KR20080008569A - 액정 표시 장치, 그 제조 방법 및 트리밍 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 쇼팅바(shorting bar) 및 트리밍 검사 패드를 구비하는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Diplay; LCD), 그 제조 방법 및 트리밍(trimming) 방법에 관한 것으로, 게이트 쇼팅바와 게이트 패드 사이에 설정된 제 1 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 각각 복수의 패드로 구성된 제 1 트리밍 설정 패드를 형성하고, 데이터 쇼팅바와 데이터 패드 사이에 설정된 제 2 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 각각 복수의 패드로 구성된 제 2 트리밍 설정 패드를 형성한다.
본 발명에 의하면 제 1 및 제 2 트리밍 검사 패드의 소정 부분까지 트리밍되도록 레이저 트리밍을 실시한 후 설정된 부분까지 트리밍되었나 확인하여 트리밍 불량 여부를 확인할 수 있도록 함으로써 설정 오차 등에 의한 트리밍 불량을 검출할 수 있다.
LCD, 쇼팅바, 레이저 트리밍, 트리밍 검사 패드

Description

액정 표시 장치, 그 제조 방법 및 트리밍 방법{Liquid Crystal Display and method of menufacturing and trimming the same}
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바 및 트리밍 검사 패드를 구비하는 액정 표시 장치의 평면도.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바 및 트리밍 검사 패드를 구비하는 액정 표시 장치의 부분 확대 평면도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바 및 트리밍 검사 패드를 구비하는 액정 표시 장치의 트리밍 후의 상태를 나타낸 평면도.
도 4(a) 내지 도 4(d)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바를 구비하는 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도 2의 Ⅰ-Ⅰ 라인 및 Ⅱ-Ⅱ 라인을 따라 절취한 상태의 단면도.
도 5(a) 내지 도 5(d)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바를 구비하는 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 라인 및 Ⅳ-Ⅳ 라인을 따라 절취한 상태의 단면도.
도 6는 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바를 구비하는 액정 표시 장치의 트리밍 방법을 설명하기 위한 순서도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 어레이 영역 11 : 게이트 라인
12 : 데이터 라인 13 : 게이트 패드
14 : 데이터 패드 15 : 게이트 쇼팅바
16 : 데이터 쇼팅바 17 : 게이트 입력 패드
18 : 데이터 입력 패드 19 : 게이트 구동 IC 실장 영역
20 : 데이터 구동 IC 실장 영역 21 : 제 1 트리밍 라인
22 : 제 2 트리밍 라인 23A 및 23B : 제 1 트리밍 검사 패드
24A 및 24B : 제 2 트리밍 검사 패드
본 발명은 쇼팅바(shorting bar)를 구비하는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)에 관한 것으로, 특히 쇼팅바를 이용한 액정 어레이 검사 후 레이저 트리밍(laser trimming)시 트리밍 불량을 검출할 수 있는 액정 표시 장치, 그 제조 방법 및 트리밍 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 액정 패널 상에 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들의 광투 과율을 그에 공급되는 데이터 신호로 조절함으로써 데이터 신호에 해당하는 화상을 패널 상에 표시하게 된다. 이를 위하여 액정 표시 장치는 액정 셀들이 매트릭스 형태로 배열된 액정 패널과, 액정 패널을 구동하기 위한 구동 회로를 구비하게 된다. 액정 패널에는 컬러 필터와 컬러 필터 사이에 구성된 블랙 매트릭스, 그리고 컬러 필터와 블랙 매트릭스 상부에 형성된 공통 전극이 형성된 상부 기판과, 화소 전극과 스위칭 소자, 그리고 어레이 배선이 형성된 하부 기판으로 구성된다.
하부 기판의 화소 전극은 스위칭 소자로 작용되는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)의 드레인 단자에 연결되며, 박막 트랜지스터의 소오스 단자는 데이터 라인과 연결된다. 따라서, 데이터 라인을 통해 공급된 데이터 신호는 박막 트랜지스터의 소오스 단자 및 드레인 단자를 통해 화소 전극에 공급된다. 또한, 박막 트랜지스터의 게이트 단자은 화소 전압 신호가 화소 전극에 인가되도록 하는 게이트 라인과 연결된다.
