KR20070042396A - 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 캐리어를 제공한다. 상기 웨이퍼 캐리어는 몸체와, 상기 몸체의 내부에 배치되며, ID를 구비하는 다수매의 웨이퍼들을 각각 지지하는 슬롯들과, 상기 ID의 정보를 감지하는 ID감지부를 구비한다.

또한, 본 발명의 웨이퍼 케리어를 갖는 반도체 제조설비를 제공한다. 상기 반도체 제조설비는 서로 다른 공정이 수행되는 챔버들과, 상기 챔버들로부터 소정 거리 이격되도록 배치되는 웨이퍼 캐리어들을 포함하되, 상기 웨이퍼 캐리어는 몸체와, 상기 몸체의 내부에 배치되며, ID를 구비하는 다수매의 웨이퍼들을 각각 지지하는 슬롯들과, 상기 ID의 정보를 감지하는 ID감지부를 구비하며, 상기 웨이퍼들을 상기 챔버로 로딩 및 언로딩시키는 웨이퍼 이송부 및 상기 공정수행과 상기 웨이퍼 이송부를 구동하는 중앙제어모듈을 구비한다.

Description

웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비{SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT HAVING A WAFER CARRIER}

도 1은 본 발명의 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비를 도시한 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 캐리어를 보여주는 사시도이다.

도 3은 도 2에 도시된 선 Ⅰ-Ⅰ’를 따르는 부분단면도이다.

도 4는 도 2에 도시된 표시부호 A부분의 확대도이다.

도 5는 도 4에 도시된 선 Ⅱ-Ⅱ’를 따르는 단면도이다.

** 도면의 주요부분에 대한 부호설명 **

300 : 웨이퍼 캐리어

310 : 몸체

330 : 슬롯

400 : ID감지부

410 : 센서

411 : 수광부

412 : 발광부

W10 : ID

본 발명은 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비.에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼들의 ID의 정보를 감지할 수 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자는 실리콘 웨이퍼 상에 확산, 증착, 식각, 이온주입, 세정과 같은 공정들을 순차적으로 또는 선택적으로 수행함으로써 제조된다.

일반적으로 이와 같은 공정을 수행하는 반도체 소자 제조용 설비들은 웨이퍼에 대해 소정의 공정을 진행하는 공정챔버와, 상기 공정이 진행될 다수매의 웨이퍼들이 적재되는 포프(FOUP)와 같은 웨이퍼 캐리어와, 상기 웨이퍼들을 공정챔버로 로딩 및 언로딩하는 웨이퍼 이송장치를 구비한다.

상기 웨이퍼 캐리어는 일측면이 개구되고, 내부에 공간이 마련되는 사각형상의 몸체를 갖는 것이 일반적이다. 그리고, 상기 몸체는 그 내부 공간에 상기 웨이퍼들이 적재되도록, 상기 웨이퍼들의 에지부 저면이 지지되는 슬롯들을 구비한다.

여기서, 상기 웨이퍼 케리어에는 각각의 공정이 진행되는 웨이퍼들을 적재하고, 목적하고자 하는 공정을 수행하고 난 후의 웨이퍼들에는 공정수행확인을 위한 ID들이 각각 부착된다.

그러나, 종래의 웨이퍼 케리어는 상기 ID를 감지할 수 있는 감지부가 없다.

그러므로, 상기 설비가 오작동을 일으키거나, 설비 유지 보수시에 작업자의 실수에 의해, 서로 다른 공정이 진행되는 웨이퍼 캐리어들에 적재되는 웨이퍼들이 서로 뒤바뀌더라도, 상기 웨이퍼의 ID를 감지할 수 없는 이유로 이를 확인하지 못한채 그대로 소정의 공정이 진행된다.

따라서, 목적하고자 하는 공정이 이루어질 웨이퍼들이 아닌, 다른 공정이 수행될 웨이퍼들이 설비의 내부로 투입되거나, 목적하고자 하는 공정을 마친 웨이퍼들이 재차 설비로 투입되어 동일한 공정이 반복되는 경우가 발생함으로써, 종국에는 웨이퍼에 대한 제품불량을 야기시키고 제품손실량을 증가시키는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼들의 ID를 감지하여, 서로 다른 공정이 수행될 웨이퍼 캐리어들 사이에서 웨이퍼들이 서로 바뀌어 적재되지 않도록 하는 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비를 제공함에 있다.

