KR20070013038A - 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지 및 이를이용한 웨이퍼 플랫존 정렬 검사방법 - Google Patents

반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지 및 이를이용한 웨이퍼 플랫존 정렬 검사방법 Download PDF

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Abstract

반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지를 제공한다. 상기 웨이퍼 카세트 스테이지는 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트가 안착되는 스테이지 몸체 및 상기 웨이퍼의 플랫존으로부터 수직으로 소정 거리 이격되며, 상기 스테이지 몸체에 장착되는 센서를 구비할 수 있다. 이와 아울러 상기 웨이퍼 카세트 스테이지를 이용한 웨이퍼 플랫존 정렬 검사방법도 제공한다.

Description

반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지 및 이를 이용한 웨이퍼 플랫존 정렬 검사방법{WAFER CASSETTE STAGE FOR SEMICONDUCTOR MEMORY MANUFACTURING AND WAFER FLAT-ZONE ALIGNMENT TESTING METHOD USED THE SAME}
도 1은 본 발명의 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지를 보여주는 사시도이다.
도 2와 도 3은 도 1에 도시된 웨이퍼 플랫존을 감지하는 센서들의 장착 위치를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 센서들과 제어부의 동작을 보여주는 블록도이다.
도 5는 본 발명의 웨이퍼 플랫존 정렬검사방법을 보여주는 흐름도이다.
** 도면의 주요부분에 대한 부호설명 **
200 : 스테이지 본체
210 : 안착부
220 : 지지부
300 : 웨이퍼 카세트
400 : 센서들
500 : 제어부
본 발명은 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지 및 이를 이용한 웨이퍼 플랫존 정렬 검사방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼들의 플랫존이 정상적으로 정렬되었는지를 감지하는 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지 및 이를 이용한 웨이퍼 플랫존 정렬 검사방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위해서는 확산, 노광, 식각, 세정등과 같은 여러 공정들을 순차적으로 또는 선택적으로 수행되어 제조된다.
이와 같은 공정 중에 식각공정은 웨이퍼의 상면에 반도체 집적회로를 형성시키는 공정으로써, 노광공정에 의해 형성된 포토레지스트 패턴을 마스크로 사용하여 하부막을 가공하는 공정이다.
일반적으로 상기의 식각공정을 수행하는 반도체 소자 제조용 식각설비는 다수매의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트가 안착되는 웨이퍼 카세트 스테이지와, 상기 웨이퍼 카세트를 이송하는 스토리지 엘리베이터등의 이송장치와, 상기 이송장치를 통해 이송된 상기 웨이퍼 카세트 스테이지에 적재된 웨이퍼들의 플랫존의 정렬을 검사하고 재정렬하는 웨이퍼 플랫존 정렬부와, 상기 정렬을 마친 웨이퍼들을 이송하는 웨이퍼 이송장치와, 상기 웨이퍼 이송장치로부터 이송된 웨이퍼들에 대하여 식각공정을 수행하는 공정챔버 및 식각공정을 마친 웨이퍼들을 냉각시키는 냉각부 를 구비할 수 있다.
여기서, 상기 웨이퍼 카세트의 내부에 적재된 다수매의 웨이퍼들은 상기 이송장치를 통해 상기 웨이퍼 플랫존 정렬부로 이송된 후에, 플랫존의 틀어짐 상태와 재정렬과정을 거치게 된다.
이어, 상기 웨이퍼들의 플랫존이 정렬된 후에, 상기 웨이퍼 이송장치는 상기 웨이퍼들을 상기 공정챔버로 이송하고, 상기 공정챔버는 상기 웨이퍼들에 대하여 식각공정을 수행한다.
상기 공정챔버에서 식각공정이 수행된 웨이퍼들은 웨이퍼 이송장치를 통해 상기 냉각부로 이송된다. 이어, 상기 냉각부는 상기 웨이퍼를 냉각시킨다. 예컨대, 상기 웨이퍼는 척에 안착되고, 척을 관통하여 상기 안착된 웨이퍼의 저면으로 공급되는 질소가스에 의해 웨이퍼는 냉각된다.
그리고, 상기 냉각부에서 소정의 온도로 냉각된 웨이퍼들은 상기 웨이퍼 이송장치를 통해 상기 웨이퍼 카세트에 재적재되고, 상기 웨이퍼 카세트는 상기 이송장치를 통해 상기 웨이퍼 카세트 스테이지로 재안착된다.