이러한 액정 표시 장치가 완성되면 신호 라인, 즉 게이트 라인과 데이터 라인의 단락(short), 단선(open) 또는 박막 트랜지스터의 불량을 검출하기 위한 검사 과정을 거치게 된다. 이를 위해 액정 표시 장치는 검사를 용이하게 하기 위해 게이트 라인 및 데이터 라인을 하나의 라인으로 묶는 쇼팅바(shorting bar)를 구비하게 된다. 즉, 쇼팅바는 게이트 라인에 연결되는 하나의 쇼팅바와 데이터 라인에 연결되는 다른 하나의 쇼팅바로 구성된다. 이러한 쇼팅바를 이용하여 게이트 라인의 이상 유무를 체크하기 위해 게이트 라인이 연결된 쇼팅바에 전원을 인가하고 게이트 라인의 반대쪽에서 게이트 라인의 이상 유무를 체크하며, 데이터 라인도 마찬가지 방법으로 체크한다.
쇼팅바를 이용하여 게이트 라인 또는 데이터 라인을 검사한 후 게이트 라인 및 데이터 라인과 쇼팅바 사이의 트리밍 라인을 따라 레이저를 조사하여 쇼팅바를 제거하는 레이저 트리밍(laser trimming)을 실시한 후 구동 IC를 실장하게 된다. 레이저 트리밍을 위해서는 별도의 레이저 트리밍 장비를 이용하는데, 레이저 트리밍 좌표를 설정한 후 곧바로 트리밍을 실시하였다. 그러나, 트리밍 후 설정 위치와 실제 트리밍 위치의 일치 여부를 정확히 확인할 수 없기 때문에 트리밍 좌표가 제대로 설정되지 않았을 경우 트리밍 위치를 벗어나 다른 배선까지 손상을 주게 되는 경우가 발생한다.
본 발명의 목적은 레이저 트리밍 후 트리밍 불량을 검출할 수 있는 액정 표시 장치, 그 제조 방법 및 트리밍 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 쇼팅바와 패드 사이에 설정된 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 트리밍 검사 패드를 형성하고, 이를 이용하여 트리밍 불량을 검출할 수 있는 액정 표시 장치, 그 제조 방법 및 트리밍 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 액정 표시 장치는 소정의 구동 신호를 입력하 기 위한 복수의 신호 라인; 상기 복수의 신호 라인과 공통 연결되어 상기 신호 라인의 불량 여부를 테스트하기 위한 신호가 입력되는 쇼팅바; 및 상기 신호 라인과 상기 쇼팅바 사이의 소정 영역에 형성된 트리밍 검사 패드를 포함한다.
상기 복수의 신호 라인으로부터 각각 연장되어 상기 복수의 신호 라인과 상기 쇼팅바를 연결하기 위한 복수의 연결 배선을 더 포함한다.
상기 트리밍 검사 패드는 적어도 하나 이상의 패드로 구성되어 상기 복수의 신호 라인과 상기 쇼팅바 사이에 설정된 트리밍 라인의 소정 영역, 바람직하게는 상기 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 각각 형성된다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은 기판 상부에 제 1 도전막을 형성한 후 패터닝하여 복수의 제 1 신호 라인, 제 1 쇼팅바 및 제 1 트리밍 검사 패드를 형성하는 단계; 및 전체 구조 상부에 절연막 및 제 2 도전막을 형성한 후 상기 제 2 도전막을 패터닝하여 복수의 제 2 신호 라인, 제 2 쇼팅바 및 제 2 트리밍 검사 패드를 형성하는 단계를 포함한다.
상기 제 1 쇼팅바는 상기 복수의 제 1 신호 라인과 공통 연결되도록 형성하고, 상기 제 2 쇼팅바는 상기 복수의 제 2 신호 라인과 공통 연결되도록 형성한다.
상기 제 1 트리밍 검사 패드는 적어도 하나 이상의 패드로 구성되며, 상기 복수의 제 1 신호 라인과 상기 제 1 쇼팅바 사이에 설정된 제 1 트리밍 라인의 소정 영역, 바람직하게는 상기 제 1 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 각각 형성된다.