본 발명은 웨이퍼 캐리어를 제공한다.

본 발명의 일 양태에 따른 웨이퍼 캐리어는 몸체와, 상기 몸체의 내부에 배치되며, ID를 구비하는 다수매의 웨이퍼들을 각각 지지하는 슬롯들과, 상기 ID의 정보를 감지하는 ID감지부를 포함한다.

본 발명의 일 양태에 따른 일 실시예에 있어서, 상기 ID감지부는 상기 슬롯들에 제공되는 센서들과, 상기 센서들과 전기적으로 연결되며, 기설정되는 ID의 정 보와 상기 감지되는 ID의 정보를 서로 비교하여 동일여부를 판단하는 제어부와, 상기 제어부와 전기적으로 연결되며, 상기 감지되는 ID의 정보가 상기 기설정되는 ID의 정보와 동일하지 않은 경우에 상기 제어부로부터 전기적 신호를 전송받아 알람을 발생하는 경보기를 구비할 수 있다.

본 발명에 따른 다른 실시예에 있어서, 상기 제어부는 표시기와 전기적으로 연결되되, 상기 표시기는 상기 기설정되는 ID의 정보와, 상기 감지되는 ID의 정보들을 디스플레이할 수 있다.

한편, 본 발명은 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비를 제공한다.

본 발명의 다른 양태에 따른 상기 반도체 제조설비는 서로 다른 공정이 수행되는 챔버들과, 상기 챔버들로부터 소정 거리 이격되도록 배치되는 웨이퍼 캐리어들을 포함하되, 상기 웨이퍼 캐리어는 몸체와, 상기 몸체의 내부에 배치되며, ID를 구비하는 다수매의 웨이퍼들을 각각 지지하는 슬롯들과, 상기 ID의 정보를 감지하는 ID감지부를 구비하며, 상기 웨이퍼들을 상기 챔버로 로딩 및 언로딩시키는 웨이퍼 이송부 및 상기 공정수행과 상기 웨이퍼 이송부를 구동하는 중앙제어모듈을 포함한다.

본 발명의 다른 양태에 따른 일 실시예에 있어서, 상기 ID감지부는 상기 슬롯들에 제공되는 센서들과, 상기 센서들과 전기적으로 연결되며, 기설정되는 ID의 정보와 상기 감지되는 ID의 정보를 서로 비교하여 동일여부를 판단하여, 상기 감지되는 ID의 정보가 상기 기설정되는 ID의 정보와 동일하지 않은 경우에 상기 중앙제어모듈로 전기적 신호를 전송하여 상기 공정과 상기 웨이퍼 이송부의 구동을 중지 시키는 제어부와, 상기 제어부와 전기적으로 연결되며, 상기 감지되는 ID의 정보가 상기 기설정되는 ID의 정보와 동일하지 않은 경우에 상기 제어부로부터 전기적 신호를 전송받아 알람을 발생하는 경보기를 구비할 수 있다.

본 발명에 따른 다른 실시예에 있어서, 상기 제어부는 표시기와 전기적으로 연결되되, 상기 표시기는 상기 기설정되는 ID의 정보와, 상기 감지되는 ID의 정보들 및 상기 공정수행의 상태와 상기 웨이퍼 이송부의 구동상태를 디스플레이할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비를 도시한 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 캐리어를 보여주는 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 선 Ⅰ-Ⅰ’를 따르는 부분단면도이다. 도 4는 도 2에 도시된 표시부호 A부분의 확대도이다. 도 5는 도 4에 도시된 선 Ⅱ-Ⅱ’를 따르는 단면도이다.

도 1을 참조로 하면, 본 발명의 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비는 웨이퍼들(W)에 대하여 서로 다른 공정을 수행하는 챔버들(100)과, 상기 챔버들(100)로부터 소정거리 이격되도록 배치되며, 다수매의 상기 웨이퍼들(W)을 적재하는 웨이퍼 캐리어들(300,350)과, 상기 웨이퍼 캐리어들(300,350)에 적재된 각각의 웨이퍼들(W)을 순차적으로 상기 챔버들(100)로 로딩 및 언로딩하는 웨이퍼 이송부(200)와, 상기 웨이퍼들(W)을 상기 챔버들(300,350)로 로딩 및 언로딩시키는 웨이퍼 이 송부(200) 및 상기 공정수행과 상기 웨이퍼 이송부(200)를 구동하는 중앙제어모듈(270)을 포함한다.

