KR20070076607A - 액정표시장치의 제조장치 및 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정표시장치의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조장치는 액정표시패널이 안착되는 테이블과; 상기 액정표시패널의 판면을 제 1표면거칠기로 연삭하는 제 1그라인딩부와; 제 1표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 제1표면거칠기보다 작은 제 2표면거칠기로 연삭하는 제 2그라인딩부와; 제 2표면 거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 연마하는 폴리싱부를 포함한다. 이에 의해 액정표시패널의 두께를 효율적이고 용이하게 감소시킬 수 있다.
Description
도 1 은 본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치의 평면도,
도 2 및 도 3은 각각 본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치의 일 요부인 제1그라인딩부 및 다른 요부인 폴리싱부의 사시도,
도 4는 본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 이용한 액정표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치의 평면도,
도 6은 본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치의 요부인 폴리싱부의 사시도, 및
도 7은 본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 이용한 액정표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타낸 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1, 2 : 액정표시장치의 제조장치 10 : 액정표시패널
100 : 패널 투입부 150 : 보호막 형성부
200 : 제 1패널 이송부 250 : 테이블
300 : 테이블 회전부 400 : 제 1그라인딩부
450 : 제 2그라인딩부 500, 501 : 폴리싱부
600 : 제 2패널 이송부 700 : 반전 회동부
800 : 고정부 850 : 클리닝 부재
900 : 패널 배출부
본 발명은 액정표시장치의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액정표시패널의 양 기판의 두께를 감소시키기 위한 액정표시장치의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
액정표시장치는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제 1 기판과 제 1기판에 대향 배치되어 있는 제2기판, 그리고 이들 사이에 액정층이 위치하고 있는 액정표시패널을 포함하고 있다.
최근 액정표시장치를 포함하는 전자제품의 경우 휴대성, 공간 절약, 디자인 측면을 고려하여 슬림화가 요구되며, 이에 따라 액정표시장치의 일 구성 부분인 액정표시패널도 박형화가 요구되고 있다. 액정표시패널 두께의 대부분은 통상 양 기판이 차지하므로 액정표시패널의 박형화를 위해서는 양 기판의 두께를 얇게 만들어야 한다. 액정표시패널의 제조공정에서 처음부터 양 기판의 두께를 얇게 만들면, 이 후의 제조 공정에서 기판의 휨이나 파손 문제가 발생하는 등 취급이 어려운 문제가 있다. 따라서 일정 정도의 두께를 가지는 양 기판을 이용하여 액정표시패널을 완성한 후 양 기판의 두께를 감소시킴으로써 액정표시패널의 두께를 감소시키는 방법이 사용된다.
이러한 유리 기판의 두께를 감소시키는 방법에는 불산 등의 식각액을 이용한 식각법과, 마더 기판 상태의 액정표시패널의 유리 기판의 양 판면에 동시에 압력을 전사하는 랩핑(wrapping)법이 있다. 그러나 식각법의 경우 유리 기판의 표면이 거칠어져 광투과성이 떨어지며, 신호선 배선 등이 부식되고 제조시간이 많이 걸리는 문제점이 있다. 한편, 랩핑법은 마더 기판 상태에서 행해지는바 설비 규모가 커지고 액정표시패널의 운반 및 취급이 불편하며, 제조시간이 많이 걸리는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 액정표시패널의 두께를 효율적이고 용이하게 감소시킬 수 있는 액정표시장치의 제조장치 및 제조방법을 제공하는데 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 액정표시패널이 안착되는 테이블과; 상기 액정표시패널의 판면을 제 1표면거칠기로 연삭하는 제 1그라인딩부와; 제 1표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 제1표면거칠기보다 작은 제 2표면거칠기로 연삭하는 제 2그라인딩부와; 제 2표면 거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 연마하는 폴리싱부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치에 의해 달성된다.
상기 제 1그라인딩부 및 제 2그라인딩부는 각각, 마찰을 통해 상기 액정표시 패널의 판면을 연삭하는 그라인딩 헤드를 포함하며 연삭력을 증가시키기 위해 상기 그라인딩 헤드는 다이아몬드 휠을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 제 1그라인딩부 및 제 2그라인딩부는 각각, 상기 그라인딩 헤드를 상기 액정표시패널의 판면에 평행하게 자전시키는 자전구동부재와, 상기 그라인딩 헤드를 상기 액정표시패널의 판면에 평행하게 공전시키는 공전구동부재로 이루어진 그라인딩 구동부를 포함하는 것이 액정표시패널의 판면을 균일하게 연삭하기 위해 바람직하다.
상기 폴리싱부는, 상기 액정표시패널의 판면과의 마찰을 통해 상기 판면을 연마하는 폴리싱 헤드와; 상기 폴리싱 헤드를 상기 액정표시패널의 판면에 평행하게 자전시키는 자전구동부재와, 상기 폴리싱 헤드를 상기 액정표시패널의 판면에 평행하게 공전시키는 공전구동부재로 이루어진 폴리싱 구동부를 포함하는 것이 액정표시패널의 판면을 균일하게 연마하기 위해 바람직하다.
상기 폴리싱부는, 제 1폴리싱부와; 상기 액정표시패널을 사이에 두고 상기 제 1폴리싱부와 대면하고 있는 제 2폴리싱부를 포함하는 것이 액정표시패널의 양 판면을 동시에 연마함으로써 액정표시장치의 제조효율을 높이기 위해 바람직하다.
상기 테이블에 안착된 상기 액정표시패널을 상기 제 1그라인딩부, 제2그라인딩부 및 상기 폴리싱부로 순차적으로 이동시키는 테이블 회전부를 더 포함하는 것이 이동 거리를 감소시켜 설비 규모를 줄이고 제조효율을 높이기 위해 바람직하다.
상기 테이블은, 연삭 및 연마 과정에서 액정표시패널의 유동을 방지하기 위해 상기 액정표시패널을 고정하기 위한 진공척 및 정전기척 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 액정표시패널을 반전회동시키는 반전회동부를 더 포함하는 액정표시패널의 제조효율을 증대시키기 위해 바람직하다.
상기 액정표시패널의 모서리를 따라 보호막을 형성시키는 보호막 형성부를 더 포함하는 것이 연삭 또는 연마 과정에서 액정표시패널의 외곽의 비표시영역에 형성되어 있는 신호선 배선 등에 수분이나 이물질이 흡수되거나, 흡수된 수분이나 이물질로 인해 신호선 배선 등이 부식되는 것을 방지하기 위해 바람직하다.