상기 제 2 트리밍 검사 패드는 적어도 하나 이상의 패드로 구성되며, 상기 복수의 제 2 신호 라인과 상기 제 2 쇼팅바 사이에 설정된 제 2 트리밍 라인의 소정 영역, 바람직하게는 상기 제 2 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 각각 형성된다.
전체 구조 상부에 보호막을 형성한 후 상기 복수의 신호 라인의 소정 영역 및 상기 트리밍 검사 패드의 소정 영역을 노출시키는 복수의 콘택홀을 형성하는 단계; 및 상기 복수의 신호 라인의 소정 영역이 노출되도록 형성된 상기 콘택홀 상부에만 제 3 도전막을 형성하는 단계를 더 포함한다.
한편, 본 발명의 일 실시 예에 따른 액정 표시 장치의 트리밍 방법은 복수의 신호 라인과 쇼팅바 사이의 소정 영역에 트리밍 검사 패드가 형성된 기판이 제공되는 단계; 상기 트리밍 검사 패드의 소정 부분까지 트리밍되도록 설정한 후 트리밍을 실시하는 단계; 및 상기 트리밍 검사 패드의 설정된 부분까지 트리밍되었는지 확인하여 트리밍 불량 여부를 검출하는 단계를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바 및 트리밍 검사 패드를 구비하는 액정 표시 장치의 평면도로서, 하나의 게이트 구동 IC와 데이터 구동 IC가 실장되는 영역만을 도시한 것이다.
도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바 및 트리밍 검사 패드를 구비하는 액정 표시 장치는 기판 상에 일정한 간격을 갖고 일 방향으로 복수의 게이트 라인(11)이 배열되고, 각 게이트 라인(11)에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 복수의 데이터 라인(12)이 배열된다.
게이트 라인(11) 및 데이터 라인(12)이 교차되는 부분은 어레이 영역(10)으로서, 어레이 영역(10)에는 복수의 박막 트랜지스터 및 복수의 화소 전극 등이 형성된다. 화소 전극들은 각각 박막 트랜지스터의 드레인 단자에 연결되며, 박막 트랜지스터의 소오스 단자는 데이터 라인(12)과 연결된다. 따라서, 데이터 라인(12)을 통해 공급된 데이터 신호는 박막 트랜지스터의 소오스 단자 및 드레인 단자를 통해 화소 전극에 공급된다. 또한, 박막 트랜지스터의 게이트 전극은 화소 전압 신호가 화소 전극들에게 인가되도록 하는 게이트 라인(11)과 연결된다.
게이트 라인(11)과 데이터 라인(12)의 일측 끝단에는 게이트 패드(13) 및 데이터 패드(14)가 형성되며, 게이트 패드(13)에 대향되는 부분에는 일정 간격을 갖고 게이트 입력 패드(17)가 형성되고, 데이터 패드(14)에 대향되는 부분에 일정 간격을 갖고 데이터 입력 패드(18)가 형성된다. 여기서, 각 게이트 패드(13)에 대향되도록 게이트 입력 패드(17)가 형성된 부분이 게이트 구동 IC 실장 영역(19)이고, 각 데이터 패드(14)에 대향되도록 데이터 입력 패드(18)가 형성된 부분이 데이터 구동 IC 실장 영역(20)이다. 그리고, 게이트 패드(13)와 게이트 입력 패드(17) 사이의 소정의 영역에 복수의 게이트 패드(13)와 연결되는 하나의 게이트 쇼팅바(15)가 라인 형태로 형성되고, 데이터 패드(14)와 데이터 입력 패드(18) 사이의 소정 영역에 복수의 데이터 패드(14)와 연결되는 하나의 데이터 쇼팅바(16)가 라인 형태로 형성된다. 복수의 게이트 패드(13)를 하나의 게이트 쇼팅바(15)와 연결하기 위 해 복수의 게이트 패드(13) 각각으로부터 복수의 제 1 연결 배선이 연장되며, 이와 마찬가지로 복수의 데이터 패드(14)를 하나의 데이터 쇼팅바(16)와 연결하기 위해 복수의 데이터 패드(14) 각각으로부터 복수의 제 2 연결 배선이 연장된다.
