CN111788668A - 基板搬运装置以及基板搬运方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够对在规定位置交付基板进行可靠检测的基板搬运装置以及基板搬运方法。基板搬运装置包括：保持基板的保持部；使所述保持部相对于规定位置往复移动的往复机构；光学传感器，其在通过所述往复机构使所述保持部移动的路径上形成传感器区；以及控制部。控制部在基板的交付动作中对搬运异常进行判断。基板的交付动作包括通过所述往复机构将所述保持部趋向规定位置移动的前往动作，和所述保持部远离规定位置的返回动作。控制部在基板的交付动作中检测第1通过期间，在该第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常，该第1通过期间为所述保持部或者由该保持部保持的基板从所述传感器区通过的期间。

Description

基板搬运装置以及基板搬运方法
本申请主张基于在2018年2月28日提出的日本专利申请2018-035510号的优先权，本申请的全部内容通过引用而并入此处。
技术领域
本发明涉及搬运基板的基板搬运装置以及基板搬运方法。
背景技术
在半导体基板的制造工序或半导体设备的制造工序等中，通过搬运机械手等搬运基板。在搬运基板时，要求向用于处理基板的处理单元的载置部准确地载置基板、以及将处理后的基板向收纳容器准确地收纳。因此，例如需要利用传感器针对每一张基板确认是否通过搬运机械手等而将基板正常搬运至载置部等。
例如，专利文献1记载的基板搬运装置具有在通过搬运部搬运基板时保持基板的挑选部(手部)。该搬运部利用按压体固定保持位于挑选部上的基板，根据按压体的位置来检测基板的保持状态。另外，搬运部在向载置部等的规定位置交付基板时，解除基于按压体的固定保持。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开2012-74485公报
发明内容
在专利文献1所记载的基于按压体的基板检测动作中，在将基板交付至规定位置之后使挑选部后退时，没有检测基板。因此，无法检测基板搭在后退的挑选部上等在挑选部上残留基板的状态。在该情况下，尽管没有能够将基板交付至规定位置，也无法检测到这种情况。像这样，在专利文献1所记载的技术中，由于无法检测利用搬运部将基板交付至规定位置，所以存在无法检测搬运不良的情况。
本发明的一实施方式鉴于上述问题点，提供一种能够可靠地检测将基板交付至规定位置的基板搬运装置以及基板搬运方法。
本发明的一实施方式提供在规定位置交接基板的基板搬运装置。该基板搬运装置具备：保持基板的保持部；使所述保持部相对于规定位置进行往复移动的往复机构；光学传感器，其在通过所述往复机构使所述保持部移动的路径上形成传感器区；以及控制部。所述控制部在基板的交付动作中对搬运异常进行判断。基板的交付动作包括通过所述往复机构使所述保持部趋向规定位置而移动的前往动作、和以通过所述往复机构使所述保持部远离规定位置的方式移动的返回动作。所述控制部在基板的交付动作中检测所述保持部或者由该保持部保持的基板(以下，称为“保持基板”)从所述传感器区通过的第1通过期间(duration)，在该第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常。
在本发明的一实施方式中，所述规定位置为收纳基板的基板收纳容器内的位置，所述光学传感器在所述基板收纳容器外形成所述传感器区。
在本发明的一实施方式中，所述光学传感器的所述传感器区被设定在对以向所述基板收纳容器外偏移的状态载置的基板进行检测的位置。
在本发明的一实施方式中，所述保持部具有：与基板的一端部抵接的抵接部；能够伸缩的防止位置偏移机构，其以将基板的另一端部朝向所述抵接部按压的方式伸展来固定所述基板；以及检测所述防止位置偏移机构的伸缩动作的伸缩检测部。所述防止位置偏移机构在所述前往移动中固定基板，在所述返回移动中解除基板的固定。所述伸缩检测部在所述防止位置偏移机构固定了基板的状态下检测所述防止位置偏移机构的伸展，在所述防止位置偏移机构解除了基板的固定的状态下检测所述防止位置偏移机构的收缩。
在本发明的一实施方式中，所述保持部为在水平方向上平坦的板状部件，在俯视时，所述板状部件具有在保持了基板时与基板重叠的部分的至少一部分被去掉的中缺区域，在所述保持部正常保持基板时，在俯视时基板与所述板状部件的所述中缺区域全部重叠，在通过所述往复机构使所述保持部往复移动时，所述保持部的所述中缺区域从所述路径通过。
在本发明的一实施方式中，所述光学传感器为形成沿着光轴的直线状的所述传感器区的透射型传感器，所述控制部将由所述透射型传感器投射的光线被所述保持部或者所述保持基板遮挡的期间检测为所述第1通过期间。
在本发明的一实施方式中，所述光学传感器为利用光线形成所述传感器区的反射型传感器，所述控制部将通过所述反射型传感器投射的光线被所述保持部或者所述保持基板反射且被该反射型传感器接受的期间检测为所述第1通过期间。
在本发明的一实施方式中，所述控制部在通过所述保持部接受位于规定位置的基板的接受动作时，对搬运异常进行判断。基板的接受动作包括通过所述往复机构使所述保持部趋向规定位置而移动的前往动作、和以通过所述往复机构使所述保持部远离规定位置的方式移动的返回动作。所述控制部在基板的接受动作中检测第2通过期间，在该第2通过期间与预先设定的第2正常期间不同时判断为搬运异常，所述第2通过期间为所述保持部或者所述保持基板从所述传感器区通过的期间。
在本发明的一实施方式中，所述第1正常期间和所述第2正常期间为相同长度。
在本发明的一实施方式中，所述控制部根据基于所述往复机构的所述保持部的移动速度，设定第1正常期间或者第2正常期间。
在本发明的一实施方式中，所述控制部在进行所述交付动作时，将所述返回动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度设为比所述前往动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度慢。
本发明的一实施方式提供在规定位置交接基板的基板搬运方法。该基板搬运方法包括：使保持了基板的保持部趋向规定位置移动的第1前往工序；执行从所述保持部向规定位置交付基板的动作的交付工序；第1返回工序，在交付工序后使所述保持部从规定位置后退；第1检测工序，在包括第1前往工序以及第1返回工序在内的期间内，检测所述保持部或者由该保持部保持的基板(以下，称为“保持基板”)从传感器区通过的第1通过期间，所述传感器区为在所述保持部移动的路径上形成光学传感器的区域；以及第1判断工序，在第1检测工序中检测到的第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常。
在本发明的一实施方式中，所述保持部包括：与基板的一端部抵接的抵接部；能够伸缩的防止位置偏移机构，其以将基板的另一端部朝向所述抵接部按压的方式伸展来固定所述基板。而且，在第1前往工序中，通过所述防止位置偏移机构将所述基板的另一端部朝向所述抵接部按压来固定所述基板，防止位置偏移，且检测所述防止位置偏移机构的伸缩动作。在第1返回工序中，解除基于所述防止位置偏移机构的固定。
在本发明的一实施方式中，所述第1返回动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度比所述第1前往动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度慢。
在本发明的一实施方式中，所述方法还包括：使所述保持部朝向位于规定位置的基板移动的第2前往工序；接受工序，执行由所述保持部接受位于规定位置的基板的接受动作；第2返回工序，在所述接受工序后使所述保持部从规定位置后退；第2检测工序，在包括第2前往工序以及第2返回工序在内的期间内，检测所述保持部或者所述保持基板从所述传感器区通过的第2通过期间；以及第2判断工序，在第2检测工序中检测到的第2通过期间与预先设定的第2正常期间不同时判断为搬运异常。
在本发明的一实施方式中，所述第1正常期间和所述第2正常期间为相同长度。
根据本发明的实施方式，能够可靠地检测通过搬运部搬运来的基板被交付至规定位置。
本发明的上述或者其他目的、特征以及效果能够参照附图通过下述实施方式的说明而变明朗。
附图说明
图1A是示出基板处理装置的概略构成的俯视图。
图1B是示出基板处理装置的概略构成的侧视图。
图2是示出装载端口以及分度器单元的概略构成的侧视图。
图3A是示出手部的概略构成的俯视图。
图3B是示出手部的概略构成的侧视图。
图4是控制***的框图。
图5是示出基板的搬运动作的流程图。
图6A是示出在基板正常载置于基板收纳容器的情况下的动作例的图。
图6B是示出在基板正常载置于基板收纳容器的情况下的动作例的图。
图6C是示出在基板正常载置于基板收纳容器的情况下的动作例的图。
图6D是示出在基板正常载置于基板收纳容器的情况下的动作例的图。
图6E是示出在基板正常载置于基板收纳容器的情况下的动作例的图。
图7A是示出在基板没有正常载置于基板收纳容器的情况下的动作例的图。
图7B是示出在基板没有正常载置于基板收纳容器的情况下的动作例的图。
图8A是以时间序列示出基板交付动作中的正常的光学传感器的检测信号和推杆检测部的检测信号的时序图。
图8B是以时间序列示出基板交付动作中的正常和异常的光学传感器的检测信号和推杆检测部的检测信号的时序图。