상기 액정표시패널을 상기 테이블에 안착시키거나 상기 테이블로부터 탈착시키는 패널 이송부를 더 포함하는 것이 제조효율 증대를 위해 바람직하다.
한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 액정표시패널을 테이블에 안착시키는 단계와; 상기 액정표시패널 중 어느 하나의 판면을 제 1표면거칠기로 연삭하는 제 1그라인딩 단계와; 제 1표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 제1표면거칠기보다 작은 제 2표면거칠기로 연삭하는 제 2그라인딩 단계와; 제 2표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 연마하는 폴리싱 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법에 의해서도 달성된다.
상기 폴리싱 단계 후에, 상기 액정표시패널을 반전 회동시키는 단계와; 상기 액정표시패널 중 다른 하나의 판면을 제 3표면거칠기로 연삭하는 제 3그라인딩 단계와; 제 3표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 제3표면거칠기보다 작은 제 4표면거칠기로 연삭하는 제 4그라인딩 단계와; 제 4표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 연마하는 추가의 폴리싱 단계를 더 포함하는 것이 액정 표시패널의 양 판면 모두의 두께를 감소시키기 위해 바람직하다.
상기 제 1그라인딩 단계 전에, 상기 액정표시패널의 모서리를 따라 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 추가의 폴리싱 단계 후에, 상기 보호막을 제거하는 단계를 더 포함하는 것이 연삭 또는 연마 과정에서 액정표시패널의 외곽의 비표시영역에 형성되어 있는 신호선 배선 등에 수분이나 이물질이 흡수되거나, 흡수된 수분이나 이물질로 인해 신호선 배선 등이 부식되는 것을 방지하기 위해 바람직하다.
상기 추가의 폴리싱 단계 및 상기 보호막 제거 단계 사이에, 상기 액정표시패널을 반전 회동시키는 추가의 반전 회동 단계를 더 포함하는 것이 보호막 제거의 편의를 위해 바람직하다.
상기 보호막 제거 단계 후에, 액정표시패널에 남아있는 수분이나 이물질을 제거하기 위해 상기 액정표시패널을 클리닝 및 건조하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기의 목적은, 본 발명에 따라 액정표시패널을 테이블에 안착시키는 단계와; 상기 액정표시패널 중 어느 하나의 판면을 제 1표면거칠기로 연삭하는 제 1그라인딩 단계와; 제 1표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 제1표면거칠기보다 작은 제 2표면거칠기로 연삭하는 제 2그라인딩 단계와; 상기 액정표시패널을 반전 회동시키는 단계와; 상기 액정표시패널 중 다른 하나의 판면을 제 3표면거칠기로 연삭하는 제 3그라인딩 단계와; 제 3표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 제3표면거칠기보다 작은 제 4표면거칠기로 연삭하는 제 4그라인딩 단계와; 연삭된 상기 액정표시패널의 양 판면을 연마하는 폴리싱 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법에 의해서도 달성된다.
상기 제 1그라인딩 단계 전에, 상기 액정표시패널의 모서리를 따라 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 폴리싱 단계 후에, 상기 보호막을 제거하는 단계를 더 포함하는 것이 연삭 또는 연마 과정에서 액정표시패널의 외곽의 비표시영역에 형성되어 있는 신호선 배선 등에 수분이나 이물질이 흡수되거나, 흡수된 수분이나 이물질로 인해 신호선 배선 등이 부식되는 것을 방지하기 위해 바람직하다.
상기 폴리싱 단계 및 상기 보호막 제거 단계 사이에, 상기 액정표시패널을 반전 회동시키는 추가의 반전 회동 단계를 더 포함하는 것이 보호막 제거의 편의를 위해 바람직하다.
상기 연마는 상기 액정표시패널의 양 판면에 동시에 수행되는 것이 액정표시장치의 제조효율을 높이기 위해 바람직하다.
상기 보호막 제거 단계 후에, 액정표시패널에 남아있는 수분이나 이물질을 제거하기 위해 상기 액정표시패널을 클리닝 및 건조하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대하여 설명한다.
여러 실시예에 있어서 동일한 구성요소에 대하여는 제1실시예에서 대표적으로 설명하고 다른 실시예에서는 생략될 수 있다.
본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다. 도 1 은 본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장 치의 평면도, 도 2 및 도 3은 각각 본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치의 일 요부인 제1그라인딩부 및 다른 요부인 폴리싱부의 사시도이다.
본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치(1)는 패널투입부(100), 보호막 형성부(150), 제 1패널 이송부(200), 테이블(250), 테이블 회전부(300), 제 1그라인딩부(400), 제 2그라인딩부(450), 폴리싱부(500), 제 2패널이송부(600), 반전회동부(700), 고정부(800) 및 패널배출부(900)를 포함하여 이루어져 있다.
패널투입부(100)는 두께의 감소가 요구되는 액정표시패널(10)이 외부로부터 이송되어온 후 최초로 안착되는 부분이다. 본 실시예에서 사용되는 액정표시패널(10)의 접합 기판은 유리 소재의 기판이나 이에 한정되는 것은 아니며, 석영 소재 등의 기판이 사용되어도 무방하다.
패널투입부(100)의 일측에는 운반수단(미도시)에 의해 패널투입부(100)로부터 이송되어온 액정표시패널(10)의 모서리를 따라 보호막(16, 도4의 (b)참조)을 형성시키는 보호막 형성부(150)가 마련되어 있다.
보호막 형성부(150)는 보호막 형성부재(151)와 정렬부(158)를 포함한다.
정렬부(158)는 실리콘 조성물을 포함하는 보호막(16)을 형성하기 위해 보호막 형성용액(17, 도 4의 (a)참조)을 분사하고 경화하는 보호막 형성부재(151)의 대응위치에 액정표시패널(10)이 정렬되어 안착되는 부분이다.
보호막 형성부재(151)는 액정표시패널(10)의 상부에서 액정표시패널(10)의 모서리를 따라 이동하며 실리콘 조성물 및 경화제가 포함된 보호막 형성용액(17)을 분사하고 경화를 시켜 보호막(16)을 형성시킨다. 보호막 형성부재(151)는 공지의 구성으로 마련되며, 상세한 설명은 생략한다.
