CN215263168U - 一种检测设备 - Google Patents

Abstract

一种检测设备，包括用于承载待检工件的承载装置、用于驱使承载装置绕第一轴线旋转的驱动装置以及布置于承载装置的上方空间的检测装置；其中，检测装置包括用于发射检测光以照射待检工件表面的光发射件、用于供人眼观测待检工件表面的观测窗口以及布置于观测窗口内或位于观测窗口的轮廓覆盖范围内以获取工件的表面图像的图像采集装置。通过将观测窗口与图像采集件布置于基本相同的位置，可在基本相同的视角或者观测路径下，完成对待检工件表面的同一区域位置的人工观测和设备视觉检测，实现同步及同位置的人工观测与设备视觉检测，有效地提高了检测效率。

Description

一种检测设备

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，具体涉及一种检测设备。

背景技术

随着半导体技术的快速发展，半导体工件表面缺陷的检测是提高或保证良品率的一个必不可少的工序。以晶圆为例，由于晶圆是制作半导体芯片的基底，若晶圆表面存在如异物污染、划痕、裂纹等缺陷，则很容易导致半导体芯片报废；因此，在芯片的加工制备过程中，往往需要对晶圆的表面进行监测及检测，通过及时发现缺陷，或对缺陷进行针对性修复，或更换切割晶圆，以实现对晶圆表面缺陷的控制，防止表面有缺陷的晶圆进入制作半导体芯片的下一道工序。

目前，现有的检测方式有人工直接观测和光学设备自动检测两种；其中，人工观测不但检测效率低，而且漏检或误检的几率较高，很多微小缺陷用肉眼难以分辨，检测质量无法得到保障；光学检测虽然可以保证检测质量，但耗时长、检测效率低、检测成本高。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种检测设备，以达到提高检测效率的目的。

一种实施例中提供一种检测设备，包括：

承载装置，用于承载待检工件；

驱动装置，用于驱使所述承载装置绕第一轴线旋转，所述驱动装置的动力端耦合至承载装置；和

检测装置，布置于所述承载装置的上方空间，所述检测装置包括：

光发射件，用于发射检测光，以照射待检工件的表面；

观测窗口，用于供人眼观测待检工件的表面；以及

图像采集件，用于获取待检工件的表面图像，所述图像采集件布置于观测窗口内或位于观测窗口的轮廓覆盖范围内。

一个实施例中，所述第一轴线在垂直于第一轴线的基准平面上的投影与观测窗口的中心在基准平面上的投影的连线为第一连线、与所述图像采集件的中心在基准平面上的投影的连线为第二连线，所述第二连线重合于第一连线。

一个实施例中，所述承载装置包括：

承接件，用于承接待检工件，所述驱动装置的动力端耦合至承接件；

定位件，用于将待检工件的边缘抵压于所述承接件，所述定位件与承接件沿第一轴线并行分布；以及

承载驱动件，用于驱使所述定位件沿第一轴线靠近或远离承接件，所述定位件和承接件中的一个连接承载驱动件的本体、另一个连接承载驱动件的动力端。

一个实施例中，所述定位件包括：

定位环，用于围绕布置在待检工件的边缘，所述定位环连接承载驱动件的本体或承载驱动件的动力端；以及

抵压臂，用于将抵压待检工件的边缘，所述抵压臂围绕第一轴线设置于定位环。

一个实施例中，所述承接件与定位件之间形成有接料口，所述接料口位于承载装置的边缘，用于供待检工件出入所述承载装置。

一个实施例中，所述光发射件包括明场光源和暗场光源，所述第一轴线在垂直于第一轴线的基准平面上的投影与明场光源的中心在基准平面上的投影的连线为第三连线、与暗场光源的中心在基准平面上的投影的连线为第四连线，所述第三连线与第四连线相交。

一个实施例中，所述明场光源至少一个，所述暗场光源至少两个，至少一个所述明场光源布置于承载装置的上方空间，至少两个所述暗场光源以经过第一轴线和第三连线的平面为界镜像布置在明场光源的两侧。