图9是示出处理单元的概略构成的侧视图。
图10是示出基板处理装置中的基板的搬运动作的流程图。
图11是以时间序列示出基板交付动作中的正常和异常的光学传感器的检测信号的时序图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的第1实施方式。
图1A是示出基板处理装置的概略构成的俯视图，图1B是示出基板处理装置的概略构成的侧视图。
基板处理装置1为用药液处理基板的装置。例如，基板处理装置1为用于相对于基板W的表面(上表面)实施药液处理的单片型的装置。基板W为配置有用于实现特定的功能的功能部的板状的部件。更具体来说，基板W可以为用于半导体元件(半导体装置)的制造的基板，为圆形状的硅晶片。药液处理是指，例如像清洗处理、蚀刻处理、抗蚀剂涂敷处理、显像处理等那样，在半导体制造工序的主要工序中使用的处理。
如图1A以及图1B所示，基板处理装置1具有装载端口LP、分度器单元2、处理部3、通路单元4、以及控制部(controller)6。
装载端口LP配置在基板处理装置1的一端，在俯视时，在排列方向A上隔开间隔地配置有多个。各装载端口LP构成为保持收纳基板W的基板收纳容器5，为向基板处理装置1导入基板W的基板导入部。基板收纳容器5为供基板W载置的载置部的一例。从基板收纳容器5向基板处理装置1的内部供给基板W。
分度器单元2为与装载端口LP连结而相对于基板收纳容器5搬出/搬入基板W的单元。处理部3具有多个处理单元31，相对于基板W执行药液处理。通路单元4为在分度器单元2与处理部3之间保持基板W的单元。控制部6进行基板处理装置1的控制。
在该实施方式中，基板处理装置1包括12个处理单元12。更具体来说，基板处理装置1包括沿上下方向层叠的三组处理部3，各处理部3由沿平面配置的四个处理单元31构成。而且，基板处理装置1包括进行基板的搬运的搬运部。例如，搬运部包括分度器单元2所具有的分度器机械手IR、以及处理部3所具有的中央机械手CR。
分度器单元2配置在装载端口LP与处理部3之间。在分度器单元2的内部设置有分度器机械手IR。在分度器单元2的侧面安装有用户界面220。用户界面220具有显示基板处理装置1的状态的显示部，构成为能够利用显示部所具有的触摸面板对基板处理装置1进行操作或者输入信息。相对于基板处理装置1的操作以及输入不限于触摸面板，也可以利用键盘或鼠标来进行。
分度器机械手IR取出容置于基板收纳容器5的未处理的基板W，并向通路单元4搬运。该未处理的基板W保持在通路单元4。另外，分度器机械手IR在通路单元4保持有由处理单元31进行了处理的处理完毕基板W时，从通路单元4向基板收纳容器5搬运该基板W。
分度器机械手IR具有沿上下方向以层叠状态设置的两个手部H1(参照图2)，这些为保持部的例子。各手部H1为在俯视时在水平方向上平坦的板状部件，一端与支承部21(参照图3)连结。另一端具有在保持基板W时与基板W重叠的部分的至少一部分被去掉的中缺形状。各手部H1能够以水平姿势保持一张基板W。分度器机械手IR使手部H1沿水平方向以及铅垂方向移动。而且，分度器机械手IR绕铅垂线轴旋转(自转)，由此来改变手部H1的朝向。
分度器机械手IR能够沿着分度器单元2内的移动路径M(参照图1)移动。移动路径M被设计为与多个装载端口LP的排列方向平行。分度器机械手IR能够沿着移动路径M移动至与任意的基板收纳容器5相对的分度器交接位置，在该分度器交接位置，能够使手部H1向相对的基板收纳容器5的内部进入。
分度器机械手IR通过在分度器交接位置使手部H1沿水平方向移动，使该手部H1相对于基板收纳容器5进入以及后退。分度器机械手IR进行以保持了基板W的状态使手部H1进入至基板收纳容器5、且在向基板收纳容器5载置了基板W之后后退的搬入动作(交付动作)。另外，分度器机械手IR进行使手部H1进入基板收纳容器5且在保持了基板收纳容器5中收纳的基板W之后后退的搬出动作(接受动作)。像这样，分度器机械手IR为相对于基板收纳容器5内的规定位置交接基板W的基板搬运装置。分度器机械手IR相对于通路单元4也进行同样的动作。
中央机械手CR为与分度器机械手IR同样的构造，具有在上下方向上以层叠状态设置的两个手部H2，这些为保持部的例子。各手部H2在俯视时为在水平方向上平坦的板状部件，一端与支承部21(参照图3)连结。手部H2的另一端具有在保持基板W时与基板W重叠的部分的至少一部分被去掉的中缺形状。各手部H2能够以水平姿势保持一张基板W。中央机械手CR使手部H2沿水平方向以及铅垂方向移动。而且，中央机械手CR通过绕铅垂线轴旋转(自转)，来改变手部H2的朝向。
中央机械手CR在俯视时被多个处理单元31环绕。中央机械手CR在进行基板搬运时，使手部H2与任意的处理单元31相对。例如，中央机械手CR在任意的处理单元31与手部H2相对的位置，向手部H2能够向处理单元31内部进入的处理单元交接位置移动(旋转)。
中央机械手CR在处理单元交接位置，通过使手部H2沿水平方向移动而使其相对于处理单元31进入以及后退。中央机械手CR进行以保持基板W的状态使手部H2进入处理单元31、且在向处理单元31载置了基板W之后后退的搬入动作(交付动作)。另外，中央机械手CR进行使手部H1进入处理单元31且在保持载置于处理单元31的基板W之后后退的搬出动作(接受动作)。像这样，中央机械手CR为相对于处理单元31内的规定位置交接基板W的基板搬运装置。中央机械手CR相对于通路单元4也进行同样的动作。
中央机械手CR将在通路单元4保持的未处理的基板W向各处理单元31一张一张搬运。另外，中央机械手CR根据需要在多个处理单元31之间搬运基板W。中央机械手CR将由处理单元31处理后的基板W从该处理单元31向通路单元4搬运。
处理单元31对基板W进行处理。处理单元31所进行的处理例如为清洗处理。处理单元31所进行的处理也可以取代清洗处理而进行其他处理。其他处理是指例如蚀刻处理、涂敷处理以及显像处理等的药液处理或加热处理、以及冷却处理等的热处理。
图2是示出装载端口以及分度器单元的概略构成的侧视图。在图2中，通过对与上述同样的构成标注同一附图标记来省略详细的说明。
基板W的载置部即基板收纳容器5为以能够收纳多个基板W的方式构成的容器。基板收纳容器5例如为在密闭的状态下收纳基板W的FOUP(FRONT Opening Unified Pod：前部开口片盒)。基板收纳容器5也可以取代FOUP而采用SMIF(Standard MechanicalInterFace：标准机械界面)晶片盒、OC(Open Cassette：开放式晶片匣)等。
例如，在将基板收纳容器5设置于装载端口LP时，在基板收纳容器5内，水平姿势的多张基板W成为彼此隔开间隔地在铅垂方向上层叠的状态。基板收纳容器5例如收纳25张基板W。但在图2中，为了方便而省略了基板W的图示的一部分。
基板收纳容器5具有框体5a、盖5b、以及多个基板引导部5c。盖5b相对于框体5a的前表面可拆卸，通过将盖5b安装于框体5a的前表面来将框体5a的内部密闭。若卸下盖5b则在框体5a的前面形成有开口B。
为了收纳25张基板W，设置有25层的基板引导部5c。各层的基板引导部5c在从盖5b侧观察时在基板收纳容器5的左右的内壁设有一对且在前后方向上水平延伸设置。基板引导部5c通过支承基板W的下表面侧的端部，来支承基板W。
装载端口LP与分度器单元2连结，设在与处理部3相反一侧。装载端口LP具有设置台35、载台32、以及装载端口开闭机构34。
设置台35配置在隔壁7的侧部，在下部收纳有电动马达等的驱动机构。该驱动机构与闸板驱动部34b连结而对其进行驱动。载台32配置在设置台35的上部水平面35a，以相对于分度器单元2接近以及分离的方式被设置为在水平方向上可移动(参照双箭头点划线C)。基板收纳容器5载置于载台32，通过使载台32向分度器单元2接近移动而与分度器单元2连结。在设置台35的上部垂直面35b设置有与隔壁通过孔7a连通的装载端口开口L。
装载端口开闭机构34具有闸板部件34a和闸板驱动部34b。闸板部件34a通过嵌入装载端口开口L而将装载端口开口L关闭。闸板部件34a具有保持盖5b的机构。通常，闸板部件34a为嵌入在装载端口开口L的状态，将装载端口开口L关闭。
闸板驱动部34b与闸板部件34a连结。闸板驱动部34b使闸板部件34a沿水平方向以及垂直方向移动。
闸板部件34a具有保持盖5b的机构。闸板驱动部34b通过在闸板部件34a保持盖5b的状态下使闸板部件34a从装载端口LP向分度器单元2侧(参照双点划线箭头D)移动，而使盖5b从基板收纳容器5脱离。然后，通过使闸板部件34a垂直向下(参照双点划线箭头E)移动，使基板收纳容器5和分度器单元2连通，成为分度器机械手IR的手部H1能够向基板收纳容器5内部进入的状态。闸板驱动部34b由收纳在设置台35的下部的驱动机构驱动。驱动机构典型地由电动马达和滚珠丝杠构成，但不限于此，也可以为使用气缸的驱动机构。在使基板收纳容器5闭合时，进行与前述的动作相反的动作，利用盖5b关闭开口B，利用闸板部件34a关闭装载端口开口L。
