KR20050083126A - 인라인 코팅장치의 조작방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 인라인 코팅장치의 조작방법에 있어서, 상기 인라인 코팅장치는내향 이송챔버(2), 상기 내향 이송챔버(2)와 인접하는 완충챔버(21), 상기 완충챔버(21)와 인접하는 처리챔버(3), 상기 처리챔버(3)와 인접하는 추가 완충챔버(22), 및 상기 추가 완충챔버(22)와 인접하는 외향 이송챔버(4), 및 상기 챔버(2, 21, 3, 22, 4) 사이에서 개폐 가능하게 제공되는 게이트(61, 64, 65, 62)를 구비하고, 상기 내향 이송챔버(2), 상기 완충챔버(21, 22) 및 상기 외향 이송챔버(4)는 동일한 모듈이며 소정의 최대 크기의 기판을 수용하도록 구성되며,상기 모듈보다 큰 기판(55)의 코팅을 위해, 상기 내향 이송챔버(2)와 상기 완충챔버(21) 사이의 게이트(61) 및 상기 완충챔버(22)와 상기 외향 이송챔버(4) 사이의 게이트(62)를 개방하고, 상기 완충챔버(21, 22)의 압력상태, 및 상기 내향 이송챔버(2) 또는 상기 외향 이송챔버(4)의 압력상태를 서로에 대하여 최적화시키는것을 특징으로 하는 인라인 코팅장치의 조작방법.
- 제1항에 있어서,상기 챔버(2, 21, 3, 22, 4)는 각각 기판을 이송하는 이송장치(34~37; 38~41; 42~53)를 구비하고, 상기 이송장치(34~37; 38~41; 42~53)의 이송속도는 서로 일치되는 것을 특징으로 하는 인라인 코팅장치의 조작방법.
- 제1항에 있어서,상기 처리챔버(3)는 2개 이상의 슬릿 다이어프램(30, 29)을 포함하며, 이 중 하나의 슬릿 다이어프램(30)은 상기 처리챔버(3)의 좌측 경계를 형성하고, 다른 하나의 슬릿 다이어프램(29)은 상기 처리챔버(3)의 우측 경계를 형성하는 것을 특징으로 하는 인라인 코팅장치의 조작방법.
- 제1항에 있어서,상기 제1 완충챔버(21)의 입구에 있는 게이트(61) 및 상기 제2 완충챔버(22)와 상기 외향 이송챔버(4) 사이에 있는 게이트(62)를 개방하는 단계,상기 내향 이송챔버(2)의 입구에 있는 게이트(60)를 개방하는 단계,상기 내향 이송챔버(2) 또는 상기 완충챔버(21)의 길이를 초과하는 길이의 기판을 상기 내향 이송챔버(2) 및 상기 완충챔버(21)로 이송하는 단계,상기 내향 이송챔버(2)의 입구에 있는 게이트(60)를 폐쇄하는 단계,상기 내향 이송챔버(2)에 의해 공간이 형성되고, 상기 처리챔버(3)의 입구에 있는 게이트(64)를 폐쇄하며, 상기 완충챔버(21)를 소정의 압력으로 감압하는 단계,소정의 압력에 도달되면, 상기 처리챔버(3)의 입구에 있는 게이트(64)를 개방하는 단계,상기 기판(55)을 상기 처리챔버(3)로 이송하고 상기 처리챔버(3)의 입구에 있는 게이트(64)를 다시 폐쇄하는 단계,상기 기판(55)을 상기 처리챔버(3) 내에서 처리하는 단계,상기 처리챔버(3)의 출구에 있는 게이트(65)를 개방하는 단계,상기 처리된 기판(55)을 상기 완충챔버(22) 및 상기 외향 이송챔버(4)에 의해 형성된 공간으로 이동시키는 단계,상기 처리챔버(3)의 출구에 있는 게이트(65)를 폐쇄하는 단계,상기 외향 이송챔버(4)의 출구에 있는 게이트(63)를 개방하는 단계,상기 처리된 기판(55)을 외부로 이동시키는 단계, 및상기 외향 이송챔버(4)의 출구에 있는 게이트(63)를 폐쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 코팅장치의 조작방법.
- 제4항에 있어서,상기 기판이 내향 이송챔버(2) 및 완충챔버(21)에 의해 형성된 공간으로 내향 이송된 후, 그리고 상기 게이트(60)가 폐쇄된 후, 상기 내향 이송챔버(2)와 연관되는 제1 펌프(9~11)는 대기압으로부터 제1 소정 압력으로 감압을 행하고, 이어서 상기 완충챔버(21)와 연관되는 펌프(23)는 상기 처리챔버(3)의 압력과 대응되는 압력으로 감압을 행하는 것을 특징으로 하는 인라인 코팅장치의 조작방법.
- 제5항에 있어서,상기 내향 이송챔버(2) 및 상기 완충챔버(21)에 의해 형성된 공간 내의 압력이 먼저 대기압으로부터 대략 7 mbar로 감압되고, 이어서 대략 0.05 mbar로 감압되는 것을 특징으로 하는 인라인 코팅장치의 조작방법.
- 제1항에 있어서,상기 내향 이송챔버(2)의 이송장치(34~37) 및 상기 인접하는 완충챔버(21)의 이송장치(38~41)가 동기식으로 작동되는 것을 특징으로 하는 인라인 코팅장치의 조작방법.
- 제7항에 있어서,상기 처리챔버(3)의 이송장치(42~53)가 상기 내향 이송챔버(2) 및 상기 완충챔버(21)의 이송장치(34~37; 38~41)와 동일한 속도로 작동되는 것을 특징으로 하는 인라인 코팅장치의 조작방법.
- 제1항에 있어서,상기 챔버(2, 21, 3, 22, 4) 내에는 제어장치의 요청에 의해 압력을 측정하는 압력계가 제공되고, 상기 제어장치는 소정의 압력에 도달했을 때에 전환 작용(switching action)을 행하는 것을 특징으로 하는 인라인 코팅장치의 조작방법.
- 제9항에 있어서,상기 전환 작용은 게이트의 개폐 또는 챔버와 펌프 사이에 배치되는 밸브의 개폐인 것을 특징으로 하는 인라인 코팅장치의 조작방법.
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