一个实施例中，所述驱动装置还用于驱使所述承载装置绕第二轴线转动，以使待检工件的表面与所述暗场光源的出光面的延伸方向平行，所述第二轴线与第一轴线呈交叉分布。

一个实施例中，所述驱动装置包括：

支撑件；

第一驱动件，用于驱使所述承载装置相对于支撑件绕第二轴线转动，所述第一驱动件位于支撑件邻近承载装置的一端，且所述支撑件和承载装置中的一个连接第一驱动件的本体、另一个连接第一驱动件的动力端；以及

第二驱动件，用于驱使所述支撑件带动承载装置和第一驱动件绕第一轴线旋转，所述第二驱动件的动力端耦合至支撑件远离承载装置的一端。

一个实施例中，还包括回转装置，所述回转装置用于驱使驱动装置和承载装置同步绕平行于第二轴线的第三轴线摆动，包括：

支撑座，所述驱动装置设置在支撑座；

导滑块，连接所述支撑座；

弧形导轨，与所述导滑块滑动连接；以及

第三驱动件，用于驱使所述导滑块在弧形导轨上滑移，所述第三驱动件的动力端耦合至导滑块。

依据上述实施例的检测设备，包括用于承载待检工件的承载装置、用于驱使承载装置绕第一轴线旋转的驱动装置以及布置于承载装置的上方空间的检测装置；其中，检测装置包括用于发射检测光以照射待检工件表面的光发射件、用于供人眼观测待检工件表面的观测窗口以及布置于观测窗口内或位于观测窗口的轮廓覆盖范围内以获取工件的表面图像的图像采集装置。通过将观测窗口与图像采集件布置于基本相同的位置，可在基本相同的视角或者观测路径下，完成对待检工件表面的同一区域位置的人工观测和设备视觉检测，实现同步及同位置的人工观测与设备视觉检测，既有效地提高了检测效率，又无需为待检工件的运动姿态的调整配置复杂的控制方案，降低了检测成本。

附图说明

图1为一种实施例的检测设备在侧视视角下的平面结构示意图。

图2为一种实施例的检测设备在轴测视角下的结构装配示意图。

图3为一种实施例的检测设备中部分部件的投影位置示意图。

图4为一种实施例的检测设备的暗场光源与关联部件间的位置关系示意图。

图5为一种实施例的检测设备的观测窗口与待检工件间的视角关系示意图。

图6为一种实施例的检测设备在待检工件处于水平状态时的结构示意图。

图7为一种实施例的检测设备在待检工件处于翻转状态时的结构示意图。

图8为一种实施例的检测设备的承载装置处于夹紧状态时的结构示意图。

图9为一种实施例的检测设备的承载装置处于开合状态时的结构示意图。

图10为一种实施例的检测设备的驱动装置的结构分解示意图。

图11为一种实施例的检测设备的回转装置的结构装配示意图（一）。

图12为一种实施例的检测设备的回转装置的结构装配示意图（二）。

图中：

10、承载装置；11、承接件；11-1、承接环；11-2、承接臂；12、定位件；12-1、定位环；12-2、抵压臂；13、承载驱动件；13-1、导轨；13-2、滑块；14、接料口；20、驱动装置；21、支撑件；21-1、底盘部；21-2、支撑臂；22、第一驱动件；23、第二驱动件；30、检测装置；31、光发射件；31-1、明场光源；31-2、暗场光源；32、观测窗口；33、图像采集件；40、回转装置；41、支撑座；42、导滑块；43、弧形导轨；44、第三驱动件；45、底盘；46、第四驱动件。

A1、第一轴线；A2、第二轴线；A3、第三轴线；B、基准平面；D、待检工件；L1、第一连线；L2、第二连线；L3、第三连线；L4、第四连线。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接（联接）。