光学传感器8为光学检测物体的有无的传感器。例如，光学传感器8可以为透射型传感器。另外，光学传感器8在手部H1移动的路径上形成传感器区。具有透射型传感器的形态的光学传感器8具有投光部8a和受光部8b。投光部8a和受光部8b以在装载端口开口L的上下位置彼此相对的方式使光轴对准来设置。光学传感器8在投光部8a与受光部8b之间沿光轴形成直线状的传感器区。具有透射型传感器的形态的光学传感器8检测投光状态和遮光状态。投光状态是指没有遮挡从投光部8a投射的光且利用受光部8b受光的状态。遮光状态是指，从投光部8a投射的光被从传感器区通过的物体遮挡而没有被受光部8b接受的状态。例如，在分度器机械手IR向基板收纳容器5搬运基板W时，手部H1主体、或者由手部H1保持的基板W遮挡投光部8a与受光部8b之间的光路(传感器区)。据此，光学传感器8的检测状态根据手部H1主体或者基板W是否位于传感器区而在投光状态与遮光状态之间切换。例如，光学传感器8将以投光状态为ON、以遮光状态为OFF的ON/OFF信号输出至判定部62(参照图4)。
光学传感器8也可以具有反射型传感器的形态。具有反射型传感器的形态的光学传感器8具有投光部8c和受光部8d，这些设在装载端口开口L的下位置或者上位置(图2示出在下位置设置的例子)。具有反射型传感器的形态的光学传感器8以使投光部8c的光轴和受光部8d的光轴在传感器区交叉的方式配置。传感器区在装载端口开口L中，设定在手部H1或者由其保持的基板W的通过路径上。换言之，利用从投光部8c投射、且被位于所述通过路径的物体反射而由所述受光部8d接受的光线来定义传感器区。具有反射型传感器的形态的光学传感器8检测投光状态和反射状态。投光状态是指，投光部8c投射的光没有被受光部8d接受的状态。反射状态是指，投光部8c投射的光被从传感器区通过的物体反射，该反射的光被受光部8d接受的状态。例如，在分度器机械手IR向基板收纳容器5搬运基板W时，手部H1主体、或者由手部H1保持的基板W将从投光部8c投射的光反射，该反射的光被受光部8d接受。据此，光学传感器8根据手部H1或者基板W是否位于传感器区而在投光状态与反射状态之间切换。例如，光学传感器8将以投光状态为ON、以反射状态为OFF的ON/OFF信号输出至判定部62(参照图4)。
通过使用光学传感器8，能够不遮挡从空间通过的通过物的通过路径，而根据ON/OFF信号准确地检测从空间通过的通过物。
分度器单元2被隔壁7覆盖。由此，分度器单元2的内部与外部的环境气体隔离，而维持为清洁的环境。在与装载端口LP连结的隔壁7设有用于使基板W通过的隔壁通过孔7a。在分度器单元2的底部7b配置有分度器机械手IR。
分度器机械手IR具有两个手部H1、基座部25、升降部26、连结部27、以及一对伸缩部28。基座部25固定于分度器单元的底部7b，形成分度器机械手IR的基台。
升降部26从基座部25向铅垂上方延伸，在内部具有升降机构。升降机构典型地由马达、编码器以及滚珠丝杠构成，但也可以由气缸构成。升降部26能够改变手部H1的垂直方向上的停止位置。具体来说，升降部26能够将手部H1的高度位置调整至拾取位置(下位置)和放置位置(上位置)。拾取位置是指，在将基板W从基板收纳容器5搬出时，手部H1的爪引导部22(参照图3B)的最上部比搬出对象的基板W的下表面低的高度位置。放置位置是指，在将基板W向基板收纳容器5搬入时，手部H1的下表面比基板引导部5c的上表面高的高度位置。后面对手部H1的构成进行详细说明。
连结部27将升降部26和伸缩部28连结，将升降部26的升降动作传递至伸缩部28。连结部27在其上部连接两个伸缩部28。各伸缩部28在其上部与支承手部H1的支承部21连结。两个伸缩部28以及各自对应的两个支承部21与两个手部H1分别连结，能够使两个手部H1单独地进行进退动作。
伸缩部28具有多个关节，通过关节部的旋转驱动进行伸缩动作。伸缩部28能够通过伸缩动作而改变手部H1的水平方向上的位置。例如，针对上侧的手部H1，将在水平方向上缩回伸缩部28的关节的位置(实线)设为起始位置HM(后退位置)，将在水平方向上伸展关节的位置(双点划线F)设为前进位置FW(进出位置)。起始位置HM为手部H1的水平方向上的基准位置。伸缩部28能够通过多个关节的伸缩而减小设置空间。针对下侧的手部H1也同样。像这样，伸缩部28构成为使手部H1往复动作的往复机构。
分度器单元2通过分度器机械手IR从基板收纳容器5获取未处理的基板W，向通路单元4交付。利用处理单元31处理的基板W放置在通路单元4。该处理完毕的基板W能够通过分度器机械手IR被向基板收纳容器5搬运并收纳。
图3A是示出手部的概略构成的俯视图，图3B是示出手部的概略构成的侧视图。通过针对上述构成标注同一附图标记而省略详细的说明。
如图3A所示，手部H1具有主体20、支承部21、爪引导部22、后引导部23、以及推杆部24。
主体20在俯视(从上往下看)时，为在水平方向上平坦的板状部件，一端与支承部21连结。另一端具有在保持基板W时与基板W重叠的部分的至少一部分被去掉的中缺形状。主体20能够以水平姿势保持基板W。例如，中缺形状为V字型形状。主体20例如由陶瓷、铝等轻量且具有强度的材料形成。
在手部H1从光学传感器8的传感器区通过时，因手部H1具有中缺形状，能够利用光学传感器8容易地检测基板W是否位于手部H1上。具体来说，在手部H1保持基板W时，基板W与手部H1的中缺区域重叠。通过利用光学传感器8检测该基板W所重叠的部分，能够容易地检测到基板W保持在手部H1上。如后述那样，在基板W以搭在手部H1上的状态存在时，基板W也与手部H1的中缺区域重叠。通过利用光学传感器8检测该基板W所重叠的部分，能够容易地检测基板W位于手部H1上。
爪引导部22分别设置在主体20的V字型形状的各前端，形成为侧视时呈L字型形状。爪引导部22具有利用平面部22a从下方支承基板W、且利用侧面部22b支承基板W的周端部的构造。
后引导部23与主体20的表面的爪引导部22相比设置在支承部21侧，以能够支承基板W的方式从爪引导部22隔开一定的距离地配置。后引导部23在该实施方式中为大致圆柱形，以包含具有随着从圆柱的中段朝向上方而变细的倾斜的倾斜部分，并利用该倾斜部分支承基板W的周端部的方式构成。
基板W通过两个爪引导部22和两个后引导部23这四点来支承。由此，与被主体20的整个面直接支承的情况相比，与基板W的背面以及端部的接触面积更小，据此，能够减少基板W的背面的损伤以及污染的产生。
如图3B所示，由爪引导部22以及后引导部23保持的基板W的上表面比爪引导部22以及后引导部23的最上部低。因此，基板W不容易从手部H1脱落。
推杆部24具有可动部24a以及固定部24b。可动部24a与固定部24b连结，固定部24b固定于支承部21。
可动部24a为主体20的能够在沿水平延伸的方向(图3A的双点划线箭头G)上进行伸缩动作的伸缩部。可动部24a例如由弹簧、气缸、马达等驱动而伸缩。在基板W载置在手部H1时，基板W由爪引导部22以及后引导部23支承。在该状态下，可动部24a向基板W侧伸长，由此，能够夹持基板W而固定保持。例如，通过使可动部24a向基板W侧伸长，将基板W的端部推入，以将基板W的端部推抵至爪引导部22的侧面部22b，利用可动部24a和爪引导部22来夹持基板W而固定保持。相反，通过使可动部24a收缩，来从基板W的端部离开而解除固定保持。
在分度器机械手IR或中央机械手CR搬运基板W时，若高速进行直进动作或旋转动作，则有可能会因为振动或惯性力致使基板W落下。然而，通过在手部H1上固定保持基板W，使推杆部24作为防止基板W的位置偏移的防止位置偏移机构发挥作用。因此，即使在分度器机械手IR或中央机械手CR高速地进行直进动作或旋转动作的情况下，也能够防止基板W的位置偏移。通过固定保持基板W，而不会产生使基板W落下的担忧，因此，分度器机械手IR或中央机械手CR能够进行与手部H1没有保持基板W的状态同样的高速移动。
推杆部24具有推杆检测部29(伸缩检测部)。推杆检测部29检测可动部24a的伸长量。若可动部24a伸长一定的伸长量以上，则可动部24a能够固定保持基板W。例如，推杆检测部29将可动部24a成为一定的伸长量以上时检测为伸长状态，将不足一定的伸长量时检测为收缩状态。推杆检测部29例如将以伸长状态为ON信号、以收缩状态为OFF信号的ON/OFF信号输出至判定部62。若从推杆检测部29输出的信号为ON，则判定部62判定为基板W的固定保持状态，若为OFF，则判定为基板W为固定解除状态。一定的伸长量根据设计数据或过去的实际成果等规定，并保持至存储部61。例如，取代通过推杆检测部29检测伸长量，也可以从由摄像头拍摄得到的摄像图像检测伸长量。
图4是控制***的框图。如图4所示，控制部6控制基板处理装置1的各构成部。控制部6具有判定部62、存储部61、驱动控制部63、以及处理控制部64。
存储部61存储为了控制基板处理装置1的各构成部所需的信息。例如，存储部61在分度器机械手IR将由手部H1保持的基板W交付至基板收纳容器5的基板交付动作中，在基板W被正常交付时，存储从光学传感器8输出的OFF信号的持续时间来作为正常期间。基板交付动作由分度器机械手IR将保持有基板W的手部H1从起始位置HM向前进位置FW移动的前往移动、将手部H1从放置位置向拾取位置地向垂直下方移动并将由手部H1保持的基板W载置于基板引导部5c的载置移动、以及从前进位置FW向起始位置HM移动手部H1的返回移动构成。正常期间为基于设计数据、评价数据、以及过去的实际成果等规定的、正常搬运基板W的期间，能够根据手部H1的移动距离、移动速度而任意变更。另外，针对正常期间，也可以考虑基于动作偏差的微小的时间偏移而在正向侧以及/或者负向侧具有一定的余量。
例如，存储部61存储在基板交付动作中在前往移动的开始时(起始位置HM)从推杆检测部29输出的ON信号来作为正常定时信号。而且，存储部61存储在基板交付动作中在前往移动的结束时(前进位置FW)从推杆检测部29输出的OFF信号来作为正常定时信号。这些正常定时信号根据设计数据、评价数据、以及过去的实际成果等来规定。另外，针对正常定时信号，也可以考虑基于动作偏差的微小的时间偏移而在正向侧以及/或者负向侧具有一定的余量。
