KR20070044349A

KR20070044349A - 표시용 패널의 점등 검사장치

Info

Publication number: KR20070044349A
Application number: KR1020060094606A
Authority: KR
Inventors: 유타카 코사카; 요시유끼 안도; 스스무 오쯔
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2005-10-24
Filing date: 2006-09-28
Publication date: 2007-04-27
Also published as: TW200718932A; JP2007114146A; TWI315786B; KR100795400B1

Abstract

본 발명은, 육안 점등검사 및 자동 점등검사를 선택적으로 행할 수 있음에 상관없이, 육안 점등검사 및 자동 점등검사의 어느 경우도 검사 정밀도를 향상시키기 위한 것이다. 점등 검사장치는, 표시용 패널을 받아 이것을 점등시키는 패널 받음장치로서 하우징 및 상기 하우징 내에 배치된 검사 스테이지를 갖추고, 표시용 패널을 상기 검사 스테이지에 받는 패널 받음장치와, 검사 스테이지에 배치된 표시 패널을 위쪽에서 촬영하는 비디오카메라를 갖춘 패널 촬영장치를 포함한다. 하우징은 검사 스테이지에 받은 표시용 패널을 그 하우징의 전면 쪽에서 볼 수 있는 개구를 갖는다.

점등 검사장치, 표시용 패널, 하우징, 검사 스테이지, 촬영장치

Description

표시용 패널의 점등 검사장치{Lighting Inspection Apparatus for Display Panel}

도1은 본 발명에 따른 검사장치의 한 실시예를 나타내는 사시도로서, 육안 점등검사를 하기 위해 커버를 벗긴 상태로 나타낸 도면이다.

도2는 도1에 나타낸 검사장치를 폐쇄 패널을 떼어 낸 상태로 나타낸 정면도이다.

도3은 도1에 나타낸 검사장치를 폐쇄 패널을 떼어 낸 상태로 나타낸 우측면도이다.

도4는 도1에 나타낸 검사장치에서 이용하는 검사 스테이지, 변위기구 및 패널 반송수도장치의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.

도5는 도1에 나타낸 검사장치에서 이용하는 삼차원 이동기구의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.

도6은 도1에 나타낸 검사장치에서 이용하는 패널 반송장치의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.

도7은 점등검사를 할 때의 개구 및 비디오카메라에 대한 검사 스페이지의 상태를 나타내는 도면이다.

도8은 육안 점등검사를 하는 경우의 다른 이용방법의 실시예를 나타내는 도면이다.

도9는 육안 점등검사를 하는 경우의 또 다른 이용방법의 실시예를 나타내는 도면이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

10: 검사장치 12: 표시용 패널

14: 패널 받음장치 16: 변위기구

18: 패널 촬영장치 20: 패널 반송장치

22: 패널 반송수도장치 24: 패널 받음장치의 하우징

26: 검사 스테이지 28: 프레임

30: 폐쇄 패널 32: 개구

34: 커버 받이 36: 커버

38: 홈 40: 관통구멍

41: 나사구멍 42: 워크 테이블

44: 백라이트 유닛 46: 테이블 이동기구

48: 지지대 50: 지지부재

52: 액츄에이터 54: 패널 촬영장치의 하우징

56: 비디오카메라 58: 삼차원 이동기구

60: 리니어 레일 62: 리니어 가이드

64: 블라켓 66: 롤러 조립체

68: 프레임 70: 얼라이먼트 장치

72: 수도(受渡)기구 74: 패널 센서

76: 위치결정 부재 78: 리프터 핀

80: 가이드 기구 82: 암(arm)

84: 흡착 패드

발명의 분야

본 발명은, 액정표시패널과 같은 표시용 패널의 점등 검사를 하는 장치에 관한 것이다.

발명의 배경

액정표시패널과 같은 표시용 패널은 각 화소가 바르게 기능하는지 아닌지 점등검사가 이루어진다. 이 점등검사는 표시용 패널의 뒷면을 백라이트로 조명하면서, 그 표시용 패널에 통전하여 그 표시용 패널을 소정의 패턴으로 점등시키고, 그 표시용 패널의 점등 상태를 확인함으로써 행해진다.

표시용 패널은 작업자가 점등 상태를 눈으로 보고 판단하는 소위 육안 점등검사(일본 특개평10-253498호 공보), 또는 점등 상태를 비디오카메라로 촬영하여 그 출력신호를 화상 처리하여 판정하는 소위 자동 점등검사(일본 특개2004-170495호 공보)에 의해 양부(良否)가 판정된다.

이들 점등검사는 외부의 빛이 점등되어 있는 표시용 패널 근방에 들어오지 않도록, 검사해야할 표시용 패널을 하우징 내에서 점등시킨 상태로 행해진다.

