KR101185532B1 - Apparatus for transferring substrate and method using thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법에 관한 것으로서, 특히 이송 스테이지에 로더 암이 유입되도록 이송 스테이지를 복수의 단위 이송 유니트를 배열하여 구성하고, 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 승하강이 가능한 보조 공기 분사 유니트를 설치하여 로더 암에서 기판의 로딩후 후퇴시 보조 공기 분사 유니트를 상승시켜 기판을 부양함으로써 로딩 시간을 단축시켜 검사 시간을 상대적으로 단축시키고, 기판 로딩/언로딩 장치의 제거로 인해 제조 원가를 상대적으로 낮출 수 있다.

Figure R1020090134324

기판, 로딩, 언로딩, 검사, 이송, 에어, 플로팅, 부상

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus and a transfer method using the same, and in particular, a transfer stage is configured by arranging a plurality of unit transfer units such that a loader arm flows into the transfer stage, and the unit transfer unit is adjacent to a neighboring unit transfer unit. By installing the auxiliary air jetting unit that can be lowered, the auxiliary air jetting unit is raised by lifting the board when the loader arm retracts after loading the board, thereby reducing the loading time by reducing the loading time and reducing the loading time of the substrate loading / unloading device. Elimination can lower manufacturing costs.

Figure R1020090134324

Board, Loading, Unloading, Inspection, Transfer, Air, Floating, Floating

Description

기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND METHOD USING THEREOF}Substrate transfer device and transfer method using the same {APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND METHOD USING THEREOF}

본 발명은 기판을 이송하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 상세하게는 이송 스테이지에 로더 암이 유입되도록 이송 스테이지를 복수의 단위 이송 유니트를 배열하여 구성하고, 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 승하강이 가능한 보조 공기 분사 유니트를 설치하여 로더 암에서 기판의 로딩후 후퇴시 보조 공기 분사 유니트를 상승시켜 기판을 부양하도록 하는 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and a method for transferring a substrate, and in particular, the transfer stage is configured by arranging a plurality of unit transfer units so that the loader arm flows into the transfer stage, and between the unit transfer unit and the neighboring unit transfer unit The present invention relates to a substrate transfer device and a transfer method using the same, by installing an auxiliary air jetting unit capable of raising and lowering to raise the auxiliary air jetting unit to lift the substrate when the substrate is loaded and retracted from the loader arm.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)는 전자기기와 사람과의 인터페이스로서, 각종 전자기기로부터 출력되는 전기적 정보신호를 광정보 신호로 변환하여, 인간이 시각을 통해 인식할 수 있는 숫자, 문자, 도형, 화상 등의 패턴화된 정보로 표시하는 장치이다. 특히, 두께가 수 cm, 작게는 수 mm에 불과하여 경량, 박형 설계가 용이하고 고화질, 저소비 전력 등의 장점을 가지고 있어 LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel)와 같이 다양한 표시장치로 출시된다.In general, a flat panel display (FPD) is an interface between an electronic device and a person, and converts electrical information signals output from various electronic devices into optical information signals, so that humans can recognize numbers and letters through vision. Is a device for displaying patterned information such as figures, figures, and images. In particular, its thickness is only a few centimeters and only a few millimeters, so it is easy to design light weight and thin, and has advantages such as high quality and low power consumption. Is released.

이러한 표시장치는 제조공정에서 기판 상에 스크래치나 각종 얼룩이 형성될 수 있는데, 스크래치나 각종 얼룩 등을 검사하여 불량률을 감소하기 위한 목적으로 디스플레이 기판 검사장치가 사용된다. 예컨대, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 기판이나, PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 기판 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 비전 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다. 이러한 검사장비는 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내어 검출된 결함으로 찾아가 복원시키는 리페어(repair) 공정을 진행할 수 있다.Such a display device may have scratches or various stains formed on the substrate in a manufacturing process, and a display substrate inspection apparatus is used for the purpose of reducing scratch rate by inspecting scratches and various stains. For example, In-Line FPD Automatic Optical Inspection captures an image of an object to be inspected using an optical lens and a CCD camera while guiding a TFT LCD substrate, a display substrate such as a PDP, a color filter, etc. It is a device that detects various defects that a user wants to find by applying a processing algorithm. In order to perform a role as an inspection system, such inspection equipment can perform a repair process that accurately locates and detects a detected defect and finds and restores the detected defect.

도 1은 일반적인 디스플레이 기판 이송장치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a typical display substrate transfer device.

상기 디스플레이 기판 이송장치는 에어 슬라이드(air slide) 방식을 사용하여 이송하는 장치로서, 로더 암에 의해 상기 이송장치의 로딩/언로딩 위치에 기판(1)이 이송 스테이지(40)에 로딩이 되면, 기판은 카메라 설치 프레임(20)에 설치된 여러 대의 비전카메라(10)에 의해 스캔되어 패턴 결함을 검사 받게 된다. 이때, 이송 스테이지(40)는 에어 플로팅 방식으로 에어를 분사하여 기판(1)을 부양시키며, 이송 스테이지(40)의 중앙부에 길이 방향으로 그리퍼(gripper)(41)가 마련되는 데, 그리퍼(41)는 이송 스테이지(40)의 중앙부에 설치된 이송 가이드(41a)와, 이송 가이드(41a)를 따라 이동 가능하도록 설치되고, 진공발생부(미도시)와 연결되어 부양된 기판(1)을 진공 흡착하는 진공 패드(41b)와, 진공 패드(41b)를 이동시키는 구동모듈(41c)로 이루어진다.The display substrate transfer apparatus is an apparatus for transferring by using an air slide method, and when the substrate 1 is loaded on the transfer stage 40 at a loading / unloading position of the transfer apparatus by a loader arm, The substrate is scanned by a plurality of vision cameras 10 installed in the camera installation frame 20 to inspect the pattern defects. At this time, the transfer stage 40 is to support the substrate 1 by injecting air in an air-floating method, the gripper 41 is provided in the longitudinal direction in the center of the transfer stage 40, the gripper 41 ) Is installed so as to be movable along the transfer guide 41a and the transfer guide 41a installed at the center of the transfer stage 40, and connected to a vacuum generating unit (not shown) to vacuum-adsorb the supported substrate 1. And a drive module 41c for moving the vacuum pad 41b.