例如，存储部61存储在基板交付动作中在基板W正常固定保持、以及固定解除时从推杆检测部29按照时间序列输出的ON/OFF信号模式，来作为正常固定保持模式NHP。具体来说，正常固定保持模式NHP表示：分度器机械手IR在以使手部H1固定保持基板W的状态从起始位置HM向前进位置FW前往移动、并直到解除手部H1的固定为止的期间内的、从推杆检测部29输出的时间序列的ON/OFF信号的切换。正常固定保持模式NHP根据设计数据、评价数据、以及过去的实际成果等来规定。针对正常固定保持模式NHP，也可以考虑基于动作偏差的微小的时间偏移而在正向侧以及/或者负向侧具有一定的余量。
另外，存储部61存储表示一连串的装置动作的各种制程。例如，存储部61存储了异常时制程。异常时制程在如下情况下使用：在基板的交付动作中，在判定部62根据由光学传感器8检测出的ON/OFF信号而判定为异常的情况下，相对于基板处理装置1的各构成部执行控制动作。存储部61作为异常时制程而存储如下的一连串的装置动作：例如，立即停止分度器机械手IR以及闸板驱动部34b，而且在处理后停止处理单元31，在基板搬运后停止中央机械手CR，且发出表示异常的警报。基于来自推杆检测部29的ON/OFF信号的异常时制程也同样。异常时制程即异常发生时的装置动作能够任意变更。
向判定部62输入由光学传感器8检测到的ON/OFF的信号。判定部62针对基板W的搬运动作，将伴随手部H1的移动的从光学传感器8输出的OFF的信号的持续时间设为通过期间。判定部62将从光学传感器8输入的信号从ON变为OFF的定时设为计测开始点，此后，将从OFF变为ON的定时设为计测结束点。判定部62在即使从计测开始点经过了预先决定的规定期间光学传感器8的信号也没有从OFF变为ON的情况下，将该规定的期间经过的时间点设为计测结束点。判定部62对通过期间与存储在存储部61内的正常期间进行比较。判定部62在通过期间与正常期间一致时，判定为基板W的搬运动作正常，在不同时，判定为基板W的搬运动作不正常(搬运异常)。在判定为搬运异常时，控制部6控制基板处理装置1的各构成部，执行异常时制程。
在存储部61存储了多个正常期间时，根据手部H1的移动速度，能够选择特定的正常期间。控制部6基于将手部H1的移动速度与正常期间对应关联的对应表，自动选择特定的正常期间。特定的正常期间也可以根据来自输入部(未图示)的输入由用户选择性地指定。
向判定部62输入由推杆检测部29检测到的ON/OFF的信号。判定部62将在可动部24a成为一定的伸长量以上时从推杆检测部29输出的ON的信号解释为检测到基板W的固定保持状态。另外，判定部62将在可动部24a少于一定的伸长量时从推杆检测部29输出的OFF信号解释为检测到基板W的固定解除状态。
判定部62对在特定的定时从推杆检测部29输出的ON/OFF信号和在存储在存储部61内的特定的定时的正常的ON/OFF信号的信息进行比较。判定部62在特定的定时从推杆检测部29输出的ON/OFF信号与在存储在存储部61的特定的定时的正常的ON/OFF信号的信息一致时，判定为基板W的固定保持状态以及/或者固定解除状态正常，在不同时，判定为基板W的固定保持状态以及/或者固定解除状态不正常(异常)。在判定为异常时，控制部6控制基板处理装置1的各构成部，执行异常时制程。
另外，判定部62也可以对从推杆检测部29输出的时间序列的ON/OFF信号的切换(实际固定保持模式RHP)和存储在存储部61的正常的时间序列的ON/OFF信号的切换(正常固定保持模式NHP)进行比较。判定部62在实际固定保持模式RHP和正常固定保持模式NHP一致时，判定为基板W的固定保持状态以及/或者固定解除状态正常，在不同时，判定为基板W的固定保持状态以及/或者固定解除状态不正常(异常)。在判定为异常时，控制部6控制基板处理装置1的各构成部，执行异常时制程。
驱动控制部63控制分度器机械手IR、中央机械手CR、以及闸板驱动部34b的驱动。若判定部62判定为异常，则驱动控制部63基于异常时制程，使分度器机械手IR、以及闸板驱动部34b立即停止，使中央机械手CR在基板搬运后停止。
处理控制部64控制处理单元31的处理。具体的处理遵照存储在存储部61中的处理制程。若判定部62判定为异常，则处理控制部64基于异常时制程，持续处理单元31的处理，在处理结束后，使处理单元31的动作停止。
控制部由中央运算处理装置(CPU)、ROM(Read-only Memory：只读存储器)、RAM(Random-Access Memory：随机存储器)、固定磁盘或SSD(Solid State Drive：固态硬盘)等的存储介质、驱动电路、通信电路等构成。通信电路包括用于进行RS-232C或以太网络(注册商标)等的通信的电路、以及用于进行数字或者模拟的信号输入输出的电路。通信电路与控制部6进行光学传感器8、推杆检测部29、各种驱动部、以及处理单元31之间的通信或输入输出信号的传递，在此之外，还进行与装载端口LP外部控制设备等周边设备的通信或输入输出信号的传递。
图5是示出基板的搬运动作(交接动作)的流程图。图6A～图6E是示出基板正常载置在基板收纳容器的情况下的动作例的图。图8A是以时间序列示出基板交付动作中的光学传感器8的检测信号和推杆检测部29的检测信号的时序图。针对与上述同样的构成标注同一附图标记，由此省略详细的说明。在图8A中，将在基板交付动作正常的情况下从光学传感器8输出的时间序列的ON/OFF信号设为光信号RLS1。
＜步骤S1＞载置基板收纳容器
基板收纳容器5载置于载台32。盖5b将开口B封闭。载台32使载台32上的基板收纳容器5接近移动至分度器单元2，使盖5b接触闸板部件34a。
装载端口开闭机构34使闸板部件34a保持盖5b，将闸板驱动部34b从基板收纳容器5朝向分度器单元2移动。根据该动作，使盖5b从基板收纳容器5脱离。而且，装载端口开闭机构34通过使闸板驱动部34b向垂直下方移动，使基板收纳容器5和分度器单元2连通，成为分度器机械手IR的手部H1能够向基板收纳容器5内部进入的状态。
＜步骤S2＞从基板收纳容器取出基板
分度器机械手IR进行基板W的接受动作。基板接受动作由前往移动(第2前往工序)、获取移动、以及返回移动(第2返回工序)构成。在分度器交接位置待机的分度器机械手IR将手部H1的垂直位置向拾取位置移动。此后，分度器机械手IR为了使手部H1向基板收纳容器5内的正在保持基板W的基板引导部5c的下部进入，进行使手部H1从起始位置HM向前进位置FW移动的前往移动。
在手部H1到达前进位置FW之后，分度器机械手IR进行使手部H1从拾取位置向放置位置上升的获取移动。通过获取移动，使载置在基板引导部5c的基板W被手部H1抬起，被爪引导部22以及后引导部23支承。在该状态下可动部24a向基板W侧伸长，将基板W推抵至爪引导部22。基板W成为由可动部24a和爪引导部22夹持的状态而被固定保持。推杆检测部29在可动部24a成为一定的伸长量以上时检测ON信号，将检测到的ON信号输出至判定部62。
分度器机械手IR在手部H1固定保持基板W的状态下使手部H1从基板收纳容器5内后退，因此，进行使手部H1从前进位置FW向起始位置HM移动的返回移动。
＜步骤S3＞处理基板
分度器机械手IR在固定保持基板W的状态下，使手部H1进入通路单元4，将基板W载置于通路单元4。在载置后，分度器机械手IR使手部H1向通路单元4的外部后退。载置在通路单元4的基板W由中央机械手CR向处理单元31搬运。中央机械手CR也与分度器机械手IR同样地在固定保持基板W的状态下搬运基板W。
对搬运至处理单元31的基板W执行药液处理。药液处理例如为清洗处理，向基板W供给药液，来清洗基板W。可以取代清洗处理，而进行蚀刻处理、涂敷处理、或者显像处理等。而且，也可以进行与药液处理不同的处理，例如可以进行加热处理、或者冷却处理等的热处理。通过中央机械手CR从处理单元31取出由处理单元31处理的基板W，并将该基板W载置于通路单元4。
＜步骤S4＞将基板向基板收纳容器交付
分度器机械手IR进行基板W的交付动作。基板交付动作由前往移动(第1前往工序)、载置移动、以及返回移动(第1返回工序)构成。载置在通路单元4的基板W由手部H1固定保持。分度器机械手IR在手部H1固定保持基板W的状态下，移动至作为基板W的收纳对象的基板收纳容器5的分度器交接位置。在移动后，如图6A所示，手部H1向与开口B相对的朝向旋转，使垂直位置向放置位置移动(时间t1)。在时间t1，光学传感器8为投光状态，因此输出ON信号，可动部24a为伸长状态，因此推杆检测部29输出ON信号。
＜步骤S5＞推杆检测部信号一致比较
接着，如图6B所示，分度器机械手IR在固定保持基板W的状态下使手部H1向基板收纳容器5内部进入，因此，开始从起始位置HM向前进位置FW移动的前往移动(时间t2)。判定部62将前往移动开始设为第1监视点SP1，对从推杆检测部29输出的信号和存储于存储部61的在第1监视点SP1的正常定时信号进行比较。在第1监视点SP1需要基板W被固定保持，因此，存储于存储部61的在第1监视点SP1的正常定时信号为ON信号。判定部62在比较的结果为两信号一致时继续处理，在不同时(步骤S5的否)执行异常时制程。第1监视点SP1不需要在前往移动开始即将开始之前，也可以为前往移动开始的一定期间前。另外，判定部62也可以为了获取从推杆检测部29输出的信号的时间序列模式，而开始ON/OFF信号的获取(信号获取期间SGP)。