육안 점등검사는, 하우징에 설치된 창을 통하여 작업자가 하우징 내의 표시용 패널을 비스듬히 눈으로 봄으로써 검사 정밀도를 높이고 있지만, 정부(正否) 판정의 기준이 애매하고, 또 검사능률이 낮다.

이에 대하여, 자동 점등검사는 이것이 자동 점등 검사장치에 의해 자동적으로 행해지기 때문에, 검사능률이 높은 반면, 점결점, 반결점 등, 일부 결함에 대해서 그것이 진짜 결함인지 아닌지에 대한 판정이 곤란한 경우가 많다. 그와 같은 표시용 패널은 그레이존 그룹으로 모아져, 별도의 육안 점등검사장치에 의해 다시 검사(이 경우는 육안 점등검사)를 행하고 있다.

상기 과제를 해결하기 위해, 육안 점등검사와 자동 점등검사를 선택적으로 행하는 육안 겸 자동 점등기술이 제안되어 있다(일본 특개평9-258157호 공보).

상기 육안 겸 자동 점등기술은 표시용 패널을 수평면에 대하여 경사시킨 상태로 검사 스테이지에 받아 점등 상태로 두고, 육안 검사의 경우는 작업자가 표시용 패널을 하우징에 설치된 창을 통하여 비스듬히 위쪽에서 눈으로 보고, 자동 점등검사의 경우는 표시용 패널을 하우징에 설치된 반사경을 통하여 옆에서 촬영한 다.

이 때문에, 상기 종래의 육안 겸 자동 점등기술에서는, 육안 검사의 경우에는, 작업자가 표시용 패널을 이것에 수직인 방향에서 볼 수 있기 때문에 검사 정밀도는 향상한다. 그러나 자동 점등검사의 경우에는, 표시용 패널을 비디오카메라에 의해 반사경을 통하여 비스듬히 촬영하게 되므로 촬영 정밀도가 저하하고, 검사 정밀도가 저하한다.

본 발명의 목적은, 육안 점등검사 및 자동 점등검사를 선택적으로 행할 수 있음에 상관없이, 육안 점등검사 및 자동 점등검사 어느 경우도 검사 정밀도를 향상시키는데 있다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

발명의 요약

본 발명에 따른 점등 검사장치는, 표시용 패널을 받아 이것을 점등시키는 패널 받음장치로서 하우징 및 상기 하우징 내에 배치된 검사 스테이지를 갖추고, 상기 표시용 패널을 상기 검사 스테이지에 받는 패널 받음장치와, 상기 검사 스테이지에 배치된 표시 패널을 위쪽에서 촬영하는 비디오카메라를 갖춘 패널 촬영장치를 포함한다. 상기 하우징은 상기 검사 스테이지에 받은 표시용 패널을 상기 하우징의 전면 쪽에서 눈으로 볼 수 있는 개구를 갖는다.

게다가, 본 발명에 따른 점등 검사장치는, 상기 검사 스테이지에 받은 표시용 패널을 상기 개구 및 상기 비디오카메라로 선택적으로 향하도록, 상기 검사 스테이지는 변위시키는 변위기구와 상기 개구를 개방 가능하게 폐쇄하는 커버를 포함한다.

상기 패널 촬영장치는 상기 패널 받음장치의 위쪽에 배치되어 있어도 좋고, 또 상기 하우징은 상기 비디오카메라가 상기 표시용 패널을 촬영하는 것을 허락하는 제2 개구를 갖추고 있어도 좋다.

하우징의 개구는 육안 검사 동안에 개방되고, 자동 점등검사 동안에 커버에 의해 닫힌다.

작업자가 육안 검사를 위해 표시용 패널을 하우징의 개구를 통하여 볼 때, 검사 스테이지는 변위기구에 의해 변위되어 받고 있는 표시용 패널을 개구로 향하고, 그 상태를 유지한다. 이 때문에, 작업자는 표시용 패널을 이것에 수직인 방향에서 볼 수 있으므로 육안 점등검사에서의 검사 정밀도가 높아진다.

이에 대하여, 자동 점등검사 동안, 검사 스테이지는 받고 있는 표시용 패널을 비디오카메라를 향하도록 변위기구에 의해 변위되어 그 상태로 유지된다. 이 때문에 점등된 표시용 패널을 이것에 수직인 위쪽에서 비디오카메라에 의해 촬영할 수 있으므로 촬영 정밀도가 높고, 그 결과 자동 점등검사에서의 검사 정밀도도 높 아진다.