상기 기판의 패턴을 검사하기 위한 여러 대의 비전카메라(10)가 카메라 설치 프레임(20)에 설치되고, 상기 카메라 설치 프레임(20)은 기판(1)을 이송하는 이송장치 위에 형성된 프레임 지지대(30)에 설치된다.A plurality of vision cameras 10 for inspecting the pattern of the substrate are installed on the camera mounting frame 20, and the camera mounting frame 20 is a frame support 30 formed on a transfer device for transporting the substrate 1. Is installed on.

도 2는 로더 암과 로딩/언로딩 장치의 측면도를 도시한 것이다.2 shows a side view of the loader arm and the loading / unloading device.

에어 슬라이드 방식을 사용하는 상기 이송장치로의 기판(1)을 이송 및 외부로의 반송을 담당하는 로더 암(50)이 상기 이송장치의 로딩/언로딩 위치에 놓인 상태이며, 기판 로딩/언로딩 장치(60)가 이송장치의 로딩/언로딩 위치에서 기판(1)을 지지하고 있는 형태이다.The loader arm 50, which is responsible for conveying the substrate 1 to the conveying apparatus using the air slide method and conveying it to the outside, is placed in the loading / unloading position of the conveying apparatus, and the substrate loading / unloading. The device 60 supports the substrate 1 in the loading / unloading position of the conveying device.

상기 로더 암(50)은 기판 이송장치의 로딩/언로딩 위치에 기판(1)을 이송하고 외부로 반송하기 위하여 도면상 좌/우 수평운동을 하고, 상기 기판 이송장치의 로딩/언로딩 위치에 설치되어 있는 기판 로딩/언로딩 장치(60)는 리프트 핀(61)에 의한 상/하 수직운동을 한다.The loader arm 50 moves left and right horizontally in the drawing in order to transfer the substrate 1 to the loading / unloading position of the substrate transfer device and transports it to the outside, and to the loading / unloading position of the substrate transfer device. The installed substrate loading / unloading device 60 performs vertical movement up and down by the lift pin 61.

상기 기판이 로딩되는 과정은 로더 암(50)에 의해 운반되는 기판(1)이 상기 로딩/언로딩 위치로 이동하게 되면, 상기 기판 로딩/언로딩 장치(60)가 상승되어 이에 기판(1)이 안착된다. 이때, 상기 기판 로딩/언로딩 장치(60)의 리프트 핀(61)에는 상기 기판(1)의 하부표면 접촉에 의한 기판의 하부 표면 스크래치를 방지하기 위하여 소정의 물질을 도포하거나, 에어를 분사하여 부양시킨다.In the process of loading the substrate, when the substrate 1 carried by the loader arm 50 moves to the loading / unloading position, the substrate loading / unloading device 60 is raised to thereby the substrate 1 Is seated. At this time, the lift pin 61 of the substrate loading / unloading device 60 is coated with a predetermined material or sprayed with air in order to prevent the lower surface scratch of the substrate due to the lower surface contact of the substrate 1. Provide support.

그러면, 상기 기판 로딩/언로딩 장치(60)가 하강되어 이송 스테이지(40)에 기판(1)을 부유시키는 데, 이때 진공 패드(41b)가 기판(1)을 진공흡착한 후, 이송 가이드(41a)를 따라 이동하여 비전카메라(10) 측으로 이송된다.Then, the substrate loading / unloading device 60 is lowered to float the substrate 1 on the transfer stage 40. At this time, the vacuum pad 41b vacuum-adsorbs the substrate 1, and then the transfer guide ( It moves along 41a) and is conveyed to the vision camera 10 side.

그러나, 이러한 종래의 이송장치는 기판의 안착시 리프트 핀이 승하강하여 기판을 이송 스테이지에 로딩시키기 때문에 리프트 핀의 승하강에 따른 사이클 타임이 증가되고, 리프트 핀이 승강시 비전카메라와의 간섭이 발생하여 비전카메라가 설치된 프레임을 승강시켜야만 하기 때문에 검사 시간이 증가되고, 기판 로딩/언로딩 장치의 설치에 따른 제조 원가가 상승되는 문제점이 있다.However, such a conventional transfer apparatus increases the lift time of the lift pin when the substrate is seated and loads the substrate on the transfer stage, thereby increasing the cycle time due to the lift pin lifting, and causing interference with the vision camera when the lift pin is lifted. Therefore, the inspection time is increased because the frame on which the vision camera is installed is increased, and manufacturing costs are increased due to the installation of the substrate loading / unloading device.