在开始前往移动后，当手部H1到达装载端口开口L，固定保持的基板W遮断光学传感器8的光轴时，从光学传感器8向判定部62输出的信号从ON信号向OFF信号切换(时间t3)。判定部62将从光学传感器8输入的ON信号向OFF信号的切换设为通过期间的起点，开始OFF信号的持续时间的计测。
接着，如图6C所示，手部H1到达前进位置FW。在到达前进位置FW之后，控制部6通过使可动部24a收缩，解除向基板W的推抵。通过解除向基板W的推抵，能够向基板引导部5c载置基板W。可动部24a成为收缩状态，因此，从推杆检测部29向判定部62输出的信号从ON信号向OFF信号切换(时间t4)。判定部62将前往移动结束设为第2监视点SP2，对从推杆检测部29输出的信号与存储在存储部61的第2监视点SP2的正常定时信号进行比较。在第2监视点SP2需要固定解除基板W，因此，存储在存储部61的第2监视点SP2的正常定时信号为OFF信号。判定部62在比较的结果为两信号一致时(步骤S5的是)继续处理，在不同时(S5的否)执行异常时制程。第2监视点SP2不需要在前往移动刚结束之后，也可以在前往移动结束后的一定期间后。
另外，判定部62在获取从推杆检测部29输出的信号的时间序列模式(实际固定保持模式RHP)时，结束ON/OFF信号的获取。判定部62对获取的实际固定保持模式RHP和存储于存储部61的正常固定保持模式NHP进行比较。判定部62在比较的结果为两模式一致时(步骤S5的是)继续处理，在不同时(步骤S5的否)执行异常时制程。
在基于从推杆检测部29输出的信号，判定部62判定为正常时(步骤S5的是)，在保持前进位置FW的状态下，分度器机械手IR进行将手部H1的垂直位置从放置位置向拾取位置下降移动的载置移动。通过载置移动，使保持在爪引导部22、以及后引导部23的内侧的基板W载置于基板引导部5c。
＜步骤S6＞使手部H1后退
接着，如图6D所示，分度器机械手IR为了使手部H1从基板收纳容器5内后退，进行使手部H1从前进位置FW向起始位置HM移动的返回移动。若基板W正常载置在基板引导部5c，则手部H1上不存在基板W。因此，当在从光学传感器8的光轴通过的过程中手部H1的中缺区域(作为部件不存在部分的V字型部分之间的区域)到达光轴时，光学传感器8从遮光状态变化至投光状态。据此，从光学传感器8输出的信号从ON信号向OFF信号变化(时间t5)。判定部62在从光学传感器8输出的信号从OFF信号向ON信号变化的时间点结束从光学传感器8输出的OFF信号的持续时间的计测。在从手部H1的中缺区域通过后，光学传感器8的输出从OFF信号向ON信号切换。若手部H1到达起始位置HM，则返回移动结束(图6E、时间t6)。在基板W正常交付动作的情况下，从光学传感器8输出的信号从ON信号向OFF信号变化的时间t3到从OFF信号向ON信号变化的时间t5为止的期间成为第1通过期间PP1。
分度器机械手IR能够将在使手部H1从基板收纳容器5内后退的返回移动时的速度设为比前往移动时的搬运速度慢。通过在返回移动时放慢速度，能够提高返回移动时的光学传感器8的检测精度。
＜步骤S7＞光学传感器信号一致比较
判定部62在基板W的交付动作时对计测的第1通过期间PP1和存储于存储部61的第1正常期间NP1进行比较。例如，第1正常期间NP1为从光学传感器8输出的OFF信号从时间t3到t5的期间。判定部62在对第1通过期间PP1和预先设定且存储于存储部61的第1正常期间NP1进行比较的结果为一致时判定为正常(S7的是)，继续处理，在不同时判定为异常(S7的否)，执行异常时制程。在比较第1通过期间PP1和第1正常期间NP1的情况下，可以相对于第1正常期间NP1具有±10％左右的余量来判定。
例如，存储的第1正常期间NP1为2.8秒以下。若根据设计值以及实验，2.5秒附近为适当的值且存在异常时则变为3.0秒以上，则对2.5秒赋予大约10％的余量，第1正常期间NP1为2.8秒以下。如上所述，第1正常期间NP1能够根据移动距离或移动速度而任意变更，因此不限于这些值。而且，第1正常期间NP1可以像2.2秒以上2.8秒以下这样为具有上下限的范围。像这样，通过具有余量，能够防止将不成为问题的程度的微小的动作偏差等检测为错误。若通过判定部62判定为第1通过期间PP1正常，则基于分度器机械手IR的一连串的基板交付动作结束。
在此，对基板W没有通过手部H1被正常地载置到基板引导部5c的情况、换言之对基板W没有被正常地交付到规定位置即基板引导部5c的情况进行说明。例如，基板W有时因经过制造工艺而呈凹型地翘曲。在基板W载置到基板引导部5c之后，因基板W的翘曲，尽管手部H1下降到拾取位置，基板W的下表面的一部分也有可能成为与手部H1的侧面部22b的上端同等的高度或者比手部H1的侧面部22b的上端低。
图7A～图7B是说明在基板没有正常载置到基板收纳容器的情况下的动作的图。图8B是以时间序列示出基板交付动作中的正常和异常的光学传感器的检测信号、和推杆检测部的检测信号的时序图。到手部H1进入前进位置且向拾取位置下降为止，与图6A～图6C同样，因此省略说明。针对与图8A同样的部分也省略说明。在图8B中，在产生基板交付动作中的异常的情况下，将从光学传感器8输出的时间序列的ON/OFF信号设为光信号RLS2。
如图7A所示，在分度器机械手IR为了将基板W载置于基板引导部5c而载置移动之后，在手部H1从前进位置FW向起始位置HM返回移动时，有手部H1的侧面部22b的上端挂到基板W的端部或下表面等的情况。在挂到的状态下，基板W未被爪引导部22以及后引导部23支承，基板W的一部分搭在侧面部22b上，从而以不稳定的状态载置在手部H1上。在载置移动后，将可动部24a缩短的状态为正常，因此，判定部62判定从推杆检测部29输出的OFF信号为正常的状态(图6C、时间t4)。因此，即使在基板W以不稳定的状态载置在手部H1上的情况下，也无法通过推杆检测部29检测到该异常。
另一方面，在从光学传感器8的光轴通过的过程中，即使手部H1的中缺区域(作为部件不存在部分的V字型部分之间的区域)到达光轴(时间t5)，也由于手部H1上存在基板W，因此，光学传感器8不从遮光状态向投光状态变化，该信号输出被维持为OFF信号。如图7A所示，手部H1继续返回移动，在基板W从光轴通过的状态下光学传感器8的输出变化为ON信号(时间t5a)。判定部62在从光学传感器8输出的信号从OFF信号向ON信号变化的时间点，结束光学传感器8的OFF信号的持续时间的计测。若手部H1到达起始位置HM，则返回移动结束(图7B、时间t6)。在基板W没有被正常搬运的情况下，从光学传感器8输出的信号从ON信号向OFF信号变化的时间t3到从OFF信号向ON信号变化的时间t5a为止的期间成为第2通过期间PP2。
判定部62针对基板W的交付动作，对计测的第2通过期间PP2和存储于存储部61的第1正常期间NP1进行比较。由于判定部62对第2通过期间PP2和存储于存储部61的第1正常期间NP1进行比较的结果如图8B所示为第2通过期间PP2和存储于存储部61的第1正常期间NP1不同，所以执行异常时制程。
＜步骤S8＞异常时制程的执行
判定部62在判定为异常时，相对于基板处理装置1的各构成部执行存储于存储部61的异常时制程。例如，异常时制程规定了包括分度器机械手IR以及闸板驱动部34b立即停止、处理单元31的处理后停止、中央机械手CR的基板搬运后停止、产生警报在内的一连串的动作。警报为向基板处理装置1的主画面的警告显示、产生声音、通过通信线路向主计算机弹出消息的显示指令输出等。通过产生警报，能够使装置使用者知道基板处理装置1为异常。在异常时制程的执行结束的情况下，判定部62也结束一连串的搬运动作。
根据上述的本发明的第一实施方式的基板搬运装置，针对在手部H1将基板W载置于基板收纳容器5的基板引导部5c时的一连串的基板W的交付动作，能够利用光学传感器8的检测信号判定是正常状态还是异常状态。更具体来说，根据光学传感器8检测手部H1主体或者基板W而生成的OFF信号的持续时间来计测通过期间。通过对该通过期间和存储于存储部61的正常期间是否一致进行比较，能够判定基板W的交付动作是正常还是异常。
接着，对基板W没有如图6E示出那样准确地载置于基板收纳容器5的基板引导部5c，例如与图6E示出的状态相比基板W位于其右侧，基板W以从基板收纳容器5伸出的方式偏移载置的状态进行说明。光学传感器8的传感器区被设定在能够对以向基板收纳容器5外偏移的状态载置的基板W进行检测的位置。因此，能够通过光学传感器8检测基板W以偏移的状态载置的情况。该情况也作为其他的异常状态被检测。
针对在接受手部H1载置于基板收纳容器5的基板引导部5c的基板W时的一连串的基板W的接受动作，也可以基于光学传感器8的输出判定是正常状态还是异常状态。具体来说，根据光学传感器8检测手部H1或者基板W而生成的OFF信号的持续时间计测第2通过期间。也可以通过对该第2通过期间和存储于存储部61的第2正常期间是否一致进行比较，来判定基板W的接受动作是正常还是异常状态。
而且，具体来说，计测在第2前往工序中没有保持基板W的手部H1主体从光学传感器8的传感器区通过、之后在第2返回工序中，到手部H1主体和由手部H1保持的基板W从传感器区通过为止的第2通过期间。通过判定部62判定该第2通过期间和预先设定且存储于存储部61的第2正常期间是否不同。判定部62在两者相同的情况下判断为正常，在不同的情况下判断为搬运异常。