상기 패널 촬영장치는 상기 패널 받음장치의 위쪽에 배치되어 있어도 좋다. 이 경우, 상기 하우징은 상기 비디오카메라가 상기 표시용 패널을 촬영하는 것을 허락하도록 상부를 개방하고 있다.

게다가, 상기 패널 촬영장치는 상기 비디오카메라가 배치된 제2 하우징으로서 상기 패널 받음장치의 하우징 위에 탈부착 가능하게 배치된 제2 하우징과, 상기 제2 하우징에 지지된 삼차원 이동기구로서 상기 비디오카메라를 아래를 향하게 지지함과 동시에, 상하, 좌우 및 전후의 3방향으로 변위시키는 삼차원 이동기구를 갖출 수 있다.

상기 커버는 복수의 나사에 의해 상기 하우징에 탈부착 가능하게 설치되어 있어도 좋다. 그러나 상기 커버는 힌지에 의해 상기 하우징에 이것의 개구를 개폐 가능하게 설치되어 있어도 좋다.

상기 검사 스테이지는 상기 표시용 패널을 받는 워크 테이블과, 상기 워크 테이블에 배치된 백라이트 유닛과, 상기 워크 테이블을 최소한 상하방향으로 이동시키는 테이블 이동기구를 갖출 수 있고, 또 상기 변위기구는 상기 표시용 패널을 상기 개구 및 상기 비디오카메라로 선택적으로 향하도록 상기 테이블 이동기구를 변위시키는 것이어도 좋다.

상기 변위기구는, 상기 하우징 내에 배치된 지지대와, 상기 지지대에 X방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전 가능하게 지지된 지지부재로서 상기 검사 스테이지를 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재를 상기 축선 주위로 각도적 으로 회전시키는 액츄에이터를 갖출 수 있다.

게다가, 본 발명에 따른 점등 검사장치는, 미검사 표시용 패널 및 검사완료 표시용 패널을 수평으로 반송하는 패널 반송장치와, 미검사 표시용 패널을 상기 패널 반송장치로부터 수평으로 받아 상기 검사 스테이지에 수평으로 건넴과 동시에, 검사완료 표시용 패널을 상기 검사 스테이지로부터 수평으로 받아 상기 패널 반송장치로 수평으로 건네는 패널 반송수도장치를 포함할 수 있다. 이 경우, 검사 스테이지에 대한 표시용 패널의 수도(受渡)는 수평상태로 행해진다.

발명의 상세한 설명

[용어에 대해서]

이하, 도2에 있어서 검사 스테이지나 패널 수도기구 등에 받아진 표시용 패널과 평행한 면내에서의 한 방향 및 이것과 직각인 방향을 각각 X방향 및 Y방향이라고 하고, 상기 표시용 패널에 수직인 방향을 Z방향이라고 한다. 그러나 그들 방향은 검사해야 할 표시용 패널을 점등 검사장치에 배치하는 자세, 즉 점등 검사장치에 배치된 표시용 패널의 자세에 따라 다르다.

따라서 상기 방향은 실제 점등 검사장치에 따라 X방향 및 Y방향이 수평면, 수평면에 대하여 경사진 경사면, 및 수평면에 수직인 수직면의 어느 한 면 내가 되도록 결정해도 좋고, 그들 면의 조합이 되도록 결정해도 좋다.

[실시예]

도1 내지 도3을 참조하면, 점등 검사장치(10)는 사각형의 평면 형상을 갖는 표시용 패널(12)의 육안 점등검사와 자동 점등검사를 선택적으로 행할 수 있다. 도시한 예에서는, 표시용 패널(12)은 다수의 표시 화소를 가짐과 동시에, 그들 표시 화소에 전기적으로 접속된 공지의 패널이다.

점등 검사장치(10)는, 표시용 패널(12)을 받아 이것을 점등시키는 패널 받음장치(14), 패널 받음장치(14)에 배치된 표시용 패널(12)을 전향시키는 전향장치 즉 변위기구(16), 표시용 패널(12)을 촬영하는 패널 촬영장치(18), 표시용 패널(12)을 수평으로 반송하는 패널 반송장치(20) 및 패널 받음장치(14) 및 패널 반송장치(20)에 대한 표시용 패널(12)의 반송 및 수도를 하는 패널 반송수도장치(22)를 포함한다.

패널 받음장치(14)는 하우징(24) 내에 검사 스테이지(26)를 배치해 두고, 또 표시용 패널(12)을 검사 스테이지(26)에 받는다. 하우징(24)은 복수의 긴 부재를 입방체(立法體) 상으로 결합시켜 프레임(28)을 형성하고, 프레임(28)의 윗면을 제외한 각 면에 폐쇄 패널(30)을 나사로 설치하고 있다.