또한, 이러한 종래의 이송장치는 기판의 중앙부가 이송 스테이지에서 배출되는 에어에 의해 부양되어 있기 때문에 크기가 커질수록 중앙부에 쳐짐이 발생하고, 이로 인하여 비전카메라를 통해 정확한 스캔이 어려워 패턴 결함 검사가 불가능한 다른 문제점이 있다.In addition, since the center of the substrate is supported by the air discharged from the transfer stage, such a transfer device may sag as the size increases, which makes it difficult to accurately scan through a vision camera, thereby making it impossible to inspect pattern defects. There is another problem.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 이송 스테이지에 로더 암이 유입되도록 이송 스테이지를 복수의 단위 이송 유니트를 배열하여 구성하고, 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 승하강이 가능한 보조 공기 분사 유니트를 설치하여 로더 암에서 기판의 로딩후 후퇴시 보조 공기 분사 유니트를 상승시켜 기판을 부양함으로써 로딩 시간을 단축시켜 검사 시간을 상대적으로 단축시키고, 기판 로딩/언로딩 장치의 제거로 인해 제조 원가를 상대적으로 낮출 수 있도록 하는 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, the transfer stage is configured by arranging a plurality of unit transfer unit so that the loader arm flows into the transfer stage, it is possible to raise and lower between the unit transfer unit and the neighboring unit transfer unit By installing an auxiliary air jet unit, the auxiliary air jet unit is raised to lift the substrate when the loader arm retracts after loading the board, thereby reducing the loading time by relatively shortening the inspection time and removing the substrate loading / unloading device. It is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus and a transfer method using the same, which can lower manufacturing costs relatively.

또한, 본 발명은 보조 공기 분사 유니트를 비전카메라와 대응되는 위치인 보 조 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 각각 설치하여 비전카메라를 통해 기판을 스캔시 보조 공기 분사 유니트로 부양력을 증대시켜 기판을 부양함으로써 기판의 쳐짐 또는 떨림을 방지하여 정밀한 이송을 수행할 수 있도록 하는 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법을 제공하는데 다른 목적이 있다.In addition, the present invention is to install the auxiliary air injection unit between the auxiliary unit transfer unit and the neighboring unit transfer unit, respectively, the position corresponding to the vision camera to increase the flotation force to the auxiliary air injection unit when scanning the substrate through the vision camera Another object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus and a transfer method using the same, by which the substrate is supported to prevent the substrate from sagging or shake to perform precise transfer.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,According to an aspect of the present invention,

기판을 이송 및 외부로의 반송을 담당하는 로더 암과; 복수의 단위 이송 유니트에 의해 형성되고, 상방향으로 에어를 분사하여 상기 로더 암으로부터 반입된 상기 기판을 부양시키는 이송 스테이지와; 상기 이송 스테이지의 중앙부에 길이 방향으로 설치되어 상기 이송 스테이지에서 부양된 상기 기판을 진공압을 이용하여 흡착한 후 상기 이송 스테이지를 따라 이동하는 그리퍼와; 상기 이송 스테이지 상의 상기 기판의 이동 경로 상에 설치되어 상기 기판의 패턴을 검사하기 위한 복수의 비전카메라; 및 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 설치되어 상기 로더 암에 의한 상기 기판의 반입/반송 및 상기 기판이 상기 비전카메라를 통과시 상승되어 에어를 분사시켜 상기 기판의 부양력을 증대시키는 보조 공기 분사 유니트를 포함하는 것을 특징으로 한다.A loader arm responsible for transferring the substrate and conveying it to the outside; A conveying stage formed by a plurality of unit conveying units and supporting the substrate carried from the loader arm by ejecting air in an upward direction; A gripper installed in a central portion of the transfer stage in a longitudinal direction and adsorbing the substrate supported by the transfer stage using vacuum pressure and then moving along the transfer stage; A plurality of vision cameras installed on a movement path of the substrate on the transfer stage to inspect a pattern of the substrate; And a unit transfer unit of the transfer stage and a neighboring unit transfer unit, which are carried in and transported by the loader arm and the substrate is lifted when passing through the vision camera to inject air to lift the flotation force of the substrate. It characterized in that it comprises an auxiliary air injection unit to increase.

이때, 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트의 상호 이격 거리는 상기 로더 암이 내측으로 유입되어 상기 기판을 안착시키도록 상기 로더 암의 폭보다 넓게 형성된다.At this time, the mutual separation distance between the unit transfer unit of the transfer stage and the neighboring unit transfer unit is formed to be wider than the width of the loader arm so that the loader arm is introduced into the inside to seat the substrate.

또한, 상기 보조 공기 분사 유니트는 내부가 빈 직육면체로 형성되고, 상면 에 에어 분사를 위한 복수의 에어 분사공이 형성되는 에어 플레이트와; 상기 에어 플레이트로 에어를 공급하기 위한 에어 공급통로가 구비되고, 상기 에어 플레이트를 승하강시키는 복수의 로드 바; 및 상기 로드 바의 하단을 지지하고, 상기 로드 바를 승하강시키는 승하강 수단으로 이루어진다.In addition, the auxiliary air injection unit is formed of a rectangular parallelepiped inside, the air plate and a plurality of air injection holes for air injection on the upper surface; A plurality of rod bars provided with an air supply passage for supplying air to the air plate, for raising and lowering the air plate; And lifting means for supporting a lower end of the rod bar and lifting the rod bar up and down.