若在基板W产生翘曲，则在基板W载置于基板引导部5c之后，尽管手部H1向拾取位置下降，基板W的下表面的一部分也有可能位于与手部H1的侧面部22b的上端同等的高度或者比手部H1的侧面部22b的上端低。在该情况下，在手部H1从前进位置FW向起始位置HM返回移动时，手部H1的侧面部22b的上端可能会挂到基板W的端部或下表面等。此时，基板W没有由爪引导部22以及后引导部23保持，基板W的一部分搭在侧面部22b的上端，从而会以不稳定的状态载置在手部H1上。在像这样基板W以不稳定的状态载置在手部H1上的情况下，有可能无法根据来自推杆检测部29的ON/OFF信号而检测到异常。即使在这种状况下，也能够通过判定部62基于来自光学传感器8的ON/OFF信号进行异常判定，因此，能够检测到异常。
进而，判定部62相对于基板处理装置1的各构成部执行异常时制程。通过异常时制程的执行使搬运动作停止。在执行了异常时制程时，发出警报，基板处理装置1的用户能够立即得知基板处理装置1处于异常状态。其结果为，能够尽早停止基板W的搬运，能够减小对后工序的影响。
本发明不限于上述实施方式，能够以下述方式变形来实施。以下，参照附图详细说明本发明的第2实施方式。
图9是示出处理单元的概略构成的侧视图。通过针对上述同样的构成标注相同的附图标记，来省略详细的说明。处理单元31为用于对于基板W实施清洗处理或蚀刻处理等的液处理的单片型处理部。
处理单元31具有在内部划分出由侧壁801包围的密闭空间的腔室802。在腔室802内具有保持基板W并使其旋转的旋转卡盘803、处理液喷嘴804、冲洗液喷嘴(未图示)、有机溶剂喷嘴(未图示)、和容置旋转卡盘803的筒状的处理杯808。处理液喷嘴804向由旋转卡盘803保持的基板W的表面(上表面)供给由处理液供给部供给的处理液。冲洗液喷嘴向由旋转卡盘803保持的基板W的表面(上表面)供给由冲洗液供给部供给的冲洗液。有机溶剂喷嘴向由旋转卡盘803保持的基板W的表面(上表面)供给由有机溶剂供给部供给的有机溶剂。
在腔室802的侧壁801形成有开口811，以能够相对于腔室802内搬入搬出基板W。配置在腔室802的外侧的中央机械手CR(参照图1)使手部H2通过开口811(参照图1)进入腔室802内。由此，中央机械手CR能够将未处理的基板W载置在旋转卡盘803上，或者从旋转卡盘803上取出处理完毕的基板W。在侧壁801的外侧设有用于在上下方向上开闭开口811的闸板812。在闸板812结合有闸板升降机构813。闸板升降机构813使闸板812在开位置与闭位置(未图示)之间上下移动。闸板升降机构813由处理控制部64进行控制。
在该实施方式中，旋转卡盘803为在水平方向上吸附基板W并水平地保持基板W的吸附式的卡盘。具体来说，旋转卡盘803连结于与旋转马达814的驱动轴一体化的旋转轴815。基板W的保持方式也可以为在水平方向上夹持基板W而水平地保持基板W的挟持式。即，也可以取代吸附式卡盘而使用机械卡盘来作为旋转卡盘803。
在通过旋转卡盘803吸附并保持基板W时，若旋转马达814被驱动，则旋转轴815因该驱动力而绕规定的旋转轴线(铅垂轴线)A1旋转。由此，基板W以保持大致水平的姿势的状态与旋转卡盘803一并绕旋转轴线A1旋转。
处理液喷嘴804通过供给管805与处理液供给部连结。处理液阀806配置在供给管805的中途，根据控制部6的信号进行开闭控制。通过打开处理液阀806，使处理液喷嘴804和处理液供给部成为连通状态，从处理液喷嘴804喷出处理液。通过关闭处理液阀806，能够停止来自处理液喷嘴804的处理液喷出。
处理杯808与用于使处理杯808在退避位置(实线)与处理位置(双点划线)之间上下移动的杯升降机构807结合。杯升降机构807通过处理控制部64进行控制，由此控制处理杯808的上下位置。处理控制部64在旋转卡盘803上接受基板W，因此，在搬入基板W时使处理杯808下降至退避位置。处理控制部64在基板W的处理时，使处理杯808上升至处理位置。通过将处理杯808配置在处理位置，能够利用处理杯808接住向基板W供给且因旋转而甩出的处理液，抑制在处理单元31内的处理液的飞散。处理控制部64在基板处理后解除旋转卡盘803对基板W的吸附，使处理杯808下降至退避位置。旋转卡盘803上的基板W由中央机械手CR的手部H2保持，保持的基板W被向腔室802外搬出。
处理液可以包含氢氟酸、硫酸、醋酸、硝酸、盐酸、氢氟酸、氨水、过氧化氢水、有机酸(例如柠檬酸、草酸等)、有机碱(例如TMAH等)、表面活性剂、或者防腐剂。
处理液喷嘴804例如为以连续流的状态喷出处理液的直型喷嘴。处理液喷嘴804以使喷出口朝向大致下方的状态安装于处理液喷嘴臂(未图示)。处理液喷嘴臂为在水平方向上延伸的摆动臂，在其摆动端部安装有处理液喷嘴804。摆动臂的基端部与未图示臂转动机构结合。臂转动机构使处理液喷嘴臂绕沿铅垂方向的规定的旋转轴线(未图示)摆动。通过处理液喷嘴臂的摆动，使处理液喷嘴804沿在俯视时从基板W的上表面中央部通过的圆弧状的轨迹水平移动。由此，能够在喷出了处理液的状态下进行使处理液喷嘴804水平移动基板W上的处理。
中央机械手CR向各处理单元31一张一张搬运从基板收纳容器5向通路单元4搬运的基板W。就中央机械手CR而言，对与分度器机械手IR同样的构造省略说明。中央机械手CR具有升降部26A、连结部27A、以及一对伸缩部28A。它们具有与分度器机械手IR的升降部26、连结部27以及伸缩部28各自同样的构造。
升降部26A能够调整手部H2的垂直方向上的位置。具体来说，升降部26A能够将手部H2的高度位置调整为拾取位置(下位置)、和放置位置(上位置)。拾取位置是指，在从处理单元31搬出基板W时，手部H2的爪引导部22(参照图3B)的最上部比搬出对象的基板W的下表面低的高度位置。放置位置是指，在将基板W向处理单元31搬入时，手部H2的下表面比旋转卡盘803的上表面高的高度位置。
作为往复机构的伸缩部28A具有多个关节，通过关节部的旋转驱动而进行伸缩动作。伸缩部28A能够通过伸缩动作对手部H2的水平方向的位置进行调整。具体来说，伸缩部28A能够将手部H2的水平位置调整为起始位置HM(实线)、和前进位置FW(双点划线)。起始位置HM(实线)是指，缩回伸缩部28A的关节的状态的水平位置。前进位置FW(双点划线)是指，伸展关节而能够在基板收纳容器5内载置基板W的水平位置。起始位置HM为手部H2的水平方向上的基准位置。
在腔室802的开口811设有检测有无从开口811通过的物体的检测部(传感器)，在本实施方式中使用了光学传感器81。光学传感器81为透射型传感器，具有投光部81a和受光部81b。投光部81a和受光部81b以在开口811的上下位置彼此相对的方式使光轴对准来设置，在投光部81a与受光部81b之间检测从光轴通过的物体。具体来说，在手部H2或者由其保持的基板W从投光部81a与受光部81b之间通过时，中断光轴(遮光)。光学传感器81通过检测投光状态和遮光状态，来检测有无手部H2或者基板W。在本实施方式中，将以遮光的状态为ON、以投光状态为OFF的ON/OFF信号从光学传感器81向判定部62输出。光学传感器81也可以具有反射型传感器的形态。反射型传感器的详细内容与前述的光学传感器8的情况同样，因此省略说明。
图10是示出基板处理装置的基板的搬运动作的流程图。图11是以时间序列示出基板交付动作中的正常和异常的光学传感器的检测信号的时序图。在图11中，光信号RLS3表示在基板交付动作正常的情况下从光学传感器8输出的时间序列的ON/OFF信号的例子。另外，光信号RLS4表示在基板交付动作出现异常的情况下从光学传感器8输出的时间序列的ON/OFF信号的例子。针对手部H2的推杆检测部29(参照图3A、3B)的说明与上述相同，因此省略该说明。
＜步骤S11＞获取基板
中央机械手CR进行基板的接受动作。中央机械手CR的基板的接受动作与分度器机械手IR的基板的接受动作相同，因此，省略详细的说明。中央机械手CR通过分度器机械手IR获取载置于通路单元4的基板W，并向处理单元31搬运。中央机械手CR与分度器机械手IR同样地，以固定保持基板W的状态搬运基板W。
＜步骤S12＞搬入以及载置基板
中央机械手CR进行基板的交付动作。中央机械手CR的基板的交付动作与分度器机械手IR的基板的交付动作相同，因此，省略详细的说明。中央机械手CR以在手部H2固定保持基板W的状态，旋转至对基板W进行处理的对象处理单元31的处理单元交接位置。与中央机械手CR的旋转动作并行地，通过闸板升降机构813使闸板812从闭位置向开位置下降，手部H2与开口811相对。在旋转后，将垂直位置向放置位置移动(时间t11)。在时间t11，光学传感器8为投光状态，因此，输出ON信号。
接着，中央机械手CR在固定保持基板W的状态下，为了使手部H2向处理单元31内部进入，开始使手部H2从起始位置HM向前进位置FW移动的前往移动(时间t12)。在开始前往移动之后，若手部H2到达开口811，固定保持的基板W遮挡光学传感器81的光轴，则从光学传感器81向判定部62输出的信号从ON信号向OFF信号切换(时间t13)。判定部62以从光学传感器81输入的ON信号向OFF信号的切换为通过期间的起点，开始OFF信号的持续时间的计测。