本文所用术语“中心”可以理解为是部件的几何中心，如观测窗口的中心即为其几何形状的中心，也可理解为是部件的功能作用中心，如图像采集件的中心即为其光轴的中心。

本文所用术语“待检工件”可以是任何对外观有严格要求且具有明确指标的产品，其可以是半导体器件、电子元器件、纸张、玻璃、金属等物品。

本文所用术语“第一轴线”可以理解为是经过待检工件中心的轴线，如待检工件的表面与水平面处于平行状态时，第一轴线即为经过待检工件中心的竖直轴线。

请参考图1至图10，一种实施例提供的一种检测设备，主要对包括但不限于以晶圆为代表的半导体器件进行表面缺陷检测，其包括承载装置10、驱动装置20和检测装置30；下面分别说明。

请参阅图1、图2以及图6至图10，承载装置10主要用于承载定位待检工件D，以使待检工件D以预定的姿态（或者状态）被固定在承载装置10上；本实施例中，承载装置10主要包括承接件11、定位件12和承载驱动件13；其中，就承载装置10本身而言，承接件11属于静态部件，主要用于为待检工件D提供结构支撑，以承接待检工件D，并且通常情况下，承接件11的中心线是与待检工件D的中心线重合的，以承接件11能够为待检工件D提供全区域或者均匀的支撑力；同时，驱动装置20的动力端耦合至承接件11，以驱使承接件11能够绕第一轴线A1进行旋转，从而在承接件11的作用下，使得整个承载装置10连同其所承载的待检工件D同步绕第一轴线A1进行旋转。定位件12属于动态部件或者活动部件，其与承接件11沿第一轴线A1呈并行分布，主要用于抵压待检工件D的边缘，使得待检工件D的边缘能够被夹持于承接件11与定位件12之间，从而实现对待检工件D的承载固定，同时使待检工件D的表面能够外露于承载装置10，以为待检工件D的表面缺陷检测提供条件。承载驱动件13属于动力输出部件，主要用于驱使定位件12沿第一轴线A1靠近或远离承接件11，如驱使定位件12靠近承接件11时可将待检工件D夹持并固定于定位件12与承接件11之间，实现对待检工件D的承载固定；又如驱使定位件12远离承接件11时，则可便于将待检工件D从两者之间取出以实现下料操作，或者将待检工件D经由两者之间的间隙置于承接件11上以实现上料操作；承载驱动件13主要由诸如马达、气缸等动力驱动器件组成，其本体固定连接在承接件11上、动力端则耦合在定位件12上（当然，成在驱动件13的本体也可固定连接在定位件12上、动力端耦合在承接件11）。同时，一些实施例中，为确保定位件12运动的平稳性，其可设置为多个并围绕定位件12的中心分布，如两个且以定位件12的中心为基准呈对称分布。

另一个实施例中，承载装置10亦可采用吸盘式结构，即其主要由具有真空孔的盘体构成，通过将真空孔与诸如真空泵等装置进行管路连通，可在盘体上产生真空吸附效应，从而 直接将待检工件D吸附并固定在盘体上，实现对待检工件D的吸附式承载；而驱动装置20的动力端则耦合至盘体上，以驱动盘体绕第一轴线A1进行转动或者以其他方式进行运动，以调整待检工件D在检测环境内的空间位置、角度等。

请参阅图1、图2以及图6至图10，驱动装置20主要用于驱使承载装置10绕第一轴线A1进行旋转，以使承载装置承载的待检工件D的表面上所指定或待检的部位能够到达可供检测装置30进行检测的位置或角度。本实施例中，驱动装置20布置于承载装置10的下方空间，其可根据实际情况由诸如马达、气缸等动力部件以及其他因应需要所使用的配套器件组成；如将马达的本体设置于承载装置10下方空间的某一预设位置，将其动力轴耦合至承接件11的底面上，从而通过马达所输出的旋转动力来带动承载装置10绕第一轴线A1进行转动。