또한, 게이트 쇼팅바(15)와 게이트 패드(13) 사이에 게이트 쇼팅바(15)를 따라 레이저 트리밍을 실시하는 제 1 트리밍 라인(21)이 설정되고, 데이터 쇼팅바(16)와 데이터 패드(14) 사이에 데이터 쇼팅바(16)를 따라 레이저 트리밍을 실시하는 제 2 트리밍 라인(22)이 설정된다.
그리고, 제 1 트리밍 검사 패드(23A 및 23B)가 바람직하게는 제 1 트리밍 라인(21)의 시작점과 끝점에 각각 형성되고, 제 2 트리밍 검사 패드(24A 및 24B)가 바람직하게는 제 2 트리밍 라인(22)의 시작점과 끝점에 각각 형성된다. 제 1 트리밍 검사 패드(23A 및 23B) 및 제 2 트리밍 검사 패드(24A 및 24B) 각각은 복수의 패드로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 제 1 트리밍 검사 패드(23A 및 23B)는 게이트 패드(13)와 동일한 모양으로 형성할 수 있으며, 제 2 트리밍 검사 패드(24A 및 24B)는 데이터 패드 패드(14)와 동일한 모양으로 형성할 수 있으나, 이에 국한되지 않고 다양한 모양으로 형성할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바 및 트리밍 검사 패드를 구비하는 액정 표시 장치의 부분 확대 평면도로서, 도 1의 A 부분을 확대하여 어레이 영역, 게이트 패드, 데이터 패드, 게이트 쇼팅바 및 데이터 쇼팅바, 그리고 제 1 및 제 2 트리밍 검사 패드의 일 영역을 도시한 평면도이다.
도 2를 참조하면, 기판(100) 상부에 일 방향으로 형성된 제 1 신호 라인으로서의 복수의 게이트 라인(11)과, 게이트 라인(11)과 수직하게 교차하여 복수의 화소 영역(P)을 정의하는 제 2 신호 라인으로서의 복수의 데이터 라인(12)이 형성된다. 복수의 게이트 라인(11)은 게이트 쇼팅바(15)를 통해 하나로 연결된다. 이때, 게이트 라인(11)의 끝단에는 게이트 패드(13)가 형성되며, 게이트 쇼팅바(15)는 제 1 연결 배선(111)을 통해 게이트 패드(13)와 연결된다. 또한, 복수의 데이터 라인(12)은 데이터 쇼팅바(16)를 통해 하나로 연결된다. 이때, 데이터 라인(12)의 끝단에 데이터 패드(14)가 형성되며, 데이터 쇼팅바(16)는 제 2 연결 배선(112)을 통해 데이터 패드(14)와 연결된다.
화소 영역(P)에는 화소 전극(120)이 구성되고, 데이터 라인(12)과 게이트 라인(11)이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터(T)가 구성되는데, 박막 트랜지스터(T)는 게이트 라인(11)의 일부인 게이트 전극(122), 화소 전극(120)과 연결되는 드레인 전극(124), 드레인 전극(124)과 소정 간격 이격되어 형성된 소오스 전극(126)으로 구성된다.