하우징(24)의 정면에 위치하는 폐쇄 패널(30)에는 검사 스테이지(26)에 받아진 표시용 패널(12)을 비스듬히 위쪽에서 볼 수 있는 개구(32)가 사각형의 커버 받이(34)에 의해 형성되어 있다.

커버 받이(34)는 프레임(28)을 형성하고 있는 긴 부재 중, 하우징(24)의 정면 쪽을 상하방향으로 연장하는 한 쌍의 긴 부재에 나사로 고정되어 있다. 개구(32)는 평판상의 커버(36)에 의해 개방 가능하다. 커버 받이(34)는 커버(36)의 아래 가장자리를 받도록 위쪽으로 개방하고 X방향(도2에 있어서, 좌우방향이고, 이하 동일)으로 연장하는 홈(38)을 갖는다.

커버(36)는, 복수의 나사부재(도시하지 않음)에 의해 하우징(24)에 탈부착 가능하게 커버 받이(34)에 설치되어 있다. 이 때문에 커버(36)는 나사부재를 위해 복수의 관통구멍(40)을 갖고 있고, 커버 받이(34)는 나사부재용 복수의 나사구멍(41)을 갖고 있다.

커버(36)는 작업자에 의한 육안 점등검사 동안, 커버 받이(34)에서 떼어 내진다. 이에 대하여, 자동 점등검사를 하는 경우, 커버(36)는 커버 받이(34)에 설치되어, 외부의 빛이 하우징(24) 내에 들어가는 것을 방지한다.

검사 스테이지(26)는, 도2 내지 도4에 나타낸 바와 같이, 표시용 패널(12)을 받는 워크 테이블(42), 워크 테이블(42)에 배치된 백라이트 유닛(44), 및 워크 테이블(42)을 이동시키는 테이블 이동기구(46)를 갖추고 있고, 또 테이블 이동기구(46)에 있어서 변위기구(16)에 지지되어 있다.

워크 테이블(42)은, 사각형을 한 판상부의 중앙영역에 사각형의 관통구멍을 형성하고 있고, 상기 관통구멍의 주위 상부에 사각형의 받음부를 단상으로 또는 림(rim)상으로 형성하고 있다. 표시용 패널(12)은 받음부의 윗면에 받아져 해제가능하게 진공 흡착된다.

백라이트 유닛(44)은 워크 테이블(42)에 받아진 표시용 패널에 백색광을 아래쪽에서 조사하여 조명하도록, 워크 테이블(42)과 함께 테이블 이동기구(46)에 지지되어 있다.

테이블 이동기구(46)는, 최소한 상하방향, 바람직하게는 X, Y, Z의 삼차원적으로, 보다 바람직하게는 X, Y, Z의 3방향과 Z방향으로 연장하는 θ 축선 주위로 이동시키는 공지의 기구이다.

변위기구(16)는, 도2 내지 도4에 나타낸 바와 같이, 하우징(24) 내에 배치된 역문형(逆門型)의 지지대(48)에 지지부재(50)를 X방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전 가능하게 지지시키고 있고, 또 검사 스테이지(26)의 테이블 이동기구(18)를 지지부재(50)에 지지시키고 있다.

지지부재(50)는, 액츄에이터(52)에 의해 X방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전된다. 이에 의해, 검사 스테이지(26)가 표시용 패널(12)과 함께 마찬가지로 각도적으로 회전되고, 표시용 패널(12)이 전향 즉 변위된다.

액츄에이터(52)로서, 서보모터(servomotor)와 같은 전동기와 그 출력을 감속시키는 감속기구를 이용할 수 있다.

도2, 도3, 도4 및 도7에 실선으로 나타낸 바와 같이, 패널 받음장치(14)와 패널 반송수도장치(22)와의 사이에서 표시용 패널(12)의 수도를 하는 동안, 및 자동 점등검사를 하는 동안, 변위기구(16)는 검사 스테이지(26)에 받아져 있는 표시용 패널(12)을 위쪽을 향해 수평으로 유지하도록, 검사 스테이지(26)를 변위시켜 그 상태로 유지한다.

이에 대하여, 도1 및 도9에 실선으로 나타내고, 도7에 점선으로 나타낸 바와 같이, 작업자가 검사 스테이지(26)에 받아져 있는 표시용 패널(12)을 눈으로 볼 때, 변위기구(16)는 표시용 패널(12)을 경사 위쪽의 개구(32)를 향해 비스듬히 위 를 향하는 자세로 유지하도록, 검사 스테이지(26)를 변위시켜 그 상태로 유지한다.

패널 촬영장치(18)는 도1 내지 도3에 나타낸 바와 같이, 패널 받음장치(14)의 하우징(24) 위에 탈부착 가능하게 나사 고정된 하우징(54), 하우징(54) 내에 배치된 비디오카메라(56), 및 하우징(54)에 지지된 삼차원 이동기구(58)를 갖춘다.