请参阅图1、图2、图6和图7，检测装置30主要用于对承载装置10上所承载固定的待检工件D的表面进行缺陷检测，其布置于承载装置30的上方空间，主要包括光发射件31、观测窗口32和图像采集件33。其中，光发射件31主要用于发射检测光（如可见光），通过照射待检工件D的表面，以使得检测光经待检工件D的反射和/或散射后形成检测光信号。观测窗口32主要用于为检测人员提供可观察待检工件D的结构通道或者空间位置，其可以是布置在检测装置30上某一预设位置的透明窗口，如玻璃窗口，也可以是基于检测装置30的结构特点，自然形成于检测装置30上某一预设位置的结构位，当驱动装置20驱使承载装置10带动待检工件D绕第一轴线A1进行转动并停留至某一位置时，经待检工件D反射和/或散射而形成的检测光信号会入射至人眼，从而使得检测人员可以通过观测窗口32观察待检工件D朝向观察窗口32的局部位置或者待检工件D表面的全部区域，以人工判定的方式来确定该位置是否存在缺陷。图像采集件33主要用于获取待检工件D的表面图像，如图像采集件33可以为相机，以通过对待检工件D进行拍照来获取待检工件D的静态图像；图像采集件33也可以是摄像机，以通过摄录待检工件D的影像来获取待检工件D的动态图像；依检测装置30本身的结构构造或者观测窗口32的存在形式，图像采集件33布置于观测窗口32内或者位于观测窗口32的轮廓范围内，从而就待检工件D而言，由于图像采集件33和观测窗口32处于一个基本相同的位置，在驱动装置20驱使承载装置10带动待检工件D运动，以使待检工件D的某一区域位置到达与图像采集件33的镜头部分相对应的位置时，检测光信号会同时入射至检测人员的眼部和图像采集件33的镜头部分，使得两者以一个基本相同的视角或者观测路径观察待检工件D的同一区域位置；在具体实施时，当检测人员通过观测窗口32观察到待检工件D的某一区域位置存在缺陷时，图像采集件33亦可同时或者适时地对该缺陷位置进行拍照或者摄录，在后续缺陷分析判定的过程中，检测人员可以在图像采集件33所获取的图像中标定所观察到的缺陷，以利用所获取的图像辅助检测人员对待检工件D进行检测，或者根据多个标定缺陷的图像分析寻找产生缺陷的根源。

一个实施例中，可在观测窗口32处设置可选择性打开或关闭的非透明的封闭门，当检测人员通过观测窗口32对待检工件D进行观测时，可使封闭门处于打开装置，当检测人员完成观测需要利用图像采集件33对待检工件的表面进行图像采集时，则可使封闭门处于关闭状态，以防止环境光影响图像采集件33采集图像的质量。

其一，通过将观测窗口32与图像采集件33布置于基本相同的位置，可在基本相同的视角或者观测路径下，完成对待检工件D表面的同一区域位置的人工观测和设备视觉检测，实现同步及同位置的人工观测与设备视觉检测，有效地提高了检测效率；例如在将观测窗口32与图像采集件33布置于不同位置时，往往需要利用驱动装置20驱使承载装置10带动待检工件D在观测窗口32视角对应的位置与图像采集件33视角对应的位置之间进行转换，如此，不但检测过程耗时较长，而且需要为承载装置10的运动行程或姿态调整配置复杂的控制方案，增加了检测成本。

其二，以人眼观测和设备自动检测相结合的方式，对待检工件D的表面缺陷进行检测，可以保证检测质量，如由于人眼通过观测窗口32观测的表面缺陷与图像采集件30所获取的图像上的表面缺陷之间存在区域位置的对应性或者一致性，检测人员可以方便快捷且准确地标定图像中的缺陷，以通过后续对图像的分析寻找产生缺陷的根源。

其三，利用定位件12本身的运动形式以及其与承接件11之间的配合关系，在承载装置10调整至水平位置时，可便于诸如机械手等抓取装置沿水平方向取放待载工件，实现承载装置10的上料或下料操作；不但可以通过快速的上下料操作为提高检测效率创造有利条件，而且无需在检测装置30与承载装置10之间为抓取装置以及待检工件D的取放配置足够的结构空间，为增强整个设备的结构紧凑性创造了条件。