또한, 게이트 쇼팅바(15)와 게이트 패드(13) 사이에 설정된 제 1 트리밍 라인(21)의 끝단에는 바람직하게는 복수의 패드로 구성된 제 1 트리밍 검사 패드(23B)가 형성되고, 데이터 쇼팅바(16)와 데이터 패드(14) 사이에 설정된 제 2 트리밍 라인(22)의 끝단에는 바람직하게는 복수의 패드로 구성된 제 2 트리밍 검사 패드(24A)가 형성된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바 및 트리밍 검사 패드를 구비하는 액정 표시 장치는 게이트 쇼팅바(15) 또는 데이터 쇼팅바(16)를 통해 소정의 전기적 신호를 전달한다. 그리고 게이트 쇼팅바(15) 또는 데이터 쇼팅바(16)와 반대쪽의 게이트 라인(11) 또는 데이터 라인(12)에 전기적 신호가 전달되는지를 확인한다. 이러한 방법으로 게이트 라인(11) 및 데이터 라인(12) 또는 박막 트랜지스터의 불량을 검출한 후 제 1 및 제 2 트리밍 라인(21 및 22)를 따라 레이저 트리밍을 실시한다. 레이저 트리밍은 레이저를 조사하여 제 1 연결 배선(111) 및 제 2 연결 배선(112)을 끊어 주는 것으로, 이때, 본 발명에서는 제 1 및 제 2 트리밍 라인(21 및 22)을 따라 레이저 트리밍을 실시할 때 복수의 패드로 구성된 제 1 트리밍 검사 패드(23A 및 23B) 및 제 2 트리밍 검사 패드(24A 및 24B)의 소정 패드까지 트리밍 되도록 좌표를 설정한 후 트리밍을 실시한다. 즉, 제 1 트리밍 검사 패드(23A 및 23B) 및 제 2 트리밍 검사 패드(24A 및 24B)가 예를들어 5개의 패드로 각각 구성되었을 경우 5개의 패드 중에서 3개의 패드가 트리밍되도록 좌표를 설정한 후 트리밍을 실시하여 게이트 쇼팅바(15) 및 데이터 쇼팅바(16)가 게이트 패드(13) 및 데이터 패드(14)와 각각 분리되도록 한다. 이렇게 트리밍한 후의 상태를 도 3에 도시하였다. 트리밍 후 제 1 트리밍 검사 패드(23A 및 23B)가 설정된 수 만큼 트리밍되었나 확인하여 설정된 수와 같거나 오차 범위 내의 경우 원하는대로 트리밍된 것으로 판단하고, 오차 범위 밖의 경우 원하는대로 트리밍되지 않은 것으로 판단한다. 여기서, 5개의 패드 중에서 3개의 패드가 트리밍되도록 설정된 경우 하나 이상 4개 이하의 경우 오차 범위 내로 판단하고, 그 이외의 경우 오차 범위 밖으로 판단한다.
도 4(a) 내지 도 4(d)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바 및 트리밍 검사 패드를 구비하는 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도 2의 Ⅰ-Ⅰ 라인 및 Ⅱ-Ⅱ 라인 사이를 절취한 상태의 단면도이고, 도 5(a) 내지 도 5(d)는 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 라인 및 Ⅳ-Ⅳ 라인 사이를 절취한 상태의 단면도로서, 하부 기판의 제조 방법을 설명하기 위한 것이다.
도 4(a) 및 도 5(a)를 참조하면, 유리, 석영, 세라믹 또는 플라스틱 등의 절연성 재질의 기판(100) 상부에 제 1 도전막(210)을 형성한 후 소정의 마스크를 이용한 사진 및 식각 공정으로 제 1 도전막(210)을 패터닝한다. 제 1 도전막(210)을 패터닝함으로써 게이트 라인(11), 게이트 전극(122), 게이트 패드(13), 제 1 연결 배선(111), 그리고 게이트 쇼팅바(15)가 형성되는 동시에 게이트 쇼팅바(15)와 소정 간격 이격되어 제 1 트리밍 검사 패드(23B)가 형성된다. 여기서, 제 1 트리밍 검사 패드(23B)는 게이트 쇼팅바(15)와 게이트 패드(13) 사이에 설정된 제 1 트리밍 라인(미도시)의 바람직하게는 시작점과 끝점에 형성되며, 적어도 하나 이상의 복수의 패드로 구성되는 것이 바람직하다. 또한, 제 1 트리밍 검사 패드(23B)를 구성하는 복수의 패드는 각각 게이트 패드(13) 또는 제 1 연결 배선(111)과 동일한 모양으로 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 다양한 형태로 형성될 수 있다.