하우징(54)은 하우징(24)과 동일하게, 복수의 긴 부재를 입방체 상으로 결합시켜 프레임을 형성하고, 프레임의 아래면을 제외한 각 면에 폐쇄 패널을 나사에 의해 설치하고 있다.

하우징(24 및 54)이 폐쇄 패널을 상기와 같이 갖춘 구조를 가짐으로써, 하우징(24 및 54) 내의 공간은 외부의 빛이 들어가지 않도록 폐쇄 패널에 의해 폐쇄되어 있다.

비디오카메라(56)는 자동 초점 맞춤 기능을 갖춘 카메라이고, 또 검사 스테이지(26)에 받아진 표시용 패널(12)을 위쪽에서 촬영할 수 있도록, 아래를 향해 삼차원 이동기구(58)에 지지되어 있다.

하우징(24 및 54)은 하우징(24)의 윗면 및 하우징(54)의 아래면에 대응하는 곳의 각각에 폐쇄 패널이 배치되어 있지 않기 때문에, 비디오카메라(56)에 의한 표시용 패널(12)의 촬영을 방해하지 않는다.

삼차원 이동기구(58)는 비디오카메라(56)를 상하, 좌우 및 전후의 3방향으로 변위시키도록 하우징(54)에 설치되어 있다.

그와 같은 삼차원 이동기구(58)는, 도5에 나타낸 바와 같이, 각각이 고정자 즉 리니어 레일(60)과 이 리니어 레일(60)에 이동 가능하게 결합된 가동자 즉 리니 어 가이드(62)를 갖춘 3쌍의 리니어 모터를 이용하여 구성할 수 있다.

도5에 나타낸 예에서는, 1쌍의 리니어 모터의 리니어 가이드(62)는 X방향으로 연장하도록 하우징(54)에 블라켓(64)을 통하여 설치되어 있고, 다른 1쌍의 리니어 모터의 리니어 가이드(62)는 블라켓(64)을 통하여 왼쪽 전후방향으로 연장하도록 가장 상부에 위치하는 리니어 모터의 리니어 가이드(62)에 설치되어 있고, 남은 1쌍의 리니어 모터의 리니어 가이드(62)는 상하방향으로 연장하도록 중간 리니어 모터의 리니어 가이드(62)에 블라켓(64)을 통하여 설치되어 있다.

비디오카메라(56)는 블라켓(64)을 통하여 가장 하부에 위치하는 리니어 모터의 리니어 가이드(62)에 설치되어 있다.

삼차원 이동기구(58)는, 검사 스테이지(26)에 받아져 있는 표시용 패널(12)을 촬영할 때, 비디오카메라(56)를 소정의 높이 위치로 이동시켜 그 높이 위치를 유지한 상태로 비디오카메라를 XY방향으로 이차원적으로 이동시킨다.

패널 반송장치(20)는, 도6에 나타낸 바와 같이, 패널 받음장치(14)의 뒤에 배치되어 있고, 또 각각이 복수의 롤러를 회전축에 이것의 축선방향으로 간격을 둔 상태로 설치한 복수의 롤러 조립체(66)를 갖춘다.

롤러 조립체(66)는 패널(12)의 반송방향(도시한 예에서는 X방향)으로 간격을 두고 프레임(68)에 회전이 자유롭게 지지되어 있고, 또 도시하지 않은 구동기구에 의해 함께 회전된다.

패널 반송장치(20)는, 도6에 있어서, 미검사 표시용 패널(12)을 왼쪽 단부의 로딩 위치에 배치되어 있는 복수의 롤러 조립체(66)에 받아 패널의 반송방향 중앙 부의 수도위치로 반송하고, 미검사 및 검사완료 표시용 패널(12)을 수도위치에서 패널 받음장치(14)에 대하여 수도하고, 검사완료 표시용 패널(12)을 오른쪽 단부의 언로딩 위치로 반송한다.

즉, 패널 반송장치(20)는 검사완료 표시용 패널(12)을 수도위치에서 패널 반송수도장치(22)로부터 받아 도6에서 오른쪽 단부로 반송하고, 미검사 표시용 패널(12)을 도6에서 왼쪽 단부에서 수도위치까지 반송한다. 미검사 및 검사완료 표시용 패널(12)을 패널 받음장치(14)에 대하여 수도할 때, 패널 반송장치(20)는 정지된다.

또 패널 반송장치(20)는, 미검사 표시용 패널(12)의 얼라이먼트를 하는 얼라이먼트 장치(70)와, 미검사 및 검사완료 표시용 패널(12)을 패널 반송수도장치(22)에 대하여 수도하는 수도기구(72)를 수도위치에 배치하고 있다.

