KR20070029431A - 기판 합착장치 및 이를 이용한 기판 합착방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 상부 기판을 가압할 수 있도록 구성되는 상부판과 상기 상부판에 가압력을 제공하여 주도록 구성되는 가압수단으로 이루어지는 상부 가압부; 및상기 상부 가압부의 하부에 위치되며 상기 상부 기판과 합착되는 하부 기판을 지지하고 상기 하부 기판을 가압할 수 있도록 구성되는 하부판과 상기 하부판에 가압력을 제공하여 주도록 구성되는 가압수단으로 이루어지는 하부 가압부;를 포함하여 이루어지는 기판 합착장치.
- 제1항에 있어서,상기 상부 가압부에는 상기 상부 기판을 그 상부에서 지지할 수 있도록 진공흡착수단이 더 구비되어 이루어지는 기판 합착장치.
- 제1항에 있어서,상기 상부 가압부의 상기 가압수단은 가스 분사에 의한 가압으로써 이루어지는 기판 합착장치.
- 제1항에 있어서,상기 하부 가압부의 상기 가압수단은, 탄성부재, 상기 탄성부재를 지지하는 지지판 및 상기 지지판을 가압하는 가압부재로 이루어지는 기판 합착장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판 합착장치에는 그 내부로 인입되는 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판의 크기를 판별하도록 기판크기 판별수단이 더 구비되어 이루어지는 기판 합착장치.
- 상부 기판 및 하부 기판이 기판 합착장치 상에 인입되는 인입단계;상기 인입단계에서 인입된 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판의 크기를 감지하는 판별단계; 및상기 판별단계에서 판별된 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판의 크기에 따라 가압이 행하여지는 기판가압단계;를 포함하여 이루어지는 기판 합착장치를 이용한 기판 합착방법.
- 제6항에 있어서,상기 기판가압단계는 상부가압 또는 하부가압으로써 이루어지는 기판 합착장치를 이용한 기판 합착방법.
- 제6항에 있어서,상기 판별단계 이전에 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판 중 어느 하나 이상의 크기값을 설정하는 기판크기설정단계가 더 포함되어 이루어지는 기판 합착장치 를 이용한 기판 합착방법.
- 제8항에 있어서,상기 기판가압단계는 상기 기판크기설정단계에서 설정된 크기값보다 작은 값의 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판 인입 시에 상부가압이 이루어지는 기판 합착장치를 이용한 기판 합착방법.
- 제8항에 있어서,상기 기판가압단계는 상기 기판크기설정단계에서 설정된 크기값보다 큰 값의 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판 인입 시에 하부가압이 이루어지는 기판 합착장치를 이용한 기판 합착방법.
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