한편, 제 1 도전막(210)은 다중층으로 형성할 수 있는데, 이는 금속 또는 합금의 단점을 보완하고 원하는 물성을 얻기 위해서 이다. 예를들어, 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(Al alloy)을 하부층으로 사용하고 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 몰리브덴(Mo)-텅스텐(W) 또는 몰리브덴(Mo)-텅스텐 나이트라이드(WN)를 상부층으로 사용하는 이중층으로 형성할 수 있다. 이는 하부층으로 배선 저항에 의한 신호 저항을 방지하기 위해 비저항이 작은 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 사용하고, 화학 약품에 의한 내식성이 약하며 쉽게 산화되어 단선이 발생되는 알루미늄 또는 알루미늄 합금의 단점을 보완하기 위해 상부층으로 화학 약품에 대한 내식성이 강한 크롬, 몰리브덴, 몰리브덴-텅스텐 또는 몰리브덴-텅스텐 나이트라이드를 사용하는 것이다.
도 4(b) 및 도 5(b)를 참조하면, 게이트 라인(11), 게이트 전극(122), 게이트 패드(13), 제 1 연결 배선(111), 게이트 쇼팅바(15) 및 제 1 트리밍 검사 패드(23B)가 형성된 전체 구조 상부에 게이트 절연막(220), 활성층(230) 및 제 2 도전막(240)을 순차적으로 형성한다. 게이트 절연막(220)은 금속 물질과의 밀착성이 우수하며 절연 내압이 우수한 질화 실리콘(SiNx)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기 절연 물질 중 하나 또는 그 이상의 절연 물질을 이용하여 형성할 수 있다. 또한, 활성층(230)은 비정질 실리콘막을 이용하여 형성할 수 있다. 그리고, 제 2 도전막(240)은 금속 단일층으로 형성할 수 있으며, 금속 또는 합금의 단점을 보완하고 원하는 물성을 얻기 위해 다중층으로 형성할 수 있다. 예를들어 제 2 도전막(240)은 크롬(Cr)의 단일층으로 형성할 수 있으며, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo)의 3중층으로 형성할 수 있다.
소정의 마스크를 이용한 사진 및 식각 공정으로 제 2 도전막(240) 및 활성층(230)을 선택적으로 제거하여 박막 트랜지스터(T)가 형성될 영역을 확정하는 동시에 데이터 라인(12), 데이터 패드(14), 제 2 연결 배선(112), 데이터 쇼팅바(16) 및 제 2 트리밍 검사 패드(24A)를 형성한다. 여기서, 제 2 트리밍 검사 패드(24A)는 데이터 쇼팅바(16)와 데이터 패드(14) 사이에 설정된 제 2 트리밍 라인(미도시)의 바람직하게는 시작점과 끝점에 형성되며, 적어도 하나 이상의 복수의 패드로 구성되는 것이 바람직하다. 또한, 제 2 트리밍 검사 패드(24A)를 구성하는 복수의 패드는 각각 데이터 패드(14) 또는 제 2 연결 배선(112)과 동일한 모양으로 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 다양한 형태로 형성될 수 있다.
그리고, 박막 트랜지스터(T)가 형성될 영역에 잔류하는 제 2 도전막(240)의 소정 영역을 제거하여 활성층(230)을 노출시킨다. 제 2 도전막(240)의 소정 영역을 제거함으로써 소오스 전극(124) 및 드레인 전극(126)이 형성된다. 여기서, 소오스 전극(124) 및 드레인 전극(126)을 형성하기 위해 제거되는 제 2 도전막(240)은 바람직하게는 게이트 전극(122)과 일부 중첩되는 영역이다.
한편, 상기에서는 데이터 라인(12), 데이터 패드(14), 데이터 쇼팅바(16), 제 2 연결 배선(112) 및 제 2 트리밍 설정 패드(24A)가 활성층(230)과 제 2 도전막(240)의 적층 구조로 형성되는 것으로 설명되었으나, 이들은 활성층(230)을 제거한 후 제 2 도전막(240)만으로 형성될 수도 있다.
도 4(c) 및 도 5(c)를 참조하면, 전체 구조 상부에 보호막(250)을 형성한 후 소정의 마스크를 이용한 사진 및 식각 공정으로 보호막(250)의 소정 영역을 제거하여 복수의 콘택홀을 형성한다. 보호막(250)이 제거되어 콘택홀이 형성되는 부분은 예컨데, 게이트 패드(13), 드레인(126), 제 1 트리밍 검사 패드(23B), 그리고 데이터 패드(14) 및 제 2 트리밍 검사 패드(24A)의 소정 영역을 노출시키는 영역이다.