여기에서, 상기 보조 공기 분사 유니트의 에어 플레이트는 기준 위치가 상기 이송 스테이지의 상면 높이보다 낮은 위치이고, 상승위치가 상기 이송 스테이지의 상면과 동일 높이이다.Here, the air plate of the auxiliary air injection unit is a position where the reference position is lower than the height of the upper surface of the transfer stage, the rising position is the same height as the upper surface of the transfer stage.

바람직하게, 상기 승하강 수단은 에어 실린더이다.Preferably, the lifting means is an air cylinder.

그리고, 상기 보조 공기 분사 유니트는 상기 로더 암과 대응되는 위치 및 상기 비전카메라와 대응되는 위치에 각각 설치된다.The auxiliary air jet unit is installed at a position corresponding to the loader arm and a position corresponding to the vision camera, respectively.

본 발명의 다른 특징은,According to another aspect of the present invention,

상기 기판 이송장치를 이용한 이송 방법에 있어서, 상기 로더 암이 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트 사이로 유입되어 기판이 반입되면, 상기 이송 스테이지에 에어를 공급하는 단계와; 상기 로더 암이 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트 사이에서 후퇴시 상기 보조 공기 분사 유니트를 상승시키는 단계와; 상기 보조 공기 분사 유니트에 에어를 공급하여 상기 기판을 부상시키는 단계와; 부상된 상기 기판을 상기 그리퍼가 진공압을 이용하여 흡착하는 단계; 및 상기 그리퍼가 상기 이송스테이지를 따라 이동하여 상기 비전 카메라를 통과하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.A transfer method using the substrate transfer apparatus, comprising: supplying air to the transfer stage when the loader arm is introduced between the unit transfer units of the transfer stage and the substrate is loaded; Raising said auxiliary air injection unit when said loader arm retracts between unit transfer units of said transfer stage; Supplying air to the auxiliary air jet unit to float the substrate; The gripper sucks the floating substrate using vacuum pressure; And the gripper moves along the transfer stage and passes through the vision camera.

상기와 같이 구성되는 본 발명인 기판 이송장치 및 이를 이용한 기판의 이송 방법에 따르면, 이송 스테이지에 로더 암이 유입되도록 이송 스테이지를 복수의 단위 이송 유니트를 배열하여 구성하고, 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 승하강이 가능한 보조 공기 분사 유니트를 설치하여 로더 암에서 기판의 로딩후 후퇴시 보조 공기 분사 유니트를 상승시켜 기판을 부양함으로써 로딩 시간을 단축시켜 검사 시간을 상대적으로 단축시키고, 기판 로딩/언로딩 장치의 제거로 인해 제조 원가를 상대적으로 낮출 수 있는 이점이 있다.According to the substrate transfer apparatus of the present invention and a substrate transfer method using the same, the transfer stage is configured by arranging a plurality of unit transfer units so that the loader arm flows into the transfer stage, and the unit transfer unit and neighboring unit transfer Auxiliary air jet unit that can move up and down is installed between the units to raise the auxiliary air jet unit to raise the substrate when the loader arm is retracted after loading the board, thus reducing the loading time by reducing the loading time and loading the substrate / The removal of the unloading device has the advantage of lowering the manufacturing cost relatively.

또한, 본 발명에 따르면 보조 공기 분사 유니트를 비전카메라와 대응되는 위치인 보조 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 각각 설치하여 비전카메라를 통해 기판을 스캔시 보조 공기 분사 유니트를 상승시켜 기판을 부양함으로써 기판의 쳐짐 또는 떨림을 방지하여 정밀한 이송을 수행할 수 있는 다른 이점이 있다.Further, according to the present invention, the auxiliary air jet unit is installed between the auxiliary unit transport unit and the neighboring unit transport unit, which are positions corresponding to the vision camera, respectively, and raises the auxiliary air jet unit when the substrate is scanned through the vision camera. There is another advantage of being able to perform precise transfers by preventing the substrate from sagging or shaking by flotation.

이하, 본 발명에 따른 기판 이송장치의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the configuration of the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라 질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. Terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, and may vary according to intentions or customs of users or operators. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.

도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 구성을 나타낸 부분 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치중 이송 스테이지중 보조 공기 분사 유니트의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치중 보조 공기 분사 유니트의 구성을 나타낸 단면도이다.Figure 3 is a perspective view showing the configuration of the substrate transfer apparatus according to the present invention, Figure 4 is a partial perspective view showing the configuration of the substrate transfer apparatus according to the present invention, Figure 5 is an auxiliary of the transfer stage of the substrate transfer apparatus according to the present invention 6 is a perspective view showing the configuration of the air injection unit, and FIG. 6 is a cross-sectional view showing the configuration of the auxiliary air injection unit in the substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 로더 암(110)과, 이송 스테이지(120)와, 그리퍼(130)와, 비전카메라(140)와, 보조 공기 분사 유니트(150)로 이루어진다.3 to 6, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention includes a loader arm 110, a transfer stage 120, a gripper 130, a vision camera 140, and an auxiliary air jet. Unit 150.

먼저, 로더 암(110)은 기판(1)을 이송 스테이지(120)로 로딩하고, 이송 스테이지(120)의 기판(1)을 언로딩하여 외부로의 반송을 하도록 이송 스테이지(120)의 양측에 각각 설치된다.First, the loader arm 110 loads the substrate 1 to the transfer stage 120, and unloads the substrate 1 of the transfer stage 120 to both sides of the transfer stage 120 to be transported to the outside. Each is installed.