얼라이먼트 장치(70)는, 미검사 표시용 패널(12)이 수도위치로 반송되어 온 것을 패널 센서(74)로 감지하고, 그에 의해 2조(組)의 위치결정부재(76)를 서로 접근하는 방향으로 이동시켜 그들 위치결정부재(76)에 의해 표시용 패널(12)의 마주보는 2변을 끼움으로써, 표시용 패널(12)의 센터링을 한다. 이에 의해, 미검사 표시용 패널(12)은 얼라이먼트된다.

위치결정부재(76)는 표시용 패널(12)이 수도위치로 반송되어 올 때까지는 그 상단부가 패널 반송장치(22)에 의한 패널 반송로의 아래쪽 대기위치에 위치하는 상태로 대기하고 있다.

그러나 표시용 패널(12)이 패널 센서(74)에 의해 감지되면, 위치결정부 재(76)는 그 상단부가 패널 반송로에 돌출되어 표시용 패널(12)을 정지시킴과 동시에, 서로 접근하는 방향으로 이동되어 그 표시용 패널(12)을 끼운다.

얼라이먼트 장치(70)는, 표시용 패널(12)의 센터링을 한 후, 위치결정부재(76)를 역방향으로 이동시켜 대기위치로 되돌리고, 표시용 패널(12)을 해방한다.

수도기구(72)는 패널 반송장치(18)에 의한 패널 반송로에 출입되는 복수의 리프터 핀(78)을 갖춘다.

수도기구(72)는 리프터 핀(78)을 도시하지 않은 구동기구에 의해 패널 반송장치(18)에 의한 패널 반송로에 함께 돌출시킴으로써, 표시용 패널(12)을 리프터 핀(78)에 패널 반송장치(20) 또는 패널 반송수도장치(22)로부터 받는다.

또 수도기구(72)는, 리프터 핀(78)을 상기 구동기구에 의해 패널 반송장치(18)에 의한 패널 반송로의 아래쪽으로 함께 후퇴시킴으로써, 표시용 패널(12)을 패널 반송장치(20) 또는 패널 반송수도장치(22)로 건넨다.

도2 내지 도4에 나타낸 바와 같이, 전후방향으로 간격을 두고 마주보는 상태로 패널 받음장치(14)의 하우징(24)에 지지된 한 쌍의 가이드 기구(80)와, 각각이 가이드 기구(80)로부터 상대의 가이드 기구(80) 쪽으로 연장하는 상태로 가이드 기구(80)에 설치된 한 쌍의 암(82)과, 각 암(82)의 선단부에 설치된 복수의 흡착 패드(84)를 갖춘다.

각 가이드 기구(80)는 리니어 모터이고, 고정자를 전후방향으로 수평으로 연장하는 상태로 하우징(24)에 설치하고, 가동자에 암(82)을 설치하고 있다. 양 가이드 기구(80)는 표시용 패널(12)을 검사 스테이지(26)의 위쪽과 패널 반송장치(20) 의 위쪽으로 반송하도록 연장해 있고, 또 대응하는 암(82)을 함께 반대로 전후방향으로 이동시킨다.

각 가이드 기구(80)를 리니어 모터로 하는 대신에, 암(82)을 가이드 기구에 대하여 이동시키는 이동기구를 갖추어도 좋다.

상기와 같이 양 가이드 기구(80)가 패널 받음장치(14)로부터 그 뒤쪽으로 돌출해 있기 때문에, 하우징(24)의 뒷면에 배치된 폐쇄 패널(30)은 패널 반송수도장치(22)가 표시용 패널(12)의 반송을 방해하지 않는 개구를 갖고 있다.

각 흡착 패드(84)는 표시용 패널(12)을 진공 흡착하는 공지의 패드이고, 대응하는 암(82)이 전후방향으로 이동됨으로써 표시용 패널(12)을 수평으로 반송한다.

양 가이드 기구(80)에 의한 패널 반송위치는 그들의 높이 위치가 겹치지 않도록 상하방향으로 물러져 있다.

패널 반송수도장치(22)는 먼저 미검사 표시용 패널(12)을 패널 반송장치(20)로부터 한쪽 흡착 패드(84)에 받고, 검사완료 표시용 패널(12)을 패널 받음장치(14)로부터 다른쪽 흡착 패드(84)에 받는다.

이어서, 패널 반송수도장치(22)는 양 암(82)을 역방향으로 이동시켜, 미검사 표시용 패널(12)을 패널 받음장치(14)로 반송하고, 검사완료 표시용 패널(12)을 패널 반송장치(20) 쪽으로 반송한다.

