어도 한번은 측면으로 꺾여진 후 다시 하부로 돌출하는 형상을 가지는 것이 좋고, 이에 대한 구체적인 예는 도 1에 도시된 바와 같다. 여기서 상기 탐침은 우측으로 한번, 다시 좌측으로 한번 꺾여진 형상을 가지는 경우이다.

또한 상기 탐침부와 지지부의 연결은 직접적으로 연결되어지거나 하나의 연결부로 이루어질 수도 있고, 바람직하게는 도 1에 도시한 바와 같이 두 개의 연결간에 이하여 연결되어질 수도 있다. 이에 의하여 휨에 대한 충분한 내력을 가지고, 내구성을 향상시킬 수 있다.

또한 상기 니들의 연결다리는 바람직하게는 긴 연결다리는 제1 및 제2 지지블록의 두께를 넘고, 짧은 연결다리는 제1지지블록의 두께보다 짧은 것이 좋다. 이를 통하여 도 6에 도시한 바와 같이 결합이 이루어지고, 이에 따라 제1지지블록에는 모든 연결다리에 대한 관통구멍을 형성하고, 제2지지블록에는 긴 연결다리에 대한 관통구멍만을 형성하여 지지블록의 제작을 용이하게 할 수 있다. 즉, 상기 지지블록은 바람직하게는 변형이 적고, 절연성이 우수한 세라믹 블록으로 구성하는 것이 좋고, 이러한 세라믹블록은 미세한 구멍의 가공이 용이하지 않으므로 구멍의 형상을 관통구멍으로만 구성하는 것이 좋다.

또한 상기 지지블록의 구멍에 삽입되는 연결다리는 삽입후에 고정되는 것이 바람직하고, 이를 위하여 상기 연결다리는 상기 제1지지블록에 수용되는 부분에 다 리의 측면 방향으로 탄성력을 갖고 돌출되는 완충 결합부(17)를 더 가지도록 구성하는 것이 좋다. 이에 대한 구체적인 예는 도 7에 도시한 바와 같이 측면이 더 두껍고, 내부에 구멍이 형성된 완충부를 형성할 수 있고, 그 외에도 공지의 다양한 탄성력을 가지는 탄성부를 구성할 수 있음은 물론이다. 또한 이에 추가하여 상기 니들의 삽입이후에 구멍과 니들사이에 에폭시 수지 등의 결합용 수지를 인가하여 경화하여 이를 고정할 수 있음은 물론이다.

게다가 상기 연결다리 중 긴 다리는 수직방향으로 힘을 받으면서 카드 기판의 전극패드에 접촉하게 되므로 이의 소성변형이나 파손을 막고, 적절한 접촉압력이 인가되어지도록 하기 위하여 그 끝단에 길이방향으로 탄성력을 가지는 스프링부(18)를 더 가지는 것이 바람직하다. 이에 대한 구체적인 예로 도 7에 도시한 바와 같은 굴곡되어진 형상의 스프링부를 구성할 수 있으며, 이외에도 공지의 다양한 수직방향으로 탄성력을 탄성기구가 상기 스프링부에 적용될 수 있음은 물론이다.

이와 같이 형성된 니들은 도 8에 도시한 바와 같이 지지블록에 삽입되어 결합되어질 수 있다.

또한 바람직하게는 상기 제1지지블록과 제2지지블록사이에 상기 니들의 연결다리 중 긴 연결다리만을 수용하는 구멍을 가지는 가이드 지지블록을 더 포함하도록 구성하는 것이 좋다. 이에 대한 예는 도 6 또는 도 8에 도시한 바와 같으며, 이를 통하여 지지블록의 두께가 얇은 형태로 다수개를 결합할 수 있으므로 지지블록 내의 구멍가공이 용이하고, 제1지지블록과 제2지지블록 사이를 벌여서 결합할 수도 있으나, 이 경우에 연결다리간의 접촉에 따른 단락을 방지할 수 있으므로 이 를 방지하기 위하여 다수의 지지블록을 이들 사이에 삽입하여 각각의 연결다리를 절연시킬 수 있다.