여기서, 보호막(16)은 액정표시패널(10)의 두께를 감소시키기 위한 그라인딩 및 폴리싱 등의 제조공정을 거치는 과정에서 액정표시패널(10)의 모서리 부분에 형성되어 있는 신호선 배선(미도시) 등에 수분이나 이물질이 침투하는 것을 방지하며, 폴리싱 공정이 완료된 후에는 제거되게 된다.
보호막 형성부재(151)의 인근에 마련되어 있는 제 1패널 이송부(200)는 정렬부(158)로부터 테이블(250)로 보호막 형성이 완료된 액정표시패널(10)을 이송시키는 부분으로, 흡착부(210), 연결바(220) 및 회전모터(230)로 이루어져 있다.
흡착부(210)는 보호막(16) 형성이 완료된 액정표시패널(10)을 정렬부(158)로부터 테이블(250)로 이동시키는 동안 흡착을 통해 액정표시패널(10)을 고정하는 부분이다.
흡착부(210)와 연결바(220)에 의해 연결되어 있는 회전모터(230)는 흡착부(210)를 회동시킴으로써 흡착부(210)에 흡착 고정되어 있는 액정표시패널(10)을 정렬부(158)로부터 테이블(250)로 이동시키는 구동력을 제공한다.
보호막(16) 형성이 완료된 액정표시패널(10)이 안착되는 테이블(250)은 회전판(252)과 안착부(254)로 이루어져 있다.
회전판(252)은 가운데 부분에 연결되어 있는 테이블 회전부(300)에 의해 90도씩 시계 방향으로 회동하게 된다.
회전판(252)의 상부에는 안착부(254)가 형성되어 있다. 안착부(254)는 보호 막(16) 형성이 끝난 액정표시패널(10)이 테이블(250) 중에서 실제적으로 안착되는 부분이다. 안착부(254)의 상부면에는 진공척(256)이 형성되어 있어 안착부(254)에 안착된 액정표시패널(10)을 고정하여 연삭 및 연마과정에서의 액정표시패널(10)의 유동을 방지한다. 본 실시예에서는 액정표시패널(10)의 유동을 방지하기 위해 진공척(256)을 사용하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 공지의 정전기척을 사용하여 액정표시패널(10)의 유동을 방지할 수도 있다.
안착부(254)는 제 1안착부(254a), 제 2안착부(254b), 제 3안착부(254c) 및 제 4안착부(254d)로 마련되어 있다. 각각의 안착부(254a 내지 254d)는 90도씩 시계 방향으로 회동함으로써 서로의 위치를 바꾸게 된다. 이에 따라 각각의 안착부(254a 내지 254d)에 안착된 액정표시패널(10)은 회동을 하여 제 1그라인딩부(400), 제2그라인딩부(450) 및 폴리싱부(500)로 순차적으로 이동하게 되면서 연삭 및 연마 공정을 수행하게 된다.
회전판(252)의 가운데 부분에 마련되어 있는 테이블 회전부(300)는 회전축(310)과 회전판 연결부(320)로 이루어져 있다.
회전축(310)은 모터 등의 구동부(미도시)의 구동에 의한 회전력을 회전판 연결부(320)를 통해 회전판(252)에 전달한다. 회전축(310)의 구동에 의해 회전판(252)은 90도씩 시계 방향으로 회동하게 된다.
제 2안착부(254b)의 일측으로부터 제 2안착부(254b)의 상부로 연장되어 있는 제 1그라인딩부(400)는 그라인딩 헤드(410) 및 그라인딩 구동부(420)로 마련되어 있다. 제 1그라인딩부(400)는 제 2안착부(254b)에 안착되어 있는 액정표시패널(10) 의 일 판면을 제 1표면거칠기로 연삭함으로써 액정표시패널(10)의 두께를 감소시키게 된다.
그라인딩 헤드(410)는 하부면에 제 2안착부(254)에 안착된 액정표시패널(10)의 어느 하나의 판면과 마찰을 통해 연삭력을 제공하는 제 1 다이아몬드 휠(412)을 포함하고 있다.
한편, 그라인딩 구동부(420)는 자전구동부재(422)와 공전구동부재(424) 및 이들을 연결하는 연결부(425)로 이루어져 있다.
회전모터 등으로 마련되어 있는 자전구동부재(422)는 그라인딩 헤드(410)의 중앙 상부에 마련되어 있다. 자전구동부재(422)는 그랑인딩 헤드(410)가 액정표시패널(10)의 판면에 평행하게 자전하면서 액정표시패널(10)을 마찰을 통해 연삭되도록 구동력을 제공한다.
자전구동부재(422)와 연결부(425)에 의해 연결되어 있는 공전구동부재(424)는 공전부(424a)와 공전유도홈(424b)으로 마련되어 있다. 공전부(424a)는 구동부(미도시)에 의해 공전유도홈(424b)의 둘레를 따라 액정표시패널(10)의 판면에 평행하게 공전운동을 하게 된다. 따라서, 그라인딩 헤드(410)는 자전구동부재(422)에 의해 자전과 함께 공전구동부재(424)에 의해 공전을 하면서 액정표시패널(10)의 판면 전부를 제 1표면거칠기로 균일하게 마찰을 통해 연삭시킴으로써 액정표시패널(10)의 두께를 감소시키게 된다.
도면에는 도시하지 않았으나 액정표시장치의 제조장치(1)는 연삭 과정에서 마찰에 의해 제 1그라인딩부(400)의 그라인딩 헤드(410) 및 액정표시패널(10)의 판 면에서 발생하는 온도 상승을 막기 위해 제 1그랑인딩부(400) 및 연삭되는 액정표시패널(10)의 판면에 냉각액을 공급하는 냉각액 공급부재(미도시)를 더 포함할 수 있다.
제 1그라인딩부(400)의 일측에는 제 2그라인딩부(450)가 마련되어 있다.
제 2그라인딩부(450)는 제1표면거칠기로 연삭된 후 테이블 회전부(300)에 의해 이송되어와 제 3안착부(254c)에 위치하는 액정표시패널(10)의 판면을 제 1표면거칠기보다 작은 제 2표면거칠기로 연삭한다. 이를 통해 액정표시패널(10)의 두께를 더욱 감소시키며, 뒤의 공정인 폴리싱 공정이 용이하게 수행되어질 수 있다.