계속해서, 패널 반송수도장치(22)는 흡착하고 있는 표시용 패널(12)을 패널 받음장치(14) 및 패널 반송장치(20)에 건넨 후, 암(82) 및 흡착 패드(84)를 점등검 사에 방해되지 않는 위치에 대기시킨다.

상기 점등 검사장치(10)는 하기와 같이 동작하고, 그에 의해 표시용 패널(12)은 하기와 같이 처리된다.

미검사 표시용 패널(12)은 패널 반송장치(20)에 의해 수도위치에 수평상태로 반송되고, 얼라이먼트 장치(70)에 의해 수평상태로 얼라이먼트되어, 패널 반송수도장치(22)의 한쪽 흡착 패드(84)에 수평상태로 건네짐과 동시에 그들 흡착 패드(84)에 의해 검사 스테이지(26)의 위쪽에 수평상태로 반송된다.

상기와 병행하여, 검사완료 표시용 패널(12)은 검사 스테이지(26)에 의해 수평상태로 유지된 상태로 워크 테이블(42)이 상승된 후 하강됨으로써, 패널 반송수도장치(22)의 다른쪽 흡착 패드(84)에 수평상태로 건네지고, 그들 흡착 패드(84)에 의해 패널 반송장치(20)의 위쪽에 수평상태로 반송된다.

검사 스테이지(26)의 위쪽에 반송된 미검사 표시용 패널(12)은 워크 테이블(42)이 상승된 후 하강됨으로써, 패널 반송수도장치(22)의 한쪽 흡착 패드(84)로부터 검사 스테이지(26)로 수평상태로 건네진다.

그 후, 미검사 표시용 패널(12)은 워크 테이블(42)이 소정의 높이 위치 및 자세로 유지된 상태로, 점등 검사된다. 이 점등 검사 시, 미검사 표시용 패널(12)은 백라이트 유닛(44)에 의해 배면으로부터 조명됨과 동시에, 도시하지 않은 프로브에 의해 통전(通電)되고, 소정의 점등 상태가 된다.

이에 대하여, 패널 반송장치(20)의 위쪽에 반송된 검사완료 표시용 패널(12)은 리프터 핀(78)이 상승됨으로써, 그 표시용 패널(12)을 리프터 핀(78)에 받고, 리프터 핀(78)이 하강됨으로써 롤러 조립체(66)에 건넨다.

그 후, 검사완료 표시용 패널은 도6에서 오른쪽 끝으로 반송되고, 인력 또는 로봇에 의해 패널 반송장치(20)로부터 제거된다. 이와 병행하여, 다음 표시용 패널(12)이 도6에서 패널 반송장치(20)의 왼쪽 끝에 놓이고 패널 반송장치(20)에 의해 수도위치로 반송된다.

육안 점등검사 동안, 커버(36)는 하우징(24)으로부터 떼어 내어져 개구(32)를 개방하고 있다.

그러나 검사 스테이지(26)는 받고 있는 표시용 패널(12)을 작업자가 육안 검사를 위해 개구(32)를 통하여 눈으로 볼 때만, 그 표시용 패널(12)을 개구로 향하고, 그 상태를 유지하도록 변위기구(16)에 의해 도7에서 점선으로 나타낸 바와 같이 변위된다. 이 때문에, 작업자는 표시용 패널(12)을 이것에 수직인 방향에서 눈으로 볼 수 있고, 높은 검사 정밀도로 육안 점등검사를 할 수 있다.

육안 점등검사가 종료하면, 검사 스테이지(26)는 받고 있는 표시용 패널(12)을 비디오카메라(56)를 향해 위로 향하는 상태를 유지하도록, 변위기구(16)에 의해 도6에 실선으로 나타낸 바와 같이 변위된다.

자동 점등검사 동안, 커버(36)는 하우징(24)에 설치되어, 개구(32)를 폐쇄하고 있다. 또 검사 스테이지(26)는 도6에 실선으로 나타낸 바와 같이, 받고 있는 표시용 패널(12)을 비디오카메라(56)를 향한 수평상태로 유지한다.

상기 상태로, 비디오카메라(56)는 표시용 패널(12)을 촬영하고, 촬영한 화상 신호를 테스터에서의 화상 처리 및 패널의 양부(良否)판정 처리를 위해 테스터에 출력한다. 이 때문에, 점등된 표시용 패널(12)을 이것에 수직인 위쪽에서 비디오카메라(56)에 의해 촬영할 수 있으므로, 촬영 정밀도가 높고, 그 결과 자동 점등검사에서의 검사 정밀도도 높아진다.