여기서, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 각각의 웨이퍼들(W)은 각 공정이 수행되는 공정정보가 입력되는 ID(W10)가 외주부 상면에 부착될 수 있다.

그리고, 상기 웨이퍼 이송부(200)는 본체(230)와, 상기 본체(230) 상에 활주되도록 장착된 구동부(210)와 상기 구동부(210)에 연결되어, 상기 웨이퍼들(W)을 상부에 안착시켜 로딩 및 언로딩하는 로봇암(220)을 구비할 수 있다.

도 2를 참조하여, 상기 웨이퍼 캐리어들(300,350)의 구성을 구체적으로 설명하도록 한다.

여기서, 상기 웨이퍼 캐리어들(300,350)은 서로 동일한 구성을 갖기 때문에, 도 1에 도시된 표시부호 300의 웨이퍼 캐리어(300)의 구성을 설명하도록 한다.

상기 웨이퍼 캐리어(300)는 일측면이 외부로 개구되고, 내부에 적재공간(320)이 형성되는 사각형상의 몸체(310)와, 상기 몸체(310)의 적재공간(320)에 배치되며, 상기 웨이퍼들(W)의 에지부의 저면을 지지하는 슬롯들(330)과, 상기 ID(W10)의 정보를 감지하는 ID감지부(400)를 구비할 수 있다.

여기서, 상기 슬롯들(330)은 서로 상방에서 하방을 향해 배열되고, 각각의 슬롯들(330)은 도 3에 도시된 바와 같이 상부면(331)과 하부면(332)을 이룬다.

그리고, 도 2 내지 도 5를 참조하면, 상기 ID감지부(400)는 상기 슬롯들(330)의 사이에 제공되되, 각 슬롯들(330)의 하부면(332)에 부착되고, 상기 웨이퍼들(W)에 부착된 ID(W10)를 감지하는 센서들(410)과, 상기 센서들(410)과 전기적으 로 연결되며, 기설정되는 ID(W10)의 정보와 상기 감지되는 ID(W10)의 정보를 서로 비교하여 동일한지의 여부를 판단하여, 상기 감지되는 ID(W10)의 정보가 상기 기설정되는 ID(W10)의 정보와 동일하지 않은 경우에, 상기 중앙제어모듈(270)로 전기적 신호를 전송하여 상기 공정과 상기 웨이퍼 이송부(200)의 구동을 중지시키는 제어부(420)와, 상기 제어부(420)와 전기적으로 연결되며, 상기 감지되는 ID(W10)의 정보가 상기 기설정되는 ID(W10)의 정보와 동일하지 않은 경우에 상기 제어부(420)로부터 전기적 신호를 전송받아 알람을 발생하는 경보기(430)를 구비할 수 있다.

여기서, 상기 센서(410)는 광을 발산하는 발광부(412)와, 상기 발광부(412)로부터 발산된 광을 수광하는 수광부(411)를 구비한 광센서일 수 있다.

또한, 상기 제어부(430)는 상기 기설정되는 ID(W10)의 정보와, 상기 감지되는 ID(W10)의 정보들 및 상기 챔버들(100)에서의 공정수행의 상태와 상기 웨이퍼 이송부(200)의 구동상태를 디스플레이할 수 있는 표시기(440)와 전기적으로 연결될 수 있다.

다음, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비의 바람직한 실시예의 작용 및 효과를 설명하도록 한다.

도 1에 도시된 복수개의 웨이퍼 캐리어(300,350)에는 다수매의 웨이퍼들(W)이 적재된다. 여기서, 상기 웨이퍼 캐리어들(300,350)을 도 1을 참조하여 1공정이 수행되는 제 1웨이퍼 캐리어(300)와, 2공정이 수행되는 제 2웨이퍼 캐리어(350)라 한다.