제 2그라인딩부(450)도 제 1그라인딩부(400)와 마찬가지로 그라인딩 헤드(460) 및 그라인딩 구동부(470)를 포함하고 있다.
그라인딩 헤드(460)는 제 1표면거칠기로 연삭된 액정표시패널(10)의 판면과 마찰을 통해 액정표시패널(10)의 판면을 제 1표면거칠기보다 작은 제2표면거칠기로 연삭하는 제2 다이아몬드 휠(미도시)을 포함하고 있다. 연삭하는 제2 다이아몬드 휠(미도시)은 제 1다이아몬드 휠(미도시)보다 낮은 연삭력을 제공함으로써 제 2표면거칠기는 제 1표면거칠기보다 작게된다.
그라인딩 구동부(470)도 제 1그라인딩부(400)의 그라인딩 구동부(420)와 마찬가지로 자전구동부재(472)와 공전구동부재(474)로 이루어져 있다. 따라서 자전구동부재(472)와 공전구동부재(474)의 구동에 의해 그라인딩 헤드(460)가 자전과 동시에 공전하며 액정표시패널(10)의 판면 전부를 제 2표면거칠기로 균일하게 연삭하게 된다.
한편, 도면에는 도시하지 않았으나 액정표시장치의 제조장치(1)는 제 1그랑인딩부(400) 및 연삭되는 액정표시패널(10)의 판면에 냉각액을 공급하는 냉각액 공급부재(미도시)를 더 포함할 수 있다.
제 4안착부(254d)의 일측으로부터 제 4안착부(254d)의 상부로 연장되어 있는 폴리싱부(500)는 제 2표면거칠기로 연삭되어 테이블 회전부(300)에 의해 이송되어온 액정표시패널(10)의 판면을 평탄화시키고, 광투과율을 증대시키기 위해 연마를 행하게 된다.
폴리싱부(500)는 폴리싱 헤드(510)와 폴리싱 구동부(520)로 마련되어 있다.
폴리싱 헤드(510)는 마찰을 통해 제 2표면거칠기로 연삭된 액정표시패널(10)의 판면을 연마함으로써 거칠기를 없애 액정표시패널(10)의 판면을 평탄화하고 광투과율을 증대시킨다. 연마에 의해서도 액정표시패널(10)의 기판의 두께는 조금 더 감소되게 된다. 폴리싱 헤드(510)는 재질이 금속 또는 산화 세슘(CeO)으로 마련될 수 있다.
폴리싱 구동부(520)도 제 1그라인딩부(400) 및 제 2그라인딩부(450)와 마찬가지로 자전구동부재(522)와 공전구동부재(524) 및 이들을 연결하는 연결부(525)로 이루어져 있다.
자전구동부재(522)는 모터고정부(522c)에 고정되어 있는 모터부(522b)의 회전력을 폴리싱 헤드(520)에 전달하는 회전축(522a)을 포함하고 있다.
공전구동부재(524)도 양 그라인딩부(400, 450)의 공전구동부재(424, 474)와 마찬가지로 공전부(524a)와 공전유도홈(524b)으로 마련되어 있다. 따라서, 폴리싱 헤드(510)는 자전구동부재(522)에 의해 자전과 함께 공전구동부재(524)에 의해 공전을 하면서 액정표시패널(10)의 판면 전부를 균일한 두께로 연마하고, 연마과정에서 액정표시패널(10)은 두께가 더욱 감소시키게 된다.
한편, 도면에는 도시하지 않았으나 액정표시장치(1)는 연마과정에서 마찰에 의해 발생하는 폴리싱 헤드(500) 및 액정표시패널(10)의 판면의 온도 상승을 막고, 연마의 효율성을 높이기 위해 액정표시패널(10)의 판면에 슬러리(slurry)를 공급하는 슬러리 공급부재(미도시)를 더 포함할 수 있다.
제 4 안착부(254d)의 일측에는 제 1패널 이송부(200)와 마찬가지로 흡착부(610), 연결바(620) 및 회전축(630)으로 이루어진 제 2패널 이송부(600)가 마련되어 있다.
제 2패널 이송부(600)는 제 4안착부(254d)에 안착되어 있는 액정표시패널(10)을 반전회동부(700)로 이송한다.클램프(710, clamp)와 회동축(730)을 포함하는 반전회동부(700)는 액정표시패널(10)의 어느 하나의 판면에 대해 연삭 및 연마가 완료된 경우 다른 하나의 판면에 대해서도 연삭 및 연마를 하기 위해 액정표시패널(10)을 반전회동 시킨다. 또한, 양면 모두 연삭 및 연마가 완료된 액정표시패널(10)의 보호막(16) 제거의 편의를 위해 크기가 작은 대향 기판(14, 도 4참조)이 상부를 향하도록 액정표시패널(10)을 추가로 반전회동 시킨다.
클램프(710)는 액정표시패널(10)의 마주하는 양 측부를 클램핑함으로써 액정표시패널(10)이 반전회동하는 동안 액정표시패널(10)을 견고하게 지지한다. 액정표시패널(10)은 구동부(미도시)에 의해 회전하는 회동축(710)을 기준으로 클램핑된 상태에서 180도 반전 회동을 하게 된다.
보호막(16) 제거의 편의를 위해 반전회동부(700)가 반전회동하는 경우에는 반전회동이 끝나면 재 반전회동된 액정표시패널(10)은 패널배출부(900)로 이동한 후 보호막(16)이 제거된 후 클리닝과 건조를 거쳐 외부로 배출되게 된다.
한편, 다른 판면에 대해 연삭 및 연마를 하기 위해 액정표시패널(10)이 반전회동된 경우에는 반전회동된 액정표시패널(10)은 가이드레일(750)를 따라 제 1안착부(254a)의 인근으로 이동하게 된다. 이동해온 액정표시패널(10)은 제 1패널 이송부(200)에 의해 제 1안착부(254)에 안착됨으로써 이후 공정을 통해 다른 판면에도 연삭 및 연마가 행하여 지게된다.
반전회동부(700)의 인근에는 패널배출부(900)가 마련되어 있다. 패널배출부(900)는 양면 모두 연삭 및 연마가 완료되고 반전회동부(700)에 의해 반전회동된 액정표시패널(10)의 보호막(16)을 제거하고 클리닝 및 건조 후 외부로 액정표시패널(10)을 배출하게 된다. 보호막(16) 제거 및 클리닝과 건조는 공지의 방법 및 장치에 의해 행하여지게 된다.