그러나, 웨이퍼들에 대하여 식각공정을 수행하기 전에 상기와 같이 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼들의 플랫존 정렬 상태확인을 별도의 상기 웨이퍼 플랫존 정렬부를 거쳐 공정이 진행되도록 함으로써, 작업시간이 길어지고, 설비의 제품 생산성을 하락시키는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 웨이퍼 카세트 스테이지 상에서 웨이퍼 카세트에 적재된 다수매의 웨이퍼 플랫존의 정렬상태를 검사할 수 있는 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지 및 이를 이용한 웨이퍼 플랫존 정렬 검사방법을 제공함에 있다.
본 발명은 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지 및 이를 이용한 웨이퍼 플랫존 정렬 검사방법을 제공한다.
본 발명의 일 양태에 따른 일 실시예에 있어서, 상기 웨이퍼 카세트 스테이지는 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트가 안착되는 스테이지 몸체 및 상기 웨이퍼의 플랫존으로부터 수직으로 소정 거리 이격되며, 상기 스테이지 몸체에 장착되는 센서를 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 센서는 상기 스테이지 몸체에 다수개로 장착되되, 상기 웨이퍼 카세트 상부에 위치되도록 상기 스테이지 몸체에 장착될 수 있다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 센서는 광센서와, 적외선센서 및 거리감지센서 중 어느 하나일 수 있다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 스테이지 몸체에 소정거리 이격되어 설치되며, 상기 웨이퍼를 집어 소정 위치로 이송할 수 있는 웨이퍼 이송장치를 더 구비하되, 상기 센서는 상기 웨이퍼 이송장치의 동작을 제어하는 제어부와 전기적으로 연결되고, 상기 제어부는 상기 센서로부터 전기적 신호를 전송받아 상기 웨이퍼의 플랫존이 틀어진 경우에 상기 웨이퍼 이송장치의 동작을 중지할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 따른 일 실시예에 있어서, 다수매의 웨이퍼들이 적재 된 웨이퍼 카세트가 스테이지 몸체에 안착되는 단계와, 상기 웨이퍼들의 플랫존으로부터 소정 거리 이격된 복수 위치에서 상기 웨이퍼 플랫존의 틀어짐 상태를 감지하는 단계와, 상기 웨이퍼 플랫존의 틀어짐 상태에 대한 감지 결과를 비교분석하는 단계를 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 비교분석된 결과에 따라, 상기 웨이퍼들에 대한 식각공정여부를 판단하되, 상기 웨이퍼 플랫존이 복수위치에서 정상적으로 정렬된 경우에 상기 웨이퍼들에 대한 식각공정을 수행하며, 상기 웨이퍼 플랫존의 복수위치 중에 어느 한 곳에서라도 틀어진 경우에, 상기 플랫존이 틀어진 웨이퍼를 인출하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 웨이퍼 플랫존으로부터 수직으로 소정 거리 이격되어 장착된 센서들을 구비하되, 상기 센서들은 각각 상기 웨이퍼 플랫존으로 광을 발산하여 상기 웨이퍼 플랫존에서 반사된 광을 수광함으로써 상기 웨이퍼 플랫존의 틀어짐 유무를 감지할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 일 양태에 따른 반도체 소자 제조설비용 웨이퍼 카세트 스테이지의 일 실시예를 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지를 보여주는 사시도이다.
도 1을 참조로 하면, 상기 웨이퍼 카세트 스테이지는 다수매의 웨이퍼(W)들이 적재된 웨이퍼 카세트(300)가 안착되는 스테이지 몸체(200)를 구비한다. 상기 스테이지 몸체(200)는 상기 웨이퍼 카세트(300)가 안착되는 안착부(210)와, 상기 안착부(210)의 근방에 배치되며, 설비(100)의 내부에 마련된 상기 웨이퍼(W)가 로딩 및 언로딩 될 수 있는 로딩부(110)를 구비할 수 있다.
상기 로딩부(110)의 내부에는 도시되지 않은 공정챔버 측으로 상기 웨이퍼 카세트(300)를 로딩 및 언로딩 시킬 수 있도록 웨이퍼 카세트 이송장치(120)가 마련될 수 있다.
그리고, 상기 스테이지 몸체(200)는 상기 웨이퍼 카세트(300)의 상방에 위치되는 지지부(220)를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 웨이퍼 카세트 스테이지는 상기 스테이지 몸체(200)의 상기 지지부(220)에 장착되되, 상기 웨이퍼 카세트(300)로부터 상방에 장착되도록 배치되며, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)으로부터 수직으로 소정 거리 이격되어 배치되는 센서(400)를 구비할 수 있다.