즉, 상기 제 1웨이퍼 캐리어(300)에는 1공정이 수행되는 웨이퍼들(W)이 적재 되며, 상기 1공정이 수행될 웨이퍼들(W)의 외주부 상면에는 1공정에 대한 정보가 저장된 ID(W10)가 부착된다. 그리고, 상기 제 2웨이퍼 캐리어(350)에는 2공정이 수행되는 웨이퍼들(W)이 적재되며, 상기 2공정이 수행되는 웨이퍼들(W)의 외주부 상면에는 2공정에 대한 정보가 저장된 ID(W10)가 부착된다.

이어, 도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 제 1,2웨이퍼 캐리어(300,350)의 슬롯들(330)의 하부면(332)에 부착된 센서들(410)은 상기 ID(W10)를 감지할 수 있다.

즉, 상기 ID(W10)는 공정에 대한 정보가 저장된 바코드일 수 있으므로, 상기 센서(410)의 발광부(412)는 상기 ID(W10)로 광을 발산하며, 상기 ID(W10)에 반사된 광은 수광부(411)에서 감지되어, 상기 센서(410)는 상기 ID(W10)의 정보를 인식할 수 있다.

이어, 도 1에 도시된 중앙제어모듈(270)은 웨이퍼 이송부(200)로 전기적 신호를 전송하고, 웨이퍼 이송부(200)는 1공정이 수행될 웨이퍼들(W)을 상기 제 1웨이퍼 캐리어(300)로부터 순차적으로 챔버(100)로 로딩시켜 공정을 진행시킬 수 있다. 그리고, 상기 웨이퍼 이송부(200)는 상기 1공정을 마친 웨이퍼들(W)을 상기 챔버(100)로부터 순차적으로 언로딩시켜 상기 제 1웨이퍼 캐리어(300)에 적재할 수 있다.

이어, 상기 제 1웨이퍼 캐리어(300)에 제공된 센서들(410)은 언로딩되어 상기 제 1웨이퍼 캐리어(300)에 적재되는 웨이퍼들(W)의 ID(W10)를 감지하여 제어부(420)로 신호를 전송할 수 있다. 그리고, 상기 제어부(420)는 상기 감지되는 ID(W10)의 정보가 1공정에 대한 정보이면, 그대로 공정을 진행시키도록 한다.

그러나, 상기 중앙제어모듈(270) 또는 웨이퍼 이송부(200)의 오동작으로 인해 상기 1공정을 마친 웨이퍼(W)를 제 2웨이퍼 캐리어(350)로 언로딩시키는 경우에, 상기 제 2웨이퍼 캐리어(350)에 제공된 센서들(410)은 상기 언로딩된 웨이퍼(W)의 ID(W10)를 감지하여 제어부(420)로 전송한다.

상기 제어부(420)는 기설정된 2공정에 대한 정보가 저장된 ID(W10)의 정보와 상기 감지되는 언로딩된 웨이퍼(W)의 1공정에 대한 정보가 서로 동일한지의 여부를 비교한다. 이어, 상기 비교되는 정보가 불일치하므로, 상기 제어부(420)는 상기 중앙제어모듈(270)로 전기적 신호를 전송하여 상기 챔버(100)를 통한 공정을 중지함과 아울러, 상기 웨이퍼 이송부(200)로 전기적 신호를 전송하여 상기 웨이퍼 이송부(200)의 구동을 즉시 중지시킬 수 있다.

또한, 상기 제어부(420)는 상기와 같이 기설정된 ID(W10)의 정보와 감지되는 ID(W10)의 정보가 동일하지 않은 경우에, 경보기(430)로 전기적 신호를 전송하여, 이를 작업자에게 알리는 알람을 발생시킬 수 있다.

이와 아울러, 상기 제어부(420)는 표시기(440)로 전기적 신호를 전송시켜, 기설정되는 ID(W10)의 정보와 감지되는 ID(W10)의 정보를 디스플레이하여, 작업자가 가시적으로 용이하게 확인할 수 있도록 할 수 있다.