이상의 구성을 포함하는 본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치(1)에 의하면, 식각 장치에 의한 식각을 통해 액정표시패널의 두께를 감소시킬 때 발생하는 문제점인 액정표시패널의 판면의 표면이 거칠어져 광투과성이 떨어지며, 신호선 배선 등이 부식되고 제조시간이 많이 걸리는 문제점을 개선할 수 있다. 또한, 랩핑장치에 의해 랩핑법을 사용하는 경우에 비해 설비규모가 작아 액정표시패널(10)의 운반 및 취급이 불편하며, 연속공정이 가능하여 제조시간이 많이 걸리 는 문제점을 감소시킬 수 있다. 이를 통해 액정표시패널(10)의 두께를 효율적이고 용이하게 감소시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 이용한 액정표시장치의 제조방법을 도 1내지 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 이용한 액정표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타낸 사시도이다.
본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 이용한 액정표시장치의 제조방법은 다음과 같다. 우선 박막트랜지스터 기판(12)보다 크기가 작은 대향 기판(14)이 상부를 향하도록 액정표시패널(10)을 패널투입부(100)에 안착시킨 다음 패널투입부(100)로부터 보호막 형성부(150)의 정렬부(158)로 이송한다. 그런 다음 도 4의 (a)에서 보는 바와 같이 보호막 형성부재(151)를 이용하여 액정표시패널(10)의 모서리를 따라 보호막 형성용액(17)을 분사하고 경화함으로써 보호막(16)을 형성시킨다.
그런 다음, 제 1패널 이송부(200)가 보호막(16)이 형성된 액정표시패널(10)을 정렬부(158)로부터 테이블(250)의 제1안착부(254a)에 안착시킨다. 이어서, 테이블 회전부(300)의 회전축(310)의 회동에 의해 테이블(250)의 회전판(252)이 90도 회동하여 초기에 제 2안착부(254b)가 있던 위치로 제 1안착부(254a)가 이동하게 된다.
이 후 도4의 (b)에서 보는 바와 같이 제 1안착부(254a)의 상부에 안착되어 있으며 두께가 d1인 액정표시패널(10)의 대향 기판(14)의 판면을 제 1그라인딩부 (400)가 제 1표면거칠기로 연삭하게 된다. 제 1표면거칠기로 연삭이 끝나면 대향 기판(14)은 두께가 도 4(c)에서 보는 바와 같이 d1 보다 작은 d2가 되게 된다.이 후 다시 테이블 회전부(300)의 회전축(310)의 회동에 의해 테이블(250)의 회전판(252)이 90도 회동하여 초기에 제 3안착부(254c)가 있던 위치로 제 1안착부(254a)가 이동하게 된다.
이 후 도4의 (c)에서 보는 바와 같이 제 1안착부(254a)의 상부에 안착되어 있으며 제1표면거칠기를 가지며 두께가 d2인 액정표시패널(10)의 대향 기판(14)의 판면을 제 2그라인딩부(450)가 제 1표면거칠기보다 작은 제 2표면거칠기로 연삭하게 된다. 제 2표면거칠기로 연삭이 끝나면 대향 기판(14)은 두께가 도 4의 (d)에서 보는 바와 같이 d2보다 작은 d3가 되게 된다.
제 1그랑인딩부(400)는 연삭 시간 또는/및 연삭 강도를 조절할 수 있기 때문에 제 1표면거칠기로 연삭이 완료된 액정표시패널(10)의 대향기판(14)은 다양한 두께를 가질 수 있다. 또한, 제 2그랑인딩부(450)도 연삭 시간 또는/및 연삭 강도를 조절할 수 있기 때문에 제 2표면거칠기로 연삭이 완료된 액정표시패널(10)의 대향기판(14)도 다양한 두께를 가질 수 있다. 이를 통해 연삭 중 또는 연삭이 완료된 대향기판(14)은 요구 특성에 따라 다양한 두께를 가질 수 있게 된다.
대향기판(14)의 판면을 제 1표면거칠기와 이보다 작은 제 2표면거칠기로 따로 연삭를 행하게 되면, 연삭 후 연마 공정이 용이해져 전체적으로 액정표시장치의 제조시간을 줄일 수 있다.
이 후 다시 테이블 회전부(300)의 회전축(310)의 회동에 의해 테이블(250)의 회전판(252)이 90도 회동하여 초기에 제 4안착부(254d)가 있던 위치로 제 1안착부(254a)가 이동하게 된다.
그 후 도 4의 (d)에서 보는 바와 같이 제 2표면거칠기를 가지며 두께가 d3인 대향기판(14)의 판면을 폴리싱부(500)가 연마를 하게 된다. 연마가 완료되면 대향기판(14)은 두께가 도 4의 (i)에서 보는 바와 같이 d3보다 작은 최종 두께인 d4가 되게 된다.
연마가 끝난 액정표시패널(10)은 제 2패널이송부(600)에 의해 반전회동부(700)로 이동하게 된다. 그 후 반전회동부(700)에 의해 액정표시패널(10)은 도 4의 (e)에서 보는 바와 같이 반전회동하여 박막트랜지스터 기판(12)이 상부를 향하게 된다. 그런 다음 반전회동부(700)가 가이드레일(750)을 따라 이동하여 액정표시패널(10)은 제 1패널이송부(200)의 일측으로 이동하게 된다. 한편, 테이블 회전부(300)의 회전축(310)의 회동에 의해 테이블(250)의 회전판(252)이 90도 회동하여 초기의 제 4안착부(254d)에 위치하고 있던 제 1안착부(254a)는 다시 원래의 초기의 위치로 이동해 오게 된다. 이에 따라 박막트랜지스터 기판(12)이 상부를 향하고 있는 액정표시패널(10)은 제1패널이송부(200)에 의해 다시 제 1안착부(254)에 안착되게 된다.
