KR20070084770A - 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 기판 상에 형성된 구동 소자와;상기 구동 소자와 연결된 금속 연결 전극과;상기 금속 연결 전극들 상부에 형성된 도전성 산화물층과;상기 구조물 전면에 형성되면서 상기 도전성 산화물층의 일부를 노출시키는 관통홀을 구비한 절연막과;상기 절연막 상부에 형성되면서 상기 노출된 도전성 산화물층과 전기적으로 연결되는 전극을 포함한 유기 발광 소자 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 구동 소자는 비정질 실리콘 트랜지스터로서, 상기 금속 연결 전극은 상기 비정질 실리콘 트랜지스터의 소스 및 드레인측에 각각 형성된 전극인 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 기판 상에 형성된 구동 소자는,기판 상에 형성된 반도체층과;상기 반도체층 상부에 분리 형성되며 상기 금속 연결 전극과 각각 접촉되는 도핑 전도막을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치.
- 제 3항에 있어서, 상기 구동 소자 하부에는 게이트 절연막으로 절연된 게이트 전극이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 도전성 산화물층은 상기 금속 연결 전극들 중에서 상기 유기 발광 소자 구조물의 전극과 연결되는 금속 연결 전극 상부에만 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 금속 연결 전극은 알루미늄을 포함하는 주기율표 상의 금속 또는 이들의 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 도전성 산화물은 인듐, 카드뮴, 아연, 리튬, 주석, 티타늄, 또는 루테늄의 산화물 및 이들의 산화 화합물을 포함하는 도전성 금속 산화물 중에서 선택된 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 도전성 산화물은 인듐주석 산화물(ITO) 또는 인듐아연 산화물(IZO)인 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 유기 발광 소자 구조물은,상기 도전성 산화물층과 상기 관통홀을 통해 연결되면서 상기 절연막 상부에 배치된 화소 전극과;상기 화소 전극 상부에 형성되는 유기물 발광층과;상기 유기물 발광층 상부에 형성되는 공통 전극으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치.
- 금속 연결 전극이 형성된 스위칭 소자를 구비한 능동형 유기 발광 소자에 있어서,상기 스위칭 소자의 금속 연결 전극에 도달하도록 배치된 상기 능동형 유기 발광 소자의 일측 전극과;상기 능동형 유기 발광 소자의 일측 전극과 상기 스위칭 소자의 금속 연결 전극 사이에 형성되어 전기적 경로를 완성하는 도전성 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치.
- 제 10항에 있어서, 상기 스위칭 소자는 비정질 실리콘 트랜지스터인 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치.
- 기판 상에 금속 연결 전극을 포함하는 구동 소자를 형성하는 단계와;상기 구동 소자의 금속 연결 전극 상부에 도전성 산화물층을 형성하는 단계와;상기 도전성 산화물층과 전기적으로 접속되도록 화소 전극을 형성하는 단계 와;상기 화소 전극 상부에 유기 발광 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 제조 방법.
- 제 12항에 있어서, 상기 도전성 산화물층과 전기적으로 접속되도록 화소 전극을 형성하는 단계는,상기 도전성 산화물층을 가진 구동 소자를 포함하는 기판 상의 구조물 전면에 유기물 평탄막을 형성하는 단계와;상기 도전성 산화물층이 일부 노출되도록 상기 유기물 평탄막에 관통홀을 형성하는 단계와;상기 형성된 관통홀을 포함하는 영역에 상기 화소 전극 물질을 형성한 후 상기 관통홀 부분과 유기 발광 구조물을 형성할 부분만 잔류하도록 상기 화소 전극 물질을 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 제조 방법.
- 제 13항에 있어서, 상기 도전성 산화물은 상기 유기물 평탄막과 식각 선택성이 상이한 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 제조 방법.
- 제 12항에 있어서, 상기 구동 소자를 형성하는 단계는,기판 상에 비정질 실리콘 반도체층을 형성하는 단계와;상기 반도체층 상부에 도핑된 전도막을 형성하는 단계와;상기 도핑된 전도막 상부에 금속 연결 전극을 형성하고, 상기 금속 연결 전극과 상기 도핑된 전도막을 패터닝하여 소스/드레인 영역을 구분하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 제조 방법.
- 제 12항에 있어서, 상기 도전성 산화물층을 형성하는 단계는 상기 구동 소자의 금속 연결 전극들 중 일측 전극에만 도전성 산화물층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 제조 방법.
- 제 12항에 있어서, 상기 도전성 산화물층을 형성하는 단계는,상기 구동 소자의 금속 연결 전극 상부에 상기 도전성 산화물층을 형성하는 단계와;상기 도전성 산화물층, 금속 연결 전극 및 도핑된 전도막을 차례로 식각하여 소스/드레인 영역으로 구분하는 패터닝을 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 제조 방법.
- 제 12항에 있어서, 상기 금속 연결 전극은 알루미늄을 포함하는 주기율표 상의 금속 또는 이들의 합금으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 제조 방법.
- 제 12항에 있어서, 상기 도전성 산화물층을 형성하는 단계는 인듐, 카드뮴, 아연, 리튬, 주석, 티타늄, 또는 루테늄의 산화물 및 이들의 산화 화합물을 포함하는 도전성 금속 산화물 중에서 선택된 것을 이용하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 제조 방법.
- 제 12항에 있어서, 상기 도전성 산화물을 형성하는 단계는 금속 연결 전극을 포함하는 하부 구조물 전면에 인듐주석 산화물(ITO) 또는 인듐아연 산화물(IZO)을 형성하고, 상기 구동 소자의 금속 연결 전극 상부 일부에만 잔류하도록 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 제조 방법.
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