一个实施例中，请参阅图3并结合图1、图2、图6和图7，观测窗口32的中心与图像采集件33的中心重合或者处于同一直线上，如观测窗口32的中心落在如相机镜头的光轴上，以最大限度地使人眼观测的视角或者观测路径与图像采集件33保持一致，为提高检测效率以及最终的检测质量创造条件；具体地，请参阅图3，第一轴线A1在垂直于第一轴线A1的基准平面B上的投影与观测窗口32的中心在基准平面B上的投影的连线为第一连线L1、与图像采集件33的中心在基准平面B上的投影的连线为第二连线L2，第二连线L2重合于第一连线L1。

一个实施例中，请参阅图8和图9，定位件12主要由定位环12-1和抵压臂12-2两部分组成；其中，定位环12-1主要为一环状结构，其轮廓形状可以与待检工件D的轮廓形状相同，如待检工件D为晶圆时，定位环12-1可采用尺寸大于晶圆尺寸的圆环结构体；在将待检工件D置于承接件11上后，定位环12-1围绕布置在待检工件D的边缘，并且定位环12-1连接承载驱动件13的本体或动力端；抵压臂12-2主要用于抵压待检工件D的边缘，以最终将待检工件D的边缘夹持固定在承接件11上，其布置在定位环12-1的内周侧，抵压臂12-2的数量可以为一个或者多个，如图示实施例中，抵压臂12-2为四个并且环绕定位环12-1的中心线或者第一轴线A1均匀分布，以确保利用均匀分布的抵压臂12-2对待检工件D的边缘进行均衡施力，防止工件因受力不均匀而发生翘曲、下垂、机械损伤等问题，进而为待检工件D的表面检测创造有利条件。另一个实施例中，定位件12也可采用类似于抵压臂12-2的结构及功能的结构件，通过将定位件12均匀地围绕第一轴线A1进行布置，并且一一对应连接一个承载驱动件13，亦可实现将待检工件D的边缘夹紧于其与承接件11之间。

一个实施例中，请参阅图8和图9，承接件11可采用与定位件12相同或相近的结构形式，如承接件11包括承接环11-1和承接臂11-2，承接环11-1与定位环12-1的形状、尺寸相同，承接臂11-2与抵压臂12-2一一对位配合，从而利用承接环11-1和定位环12-1可为承载驱动件13的装配提供结构基础，而利用承接臂11-2与抵压臂12-2的对位关系则可共同夹紧待检工件D的边缘，从而可有效简化整个承载装置10的结构，减小其自身负重或者驱动装置20的负载。另一个实施例中，承接件11也可采用盘体结构，其形状可以与待检工件D的形状相同，并且定位件12需要位于承接件11的轮廓范围内。

一个实施例中，请参阅图8和图9，承载驱动件13采用气缸作为动力元件，气缸的本体固定连接在承接件11上，并且在气缸的本体上设置平行于第一轴线A1分布的导轨13-1，而气缸的动力端则连接滑块13-2，滑块13-2的一端固定连接定位件12、另一端则滑动连接导轨13-1，从而在气缸的驱动下，使滑块13-2在导轨13-1上沿平行于第一轴线A1的方向进行滑移，从而带动定位件12沿第一轴线A1靠近或远离承接件11。另一个实施例中，承载件13也可采用马达作为动力元件，马达的动力端采用丝杠的形式螺纹连接滑块13-2，从而亦可驱使定位件12靠近或远离承接件11。

一个实施例中，请参阅图9，在承接件11与定位件12之间形成有接料口14，接料口14位于承载装置10的边缘，并且开口方向与前述的基准平面B平行，从而使得待检工件D能够沿水平方向出入承载装置10。本实施例中，可在承接件11邻近定位件12的一侧表面设置沉降结构，从而在承接件11与定位件12之间形成一定的结构间隙，即：接料口14，诸如机械手等抓取装置可利用接料口14所提供的结构空间，抓取待检工件D，以取放待检工件D。