상기 센서(400)는 상기 지지부(220)에 다수개로 장착되되, 3개로 장착될 수 있다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상기 센서(400)는 상기 웨이퍼 플랫존(FZ) 상면으로 광을 발산하는 발광부와, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)에서 반사된 광을 수광하는 수광부로 구성되는 광센서일 수 있다.
그리고, 상기 센서(400)는 상기 웨이퍼 카세트 이송장치(120)의 동작을 제어하는 제어부(500)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 제어부(500)는 상기 센서들(400)로부터 전기적 신호를 전송받아 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)이 틀어진 경우에 상 기 웨이퍼 카세트 이송장치(120)의 동작을 중지할 수 있다.
상기와 같은 구성을 통한 본 발명의 일 양태에 따르는 상기 웨이퍼 카세트 스테이지의 일 실시예에 대한 작용 및 효과를 설명하도록 한다.
도 1을 참조하면, 공정이 진행될 다수매의 웨이퍼들(W)은 상기 웨이퍼 카세트(300)에 적재될 수 있다. 상기 웨이퍼 카세트(300)는 스테이지 몸체(200)의 안착부(210) 상에 안착될 수 있다. 상기 웨이퍼 카세트(300)는 작업자가 직접 상기 안착부(210) 상에 안착시킬 수도 있고, 별도의 웨이퍼 카세트 이송장치(미도시)가 상기 웨이퍼 카세트(300)를 집어 상기 안착부(120) 상에 안착시킬 수도 있다.
이어, 상기 센서들(400)은 상기 웨이퍼 카세트(300)의 내부에 적재된 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 틀어짐을 감지할 수 있다.
도 2 내지 도 3을 참조로 하여, 상기 센서들(400)의 장착위치 및 작동을 좀 더 구체적으로 설명하도록 한다.
도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 카세트에 대한 평면도이며, 상기 센서들의 광 발산 위치를 보여주고 있다.
도 1에 도시된 바와 같은 상기 다수개의 센서들(400)은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 상면의 3곳의 위치(A,B,C, 도 2참조.)로 광을 발산하도록 상기 지지부(220)에 배치될 수 있다.
상기 3곳의 위치(A,B,C)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 상면의 A, B, C 위치이다. 상기 A와 B 위치는 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 상면의 양측부의 위치이며, 상기 B위치는 상기 A와 B 위치의 중간 위치일 수 있다.
또한, 상기 센서들(400)은 상기 A,B,C 위치로부터 각각 상방으로 상기 지지부(220)에 장착된 제 1센서(410), 제 2센서(420), 제 3센서(430)로 구성될 수 있다.
따라서, 상기 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 센서들(400)의 발광부로부터 발산된 광이 상기 A,B,C위치에서 모두 반사되고, 반사된 광은 수광부에서 수광될 수 있다. 상기 센서들(400)은 상기 제어부(500)로 전기적 신호를 전송할 수 있다. 상기 제어부(500)는 상기와 같은 경우에 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)이 정상적으로 정렬된 것으로 판단할 수 있다.
이어, 상기 제어부(500)는 공정구동부(510, 도 4참조.)로 전기적 신호를 전송하여, 상기 웨이퍼 카세트 이송장치(120, 도 1참조.)를 구동시킬 수 있다. 상기 웨이퍼 카세트 이송장치(120)는 상기 웨이퍼 카세트(300)를 집어 상기 로딩부(110)로 로딩시킬 수 있다. 상기 로딩부(110) 내의 도시되지 않은 웨이퍼 이송장치는 상기 웨이퍼들(W)을 집어 공정챔버의 내부로 로딩시킬 수 있다.
그러므로, 상기 제어부(500)는 상기와 같이 3개의 센서들(410, 420, 430)의 발광부에서 발광된 광이 상기 웨이퍼 플랫존의 복수 위치(A,B,C)에서 모두 반사되고, 반사된 광이 수광부에서 수광되면, 상기와 같이 웨이퍼들(W)에 대해 정상적인 식각공정을 수행하도록 할 수 있다.
한편, 상기 제어부(500)는 상기 센서들(410, 420, 430) 중 어느 하나의 수광부에서 상기와 같이 반사된 광을 수광하지 못하는 경우에, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)이 틀어진 것으로 판단할 수 있다.
도 3은 상기 웨이퍼 플랫존이 틀어진 것을 보여주는 도면이다.
도 3을 참조하면, 상기 센서들(400)의 발광부는 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 상면으로 광을 발산할 수 있다. 이때, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)이 일측으로 틀어진 경우에 상기 B,C위치의 상방에 위치한 상기 제 2,3센서(420, 430)의 발광부로부터 상기 발산된 광은 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 영역에서 벗어나므로 반사되지 못한다. 따라서, 상기 제 2,3센서들(420, 430)의 수광부에서는 반사된 광을 수광하지 못한다.