그리고, 이송 스테이지(120)는 직사각형태의 복수의 단위 이송 유니트(121)의 배열에 의해 형성되고, 상방향으로 에어를 분사하여 로더 암(110)으로부터 로딩된 기판(1)을 부양시킨다. 여기에서, 단위 이송 유니트(121)는 복수개가 기판(1)의 이동 방향으로 열을 이루어 이송 스테이지(120)의 길이 만큼 형성되고, 복수의 열이 기판(1)의 폭방향으로 상호 이격되어 배치된다. 이때, 이송 스테이지(120)의 단위 이송 유니트(121)와 이웃하는 단위 이송 유니트(121)의 상호 이격 거리(D1)는 로더 암(110)이 내측으로 유입되어 기판(1)을 로딩시키도록 로더 암(110)의 폭(W1) 보다 넓게 형성되는 것이 바람직하다. 여기에서 또한, 각각의 단위 이송 유니트(121)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상측에 기판(1)이 놓이는 바, 놓이는 기판(1)을 일정한 높이로 부양시키도록 상측에 부양 플레이트(123)를 구비한다. 부양 플레이트(123)는 이송 스테이지(120)의 윗면 전반에 걸쳐 일정한 형식으로 배열된 다수 개의 노즐(nozzle)(125)을 포함하는 바, 이 다수 개의 노즐(125)을 통하여 에어를 상측으로 일정한 세기로 분사한다.In addition, the transfer stage 120 is formed by the arrangement of the plurality of unit transfer units 121 in a rectangular shape, and supports the substrate 1 loaded from the loader arm 110 by blowing air upward. Here, the plurality of unit transfer unit 121 is formed in a row in the moving direction of the substrate 1 by the length of the transfer stage 120, the plurality of rows are spaced apart from each other in the width direction of the substrate 1 do. At this time, the mutual separation distance D1 of the unit transfer unit 121 of the transfer stage 120 and the neighboring unit transfer unit 121 is the loader arm 110 is introduced into the loader to load the substrate 1 Preferably, the width of the arm 110 is greater than that of the width W1. Here, each unit transfer unit 121, as shown in Figs. 3 and 4, the substrate 1 is placed on the upper side, the support plate on the upper side to support the substrate 1 to be placed at a constant height ( 123). The flotation plate 123 includes a plurality of nozzles 125 arranged in a uniform fashion throughout the upper surface of the transfer stage 120, and through the plurality of nozzles 125, the air has a constant strength upward. Spray into.

또한, 그리퍼(gripper)(130)는 이송 스테이지(120)의 단위 이송 유니트(121)중 중앙에 위치한 단위 이송 유니트(121)와 단위 이송 유니트(121) 사이에서 길이 방향으로 전후로 이동하도록 설치되어 이송 스테이지(120)에서 부양된 기판(1)을 진공압을 이용하여 흡착한 후 전후로 이동한다. 이때, 그리퍼(130)는 이송 스테이지(120)의 단위 이송 유니트(121)중 중앙에 위치한 단위 이송 유니트(121)와 단위 이송 유니트(121) 사이에 설치된 이송 가이드(131)와, 이송 가이드(131) 상부에서 전후로 이동 가능하도록 설치되고, 진공발생부(미도시)와 연결되어 부양된 기판(1)을 진공 흡착하는 진공 패드(133)와, 진공 패드(133)를 이동시키는 구동모듈(135)로 이루어진다.In addition, the gripper 130 is installed to be moved back and forth in the longitudinal direction between the unit transfer unit 121 and the unit transfer unit 121 located in the center of the unit transfer unit 121 of the transfer stage 120 is transported The substrate 1 supported by the stage 120 is absorbed using vacuum pressure and then moved back and forth. At this time, the gripper 130 is a transfer guide 131 installed between the unit transfer unit 121 and the unit transfer unit 121 located in the center of the unit transfer unit 121 of the transfer stage 120, and the transfer guide 131 A vacuum pad 133 which is installed to be moved back and forth from the top, is connected to a vacuum generating unit (not shown), and vacuum suctions the supported substrate 1, and a driving module 135 which moves the vacuum pad 133. Is made of.

또, 비전카메라(140)는 이송 스테이지(120) 상의 기판(1)의 이동 경로 상에 카메라 설치 프레임(141)에 설치된다. 여기에서, 비전카메라(140)는 기판(1)의 미세한 부분까지 검사하기 위한 방편의 일환으로 회전이 가능할 수도 있다.In addition, the vision camera 140 is installed in the camera mounting frame 141 on the movement path of the substrate 1 on the transfer stage 120. Here, the vision camera 140 may be rotatable as part of the method for inspecting even a minute portion of the substrate 1.