一个实施例中，请参阅图1至图7，光发射件31主要由明场光源31-1和暗场光源31-2两种光源组合搭建而成；其中，明场光源31-1可以理解为是指光源位置与被测物成一定角度，可使绝大部分的光能够被最终被待测物反射，并入射至观测物；就本实施例而言，明场光源31-1所发射的检测光可照射待检工件D的全部区域，并使绝大部分的检测光可被待检工件D反射至观测窗口32和图像采集件33，以为两者提供明场照明，使得检测人员和图像采集件33可以观察大颗粒的污染物、凹坑、如芯片错位等尺寸较大的表面缺陷；暗场光源31-2可以理解为是指光源位置使得大部分的光没有被反射到观测物，仅仅使照射到的被测物的特定部分的光入射到观测物；就本实施例而言，暗场光源所发射的检测光在经过待检工件D的散射后，可入射至观测窗口32和图像采集件33，以为两者提供暗场照明，使得检测人员和图像采集件33可以观察到小颗粒污染物等尺寸较小的表面缺陷。本实施例中，明场光源31-1可以采用多光谱的面光源，以通过发射不同波长的检测光，满足不同的需求；同时，明场光源31-1的出光角度可依据待检工件D的表面尺寸、与待检工件D之间的距离等参数进行适应性选择；暗场光源31-2可采用线光源（如LED条形光源等），其长度最好大于等于待检工件D表面的最大长度，如大于等于晶圆的直径，以使待检工件D表面特定部位所反射或散射的光线能够入射至观测窗口32和图像采集件33。在对明场光源31-1和暗场光源31-2进行空间布置时，基于承载装置10上下料的结构特点以及观测窗口32与图像采集件33之间的对位关系，可将明场光源31-1以倾斜于水平面的方式布置在承载装置10的上方空间，通过对其出光角度的设置，可使其照射待检工件D的全部区域；暗场光源31-2则布置在明场光源31-1的边侧（该边侧不是与观测窗口32或图像采集件33相对的边侧），具体地，请参阅图3，第一轴线A1在垂直于第一轴线A1的基准平面B上的投影与明场光31-1的中心在基准平面B上的投影的连线为第三连线L3、与暗场光源31-2的中心在基准平面B上的投影的连线为第四连线L4，第三连线L3与第四连线L4相交，如90度垂直相交或者其他角度的相交。如此，通过对明场光源31-1与暗场光源31-2的结构布局，可为检测时对待检工件D在检测环境或空间内的方位和角度调节创造条件，以便对其进行观测或获取图像。

一个实施例中，请参阅图1、图2、图3、图4、图6和图7，明场光源31-1至少一个，暗场光源31-2至少两个，至少一个明场光源31-1倾斜地布置于承载装置10的上方空间，而至少两个暗场光源31-2则以经过第一轴线A1和第三连线L3的平面为界镜像布置在明场光源31-1的两侧；如此，既可以确保暗场光源31-1所提供的暗场照明的效果，又可以为承载装置10带动待检工件D绕垂直于经过第一轴线A1和第三连线L3的平面的轴线进行转动，实现待检工件D的俯仰运动，增强观测的舒适性创造条件。

一个实施例中，请参阅图6并结合图2、图6、图7和图10，驱动装置20还用于驱使承载装置10绕第二轴线A2进行转动，以在完成待检工件D的上料操作后，使承载装置10能够带动待检工件D在一定角度范围内进行俯仰运动，从而最终使得待检工件D的表面与暗场光源31-2的出光面的延伸方向平行，确保暗场光源31-2对待检工件D表面的光照效果，使检测光在经过待检工件D的散射后能够入射至观测窗口32和图像采集件33；其中，需要指出的是，第二轴线A2与第一轴线A1呈交叉分布，如第二轴线A2经过待检工件D的中心并与第一轴线A1呈平面交叉（即：相交），又如第二轴线A2也可与第一轴线A1呈空间交叉分布，要点在于，承载装置10能够带动待检工件D进行一定角度的俯仰运动。在具体实施例时，基于检测人员观测的舒适性和便利性的需求，可将观测窗口32和图像采集件33以与第一轴线A1（或者竖直轴）呈一定角度的方式布置在承载装置10的上方空间，同时将暗场光源31-2以与水平面之间的夹角呈10-20度的方式布置在承载装置10的上方空间；首先，利用驱动装置20驱使承载装置10绕第二轴线A2转动，使暗场光源31-2的出光面的延伸方向平行待检工件D的表面，此时即相当于检测人员或者图像采集件33处于观测待载工件表面的最佳角度，既便于检测人员和图像采集件33获取检测光信号，又便于观测待测工件表面的缺陷；而后驱使承载装置10带动待检工件D绕第一轴线A1转动，使待检工件D的表面的区域逐一地被转换至检测人员和图像采集件33的视角范围内，从而即以人工观测与设备视觉检测相结合的方式，同步获取表面缺陷。另一个实施例中，驱动装置20也可仅用于驱使承载装置10带动待检工件D绕第一轴线A1在水平面内进行转动，通过为检测装置配置相应的驱动机构，使其能够沿第一轴线A1进行上下移动和/或绕某一轴线进行俯仰运动，从而调整观测窗口32和图像采集件33在整个设备中的位置或角度。