그런 다음 테이블 회전부(300)의 회전축(310)의 회동에 의해 테이블(250)의 회전판(252)이 90도 회동한다. 이어서 도4의 (f)에서 보는 바와 같이 제 1안착부(254a)의 상부에 안착되어 있으며, 두께가 d5인 액정표시패널(10)의 박막트랜지스터 기판(12)을 제 1그라인딩부(400)가 제 3표면거칠기로 연삭하게 된다. 제 3표면 거칠기로 연삭이 끝나면 박막트랜지스터 기판(12)은 두께가 도 4의 (g)에서 보는 바와 같이 d5보다 작은 d6가 되게 된다. 여기서 제 3표면 거칠기,는 대향 기판(14)의 판면에 형성된 제 1표면 거칠기와 동일하다.이 후 다시 테이블 회전부(300)의 회전축(310)의 회동에 의해 테이블(250)의 회전판(252)이 90도 회동하여 초기에 제 3안착부(254c)가 있던 위치로 제 1안착부(254a)가 이동하게 된다.
이 후 도4의 (g)에서 보는 바와 같이 제 1안착부(254a)의 상부에 안착되어 있으며 제3표면거칠기를 가지며 두께가 d6인 액정표시패널(10)의 박막트랜지스터 기판(12)의 판면을 제 2그라인딩부(450)가 제 3표면거칠기보다 작은 제 4표면거칠기로 연삭하게 된다. 제 4표면거칠기로 연삭이 끝나면 박막트랜지스터 기판(12)은 두께가 도 4의 (h)에서 보는 바와 같이 d6보다 작은 d7이 되게 된다. 여기서 제 4표면 거칠기는 대향 기판(14)의 제 2표면 거칠기와 동일하다.
제 1그랑인딩부(400)는 연삭 시간 또는/및 연삭 강도를 조절할 수 있기 때문에 제 1표면거칠기로 연삭이 완료된 액정표시패널(10)의 박막트랜지스터 기판(12)은 다양한 두께를 가질 수 있다. 또한, 제 2그랑인딩부(450)도 연삭 시간 또는/및 연삭 강도를 조절할 수 있기 때문에 제 2표면거칠기로 연삭이 완료된 액정표시패널(10)의 박막트랜지스터 기판(12)도 다양한 두께를 가질 수 있다. 이를 통해 연삭 중 또는 연삭이 완료된 박막트랜지스터 기판(12)은 요구 특성에 따라 다양한 두께를 가질 수 있게 된다.
이 후 다시 테이블 회전부(300)의 회전축(310)의 회동에 의해 테이블(250)의 회전판(252)이 90도 회동하여 초기에 제 4안착부(254d)가 있던 위치로 제 1안착부 (254a)가 이동하게 된다.
그 후 도 4의 (h)에서 보는 바와 같이 제 4표면거칠기를 가지며 두께가 d7인 박막트랜지스터 기판(12)의 판면을 폴리싱부(500)가 연마를 하게 된다. 연마가 완료되면 박막트랜지스터 기판(12)은 두께가 도 4의 (i)에서 보는 바와 같이 d7보다 작은 최종 두께인 d8가 되게 된다.
이 후 제 2패널이송부(600)에 의해 액정표시패널(10)을 반전회동부(700)로 이송시킨 후 보호막 제거의 편의를 위해 대향 기판(14)이 상부를 향하도록 액정표시패널(10)을 반전 회동시킨다. 이어서, 패널배출부(900)로 반전회동된 액정표시패널(10)을 패널배출부(900)로 이송시킨 후 도 4(j)에서 보는 바와 같이 보호막(16)을 제거한 후, 도 4(k)에서 보는 바와 같이 액정표시패널(10)을 클리닝부재(850)을 이용하여 클리닝하고, 건조부재(미도시)를 이용하여 건조시키면 액정표시패널(10)의 두께 감소를 위한 제조공정이 완료되게 된다.
본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치(1)를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 의하면, 식각법을 통해 액정표시패널(10)의 두께를 감소시킬 때 발생하는 문제점인 액정표시패널(20)의 양 기판(12, 14)의 판면의 표면이 거칠어져 광투과성이 떨어지며, 신호선 배선 등이 부식되고 제조시간이 많이 걸리는 문제점을 개선할 수 있다. 또한, 랩핑법을 사용하는 경우에 비해 액정표시패널(10)의 운반 및 취급이 용이하며, 연속공정이 가능하여 제조시간이 많이 걸리는 문제점을 감소시킬 수 있다. 이를 통해 액정표시패널(10)의 두께를 효율적이고 용이하게 감소시킬 수 있다.
한편, 상기의 실시예에서는 액정표시패널(10)의 양 기판(12, 14) 모두를 연삭 및 연마를 통해 두께를 감소시켰으나, 필요에 따라 양 기판(12, 14) 중 어느 하나의 기판에 대해서만 두께를 감소시킬 수 있다. 이 경우 액정표시패널(10)은 제 1그랑인딩부(400), 제 2그라인딩(450) 및 폴리싱부(500)에 의해 어느 하나의 판면에 대해서만 각각 연삭 및 연마된 후 바로 보호막(16)의 제거, 클리닝 및 건조 단계를 거치게 된다.
이하에서는 본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시패널의 제조장치를 도 5 및 도 6을 참조하여 본 발명의 제 1실시에에 따른 액정표시패널의 제조장치와의 차이점을 중심으로 설명한다. 도 5는 각각 본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치의 평면도이고, 도 6은 본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치의 요부인 폴리싱부의 사시도이다.
본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시패널의 제조장치(2)는 본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치와 달리 연마를 위한 폴리싱부(501)가 양면 연마가 가능하도록 제 1폴리싱부(503)와, 연마되는 액정표시패널(10)을 사이에 두고 제 1폴리싱부(503)와 대면하고 있는 제 2폴리싱부(504)로 이루어져 있다. 폴리싱부(501)는 후술할 고정부(800)에 접근 및 이격이 가능하도록 마련되어 있다.
제 1폴리싱부(503) 및 제 2폴리싱부(504)도 각각 폴리싱 헤드(510, 530)가 구비되어 있으며, 자전구동부재(522, 542) 및 공전구동부재(미도시)가 마련되어 있다.
한편, 제 1폴리싱부(503) 및 제 2폴리싱부(504)에 의한 양면 연마는 액정표 시패널(10)이 테이블(250)의 안착부(254)에 안착된 상태에서는 곤란하다. 따라서 제 2패널이송부(600)의 인근에 액정표시패널(10)의 마주하는 양 모서리를 고정하는 고정부(800)가 별도로 마련되어 있다.