상기에서 상술한 바는, 도 1에 도시된 중앙제어모듈(270) 또는 웨이퍼 이송부(200)의 오작동으로 인해 1공정을 마친 웨이퍼(W)를 2공정이 진행될 웨이퍼들(W)이 적재되는 제 2웨이퍼 캐리어(350)로 언로딩되는 경우에 대하여 설명하였지만, 작업자의 실수로 인해, 1공정이 진행될 웨이퍼(W)를 2공정이 진행되는 제 2웨이퍼 캐리어(350)에 적재하는 경우에도 상기 ID감지부(400)의 감지동작은 상기와 동일할 수 있다.

한편, 챔버(100)의 내부에서 2공정이 진행된 웨이퍼(W)가 제 1웨이퍼 캐리어(300)로 언로딩되거나, 2공정이 진행될 웨이퍼(W)가 제 1웨이퍼 캐리어(300)에 적재하는 경우에도, 상기 ID감지부(400)의 감지동작은 동일할 수 있다.

본 발명에 의하면, 웨이퍼에 부착되며, 수행되는 공정에 대한 정보가 저장되는 ID의 정보를 감지할 수 있는 센서들을 웨이퍼 캐리어에 제공함으로써, 서로 다른 공정이 수행될 웨이퍼 캐리어에 웨이퍼들이 서로 바뀌어 적재되지 않도록 하여, 소정의 공정이 수행된 웨이퍼에 대하여 동일한 공정을 반복하거나, 목적하고자 하는 공정이외의 다른 공정이 수행되지 않도록 할 수 있다. 이에 따라 웨이퍼에 대한 제품손실을 줄일 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

1. 몸체;

   상기 몸체의 내부에 배치되며, ID를 구비하는 다수매의 웨이퍼들을 각각 지지하는 슬롯들; 및

   상기 ID의 정보를 감지하는 ID감지부를 포함하는 웨이퍼 캐리어.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 ID감지부는 상기 슬롯들에 제공되는 센서들과, 상기 센서들과 전기적으로 연결되며, 기설정되는 ID의 정보와 상기 감지되는 ID의 정보를 서로 비교하여 동일여부를 판단하는 제어부와, 상기 제어부와 전기적으로 연결되며, 상기 감지되는 ID의 정보가 상기 기설정되는 ID의 정보와 동일하지 않은 경우에 상기 제어부로부터 전기적 신호를 전송받아 알람을 발생하는 경보기를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 제어부는 표시기와 전기적으로 연결되되, 상기 표시기는 상기 기설정되는 ID의 정보와, 상기 감지되는 ID의 정보들을 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
4. 서로 다른 공정이 수행되는 챔버들;

   상기 챔버들로부터 소정 거리 이격되도록 배치되는 웨이퍼 캐리어들을 포함하되, 상기 웨이퍼 캐리어는 몸체와, 상기 몸체의 내부에 배치되며, ID를 구비하는 다수매의 웨이퍼들을 각각 지지하는 슬롯들과, 상기 ID의 정보를 감지하는 ID감지부를 구비하며,

   상기 웨이퍼들을 상기 챔버로 로딩 및 언로딩시키는 웨이퍼 이송부; 및

   상기 공정수행과 상기 웨이퍼 이송부를 구동하는 중앙제어모듈을 포함하는 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 ID감지부는 상기 슬롯들에 제공되는 센서들과, 상기 센서들과 전기적으로 연결되며, 기설정되는 ID의 정보와 상기 감지되는 ID의 정보를 서로 비교하여 동일여부를 판단하여, 상기 감지되는 ID의 정보가 상기 기설정되는 ID의 정보와 동일하지 않은 경우에 상기 중앙제어모듈로 전기적 신호를 전송하여 상기 공정과 상기 웨이퍼 이송부의 구동을 중지시키는 제어부와, 상기 제어부와 전기적으로 연결되며, 상기 감지되는 ID의 정보가 상기 기설정되는 ID의 정보와 동일하지 않은 경우에 상기 제어부로부터 전기적 신호를 전송받아 알람을 발생하는 경보기를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 제어부는 표시기와 전기적으로 연결되되, 상기 표시기는 상기 기설정되는 ID의 정보와, 상기 감지되는 ID의 정보들 및 상기 공정수행의 상태와 상기 웨이퍼 이송부의 구동상태를 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어를 갖는 반도체 제조설비.

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