이어, 상기 센서들(400)은 상기 제어부(500)로 전기적 신호를 전송할 수 있고, 상기 제어부(500)는 상기와 같은 경우에, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)이 틀어진 것으로 판단할 수 있다.
이어, 도 4를 참조하면, 상기 제어부(500)는 상기 공정구동부(510)로 전기적 신호를 전송하여, 상기 웨이퍼 카세트 이송장치(120)의 동작을 중지하게 할 수 있다. 물론, 상기 로딩부(110)의 내부에 장착된 웨이퍼 이송장치(미도시)의 동작을 중지하게 할 수 있다.
상기와 같이 웨이퍼 카세트(300)가 상기 스테이지 몸체(200)의 안착부(210) 상에 안착된 상태에서, 상기 센서들(400)을 통해 상기 웨이퍼들(W)의 플랫존(FZ)의 틀어짐을 감지하여, 상기 웨이퍼 카세트 이송장치(120)의 동작과 같은 공정을 제어할 수 있으므로, 종래의 별도로 웨이퍼 플랫존(FZ)을 정렬하여 공정을 진행하는 것과 비교하여, 작업시간을 줄일 수 있다. 이에 따라, 설비의 제품 생산성을 향상시킬 수 있다.
한편, 상기 일 실시예에서는 상기 센서들(400)이 발광부와 수광부를 구비한 광센서인 것을 예로 들어 설명하였으나, 도면에 도시되지는 않았지만, 상기 센서들(400)을 초음파센서 또는 거리감지센서 중 어느 하나를 채택할 수도 있다.
여기서, 상기 센서들(400)을 초음파센서로 채택하는 경우에, 상기 초음파센서는 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 상면의 복수 위치로 초음파를 발산하고, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)에서 반사된 초음파를 수신하여 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 틀어짐 상태를 감지할 수 있다.
또한, 상기 센서들(400)을 거리감지센서로 채택하는 경우에, 상기 거리감지센서는 초음파를 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 상면의 복수 위치로 발산하고, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 상면에서 반사된 초음파를 수신하여, 반사되어 복귀하는데 까지의 시간을 산출하여 거리를 계산할 수 있다. 여기서, 상기 제어부(500)는 복수 위치에서의 계산되는 거리값이 어느 하나라도 동일하지 않은 경우에 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)이 틀어진 것으로 판단할 수 있다.
물론, 상기와 같은 센서들(400)을 상기 실시예에서와 같이 상기 웨이퍼 카세트(300)의 상부에 위치하도록 상기 지지부(220)에 장착하는 것이 바람직하나, 도면에 도시되지는 않았지만, 상기 센서들(400)을 상기 스테이지 몸체(200)상에서 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)으로부터 하방을 향해 수직으로 배치되도록 할 수도 있다.
따라서, 상기 센서들(400)은 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 하방에서 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 정상적인 정렬유무를 감지할 수도 있다.
다음은 본 발명의 다른 양태에 따른 상기 웨이퍼 플랫존 정렬검사방법의 일 실시예를 설명하도록 한다.
도 5는 본 발명의 웨이퍼 플랫존 정렬검사방법을 보여주는 흐름도이다.
도 1 및 도 5를 참조로 하면, 상기 웨이퍼 플랫존 정렬검사방법은 다수매의 웨이퍼들(W)이 적재된 웨이퍼 카세트(300)를 스테이지 몸체(200)에 안착시키는 단계(S10)와, 상기 스테이지 몸체(200)에 안착된 상태에서 상기 웨이퍼 카세트(300)에 적재된 상기 웨이퍼들(W)의 플랫존(FZ)으로부터 수직으로 소정 거리 이격된 복수 위치에서, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 틀어짐 상태를 감지하는 단계(S20)와, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 틀어짐 상태에 대한 감지 결과를 비교분석하는 단계(S30)를 포함한다.
여기서, 상기 웨이퍼 플랫존의 틀어짐 상태를 감지하는 방법은 다음과 같다.
도 1을 참조로 하면, 상기 센서들(400)의 발광부들은 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 상면으로 광을 발산하고, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 상면에서 반사된 광은 상기 센서들(400)의 수광부들이 각각 수광을 할 수 있다.
이어, 상기 센서들(400)은 전기적으로 연결된 제어부(500)로 전기적 신호를 전송할 수 있다. 상기 제어부(500)는 상기와 같은 경우에 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)이 정상적으로 정렬된 것으로 판단할 수 있다.