도 4(d) 및 도 5(d)를 참조하면, 콘택홀을 포함한 전체 구조 상부에 균일한 두께로 ITO막 또는 IZO막을 포함하는 제 3 도전막(260)을 형성한다. 그리고, 소정의 마스크를 이용한 사진 및 식각 공정으로 복수의 콘택홀 상부에서 일부 잔류하도록 나머지 제 3 도전막(260)을 제거한다. 이렇게 하면 각 패드에 연결되는 화소 전극(120) 및 보조 패드가 형성된다. 이때, 제 1 트리밍 검사 패드(23B) 및 제 2 트리밍 검사 패드(24A)가 형성된 영역에는 제 3 도전막(260)이 잔류되지 않도록 한다.
상기와 같은 공정으로 게이트 라인(12), 게이트 패드(14), 게이트 쇼팅바(15), 제 1 트리밍 검사 패드(23B), 그리고 데이터 라인(13), 데이터 패드(14), 데이터 쇼팅바(16), 제 2 트리밍 검사 패드(24A), 또한 박막 트랜지스터 및 화소 전극을 포함하는 하부 기판이 제조된다.
그리고, 또 다른 공정으로 기판 상에 화소와 화소 사이의 빛 투과를 차단하는 블랙 매트릭스층을 예를들어 크롬 박막을 이용하여 형성하고, RGB 컬러 필터를 각각의 화소 영역과 일치하도록 형성하며, ITO 박막을 이용하여 화소별 구분없이 컬러 필터 전면에 공통 전극을 형성함으로써 상부 기판이 제조된다.
이와 같이 서로 다른 제조 공정에서 제조된 상부 기판 및 하부 기판의 각각의 표면에 액정 분자를 일정 방향으로 배열시키기 위한 배향막을 형성한 후 스페이서를 이용하여 두 기판 사이의 갭이 일정하게 유지되도록 하고, 그 사이에 액정을 주입한다. 이렇게 하여 액정 표시 장치의 제조가 완료된다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 쇼팅바 및 트리밍 검사 패드를 구비하는 액정 표시 장치의 트리밍 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 5를 참조하면, 게이트 쇼팅바와 게이트 패드 사이의 게이트 쇼팅바를 따라 설정된 제 1 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 각각 제 1 트리밍 검사 패드를 형성하고, 데이터 쇼팅바와 데이터 패드 사이의 데이터 쇼팅바를 따라 설정된 제 2 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 각각 제 2 트리밍 검사 패드를 형성한다(S100). 이들 제 1 및 제 2 트리밍 검사 패드는 복수의 패드로 구성하는 것이 바람직하다.
소정의 트리밍 장비를 이용하여 제 1 트리밍 라인 및 제 2 트리밍 라인을 따라 트리밍 좌표를 설정한다(S200). 이때, 복수의 패드로 구성된 제 1 및 제 2 트리밍 검사 패드중 소정의 패드까지 트리밍되도록 좌표를 설정하는데, 예를들어 제 1 및 제 2 트리밍 검사 패드가 5개의 패드로 구성되었을 경우 2개의 패드가 트리밍되도록 트리밍 좌표를 설정한다.
설정된 좌표를 이용하여 제 1 트리밍 라인 및 제 2 트리밍 라인을 따라 레이 저를 조사하여 레이저 트리밍을 실시한다(S300).
레이저 트리밍을 실시한 후 제 1 및 제 2 트리밍 검사 패드가 설정된 수만큼 트리밍되었나 확인한다(S400).