한편, 보조 공기 분사 유니트(150)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 내부가 빈 직육면체로 형성되고, 상면에 에어 분사를 위한 복수의 에어 분사공(151)이 형성되는 에어 플레이트(152)와, 에어 플레이트(152)로 에어를 공급하기 위한 에어 공급통로(153)가 구비되고, 에어 플레이트(152)를 승하강시키는 복수의 로드 바(154)와, 각각의 로드 바(154)의 하단을 지지하고, 로드 바(154)를 승하강시키는 승하강 수단(155)으로 이루어진다. 여기에서, 보조 공기 분사 유니트(150)의 에어 플레이트(152)는 기준 위치(L1), 즉 상승 위치가 이송 스테이지(120)의 상면 높이(L2)와 동일 높이이고, 하강 위치(L3)가 이송 스테이지(120)의 상면 높이(L2)보다 낮은 높이인 것이 바람직하며, 그 설치 위치는 로더 암(110)과 대응되는 위치 및 비전카메라(140)와 대응되는 위치에 각각 설치된다. 이때, 승하강 수단(155)은 에어 실린더인 것이 바람직한 데, 선택에 따라 모터, 캠, 유압 실린더 등을 적용할 수 있고, 로드 바(154)를 승하강시키는 어떠한 구성의 적용도 무방하다.Meanwhile, as shown in FIGS. 5 and 6, the auxiliary air jet unit 150 is formed of an empty rectangular parallelepiped, and an air plate 152 having a plurality of air jet holes 151 formed thereon for air jet. And an air supply passage 153 for supplying air to the air plate 152, a plurality of rod bars 154 for raising and lowering the air plate 152, and a lower end of each rod bar 154. And lifting means 155 for lifting and lowering the rod bar 154. Here, the air plate 152 of the auxiliary air injection unit 150 has a reference position L1, that is, the raised position is the same height as the upper surface height L2 of the transfer stage 120, and the lowered position L3 is conveyed. It is preferable that the height is lower than the upper surface height (L2) of the stage 120, the installation position is installed at the position corresponding to the loader arm 110 and the position corresponding to the vision camera 140, respectively. At this time, the lifting means 155 is preferably an air cylinder, but may be applied to a motor, cam, hydraulic cylinder, etc., depending on the selection, any application of raising and lowering the rod bar 154 may be applied.

이하, 본 발명에 따른 기판 이송장치를 이용한 기판의 이송방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the substrate transfer method using the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 기판의 반입시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도이고, 도 8은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 비전카메라를 기판이 통과시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도이며, 도 9a 내지 도 9d는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 기판의 반송시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도이다.7A and 7B are explanatory views showing the operation state of the auxiliary air jet unit when the substrate is brought into the substrate transfer apparatus according to the present invention, and FIG. 8 is an auxiliary camera when the substrate passes through the vision camera of the substrate transfer apparatus according to the present invention. 9A to 9D are explanatory views showing the operation state of the auxiliary air injection unit when the substrate is conveyed to the substrate transfer device according to the present invention.

먼저, 기판(1)이 안착된 로더 암(110)을 이송 스테이지(120)의 단위 이송 유니트(121)와 단위 이송 유니트(121) 사이로 하강시킨다. 이때, 기판(1)의 하강 높이는 이송 스테이지(120)의 상면과 면접되지 않은 높이이다.First, the loader arm 110 on which the substrate 1 is mounted is lowered between the unit transfer unit 121 and the unit transfer unit 121 of the transfer stage 120. At this time, the falling height of the substrate 1 is a height that is not interviewed with the upper surface of the transfer stage 120.

이와 동시에, 이송 스테이지(120)에 별도의 컴프레셔와 같은 에어 공급 수단(미도시)에서 에어가 공급되어 각각의 단위 이송 유니트(121)의 부양 플레이 트(123)에 형성된 노즐(125)을 통해 에어가 상부로 분사되고, 이로 인해 기판(1)이 부상된다.At the same time, the air is supplied from an air supply means (not shown), such as a separate compressor, to the transfer stage 120 to supply air through the nozzle 125 formed in the support plate 123 of each unit transfer unit 121. Is sprayed upwards, which causes the substrate 1 to float.

또한, 도 7a에 도시된 바와 같이 로더 암(110)의 하강시 보조 공기 분사 유니트(150)의 승하강 수단(155)을 동작시켜 로드 바(154)를 하강시키므로 에어 플레이트(152)를 로더 암(110)과 간섭이 없는 높이까지 하강시킨다. 이때, 보조 공기 분사 유니트(150)는 로드 바(154)의 에어 공급통로(153)로 별도의 컴프레셔와 같은 에어 공급 수단(미도시)에서 에어가 공급된다.In addition, as shown in FIG. 7A, when the loader arm 110 descends, the lifting means 155 of the auxiliary air injection unit 150 is operated to lower the load bar 154 so that the air plate 152 is loaded on the loader arm. Lower to a height without interference with (110). At this time, the auxiliary air injection unit 150 is supplied with air from an air supply means (not shown), such as a separate compressor, into the air supply passage 153 of the rod bar 154.

그리고, 도 7b에 도시된 바와 같이 로더 암(110)이 이송 스테이지(120)의 단위 이송 유니트(121) 사이에서 후퇴시 보조 공기 분사 유니트(150)의 승하강 수단(155)을 동작시켜 로드 바(154)를 상승시키므로 에어 플레이트(152)를 단위 이송 유니트(121)의 부양 플레이트(123)의 높이까지 상승시킨다. 이때, 보조 공기 분사 유니트(150)의 상승 시점은 후퇴하는 로더 암(110)과 서로 간섭이 되지 않는 시점이다.As shown in FIG. 7B, when the loader arm 110 retreats between the unit transfer units 121 of the transfer stage 120, the lifting bar 155 of the auxiliary air injection unit 150 operates the rod bar. By raising 154, the air plate 152 is raised to the height of the support plate 123 of the unit transfer unit 121. At this time, the ascending time of the auxiliary air injection unit 150 is a time when the loader arm 110 does not interfere with each other.