상기와 같이, 표시용 패널(12)의 반송 및 수도 동안, 표시용 패널(12)을 수평상태로 유지하면, 그 사이 표시용 패널(12)이 안정하여, 반송 및 수도를 정확하고 확실하게 안정하게 행할 수 있다.

상기 점등 검사장치(10)는, 이것을 육안 점등검사 전용기로서 이용할 때는 도1에 나타낸 바와 같이 커버(36)를 하우징(24)으로부터 떼어 낸 상태로 사용해도 좋지만, 도8에 나타낸 바와 같이 패널 촬영장치(18)를 떼어 내고 사용해도 좋고, 도9에 나타낸 바와 같이 패널 촬영장치(18) 및 패널 반송장치(20)를 떼어 내고 사용해도 좋다.

상기와 같이, 점등 검사장치(10)는 표시용 패널(12)을 경사시킨 상태 및 수평을 유지한 상태의 어느 한 상태로 검사를 하기 때문에, 표시용 패널(12)의 검사 동안만 프로브를 표시용 패널(12)의 전극에 누르고, 그 외의 동안에는 특히 패널의 수도 동안은, 프로브를 수도 작업에 방해가 되지 않는 위치로 퇴피(退避)시키는 프로브 유닛을 이용하는 것이 바람직하다.

그와 같은 프로브 유닛 및 그것을 이용한 검사장치, 예를 들어 일본 특개2002-350485호 공보에 개시되어 있다. 그와 같은 공지의 프로브 유닛은 본 발명의 경우, 전체가 검사 스테이지(26)와 함께 변위되도록 검사 스테이지(26)에 설치된다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

본 발명은, 육안 점등검사 및 자동 점등검사를 선택적으로 행할 수 있음에 상관없이, 육안 점등검사 및 자동 점등검사 어느 경우도 검사 정밀도를 향상시킬 수 있는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

표시용 패널을 받고 이것을 점등시키는 패널 받음장치로서 하우징 및 상기 하우징 내에 배치된 검사 스테이지를 갖추고, 상기 표시용 패널을 상기 검사 스테이지에 받는 패널 받음장치와, 상기 검사 스테이지에 배치된 표시 패널을 위쪽에서 촬영하는 비디오카메라를 갖춘 패널 촬영장치를 포함하고,

상기 하우징은 상기 검사 스테이지에 받은 표시용 패널을 상기 하우징의 전면 쪽에서 눈으로 볼 수 있는 개구를 갖고,

상기 점등 표시장치는 상기 검사 스테이지에 받은 표시용 패널을 상기 개구 및 상기 비디오카메라에 선택적으로 향하도록, 상기 검사 스테이지를 변위시키는 변위기구와, 상기 개구를 개방 가능하게 폐쇄하는 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 패널 촬영장치는 상기 패널 받음장치의 위쪽에 배치되어 있고,

상기 하우징은 상기 비디오카메라가 상기 표시용 패널을 촬영하는 것을 허락하도록 상부를 개방하고 있는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.
제2항에 있어서, 상기 패널 촬영장치는, 상기 비디오카메라가 배치된 제2 하우징으로서 상기 패널 받음장치의 하우징 위에 탈부착 가능하게 배치된 제2 하우징과, 상기 제2 하우징에 지지된 삼차원 이동기구로서 상기 비디오카메라를 아래를 향하게 지지함과 동시에, 상하, 좌우 및 전후의 3방향으로 변위시키는 삼차원 이동기구를 더 갖춘 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 커버는 복수의 나사에 의해 상기 하우징에 탈부착 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 검사 스테이지는, 상기 표시용 패널을 받는 워크 테이블과, 상기 워크 테이블에 배치된 백라이트 유닛과, 상기 워크 테이블을 최소한 상하방향으로 이동시키는 테이블 이동기구를 갖추고, 상기 변위기구는 상기 표시용 패널을 상기 개구 및 상기 비디오카메라를 선택적으로 향하도록 상기 테이블 이동기구를 변위시키는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 변위기구는, 상기 하우징 내에 배치된 지지대와, 상기 지지대에 X방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전 가능하게 지지된 지지 부재로서 상기 검사 스테이지를 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재를 상기 축선 주위로 각도적으로 회전시키는 액츄에이터를 갖춘 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.
제1항에 있어서, 미검사 표시용 패널 및 검사완료 표시용 패널을 수평으로 반송하는 패널 반송장치와, 미검사 표시용 패널을 상기 패널 반송장치로부터 수평으로 받아 상기 검사 스테이지로 수평으로 건넴과 동시에, 검사완료 표시용 패널을 상기 검사 스테이지로부터 수평으로 받아 상기 패널 반송장치로 수평으로 건네는 패널 반송수도장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 점등 검사장치.