상기 비교분석하는 단계(S30)에서 상기 제어부(500)는 상기 비교분석된 결과에 따라, 상기 웨이퍼들(W)에 대한 식각공정여부를 판단하되(S40), 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)이 정상적으로 정렬된 경우에 상기 웨이퍼들(W)에 대한 식각공정을 수행하 며, 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)이 틀어진 경우에, 상기 플랫존(FZ)이 틀어진 웨이퍼(W)를 인출하는 단계(S50)를 더 포함할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼들(W)중 어느 하나의 웨이퍼 플랫존(FZ)이 틀어진 경우, 상기 수광부들은 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)의 상면에서 반사된 광을 모두 수광할 수 없다. 즉, 상기 A위치에서 반사되는 광은 수광되지만, 상기 B,C위치에서 반사되는 광은 수광할 수 없다. 이러한 경우에 상기 제어부(500)는 상기 웨이퍼 플랫존(FZ)이 틀어진 것으로 판단할 수 있다.
도 4를 참조하면, 이와 같은 경우, 상기 제어부(500)는 공정구동부(510)로 전기적 신호를 전송하여 상기 웨이퍼 카세트 이송장치(120)의 동작을 중지하거나, 식각공정을 중지하게 할 수도 있다.
본 발명에 의하면, 다수매의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트가 웨이퍼 스테이지에 안착됨과 동시에 상기 센서들을 통해 상기 웨이퍼들의 플랫존의 틀어짐 상태를 즉시 감지하여, 웨이퍼 플랫존이 정상적으로 정렬된 경우에 상기 웨이퍼들에 대한 공정을 바로 진행하도록 함으로써, 별도의 웨이퍼 정렬장치를 구비하여 웨이퍼 플랫존을 정렬한 후에 공정을 진행하는 것에 의한 작업시간 손실을 용이하게 줄일 수 있는 효과가 있다.
이에 따라, 제품의 불량률을 낮추고, 제품의 품질을 향상시키며, 설비의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트가 안착되는 스테이지 몸체; 및
    상기 웨이퍼의 플랫존으로부터 수직으로 소정 거리 이격되며, 상기 스테이지 몸체에 장착되는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 센서는 상기 스테이지 몸체에 다수개로 장착되되, 상기 웨이퍼 카세트 상부에 위치되도록 상기 스테이지 몸체에 장착되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 센서는 광센서와, 적외선센서 및 거리감지센서 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 스테이지 몸체에 소정거리 이격되어 설치되며, 상기 웨이퍼 카세트를 집어 소정 위치로 이송할 수 있는 웨이퍼 카세트 이송장치를 더 구비하되, 상기 센서는 상기 웨이퍼 이송장치의 동작을 제어하는 제어부와 전기적으로 연결되고, 상기 제어부는 상기 센서로부터 전기적 신호를 전송받아 상기 웨이퍼의 플랫존이 틀어진 경우에 상기 웨이퍼 카세트 이송장치의 동작을 중지하도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 웨이퍼 카세트 스테이지.
  5. 다수매의 웨이퍼들이 적재된 웨이퍼 카세트가 스테이지 몸체에 안착되는 단계;
    상기 웨이퍼들의 플랫존으로부터 소정 거리 이격된 복수 위치에서 상기 웨이퍼 플랫존의 틀어짐 상태를 감지하는 단계;
    상기 웨이퍼 플랫존의 틀어짐 상태에 대한 감지 결과를 비교분석하는 단계를 포함하는 웨이퍼 플랫존 정렬 검사방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 비교분석된 결과에 따라, 상기 웨이퍼들에 대한 식각공정여부를 판단하되, 상기 웨이퍼 플랫존이 복수위치에서 정상적으로 정렬된 경우에 상기 웨이퍼들에 대한 식각공정을 수행하며, 상기 웨이퍼 플랫존의 복수위치 중에 어느 하나라도 틀어진 경우에, 상기 플랫존이 틀어진 웨이퍼를 인출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫존의 정렬 검사방법.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 웨이퍼 플랫존으로부터 수직으로 소정 거리 이격되어 장착된 센서들을 구비하되, 상기 센서들은 각각 상기 웨이퍼 플랫존으로 광을 발산하여 상기 웨이퍼 플랫존에서 반사된 광을 수광함으로써 상기 웨이퍼 플랫존의 틀어짐 유무를 감지하 는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫존의 정렬 검사방법.
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KR20230116256A (ko) 2022-01-28 2023-08-04 주식회사 에스에프이 웨이퍼의 플랫존 정렬 및 웨이퍼 위치 정렬 방법

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