또한, 보조 공기 분사 유니트(150)의 상승이 완료되면 로드 바(154)의 에어 공급통로(153)로 별도의 컴프레셔와 같은 에어 공급 수단에서 에어가 공급되고, 다시 에어가 에어 플레이트(152)의 에어 분사공(151)을 통해 기판(1) 측으로 분사되어 기판(1)의 부상력을 증대시켜 기판(1)의 로딩을 완료한다.In addition, when the ascending of the auxiliary air injection unit 150 is completed, air is supplied to the air supply passage 153 of the rod bar 154 from an air supply means such as a separate compressor, and again, the air is supplied to the air plate 152. It is injected to the substrate 1 side through the air injection hole 151 to increase the floating force of the substrate 1 to complete the loading of the substrate 1.

로딩이 완료되면 기판(1)을 그리퍼(130)가 진공 흡착하고, 진공 흡착이 완료되면 도 7b에 도시된 바와 같이 보조 공기 분사 유니트(150)를 현위치로 유지시키고, 에어를 계속해서 공급한다.When the loading is completed, the gripper 130 vacuum-adsorbs the substrate 1, and when the vacuum adsorption is completed, the auxiliary air injection unit 150 is maintained at the current position as shown in FIG. 7B, and air is continuously supplied. .

그런 다음, 그리퍼(130)가 이송 스테이지(120)를 따라 이동되어 비전카메라(140)를 통과시키는 데, 도 8에 도시된 바와 같이 상승된 상태를 유지하고 있는 보조 공기 분사 유니트(150)로 인해 부양력이 배가된다. 그러면, 비전카메라(140)가 기판(1)을 스캔시 기판(1)의 쳐짐 또는 떨림이 방지된다.Then, the gripper 130 is moved along the transfer stage 120 to pass through the vision camera 140 due to the auxiliary air jet unit 150 which is maintained in an elevated state as shown in FIG. 8. Buoyancy is doubled Then, when the vision camera 140 scans the substrate 1, the falling or shaking of the substrate 1 is prevented.

이후, 비전카메라(140)에 의한 패턴 결함 검사가 종료되면, 검사가 끝난 기판(1)은 언로딩하게 되는데 그 방법은 다음과 같이 실시된다.Subsequently, when the pattern defect inspection by the vision camera 140 is finished, the inspected substrate 1 is unloaded, and the method is performed as follows.

먼저, 기판(1)이 언로딩 위치로 그리퍼(130)에 의해 이송되면, 도 9a에 도시된 바와 같이 보조 공기 분사 유니트(150)가 기준 위치를 유지한다.First, when the substrate 1 is transferred by the gripper 130 to the unloading position, the auxiliary air jet unit 150 maintains the reference position as shown in FIG. 9A.

그리고, 로더 암(110)을 이송 스테이지(120)의 단위 이송 유니트(121) 사이에서 전진시 도 9b에 도시된 바와 같이 보조 공기 분사 유니트(150)를 하강시킨다. 이때, 보조 공기 분사 유니트(150)의 하강 시점은 전진하는 로더 암(110)과 서로 간섭이 되지 않는 시점이다.Then, when the loader arm 110 is advanced between the unit transfer units 121 of the transfer stage 120, the auxiliary air injection unit 150 is lowered as shown in FIG. 9B. At this time, the descending time point of the auxiliary air injection unit 150 is a time point that does not interfere with the loader arm 110 to advance.

그러면, 로더 암(110)이 상승되면서 기판(1)을 언로딩하고, 이와 동시에 보조 공기 분사 유니트(150)가 기준 위치로 상승된다.Then, the loader arm 110 is raised while unloading the substrate 1, and at the same time, the auxiliary air jet unit 150 is raised to the reference position.

이후, 도 9d에 도시된 바와 같이 로더 암(110)이 기판(1)을 외부로 이송하여 언로딩 과정을 종료한다.Thereafter, as shown in FIG. 9D, the loader arm 110 transfers the substrate 1 to the outside to end the unloading process.

본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the description, but rather includes all modifications, equivalents, and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Should be.

본 발명은 FPD 제조 장치에 적용되는 각종 기판의 이송을 설명하였으나 반도체 설비 등에도 이용 가능하다.Although the present invention has described the transfer of various substrates applied to an FPD manufacturing apparatus, the present invention can also be used in semiconductor equipment.

도 1은 일반적인 디스플레이 기판 이송장치를 나타낸 도면,1 is a view showing a typical display substrate transfer device,

도 2는 도 1의 기판 이송장치중 로더 암과 로딩/언로딩 장치의 측면도,Figure 2 is a side view of the loader arm and the loading / unloading device of the substrate transfer apparatus of FIG.

도 3은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 구성을 나타낸 사시도,3 is a perspective view showing the configuration of a substrate transfer apparatus according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 구성을 나타낸 부분 사시도,Figure 4 is a partial perspective view showing the configuration of the substrate transfer apparatus according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치중 이송 스테이지중 보조 공기 분사 유니트의 구성을 나타낸 사시도,Figure 5 is a perspective view showing the configuration of the auxiliary air jet unit of the transfer stage of the substrate transfer apparatus according to the present invention,

도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치중 보조 공기 분사 유니트의 구성을 나타낸 단면도,6 is a cross-sectional view showing the configuration of the auxiliary air jet unit of the substrate transfer apparatus according to the present invention;

도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 기판의 반입시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도,7A and 7B are explanatory views showing an operating state of the auxiliary air jet unit when the substrate is loaded into the substrate transfer device according to the present invention;

도 8은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 비전카메라를 기판이 통과시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도,8 is an explanatory diagram showing an operation state of the auxiliary air jet unit when the substrate passes through the vision camera of the substrate transfer device according to the present invention;