확인 결과 설정된 수와 같거나 오차 범위 내의 경우 원하는대로 트리밍된 것으로 판단하여 패스 처리하고(S500), 오차 범위 밖의 경우 원하는대로 트리밍되지 않은 것으로 판단하여 페일 처리한다(S600). 여기서, 5개의 패드 중에서 2개의 패드가 트리밍되도록 설정된 경우 하나 이상 4개 이하의 경우 오차 범위 내로 판단하고, 그 이외의 경우 오차 범위 밖으로 판단한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 게이트 쇼팅바와 게이트 패드 사이에 설정된 제 1 트리밍 라인과, 데이터 쇼팅바와 데이터 패드 사이에 설정된 제 2 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 각각 복수의 패드로 구성된 제 1 트리밍 검사 패드와 제 2 트리밍 검사 패드를 형성한다. 그리고, 제 1 및 제 2 트리밍 검사 패드의 소정 부분까지 트리밍되도록 레이저 트리밍을 실시한 후 제 1 및 제 2 트리밍 검사 패드의 설정된 부분까지 트리밍되었나 확인하여 트리밍 불량 여부를 확인할 수 있도록 함으로써 설정 오차 등에 의한 트리밍 불량을 검출할 수 있다.

Claims (14)

  1. 소정의 구동 신호를 입력하기 위한 복수의 신호 라인;
    상기 복수의 신호 라인과 공통 연결되어 상기 신호 라인의 불량 여부를 테스트하기 위한 신호가 입력되는 쇼팅바; 및
    상기 신호 라인과 상기 쇼팅바 사이의 소정 영역에 형성된 트리밍 검사 패드를 포함하는 액정 표시 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 복수의 신호 라인으로부터 각각 연장되어 상기 복수의 신호 라인과 상기 쇼팅바를 연결하기 위한 복수의 연결 배선을 더 포함하는 액정 표시 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 트리밍 검사 패드는 적어도 하나 이상의 패드로 구성되는 액정 표시 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 트리밍 검사 패드는 상기 복수의 신호 라인과 상기 쇼팅바 사이에 설정된 트리밍 라인의 소정 영역에 형성되는 액정 표시 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 트리밍 검사 패드는 상기 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 각각 형성되는 액정 표시 장치.
  6. 기판 상부에 제 1 도전막을 형성한 후 패터닝하여 복수의 제 1 신호 라인, 제 1 쇼팅바 및 제 1 트리밍 검사 패드를 형성하는 단계; 및
    전체 구조 상부에 절연막 및 제 2 도전막을 형성한 후 상기 제 2 도전막을 패터닝하여 복수의 제 2 신호 라인, 제 2 쇼팅바 및 제 2 트리밍 검사 패드를 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 쇼팅바는 상기 복수의 제 1 신호 라인과 공통 연결되도록 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 트리밍 검사 패드는 적어도 하나 이상의 패드로 구성되며, 상기 복수의 제 1 신호 라인과 상기 제 1 쇼팅바 사이에 설정된 제 1 트리밍 라인의 소정 영역에 형성되는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제 6 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 제 1 트리밍 검사 패드는 상기 제 1 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 각각 형성되는 액정 표시 장치.
  10. 제 6 항에 있어서, 상기 제 2 쇼팅바는 상기 복수의 제 2 신호 라인과 공통 연결되도록 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제 6 항에 있어서, 상기 제 2 트리밍 검사 패드는 적어도 하나 이상의 패드로 구성되며, 상기 복수의 제 2 신호 라인과 상기 제 2 쇼팅바 사이에 설정된 제 2 트리밍 라인의 소정 영역에 형성되는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제 6 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 제 2 트리밍 검사 패드는 상기 제 2 트리밍 라인의 시작점과 끝점에 각각 형성되는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  13. 제 6 항에 있어서, 전체 구조 상부에 보호막을 형성한 후 상기 복수의 신호 라인의 소정 영역 및 상기 트리밍 검사 패드의 소정 영역을 노출시키는 복수의 콘 택홀을 형성하는 단계; 및
    상기 복수의 신호 라인의 소정 영역이 노출되도록 형성된 상기 콘택홀 상부에만 제 3 도전막을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시장치의 제조 방법.
  14. 복수의 신호 라인과 쇼팅바 사이의 소정 영역에 트리밍 검사 패드가 형성된 기판이 제공되는 단계;
    상기 트리밍 검사 패드의 소정 부분까지 트리밍되도록 설정한 후 트리밍을 실시하는 단계; 및
    상기 트리밍 검사 패드의 설정된 부분까지 트리밍되었는지 확인하여 트리밍 불량 여부를 검출하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치의 트리밍 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110910801A (zh) * 2018-09-17 2020-03-24 三星显示有限公司 显示装置

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