一个实施例中，请参阅图8、图9和图10，驱动装置20主要包括支撑件21、第一驱动件22和第二驱动件23；其中，支撑件21主要用于为承载装置10布置在检测装置30的下方空间提供结构支撑，其可包括底盘部21-1和形成于底盘部21-1的边缘的两个支撑臂21-2组成，支撑臂21-2对称分布在底盘部21-1的边缘。第一驱动件22主要用于驱使承载装置10相对于支撑件21绕第二轴线A2进行转动，第一驱动件22可以由马达、编码器、限位开关等器件组合搭建而成，第一驱动件22的本体装设于支撑臂21-2远离底盘部21-1的一端，第一驱动件22的动力端则耦合至承载装置10上（如前述的承接件11），并且第一驱动件22的中心线沿第二轴线A2分布，从而利用第一驱动件22所输出的动力可驱使承载装置10绕第二轴线A2进行转动，以实现对承载装置10带动待检工件D在检测环境内或者相对于检测装置30进行一定角度的俯仰运动。第二驱动件23主要用于驱使承载装置10（连同支撑件21和待检工件D）绕第一轴线A1进行转动，以便调整待检工件D表面的特定部位与观测窗口32和图像采集件33之间的位置关系，第二驱动件23亦可由马达、编码器等期间组合搭建而成，并且第二驱动件23的本体可固定布置在底盘部21-1下方空间的某一预设位置，其动力端则耦合至底盘部21-1。

请参阅图1、图2、图6、图7以及图10至图12，一种实施例提供一种检测设备，还包括回转装置40，主要用于调整整个检测设备主体部分的俯仰角度，如驱动装置20、承载装置10以及待检工件D所组合的结构部分，或者驱动装置20、承载装置10、检测装置30以及待检工件D所组合的结构部分，为检测设备在具体环境内安装、调试及使用等创造条件，如通过对主体部分的调节，可使得整个设备，尤其是观测窗口32等能够适应检测人员的身体条件，以更为舒适地角度对待检工件D进行观测。具体地，回转装置40用于至少能够驱使驱动装置20和承载装置10同步地绕平行于第二轴线A2的第三轴线A3进行摆动；其包括支撑座41、导滑块42、弧形导轨43和第三驱动件44；其中，支撑座41可安装于第二驱动件22的本体上，以将整个驱动装置固定装设在回转装置40上；导滑块42则可安装在支撑座41的两个对称端，弧形导轨43与导滑块42一一对应，并位于支撑座41的下方空间的两个对称侧，第三轴线A3则经过弧形导轨43的圆心，使弧形导轨43的弧度可以适配于暗场光源31-2与水平面之间的夹角，导滑块42滑动连接在对应的弧形导轨43上，第三驱动件44可以由气缸或马达等动力器件以及如丝杆传动机构、连杆机构等需要配合使用的机构构件组合搭建而成，第三驱动件44的本体固定在支撑座41下方空间的一个预设位置，其动力端则耦合在导滑块42上，从而驱使导滑块42在弧形导轨43上滑移，进而通过支撑座41带动驱动装置20、承载装置10和/或检测装置30等整体进行俯仰角度的调节变换。

一个实施例中，请参阅图11和图12，回转装置40还包括底盘45和第四驱动件46；其中，弧形导轨43和第三驱动件44的本体均固定安装在底盘45上，从而使得回转装置40的主体部分以及驱动装置20等一同被布置在底盘45上，而第四驱动件46可采用马达等动力部件，其本体固定在底盘45下方空间的某一预设位置，第四驱动件46的动力端则耦合至底盘45上，以驱使底盘45绕其自身中心进行旋转运动，以带动整个检测设备进行转动；实现对设备主体的方位调节；在具体实施时，可根据环境空间内的实际条件，来调整观测窗口32、待检工件D上下料等的方位，为增强整个设备对环境的适应性创造了条件。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

承载装置，用于承载待检工件；

驱动装置，用于驱使所述承载装置绕第一轴线旋转，所述驱动装置的动力端耦合至承载装置；和

检测装置，布置于所述承载装置的上方空间，所述检测装置包括：

光发射件，用于发射检测光，以照射待检工件的表面；

观测窗口，用于供人眼观测待检工件的表面；以及

图像采集件，用于获取待检工件的表面图像，所述图像采集件布置于观测窗口内或位于观测窗口的轮廓覆盖范围内。

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一轴线在垂直于第一轴线的基准平面上的投影与观测窗口的中心在基准平面上的投影的连线为第一连线、与所述图像采集件的中心在基准平面上的投影的连线为第二连线，所述第二连线重合于第一连线。

3.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置包括：

承接件，用于承接待检工件，所述驱动装置的动力端耦合至承接件；

定位件，用于将待检工件的边缘抵压于所述承接件，所述定位件与承接件沿第一轴线并行分布；以及

承载驱动件，用于驱使所述定位件沿第一轴线靠近或远离承接件，所述定位件和承接件中的一个连接承载驱动件的本体、另一个连接承载驱动件的动力端。

4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述定位件包括：

定位环，用于围绕布置在待检工件的边缘，所述定位环连接承载驱动件的本体或承载驱动件的动力端；以及

抵压臂，用于将抵压待检工件的边缘，所述抵压臂围绕第一轴线设置于定位环。

5.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述承接件与定位件之间形成有接料口，所述接料口位于承载装置的边缘，用于供待检工件出入所述承载装置。

6.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述光发射件包括明场光源和暗场光源，所述第一轴线在垂直于第一轴线的基准平面上的投影与明场光源的中心在基准平面上的投影的连线为第三连线、与暗场光源的中心在基准平面上的投影的连线为第四连线，所述第三连线与第四连线相交。

7.如权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述明场光源至少一个，所述暗场光源至少两个，至少一个所述明场光源布置于承载装置的上方空间，至少两个所述暗场光源以经过第一轴线和第三连线的平面为界镜像布置在明场光源的两侧。

8.如权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述驱动装置还用于驱使所述承载装置绕第二轴线转动，以使待检工件的表面与所述暗场光源的出光面的延伸方向平行，所述第二轴线与第一轴线呈交叉分布。

9.如权利要求8所述的检测设备，其特征在于，所述驱动装置包括：

支撑件；

第一驱动件，用于驱使所述承载装置相对于支撑件绕第二轴线转动，所述第一驱动件位于支撑件邻近承载装置的一端，且所述支撑件和承载装置中的一个连接第一驱动件的本体、另一个连接第一驱动件的动力端；以及

第二驱动件，用于驱使所述支撑件带动承载装置和第一驱动件绕第一轴线旋转，所述第二驱动件的动力端耦合至支撑件远离承载装置的一端。

10.如权利要求8所述的检测设备，其特征在于，还包括回转装置，所述回转装置用于驱使驱动装置和承载装置同步绕平行于第二轴线的第三轴线摆动，包括：

支撑座，所述驱动装置设置在支撑座；

导滑块，连接所述支撑座；

弧形导轨，与所述导滑块滑动连接；以及

第三驱动件，用于驱使所述导滑块在弧形导轨上滑移，所述第三驱动件的动力端耦合至导滑块。

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