또한 본 발명의 소자 검사용 니들 모듈은 이에 추가하여 도 12 내지 도 13에 도시한 바와 같이 제1지지블록(20)의 하면에 위치하는 전면 가이드블록(50)을 더 포함할 수 있다. 이는 상기 제1지지블록의 하면에 위치하고 상기 탐침에 대응하여 지지부와 나란한 방향으로 길고 상기 탐침을 내포하고 탐침의 끝단만을 하부로 노출하는 구멍을 가지는 형태로 구성된다. 이를 통하여 운반이나 결착시 손상이 쉬운 탐침을 보호하여 파손을 막을 수 있으며, 웨이퍼 방향에서 탐침방향으로 힘을 가할 때, 탐침이 휘는 것을 방지하여 항상 수직에 가까운 운동을 가능하게 한다.

도 12는 이러한 전면 가이드블록을 위에서 바라 본 것과 그의 일부를 확대 도시한 것으로 지지부의 길이방향과 동일한 방향으로 긴 직사각형 구멍이 탐침에 대응하여 형성되어진 것을 볼 수 있다. 도 13은 도 12의 전면 가이드블록이 다른 지지블록 및 니들과 연결된 경우에 이를 측면에서 바라본 것을 도시한 것으로 탐침의 끝단만이 외부로 노출된 것을 볼 수 있다.

또한 본 발명은 상기 기술한 바와 같은 소자 검사용 니들 모듈(100) 및, 상기 니들 모듈(100)의 긴 연결다리(16a)가 카드 기판(200)의 전극 패드(210)에 연결되도록 일정 간격으로 이격하여 이의 상부에 결합되는 카드 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 제공하는 바, 이에 대한 구체적인 예는 도 9에 도시한 바와 같다. 즉, 도 9는 상기 기술한 니들 모듈과 카드 기판을 결합하여 웨이퍼(5)에 형성되어진 소자를 검사하는 모습을 측단면으로 개략적으로 도시한 것으로 PCB 카드 기판의 전극패드와 긴 연결다리와의 적절한 접촉을 위하여 일정한 이격거리를 두고 상기 니들 모듈과 카드 기판이 결합되며, 이는 웨이퍼에 형성된 소자 또는 별도의 개별적인 소자의 전극패드에 탐침이 접촉되도록 인가되어진다. 여기서 소자의 전극패드 협피치 방향은 지면을 뚫고 들어가는 방향이고, 이러한 협피치 패드의 배열을 위에서 바라본 것이 도 10에 도시되어진다. 반면에 이와 같은 협피치 방향에 대하여 긴 연결다리의 배치는 서로 엇갈린 배치를 가지게 되므로 이에 대응하는 카드 기판의 전극 패드도 엇갈린 배치를 가지게 되고 이에 대한 예가 도 10에 도시되어진다. 즉, 소자의 전극패드는 협피치 방향으로 그 간극이 T만큼으로 작지만, 카드 기판의 전극 패드는 니들 지지부의 크기에 따라 협피치 방향의 상하로 이를 충분히 분리할 수 있으므로 적어도 그 간극이 T'로 확대되며, 전극패드의 크기도 길이방향으로는 충분히 크게 제작하는 것이 가능하므로 PCB 기판의 제조가 용이하고, 시험중에도 긴 연결다리와 카드 기판 전극패드간의 부정확한 정렬이 이루어질 확률이 낮아져, 불량률을 떨어뜨리게 된다.

또한 이러한 수직형 니들을 활용하는 경우에는 캔틸레버 타입에 비하여 광범위한 영역, 심지어 웨이퍼 전체에 대하여 검사를 동시에 실시할 수 있는데, 이 경우에 한두 개의 니들에 손상이 발생한 경우에 전체 프로브 카드를 교체하는 것은 비효율적이므로, 부분적으로 손상된 부분만을 교체하거나 수리할 수 있도록 하기 위하여 상기 소자 검사용 니들 모듈은 프로브 카드 전체의 니들을 적어도 2개의 그룹으로 구분하는 적어도 2개의 분리된 모듈로 이루어지는 것이 바람직하다. 이에 대한 예는 도 11에 도시한 바와 같으며, 이 경우에는 웨이퍼 전체에 대하여 한번에 검사를 수행하는 프로브 카드로서 이를 5개의 블록으로 나누어 구성한 예이다. 따라서 상기 검사의 대상이 되는 소자는 공지의 소자가 모두 여기에 해당되고 바람직하게는 반도체 소자가 형성된 웨이퍼인 것이 좋고, 상기 모듈은 도 11에 도시한 바와 같이 구성할 수도 있고, 바람직하게는 호환성을 높이기 위하여 웨이퍼 내에 형성된 소자의 라인별로 모듈이 구분되는 것이 좋다.