도 9a 내지 도 9d는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 기판의 반송시 보조 공기 분사 유니트의 동작 상태를 나타낸 설명도.9A to 9D are explanatory diagrams showing an operating state of the auxiliary air jet unit during conveyance of the substrate to the substrate transfer apparatus according to the present invention;

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS

1 : 기판 110 : 로더 암1: substrate 110: loader arm

120 : 이송 스테이지 121 : 단위 이송 유니트120: transfer stage 121: unit transfer unit

123 : 부양 플레이트 125 : 노즐123: flotation plate 125: nozzle

130 : 그리퍼 140 : 비전카메라130: gripper 140: vision camera

150 : 보조 공기 분사 유니트 151 : 에어 분사공150: auxiliary air injection unit 151: air injection hole

152 : 에어 플레이트 153 : 에어 공급통로152: air plate 153: air supply passage

154 : 로드 바 155 : 승하강 수단154: load bar 155: lifting means

Claims (7)

기판을 이송 및 외부로의 반송을 담당하는 로더 암과;A loader arm responsible for transferring the substrate and conveying it to the outside; 복수의 단위 이송 유니트에 의해 형성되고, 상방향으로 에어를 분사하여 상기 로더 암으로부터 반입된 상기 기판을 부양시키는 이송 스테이지와;A conveying stage formed by a plurality of unit conveying units and supporting the substrate carried from the loader arm by ejecting air in an upward direction; 상기 이송 스테이지의 중앙부에 길이 방향으로 설치되어 상기 이송 스테이지에서 부양된 상기 기판을 진공압을 이용하여 흡착한 후 상기 이송 스테이지를 따라 이동하는 그리퍼와;A gripper installed in a central portion of the transfer stage in a longitudinal direction and adsorbing the substrate supported by the transfer stage using vacuum pressure and then moving along the transfer stage; 상기 이송 스테이지 상의 상기 기판의 이동 경로 상에 설치되어 상기 기판의 패턴을 검사하기 위한 복수의 비전카메라; 및A plurality of vision cameras installed on a movement path of the substrate on the transfer stage to inspect a pattern of the substrate; And 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트 사이에 설치되어 상기 로더 암에 의한 상기 기판의 반입/반송 및 상기 비전카메라를 통과시 상기 기판의 부양력을 증대시키도록 내부가 빈 직육면체로 형성되고, 상면에 에어 분사를 위한 복수의 에어 분사공이 형성되되, 기준 위치가 상기 이송 스테이지의 상면 높이와 동일 높이이고, 하강 위치가 상기 이송 스테이지의 상면보다 낮은 높이로 가지는 에어 플레이트와, 상기 에어 플레이트로 에어를 공급하기 위한 에어 공급통로가 구비되고, 상기 에어 플레이트를 승하강시키는 복수의 로드 바와, 상기 로드 바의 하단을 지지하고, 상기 로드 바를 승하강시키는 승하강 수단으로 이루어지는 보조 공기 분사 유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.It is installed between the unit transfer unit of the transfer stage and the neighboring unit transfer unit is formed of an empty rectangular parallelepiped to increase the lifting force of the substrate when carrying / carrying the substrate by the loader arm and the vision camera And an air plate having a plurality of air injection holes for air injection on the upper surface, the reference position of which is the same height as the upper surface of the transfer stage, and the lowering position of which is lower than the upper surface of the transfer stage; An auxiliary air injection unit comprising an air supply passage for supplying air, the plurality of rod bars for elevating the air plate, and an elevating means for supporting a lower end of the rod bar and for elevating the rod bar; Substrate transfer apparatus, characterized in that. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위 이송 유니트의 상호 이격 거리는,The mutual separation distance between the unit transfer unit of the transfer stage and the neighboring unit transfer unit, 상기 로더 암이 내측으로 유입되어 상기 기판을 안착시키도록 상기 로더 암의 폭보다 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.And the loader arm is formed to be wider than the width of the loader arm so as to flow inward to seat the substrate. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 승하강 수단은,The lifting means, 에어 실린더인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.Substrate transfer apparatus, characterized in that the air cylinder. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보조 공기 분사 유니트는,The auxiliary air injection unit, 상기 로더 암과 대응되는 위치 및 상기 비전카메라와 대응되는 위치에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.And a substrate transfer apparatus installed at a position corresponding to the loader arm and a position corresponding to the vision camera, respectively. 제 1 항의 기판 이송장치를 이용한 이송 방법에 있어서,In the transfer method using the substrate transfer apparatus of claim 1, 상기 로더 암이 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트 사이로 유입되어 기판이 반입되면, 상기 이송 스테이지에 에어를 공급하는 단계와;Supplying air to the transfer stage when the loader arm is introduced between the unit transfer units of the transfer stage and the substrate is loaded; 상기 로더 암이 상기 이송 스테이지의 단위 이송 유니트 사이에서 후퇴시 상기 보조 공기 분사 유니트를 상승시키는 단계와;Raising said auxiliary air injection unit when said loader arm retracts between unit transfer units of said transfer stage; 상기 보조 공기 분사 유니트에 에어를 공급하여 상기 기판을 부상시키는 단계와;Supplying air to the auxiliary air jet unit to float the substrate; 부상된 상기 기판을 상기 그리퍼가 진공압을 이용하여 흡착하는 단계; 및The gripper sucks the floating substrate using vacuum pressure; And 상기 그리퍼가 상기 이송스테이지를 따라 이동하여 상기 비전 카메라를 통과하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치를 이용한 이송 방법.And the gripper moves along the transfer stage and passes through the vision camera.
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