接着，手部H2到达前进位置FW。在到达了前进位置FW之后，控制部6通过缩短推杆部24的可动部24a而解除对基板W的推抵(时间t14)。通过解除对基板W的推抵，能够在旋转卡盘803载置基板W。在保持前进位置FW的状态下，中央机械手CR执行将手部H2的垂直位置从放置位置下降移动至拾取位置的载置移动。通过载置移动将由爪引导部22、以及后引导部23的内侧保持的基板W载置于旋转卡盘803。
＜步骤S13＞使手部H2后退
接着，中央机械手CR使手部H2从处理单元31内后退，因此，进行使手部H2从前进位置FW向起始位置HM移动的返回移动。若基板W正常载置于旋转卡盘803，在手部H2上不存在基板W。因此，在从光学传感器81的光轴通过的过程中，若手部H2的中缺区域(作为部件不存在部分的V字型部分之间的区域)到达光轴，则光学传感器8从遮光状态变化为投光状态。据此，从光学传感器81输出的信号从ON信号向OFF信号变化(时间t15)。判定部62在从光学传感器81输出的信号从OFF信号向ON信号变化的时间点结束从光学传感器81输出的OFF信号的持续时间的计测。在中缺区域从光学传感器81的光轴通过之后，也维持OFF信号的状态，当手部H2到达起始位置HM时，返回移动结束(时间t16)。在正常搬运了基板的情况下，从光学传感器81输出的信号从ON信号变化为OFF信号的时间t13到从OFF信号变化为ON信号的时间t15为止的期间为第3通过期间PP3。
中央机械手CR能够将使手部H2从处理单元31内后退的返回移动时的速度设为比前往移动时的通常搬运速度慢，通过在前往移动时放慢速度，能够提高前往移动时的光学传感器81的检测精度。
＜步骤S14＞光学传感器信号一致比较
判定部62对在基板W的交付动作时计测的第3通过期间PP3与存储于存储部61的第2正常期间NP2进行比较。判定部62在对第3通过期间PP3和存储于存储部61的第2正常期间NP2进行比较的结果为一致时判定为正常(S14的是)，继续处理，在不同时判定为异常(S14的否)，执行异常时制程。在对第3通过期间PP3和第2正常期间NP2进行比较的情况下，也可以相对于第2正常期间NP2具有±10％左右的余量来判定。
例如，存储的第2正常期间NP2为2.8秒以下。若根据设计值以及实验，2.5秒附近为适当的值且存在异常时成为3.0秒以上，则对2.5秒赋予大约10％的余量，第2正常期间NP2为2.8秒以下。如上所述，第2正常期间NP2能够根据移动距离或移动速度而任意变更，因此不限于这些值，可以为具有上下限的范围。像这样，通过具有余量，能够防止将不成为问题的程度的微小的动作偏差等检测为错误。若通过判定部62判定为第3通过期间PP3正常，则基于中央机械手CR的一连串的基板交付动作结束。
＜步骤S15＞处理基板
对搬运至处理单元31的基板W执行各种处理。例如，执行基于药液的清洗处理、蚀刻处理、抗蚀剂涂敷处理、或者显像处理。
在此，假设基板W没有通过手部H2而正常载置于旋转卡盘803的情况。例如，基板W有时因经过制造工艺而呈凹型地翘曲。在基板W载置到旋转卡盘803之后，因基板W的翘曲，尽管手部H2下降到拾取位置，基板W的下表面的一部分也有可能与手部H2的侧面部22b的上端同等或者比手部H2的侧面部22b的上端低。
在手部H2载置移动并将基板W载置于旋转卡盘803之后，在手部H2从前进位置FW向起始位置HM返回移动时，有手部H2的侧面部22b的上端挂到基板W的端部或下表面等的情况。在挂到的状态下，基板W未被爪引导部22以及后引导部23支承，基板W的一部分搭在侧面部22b上，从而以不稳定的状态载置在手部H2上。在载置移动后，将可动部24a缩短的状态为正常，因此，判定部62判定从推杆检测部29输出的OFF信号为正常的状态。因此，即使在基板W以不稳定的状态载置在手部H2上的情况下，也无法通过推杆检测部29检测到该异常。
另一方面，在从光学传感器81的光轴通过的过程中，即使手部H2的中缺区域(作为部件不存在部分的V字型部分之间的区域)到达光轴(时间t15)，也由于手部H2上存在基板而光学传感器81不从遮光状态向投光状态变化，其输出信号被维持为OFF信号。手部H2继续返回移动，在基板W从光轴通过的时间点变化成ON信号(时间t15a)。判定部62在从光学传感器81输出的信号从OFF信号向ON信号变化的时间点结束光学传感器81的OFF信号的持续时间的计测。当手部H2到达起始位置HM时，返回移动结束(时间t16)。在基板W没有被正常搬运的情况下，从光学传感器81输出的信号从ON信号向OFF信号变化的时间t13到从OFF信号向ON信号变化的时间t15a为止的期间为第4通过期间PP4。
判定部62针对基板W的交付动作，对计测的第4通过期间PP4和存储于存储部61的第2正常期间NP2进行比较。判定部62对第4通过期间PP4和存储于存储部61的第2正常期间NP2进行比较的结果如图11所示，第4通过期间PP4和存储于存储部61的第2正常期间NP2不同，因此执行异常时制程。
＜步骤S16＞异常时制程的执行
判定部62在判定为异常时，相对于基板处理装置1的各构成部执行存储于存储部61的异常时制程。例如，异常时制程规定了包括分度器机械手IR的基板搬运后停止、判定为异常的对象处理单元31的立即停止、异常处理单元以外的处理单元31的处理结束后停止、中央机械手CR的立即停止、产生警报在内的一连串的动作。警报为向基板处理装置1的主画面的警告显示、产生声音、通过通信线路向主计算机弹出消息的显示指令输出等。通过产生警报，能够使装置使用者知道基板处理装置1为异常。在异常时制程的执行结束的情况下，判定部62也结束一连串的搬运动作。
根据上述的本发明的第二实施方式的基板搬运装置，针对手部H2将基板W载置于处理单元31的旋转卡盘803时的一连串的基板W的交付动作，能够通过判定部62利用光学传感器81的检测信号来判定是正常状态还是异常状态。更具体来说，根据光学传感器81检测的手部H2或者基板W的检测时间的OFF信号的持续时间来计测通过期间。通过对该通过期间和存储于存储部61的正常期间是否一致进行比较，能够判定基板W的交付动作是正常还是异常。
若在基板W产生翘曲，则尽管手部H2向拾取位置下降，基板W的下表面的一部分也有可能成为与手部H2的侧面部22b的上端同等的高度或者比手部H2的侧面部22b的上端低。在该情况下，在手部H2从前进位置FW向起始位置HM返回移动时，手部H2的侧面部22b的上端可能会挂到基板W的端部或下表面等。此时，基板W没有由爪引导部22以及后引导部23保持，基板W的一部搭在侧面部22b上，从而会以不稳定的状态载置在手部H2上。像这样，在基板W以不稳定的状态载置在手部H2上的情况下，有可能无法根据来自推杆检测部29的ON/OFF信号检测到异常。即使在这种状况下，也能够通过判定部62基于来自光学传感器81的ON/OFF信号进行异常判定，因此，能够检测到异常。
而且，判定部62相对于基板处理装置1的各构成部执行异常时制程。通过异常时制程的执行使搬运动作停止，此后的基板W的搬运停止。而且，发出警报，基板处理装置1的用户能够立即得知基板处理装置1处于异常状态。其结果为，能够尽早停止基板W的搬运，能够减小对后工序的影响。
本发明不限于上述实施方式，能够以下述方式变形来实施。以下，详细说明本发明的第3实施方式。
有时载置于基板收纳容器5的基板W成为从正常位置向分度器单元2侧偏移的状态、即基板W从基板收纳容器5伸出的状态。在该情况下，光学传感器8能够检测基板W的伸出。例如，在透射型传感器中，光轴被伸出的基板W遮光而成为遮光状态。另外，在反射型传感器中，投射来的光被处于伸出状态的基板W反射而成为反射状态。无论是何种形态的传感器，均输出OFF信号，由于伸出的基板W静止，所以持续输出OFF信号。
在该情况下，即使从计测开始点经过了预先决定的规定期间，光学传感器8的输出也不从OFF变为ON。于是，判定部62将该规定的期间经过的时间点作为计测结束点，将该规定的期间作为第5通过期间PP5。规定的期间优选设定为在基板W的交付动作存在异常时设想的OFF信号持续时间以上，例如为3秒以上。
判定部62对计测由光学传感器8检测到的OFF信号的持续时间而得到的第5通过期间PP5和存储于存储部61的第3正常期间NP3进行比较。例如，第3正常期间NP3为用户决定的任意的期间。判定部62在对第5通过期间PP5和存储于存储部61的第3正常期间NP3进行比较的结果为一致时判定为正常，在不同时判定为异常。判定部62在异常判定的情况下执行任意的异常时制程。也可以将第1正常期间NP1和第3正常期间设为相同期间(相同长度)。通过设为相同期间，用户不需要管理多个设定，还能够降低基板处理装置1的数据处理负荷和通信负荷。
本发明不限于上述实施方式，还能够如下述例示的那样变形来实施。
(1)在上述的实施方式中，手部H1(H2)的中缺形状为包括V字型的形状，但也可以为包括Y字型或U字型的形状。通过能够变更中缺形状，能够扩大手部形状的设计自由度。另外，也可以在手部H1(H2)安装反射部件。通过安装反射部件，能够提高反射型传感器的检测感度。反射部件的安装位置只要为能够利用受光部8d接受从反射传感器的投光部8c投射出的且被该反射部件反射的光线的位置即可，手部H1(H2)的表背面的任一方均可。
(2)在上述的实施方式中，光学传感器8、81为一个。然而，也可以设置多个光学传感器。通过设置多个光学传感器能够提高检测精度。
(3)在上述的实施方式中，光学传感器8与装载端口开口L的上下位置相对设置。然而，只要在从基板收纳容器5后退时位于手部H1和所保持的基板W移动的路径上即可，不限于与装载端口开口L相对的配置，也可以采用与设于分度器单元2的隔壁7的隔壁通过孔7a等相对的配置。由此，能够扩大设计的自由度。