이상에서 살펴 본 바와 같이, 본 발명의 소자 검사용 니들 모듈 및 이를 포함하는 프로브 카드에 의하면, 종래의 PCB 카드 기판의 제조방법을 그대로 적용하면서도 협피치 소자에 대하여 대응 가능한 PCB 카드 기판이 제조가능하고, 프로브 카드의 제조 및 소자의 검사 불량을 최소화할 수 있으며, 모듈 단위로 제작되어 니들의 불량이나 파손시에 모듈단위로 교체 및 수리가 가능하며, 웨이퍼 전체의 소자에 대하여 한번에 검사가 가능하도록 넓은 영역에 대하여 니들의 배치 및 니들의 접촉 확보가 용이한 효과가 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되는 것은 아니고, 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 해당 기술 분야의 당업자가 다양하게 수정 및 변경시킨 것 또한 본 발명의 범위 내에 포함됨은 물론이다.

Claims (9)

1. 디바이스 전극 패드들의 협피치 방향에 수직한 방향으로 길게 형성되는 지지부, 상기 지지부의 하부로 돌출한 탐침 및 상기 지지부의 상부로부터 위로 돌출하고 상기 지지부를 따라 서로 이격되는 적어도 2개의 연결다리를 가지며, 상기 연결다리 중 적어도 어느 하나는 다른 연결다리보다 그 길이가 긴 수직형 니들로서 상기 디바이스 전극 패드들의 협피치 방향을 따라 배치되고, 상기 니들의 긴 연결다리는 상기 디바이스 전극 패드들의 협피치 방향을 따라 서로 엇갈려 배치되는 적어도 2개의 수직형 니들;

   상기 지지부 상면에 적층되어 상기 니들의 연결다리를 모두 수용하는 구멍들을 가지는 제1지지블록; 및,

   상기 제1지지 블록의 상면에 위치하고 상기 니들의 연결다리 중 긴 연결다리를 수용하는 구멍을 가지는 제2지지블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 검사용 니들 모듈.
2. 제1항에 있어서,

   상기 탐침은 상기 지지부로부터 하부로 돌출하면서 적어도 한번은 측면으로 꺾여진 후 다시 하부로 돌출하는 것을 특징으로 하는 소자 검사용 니들 모듈.
3. 제1항에 있어서,

   상기 연결다리는 상기 제1지지블록에 수용되는 부분에 다리의 측면 방향으로 탄성력을 갖고 돌출되는 완충 결합부를 더 가지는 것을 특징으로 하는 소자 검사용 모듈.
4. 제1항에 있어서,

   상기 연결다리 중 긴 다리는 그 끝단에 길이방향으로 탄성력을 가지는 스프링부를 더 가지는 것을 특징으로 하는 소자 검사용 모듈.
5. 제1항에 있어서,

   상기 제1지지블록과 제2지지블록사이에 상기 니들의 연결다리 중 긴 연결다리만을 수용하는 구멍을 가지는 가이드 지지블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 검사용 니들 모듈.
6. 제1항에 있어서,

   상기 제1지지블록의 하면에 위치하고 상기 탐침에 대응하여 지지부와 나란한 방향으로 길고, 상기 탐침을 내포하고 탐침의 끝단만을 하부로 노출하는 구멍을 가지는 전면 가이드블록(50)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 검사용 니들 모듈.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 소자 검사용 니들 모듈; 및

   상기 니들 모듈의 긴 연결다리가 카드 기판의 전극 패드에 연결되도록 일정 간격으로 이격하여 이의 상부에 결합되는 카드 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
8. 제7항에 있어서,

   상기 소자 검사용 니들 모듈은 프로브 카드 전체의 니들을 적어도 2개의 그룹으로 구분하는 적어도 2개의 분리된 모듈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
9. 제8항에 있어서,

   상기 소자는 반도체 소자가 형성된 웨이퍼이고, 상기 모듈은 웨이퍼 내에 형성된 소자의 라인별로 모듈이 구분되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.

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