고정부(800)는 상호 접근 및 이격이 가능한 한 쌍의 본체부(810)와 액정표시패널의 모서리를 수용하여 고정하는 고정홈(820)으로 마련되어 있다. 제 4안착부(254d)로부터 제 2패널이송부(600)에 의해 이송되어온 액정표시패널(10)은 마주하는 양 모서리가 고정홈(820)에 삽입시켜 고정하게 된다.
상기의 구성을 가지는 본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치에 의해서도 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 이용한 액정표시장치의 제조방법을 도 5내지 도 7을 참조하여 설명한다. 도 7은 본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 이용한 액정표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타낸 사시도이다.
본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치(2)를 이용한 액정표시장치의 제조방법은 도 7(a) 내지 도 7(c)에서 보는 바와 같이 액정표시패널의 모서리를 따라 보호막(16)을 형성시키는 단계, 액정표시패널(10)의 대향 기판(14)의 판면을 제 1그라인딩부(400)에 의해 제 1표면거칠기로 연삭하는 단계 및 제 제 2그라인딩부(450)에 의해 제2표면거칠기로 연삭하는 단계까지는 본 발명의 제 1실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 이용한 액정표시장치의 제조방법과 동일하다.
제 1표면거칠기로 연삭이 완료된 대향 기판(14)의 두께는 도7의 (b)의 d1에서 도 7의 (c)의 d2로 감소하게 되며, 제 2표면거칠기로 연삭이 완료된 대향 기판(14)의 두께는 도 7의 (d)에서 보는 바와 같이 d2보다 얇은 d3로 감소되게 된다.
그런 다음 회전판(252)이 다시 90도 회전한 후 대향 기판(10)의 판면을 연마하지 않고 바로 제2패널 이송부(600)에 의해 액정표시패널(10)을 반전회동부(800)로 이동시킨다. 이후 도 7의 (e)에서 보는 바와 같이 반전회동부(800)가 액정표시패널(10)의 박막트랜지스터 기판(12)이 상부를 향하도록 반전회동시킨다. 이후 액정표시패널(10)은 가이드레일(750)에 의해 제 1패널이송부(200)의 인근으로 이동한 후 다시 제 1안착부(254a)에 안착되게 된다.
이 후 도 7(f) 및 도 7(g)에서 보는 바와 같이 다시 박막트랜지스터 기판(12)의 판면을 각각 제 1그라인딩부(400)와 제 2그라인딩부(450)를 이용하여 제 3표면거칠기 및 제 4표면거칠기로 연삭되게 된다. 제 3표면거칠기로 연삭이 완료된 박막트랜지스터 기판(12)의 두께는 도7의 (f)의 d5에서 도 7의 (g)의 d6로 감소하게 되며, 제 4표면거칠기로 연삭이 완료된 박막트랜지스터 기판(12)의 두께는 도 7의 (h)에서 보는 바와 같이 d6보다 얇은 d7으로 감소되게 된다.
여기서 제 3표면거칠기 및 제 4표면거칠기는 대향기판(14)의 제 1표면거칠기 및 제 2표면거칠기와 동일하다.
이 후 제 4표면거칠기로 연삭이 완료된 액정표시패널(10)은 회전판(252)이 90도 회동한 후, 제 2패널이송부(600)에 의해 고정부(800)로 이동 한 후 고정부(800)에 의해 고정되게 된다. 그런 다음 도 7의 (i)에서 보는 바와 같이 고정부 (800)에 의해 고정된 액정표시패널(10)을 사이에 두고 제 1폴리싱부(503)와 제 2폴리싱부(504)가 이동해 온 후 액정표시패널(10)의 양 판면을 동시에 연마하게된다.
양면 연마가 완료된 액정표시패널(10)은 제 2패널이송부(600)에 의해 반전회동부(700)로 이송시켜 도 7(j)에서 보는 바와 같이 보호막 제거의 편의를 위해 대향기판(14)이 상부를 향하도록 액정표시패널(10)을 반전 회동시킨다. 그런 다음 패널배출부(900)로 액정표시패널(10)을 이송시킨 후 도 7(k)에서 보는 바와 같이 보호막(16)을 제거한 후, 도 7(l)에서 보는 바와 같이 액정표시패널(10)을 클리닝 부재(850)를 이용하여 클리닝하고 건조 부재(미도시)를 이용하여 건조 시키면 액정표시패널(10)의 두께 감소를 위한 제조공정이 완료되게 된다.
본 발명의 제 2실시예에 따른 액정표시장치의 제조장치(2)를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 의해서도 액정표시패널(10)의 양 기판(12, 14)의 두께를 효율적이고 용이하게 감소시킬 수 있다.
이상의 실시예는 다양하게 변형 가능하다. 상기의 실시예들에서 제 1그라인딩부(400), 제2그라인딩부(450), 폴리싱부(500) 및 고정부(800)는 각각 하나씩으로 마련되어 있으나 복수개로 구성되어도 무방하다. 비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 따라서 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 액정표시패널의 두께를 효율적이고 용이하게 감소시킬 수 있는 액정표시장치의 제조장치 및 제조방법이 제공된다.