(4)在上述的实施方式中，光学传感器81设置在处理单元31的开口811内侧的上下位置。然而，只要在从处理单元31后退时位于手部H2和所保持的基板W移动的路径上即可，不限于向处理单元31的开口811内侧的设置，也可以设在开口811外侧。由此，能够扩大设计的自由度。
(5)针对分度器机械手IR从基板收纳容器5接受基板W的接受动作的动作期间也能够设置正常期间。针对中央机械手CR也同样。
(6)分度器机械手IR也可以以使从基板收纳容器5接受基板W的动作期间、和向基板收纳容器5交付基板W的动作期间成为相同期间(相同长度)的方式来设计以及/或者控制。通过设为相同动作期间，不需要对取出基板W的动作期间和交付基板W的动作期间分别设置个别的正常期间，能够使正常期间通用化。通过使正常期间通用化，与个别设置正常期间的情况相比，能够降低基板处理装置1的数据处理负荷和通信负荷。针对中央机械手CR也同样。
(7)也可以将第1正常期间NP1和第2正常期间NP2设为相同期间(相同长度)。而且，也可以将第1正常期间NP1、第2正常期间NP2、以及第3正常期间NP3设为相同期间(相同长度)。通过设为相同期间，用户无需管理多个设定，能够减少管理的工时。而且，能降低基板处理装置1的数据处理负荷或通信负荷。
(8)在上述的实施方式中，针对因基板W的翘曲而产生异常状态的情况进行了说明。然而，还可能因其他原因产生异常状态。例如，在因分度器机械手IR的动作不良而产生基板W的保持异常的情况下，也能够检测该保持异常。
(9)在上述的实施方式中，例示了针对装载端口LP和处理单元31的实施方式，但不限于此，还能够相对于通路单元4等载置基板的单元应用本发明。
针对本发明的实施方式详细地进行了说明，但这些实施方式不过是为了使本发明的技术内容明确而使用的具体例，本发明并非由这些具体例限定解释。本发明的范围由权利要求的范围示出，并意味着包含与权利要求的范围均等的含义以及范围内的全部变更。
附图标记说明
1 基板处理装置
2 分度器单元
3 处理部
4 通路单元
5 基板收纳容器
5a 框体
5b 盖
5c 基板引导部
6 控制部
8、81 光学传感器
8a、8c、81a 投光部
8b、8d、81b 受光部
20 主体
21 支承部
22 爪引导部
23 后引导部
24 推杆部
24a 可动部
24b 固定部
29 推杆检测部
31 处理单元
61 存储部
62 判定部
63 驱动控制部
64 处理控制部
803 旋转卡盘
804 处理液喷嘴
LP 装载端口
IR 分度器机械手
CR 中央机械手
H1，H2 手部
HM 起始位置
FW 前进位置。

Claims (16)

1.一种基板搬运装置，其在规定位置交接基板，其特征在于，
具备：
保持基板的保持部；
使所述保持部相对于所述规定位置进行往复移动的往复机构；
光学传感器，其在通过所述往复机构使所述保持部移动的路径上形成传感器区；以及
控制部，其在包括通过所述往复机构使所述保持部趋向所述规定位置的前往动作、和使所述保持部远离所述规定位置的返回动作在内的基板的交付动作中检测第1通过期间，在该第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常，所述第1通过期间为所述保持部或者由该保持部保持的基板即保持基板从所述传感器区通过的期间。
2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述规定位置为收纳基板的基板收纳容器内的位置，所述光学传感器在所述基板收纳容器外形成所述传感器区。
3.根据权利要求2所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述光学传感器的所述传感器区被设定在对以向所述基板收纳容器外偏移的状态载置的基板进行检测的位置。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述保持部具有：与基板的一端部抵接的抵接部；能够伸缩的防止位置偏移机构，其以将基板的另一端部朝向所述抵接部按压的方式伸展来固定所述基板；以及检测所述防止位置偏移机构的伸缩动作的伸缩检测部，
所述防止位置偏移机构在所述前往移动中固定基板，在所述返回移动中解除基板的固定，
所述伸缩检测部在所述防止位置偏移机构固定了基板的状态下检测所述防止位置偏移机构的伸展，在所述防止位置偏移机构解除了基板的固定的状态下检测所述防止位置偏移机构的收缩。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述保持部为在水平方向上平坦的板状部件，在俯视时，所述板状部件具有在保持了基板时与基板重叠的部分的至少一部分被去掉的中缺区域，在所述保持部正常保持基板时，在俯视时基板与所述板状部件的所述中缺区域全部重叠，
在通过所述往复机构使所述保持部往复移动时，所述保持部的所述中缺区域从所述路径通过。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述光学传感器为形成沿着光轴的直线上的所述传感器区的透射型传感器，
所述控制部将由所述透射型传感器投射的光线被所述保持部或者所述保持基板遮挡的期间检测为所述第1通过期间。
7.根据权利要求1～5中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述光学传感器为利用光线形成所述传感器区的反射型传感器，
所述控制部将通过所述反射型传感器投射的光线被所述保持部或者所述保持基板反射且被该反射型传感器接受的期间检测为所述第1通过期间。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述控制部在通过所述保持部接受位于所述规定位置的基板的基板的接受动作时，对搬运异常进行判断，
所述基板的接受动作包括通过所述往复机构而使所述保持部趋向所述规定位置移动的前往动作、和通过所述往复机构使所述保持部远离所述规定位置的返回动作，
所述控制部在所述基板的接受动作中检测第2通过期间，在该第2通过期间与预先设定的第2正常期间不同时判断为搬运异常，所述第2通过期间为所述保持部或者所述保持基板从所述传感器区通过的期间。
9.根据权利要求8所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述第1正常期间和所述第2正常期间为相同长度。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述控制部根据基于所述往复机构的所述保持部的移动速度，设定所述第1正常期间或者所述第2正常期间。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
所述控制部在进行所述交付动作时，将所述返回动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度设为比所述前往动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度慢。
12.一种基板搬运方法，在规定位置交接基板，其特征在于，包括：
第1前往工序，使保持了基板的保持部趋向所述规定位置移动；
交付工序，执行从所述保持部向所述规定位置交付基板的动作；
第1返回工序，在所述交付工序后使所述保持部从所述规定位置后退；
第1检测工序，在包括所述第1前往工序以及所述第1返回工序在内的期间内，检测所述保持部或者由该保持部保持的基板即保持基板从传感器区通过的第1通过期间，所述传感器区为光学传感器在所述保持部移动的路径上的区域；以及
第1判断工序，在所述第1检测工序中检测到的所述第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常。
13.根据权利要求12所述的基板搬运方法，其特征在于，
所述保持部包括：与基板的一端部抵接的抵接部；能够伸缩的防止位置偏移机构，其以将基板的另一端部朝向所述抵接部按压的方式伸缩来固定所述基板，
在所述第1前往工序中，通过所述防止位置偏移机构将所述基板的另一端部朝向所述抵接部按压来固定所述基板，防止位置偏移，且检测所述防止位置偏移机构的伸缩动作，
在所述第1返回工序中，解除基于所述防止位置偏移机构的固定。
14.根据权利要求12或者13所述的基板搬运方法，其特征在于，
所述第1返回动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度比所述第1前往动作中的基于所述往复机构的所述保持部的移动速度慢。
15.根据权利要求12～14中任一项所述的基板搬运方法，其特征在于，
还包括：
使所述保持部朝向位于所述规定位置的基板移动的第2前往工序；
接受工序，执行由所述保持部接受位于所述规定位置的基板的接受动作；
第2返回工序，在所述接受工序后使所述保持部从所述规定位置后退；
第2检测工序，在包括所述第2前往工序以及所述第2返回工序在内的期间内，检测所述保持部或者所述保持基板从所述传感器区通过的第2通过期间；以及
第2判断工序，在所述第2检测工序中检测到的所述第2通过期间与预先设定的第2正常期间不同时判断为搬运异常。
16.根据权利要求15所述的基板搬运方法，其特征在于，
所述第1正常期间和所述第2正常期间为相同长度。
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