Claims (22)
- 액정표시패널이 안착되는 테이블과;상기 액정표시패널의 판면을 제 1표면거칠기로 연삭하는 제 1그라인딩부와;제 1표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 제1표면거칠기보다 작은 제 2표면거칠기로 연삭하는 제 2그라인딩부와;제 2표면 거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 연마하는 폴리싱부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 제1항에 있어서,상기 제 1그라인딩부 및 제 2그라인딩부는 각각,마찰을 통해 상기 액정표시패널의 판면을 연삭하는 그라인딩 헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 제2항에 있어서,상기 그라인딩 헤드는 다이아몬드 휠을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 제3항에 있어서,상기 제 1그라인딩부 및 제 2그라인딩부는 각각,상기 그라인딩 헤드를 상기 액정표시패널의 판면에 평행하게 자전시키는 자전구동부재와, 상기 그라인딩 헤드를 상기 액정표시패널의 판면에 평행하게 공전시키는 공전구동부재로 이루어진 그라인딩 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 제4항에 있어서,상기 폴리싱부는,상기 액정표시패널의 판면과의 마찰을 통해 상기 판면을 연마하는 폴리싱 헤드와;상기 폴리싱 헤드를 상기 액정표시패널의 판면에 평행하게 자전시키는 자전구동부재와, 상기 폴리싱 헤드를 상기 액정표시패널의 판면에 평행하게 공전시키는 공전구동부재로 이루어진 폴리싱 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 제1항에 있어서,상기 폴리싱부는,제 1폴리싱부와;상기 액정표시패널을 사이에 두고 상기 제 1폴리싱부와 대면하고 있는 제 2폴리싱부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 제6항에 있어서,상기 제 1폴리싱부 및 상기 제 2폴리싱부 사이에 위치하는 상기 액정표시패널의 적어도 마주하는 양 모서리를 고정하는 고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 제1항에 있어서,상기 테이블에 안착된 상기 액정표시패널을 상기 제 1그라인딩부, 제2그라인딩부 및 상기 폴리싱부로 순차적으로 이동시키는 테이블 회전부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 제8항에 있어서,상기 테이블은,상기 액정표시패널을 고정하기 위한 진공척 및 정전기척 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 제9항에 있어서,상기 액정표시패널을 반전회동시키는 반전회동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 제10항에 있어서,상기 액정표시패널의 모서리를 따라 보호막을 형성시키는 보호막 형성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 제11항에 있어서,상기 액정표시패널을 상기 테이블에 안착시키거나 상기 테이블로부터 탈착시키는 패널 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
- 액정표시패널을 테이블에 안착시키는 단계와;상기 액정표시패널 중 어느 하나의 판면을 제 1표면거칠기로 연삭하는 제 1그라인딩 단계와;제 1표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 제1표면거칠기보다 작은 제 2표면거칠기로 연삭하는 제 2그라인딩 단계와;제 2표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 연마하는 폴리싱 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제13항에 있어서,상기 폴리싱 단계 후에,상기 액정표시패널을 반전 회동시키는 단계와;상기 액정표시패널 중 다른 하나의 판면을 제 3표면거칠기로 연삭하는 제 3그라인딩 단계와;제 3표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 제3표면거칠기보다 작은 제 4표면거칠기로 연삭하는 제 4그라인딩 단계와;제 4표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 연마하는 추가의 폴리싱 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제14항에 있어서,상기 제 1그라인딩 단계 전에,상기 액정표시패널의 모서리를 따라 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하며,상기 추가의 폴리싱 단계 후에,상기 보호막을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제15항에 있어서,상기 추가의 폴리싱 단계 및 상기 보호막 제거 단계 사이에,상기 액정표시패널을 반전 회동시키는 추가의 반전 회동 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제16항에 있어서,상기 보호막 제거 단계 후에,상기 액정표시패널을 클리닝 및 건조하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 액정표시패널을 테이블에 안착시키는 단계와;상기 액정표시패널 중 어느 하나의 판면을 제 1표면거칠기로 연삭하는 제 1그라인딩 단계와;제 1표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 제1표면거칠기보다 작은 제 2표면거칠기로 연삭하는 제 2그라인딩 단계와;상기 액정표시패널을 반전 회동시키는 단계와;상기 액정표시패널 중 다른 하나의 판면을 제 3표면거칠기로 연삭하는 제 3그라인딩 단계와;제 3표면거칠기로 연삭된 상기 액정표시패널의 판면을 제3표면거칠기보다 작은 제 4표면거칠기로 연삭하는 제 4그라인딩 단계와;연삭된 상기 액정표시패널의 양 판면을 연마하는 폴리싱 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제18항에 있어서,상기 제 1그라인딩 단계 전에,상기 액정표시패널의 모서리를 따라 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하며,상기 폴리싱 단계 후에,상기 보호막을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장 치의 제조방법.
- 제19항에 있어서,상기 폴리싱 단계 및 상기 보호막 제거 단계 사이에,상기 액정표시패널을 반전 회동시키는 추가의 반전 회동 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제20항에 있어서,상기 연마는 상기 액정표시패널의 양 판면에 동시에 수행되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제21항에 있어서,상기 보호막 제거 단계 후에,상기 액정표시패널을 클리닝 및 건조하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060005672A KR101256013B1 (ko) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 액정표시장치의 제조장치 및 제조방법 |
TW095147807A TW200730930A (en) | 2006-01-19 | 2006-12-20 | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display device |
CNA2006101724909A CN101004504A (zh) | 2006-01-19 | 2006-12-29 | 制造液晶显示装置的设备和方法 |
US11/624,322 US7588482B2 (en) | 2006-01-19 | 2007-01-18 | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display device |
JP2007010193A JP2007193342A (ja) | 2006-01-19 | 2007-01-19 | 液晶表示装置の製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060005672A KR101256013B1 (ko) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 액정표시장치의 제조장치 및 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070076607A true KR20070076607A (ko) | 2007-07-25 |
KR101256013B1 KR101256013B1 (ko) | 2013-04-18 |
Family
ID=38449031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060005672A KR101256013B1 (ko) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 액정표시장치의 제조장치 및 제조방법 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7588482B2 (ko) |
JP (1) | JP2007193342A (ko) |
KR (1) | KR101256013B1 (ko) |
CN (1) | CN101004504A (ko) |
TW (1) | TW200730930A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016060346A1 (ko) * | 2014-10-13 | 2016-04-21 | 주식회사 세미다린 | 스마트폰 액정 연마장치 |
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---|---|---|---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0272531B1 (en) * | 1986-12-08 | 1991-07-31 | Sumitomo Electric Industries Limited | Surface grinding machine |
IT1320847B1 (it) * | 2000-11-28 | 2003-12-10 | Bottero Spa | Metodo e macchina per la molatura di lastre di vetro rivestite. |
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-
2006
- 2006-01-19 KR KR1020060005672A patent/KR101256013B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-12-20 TW TW095147807A patent/TW200730930A/zh unknown
- 2006-12-29 CN CNA2006101724909A patent/CN101004504A/zh active Pending
-
2007
- 2007-01-18 US US11/624,322 patent/US7588482B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-01-19 JP JP2007010193A patent/JP2007193342A/ja not_active Withdrawn
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7588482B2 (en) | 2009-09-15 |
JP2007193342A (ja) | 2007-08-02 |
TW200730930A (en) | 2007-08-16 |
US20080034797A1 (en) | 2008-02-14 |
KR101256013B1 (ko) | 2013-04-18 |
CN101004504A (zh) | 2007-07-25 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |